JP2013051556A - 圧電装置 - Google Patents
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Abstract
本発明は、集積回路素子の電極パッドと、半田バンプとの接合強度の低下を防ぐ圧電装置を提供することを課題とする。
【解決手段】
本発明の圧電装置100は、素子搭載部材110と、素子搭載部材110に搭載されている圧電素子120と、素子搭載部材110の表面に形成されており、素子搭載領域118aおよび引き回し領域118bを含んでいる金属パターン118と、半田バンプ132によって金属パターン118の素子搭載領域118aに電気的に接続されている集積回路素子130とを備え、金属パターン118が素子搭載領域118aと引き回し領域118bとの間に設けられた凸部119を有しており、凸部119の少なくとも表面部分が金属酸化物から成る。
【選択図】図2
Description
110・・・素子搭載部材
111・・・基板部
112・・・第一の枠部
113・・・第二の枠部
114・・・圧電素子搭載用パターン
116・・・外部接続端子
117・・・溝部
118・・・金属パターン
118a・・・素子搭載領域
118b・・・引き回し領域
119・・・凸部
119a・・・素子搭載領域側面
119b・・・引き回し領域側面
119c・・・凹部
120・・・圧電素子
121・・・導電性接着剤
130・・・集積回路素子
132・・・半田バンプ
134・・・電極パッド
140・・・樹脂
150・・・蓋部材
K1・・・第一の凹部
K2・・・第二の凹部
Claims (4)
- 素子搭載部材と、
前記素子搭載部材に搭載されている圧電素子と、
前記素子搭載部材の表面に形成されており、素子搭載領域および引き回し領域を含んでいる金属パターンと、
半田バンプによって前記金属パターンの前記素子搭載領域に電気的に接続されている集積回路素子とを備え、
前記金属パターンが前記素子搭載領域と前記引き回し領域との間に設けられた凸部を有しており、前記凸部の少なくとも表面部分が金属酸化物から成ることを特徴とする圧電装置。 - 前記凸部が素子搭載領域側面を有しており、前記素子搭載領域側面が平面視において複数の凹部を有しており、複数の凹部のそれぞれが平面視において前記引き回し領域の方向へ向かって狭まるように凹んでいることを特徴とする請求項1記載の圧電装置。
- 前記凸部が素子搭載領域側面と引き回し領域側面とを有しており、前記素子搭載領域側面が前記引き回し側面よりも急傾斜であることを特徴とする請求項1記載の圧電装置。
- 前記金属パターンは、前記引き回し領域に設けられた溝部を有していることを特徴とする請求項1記載の圧電装置。
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