WO2007037005A1

WO2007037005A1 - ワーク収納装置

Info

Publication number: WO2007037005A1
Application number: PCT/JP2005/017939
Authority: WO
Inventors: Makoto Fujiyoshi
Original assignee: Hirata Corporation
Priority date: 2005-09-29
Filing date: 2005-09-29
Publication date: 2007-04-05
Also published as: CN101273448B; TW200716467A; TWI374109B; KR20080030111A; KR100957615B1; CN101273448A; JPWO2007037005A1; JP4758432B2

Abstract

　本発明の目的は、ワークをエアにより浮遊状態とする際、ワークをより安定して浮遊させることにある。本発明のワーク収納装置は、昇降手段による昇降動作によってエア噴出手段を収納カセット内に進入させ、収納カセットから外部へ搬出するワークをエア噴出手段により浮遊させるものにおいて、エア噴出手段の上面から突出して、浮遊状態にあるワークの下面に当接するパッドを設けたことを特徴とする。

Description

明細書

ワーク収納装置

技術分野

[0001] 本発明は、ガラス基板等のワークを収納カセットに収納するワーク収納装置に関するものである。

背景技術

[0002] 薄型ディスプレイの製造に使用されるガラス基板等の方形板状のワークは、収納力セット内に多段に収納される。そして、ワークの処理時には収納カセットから移載装置によりワークが一枚ずつ取り出されて処理装置等へ搬送され、また、処理済みのヮークは移載装置により再び収納カセットへ搬入される。このような設備では、収納カセットと移載装置間でワークの受渡しを行なう装置が必要となる。

[0003] この種の装置として、例えば、特開 2005— 75643号公報には収納カセットの下方にエア噴出装置とローラコンベアとを配設し、収納カセットの下段側力順次ワークを収納カセット外へ搬出する装置が開示されている。この装置では収納カセットを降下し、エア噴出装置力エアを噴出することで、収納カセット内のワークを各段の載置部から浮遊させ、ワークの端縁を押圧してその位置決めが行なわれる。ワークの位置決めの後、エア噴出装置が降下することでワークがローラコンベア上に載置され、ローラコンベアによりワークが収納カセット外へ搬出される。

発明の開示

[0004] しかし、浮遊状態のワークは不安定な状態であるため、ワークに外力が作用するとワークが滑るようにして周囲の部材に衝突し、ワークを損傷する虞がある。例えば、特開 2005— 75643号公報に記載の装置のようにワークが浮遊状態でその位置決めを行なおうとすると、位置決め装置によりワークの端縁が押圧された時にワークが滑るようにして周囲の部材に衝突し、ワークを損傷する虞がある。また、特開 2005— 7564 3号公報には記載されていないが、浮遊状態にあるワークの端部を移載装置が保持して収納カセット外へ排出する構成を採用した場合においても、移載装置がワークの端部を保持する際に、ワークの滑りが生じる虞がある。 [0005] そこで、本発明の目的は、ワークをエアにより浮遊状態とする際、ワークをより安定して浮遊させること〖こある。

[0006] 本発明によれば、エアの噴出口が複数形成された略水平の上面を有し、前記噴出口からのエアの噴出により、方形板状のワークを略水平姿勢で前記上面上で浮遊させるエア噴出手段と、上下方向に多段に形成され、前記エア噴出手段が通過可能な開口部を有すると共に前記ワークが略水平姿勢で載置される複数の載置部と、前記ワークの搬出口を形成する側部と、前記エア噴出手段が通過可能な進入口を形成する底部と、を備え、前記エア噴出手段の上方に配設される収納カセットと、前記収納カセットと前記エア噴出手段とを相対的に上下に昇降させる昇降手段と、を備え、前記昇降手段による昇降動作によって前記エア噴出手段を前記収納カセット内に進入させ、前記収納カセットから外部へ搬出する前記ワークを前記エア噴出手段により前記載置部から浮遊させるワーク収納装置において、前記エア噴出手段の前記上面力も突出して、浮遊状態にある前記ワークの下面に当接するパッドを設けたことを特徴とするワーク収納装置が提供される。

[0007] このワーク収納装置では前記パッドが浮遊状態にあるワークの急激な移動に抵抗する。従って、浮遊状態にあるワークに対して外力が作用しても、ワークの滑りを低減し、ワークをより安定して浮遊させることができる。

