JP2002154649A - ガラス板の搬送装置及び搬送方法 - Google Patents

ガラス板の搬送装置及び搬送方法

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  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 下面に合紙を添設したガラス板を搬送する装
置及び方法に関し、搬送中の合紙の垂れ下がりや折れ曲
がりを回避し、搬送中のガラス表面の傷付きを防止す
る。 【解決手段】 ガラス板に下面に添設された合紙の下面
に差込んだ搬送爪でガラス板15を支持して搬送する。
搬送爪6の両側には昇降する吸着ヘッド14が配置さ
れ、ガラス板15の下面に搬送爪6を差込む前に吸着ヘ
ッド14で合紙16を吸着し、合紙と搬送爪の干渉を防
止する。搬送爪6は、水平方向に空気を噴出する空気噴
出孔10を備えている。この空気噴出孔10から空気を
噴出して、重力による合紙の垂れ下がりを防止する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、ガラス板を平面
的な姿勢を保持して搬送する搬送装置及び方法に関する
もので、特にガラス板の表面の傷付きを防止するため
に、合紙が添設されているガラス板を当該合紙と共に搬
送する装置及び方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】液晶ディスプレイやプラズマディスプレ
イ、ハードディスクの基板などの製造ラインにおいて、
ガラス板を加工する各工程毎の加工機械の間で加工途中
のガラス板を搬送するガラス板搬送装置が設けられてい
る。この種のガラス板搬送装置は、前工程の加工機械の
テーブル上で水平に載置されているガラス板を次工程の
加工機械のテーブル上へと搬送するものであり、搬送途
中のガラス板は、通常水平状態を保持している。
【0003】ガラス板の搬送装置として、図4に模式的
に示すように、空気吸引式の吸着ヘッド14でガラス板
15の上面を吸着して搬送する装置が一般的に広く用い
られている。また図5に示すように、ガラス板15の周
囲の複数箇所をクランプ爪20で上下方向に軽くクラン
プして搬送する装置も多く用いられている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】表示デバイスないし電
子デバイスの製造に用いるガラス板は、表面の傷付きを
極度に嫌う。従ってこれらの製造ラインにおけるガラス
板の搬送装置においても、搬送途中におけるガラス板表
面の傷付きを避けなければならない。上述した吸着ヘッ
ドやクランプ爪を用いる搬送装置は、ガラス板表面に吸
着ヘッドやクランプ爪の痕跡を残すおそれがあるため、
この種のガラス板の搬送装置としては、あまり好ましく
はない。
【0005】ガラス板は表面の傷付きを避けるために、
ガラス板相互の間に合紙を挟んだ状態で流通しているこ
とが多い。このようなガラス板を加工機械のテーブルに
載置して加工をする時、加工上支障がなければ、ガラス
板の下面に合紙を添設した状態で加工機械のテーブル上
に載置すれば、テーブル上の細かい塵やガラス片などに
よって、ガラス板の下面が傷付けられるのを防止するこ
とができる。そこでガラス板は、下面に合紙を添設した
状態で搬送可能とするのが望ましいが、合紙はガラス板
に単に添設されているだけであって、重力によってガラ
ス板から離脱したり、周辺部が垂れ下がったりし、更に
クランプ爪で挟持するときや、テーブル上に載置すると
きに折れ曲がったりするため、上述したような従来装置
では、下面に合紙を添設した状態でガラス板を搬送する
ことは困難である。合紙はガラス板の周縁を保護するた
めに、ガラス板より寸法が大きなものが用いられてお
り、従って合紙の周縁部は、ガラス板の周縁より外側に
突出している。
【0006】この発明は、ガラス板の下面に合紙を添設
した状態で、周縁部における合紙の垂れ下がりや折れ曲
がりを生ずることなく搬送する技術手段を得ることを課
題としている。
【0007】
【課題を解決するための手段】この発明のガラス板の搬
送装置は、下面に合紙16が添設されている状態のガラ
ス板15の対向辺の下面(従って合紙の下面)に差込ん
だ搬送爪6でガラス板15を支持して搬送する構造を備
えている。搬送爪6は搬送フレームの対向辺の下方部分
に位置しており、搬送フレーム1の対向側辺部から側面
視でL形ないしコの字形に延びる部材の下辺部分に形成
されている。この搬送爪6は、互いに対向する方向に延
びる板状ないしフォーク状であって、対向して近接及び
離隔する方向に移動することにより、ガラス板15の
(合紙16の)下方に挿入され、また離脱される。
【0008】搬送爪6の両側には吸着ヘッド14が配置
されている。この吸着ヘッド14は、昇降装置11を介
して搬送フレーム1に装着されている。昇降装置11は
吸着ヘッド14を搬送爪6の下面より低い位置から搬送
