JP2014161963A - 切削装置 - Google Patents
切削装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2014161963A JP2014161963A JP2013035619A JP2013035619A JP2014161963A JP 2014161963 A JP2014161963 A JP 2014161963A JP 2013035619 A JP2013035619 A JP 2013035619A JP 2013035619 A JP2013035619 A JP 2013035619A JP 2014161963 A JP2014161963 A JP 2014161963A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cutting
- feed base
- guide rail
- axis guide
- cutting blade
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 abstract description 21
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 abstract description 6
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 17
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 2
- 230000009977 dual effect Effects 0.000 description 1
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Machine Tool Units (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Dicing (AREA)
Abstract
【解決手段】第一の切削手段51及び第二の切削手段52を有する第一の切削ユニット5と第三の切削手段61及び第四の切削手段62を有する第二の切削ユニット6とを門型の支持フレーム4の上面に配設されたY軸案内レール70に沿って移動可能とし、各切削手段を構成するスピンドルを、吊垂状態で門型の支持フレーム4の開口42において並列に配設することにより、装置が巨大化せず、剛性が向上するとともに、位置調整やメンテナンスがしやすくなり、このような作業に要する時間を短縮することができる。また、4つの切削手段を備えることで、切削加工の生産性を向上させることができる。
【選択図】図1
Description
第一の切削手段は、Y軸案内レール上に移動可能に配設された第一の割り出し送り基台と、第一の割り出し送り基台から支持フレームの一方の側面側に垂下した側部にチャックテーブルの保持面に対して垂直な方向に移動可能に配設された第一の切り込み送り基台と、第一の切り込み送り基台に装着され第一の切削ブレードを備えた第一のスピンドルと、を具備し、第二の切削手段は、第一の割り出し送り基台の上面にY軸案内レールに沿った方向に移動可能に配設された第二の割り出し送り基台と、第二の割り出し送り基台から支持フレームの他方の側面側に垂下した側部にチャックテーブルの保持面に対して垂直な方向に移動可能に配設された第二の切り込み送り基台と、第二の切り込み送り基台に装着され第二の切削ブレードを備えた第二のスピンドルと、を具備し、第一のスピンドル及び第二のスピンドルは、吊垂状態で門型の支持フレームの開口において並列に配設されており、第二の切削ユニットは、第三の切削ブレードを備えた第三の切削手段及び第四の切削ブレードを備えた第四の切削手段がY軸案内レールに沿って移動可能に並列に配設されて構成され、第三の切削手段は、Y軸案内レール上に移動可能に配設された第三の割り出し送り基台と、第三の割り出し送り基台から支持フレームの一方の側面側に垂下した側部にチャックテーブルの保持面に対して垂直な方向に移動可能に配設された第三の切り込み送り基台と、第三の切り込み送り基台に装着され第三の切削ブレードを備えた第三のスピンドルと、を具備し、第四の切削手段は、第三の割り出し送り基台の上面にY軸案内レールに沿った方向に移動可能に配設された第四の割り出し送り基台と、第四の割り出し送り基台から支持フレームの他方の側面側に垂下した側部にチャックテーブルの保持面に対して垂直な方向に移動可能に配設された第四の切り込み送り基台と、第四の切り込み送り基台に装着され第四の切削ブレードを備えた第四のスピンドルと、を具備し、第三のスピンドル及び第四のスピンドルは、吊垂状態で門型の支持フレームの開口において並列に配設されており、第一の切削ユニットと第二の切削ユニットとは、Y軸案内レールに沿って対向して配設されている。
また、各切削手段を構成するスピンドルは、吊垂状態で門型の支持フレームの開口において並列に配設されているため、位置調整やメンテナンスがしやすくなり、このような作業に要する時間を短縮することができる。
さらに、第一の切削ユニットと第二の切削ユニットとがY軸案内レールに沿う方向に対面して配設されるため、チャックテーブルの移動距離が長くならず、チャックテーブルの一度の切削送りで被加工物の複数個所を並行して切削することができ、生産性を向上させることができる。
また、切削手段51、52、61、62を構成する各スピンドル512、522、612、622は、吊垂状態で門型の支持フレーム4の開口42において並列に配設されているため、各スピンドルの位置調整やメンテナンスがしやすくなり、このような作業に要する時間を短縮することができる。
さらに、第一の切削ユニット5と第二の切削ユニット6とがY軸案内レール70に沿う方向に対面して配設されるため、チャックテーブル2の移動距離が長くならず、チャックテーブル2の一度の切削送りで被加工物の複数個所を並行して切削することができ、生産性を向上させることができる。
2:チャックテーブル 20:保持面
3:切削送り機構
30:X軸案内レール 31:ボールネジ 32:モータ 33:X軸移動基台
4:支持フレーム
40:壁部 41:架設部 42:開口
5:第一の切削ユニット
51:第一の切削手段
510:第一の割り出し送り基台 510a:平板部 510b:側部
511:第一の切り込み送り基台
512:第一のスピンドル 512a:第一の切削ブレード
52:第二の切削手段
520:第二の割り出し送り基台 520a:平板部 520b:側部
521:第二の切り込み送り基台
522:第二のスピンドル 522a:第二の切削ブレード
53:第一の切り込み送り機構
530:Z軸案内レール 531:ボールネジ 532:モータ
540:Y軸案内レール 541:ボールネジ 542:モータ
