JP5018455B2 - 半導体装置の製造装置および半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Description
半導体素子を配線基板にフリップチップ実装する半導体装置の製造装置であって、
前記半導体素子における突起電極が形成されていない背面に接触して、前記半導体素子側から前記配線基板側に対して加圧する加圧手段を有し、
前記加圧手段が、前記背面の一部の第1の領域を加圧する第1の加圧部と、前記第1領域と異なる第2の領域を加圧するとともに前記第1の加圧部と独立に制御可能な第2の加圧部とを備えることを特徴とする。
前記第2の領域が前記第1の領域の周囲を囲む領域であることを特徴とする。
前記第1の加圧部の加圧強度が前記第2の加圧部の加圧強度よりも大きいことを特徴とする。
前記第1の加圧部の圧力開始時間が前記第2の圧力開始時間よりも早い時期に印加されることを特徴とする。
半導体装置の製造装置を用いて、半導体素子を配線基板にフリップチップ実装する半導体装置の製造方法であって、
前記半導体装置の製造装置は、
前記半導体素子における突起電極が形成されていない背面に接触して、前記半導体素子側から前記配線基板側に対して加圧する加圧手段を有し、前記加圧手段が、前記背面の一部の第1の領域を加圧する第1の加圧部と、前記第1領域と異なる第2の領域を加圧するとともに前記第1の加圧部と独立に制御可能な第2の加圧部とを備える
ことを特徴とする。
図1は、本実施形態の製造装置の要部の断面模式図を示したものである。図1(1)は、例えば、フリップチップボンダの加圧ツールヘッド6を、加圧する方向に沿って手前側から見た断面図であって、この図の紙面に対して垂直の方向に圧力が印加される。図1(2)は、図1(1)における加圧ツールヘッド6のX−X‘断面図であり、図1(1)の矢印Zで示した方向に圧力が印加される。本図に示した様に、加圧ツールヘッド6の加圧領域は、半導体素子1の背面(突起電極2が形成されていない側のフラットな面)とほぼ同等のサイズを有する。またその背面の中央部とそれを囲む外周部とは、独立して加圧強度と加圧タイミング(各加圧部の加圧順序や開始時期など)をそれぞれ独立して調整可能のように、中央領域加圧部6−1と、外周領域加圧部6−2とに分離された2領域構造となっている。
(1)突起電極つき半導体チップ作製;
15mm×15mmのSiの評価用TEG(Test Element Group)チップからなる半導体チップ上に、直径100μm、高さ90μm、材料Sn−3Ag−0.5Cuの突起電極を、250μmピッチで、合計3,364個形成した。
(2)配線基板;
35mm×35mmの樹脂ビルドアップ基板のほぼ中央に、チップサイズ15mm×15mm範囲内で、Au−Ni−Cu層の100μmφの接続電極を、上記突起電極と対向する位置に、同様に250μmピッチで形成した。
(3)フィルム状アンダーフィル材樹脂組成物作製;
次のものを混合しアンダーフィル材料とした。
100重量
・硬化剤:フェノール系硬化剤(EP601・旭電化工業); 50重量
・硬化促進剤:脂肪族ポリアミン(BUR439・旭電化工業); 10重量
・シリカフィラー:球状シリカ(So−E5・アドマテックス); 30重量
・溶剤;エタノール
はじめに主剤を秤量し、シリカフィラーを秤量して加え、ロールミルにより混合した後、硬化剤および硬化促進剤のエタノール混合液を加え、回転式混練脱泡機を用いて、1500rpmで2分間混合した。
(4)フィルム状アンダーフィル材樹脂組成物の突起電極つき半導体チップ上への密着;
作製したフィルム状アンダーフィル材樹脂組成物が形成されているPETフィルムをアルミ板の上に置き、その上に先に作製した突起電極つき半導体チップのバンプ面を下にして静置し、その上にシリコーンラバーを被せたのち真空プレス機で加圧する。その結果、フィルム状アンダーフィル材樹脂組成物はチップ側に密着し、次いでPETフィルムを剥がすことによって、樹脂組成物層がチップ側に移転する。
(5)フリップチップ接合;
上記アンダーフィル樹脂組成物層形成の半導体チップと接続電極形成の配線基板のフリップチップ接合を行った。ボンダで熱圧着接合後、所定の温度で樹脂硬化を行って、完成サンプルを得た。これをSAT(Scanning Acoustic Tomograph、超音波映像装置)を用いて、サンプル中のボイド発生数を観測した。
(6)接合実施結果;
単一加圧領域を有する非分割型加圧ツールヘッドを用いた比較例サンプルでは、ヘッドにおける加圧力として10kgで行った。その結果、一個の接合サンプルあたり、およそ13〜16個のボイド発生が観測された。発生ボイドのサイズは、直径約200μm前後から10数μm程度であった。
例えば、半導体素子と配線基板とが最初に接触する場所が両者の中心部であるとするならば、例えば、図3の分割型加圧ツールヘッド6の分割例(平面図)を示すような例を適用することができる。図3(1)は、これまで説明したような、加圧ツールヘッド6が、中心部に四角形状をもつ中央領域加圧部6−1と、外周部が一体となった外周領域加圧部6−2からなる例を示した。また図3(2)に示すように、加圧ツールヘッド6が縦に分割され、中心部8−1と側部8−2(左右2領域を同時の一体加圧領域としてもよい)とからなるように、計3分割としてもよい。あるいは、図3(3)のように、中心部に四角形状をもつ中央領域加圧部9−1に対して、その外周領域は分割され、当該外周領域を角部領域9−2(四隅を同時の一体加圧領域としてもよい)と側辺部9−3(四側辺部を同時の一体加圧領域としてもよい)として、計9分割としてもよい。その他、多様な分割形状と、加圧シーケンスを適用できる。
