KR101361545B1 - 링크바를 통해 포트도어가 개폐되는 도어개폐장치 - Google Patents

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KR101361545B1 KR1020130032627A KR20130032627A KR101361545B1 KR 101361545 B1 KR101361545 B1 KR 101361545B1 KR 1020130032627 A KR1020130032627 A KR 1020130032627A KR 20130032627 A KR20130032627 A KR 20130032627A KR 101361545 B1 KR101361545 B1 KR 101361545B1
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Abstract

본 발명의 특징에 따르면, 본 발명은 웨이퍼가 수납되고 이송되는 수납포트를 밀폐하고 개방하여 웨이퍼를 이송할 수 있도록 상하로 구동되는 포트도어에 부착되는 도어개폐장치에 있어서, 제1케이스, 제1캠팔로우가 형성된 상단과 상기 제1케이스의 내부에 힌지결합되는 중단 및 제2캠팔로우가 형성된 하단을 포함하는 링크바, 상기 제1캠팔로우가 상하이동 및 회동 가능하도록 형성된 제1캠, 상기 제1캠과 결합하고 포트도어와 결합되는 도어연결부, 상기 제2캠팔로우가 상하이동 및 회동 가능하도록 형성된 제2캠, 상기 제2캠과 결합하고 전진 및 후퇴하는 실린더를 통해 상기 도어연결부를 이동시키는 실린더부, 외측으로 돌출되어 형성되고, 상기 제1케이스 양측에 고정되는 제1가이드부 및 상기 제1가이드부에 슬라이딩 결합되며, 상기 도어연결부에 결합되는 제2가이드부를 포함하는 전후이동부; 및 상기 제1케이스를 고정하고, 상기 제1케이스를 상하로 이동시키는 상하이동부;를 포함하는 링크바를 통해 포트도어가 개폐되는 도어개폐장치에 관한 것이다. 이에 따르면, 이단을 기준으로 일정각도 기울어진 링크바의 상측에 연결된 포트도어가 상기 링크바의 하측에 연결된 실린더에서 개폐되는 링크바를 통해 포트도어가 개폐되는 도어개폐장치를 제공할 수 있다.

Description

링크바를 통해 포트도어가 개폐되는 도어개폐장치{.}
본 발명은 링크바를 통해 포트도어가 개폐되는 도어개폐장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 이단을 기준으로 일정각도 기울어진 링크바의 상측에 연결된 포트도어가 상기 링크바의 하측에 연결된 실린더에서 개폐되는 링크바를 통해 포트도어가 개폐되는 도어개폐장치에 관한 것이다.
본 발명은 반도체 웨이퍼의 생산/검사장비내에 설치되어, 포트에 적재된 카세트의 도어를 개폐시키는 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 웨이퍼의 생산/검사장비 내에는, 도1에 도시된 바와 같이 다수의 반도체 웨이퍼가 수납된 카세트가 적재되는 수납포트를 포함되어 있다.
상기 카세트가 수납포트에 적재된 경우, 상기 카세트 내의 반도체 웨이퍼에 소정의 공정을 수행하기 위해서는, 상기 카세트의 포트도어를 개방시켜야 한다.
이에 따라, 상기 수납포트에는 카세트의 포트도어에 대향되는 소정의 개구부가 형성되며, 그 후방에는 상하이동되면서 상기 개구부를 통해 카세트의 도어를 개폐 및 이동시키는 반도체 웨이퍼 카세트의 도어 개폐장치가 설치되어 있다.
기존의 반도체 웨이퍼 카세트의 도어개폐장치는 상기 수납포트의 개구부를 개방하기 위해 포트도어를 소정각도만큼(약 15°정도) 후방으로 회동된 후에 하향이동되었었다.
한편, 상기 수납포트를 밀폐시킬 경우에는, 상기 포트도어가 경사진 상태로 상측으로 이동된 후, 다시 전방으로 회동되어 상기 수납포트의 개구부를 밀폐시키도록 되어 있다.