55:第二の切り込み送り機構
550:Z軸案内レール 551:ボールネジ 552:モータ
6:第二の切削ユニット
61:第三の切削手段
610:第三の割り出し送り基台 610a:平板部 610b:側部
611:第三の切り込み送り基台
612:第三のスピンドル 612a:第三の切削ブレード
62:第四の切削手段
620:第四の割り出し送り基台 620a:平板部 620b:側部
621:第四の切り込み送り基台
622:第四のスピンドル 622a:第四の切削ブレード
63:第三の切り込み送り機構63
630:Z軸案内レール 631:ボールネジ 632:モータ
640:Y軸案内レール 641:ボールネジ 642:モータ
65:第四の切り込み送り機構
650:Z軸案内レール 651:ボールネジ 652:モータ
7:ユニット送り機構
70:Y軸案内レール 71a、71b:ボールネジ 72a、72b:モータ
Claims (1)
- X軸方向に延設されたX軸案内レールと、該X軸案内レールに沿って移動可能に配設され被加工物を保持する保持面を有するチャックテーブルと、該チャックテーブルを該X軸案内レールに沿って切削送りする切削送り機構と、該X軸案内レールを跨いで配設され該チャックテーブルの移動を許容する開口を備えた門型の支持フレームと、
該門型の支持フレームの上面に該X軸案内レールと直交する方向に延設されたY軸案内レールと、該Y軸案内レールに沿って移動可能に配設され該チャックテーブルに保持された被加工物を切削するための第一の切削ユニットと第二の切削ユニットと、を具備する切削装置において、
該第一の切削ユニットは、第一の切削ブレードを備えた第一の切削手段及び第二の切削ブレードを備えた第二の切削手段が該Y軸案内レールに沿って移動可能に並列に配設されて構成され、
該第一の切削手段は、該Y軸案内レール上に移動可能に配設された第一の割り出し送り基台と、該第一の割り出し送り基台から該支持フレームの一方の側面側に垂下した側部に該チャックテーブルの保持面に対して垂直な方向に移動可能に配設された第一の切り込み送り基台と、該第一の切り込み送り基台に装着され第一の切削ブレードを備えた第一のスピンドルと、を具備し、
該第二の切削手段は、該第一の割り出し送り基台の上面に該Y軸案内レールに沿った方向に移動可能に配設された第二の割り出し送り基台と、該第二の割り出し送り基台から該支持フレームの他方の側面側に垂下した側部に該チャックテーブルの保持面に対して垂直な方向に移動可能に配設された第二の切り込み送り基台と、該第二の切り込み送り基台に装着され第二の切削ブレードを備えた第二のスピンドルと、を具備し、
該第一のスピンドル及び該第二のスピンドルは、吊垂状態で該門型の支持フレームの該開口において並列に配設されており、
該第二の切削ユニットは、第三の切削ブレードを備えた第三の切削手段及び第四の切削ブレードを備えた第四の切削手段が該Y軸案内レールに沿って移動可能に並列に配設されて構成され、
該第三の切削手段は、該Y軸案内レール上に移動可能に配設された第三の割り出し送り基台と、該第三の割り出し送り基台から該支持フレームの一方の側面側に垂下した側部に該チャックテーブルの保持面に対して垂直な方向に移動可能に配設された第三の切り込み送り基台と、該第三の切り込み送り基台に装着され第三の切削ブレードを備えた第三のスピンドルと、を具備し、
該第四の切削手段は、該第三の割り出し送り基台の上面に該Y軸案内レールに沿った方向に移動可能に配設された第四の割り出し送り基台と、該第四の割り出し送り基台から該支持フレームの他方の側面側に垂下した側部に該チャックテーブルの保持面に対して垂直な方向に移動可能に配設された第四の切り込み送り基台と、該第四の切り込み送り基台に装着され第四の切削ブレードを備えた第四のスピンドルと、を具備し、
該第三のスピンドル及び該第四のスピンドルは、吊垂状態で該門型の支持フレームの該開口において並列に配設されており、
該第一の切削ユニットと該第二の切削ユニットとは、該Y軸案内レールに沿って対向して配設されていること、を特徴とする切削装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013035619A JP6054201B2 (ja) | 2013-02-26 | 2013-02-26 | 切削装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013035619A JP6054201B2 (ja) | 2013-02-26 | 2013-02-26 | 切削装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014161963A true JP2014161963A (ja) | 2014-09-08 |
JP6054201B2 JP6054201B2 (ja) | 2016-12-27 |
Family
ID=51613087
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013035619A Active JP6054201B2 (ja) | 2013-02-26 | 2013-02-26 | 切削装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6054201B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105643292A (zh) * | 2016-04-06 | 2016-06-08 | 金陵科技学院 | 一种多功能切割机架 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0578217A1 (en) * | 1992-07-10 | 1994-01-12 | PEDRINI S.p.A. | Bridge-and-table milling machine particularly for machining stone-like materials and the like |
JPH0825209A (ja) * | 1994-07-18 | 1996-01-30 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削装置 |
JPH11274109A (ja) * | 1998-03-23 | 1999-10-08 | Disco Abrasive Syst Ltd | 多軸ダイシング装置 |
JP2003163178A (ja) * | 2001-11-28 | 2003-06-06 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | ダイシング装置 |
