JPWO2015005192A1 - 基板処理装置、半導体装置の製造方法、及び異常処理プログラム - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (12)
- 基板を処理する処理室と、 基板を収納するキャリアを載置し、前記載置したキャリアのドアを開けた状態で前記キャリアにおいて基板が出し入れ可能であるキャリア載置部と、 前記キャリア載置部に載置された前記キャリアのドアを開閉するキャリアオープナと、 前記ドアを開けられた前記キャリア内へ不活性ガスを供給するパージガス供給部と、 前記キャリアが前記キャリアオープナにより前記ドアを開けられた後の所定時間、前記パージガス供給部から前記キャリア内へ不活性ガスを供給する不活性ガスパージであるロードパージと、前記処理室で処理された基板が前記キャリア内へ収容された後、前記ドアが閉じられる前の所定時間、前記パージガス供給部から前記キャリア内へ不活性ガスを供給する不活性ガスパージであるアンロードパージと、前記ロードパージの時間帯と前記アンロードパージの時間帯との間の待機時間帯において前記パージガス供給部から前記キャリア内へ不活性ガスを供給する不活性ガスパージである待機パージのうち、少なくとも1つの不活性ガスパージを実施するよう制御する制御部と、 を備える基板処理装置。
- 基板を収納するキャリアのドアを開けるドア開放工程と、 前記ドア開放工程で前記ドアを開けられた後の所定時間、前記キャリア内へ不活性ガスを供給する不活性ガスパージであるロードパージと、処理された基板が前記キャリア内へ収容された後、前記ドアが閉じられる前の所定時間、前記キャリア内へ不活性ガスを供給する不活性ガスパージであるアンロードパージと、前記ロードパージの時間帯と前記アンロードパージの時間帯との間の待機時間帯において前記キャリア内へ不活性ガスを供給する不活性ガスパージである待機パージのうち、少なくとも1つの不活性ガスパージを指定する指定工程と、 前記指定工程で選択された不活性ガスパージを実施することにより、前記キャリア内へ不活性ガスを供給する供給工程と、 を有するガスパージ方法。
- 基板を収納するキャリアのドアを開けるドア開放工程と、 前記ドア開放工程で前記ドアを開けられた後の所定時間、前記キャリア内へ不活性ガスを供給する不活性ガスパージであるロードパージと、基板処理を行う処理室で処理された基板が前記キャリア内へ収納された後、前記ドアが閉じられる前の所定時間、前記キャリア内へ不活性ガスを供給する不活性ガスパージであるアンロードパージと、前記ロードパージの時間帯と前記アンロードパージの時間帯との間の待機時間帯において前記キャリア内へ不活性ガスを供給する不活性ガスパージである待機パージのうち、少なくとも1つの不活性ガスパージを指定する指定工程と、 前記指定工程で選択された不活性ガスパージを実行することにより、前記キャリア内へ不活性ガスを供給する供給工程と、 前記キャリアから前記処理室へ基板を搬入し、前記処理室内で前記基板を処理する処理工程と、 前記処理された基板を前記処理室内から搬出し、前記キャリア内へ収納する基板収納工程と、 を有する半導体装置の製造方法。
- 基板を収納するキャリアのドアが開けられた後の所定時間、前記キャリア内へ不活性ガスを供給する不活性ガスパージであるロードパージと、処理された基板が前記キャリア内へ収容された後、前記ドアが閉じられる前の所定時間、前記キャリア内へ不活性ガスを供給する不活性ガスパージであるアンロードパージと、前記ロードパージの時間帯と前記アンロードパージの時間帯との間の待機時間帯において前記キャリア内へ不活性ガスを供給する不活性ガスパージである待機パージのうち、少なくとも1つの不活性ガスパージを指定する指定ステップと、 前記指定工程で指定された不活性ガスパージを実施することにより、前記キャリア内へ、パージガス供給管から不活性ガスを供給する供給ステップと、 前記供給ステップにおいて、前記パージガス供給管に設けられた圧力センサにより前記パージガス供給管内のガスの圧力を検知し、前記パージガス供給管に設けられた流量計により前記パージガス供給管内のガスの流量を測定するステップと、 前記圧力センサで検知した圧力が所定の閾値を外れるか、又は前記流量計で測定した流量が所定の閾値を外れると異常であると判定する異常判定ステップと、 を有する異常処理プログラムが格納された記録媒体。
- 前記パージガス供給部は、前記キャリア載置部に載置された前記キャリア内へ前記パージガスを供給するパージガス供給管を有し、前記パージガス供給管には、前記パージガス供給管内のガスの圧力を検知する圧力センサと、前記パージガス供給管内のガスの流量を測定する流量計とが設けられ、 前記制御部は、前記圧力センサで検知した圧力が所定の閾値を外れるか、又は前記流量計で測定した流量が所定の閾値を外れると、前記パージガス供給部が異常であると判定する請求項1記載の基板処理装置。
- さらに、前記キャリア載置部に載置された前記キャリアに対して前記不活性ガスパージを実施可能とするか否かを設定するパージスイッチを、前記キャリア載置部毎に備え、 前記制御部は、前記パージスイッチがOFFに設定されている場合、又は、前記不活性ガスパージを実施するうえで障害となる外部インターロックが発生した場合、前記パージガス供給部が異常であると判定する請求項1記載の基板処理装置。
- 前記制御部は、前記不活性ガスパージを実施中でない状態において前記圧力センサで検知した圧力が所定の閾値を外れると、前記パージガス供給部が異常であると判定する請求項5記載の基板処理装置。
- 前記制御部は、前記不活性ガスパージを実施中である状態において前記圧力センサで検知した圧力が所定の閾値を外れ、前記流量計で測定した流量が所定の閾値を外れると、前記パージガス供給部が異常であると判定する請求項5記載の基板処理装置。
- 前記制御部は、前記パージガス供給部が異常であると判定した場合は、該異常であると判定された前記パージガス供給部に接続された前記キャリア載置部に載置された前記キャリア内の基板について、前記処理室での処理をさせないメンテナンスモードに移行する請求項1記載の基板処理装置。
- 前記制御部は、前記不活性ガスパージを実施中において前記パージガス供給部が異常であると判定した場合は、該異常であると判定された前記パージガス供給部に接続された前記キャリア載置部に載置された前記キャリアのドアを閉じて、前記ドアが閉じられたキャリアを前記キャリア載置部から払い出し可能とする請求項1記載の基板処理装置。
- さらに、前記キャリアオープナを介して前記キャリア載置部に隣接して設けられ、大気雰囲気において基板を搬送する基板搬送機を有する大気圧搬送室を備え、前記制御部は、前記ロードパージと前記アンロードパージと前記待機パージの全てを実施するよう制御する請求項1記載の基板処理装置。
- さらに、操作表示部を備え、 前記操作表示部において、前記処理室での処理をさせないメンテナンスモードへ移行させるメンテナンスモード移行指示と、前記処理室での処理をさせる非メンテナンスモードへ移行させる非メンテナンスモード移行指示とを受け付け可能であり、 前記制御部は、前記操作表示部で前記メンテナンスモード移行指示を受け付けた場合は、メンテナンスモードへ移行し、前記操作表示部で前記非メンテナンスモード移行指示を受け付けた場合は、非メンテナンスモードへ移行する請求項1記載の基板処理装置。
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