그러나, 상기한 바와 같은 종래의 반도체 웨이퍼 카세트의 도어 개폐장치는, 포트도어의 개폐시, 포트도어가 소정각도만큼 회동되어야 하므로, 상기 회동시 발생하는 기류에 의해 이물질이 카세트 내로 침입하여 반도체 웨이퍼에 치명적인손상을 입히는 문제점이 있었다.
또한, 상기 포트도어의 개폐시, 포트도어가 소정각도만큼 회동되므로, 상기 회동에 의해 포트도어가 수납포트의 개구부에 대해 소정각도로 기울어지게 되어 도어의 정확한 개폐가 곤란하고, 작업공간을 많이 차지하는 등의 문제점이 있었다.
상술한 바와 같은 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 본 발명의 목적은, 이단을 기준으로 일정각도 기울어진 링크바의 상측에 연결된 포트도어가 상기 링크바의 하측에 연결된 실린더에서 개폐되는 링크바를 통해 포트도어가 개폐되는 도어개폐장치를 제공하기 위함이다.
또한, 본 발명의 다른 목적은, 웨이퍼 이송이 편리하도록 포트도어를 개폐시키고, 개폐된 포트도어를 상하로 이동시켜 작업공간을 최소화시키는 링크바를 통해 포트도어가 개폐되는 도어개폐장치를 제공하기 위함이다.
또한, 본 발명의 다른 목적은, 구조를 단순화하여 개폐장치의 고장을 최소화하고, 상기 수납포트의 외측에 설치되어 수리가 용이하게 형성된 링크바를 통해 포트도어가 개폐되는 도어개폐장치를 제공하기 위함이다.
상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 특징에 따르면, 본 발명은, 웨이퍼가 수납되고 이송되는 수납포트를 밀폐하고 개방하여 웨이퍼를 이송할 수 있도록 상하로 구동되는 포트도어에 부착되는 도어개폐장치에 있어서, 제1케이스, 제1캠팔로우가 형성된 상단과 상기 제1케이스의 내부에 힌지결합되는 중단 및 제2캠팔로우가 형성된 하단을 포함하는 링크바, 상기 제1캠팔로우가 상하이동 및 회동 가능하도록 형성된 제1캠, 상기 제1캠과 결합하고 포트도어와 결합되는 도어연결부, 상기 제2캠팔로우가 상하이동 및 회동 가능하도록 형성된 제2캠, 상기 제2캠과 결합하고 전진 및 후퇴하는 실린더를 통해 상기 도어연결부를 이동시키는 실린더부, 외측으로 돌출되어 형성되고, 상기 제1케이스 양측에 고정되는 제1가이드부 및 상기 제1가이드부에 슬라이딩 결합되며, 상기 도어연결부에 결합되는 제2가이드부를 포함하는 전후이동부; 및 상기 제1케이스를 고정하고, 상기 제1케이스를 상하로 이동시키는 상하이동부;를 포함한다.
또한, 상기 상하이동부는, 제2케이스; 상기 제1케이스의 일측에 결합되는 제1케이스고정부; 상기 제1케이스의 타측에 결합되는 제2케이스고정부; 상기 제2케이스에 형성되고, 상기 제1케이스고정부 및 제1케이스고정부와 결합하며, 제2케이스고정부를 상하로 이동시키는 이동부; 및 상기 제2케이스에 형성되고, 상기 제2케이스고정부가 상하이동 가능하도록 결합하며, 상기 제1케이스의 상하이동시 상기 제1케이스가 흔들리지 않도록 균형을 잡아주는 완충부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 링크바는, 상기 중단을 기준으로 상기 상단이 상기 포트도어 방향으로 일정각도 기울어져 형성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 제1가이드부는, 상기 도어연결부에 고정되는 제1고정부재 및 상기 제1고정부재에 슬라이딩 결합되는 제1이동부재를 포함하는 것을 특징으로 하고, 상기 제2가이드부는, 상기 제2가이드부에 고정되는 제2고정부재; 및 제2고정부재에 슬라이딩 결합되고, 상기 제1이동부재에 슬라이딩 결합되는 제2이동부재;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 제1캠팔로우는, 상기 링크바의 양측면에 돌출되어 형성되는 것을 특징으로 하고, 상기 제1캠은, 상기 제1캠팔로우가 결합되는 양측에 형성되고, 상기 제1캠팔로우가 상하이동이 가능하도록 장공형태로 되어있는 제1캠결합공;을 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 제2캠팔로우는, 상기 링크바의 양측면에 돌출되어 형성되는 것을 특징으로 하고, 상기 제2캠은, 상기 제2캠팔로우가 결합되는 양측에 형성되고, 상기 제2캠팔로우가 상하이동이 가능하도록 장공형태로 되어있는 제2캠결합공;을 포함하는 것을 특징으로 한다.
