JP2015165604A - パージノズル - Google Patents
パージノズル Download PDFInfo
- Publication number
- JP2015165604A JP2015165604A JP2015128233A JP2015128233A JP2015165604A JP 2015165604 A JP2015165604 A JP 2015165604A JP 2015128233 A JP2015128233 A JP 2015128233A JP 2015128233 A JP2015128233 A JP 2015128233A JP 2015165604 A JP2015165604 A JP 2015165604A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- purge
- opening
- purge nozzle
- gas
- pod
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
【解決手段】ロードポート装置にポッドを載置した状態においてポッド開口の両側部であって、パージガス噴出し用の各々スリットがポッド中心に対して左右対称となるように一対のパージノズルを配し、更に該スリットの延在方向においてポッド内の最下段に配置されるウエハの位置とポッド開口の下辺の位置との間に該スリットの下端を配置する。
【選択図】図5
Description
ガス供給配管より前記パージガスが供給される第1のパージノズル室と、
前記第1のパージノズル室と連通路を介して連通されて前記パージガスを前記開口部に向けて吹出すスリットを有する第2のパージノズル室と、
前記連通路に配置されて前記第1のパージノズル室から前記第2のパージノズル室に流れる前記パージガスの流速及び流量を制御するパージノズル室用フィルタと、を有することを特徴とする。
ガス供給配管より前記パージガスが供給される第1のパージノズル室と、
前記第1のパージノズル室と連通路を介して連通されて前記パージガスを前記開口部に向けて吹出すスリットを有する第2のパージノズル室と、
前記スリットに配置されて前記第2のパージノズル室から前記開口部に流れる前記パージガスの流速及び流量を制御するパージノズル用フィルタと、
を有することを特徴とする。
なお、前述したパージノズルにあっては、前記パージノズル用フィルタの圧損は前記連通路で生じる圧損よりも大きいことが好ましい。
また、上述した各々のパージノズルにおいて、微小空間を外部空間から分離する壁の一部を構成するサイドプレートと前記サイドプレートが有する開口部を閉鎖可能なドアとを有し、被収容物が収容される密閉容器の開口を前記開口部と対向させるとともに、前記開口に取付けられる蓋を前記ドアが保持して前記密閉容器を開閉することにより前記開口を介して前記密閉容器内部へのガスの供給を行うガスパージ装置に設けられることがより好ましい。
Claims (7)
- 密閉容器の開口部を介して前記密閉容器の内部へパージガスを供給するパージノズルであって、
ガス供給配管より前記パージガスが供給される第1のパージノズル室と、
前記第1のパージノズル室と連通路を介して連通されて前記パージガスを前記開口部に向けて吹出すスリットを有する第2のパージノズル室と、
前記連通路に配置されて前記第1のパージノズル室から前記第2のパージノズル室に流れる前記パージガスの流速及び流量を制御するパージノズル室用フィルタと、
を有することを特徴とするパージノズル。 - 前記スリットに配置されるパージノズル用フィルタを有することを特徴とする請求項1記載のパージノズル。
- 前記パージノズル用フィルタの圧損は前記パージノズル室用フィルタの圧損よりも大きいことを特徴とする請求項2記載のパージノズル。
- 前記ガス供給配管は前記第1のパージノズル室と平行に延在し、前記ガス供給配管の延在方向の途中にて前記延在方向とは異なる方向から前記第1のパージノズル室に前記パージガスを供給することを特徴とする請求項1乃至3の何れか一項に記載のパージノズル。
- 密閉容器の開口部を介して前記密閉容器の内部へパージガスを供給するパージノズルであって、
ガス供給配管より前記パージガスが供給される第1のパージノズル室と、
前記第1のパージノズル室と連通路を介して連通されて前記パージガスを前記開口部に向けて吹出すスリットを有する第2のパージノズル室と、
前記スリットに配置されて前記第2のパージノズル室から前記開口部に流れる前記パージガスの流速及び流量を制御するパージノズル用フィルタと、
を有することを特徴とするパージノズル。 - 前記パージノズル用フィルタの圧損は前記連通路で生じる圧損よりも大きいことを特徴とする請求項5記載のパージノズル。
- 微小空間を外部空間から分離する壁の一部を構成するサイドプレートと前記サイドプレートが有する開口部を閉鎖可能なドアとを有し、被収容物が収容される密閉容器の開口を前記開口部と対向させるとともに、前記開口に取付けられる蓋を前記ドアが保持して前記密閉容器を開閉することにより前記開口を介して前記密閉容器内部へのガスの供給を行うガスパージ装置に設けられる、請求項1乃至6の何れか一項に記載のパージノズル。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015128233A JP6048770B2 (ja) | 2015-06-26 | 2015-06-26 | パージノズル |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015128233A JP6048770B2 (ja) | 2015-06-26 | 2015-06-26 | パージノズル |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012012731A Division JP5842628B2 (ja) | 2012-01-25 | 2012-01-25 | ガスパージ装置及び該ガスパージ装置を有するロードポート装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015165604A true JP2015165604A (ja) | 2015-09-17 |
JP6048770B2 JP6048770B2 (ja) | 2016-12-21 |
Family
ID=54187944
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015128233A Active JP6048770B2 (ja) | 2015-06-26 | 2015-06-26 | パージノズル |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6048770B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN108987319A (zh) * | 2017-05-31 | 2018-12-11 | Tdk株式会社 | Efem及向efem导入置换气体的方法 |
CN116271886A (zh) * | 2023-04-12 | 2023-06-23 | 山东鲁力药化设备制造安装有限公司 | 喷雾干燥机 |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10223719A (ja) * | 1996-12-06 | 1998-08-21 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板搬送装置、基板処理装置および基板搬送方法 |
JP2003332402A (ja) * | 2002-05-10 | 2003-11-21 | Kondo Kogyo Kk | ミニエンバライメント方式の半導体製造装置 |
JP2004235516A (ja) * | 2003-01-31 | 2004-08-19 | Trecenti Technologies Inc | ウエハ収納治具のパージ方法、ロードポートおよび半導体装置の製造方法 |
