JP6268425B2 - Efem、ロードポート、ウェーハ搬送方法 - Google Patents
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Description
また、本発明は、ウェーハ搬送室とロードポートとから構成されるEFEMに対して、ロードポートに載置されたパージ対象容器内のウェーハを搬送する方法に関するものであって、ロードポートとして、パージ対象容器の底面に設けられたポート部に接触した状態でポート部のうち供給用に設けられたポート部から窒素又は乾燥空気の何れかからなるパージ用気体をパージ対象容器内に注入可能な注入部、及びパージ対象容器の底面に設けられたポート部に接触した状態でポート部のうち排気用に設けられたポート部からパージ対象容器内の気体を排出する排出部を有するボトムパージ装置を備えたものを適用し、注入部及び排出部を作動させてパージ対象容器内をパージ用気体に置換するボトムパージ工程と、ロードポートの開口部の近傍であって且つ開口部よりもウェーハ搬送室側に寄った位置において開口部の上縁と同一又は前記上縁よりも高い位置から窒素又は乾燥空気の何れかからなるシールドカーテンガスを真下又はパージ対象容器から漸次離れる斜め下方向に吹き出すシールドガスカーテン装置を作動させて、開口部を遮蔽するようにガスカーテンを形成するシールドガスカーテン形成工程と、パージ対象容器内のウェーハをウェーハ搬送室内へ搬送するウェーハ搬送工程とをこの順で経る方法であり、特に、ボトムパージ工程によりパージ対象容器内の水分濃度を所定値まで低下させた時点で、ロードポートのドア部を作動させることによってパージ対象容器の扉を開けて、ロードポートの開口部を介してパージ対象容器の内部空間をウェーハ搬送室の内部空間に連通させるドアオープン工程を実施し、ドアオープン工程の実施時点と同時またはドアオープン工程の実施時点よりも早い時点でシールドガスカーテン装置を作動させることを特徴としている。
また、本発明に係るウェーハ搬送方法では、ウェーハ搬送工程において、注入部及び排出部を作動させて前記パージ対象容器内を前記パージ用気体に置換する前記ボトムパージ工程を行うことが好ましい。
2…ロードポート
23…開口部
25…ボトムパージ装置
3…ウェーハ搬送室
5…パージ対象容器(FOUP)
6、27…シールドガスカーテン装置
Claims (5)
- ウェーハ搬送室と、当該ウェーハ搬送室に隣接して設けたロードポートとによって構成したEFEMであって、
前記ロードポートが、
パージ対象容器の底面に設けられたポート部に接触した状態で前記ポート部のうち供給用に設けられたポート部から窒素又は乾燥空気の何れかからなるパージ用気体を前記パージ対象容器内に注入可能な注入部、及びパージ対象容器の底面に設けられたポート部に接触した状態で前記ポート部のうち排気用に設けられたポート部から前記パージ対象容器内の気体を排出する排出部を有し、且つ前記パージ対象容器内を前記パージ用気体に置換可能なボトムパージ装置を備えたものであり、
前記ボトムパージ装置により前記パージ用気体を供給して少なくとも水分濃度が所定値まで低下した前記パージ対象容器の内部空間を前記ウェーハ搬送室の内部空間に前記ロードポートの開口部を介して連通させた際に、前記開口部の近傍であって且つ前記開口部よりも前記ウェーハ搬送室側に寄った位置において前記開口部の上縁と同一又は前記上縁よりも高い位置から窒素又は乾燥空気の何れかからなるシールドカーテンガスを真下又は前記パージ対象容器から漸次離れる斜め下方向に吹き出すシールドガスカーテン装置をさらに備え、
前記シールドガスカーテン装置から前記開口部を遮蔽するようにガスカーテンを形成して前記パージ対象容器内の水分濃度の上昇を抑制することを特徴とするEFEM。 - ウェーハ搬送室に隣接して設けられるロードポートであって、
パージ対象容器の底面に設けられたポート部に接触した状態で前記ポート部のうち供給用に設けられたポート部から窒素又は乾燥空気の何れかからなるパージ用気体を前記パージ対象容器内に注入可能な注入部、及び前記パージ対象容器の底面に設けられたポート部に接触した状態で前記ポート部のうち排気用に設けられたポート部から前記パージ対象容器内の気体を排出する排出部を有し、且つ前記パージ対象容器内を前記パージ用気体に置換可能なボトムパージ装置と、
前記ボトムパージ装置により前記パージ用気体を供給して少なくとも水分濃度が所定値まで低下した前記パージ対象容器の内部空間を前記ウェーハ搬送室の内部空間に開口部を介して連通させた際に、前記開口部の近傍であって且つ前記開口部よりも前記ウェーハ搬送室側に寄った位置において前記開口部の上縁と同一又は前記上縁よりも高い位置から窒素又は乾燥空気の何れかからなるシールドカーテンガスを真下又は前記パージ対象容器から漸次離れる斜め下方向に吹き出すシールドガスカーテン装置とを備え、
前記シールドガスカーテン装置から前記開口部を遮蔽するようにガスカーテンを形成して前記パージ対象容器内の水分濃度の上昇を抑制することを特徴とするロードポート。 - ウェーハ搬送室とロードポートとから構成されるEFEMに対して、前記ロードポートに載置されたパージ対象容器内のウェーハを搬送する方法であって、
前記ロードポートが、前記パージ対象容器の底面に設けられたポート部に接触した状態で前記ポート部のうち供給用に設けられたポート部から窒素又は乾燥空気の何れかからなるパージ用気体を前記パージ対象容器内に注入可能な注入部、及び前記パージ対象容器の底面に設けられたポート部に接触した状態で前記ポート部のうち排気用に設けられたポート部から前記パージ対象容器内の気体を排出する排出部を有するボトムパージ装置を備えたものであり、
前記注入部及び排出部を作動させて前記パージ対象容器内を前記パージ用気体に置換するボトムパージ工程と、
前記ロードポートの開口部の近傍であって且つ前記開口部よりも前記ウェーハ搬送室側に寄った位置において前記開口部の上縁と同一又は前記上縁よりも高い位置から窒素又は乾燥空気の何れかからなるシールドカーテンガスを真下又は前記パージ対象容器から漸次離れる斜め下方向に吹き出すシールドガスカーテン装置を作動させて、前記開口部を遮蔽するようにガスカーテンを形成するシールドガスカーテン形成工程と、
前記パージ対象容器内のウェーハを前記ウェーハ搬送室内へ搬送するウェーハ搬送工程とをこの順で経て、
前記ボトムパージ工程により前記パージ対象容器内の水分濃度を所定値まで低下させた時点で、前記ロードポートのドア部を作動させることによって前記パージ対象容器の扉を開けて、前記ロードポートの前記開口部を介して前記パージ対象容器の内部空間を前記ウェーハ搬送室の内部空間に連通させるドアオープン工程を実施し、
前記ドアオープン工程の実施時点と同時または前記ドアオープン工程の実施時点よりも早い時点で前記シールドガスカーテン装置を作動させることを特徴とするウェーハ搬送方法。 - 前記ボトムパージ工程において前記パージ対象容器内の水分濃度を、予め把握可能な前記ドアオープン工程実施時点以降における前記パージ対象容器内の水分濃度の上昇ピーク値まで低下させた時点で、前記シールドガスカーテン装置を作動させる請求項3に記載のウェーハ搬送方法。
- 前記ウェーハ搬送工程において、前記注入部及び前記排出部を作動させて前記パージ対象容器内を前記パージ用気体に置換する前記ボトムパージ工程を行う請求項3または4に記載のウェーハ搬送方法。
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