JP2008192725A - 半導体装置及びその製造方法並びに半導体装置の製造装置 - Google Patents
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- Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)
- Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)
Abstract
【課題】アンダーフィル樹脂内のボイドの発生を抑制することができる半導体装置及びその製造方法並びに半導体装置の製造装置を提供する。
【解決手段】基板12上に溶融した樹脂32を配置する工程と、溶融した樹脂32上に半導体チップ20を配置する工程と、半導体チップ20に圧力を加え、半導体チップ20を基板12にフリップチップ実装する工程と、溶融した樹脂32に流体圧力を加えた状態で溶融した樹脂32を硬化させ、アンダーフィル樹脂を形成する工程と、を有する半導体装置及びその製造方法並びに半導体装置の製造装置。
【選択図】図2
【解決手段】基板12上に溶融した樹脂32を配置する工程と、溶融した樹脂32上に半導体チップ20を配置する工程と、半導体チップ20に圧力を加え、半導体チップ20を基板12にフリップチップ実装する工程と、溶融した樹脂32に流体圧力を加えた状態で溶融した樹脂32を硬化させ、アンダーフィル樹脂を形成する工程と、を有する半導体装置及びその製造方法並びに半導体装置の製造装置。
【選択図】図2
Description
本発明は半導体装置及びその製造方法並びに半導体装置の製造装置に関し、特に半導体チップがフリップチップ実装された半導体装置及びその製造方法並びに半導体装置の製造装置に関する。
半導体チップを効率的にパッケージングするため基板上に半導体チップをバンプを用いフリップチップ実装する技術がよく用いられている。この場合、基板と半導体チップとの間にはアンダーフィル樹脂が設けられる。アンダーフィル樹脂により、基板と半導体チップとの間に異物が侵入することを防止することができる。特許文献1には、フリップチップ実装された半導体チップに樹脂シートを覆う技術が開示されている。特許文献2には、半導体チップをフィルムを介し押圧し、フィルムと基板との間に樹脂を注入する技術が開示されている。
特開2002−319650号公報
特開2001−223231号公報
従来のフリップチップ実装技術においては、特に、高い温度でフリップチップ実装する場合に、アンダーフィル樹脂にボイドが発生するという課題がある。アンダーフィル樹脂にボイドが発生すると、アンダーフィル樹脂の接着力、熱伝導性、耐湿性が低下する。
本発明は、上記課題に鑑みなされたものであり、アンダーフィル樹脂内のボンドの発生を抑制することを目的とする。
本発明は、基板上に溶融した樹脂を配置する工程と、前記溶融した樹脂上に半導体チップを配置する工程と、前記半導体チップに圧力を加え、前記半導体チップを前記基板にフリップチップ実装する工程と、前記溶融した樹脂に流体圧力を加えた状態で前記溶融した樹脂を硬化させ、樹脂部を形成する工程と、を有することを特徴とする半導体装置の製造方法である。本発明によれば、溶融した樹脂に流体圧力を加えた状態で溶融した樹脂から樹脂部を形成することにより、樹脂部内のボイドの発生を抑制することができる。これにより、樹脂部の接着力、熱伝導性、耐湿性の低下を抑制することができる。
上記構成において、前記溶融した樹脂上及び前記半導体チップ上に樹脂シートを配置する工程を有し、前記樹脂部を形成する工程は、前記樹脂シートを介し前記溶融した樹脂に流体圧力を加える工程を有する構成とすることができる。この構成によれば、処理毎に溶融した樹脂の量が変動した場合でも、処理毎に均一な形状の樹脂部を形成することができる。
上記構成において、前記樹脂部を形成する工程は、前記半導体チップを囲うように前記樹脂シートを基板に押圧する工程を含む構成とすることができる。この構成によれば、樹脂部の形状を、処理毎に均一に形成することができる。
上記構成において、前記流体圧力は気体による圧力である構成とすることができる。この構成によれば、気体を用い圧力を加えることにより、簡単に均一に流体圧力を加えることができる。
本発明は、基板上に配置された溶融した樹脂に流体圧力を加える加圧部と、前記溶融した樹脂に流体圧力を加えた状態で前記溶融した樹脂を硬化させ、樹脂部を形成する樹脂形成部と、前記溶融した樹脂上に配置された半導体チップに圧力を加え、前記半導体チップを前記基板にフリップチップ実装する実装部と、具備することを特徴とする半導体装置の製造装置である。本発明によれば、溶融した樹脂に流体圧力を印加することで、樹脂部内のボイドの発生を抑制することが可能な半導体製造装置を提供することができる。
上記構成において、前記加圧部は、前記溶融した樹脂上及び前記半導体チップ上に設けられた樹脂シートを介し前記溶融した樹脂に流体圧力を加える構成とすることができる。これにより、処理毎に均一な形状の樹脂部を形成することができる。
本発明は、基板上にフリップチップ実装された半導体チップと、前記半導体チップと前記基板との間に設けられた樹脂部と、前記半導体チップと前記樹脂部とを覆うように設けられ、前記半導体チップ上に孔部を有する樹脂シートと、を具備することを特徴とする半導体装置である。本発明によれば、樹脂シートを有することにより、樹脂部内のボイドの発生を抑制することができる。さらに、樹脂部の形状を均一にすることができる。また、樹脂シートが孔部を有することにより、フリップチップ実装時に、樹脂シートを介し半導体チップを吸着することができる。
本発明によれば、溶融した樹脂に流体圧力を加えた状態で溶融した樹脂から樹脂部を形成することにより、樹脂部内のボイドの発生を抑制することができる。これにより、樹脂部の接着力、熱伝導性、耐湿性の低下を抑制することができる。
以下、図面を用い本発明に係る実施例について説明する。
まず、実施例1に係る半導体装置の製造方法を説明する。図1を参照に、フリップチップボンダ50のステージ70上に、ガラスエポキシ等からなる配線基板12を配置する。基板12は、表面及び裏面の少なくとも一方に金属配線やランド電極、表面と裏面との間を接続するビアホール等が形成されている。図1及び以降の図面ではこれらは図示しない。
基板12上に例えばエポキシ系の熱硬化樹脂である溶融した樹脂32を滴下する。溶融した樹脂32はエポキシ樹脂以外にもポリイミド樹脂等を用いることもできる。また、熱可塑性樹脂を用いることもできる。フリップチップボンダ50は、実装部54、連結部55、エアシリンダ57及び金型56を有している。実装部54の先端の吸着部52は、耐熱性のエポキシ樹脂シート40を介し、例えばシリコンからなる半導体チップ20の裏面(回路等が形成された表面の反対の面)を吸着する。樹脂シート40は溶融した樹脂32より高融点の樹脂であればよく、エポキシ樹脂以外の樹脂を用いることもできる。半導体チップ20の表面にはバンプ22が設けられている。樹脂シート40には半導体チップ20を吸着するための孔部42が設けられている。吸着部52は樹脂シート40の孔部42を介し半導体チップ20を真空吸着する(矢印44)。樹脂シート40の膜厚としては、例えば20μmから50μm程度である。
金型56は、半導体チップ20を囲むように樹脂シート40に接している。金型56はエアシリンダ57に固定されている。エアシリンダ57は、空気を供給することにより、金型56を下方に加圧することができる。金型56と実装部54との間にはOリング58が設けられている。金型56、実装部54、Oリング58及び樹脂シート40により、密閉された空間60が形成される。金型56には、空間60に空気を注入し空間60を加圧する機構(不図示)が設けられている。金型56は取り替えることができ、例えば、大きな半導体チップ20を実装する場合は、大きな金型56を用いることができる。エアシリンダ57と実装部54とは連結部55により連結されている。フリップチップ実装用の実装部54と金型56とは独立に加圧できるように連結されている。
図2を参照に、半導体チップ20を溶融した樹脂32上に配置し、エアシリンダ57に空気を注入することにより、金型56を用い、半導体チップ20を囲むように樹脂シート40を基板12に押圧する(矢印46)。さらに、実装部54を用い、半導体チップ20を基板12に押圧する(矢印48)。これにより、半導体チップ20のバンプ22が基板12上の電極(不図示、図5の電極14)に押圧され、半導体チップ20が基板12にフリップチップ実装される。
図3を参照に、図2の状態で、高温の空気62を空間60内に注入部66を介し注入する。これにより、空間60内は高圧となる。空間60内の圧力は、例えば、0.1MPa〜0.5MPaが好ましい。なお、注入部66は金型56内に設けられているが、図3では模式的に図示している。溶融した樹脂32には、樹脂シート40を介し圧力が加わる。この状態で、ステージ70の温度を上昇させる。これにより、溶融した樹脂32は熱硬化しアンダーフィル樹脂30となる。
図4を参照に、空間60内の空気64を排気部68を介し開放する。これにより、空間60は常圧となる。なお、排気部68は金型56内に設けられているが、図4では模式的に図示している。金型56及び実装部54を上昇させる。樹脂シート40がアンダーフィル樹脂30に接着され、アンアーフィル樹脂30及び半導体チップ20上に残る。なお、接着剤を用い、樹脂シート40とアンアーフィル樹脂30及び半導体チップ20とを接着してもよい。
図5は、図1から図4の工程を用いフリップチップ実装された半導体装置10を断面図である。基板12上に電極14が設けられている。半導体チップ20は電極14とバンプ22とが接合するように基板12上にフリップチップ実装されている。半導体チップ20と基板12との間、及び半導体チップ20を囲むようにアンダーフィル樹脂30が設けられている。半導体チップ20及びアンダーフィル樹脂30上には樹脂シート40が設けられている。樹脂シート40の半導体チップ20上には孔部42が形成されている。図1で説明したように、吸着部52は孔部42を介し半導体チップ20を真空吸着することができる。
図6(a)は、図5で示した半導体装置10であり説明を省略する。図6(b)を参照に、基板12の裏面にも同様に、半導体チップ20をフリップチップ実装する。図6(c)を参照に、基板の両面に、半田ボール16を形成する。以上により、実施例1に係る半導体装置が完成する。実施例1は、図6(c)のように、基板12の表面及び裏面に半導体チップ20及び半田ボール16を対称に形成しているため、パッケージの反りを抑制することができる。
実施例1に係る半導体装置の製造方法は、図1のように、基板12上に溶融した樹脂32を配置する。図2のように、溶融した樹脂32上に半導体チップ20を配置する。半導体チップ20に圧力を加える。これにより、図4及び図5のように、半導体チップ20を基板12にフリップチップ実装する。さらに、図3のように、溶融した樹脂32に空気により圧力を加えた状態で溶融した樹脂32を硬化させ、アンダーフィル樹脂30(樹脂部)を形成する。このように、溶融した樹脂32に空気により圧力を加えた状態で溶融した樹脂32からアンダーフィル樹脂30を形成することにより、アンダーフィル樹脂30内のボイドの発生を抑制することができる。これにより、アンダーフィル樹脂30の接着力、熱伝導性、耐湿性の低下を抑制することができる。
溶融した樹脂32へは流体により加圧することにより(つまり流体圧力により)アンダーフィル樹脂30に均一に圧力が加わり、アンダーフィル樹脂30内のボイドの発生を抑制することができる。実施例1では空気(気体)を用い溶融した樹脂32を加圧する例を説明したが、流体圧力であればよい。例えば、油等で加圧してもよい。
溶融した樹脂32の加圧は樹脂シート40を介さず行ってもよい。しかしながら、実施例1の図2のように、半導体チップ20上及び溶融した樹脂32上に樹脂シート40を配置し、図3のように、樹脂シート40を介し、溶融した樹脂32に流体圧力を加えることが好ましい。樹脂シート40を用いることにより、溶融した樹脂32を所定領域に配置し、アンダーフィル樹脂30を処理毎に均一な形状とすることができる。すなわち、図1において、溶融した樹脂32の滴下量が多かった場合でも、図3において、空間60を加圧すると、不要な樹脂は樹脂シート40と基板12との隙間から外部に流出する。このように、処理毎に溶融した樹脂32の滴下量が変動した場合でも、処理毎に均一な形状のアンダーフィル樹脂30を形成することができる。
フリップチップ実装するため、半導体チップ20に加える圧力は、溶融した樹脂32に加える流体圧力であってもよい。しかしながら、フリップチップ実装のための圧力は、溶融した樹脂32とは独立に印加できることが好ましい。これにより、フリップチップ実装とアンダーフィル樹脂30の形成とを独立に制御することができる。
図2のように、基板12に半導体チップ20をフリップチップする際に、金型56は半導体チップ20を囲うように樹脂シート40を基板12に押圧する。すなわち、図3のように、樹脂部30を形成する際には、樹脂シート40は半導体チップ20を囲うように基板12に押圧されている。これにより、空間60の圧力を保持し樹脂シート40の形状が処理毎に均一になる。よって、アンダーフィル樹脂30の形状を、処理毎に均一に形成することができる。
実施例1に係る半導体装置を製造する製造装置(フリップチップボンダ)は、図3のように、基板12上に配置され溶融した樹脂に流体圧力を加える金型56(加圧部)と、溶融した樹脂32に流体圧力を加えた状態で溶融した樹脂32を硬化させ、アンダーフィル樹脂30(樹脂部)を形成するステージ70(樹脂形成部)と、溶融した樹脂32上に配置された半導体チップ20に圧力を加え、半導体チップ20を基板12にフリップチップ実装する実装部54と、を有している。これにより、溶融した樹脂32に流体圧力を印加することで、アンダーフィル樹脂32内のボイドの発生を抑制することができる。