[0008] 本発明においては、前記パッドを前記エア噴出手段の前記上面力も突出する突出位置と、非突出位置との間で昇降するパッド昇降手段を更に設けることもできる。ヮークが搬出される際、前記パッドを降下させることでワークの下面にパッドが擦れてヮークを傷付けることを防止できる。

[0009] また、本発明においては、前記パッドが、エアの吸引により浮遊状態にある前記ヮ一クの下面に吸着する吸着パッドであることが望ましい。前記吸着パッドによりワークが支持されるので、ワークの滑りをより一層低減し、ワークをより安定して浮遊させることがでさる。

[0010] また、本発明においては、前記吸着パッドを前記ワークの搬出方向に移動させる移動手段を更に設けることが望ましい。前記移動手段による前記吸着パッドの移動により、ワークを前記収納カセットから一定量搬出することができ、移載装置へのワークの受渡しが円滑に行なえる。

[0011] また、本発明においては、前記エア噴出手段の前記上面から突出して、前記移動手段による前記吸着パッドの移動に伴、移動する前記ワークの下面に当接する補助ローラを更に設けることもできる。ワークをより安定して一定量搬出することができる。

[0012] また、本発明においては、前記吸着パッドと前記補助ローラとは前記ワークの搬出方向に離間して設けられ、更に、前記吸着パッドを、前記エア噴出手段の前記上面から突出する突出位置と、非突出位置との間で昇降する吸着パッド昇降手段と、前記補助ローラを、前記エア噴出手段の前記上面から突出する突出位置と、非突出位置との間で昇降する補助ローラ昇降手段と、を備え、前記吸着パッドと前記補助ローラとは同期的に昇降することもできる。前記吸着パッドと前記補助ローラとがワークの搬出方向に離間して設けられることで、ワークを更に安定して一定量搬出することができる。また、前記吸着パッドと前記補助ローラとを同期的に昇降することで、前記補助ローラを必要な時にのみ、前記突出位置へ位置させることができる。

[0013] また、本発明においては、浮遊状態にある前記ワークの端縁を略水平方向に押圧して前記ワークを位置決めする位置決め手段を備えることが望ましい。本発明では前記パッドを設けたことにより、ワークの端縁を押圧してもワークの滑りを低減し、ワークを損傷することなくその位置決めが行なえる。

[0014] 本発明のその他の特徴及び利点は、添付図面を参照とした以下の説明により明らかになるであろう。なお、添付図面においては、同じ若しくは同様の構成には、同じ参照番号を付す。

図面の簡単な説明

[0015] 添付図面は明細書に含まれ、その一部を構成し、本発明の実施の形態を示し、その記述と共に本発明の原理を説明するために用いられる。

[図 1]本発明の一実施形態に係るワーク収納装置 Aを用いた、ワーク処理設備 100のレイアイトを示す平面図である。

[図 2]移載装置 Cの外観斜視図である。

[図 3]ワーク収納装置 Aの外観斜視図である。

[図 4]収納カセット 20の外観斜視図である。 [図 5] 1段分の載置部を示す図である。

[図 6]昇降装置 30の外観斜視図である。

[図 7]昇降ユット 31の分解斜視図である。

[図 8]エア噴出装置 10の外観斜視図である。

[図 9]図 9は位置決め装置 40の外観斜視図である。

[図 10]ワーク収納装置 Aの制御部 50の構成を示すブロック図である。

[図 11]ワーク収納装置 Aの動作説明図である。

[図 12]ワーク収納装置 Aの動作説明図である。

[図 13]ワーク収納装置 Aの動作説明図である。

[図 14]ワーク収納装置 Aの動作説明図である。

[図 15]ワーク収納装置 Aの動作説明図である。

[図 16]ワーク収納装置 Aの動作説明図である。

[図 17]ワーク収納装置 Aの動作説明図である。

[図 18]ワーク収納装置 Aの動作説明図である。

[図 19]ワーク収納装置 Aの動作説明図である。

[図 20]収納カセット 20'の外観斜視図である。

[図 21]搬入出口 24側の櫛歯 26a近傍の拡大断面図である。

[図 22]搬入出口 24側の櫛歯 26a近傍の拡大断面図である。

発明を実施するための最良の形態

[0016] 以下、本発明を適用した基板搬出入装置の実施の形態を図を参照して説明する。

[0017] <設備の全体構成 >

図 1は本発明の一実施形態に係るワーク収納装置 Aを用いた、ワーク処理設備 10 0のレイアイトを示す平面図である。なお、各図において X、 Yは相互に直交する水平方向、 Zは鉛直方向を示す。ワーク処理設備 100はワークとして方形板状のガラス基板を処理する設備であって、ワーク収納装置 Aと、処理装置 Bと、移載装置 Cと、を備える。

