JP2011073875A - 搬送方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】搬送部によって被搬送物5が支持される。チャック6の第1部分64aおよび第2部分64bのそれぞれが、被搬送物5の一の側S1の反対側S2の一部をなす第1領域と、主面MSの一部をなす第2領域とを押圧することによって、被搬送物5が挟まれる。第2領域は主面MSの縁から間隔AP2だけ離れている。搬送部およびチャック6を共に移動させることによって、搬送部によって支持されかつチャック6によって挟まれた被搬送物5が移動させられる。
【選択図】図11
Description
好ましくは、第2部分は凸曲面を有する。これにより、基板が第2部分の凸曲面と接することができるので、基板が角部と接する場合に比して、基板における応力集中を抑制することができる。
(実施の形態1)
図1および図2を参照して、基板52がトレー51上に載せられる。すなわちトレー51は、図2における下側S1(一の側の反対側)から基板52を支持する。上側S2(一の側)には、基板52の主面MSが露出される。次にトレー51および基板52が、被搬送物5として、ともに第1の容器41の内部に搬入される。これによりトレー51は下側S1から第1の容器41のローラ71に支持される。
図17および図18を参照して、ハンド50および補助チャック81を共に移動させることによって、被搬送物5が第2の容器42の内部に動かされる(矢印J2)。
主に図23を参照して、本実施の形態の基板チャックは、実施の形態1の基板チャック6が有する第1および第2パッド64a、64b(図12)のそれぞれの代わりに、第1および第2パッド64aR、64bRを有する。
図24を参照して、たとえば熱分布の影響によって、基板52は第2パッド64bSの方に凸に反ることがある。この場合に、第1および第2パッド64aS、64bSの各々の平坦面によって被搬送物5が挟まれると、この平坦面のエッジに位置する角部CCによって基板52への応力集中CCが生じやすい。
主に図26および図27を参照して、本実施の形態の被搬送物5Vは、基板52を有するがトレー51(図1)を有しない。よって基板52は、図27における上側S2(一の側)において露出された主面MSを有し、さらに下側S1においても露出された主面を有する。
主に図29および図30を参照して、ハンド50Vが上昇することで(矢印U)、基板52がローラ71(図27)から持ち上げられる。すなわちハンド50Vによって被搬送物5Vが支持される。
(実施の形態4)
図34を参照して、本実施の形態においては、チャック6はストッパ機構90を有する。ストッパ機構90は、ボルト部91と、ストッパナット92(ストッパ部)と、補助ナット93と、固定ナット94とを有する。
まず、ストッパナット92の第2アーム62bに面する面と、第1アーム62aとの間の間隔LHが必要に応じて調整される。間隔LHの大きさは、後に行われる被搬送物5を挟む工程(実施の形態1における図10〜図12の工程に相当する工程)における把持力に対応して調整される。すなわち、より大きな把持力が求められる場合、間隔LHは小さくされ、逆により小さな把持力が求められる場合、間隔LHは大きくされる。具体的な作業としては、補助ナット93が緩められた状態で、ボルト部91周りにストッパナット92を回転させることで、上記調整を行なうことができる。
Claims (11)
- 一の側に露出された主面を有する基板を含む被搬送物を支持しつつ移動させるための搬送部と、前記搬送部に対する前記被搬送物の位置を固定するために前記被搬送物を挟むためのチャックとを用いた搬送方法であって、
前記搬送部によって前記被搬送物を支持する工程と、
前記チャックの第1および第2部分のそれぞれが、前記被搬送物の前記一の側の反対側の一部をなす第1領域と、前記主面の一部をなす第2領域とを押圧することによって、前記被搬送物を挟む工程とを備え、前記主面の縁から離れた部分を前記第1および第2領域として前記第1および第2部分で押圧し、さらに
前記搬送部および前記チャックを共に移動させることによって、前記搬送部によって支持されかつ前記チャックによって挟まれた前記被搬送物を移動させる工程を備えた、搬送方法。 - 前記第1領域は平面視において前記主面の縁から離れている、請求項1に記載の搬送方法。
- 前記第1および第2部分は、前記主面に垂直な一の断面において、前記主面に垂直な共通の中心線を有する、請求項1または2に記載の搬送方法。
- 前記第1および第2部分は、前記一の断面において、前記主面に平行な共通の長さを有する、請求項3に記載の搬送方法。
- 前記第2部分は弾性体からなる、請求項1〜4のいずれかに記載の搬送方法。
- 前記被搬送物を挟む工程は、前記第1および第2の部分のそれぞれを支持する第1および第2アームの間の最小間隔が制限されながら行われる、請求項1〜5のいずれかに記載の搬送方法。
- 前記第2部分はシリコーン樹脂からなる、請求項1〜6のいずれかに記載の搬送方法。
- 前記第2部分は凸曲面を有する、請求項1〜7のいずれかに記載の搬送方法。
- 前記第1部分は凸曲面を有する、請求項1〜8のいずれかに記載の搬送方法。
- 前記第2部分の表面硬度は、前記基板の表面硬度よりも低い、請求項1〜9のいずれかに記載の搬送方法。
- 前記被搬送物は、前記一の側の反対側から前記基板を支持するトレーを含む、請求項1〜10のいずれかに記載の搬送方法。
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