이상 살펴본 바와 같은 본 발명에 따르면, 이단을 기준으로 일정각도 기울어진 링크바의 상측에 연결된 포트도어가 상기 링크바의 하측에 연결된 실린더에서 개폐되는 링크바를 통해 포트도어가 개폐되는 도어개폐장치를 제공할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 웨이퍼 이송이 편리하도록 포트도어를 개폐시키고, 개폐된 포트도어를 상하로 이동시켜 작업공간을 최소화시키는 링크바를 통해 포트도어가 개폐되는 도어개폐장치를 제공할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 구조를 단순화하여 개폐장치의 고장을 최소화하고, 상기 수납포트의 외측에 설치되어 수리가 용이하게 형성된 링크바를 통해 포트도어가 개폐되는 도어개폐장치를 제공할 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 매핑장치를 나타낸 분해사시도
도 2은 본 발명의 실시예에 따른 매핑장치가 클로즈된 상태를 나타낸 사시도
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 매핑장치가 오픈된 상태를 나타낸 사시도
도 4은 본 발명의 실시예에 따른 매핑장치가 클로즈된 상태를 나타낸 저면도
도 5은 본 발명의 실시예에 따른 매핑장치가 오픈된 상태를 나타낸 저면도
도 6 내지 도7은 본 발명의 실시예에 도어개폐장치를 나타낸 사시도
도 8은 본 발명의 실시예에 따른 도어개폐장치를 나타낸 분해사시도
도 9는 본 발명의 실시예에 따른 도어개폐장치의 전후이동부를 나타낸 사시도
도 10은 본 발명의 실시예에 따른 도어개폐장치의 전후이동부를 나타낸 투과측면도
도 11은 본 발명의 실시예에 따른 도어개폐장치의 전후이동부를 나타낸 사시도
도 12는 본 발명의 실시예에 따른 도어개폐장치의 전후이동부를 나타낸 분해사시도
도 13은 본 발명의 실시예에 따른 도어개폐장치의 상하이동부를 나타낸 사시도
도 14는 본 발명의 실시예에 따른 도어개폐장치의 상하이동부를 나타낸 분해사시도
도 15는 본 발명의 실시예에 따른 도어개폐장치의 개폐동작을 나타낸 측면도
도 16은 본 발명의 실시예에 따른 도어개폐장치를 나타낸 배면사시도
도 17은 본 발명의 실시예에 따른 도어개폐장치의 도어개폐부와 가이드부재의 동작을 나타낸 배면사시도
도 18은 본 발명의 실시예에 따른 매핑장치와 도어개폐장치의 제공방법을 나타낸 순서도
도 19a 내지 도 19b는 본 발명의 실시예에 따른 준비상태를 나타낸 측면도 및 투과평면도
도 20a 내지 도 20b는 본 발명의 실시예에 따른 포트도어가 오픈된 상태를 나타낸 측면도 및 투과평면도
도 21a 내지 도 21b는 본 발명의 실시예에 따른 포트도어가 매핑시작위치에 도달된 상태를 나타낸 측면도 및 투과평면도
도 22a 내지 도 22b는 본 발명의 실시예에 따른 매핑바가 오픈된 상태를 나타낸 측면도 및 투과평면도
도 23a 내지 도 23b는 본 발명의 실시예에 따른 포트도어가 매핑종료위치에 도달된 상태를 나타낸 측면도 및 투과평면도
도 24a 내지 도 24b는 본 발명의 실시예에 따른 매핑바가 클로즈된 상태를 나타낸 측면도 및 투과평면도
도 25a 내지 도 25b는 본 발명의 실시예에 따른 매핑이 완료된 상태를 나타낸 측면도 및 투과평면도이다.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.