[0018] 移載装置 Cは Y方向に延びるレール 1上を移動可能である。また、移載装置 Cは、図 1におヽて矢印で示すように、ワーク収納装置 A及び処理装置 Bに対して X方向にガラス基板を搬入出可能である。図 1では複数の処理装置 Bが図示されているが、各処理装置 Bの処理内容は異なる内容としてもよいし、同じ内容であってもよい。係る構成力もなるワーク処理設備 100では、未処理のガラス基板がワーク収納装置 Aから移載装置 Cを介して処理装置 Bへ搬送され、また、処理済のガラス基板が処理装置 Bから移載装置 Cを介してワーク収納装置 Aへ戻されることになる。

[0019] <移載装置 Cの構成 >

図 2は本実施形態における移載装置 Cの外観斜視図である。図 2に示す移載装置 Cは一例であり、ワーク収納装置 Aと共に用いられる移載装置 Cとしては種々のものが採用可能である。移載装置 Cは、支持テーブル 2と、支持テーブル 2の左右の側部にそれぞれ設けられた一対のリニアガイド 3と、リニアガイド 3に沿って移動する一対のハンドユニット 4と、支持テーブル 2を支持すると共に移載装置 C全体をレール 1に沿って Y方向に往復移動させる走行ユニット 5と、を備える。

[0020] 支持テーブル 2の上面には、エアの噴出を行なう複数の噴出口 2aが形成されており、不図示のエア供給装置 (例えばコンプレッサ）力も供給されるエアーを噴出する。リニアガイド 3はリニアモータ形式でノヽンドユニット 4を X方向に往復移動させる。ハンドユニット 4は、その先端部の上面にエアの吸引口 4aが形成されており、不図示のェァ吸引装置 (例えばコンプレッサ）によりエアを吸引する。走行ユニット 5は移載装置 C 全体をレール 1に沿って移動させる駆動輪 5a並びに当該駆動輪を回転させるモータ等の駆動手段を備える。

[0021] 係る構成力もなる移載装置 Cの動作について説明する。まず、ワーク収納装置 Aからガラス基板を受け取り、処理装置 Bへ搬送する場合には、走行ユニット 5により移載装置 Cをワーク収納装置 Aと向か、合う位置に移動する。続、てハンドユニット 4を + X方向の端部に移動させ、吸引口 4aからエアを吸引し、ワーク収納装置 Aに収納されたガラス基板の端部を保持する。次に噴出口 2aからエアを噴出させ、ガラス基板を保持したハンドユニット 4を— X方向に移動し、支持テーブル 2上にガラス基板を移動させる。噴出口 2aからのエアの噴出により、ガラス基板は支持テーブル 2上で浮遊状態にある。

[0022] 次に、走行ユニット 5により移載装置 Cをガラス基板の搬送先の処理装置 Bと向かい合う位置に移動する。続いてハンドユニット 4を +X方向の端部に再び移動させ、ガラス基板を処理装置 Bへ受け渡す。そして、噴出口 2aからのエアの噴出、吸引口 4a力らのエアの吸引を停止し、一単位の処理が終了する。処理装置 B力もガラス基板を受け取り、ワーク収納装置 Aへ搬送する場合にはこの逆の手順となる。

[0023] <ワーク収納装置 Aの構成 >

図 3はワーク収納装置 Aの外観斜視図である。ワーク収納装置 Aは、エア噴出装置 10と、エア噴出装置 10の上方に配設される収納カセット 20と、昇降装置 30と、位置決め装置 40と、を備える。

[0024] <収納カセット >

図 4は収納カセット 20の外観斜視図である。収納カセット 20はガラス基板を上下方向（Z方向）に多段に収納可能なカセットである。なお、図 3及び図 4はガラス基板が未収納の状態を示している。本実施形態の場合、収納カセット 20は複数の柱部材 2 la、 21bと、梁部材 22a乃至 22gと、により略直方体形状のフレーム体をなしている。

