JP2015162532A - ポッド、及び該ポッドを用いたパージシステム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】FOUP奥の両隅下面より上方に突き出すタワー型のガス供給ポートを配し、該ガス供給ポートに対してFOUP高さ方向に延在する扁平形状の開口より、FOUP 高さ方向に層を為す流れにより不活性ガスを供給する。該不活性ガスによる層流は、FOUP奥側から開口に向かい且つウエハ面を沿った不活性ガス流を形成し、FOUP内部の不活性ガスによる均等な置換を達成する。
【選択図】図1
Description
ここで、上述した実施形態では、スリット5より供給される不活性ガスは、開口1aに向けて噴き出されている。しかし、本発明は当該形態に限定されず、単一の或いは複数のポッド内ガス供給タワー1bより供給され不活性ガスが、全体としてポッド1の開口対向面1d側から開口1aに向けて、気体の滞留領域を形成せずに流れればその噴き出し方向は任意であっても良い。全体としてこの様な気体流を形成するのであれば、一のスリット5からの不活性ガスの供給方向が例えば開口対向面1dに沿うような態様も可能である。
Claims (6)
- 内部に設けられ、高さ方向に並置される平板状の被収容物が各々に載置される棚と、
外部より前記棚に対する前記被収容物の挿脱を行う開口と、
前記開口を閉鎖して前記内部を密閉する蓋と、
前記棚に載置された被収容物に干渉されない位置に配置され、前記被収容物とは平行に流れる層流を形成するように所定のガスを噴き出し可能な高さ方向に延在するスリットを有するポッド内ガス供給部と、を有することを特徴とするポッド。 - 前記スリットは前記ガスの噴き出し方向から見て前記高さ方向に延びた扁平形状を有し、前記棚に載置された前記被収容物の少なくとも二枚以上の扁平方向長さを有することを特徴とする請求項1に記載のポッド。
- 前記スリットは前記ガスの噴き出し方向から見て前記高さ方向に延びた扁平形状を有し、前記スリットは前記棚に載置された前記被収容物と対向して配置され且つ前記配置において上端及び下端が各々前記被主要物の表面及び裏面よりも突き出す長さを有することを特徴とする請求項1に記載のポッド。
- 前記スリットは前記ガスの噴き出し方向から見て前記高さ方向に延びた扁平形状を有し、前記棚の最上段に載置された前記被収容物の表面よりも高い上端と前記棚の最下段に載置された前記被収容物の裏面よりも低い下端とを有する長さを有することを特徴とする請求項1に記載のポッド。
- 前記スリットは、前記高さ方向において前記スリットより噴き出す前記所定のガスに対する通気抵抗が異なることを特徴とする請求項1乃至4の何れか一項に記載のポッド。
- 請求項1乃至5の何れか一項に記載のポッドと、
前記ポッドが載置される載置台と、
前記載置台に配置されて、前記載置台に前記ポッドが載置されることにより前記ポッド内ガス供給部と接続されて前記ポッド内ガス供給手段に前記所定のガスを供給する載置台ガス供給ポートと、を有することを特徴とするパージシステム。
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