이하, 본 발명의 실시예들에 의하여 링크바를 통해 포트도어가 개폐되는 도어개폐장치를 설명하기 위한 도면들을 참고하여 본 발명에 대해 설명하도록 한다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 매핑장치를 나타낸 분해사시도이고, 도 2은 본 발명의 실시예에 따른 매핑장치가 클로즈된 상태를 나타낸 사시도이며, 도 3은 본 발명의 실시예에 따른 매핑장치가 오픈된 상태를 나타낸 사시도이고, 도 4은 본 발명의 실시예에 따른 매핑장치가 클로즈된 상태를 나타낸 저면도이며, 도 5은 본 발명의 실시예에 따른 매핑장치가 오픈된 상태를 나타낸 저면도이다.
도 1 내지 도 5를 참고하면, 본 발명인 링크바를 통해 포트도어가 개폐되는 도어개폐장치(200)는 매핑센서(110), 매핑바(120), 제1실린더(140), 결합부(150)를 포함한다.
여기서, 매핑센서(110)는 송신기(112)와 수신기(114)를 포함한다.
그리고, 매핑센서(110)는, 상기 송신기(112)에서 신호를 방출하고, 상기 수신기(114)는 상기 신호를 감지하여 상기 수신기(114)의 신호감지 여부에 따라 웨이퍼의 존재 유무를 검출한다.
또한, 매핑바(120)는, 상기 매핑센서(110)의 송신기(112)와 수신기(114)가 각각 양측에 대향되게 형성된다.
그리고, 이송부재(130)는, 일측이 상기 매핑바(120)에 회동가능하게 하나 이상 설치된다.
또한, 이송부재(130)는 두개가 형성되는 것이 바람직하고, 각 이송부재(130)의 타측이 결합부(150)에 관통형성되어 회동가능하게 형성되며, 제1이송부재(130a)의 타측에는 회동휠(132)이 형성되고, 제2이송부재(130b)의 타측에는 센서휠(134)이 형성되는 것이 바람직하다.
그리고, 제1실린더(140)는, 상기 이송부재(130)에 고정된 회동휠(132)과 일측이 연결되고, 타측이 상기 결합부(150)와 회동가능하게 결합되며, 제1실린더(140)의 전진 후퇴를 통해 회동휠(132)을 회동하여 상기 매핑바(120)를 이송시킨다.
따라서, 제1실린더(140)는 결합부(150)에 회동가능하게 고정되며 전진과 후퇴시 회동휠(132)을 회동하여 이송부재(130)를 회동시키고 이송부재(130)의 회동에 따라 매핑바(120)를 이송시킨다.
여기서, 제1실린더(140)는 포트도어(300)가 매핑시작위치로 이동시 전진하여 고정되며, 포트도어(300)가 매핑종료 위치로 이동되면 제1실린더(140)가 후퇴하여 고정된다.
제1실린더(140)의 전진에 따라 매핑바(120)에 형성된 매핑센서(110)가 웨이퍼의 존재유무 검출을 시작하며, 제1실린더(140)의 후퇴에 따라 웨이퍼의 존재유무 검출을 마감한다.
그리고, 결합부(150)는, 회동반경제한부재(160a,b) 및 회동감지센서를 포함한다.
또한, 결합부(150)는, 상기 이송부재(130) 및 제1실린더(140)가 회동가능하게 고정되고, 상기 포트도어(300)에 결합된다.
그리고, 결합부(150)에 포함된 회동반경제한부재(160a,b)는, 상기 제1실린더(140)의 전진과 후퇴를 제한하여 회동휠(132)의 회동반경을 제한한다.
상기 회동반경제한부재(160a,b)는, 제1실린더(140)의 전진시 회동되는 회동휠(132)을 회동반경을 제한하고, 제1실린더(140)의 후퇴시 회동되는 회동휠(132)의 회동반경을 제한하도록 두개가 설치되는 것이 바람지하다.
또한, 회동감지센서는, 상기 제1실린더(140)의 전진 후퇴를 감지한다.
여기서, 회동감지센서는 센서휠(134), 제1센서(136) 및 제2센서(138)를 포함한다.
센서휠(134)은, 상기 이송부재(130)와 결합되되, 결합면의 일면 또는 타면에 위치하는 것이 바람직하다.
그리고, 상기 센서휠(134)은, 상기 제1실린더(140)의 전진시 상기 제1센서(136)와 접촉하고, 상기 제1실린더(140)의 후퇴시 상기 제2센서(138)와 접촉하는 것을 특징으로 한다.
따라서, 센서휠(134)은 부채꼴 형상으로 형성되어 일정 각도 이상 회동되어 제1실린더(140)의 전진과 후진시 매핑바(120)가 제 위치에 도달 하였을때, 제1센서(136) 또는 제2센서(138)와 접촉하는 것이 바람직하다.
제1센서(136)는, 상기 제1실린더(140)의 전진시, 상기 센서휠(134)에 접촉되도록 결합부(150)에 형성된다.
제2센서(138)는, 상기 제1실린더(140)의 후퇴시, 상기 센서휠(134)에 접촉되도록 결합부(150)에 형성된다.
도 6 내지 도7은 본 발명의 실시예에 도어개폐장치를 나타낸 사시도이고, 도 8은 본 발명의 실시예에 따른 도어개폐장치를 나타낸 분해사시도이며, 도 9는 본 발명의 실시예에 따른 도어개폐장치의 전후이동부를 나타낸 사시도이고, 도 10은 본 발명의 실시예에 따른 도어개폐장치의 전후이동부를 나타낸 투과측면도이며, 도 11은 본 발명의 실시예에 따른 도어개폐장치의 전후이동부를 나타낸 사시도이고, 도 12는 본 발명의 실시예에 따른 도어개폐장치의 전후이동부를 나타낸 분해사시도이며, 도 13은 본 발명의 실시예에 따른 도어개폐장치의 상하이동부를 나타낸 사시도이고, 도 14는 본 발명의 실시예에 따른 도어개폐장치의 상하이동부를 나타낸 분해사시도이며, 도 15는 본 발명의 실시예에 따른 도어개폐장치의 개폐동작을 나타낸 측면도이고, 도 16은 본 발명의 실시예에 따른 도어개폐장치를 나타낸 배면사시도이며, 도 17은 본 발명의 실시예에 따른 도어개폐장치의 도어개폐부와 가이드부재의 동작을 나타낸 배면사시도이다.
도 6 내지 도 17을 참고하면, 본 발명인 링크바를 통해 포트도어가 개폐되는 도어개폐장치(200)는 전후이동부(210) 및 상하이동부(260)를 포함한다.
여기서, 전후이동부(210)는, 상기 실린더부(250)에 포함된 실린더가 전진하면 상기 도어연결부(235)에 결합된 포트도어(300)가 오픈되고, 상기 실린더부(250)에 포함된 실린더가 후퇴하면 상기 도어연결부(235)에 결합된 포트도어(300)가 클로징된다.
제1가이드부(214)는, 상기 전후이동부(210)는, 외측으로 돌출되어 형성되고, 상기 제1케이스(212) 양측에 고정된다.
상기 제1가이드부(214)는, 상기 제1케이스(212)에 고정되는 제1고정부재(215) 및 상기 제1고정부재(215)에 슬라이딩 결합되는 제1이동부재(216)를 포함한다.
상기 제2가이드부(236)는, 상기 제1가이드부(214)에 평행이송 가능하게 결합된다.
제2가이드부(236)는, 상기 제2가이드부(236)에 고정되는 제2고정부재(237) 및 상기 제1이동부재(216)에 슬라이딩 결합되고, 상기 제2고정부재(237)에 슬라이딩 결합되는 제2이동부재(238)를 포함한다.
즉, 제1가이드부(214)의 제1고정부재(215) 및 제1이동부재(216)와 제2가이드부(236)의 제2고정부재(237) 및 제2이동부재(238)가 각각 슬라이딩 결합되기 때문에 도어연결부(235)는 제1고정부재(215)에 평행이송 가능하게 결합된 제1이동부재(216)의 이동, 제1이동부재(216)에 평행이송가능하게 결합된 제2이동부재(238)의 이동 및 제2이동부재(238)에 평행이송가능하게 결합된 제2고정부재(237)의 이동에 의하여 이동하게 된다.
따라서, 제1가이드부(214)와 제2가이드부(236)의 결합으로 인하여 도어연결부(235)의 이동거리가 증가하게 된다.
링크바(220)는 제1캠팔로우(222)가 형성된 상단과 상기 제1케이스(212)의 내부에 힌지결합되는 중단(224) 및 제2캠팔로우(226)가 형성된 하단을 포함한다.
또한, 링크바(220)는, 상기 중단(224)을 기준으로 상기 상단이 상기 포트도어(300) 방향으로 일정각도 기울어져 형성된다.
제1캠팔로우(222)는, 상기 링크바(220)의 양측면에 돌출되어 형성된다.
제2캠팔로우(226)는, 상기 링크바(220)의 양측면에 돌출되어 형성된다.
여기서, 제1캠팔로우(222)와 제2캠팔로우(226)는 링크바(220)의 양측면에 돌출되어 형성되는 것이 바람직하지만, 링크바(220)에 형성된 홀에 삽입되는 폴대에 의해 회전가능한 롤러가 결합되는 형태로 형성되는 것 또한 바람직하다.
제1캠(230)은, 상기 제1캠팔로우(222)가 상하이동 및 회동 가능하도록 형성된다.
여기서 제1캠(230)은, 상기 제1캠팔로우(222)가 결합되는 양측에 형성된 제1캠결합공(232)을 포함한다.
제1캠결합공(232)은, 상기 제1캠팔로우(222)가 상하이동이 가능하도록 장공형태로 되어있다.
도어연결부(235)는, 상기 제1캠(230)과 결합하고, 포트도어(300)와 결합한다.
도어연결부(235)는, 상기 제1캠(230)과 결합하며 중앙을 기점으로 양측으로 연장되어 상기 제1케이스(212)를 감싸며 내측으로 형성되는 제2가이드부를 포함한다.
제2캠(240)은, 상기 제2캠팔로우(226)가 상하이동 및 회동 가능하도록 형성된다.
제2캠(240)은, 상기 제2캠팔로우(226)가 결합되는 양측에 형성된 제2캠결합공(242)을 포함한다.
상기 제2캠결합공(242)은, 상기 제2캠팔로우(226)가 상하이동이 가능하도록 장공형태로 되어있다.
실린더부(250)는, 상기 제2캠(240)과 결합하고 전진 및 후퇴하는 실린더를 통해 상기 도어연결부(135)를 이동시킨다.
그리고, 상하이동부(260)는, 제1케이스(212)를 고정하고, 상기 제1케이스(212)를 상하로 이동시킨다.
상하이동부(260)는, 제2케이스(262), 케이스고정부(265a,265b), 이동부(270a) 및 완충부(270b)을 포함한다.
여기서, 제1케이스고정부(265a)는, 상기 제1케이스(212)의 일측에 결합된다.
또한, 제2케이스고정부(265b)는, 상기 제1케이스(212)의 타측에 결합된다.
그리고, 이동부(270a)는, 제2케이스(262)의 내측에 형성되고, 상기 제1케이스고정부(265a) 및 제2케이스고정부(265b)와 결합하며, 외부 동력에 의해 상하로 이동하는 체인에 의해 제1케이스고정부(265a)를 상하로 이동시키는 것이 바람직하다.
또한,완충부(270b)는, 상기 제2케이스(262)에 형성되고, 상기 제2케이스고정부(265b)와 결합하며, 상기 제1케이스(212)의 상하이동시 상기 케이스(212)가 흔들리지 않도록 균형을 잡아준다
여기서, 완충부(270b)는, 제2케이스(262)의 내측에 형성되며, 상기 이동부(270a)에 의해 상기 제1케이스고정부(265a)가 외부동력에 의해 상하로 이동시 발생되는 진동을 제거해주는 완충역할을 한다.
도 18은 본 발명의 실시예에 따른 매핑장치와 도어개폐장치의 제공방법을 나타낸 순서도이고, 도 19a 내지 도 19b는 본 발명의 실시예에 따른 준비상태를 나타낸 측면도 및 투과평면도이며, 도 20a 내지 도 20b는 본 발명의 실시예에 따른 포트도어가 오픈된 상태를 나타낸 측면도 및 투과평면도이고, 도 21a 내지 도 21b는 본 발명의 실시예에 따른 포트도어가 매핑시작위치에 도달된 상태를 나타낸 측면도 및 투과평면도이며, 도 22a 내지 도 22b는 본 발명의 실시예에 따른 매핑바가 오픈된 상태를 나타낸 측면도 및 투과평면도이고, 도 23a 내지 도 23b는 본 발명의 실시예에 따른 포트도어가 매핑종료위치에 도달된 상태를 나타낸 측면도 및 투과평면도이며, 도 24a 내지 도 24b는 본 발명의 실시예에 따른 매핑바가 클로즈된 상태를 나타낸 측면도 및 투과평면도이고, 도 25a 내지 도 25b는 본 발명의 실시예에 따른 매핑이 완료된 상태를 나타낸 측면도 및 투과평면도이다.
도 18내지 도 25b를 참고하면, 우선 포트도어(300)가 수납포트(310)를 밀폐하였을때, 제1실린더(140)는 후퇴된 상태에서 고정되어 매핑바(120)가 클로즈된 상태에서 시작한다(s110).
그 다음, 제2실린더(250)가 전진하여 도어개폐부(230)에 의해 고정된 포트도어(300)가 수납포트(310)에서 오픈된다(s120).
그 다음, 포트도어(300)가 매핑을 시작할 수 있도록 포트도어(300)가 상하이동부(262)에 의해 매핑시작 위치에 위치하게 된다(s130).
그 다음, 포트도어(300)가 매핑시작 위치에 위치하면 제1실린더(140)가 전진되어 고정되고, 매핑바(120)가 오픈된다(s140).
그 다음, 포트도어(300)가 상하이동부(262)에 의해 아래로 이동하여 매핑종료 위치에 위치하게 된다(s150).
그 다음, 포트도어(300)가 매핑종료 위치에 위치하게 되면 제1실린더(140)가 후진되어 고정되고, 매핑바(120)가 클로즈된다(s160).
그 다음, 포트도어(300)가 최하점에 도달하여 수납포트(310) 매핑을 종료한다(s170).
본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구의 범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구의 범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
100; 매핑장치 110: 매핑센서
112: 송신기 114: 수신기
120: 매핑바 130: 이송부재
130a: 제1이송부재 130b: 제2이송부재
132: 회동휠 134; 센서휠
136: 제1센서 138: 제2센서
140: 제1실린더 150: 결합부
160a,160b: 회동반경제한부재 200: 도어개폐장치
210: 전후이동부 212: 제1케이스
214: 제1가이드부재 215: 제1고정부재
216; 제1이동부재 220: 링크바
222: 제1캠팔로우 224: 중단
226: 제2캠팔로우 230: 제1캠
232: 제1캠결합공 235: 도어연결부
236: 제2가이드부재 237: 제2고정부재
238: 제2이동부재 240: 제2캠
242: 제2캠결합공 250: 실린더부
260: 상하이동부 262: 제2케이스
265a: 제1케이스고정부 265b: 제2케이스고정부
270a: 이동부 270b: 완충부
300: 포트도어 310; 수납포트

Claims (6)

  1. 웨이퍼가 수납되고 이송되는 수납포트를 밀폐하고 개방하여 웨이퍼를 이송할 수 있도록 상하로 구동되는 포트도어에 부착되는 도어개폐장치에 있어서,
    제1케이스, 제1캠팔로우가 형성된 상단과 상기 제1케이스의 내부에 힌지결합되는 중단 및 제2캠팔로우가 형성된 하단을 포함하는 링크바, 상기 제1캠팔로우가 상하이동 및 회동 가능하도록 형성된 제1캠, 상기 제1캠과 결합하고 포트도어와 결합되는 도어연결부, 상기 제2캠팔로우가 상하이동 및 회동 가능하도록 형성된 제2캠, 상기 제2캠과 결합하고 전진 및 후퇴하는 실린더를 통해 상기 도어연결부를 이동시키는 실린더부, 외측으로 돌출되어 형성되고, 상기 제1케이스 양측에 고정되는 제1가이드부 및 상기 제1가이드부에 슬라이딩 결합되며, 상기 도어연결부에 결합되는 제2가이드부를 포함하는 전후이동부; 및
    상기 제1케이스를 고정하고, 상기 제1케이스를 상하로 이동시키는 상하이동부;를 포함하는 링크바를 통해 포트도어가 개폐되는 도어개폐장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 상하이동부는,
    제2케이스; 상기 제1케이스의 일측에 결합되는 제1케이스고정부; 상기 제1케이스의 타측에 결합되는 제2케이스고정부; 상기 제2케이스에 형성되고, 상기 제1케이스고정부 및 제2케이스고정부와 결합하며, 제1케이스고정부를 상하로 이동시키는 이동부; 및 상기 제2케이스에 형성되고, 상기 제2케이스고정부가 상하이동 가능하도록 결합하며, 상기 제1케이스의 상하이동시 상기 제1케이스가 흔들리지 않도록 균형을 잡아주는 완충부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 링크바를 통해 포트도어가 개폐되는 도어개폐장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 링크바는,
    상기 중단을 기준으로 상기 상단이 상기 포트도어 방향으로 일정각도 기울어져 형성되는 것을 특징으로 하는 링크바를 통해 포트도어가 개폐되는 도어개폐장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 제1가이드부는,
    상기 도어연결부에 고정되는 제1고정부재 및 상기 제1고정부재에 슬라이딩 결합되는 제1이동부재를 포함하는 것을 특징으로 하고,
    상기 제2가이드부는,
    상기 제2가이드부에 고정되는 제2고정부재; 및 제2고정부재에 슬라이딩 결합되고, 상기 제1이동부재에 슬라이딩 결합되는 제2이동부재;를 포함하는 것을 특징으로 하는 링크바를 통해 포트도어가 개폐되는 도어개폐장치.
  5. 제1항에 있어서, 상기 제1캠팔로우는,
    상기 링크바의 양측면에 돌출되어 형성되는 것을 특징으로 하고,
    상기 제1캠은,
    상기 제1캠팔로우가 결합되는 양측에 형성되고, 상기 제1캠팔로우가 상하이동이 가능하도록 장공형태로 되어있는 제1캠결합공;을 포함하는 것을 특징으로 하는 링크바를 통해 포트도어가 개폐되는 도어개폐장치.
  6. 제1항에 있어서, 상기 제2캠팔로우는,
    상기 링크바의 양측면에 돌출되어 형성되는 것을 특징으로 하고,
    상기 제2캠은,
    상기 제2캠팔로우가 결합되는 양측에 형성되고, 상기 제2캠팔로우가 상하이동이 가능하도록 장공형태로 되어있는 제2캠결합공;을 포함하는 것을 특징으로 하는 링크바를 통해 포트도어가 개폐되는 도어개폐장치.



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