US20040182472A1 (en) * | 2003-03-20 | 2004-09-23 | Ravinder Aggarwal | Front opening unified pod |
WO2005101484A1 (ja) * | 2004-04-07 | 2005-10-27 | Right Mfg Co. Ltd. | 基板収納容器の雰囲気置換ポート接続装置 |
JP2005310809A (ja) * | 2004-04-16 | 2005-11-04 | Kondo Kogyo Kk | ミニエンバライメント方式の半導体製造装置 |
JP2009038073A (ja) * | 2007-07-31 | 2009-02-19 | Tdk Corp | 密閉容器の蓋開閉システム及び当該システムを用いた基板処理方法 |
JP2010270823A (ja) * | 2009-05-21 | 2010-12-02 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | パージバルブ及び基板収納容器 |
JP2011061156A (ja) * | 2009-09-14 | 2011-03-24 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 基板処理装置、ガス導入装置、及び半導体装置の製造方法 |
-
2015
- 2015-06-26 JP JP2015128233A patent/JP6048770B2/ja active Active
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10223719A (ja) * | 1996-12-06 | 1998-08-21 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板搬送装置、基板処理装置および基板搬送方法 |
JP2003332402A (ja) * | 2002-05-10 | 2003-11-21 | Kondo Kogyo Kk | ミニエンバライメント方式の半導体製造装置 |
JP2004235516A (ja) * | 2003-01-31 | 2004-08-19 | Trecenti Technologies Inc | ウエハ収納治具のパージ方法、ロードポートおよび半導体装置の製造方法 |
US20040182472A1 (en) * | 2003-03-20 | 2004-09-23 | Ravinder Aggarwal | Front opening unified pod |
WO2005101484A1 (ja) * | 2004-04-07 | 2005-10-27 | Right Mfg Co. Ltd. | 基板収納容器の雰囲気置換ポート接続装置 |
JP2005310809A (ja) * | 2004-04-16 | 2005-11-04 | Kondo Kogyo Kk | ミニエンバライメント方式の半導体製造装置 |
JP2009038073A (ja) * | 2007-07-31 | 2009-02-19 | Tdk Corp | 密閉容器の蓋開閉システム及び当該システムを用いた基板処理方法 |
JP2010270823A (ja) * | 2009-05-21 | 2010-12-02 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | パージバルブ及び基板収納容器 |
JP2011061156A (ja) * | 2009-09-14 | 2011-03-24 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 基板処理装置、ガス導入装置、及び半導体装置の製造方法 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN108987319A (zh) * | 2017-05-31 | 2018-12-11 | Tdk株式会社 | Efem及向efem导入置换气体的方法 |
CN108987319B (zh) * | 2017-05-31 | 2023-08-15 | Tdk株式会社 | Efem及向efem导入置换气体的方法 |
CN116271886A (zh) * | 2023-04-12 | 2023-06-23 | 山东鲁力药化设备制造安装有限公司 | 喷雾干燥机 |
CN116271886B (zh) * | 2023-04-12 | 2024-02-23 | 山东鲁力药化设备制造安装有限公司 | 喷雾干燥机 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6048770B2 (ja) | 2016-12-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5842628B2 (ja) | ガスパージ装置及び該ガスパージ装置を有するロードポート装置 | |
JP5494734B2 (ja) | パージ装置及び該パージ装置を有するロードポート装置 | |
KR101030884B1 (ko) | 닫힘 용기용 덮개 개폐 시스템 및 이를 이용한 기재 처리방법 | |
JP6217977B2 (ja) | ポッド、及び該ポッドを用いたパージシステム | |
JP6782342B2 (ja) | ウェハー収納容器 | |
JP6198043B2 (ja) | ロードポートユニット及びefemシステム | |
US11446713B2 (en) | Gas purge unit and load port apparatus | |
JP6287515B2 (ja) | Efemシステム及び蓋開閉方法 | |
JP5370785B2 (ja) | ロードポート装置 | |
JP2017005283A (ja) | Efemシステム | |
JP6226190B2 (ja) | パージシステム、及び該パージシステムに供せられるポッド及びロードポート装置 | |
JP2015142008A (ja) | ロードポート装置 | |
JP6048770B2 (ja) | パージノズル | |
JPH11251422A (ja) | ウェーハ収納容器 | |
JP2015162532A (ja) | ポッド、及び該ポッドを用いたパージシステム | |
JP5998640B2 (ja) | ロードポート装置 | |
JP7087357B2 (ja) | ポッド及びパージ装置 | |
JP2017228678A (ja) | ガスパージユニット及びロードポート装置 | |
JP6390425B2 (ja) | ガスパージユニット | |
JP6390424B2 (ja) | ガスパージユニット | |
US10784131B2 (en) | EFEM, equipment front end module | |
JP2017216383A (ja) | ガスパージノズル及びフロントパージユニット | |
JP2020150283A (ja) | ガスパージユニット及びロードポート装置 | |
JP2021005728A (ja) | ガスパージノズル及びフロントパージユニット |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20150630 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20160422 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160426 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160624 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20161027 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20161109 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6048770 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |