JP2013247322A - ロードポート装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 ロードポート装置に対して、開口部を囲んで微小空間内に配置されて微小空間の一部を第二の微小空間として区切るカバー部材と、第二の微小空間の内部に気体を供給可能なガスパージ装置と、ドアを開口部と対向する位置と対向しない位置との間で移動させるドア駆動機構と、を配し、更にドア駆動機構によってドアと共にカバー部材とを一緒に移動させることとする。
【選択図】 図1(a)
Description
Claims (4)
- 微小空間を外部空間から分離する壁の一部を構成するサイドプレートと前記サイドプレートが有する開口部を閉鎖可能なドアとを有し、被収容物が収容される密閉容器の開口を前記開口部と対向させるとともに、前記開口に取付けられる蓋を前記ドアが保持して前記密閉容器を開閉するロードポート装置であって、
前記開口部を囲んで前記微小空間内に配置され、前記開口部に隣接する前記微小空間の一部を第二の微小空間として区切るカバー部材と、
前記第二の微小空間の内部に気体を供給すると共に前記開口部と前記開口とを介して前記密閉容器の内部に前記気体を供給可能なガスパージ装置と、
前記ドアを前記開口部と対向する位置と対向しない位置との間で移動させるドア駆動機構と、を有し、
前記ドア駆動機構は、前記ドアと前記カバー部材とを一緒に昇降させることを特徴とするロードポート装置。 - 前記カバー部材は前記開口部と対向して配置される室画定プレートと、前記開口部の側辺に沿って配置される側面プレートとを有し、前記開口部の上辺よりも上側において前記サイドプレートに対して固定される上部壁部材と組み合わさって、前記第二の微小空間を形成することを特徴とする請求項1に記載のロードポート装置。
- 前記ガスパージ装置は前記サイドプレートに対して固定されていることを特徴とする請求項1或いは2に記載のロードポート装置。
- 微小空間を外部空間から分離する壁の一部を構成するサイドプレートと前記サイドプレートが有する開口部を閉鎖可能なドアとを有し、被収容物が収容される密閉容器の開口を前記開口部と対向させるとともに、前記開口に取付けられる蓋を前記ドアが保持して前記密閉容器を開閉するロードポート装置における前記密閉容器の蓋開閉方法であって、
前記微小空間内において前記開口部を囲んで配置可能なカバー部材により前記開口部に隣接する前記微小空間の一部を第二の微小空間として区切る工程と、
前記ドアにより前記蓋を保持し、前記ドアを前記開口部から離間させることにより前記開口を開放する工程と、
前記ドアと共に前記カバー部材を前記開口部と対向する位置から対向しない位置へ移動させて前記開口部を開放する工程と、を有することを特徴とする密閉容器の蓋開閉方法。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2023007992A1 (ja) * | 2021-07-27 | 2023-02-02 | 信越半導体株式会社 | ウェーハ搬送方法およびウェーハ搬送装置 |
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2012
- 2012-05-29 JP JP2012121683A patent/JP6008169B2/ja active Active
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JP6008169B2 (ja) | 2016-10-19 |
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