JPH0616436U - 自動基板裁断装置における位置決め機能を有する搬送機 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 テーブルをコンパクな形状にすることがで
き、しかもテーブル上に押出しバーを設置すること伴う
問題を完全に解消できるものである。 【構成】 ガラス基板等の基板４をスクライブ手段６で
スクライブし、ブレイク手段８でブレイクして裁断する
ために基板４を搬送するに際し、テーブル24上に載置し
た基板４を表面から突出した位置決め用基準ピン61、62
に当接するように基板４端部を保持部材56にて押圧して
位置決めを行う位置決め手段10を、テーブル24上で基板
４を吸着させて搬送する吸着搬送手段11に一体に設置し
てなるものである。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、二枚のガラス基板を重ね合わせて形成された、例えばそれぞれが個 々に液晶表示板を構成する複数の透明導電膜パターンが印刷された複層ガラス基 板である基板から各透明導電膜パターンを個々に有する単位複層ガラスに機械的 にスクライブしてブレイクする自動基板裁断装置にあって、これらを移動させる とともにスクライブテーブル又はブレイクテーブルにおいては基板の位置決めを 行うことができる自動基板裁断装置における位置決め機能を有する搬送機に関す るものである。

【０００２】

【従来の技術】

従来の自動基板裁断装置では、スクライブテーブル又はブレイクテーブルにお いて、固定ピンと、載置した基板を移動させる押出しバーを２組テーブル上に設 置してなり、搬送機で運搬されてテーブル上に載置された基板を、この押出しバ ーを作動させて固定ピンに当接させることにより、基板の位置決めを行うのであ る。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】

しかし、従来の自動基板裁断装置では、装置によってはスクライブテーブル又 はブレイクテーブルにターンテーブルが使用されているが、テーブル上に設置さ れた押出しバーの駆動のためのエアー配管、電気配線が、ターンテーブルの動き に伴って、捩じれて破損する等のトラブルが生じ、またテーブル上に押出しバー を設置する場合、例えばテーブル表面に移動用の凹所を設ける必要があるが、こ の凹所にガラスカレットやごみが詰まり易くしかも清掃が困難であり、それに伴 うガラスカレットやごみの詰まりにより、押出しバー等の作動不良が起き易いの で、工程の乱れや不良品発生の大きな原因となり、更にテーブル上に押出しバー 等を設置するためにテーブル全体が必然的に大きなものになるという問題点があ る。

【０００４】 そこで、本考案は、テーブルをコンパクな形状にすることができ、しかもテー ブル上に押出しバーを設置すること伴う問題を完全に解消できる自動基板裁断装 置における位置決め機能を有する搬送機を提供しようとするものである。

【０００５】

【課題を解決するための手段】

上記目的を達成するために、ガラス基板等の基板をスクライブ手段でスクライ ブし、ブレイク手段でブレイクして裁断するために基板を搬送するに際し、テー ブル上に載置した基板を表面から突出した位置決め用基準ピンに当接するように 基板端部を保持部材にて押圧して位置決めを行う位置決め手段を、テーブル上で 基板を吸着させて搬送する吸着搬送手段に一体に設置してなるものである。

【０００６】 また、後述する効果により、位置決め用基準ピンをテーブルに出没自在とした ものが好ましい。

【０００７】

【作用】

以上の如く本考案の自動基板裁断装置における位置決め機能を有する搬送機に よれば、吸着搬送手段にて基板を吸着させて搬送することによりスクライブテー ブル又はブレクテーブル上に載置し、吸着搬送手段に一体に設置された位置決め 手段の保持部材にて基板端部を押圧して表面から突出した位置決め用基準ピンに 当接させることにより、基板の位置決めを行うことができる。

【０００８】 更に、位置決め用基準ピンをテーブルに出没自在としたものを用いると、位置 決め用基準ピンを没し、又は後退させた状態で、吸着搬送手段にて基板を搬送し 、そして位置決めを行う場合には、位置決め用基準ピンを突出させ、又は前進さ せてテーブル側面に当接させた状態で基板の端部を当接させることにより、位置 決めを行うことができるのである。