CN1733578A (zh) * | 2004-08-02 | 2006-02-15 | 株式会社迪思科 | 工件输送收容装置和具有该工件输送收容装置的切削装置 |
JP2006156809A (ja) * | 2004-11-30 | 2006-06-15 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削装置 |
JP2009090402A (ja) * | 2007-10-05 | 2009-04-30 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削装置 |
JP2010021542A (ja) * | 2008-06-12 | 2010-01-28 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | ダイシング装置、ダイシング装置ユニット、及びダイシング方法 |
-
2013
- 2013-02-26 JP JP2013035619A patent/JP6054201B2/ja active Active
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0578217A1 (en) * | 1992-07-10 | 1994-01-12 | PEDRINI S.p.A. | Bridge-and-table milling machine particularly for machining stone-like materials and the like |
JPH0825209A (ja) * | 1994-07-18 | 1996-01-30 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削装置 |
JPH11274109A (ja) * | 1998-03-23 | 1999-10-08 | Disco Abrasive Syst Ltd | 多軸ダイシング装置 |
JP2003163178A (ja) * | 2001-11-28 | 2003-06-06 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | ダイシング装置 |
CN1733578A (zh) * | 2004-08-02 | 2006-02-15 | 株式会社迪思科 | 工件输送收容装置和具有该工件输送收容装置的切削装置 |
JP2006156809A (ja) * | 2004-11-30 | 2006-06-15 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削装置 |
JP2009090402A (ja) * | 2007-10-05 | 2009-04-30 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削装置 |
JP2010021542A (ja) * | 2008-06-12 | 2010-01-28 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | ダイシング装置、ダイシング装置ユニット、及びダイシング方法 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105643292A (zh) * | 2016-04-06 | 2016-06-08 | 金陵科技学院 | 一种多功能切割机架 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6054201B2 (ja) | 2016-12-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6214901B2 (ja) | 切削装置 | |
US7338345B2 (en) | Cutting machine | |
JP4532895B2 (ja) | 板状物の切削装置 | |
JP6312402B2 (ja) | 金具加工方法 | |
JP2002237472A (ja) | 被加工物の切削方法 | |
JP7015668B2 (ja) | 板状物の分割装置 | |
TW201429585A (zh) | 金屬件銑削方法 | |
TW201519297A (zh) | 分割裝置和方法 | |
US7249485B2 (en) | Substrate processing apparatus | |
JP2018181931A (ja) | 切削装置 | |
JP6054201B2 (ja) | 切削装置 | |
JP6054202B2 (ja) | 切削装置 | |
JPH1174228A (ja) | 精密切削装置 | |
JPH0825209A (ja) | 切削装置 | |
TWM463630U (zh) | 臥式五面加工設備 | |
KR101480804B1 (ko) | 다양한 가공물을 가공하는 다축가공장치와 그를 이용한 로딩과 언로딩 및 가공 방법 | |
KR20160109760A (ko) | 보링기 | |
JP4447299B2 (ja) | 板状物の切削装置 | |
KR102148117B1 (ko) | 멀티 라우터 스핀들을 구비한 장치 및 이를 사용한 가공 방법 | |
KR20110057454A (ko) | 다이싱용 이중 작업대 및 이를 포함한 다이싱 장치 | |
US10535562B2 (en) | Processing method for workpiece | |
JP2012076212A (ja) | 切削加工装置 | |
JP2017092362A (ja) | 被加工物の加工方法 | |
JP2015099855A (ja) | 切削方法 | |
TWI784765B (zh) | 動柱門型一體兩機cnc金屬加工機 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20150428 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20151218 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20161017 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20161104 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20161130 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6054201 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |