JP2009038073A - 密閉容器の蓋開閉システム及び当該システムを用いた基板処理方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】FIMS内部における開口部10周囲にドアの動作範囲を覆い且つ開口部10と対抗する第二の開口部31を有するエンクロージャを配置する。また、該エンクロージャの上部であって開口部10の上辺上にカーテンノズルを配置し、当該カーテンノズルからは開口部の上辺から下辺に向かう方向に沿ってパージガスを供給し且つ当該方向に流れるパージガスが突き当たるエンクロージャ壁に該パージガスがエンクロージャ内部から外部に流出する流出口を設ける。
【選択図】図1
Description
本発明は、以上の背景に鑑み、ポッド解放後においても、ポッド内部における酸素等酸化性の気体の分圧を所定の低いレベルに抑制することを可能とする、密閉容器たるポッドの蓋開閉システムを提供することを目的とする。
Claims (2)
- 被収容物を内部に収容可能であって一面に開口を有する略箱状の本体と、前記本体から分離可能であって前記開口を塞いで前記本体と共に密閉空間を形成する蓋と、を備える収容容器から前記蓋を取り外すことによって前記開口を開放して前記被収容物の挿脱を可能とする、前記蓋の開閉システムであって、
前記収容容器が載置される載置台と、
前記載置台と隣接して配置され、パーティクルが管理されて前記被収容物を搬送する機構が収容される微小空間と、
前記載置台に隣接して前記微小空間の一部を確定する壁に形成されて、前記載置台に載置された前記収容容器における前記開口と正対可能な配置に設けられた略矩形状の第一の開口部と、
前記蓋を保持可能であると共に前記第一の開口部を略閉止可能であり、前記蓋を保持して前記第一の開口部を開放することにより前記開口と前記第一の開口部とを連通させるドアと、
前記第一の開口部と連続して前記微小空間内に配置され、前記ドアの移動空間を覆って第二の微小空間を構成し、且つ前記第一の開口部と前記微小空間とを連通させて前記被収容物を搬送する機構が前記被収容物と共に通過可能な第二の開口部を有するエンクロージャと、
前記エンクロージャの内部であって前記第一の開口部における上辺の上部に配置されて、前記上辺から前記第一の開口部の下辺に向かう方向に沿って所定のガスを供給可能なカーテンノズルと、を有し、
前記エンクロージャは、前記ガスが流れる方向に沿って前記微小空間内に前記ガスが流出可能なガス流出口を有することを特徴とする蓋開閉システム。 - 被収容物を内部に収容可能であって一面に開口を有する略箱状の本体と、前記本体から分離可能であって前記開口を塞いで前記本体と共に密閉空間を形成する蓋と、を備える収容容器から前記蓋を取り外すことによって前記開口を開放して前記被収容物の挿脱を可能として、前記収容容器に対して前記被収容物を挿脱し、前記収容容器外部において前記被収容物に所定の処理を施す被収容物の処理方法であって、
パーティクルが管理された微小空間を構成する壁に設けられた略矩形状の第一の開口部に対して前記開口を正対させて配置し、
前記第一の開口部を略閉鎖するドアによって前記蓋を保持し、
前記蓋を保持した前記ドアを駆動して前記第一の開口部を開放し、
前記開口及び前記第一の開口部を介して前記被収容物の挿脱を行う方法であって、
前記被収容物の挿脱に際して、前記第一の開口部と連続して前記微小空間と連通する第二の開口部を有する第二の微小空間を介することとし、前記第二の微小空間には前記第一の開口部の上辺から下辺に向かう方向に沿って流れる所定のガス流が存在し、前記ガス流は前記第二の微小空間における前記ガス流の突き当たる位置に設けられたガス流出口を介して前記微小空間に流出することを特徴とする基板の処理方法。
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