【０００９】

【実施例】 本考案の詳細を更に図示した実施例により説明する。 図１に示したものは、自動基板裁断装置における概略平面図であり、該自動基 板裁断装置Ｍは、図12及び図13の如く二枚のガラス基板１、２を重ね合わせて形 成された、例えばそれぞれが個々に液晶表示板を構成する複数の透明導電膜パタ ーン３が印刷された複層ガラス基板である基板４から各透明導電膜パターン３を 個々に有する単位複層ガラスに機械的にスクライブしてブレイクするものである 。この自動基板裁断装置Ｍは、図１に示すように入口側搬送部（Ａ）、第一裁断 部（Ｂ）、中間搬送部（Ｃ）、第二裁断部（Ｄ）、出口側搬送部（Ｅ）の工程よ りなり、更に図１に示すＣ１は、複数個の基板４を離間して上下に並べて収納し たカセット５を搬送する入口側コンベアであり、Ｔ１は、入口側搬送コンベアで あり、Ｔ２は、基板４をスクライブ手段６でスクライブする第１スクライブテー ブルであり、Ｔ０はウエイティングスペースであり、Ｔ３は、反転機７でスクラ イブされた基板４を反転載置するテーブルであり、Ｔ４は、スクライブされた基 板４をブレイク手段８でブレイクする第１ブレイクテーブルであり、Ｔ０は、ウ エイティングスペースであり、Ｔ５は、基板４を受け渡しするための中間テーブ ルであり、同様にＴ６は、第２スクライブテーブルであり、Ｔ０は、ウエイティ ングスペースであり、Ｔ７は、反転載置テーブルであり、Ｔ８は、第２ブレイク テーブルであり、Ｃ２は、裁断された透明導電膜パターン３等を搬送する出口側 コンベアである。そして、図１に示すように入口側搬送コンベアＴ１から第１ス クライブテーブルＴ２にかけて移動しうる位置決め機能を有する第１搬送機Ａを 設け、第１スクライブテーブルＴ２からウエイティングスペースＴ０及び反転機 ７にかけて移動しうる中間搬送機Ｂを設け、反転載置テーブルＴ３から第１ブレ イクテーブルＴ４にかけて移動しうる位置決め機能を有する第２搬送機Ｃを設け 、第１ブレイクテーブルＴ４からウエイティングスペースＴ０及び中間テーブル Ｔ５にかけて移動しうる中間搬送機Ｂを設け、中間テーブルＴ５から第２スクラ イブテーブルＴ６にかけて移動しうる位置決め機能を有する第１搬送機Ａを設け 、第２スクライブテーブルＴ６からウエイティングスペースＴ０及び反転機７に かけて移動しうる中間搬送機Ｂを設け、反転載置テーブルＴ７から第２ブレイク テーブルＴ８にかけて移動しうる位置決め機能を有する第２搬送機Ｃを設け、第 ２ブレイクテーブルＴ８から出口側コンベアＣ２移動しうる出口側搬送機Ｄを設 けている。そして、本考案のポイントは、位置決め機能を有する第１搬送機Ａ及 び第２搬送機Ｃであり、第１搬送機Ａ及び第２搬送機Ｃは、位置決め手段10、吸 着搬送手段11、清掃手段12にて構成されている。

【００１０】 まず、動きを説明するために、中間搬送機Ｂから説明を行うと、中間搬送機Ｂ は、吸着搬送手段11を案内用レール17上を移動可能としたものであり、具体的に は、図２及び図３に示すように固定台13の側方に、調整用ねじ14の先端で支持台 15の下面より延設した支持片16を支持した状態で図１の如く支持台15を移動方向 に配設するように取り付け、この支持台15上面に案内用レール17とラックレール 18を並行配設し、該案内用レール17上を外被部材19を外被して走行自在とし、こ の上に走行部材20を固定し、更に図３の如く走行部材20上に回転軸21の先端にピ ニオン22を有する駆動用モーター23を前記ラックレール18とピニオン22が噛み合 うように取り付けることにより、駆動用モーター23の回転にて図２中の左右いず れにも案内用レール17上を走行部材20が走行自在としている。更に、吸着搬送手 段11は、図２及び図３に示すように固定台13の側方に設けたテーブル24に向かっ て延びるように走行部材20より延設片25を延設し、この延設片25にロッド26が貫 通するように昇降用エアシリンダー27を取り付け、該昇降用エアシリンダー27の 側方に内部にベアリングを有する案内用軸受28、28を貫通して固定し、案内用軸 受28にて支持されるように案内杆29を貫通させ、案内杆29、29の先端にナット30 、30で、及び昇降用エアシリンダー27のロッド26の先端に連結継手31を介してナ ット32で昇降片33を取り付け、この昇降片33より側方に取付片34・・を延設し、 それぞれの取付片34の先端に吸盤35を取り付け、この吸盤35の吸込口35′に特に 図示しないチューブで配管して、例えばブロア、真空ポンプ等で排気することに より吸盤35・・で基板４表面を吸着して搬送可能としたものである。

【００１１】 次に、本考案のポイントである第１搬送機Ａは、上記した吸着搬送手段11及び 移動させる機構において略同じ構造とし、更に位置決め手段10及び清掃手段12を 付加したものである。

【００１２】 清掃手段12は、図４及び図７のように吸着搬送手段11の移動側に並設させて一 体になるように延設片25を更に延設して延設片36を形成し、この延設片36にロッ ド37が貫通するように昇降用エアシリンダー38を取り付け、該昇降用エアシリン ダー38の側方に内部にベアリングを有する案内用軸受39、39を貫通して固定し、 該案内用軸受39にて支持されるように案内杆40を貫通させ、案内杆40、40の先端 に及び昇降用エアシリンダー38のロッド37の先端に螺部を設けてナット41・・で 取付板42を取り付け、この取付板42に、図７の如く内部が中空であり、底面45ａ を開放し、上面45ｂに吸込部44を有するダクト45の底面45ａ外周に植毛部46を有 する清掃部47を設け、この吸込部44に特に図示しないチューブで配管して、例え ばブロア、真空ポンプ等で排気することにより清掃部47における植毛部46で基板 ４上の切屑等を集め、吸い込んで清掃を行うことができるのである。

【００１３】 そして、第１搬送機Ａでは、図４のように、２組の位置決め手段10を吸着搬送 手段11に一体に設置し、四角形の基板４の２辺の端部を押圧して押し寄せること により位置決めを行うようにしたものである。位置決め手段10は、図４及び図５ の如く吸着搬送手段11本体に、取付片48を固定し、この取付片48表面からロッド 49が出没自在としたエアシリンダー50を利用した駆動部51を間に位置させて２本 の案内用杆体52、52を離間して平行に立設し、それぞれの案内用杆体52の基端側 に止め片53を固着し、２本の案内用杆体52、52を、図６のように板状の取付部54 と断面略コ字形状の係止部55よりなる保持部材56の取付部54に貫通させてスライ ド可能とし、止め片53、53と取付部54の間に案内用杆体52を外被するようにコイ ルバネ57を巻回させて位置させ、該取付部54をエアシリンダー50のロッド49先端 に取り付け、更に案内用杆体52先端に螺部58を設けて固定用ナット59にてストッ パー片60を取り付け、そして特に図示しないがエアシリンダー50にチューブで配 管したものである。そして、図６のように断面略コ字形状の係止部55の先端55ａ を基端55ｂより略基板４の厚みの1/2 だけ長く設定することにより、この係止部 55にて基板４の端面４ａを係止させて移動させることができるのである。また、 図４のように保持部材56と対面する位置に、テーブル24表面から出没自在な或い は固定された位置決め用基準ピン61を２個設けたものである。同様に、基板４の 端面４ａに隣接する端面４ｂに同様に係止可能に位置決め手段10を設け、この位 置決め手段10と対面する位置に、テーブル24表面から出没自在な或いは固定され た位置決め用基準ピン62を１個設けている。即ち、通常は、図６のようにエアー シリンダー50に空気圧をかけずにコイルバネ57、57の弾性力により保持部材56の 取付部54がストッパー片60に当接するまで、エアーシリンダー50のロッド49が突 出して、図６中想像線にて示すように保持部材56の係止部55を基板４の端面から 離れた状態を保持し、エアシリンダー50に空気圧をかけてコイルバネ57、57の弾 発力に反して、シリンダ50のロッド49が引っ込んで、保持部材56の係止部55を基 板４の端面４ａに係止させて位置決め用基準ピン61、62に当接するまで移動させ 、図６中実線にて示した位置を保持するのである。尚、上述した第１搬送機Ａで は、位置決め用基準ピン61、62を、テーブル24の途中に設けて表面から出没自在 としているが、例えば位置決め用基準ピン61、62を前進又は後進を可能とし、位 置決めの時に前進させて、テーブル24の側面に位置させるものであってもよい。

【００１４】 尚、図例の位置決め手段10は、エアシリンダー50を用いた駆動部51を、図４の 如く吸着搬送手段11側に設けて、外方に向かって保持部材56を出没自在としてい るが、図８のように吸着搬送手段９の外側に位置するようにエアシリンダー50を 用いた駆動部51を設け、吸着搬送手段９に向かって保持部材56を出没自在として もよい。更に、図９のように保持部材56の形状を平面視略Ｌ形状として、基板４ の角部を係止させてこの保持部材56を図示しない駆動部51で矢印方向に移動可能 とし、一度に位置決め用基準ピン61、61、62に当接させるようにしたものである 。また、保持部材56を上下動可能として、動きに変化を持たせることも可能であ り、更に駆動部51としては、エアシリンダーの他に電気モーター等を利用するこ ともできる。

【００１５】 更に、第１搬送機Ａ全体の動きを図４等に基づいて説明する。まず、図４中左 方向に位置し、清掃手段12における清掃部47は図７のように上方に位置するとと もに、吸着搬送手段11の吸盤35・・で基板４を吸着してこの基板４を昇降用エア シリンダー27にて上昇させた状態であり、そして、位置決め用基準ピン61、61、 62はテーブル24表面から没した状態であり、清掃部47は図７中矢印方向に下降し て、植毛部46がテーブル24表面に当接した状態でテーブル24面を植毛部46で清掃 を行いながら右方向に移動して図４に示した状態に位置し、位置決め用基準ピン 61、61、62がテーブル24表面から突出し、昇降用エアシリンダー27にて基板４を 下降させてテーブル24表面に載置し、図４中想像線で示した位置決め手段10の保 持部材56が、駆動部51のエアシリンダー50に空気圧をかけて図６のようにコイル バネ57、57の弾発力に反して保持部材56を基板４の方に引き寄せ、係止部55を基 板４の端面４ａ、４ｂに係止させて位置決め用基準ピン61、61、62に当接するま で移動させて位置を決めを行うことができるのである。その後、清掃手段12にお ける清掃部47及び吸着搬送手段11の吸盤35・・を上昇させた状態で第１搬送機Ａ 全体を図４中左方向に移動させて元の位置で待機させるのである。

【００１６】 また、第２搬送機Ｃは、第１搬送機Ａの同じ構造であるが、位置決め手段10及 び位置決め用基準ピン61、61、62の取り付け位置を左右対象としたものである。