実施例1に係る半導体装置の製造方法で製造された半導体装置10は、図5のように、基板12上にフリップチップ実装された半導体チップ20と、半導体チップ20と基板12との間に設けられたアンダーフィル樹脂30(樹脂部)とが設けられている。樹脂シート40が半導体チップ20とアンダーフィル樹脂30とを覆うように設けられており、樹脂シート40は、半導体チップ20上に孔部42を有している。このように、樹脂シート40を有することにより、アンダーフィル樹脂30内のボイドの発生を抑制することができる。さらに、アンダーフィル樹脂30の形状を均一にすることができる。また、樹脂シート40が孔部42を有することにより、図1のように、実装部54が樹脂シート40を介し半導体チップ20を吸着することができる。
図2のように、加圧部として、金型56内の空間60内を加圧することにより溶融した樹脂32を加圧する例を示したが、加圧部は溶融した樹脂32に流体圧力を印加する構成であればよい。
図3のように、樹脂形成部として、溶融した樹脂32を昇温し熱硬化させアンダーフィル樹脂30(樹脂部)を形成するステージ70を例に説明した。樹脂形成部は、溶融した樹脂32に流体圧力が印加された状態で溶融した樹脂32を硬化させる構成であればよい。
図1のように、実装部54として、吸着部52に半導体チップ20を吸着し基板12にフリップチップ実装する例を示したが、実装部は、半導体チップ20に圧力を加え、基板12にフリップチップ実装する構成であればよい。
以上、本発明の好ましい実施例について詳述したが、本発明は係る特定の実施例に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形・変更が可能である。
10 半導体装置
12 基板
20 半導体チップ
30 アンダーフィル樹脂
32 溶融した樹脂
40 樹脂シート
42 孔部
50 フリップチップボンダ
52 吸着部
54 実装部
56 金型
58 Oリング
60 空間
66 注入部
68 排気部
12 基板
20 半導体チップ
30 アンダーフィル樹脂
32 溶融した樹脂
40 樹脂シート
42 孔部
50 フリップチップボンダ
52 吸着部
54 実装部
56 金型
58 Oリング
60 空間
66 注入部
68 排気部
Claims (7)
- 基板上に溶融した樹脂を配置する工程と、
前記溶融した樹脂上に半導体チップを配置する工程と、
前記半導体チップに圧力を加え、前記半導体チップを前記基板にフリップチップ実装する工程と、
前記溶融した樹脂に流体圧力を加えた状態で前記溶融した樹脂を硬化させ、樹脂部を形成する工程と、を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記溶融した樹脂上及び前記半導体チップ上に樹脂シートを配置する工程を有し、
前記樹脂部を形成する工程は、前記樹脂シートを介し前記溶融した樹脂に流体圧力を加える工程を含むことを特徴とする請求項1記載の半導体装置の製造方法。 - 前記樹脂部を形成する工程は、前記半導体チップを囲うように前記樹脂シートを基板に押圧する工程を含むことを特徴とする請求項2記載の半導体装置の製造方法。
- 前記流体圧力は気体による圧力であることを特徴とする請求項1から3のいずれか一項記載の半導体装置の製造方法。
- 基板上に配置された溶融した樹脂に流体圧力を加える加圧部と、
前記溶融した樹脂に流体圧力を加えた状態で前記溶融した樹脂を硬化させ、樹脂部を形成する樹脂形成部と、
前記溶融した樹脂上に配置された半導体チップに圧力を加え、前記半導体チップを前記基板にフリップチップ実装する実装部と、
を具備することを特徴とする半導体装置の製造装置。 - 前記加圧部は、前記溶融した樹脂上及び前記半導体チップ上に設けられた樹脂シートを介し前記溶融した樹脂に流体圧力を加えることを特徴とする請求項5記載の半導体装置の製造装置。
- 基板上にフリップチップ実装された半導体チップと、
前記半導体チップと前記基板との間に設けられた樹脂部と、
前記半導体チップと前記樹脂部とを覆うように設けられ、前記半導体チップ上に孔部を有する樹脂シートと、を具備することを特徴とする半導体装置。
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