爪6の上面より高い位置までのストロークで昇降させ
る。吸着ヘッド14は、その上昇時にそれぞれの搬送爪
の両側に位置する対となる吸着ヘッド相互が互いに離隔
する方向に移動するように若干斜めに昇降する。この斜
めの昇降動作は、空気シリンダのような直動型の昇降駆
動装置を搬送フレーム1に若干傾斜させて装着すること
により実現できる。
【0009】搬送爪6は、その側部に水平方向に空気を
噴出する空気噴出孔10を備えている。搬送爪6を4個
以上設けるときは、必ずしも必須でないが、好ましくは
搬送爪6の上面に空気吸引孔9を設けて、搬送途中のガ
ラス板15を合紙16と共に負圧空気で吸引することに
より、搬送中のガラス板の姿勢を安定させる。
【0010】吸着ヘッド14は、ガラス板15の下面に
添設されている合紙16のガラス板からはみ出している
周縁部を吸着するためのものである。ガラス板15の下
面に搬送爪6を差込む前に、吸着ヘッド14で合紙16
を吸着し、吸着ヘッド14が上動したときに、対となる
吸着ヘッド相互が離隔する方向に動いて、合紙に張力を
与えることにより、搬送爪6をガラス板15の下方に差
込むときに、合紙16が垂れ下がって搬送爪と衝突して
折れ曲がるのを防止している。搬送爪6の挿入深さは、
ガラス板の周辺からはみ出した合紙16の周縁部に干渉
しない差込み深さである。
【0011】ガラス板が小面積で軽量であれば、吸着ヘ
ッド14で合紙16を引き上げることによってガラス板
15を持ち上げて、その下方に搬送爪6を挿入すること
ができるが、一般的にはガラス板15が載置されている
テーブルに内蔵した昇降ロッドによりガラス板15を持
ち上げて、テーブルとガラス板と共に持ち上げられた合
紙との間に搬送爪6を差込む。もしテーブルがガラス板
の全面を支持する必要がなければ、テーブルの対向辺部
分に搬送爪を挿入する凹部を予め設けておいてもよい。
【0012】ガラス板の下方に搬送爪6を挿入した状態
で、搬送フレーム1を上昇し、かつ水平方向にも移動さ
せることにより、ガラス板15は下面を合紙16を介し
て搬送爪6で支持されて搬送される。従ってテーブル上
においても搬送途中においても、ガラス板表面が傷付く
おそれはない。
【0013】ガラス板搬送中の、特にガラス板を次工程
のテーブルに載置する際には、搬送爪6の空気噴出孔1
0から空気をガラス板の下面に沿って噴出して、当該噴
出空気により合紙16を浮揚させ、重力による合紙の垂
れ下がりを防止する。これにより合紙が搬送途中に、特
に次工程の加工機械のテーブル上にガラス板を載置する
ときに、垂れ下がって折れ曲がるのを回避することがで
きる。
【0014】
【発明の実施の形態】以下、実施例を示す図面を参照し
て、この発明の実施の形態を述べる。図示実施例の搬送
装置の搬送フレーム1は、各一対のスライドフレーム2
R、2Lとスライドブラケット8R、8Lとを備えてい
る。一対のスライドフレーム2R、2Lは、一端にハン
ドル4を設けたねじ杆5の右ねじと左ねじとにそれぞれ
螺合しており、ハンドル4を手動で回転させて、搬送す
るガラス板の大きさに合せてスライドフレーム2R、2
Lの間隔を調整できるようになっている。一対のスライ
ドブラケット8R、8Lは、サーボモータ21に連結さ
れた第2のねじ杆22の右ねじと左ねじとにそれぞれ螺
合しており、サーボモータ21の正逆回転により、互い
に近接離隔する。
【0015】スライドブラケット8R、8Lの外側端に
は、スライドフレーム2R、2Lの外側下方に延びるブ
ラケット7が固定されており、このブラケットの下端に
フォーク状の搬送爪6が内向きにして固定されている。
【0016】搬送爪6のガラス板の下方に挿入される先
端部分上面には、複数個の空気吸引孔9が開口してお
り、これらの空気吸引孔は搬送爪6及びブラケット7内
の通孔及び図示しない吸気パイプを経て、搬送フレーム
に搭載した図示しない真空ポンプに連結されている。ま
た搬送爪6の側面には、爪の延在方向の両側方に向けて
水平に空気を噴射する複数の噴出孔10が設けられてお
り、これらの噴出孔10は搬送爪6及びブラケット7に
設けた通孔及び図示しない空圧パイプを経て、搬送フレ
ームに搭載した図示しないブロワに連結されている。複
数の噴出孔の爪の先端側のものは、斜め前方外側に向け
て空気を噴射するように設けられている。
【0017】スライドフレーム2R、2Lには、搬送爪
6を挟む両側の位置に、昇降シリンダ11が若干斜めに
して装着されている。この昇降シリンダのロッドの先端
には水平に外側に延びるブラケット12が固定され、こ
のブラケットの先端に下方に延びる空気パイプ13の円
筒形のホルダ23が固定されている。空気パイプ13
は、ホルダ23に内蔵した付勢ばね24で下方に付勢し
た状態で設けられており、この空気パイプの下端に吸着
ヘッド14が装着されている。昇降シリンダ11は、搬
送爪6の基端側から見て上端が開く逆ハの字状に若干傾
斜して装着されている。従って、昇降シリンダ11が縮
退して吸着ヘッド14が上動したとき、搬送爪6を挟む
両側の吸着ヘッド14は互いに離隔する方向に若干移動
する。
【0018】次に上記実施例装置のガラス板搬送動作を
説明する。
【0019】搬送しようとするガラス板15は、下面に
合紙16を添設した状態でテーブル17上に載置されて
いる。合紙16の周縁部18は、ガラス板15の外周よ
り外側にはみ出している。テーブル17には、そのテー
ブル面から上方に突出する複数の押上げロッド19を備
えている。
【0020】搬送装置は、吸着ヘッド14を上昇させ、
搬送爪6を外側に退避させた状態で、搬送フレーム1を
ガラス板15の上方に移動させ、更に下動させてガラス
板15の上面に接近させる。搬送フレーム1はガラス板
15の上方に接近した位置で停止し、吸着ヘッド14に
負圧を作用させて吸着ヘッド14を下降させる。吸着ヘ
ッド14は、ガラス板15からはみ出した合紙16の周
縁部18に向けられており、上記下降動作により吸着ヘ
ッド14が合紙の周縁部18に付勢ばね24の力で押し
付けられて合紙を吸引する。次に吸着ヘッド14を上昇
させると、合紙16の周縁部が持ち上げられ、同時に吸
着ヘッド14の斜めの動きによって、搬送爪6が差込ま
れる部分の合紙16に張力が付与される。
【0021】この状態でテーブルの押上げロッド19を
上動して、ガラス板15及びその下面に添設されている
合紙16をテーブル17から離隔させる。そして搬送爪
6を互いに近接する方向に進出させることにより、搬送
爪6の先端がテーブル17と合紙16との間に挿入され
る。そこでこの状態で、搬送爪の吸引孔9に負圧を作用
させながら、搬送フレーム1を上動すると、ガラス板1
5の対向辺下面が搬送爪6で支持され、かつ吸引孔9の
負圧で吸引されて、搬送爪6上でのガラス板15及び合
紙16の移動が固定される。この状態で搬送爪6の噴出
孔10から空気をガラス板15の下面に沿って噴出し
て、その空気流によって合紙16の垂れ下がりを防止し
ながら、搬送フレーム1を所望の位置に移動することに
より、ガラス板15はその下面に合紙16を添設した状
態で搬送される。所望の位置に搬送されたガラス板は、
上記と逆の動作で次工程のテーブル上に載置される。こ
の一連の搬送工程中、テーブル上に載置されているとき
も含めて、ガラス板15の下面は合紙16で保護されて
おり、かつ上面に接触する部材が存在しないので、搬送
中におけるガラス板の表面の傷付きが完全に防止でき
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】実施例の模式的な斜視図
【図2】図1の正面図
【図3】図1の側面図
【図4】従来装置の模式的な斜視図
【図5】他の従来装置の模式的な斜視図
【符号の説明】
1 搬送フレーム 6 搬送爪 10 噴出口 11 昇降シリンダ 14 吸着ヘッド 16 合紙

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 搬送しようとするガラス板の上方に位置
    する搬送フレーム(1)と、この搬送フレームの対向辺下
    方部分に向い合わせに配置されて互いに接近離隔する方
    向に進退駆動される平板ないしフォーク状の搬送爪(6)
    と、各搬送爪の両側方に位置して当該搬送爪の下面より
    低い高さと上面より高い高さとの間を昇降する吸着ヘッ
    ド(14)とを備え、当該吸着ヘッドの昇降装置(11)は、吸
    着ヘッドが上昇したときに、搬送爪の両側の吸着ヘッド
    が互いに離隔する方向に若干傾斜した昇降運動を当該吸
    着ヘッドに与え、搬送爪(6)は側部に空気噴出孔(10)を
    備えていることを特徴とする、ガラス板の搬送装置。
  2. 【請求項2】 搬送爪(6)がその上面に空気吸引孔(9)を
    備えていることを特徴とする、請求項1記載のガラス板
    の搬送装置。
  3. 【請求項3】 搬送しようとするガラス板の上方に搬送
    フレーム(1)を下降し、この搬送フレームの四隅部分に
    配置された吸着ヘッド(14)を搬送しようとするガラス板
    の周縁外側部に向けて進出して、当該ガラス板の下面に
    添設されている合紙(16)の周縁部を吸着し、吸着ヘッド
    (14)を吸着した合紙の周縁部に張力を付与する方向に退
    避させつつ上昇した後、ガラス板(15)の対向側辺の下方
    に搬送爪(6)を挿入し、搬送フレーム(1)を上昇して搬送
    爪(6)の上面で合紙(16)を介してガラス板(15)の下面を
    支持して搬送を行い、その搬送時に搬送爪(6)の側部か
    らガラス板の下面に沿う方向に空気を噴出してガラス板
    周縁部における合紙(16)の垂れ下がりを防止することを
    特徴とする、ガラス板の搬送方法。
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