【００１７】 このように、第１搬送機Ａ及び第２搬送機Ｃによれば、位置決め手段10が吸着 搬送手段11に一体に設置されいるので、例えばスクライブテーブル又はブレイク テーブルにターンテーブルを用いても、位置決め手段を駆動のためのエアー配管 、電気配線が、ターンテーブルの動きに伴って、捩じれて破損する等のトラブル が生じることがなく、また例えばテーブル24表面に保持部材56を移動させる為の 凹所を設ける必要がないので、この凹所にガラスカレットやごみが詰まることが なく、これに伴って保持部材56等の作動不良を解消できるので、工程の乱れや不 良品発生が生じることがなく、更にテーブルも従来のものに比べて小さなものと なるのである。しかも、位置決め用基準ピン61・・を位置決め等の必要な時にだ け突出させることができるので、特に搬送中にこの位置決め用基準ピン61・・に 吸着搬送手段11等にひっかかることがなく、テーブル上もスッキリするので、ガ ラスカレットやごみの詰まりの問題も完全に解消することができるのである。し かも、図６の如く位置決め手段10において断面略コ字形状の係止部55の先端55ａ を基端55ｂより略基板４の厚みの1/2 だけ長く設定することにより、この係止部 55にて基板４の端面４ａを係止させて移動させることができるので、上下の動き を必要とせずに前後の動きたけで基板４の位置決めを行うことができるのである 。 更に、吸着搬送手段11にてテーブル24上で基板４を吸着させて搬送する際、或 いは吸着搬送手段11は基板４を載置したテーブル24まで全体を移動させる際に清 掃手段12を単独で作動させることにより、移動と同時にテーブル24上面を清掃す ることができるので、基板４を裁断するのに飛躍的に作業効率をあげることがで き、また従来のものと比べて、簡単な構造としてコンパクト化を図ることができ る。しかも、通常、基板４は80〜1000Ｖの帯電状態にあるため、ガラスカレット やごみが一度付着すると、その除去は大変に困難となるので、清掃手段12で移動 と同時に清掃を行うのが効果的であり、また植毛部46の材質によっては、静電気 を発生し、ガラスカレットやごみの基板４への電気吸着を助長することとなるの で、植毛部46の材質には、馬毛等の静電気の発生を起こさせないものか、静電気 防止加工を施したものを使用するのが好ましいのである。

【００１８】 最後に、出口側搬送機Ｄは、中間搬送機Ｂと同じ動きの機構を有するが、吸着 搬送手段11′として、図10及び図11に示すように、取付用板体63と、中空の枠体 64の底面に板形状であり且つ多孔質状の吸着部材65、例えば連続気泡を有する発 泡プラスチックを用いたものであり、この上板64ａを設けた枠体64を取付ボルト 66と取付ナット67をコイルバネ68を介在させた状態で取り付けたものである。図 10中69は、吸込口であり、図11中70は、枠体64と吸着部材65の間の中空を保持す るための間隔保持部材であり、ねじ71で固定したものである。そして、吸込口69 と特に図示しないチューブで配管して、この吸着部材65を基板４表面にコイルバ ネ68・・でクッション性を持たせて当接させた状態で、ブロア、真空ポンプ等で 排気することにより、吸着部材65の背面を減圧することにより基板４を吸着して 搬送しうるようにしたものである。尚、この出口側搬送機Ｄに、上述した位置決 め手段10を設けことにより、位置決め機能を設けることも可能である。

【００１９】 また、反転機７は、基板４表面を例えば吸盤等で吸着して回転させることによ り、反転させるようにしたものである。

【００２０】 尚、昇降用エアーシリンダー27、38の代わりに、電機モーター等の他の駆動手 段を用いて昇降自在とすることも可能である。

【００２１】 而して、自動基板裁断装置Ｍによれば、図１に示すようにまず入口側搬送部（ Ａ）の工程において、入口側コンベアＣ１で複数個の基板４を離間して積層する ことにより収納したカセット５が搬送され、入口側搬送コンベアＴ１上に図12の 如く二枚のガラス基板１、２を重ね合わせて形成された基板４が載置され、吸着 搬送手段11の吸盤35・・及び清掃手段12の植毛部46を上昇させた状態で駆動用モ ーター23が回転してピニオン22とラックレール18が噛み合うことにより案内用レ ール17上を第１搬送機Ａが左端に移動し、そして図１の位置で吸着搬送手段11の 吸盤35・・のみが下降して吸盤35・・で基板４表面を吸着した後上昇させ、また テーブル24表面から位置決め用基準ピン61、61、62が没した状態であり、清掃手 段12の植毛部46が下降し、駆動用モーター23が逆回転して第１搬送機Ａが右側に 移動されることにより、この植毛部46がテーブル24上を清掃し、吸着搬送手段11 が第１スクライブテーブルＴ２上まで移動してこの位置でテーブル24表面から位 置決め用基準ピン61、61、62が突出した後、吸着搬送手段11が下降して図１中想 像線で示すように基板４が載置さ、上述したように位置決め手段10の保持部材56 にて図１中矢印方向に基板４を位置決め用基準ピン61、61、62に当接するまで引 き寄せて基板４の位置決めを行うことができるのである。

【００２２】 第一裁断部（Ｂ）の工程では、図13（ａ）の如く第１スクライブテーブルＴ２ 上に基板４を水平に載置され、上方に向いた第１ガラス基板１をそれに印刷した スクライブマークＳＭで予め設定されたラインに沿って上方からガラスカッター 等のスクライブ手段６でスクライブ72する。次に、ウエイティングスペースＴ０ 上に待機していた中間搬送機Ｂが移動し、吸盤35・・にて基板４を同様に吸着し て、ウエイティングスペースＴ０を通過して反転機７上に基板４を載置し、反転 機７にて基板４を吸着反転させ、反転載置テーブルＴ３に基板４を載置する。更 に、同様にして第２搬送機Ａが第１ブレイクテーブルＴ４上を清掃手段12にて清 掃するとともに、位置決め手段10にて図１中矢印に基板４を移動させて位置決め を行うことができる。そして、上方に向いた第２ガラス基板２の上方からブレイ ク手段８により図13（ｂ）の如く第１ガラス基板１のスクライブ72ラインに沿っ て押圧力を負荷させることで、第１ガラス基板１に図中一点鎖線状態で示すよう に曲げモーメントを付与して、第１ガラス基板１をスクライブ72ラインに沿って ブレイク73させる。そして、中間搬送部（Ｃ）の工程では、ウエイティングスペ ースＴ０上にて待機していた中間搬送機Ｂが移動し、ウエイティングスペースＴ ０を越えて中間テーブルＴ５上まで基板４を移動させるのである。

【００２３】 第二裁断部（Ｄ）の工程では、第１搬送機Ａが中間テーブルＴ５上の基板４を 同様に第２スクライブテーブルＴ６上に移動させるとともに、テーブル24表面上 を清掃し、位置決めを行い、図13（ｃ）の如く第２スクライブテーブルＴ６上に 第２ガラス基板２を上方に向けて基板４を水平に載置され、同じくそれに印刷し たスクライブマークＳＭで予め設定されたラインに沿ってスクライブ手段６でス クライブ72する。そして、ウエイティングスペースＴ０上に待機していた中間搬 送機Ｂが移動し、ウエイティングスペースＴ０を越えて反転機７上に基板４を移 動させ、同様に反転機７にて基板４を吸着反転させ、反転載置テーブルＴ７に基 板４を載置後、第２搬送機Ｃにて第２ブレイクテーブルＴ８上に移動させるとと もに、テーブル24表面上を清掃し、位置決めを行い、図13（ｄ）の如く上方を向 いた第１ガラス基板１の上方からブレイク手段８によって第２ガラス基板２のス クライブ72ラインに沿って押圧力を負荷させることで、同じく第２ガラス基板２ に曲げモーメントを付与して、第２ガラス基板２をスクライブ72ラインに沿って ブレイク73させる。そして、出口側搬送機Ｄを第２ブレイクテーブルＴ８上に位 置させ、吸着搬送手段11を下降して吸着部65で透明導電膜パターン３等に裁断さ れた基板４を吸着した後上昇させ、単位複層ガラスに裁断された基板４を出口側 コンベアＣ２上まで、搬送することができる。更に、出口側搬送部（Ｅ）の工程 では、出口側コンベアＣ２を用いて、単位複層ガラスに裁断された基板４を搬送 させることができるのである。

【００２４】 このように自動基板裁断装置Ｍによれば、基板４を裁断する時間を大幅に短縮 することができ、全体構造も簡単にしかもコンパクト化を図ることができる。

【００２５】

【考案の効果】

本考案は、上述のとおり構成されているので、次に記載する効果を奏する。 請求項１の自動基板裁断装置における位置決め機能を有する搬送機によれば、 位置決め手段が吸着搬送手段に一体に設置されいるので、スクライブテーブル又 はブレイクテーブルにターンテーブルを用いても、位置決め手段を駆動させるた めのエアー配管、電気配線が、ターンテーブルの動きに伴って、捩じれて破損す る等のトラブルが生じることがなく、また例えばテーブル表面に保持部材を移動 させる為の凹所等を設ける必要がないので、こうした凹所にガラスカレットやご みが詰まることがなく、これに伴って保持部材等の作動不良を解消できるので、 工程の乱れや不良品発生が生じることがなく、更にテーブルも従来のものに比べ て小さなものとなるのである。

