JP2014099536A - リードフレームの製造方法、半導体装置の製造方法、リードフレーム基材、および半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体素子21が搭載されるダイパッド11と、ダイパッド11周囲に設けられたリード部12とを有し、ダイパッド11またはリード部12のうち所定位置に電気接続領域15が設けられたリードフレーム基材30を準備する。次に、インクジェット法を用いてレジスト材を塗布および硬化させることにより、電気接続領域15の周縁に沿って、Agナノペースト16aの流出を防止するレジスト層35を形成する。次に、レジスト層35によって規定される電気接続領域15上に、インクジェット法を用いてAgナノペースト16aを塗布する。その後、リードフレーム基材30からレジスト層35を除去し、電気接続領域15上のAgナノペースト16aを焼成する。
【選択図】図6
Description
まず、図1および図2により、リードフレームの概略について説明する。図1および図2は、リードフレームを示す図である。
次に、図3および図4により、半導体装置について説明する。図3および図4は、半導体装置(QFNタイプ)を示す概略断面図である。
次に、図1および図2に示すリードフレーム10の製造方法について、図5(a)−(e)、図6(a)−(d)、図7および図8を用いて説明する。
次に、図3および図4に示す半導体装置20の製造方法について、図9(a)−(e)を用いて説明する。
次に、図10および図11を参照して本発明の各種変形例について説明する。図10および図11は、本発明の各種変形例を示す図である。図10および図11に示す形態は、レジスト層35の構成が異なるものであり、他の構成は上述した実施の形態と略同一である。図10および図11において、図1乃至図9に示す実施の形態と同一部分には同一の符号を付して詳細な説明は省略する。
11 ダイパッド
12 リード部
13 外枠
14 吊りリード
15 電気接続領域
16 Ag形成部
16a Agナノペースト
17 アウターリード部
20 半導体装置
21 半導体素子
22 ボンディングワイヤ
23 封止樹脂
24 接着剤
30、30A、30B リードフレーム基材
35 レジスト層
60 インクジェット装置
65、66 インクジェットヘッド
Claims (10)
- リードフレームの製造方法において、
半導体素子が搭載されるダイパッドと、ダイパッド周囲に設けられたリード部とを有し、ダイパッドまたはリード部のうち所定位置に電気接続領域が設けられたリードフレーム基材を準備する工程と、
インクジェット法を用いてレジスト材を塗布および硬化させることにより、リードフレーム基材の電気接続領域の周縁に沿って、Agナノペーストの流出を防止するレジスト層を形成する工程と、
レジスト層によって規定される電気接続領域上に、インクジェット法を用いてAgナノペーストを塗布する工程と、
リードフレーム基材からレジスト層を除去する工程と、
電気接続領域上のAgナノペーストを焼成する工程とを備えたことを特徴とするリードフレームの製造方法。 - レジスト材およびAgナノペーストは、同一のインクジェット装置の異なる塗布ヘッドから塗布されることを特徴とする請求項1記載のリードフレームの製造方法。
- 電気接続領域は、リードフレーム基材のリード部の先端に設けられ、レジスト層は、リード部を横切って設けられることを特徴とする請求項1又は2記載のリードフレームの製造方法。
- レジスト層は、電気接続領域の周縁全体にわたって設けられることを特徴とする請求項1又は2記載のリードフレームの製造方法。
- レジスト材は、ホットメルトタイプのレジストを含むことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項記載のリードフレームの製造方法。
- ホットメルトタイプのレジストは、オレフィン系の熱可塑樹脂を含むことを特徴とする請求項5記載のリードフレームの製造方法。
- リードフレーム基材からレジスト層を除去する工程において、レジスト層は、アルカリ水溶液または水によって除去されることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか一項記載のリードフレームの製造方法。
- 半導体装置の製造方法において、
請求項1乃至7のいずれか一項記載のリードフレームの製造方法によりリードフレームを製造する工程と、
リードフレームのダイパッド上に半導体素子を搭載する工程と、
半導体素子とリードフレームの電気接続領域とを接続部により電気的に接続する工程と、
ダイパッドと、リード部と、半導体素子と、接続部とを封止樹脂により封止する工程とを備えたことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - リードフレーム基材において、
半導体素子が搭載されるダイパッドと、
ダイパッド周囲に設けられたリード部とを備え、
ダイパッドまたはリード部のうち所定位置に電気接続領域が設けられ、
電気接続領域の周縁に沿って、Agナノペーストの流出を防止するレジスト層が形成され、レジスト層によって規定される電気接続領域上に、インクジェット法を用いてAgナノペーストが塗布されていることを特徴とするリードフレーム基材。 - 半導体装置において、
請求項1乃至7のいずれか一項記載のリードフレームの製造方法により製造されたリードフレームのダイパッドと、
ダイパッド上に搭載された半導体素子と、
半導体素子の電極とリードフレームの電気接続領域とを電気的に接続する接続部と、
ダイパッドと、リードと、半導体素子と、接続部とを封止する封止樹脂と備えたことを特徴とする半導体装置。
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