半導体素子を配線基板にフリップチップ実装する半導体装置の製造装置であって、
前記半導体素子における突起電極が形成されていない背面に接触して、前記半導体素子側から前記配線基板側に対して加圧する加圧手段を有し、
前記加圧手段が、前記背面の一部の第1の領域を加圧する第1の加圧部と、前記第1領域と異なる第2の領域を加圧するとともに前記第1の加圧部と独立に制御可能な第2の加圧部とを備える
ことを特徴とする半導体装置の製造装置。
前記第2の領域が前記第1の領域の周囲を囲む領域であることを特徴とする付記1記載の半導体装置の製造装置。
前記第1の加圧部の加圧強度が前記第2の加圧部の加圧強度よりも大きいことを特徴とする付記1記載の半導体装置の製造装置。
前記第1の加圧部の圧力開始時間が前記第2の圧力開始時間よりも早い時期に印加されることを特徴とする付記2または3記載の半導体装置の製造装置。
前記第1の加圧部の加圧面が前記第2の加圧部の加圧面よりも前記配線基板の面に対して凸であることを特徴とする付記2ないし4のいずれかに記載の半導体装置の製造装置。
前記半導体素子と前記配線基板間に熱硬化性のフィルム状アンダーフィル材樹脂組成物を用いて形成することを特徴とする付記1ないし5のいずれかに記載の半導体装置の製造装置。
半導体装置の製造装置を用いて、半導体素子を配線基板にフリップチップ実装する半導体装置の製造方法であって、
前記半導体装置の製造装置は、
前記半導体素子における突起電極が形成されていない背面に接触して、前記半導体素子側から前記配線基板側に対して加圧する加圧手段を有し、前記加圧手段が、前記背面の一部の第1の領域を加圧する第1の加圧部と、前記第1領域と異なる第2の領域を加圧するとともに前記第1の加圧部と独立に制御可能な第2の加圧部とを備える
ことを特徴とする半導体装置の製造方法。
2、102 突起電極
3、103 アンダーフィル材樹脂組成物層
4、104 配線基板
5、105 接続電極
6、8、9、106 加圧ツールヘッド
7、108 空隙(ボイド)
10 制御モータ加圧機構
11 バネ
12 領域別個別加圧機構
107 加圧
Claims (4)
- 半導体素子を配線基板にフリップチップ実装する半導体装置の製造装置であって、
前記半導体素子における突起電極が形成されていない背面に接触して、前記半導体素子側から前記配線基板側に対して加圧する加圧手段を有し、
前記加圧手段は、前記背面の所定の外縁端部に平行に3分割された前記背面の領域内の前記所定の外縁端部を含む第1の領域を加圧する第1の加圧部と、中央部の第2の領域を加圧する第2の加圧部と、前記第1と前記第2の領域を除く第3の領域を加圧する第3の加圧部を備え、前記第1乃至前記第3の加圧部により前記半導体素子の背面を前記所定の外縁端部から相対する外縁端部に向かって加圧する
ことを特徴とする半導体装置の製造装置。 - 前記加圧手段は、前記第1の加圧部から前記第2の加圧部を経て前記第3の加圧部の順番、または前記第3の加圧部から前記第2の加圧部を経て前記第1の加圧部の順番に加圧し、加圧する前記背面の領域を拡大していく
ことを特徴とする請求項1記載の半導体装置の製造装置。 - 半導体素子を配線基板にフリップチップ実装する半導体装置の製造装置であって、
前記半導体素子における突起電極が形成されていない背面に接触して、前記半導体素子側から前記配線基板側に対して加圧する加圧手段を有し、
前記加圧手段は、前記背面の中央部の領域を加圧する中央加圧部と、前記背面の中央部から前記背面のそれぞれの外縁端部まで延出する4つの領域を加圧する辺部加圧部と、前記背面の4つの角部の領域を加圧する角部加圧部とを備え、前記中央加圧部と前記辺部加圧部と前記角部加圧部とにより前記半導体素子の背面を所定の外縁端部から相対する外縁端部に向かって加圧する
ことを特徴とする半導体装置の製造装置。 - 半導体素子を配線基板にフリップチップ実装する半導体装置の製造方法であって、
前記半導体素子における突起電極が形成されていない背面に接触して、前記背面の所定の外縁端部に平行に3分割された前記背面の領域の前記外縁端部を含む第1の領域を、前記半導体素子側から前記配線基板側に対して加圧する第1の加圧手順と、
前記背面に接触して、前記3分割された領域の内の中央部の第2の領域を前記半導体素子側から前記配線基板側に対して加圧する第2の加圧手順と、
前記背面に接触して、前記3分割された領域の内の前記第1と前記第2の領域を除いた領域を前記半導体素子側から前記配線基板側に対して加圧する第3の加圧手順とを有し、
前記第1乃至前記第3の加圧手順による加圧の順番を、前記第1の加圧手順から前記第2の加圧手順を経て前記第3の加圧手順、または前記第3の加圧手順から前記第2の加圧手順を経て前記第1の加圧手順とし、前記背面の加圧領域を拡大していく
ことを特徴とする半導体装置の製造方法。
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