【００２６】 請求項２の自動基板裁断装置における位置決め機能を有する搬送機によれば、 位置決め用基準ピンを位置決め等の必要な時にだけ突出させることができるので 、特に搬送中、スクライブ中又はブレーク中にこの位置決め用基準ピンに吸着搬 送手段、スクライブ手段、ブレーク手段等がひっかかることがなく、加えてテー ブル上もスッキリするので、ガラスカレットやごみの詰まりの問題も完全に解消 することができるのである。

【図面の簡単な説明】

【図１】自動基板裁断装置における概略平面図

【図２】中間搬送機の平面図

【図３】同じく側面図

【図４】第１搬送機の平面図

【図５】同じく側面図

【図６】同じく要部を示す側面図

【図７】図４におけるＡ−Ａ矢視方向から見た一部断面
状態の側面図

【図８】位置決め手段の他の例を示す原理図

【図９】位置決め手段の他の例を示す原理図

【図10】出口側搬送機の平面図

【図11】同じく一部断面状態の側面図

【図12】複層ガラス基板の一例の一部を示す平面図

【図13】複層ガラス基板の裁断方法の工程手順を示す説
明図

【符号の説明】

Ａ 位置決め機能を有する第１搬送機 Ｂ 中間搬送機 Ｃ 位置決め機能を有する第２搬送機 Ｄ 出口側搬送機 Ｍ 自動基板裁断装置 １ ガラス基板 ２ ガラス基板 ３ 透明電導膜パターン ４ 基板 ５ カセット ６ スクライブ手段 ７ 反転機 ８ ブレイク手段 10 位置決め手段 11 吸着搬送手段 12 清掃手段 13 固定台 14 調整用ねじ 15 支持台 16 支持片 17 案内用レール 18 ラックレール 19 外被部材 20 走行部材 21 回転軸 22 ピニオン 23 駆動用モーター 24 テーブル 25 延設片 26 ロッド 27 昇降用エアシリンダー 28 案内用軸受 29 案内杆 30 ナット 31 連結継手 32 ナット 33 昇降片 34 取付片 35 吸盤 36 延設片 37 ロッド 38 昇降用エアシリンダー 39 案内用軸受 40 案内杆 41 ナット 42 取付板 44 吸込部 45 ダクト本体 46 植毛部 47 清掃部 48 取付片 49 ロッド 50 エアシリンダー 51 駆動部 52 案内用杆体 53 止め片 54 取付部 55 係止部 56 保持部材 57 コイルバネ 58 螺部 59 固定用ナット 60 ストッパー片 61 位置決め用基準ピン 62 位置決め用基準ピン 63 取付用板体 64 枠体 65 吸着部材 66 取付ボルト 67 取付ナット 68 コイルバネ 69 吸込口 70 間隔保持部材 71 ねじ 72 スクライブ 73 ブレイク

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁵ 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｂ６５Ｇ 49/06 9244−3Ｆ Ｃ０３Ｂ 33/07 9041−4Ｇ Ｇ０２Ｆ 1/13 １０１ 9315−2Ｋ Ｇ０５Ｄ 3/10 Ａ 9179−3Ｈ

Claims (2)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 ガラス基板等の基板をスクライブ手段で
   スクライブし、ブレイク手段でブレイクして裁断するた
   めに基板を搬送するに際し、テーブル上に載置した基板
   を表面から突出した位置決め用基準ピンに当接するよう
   に基板端部を保持部材にて押圧して位置決めを行う位置
   決め手段を、テーブル上で基板を吸着させて搬送する吸
   着搬送手段に一体に設置してなる自動基板裁断装置にお
   ける位置決め機能を有する搬送機。
2. 【請求項２】 位置決め用基準ピンをテーブルに出没自
   在とした請求項１記載の自動基板裁断装置における位置
   決め機能を有する搬送機。