[0025] 柱部材 21bは、 X方向に複数配設されると共に、 Y方向に離間して同数配設され、 Y方向の各柱部材 21b間及び各柱部材 21a間には上下方向（Z方向）に所定のピッチで複数のワイヤ 23が張設されている。このワイヤ 23によりガラス基板が略水平姿勢で載置される載置部が上下方向に複数段形成される。図 5は 1段分の載置部を示す図である。各段の載置部は、同じ高さにて X方向に離間して複数配設されたワイヤ 2 3により形成され、ガラス基板 Wはワイヤ 23上に載置される。各ワイヤ 23間と、 X方向両端のワイヤ 23の外方とは、それぞれ後述するエア噴出装置 10が通過可能な開口部 23aを形成する。本実施形態では載置部をワイヤにより形成した力他の方式ももちろん採用可能である。但し、ワイヤの使用により、収納される基板間の間隔を小さくすることができ、収納カセット 200の収納効率を高めることができる。

[0026] 図 4に戻り、収納カセット 20の互いに対向する X方向の両側部は、それぞれ張り部材 22aと柱部材 21aとにより門型に開放しており、—X方向の側部はガラス基板の搬入出口 24を形成している。収納カセット 20の底部は、一対の梁部材 22d、複数の梁部材 22b及び一つの梁部材 22fにより構成されており、これらの間や梁部材 22dの両端部近傍が後述するエア噴出装置 10が通過可能な進入口 25を形成している。 [0027] <昇降装置 >

図 6は昇降装置 30の外観斜視図、図 7は昇降ユニット 31の分解斜視図である。昇降装置 30は収納カセット 20とエア噴出装置 10とを相対的に上下に昇降させる装置である。本実施形態ではエア噴出装置 10を固定とし、収納カセット 20を昇降させる力収納カセット 20を固定とし、エア噴出装置 10を昇降させる構成も採用できる。

[0028] 本実施形態の場合、昇降装置 30は収納カセット 20を挟むように収納カセット 20の互いに対向する Y方向の両側部にそれぞれ配設され、収納カセット 20を片持ち支持する一対の昇降ユニット 31から構成される。この構成によれば、昇降ユニット 31をより薄型化でき、ワーク収納装置 A全体の設置スペースをより小さくできる。また、ガラス基板の搬入出口、エア噴出装置 10のスペースをより広く確保できる。

[0029] 昇降ユニット 31は、収納カセット 20の底部の梁部材 22dが載置されるビーム部材 3 11を備える。各昇降ユニット 31の各ビーム部材 311が同期的に上下方向（Z方向）に移動することで収納カセット 20が昇降される。昇降ユニット 31は上下方向に延びる支柱 312を備え、支柱 312の内側表面には上下方向に延びる一対のレール部材 313 及びラック 314が固定されている。各昇降ユニット 31間には、支柱 312の上端に梁部材 32が架設されている。

[0030] ビーム部材 311は支持板 315の一側面にブラケット 315aを介して固定されて支持される。支持板 315の他側面にはレール部材 313に沿って移動可能な 4つのスライド部材 316が固定され、ビーム部材 311及び支持板 315はレール部材 313の案内により上下に移動する。駆動ユニット 317はモータ 317aと減速機 317bとから構成されており、支持板 318の一側面に固定されて支持されている。減速機 317bの出力軸は支持板 318を貫通して支持板 318の他側面に配設されたピニオン 319aに接続されている。

[0031] 支持板 315と支持板 318とは所定の間隔を置いて相互に固定され、支持板 315と支持板 318との空隙にはピ-オン 319b乃至 319dが配設されて!/、る。ピ-オン 319b 乃至 319dは支持板 315と支持板 318との間で回転可能に軸支され、ピ-オン 319b 及びピ-オン 319dは、ピ-オン 319aの回転に従動して回転する。ピ-オン 319cはピ-オン 319bの回転に従動して回転する。ピ-オン 319b乃至 319dは相互に同じ仕様のピ-オンであり、 2つのピ-オン 319c及び 319dは各ラック 314と嚙み合っている。

[0032] しかして、駆動ユニット 317を駆動するとピ-オン 319aが回転し、その駆動力により、駆動ユニット 317、支持板 315及び 318、スライド部材 316、及び、ビーム部材 311 がー体となって上方又は下方へ移動することになり、ビーム部材 311上に載置された収納カセット 20を昇降することができる。各昇降ユニット 31には、互いのビーム部材 3 11の昇降高さのずれを検出するセンサ 31 laがビーム部材 311の端部に設けられている。

[0033] センサ 31 laは例えば発光部と受光部とを備えた光センサであり、図 6に示すように相互に光を Y方向に照射してこれを受光した力否かを判定する。受光した場合は互 V、のビーム部材 311の昇降高さのずれがな、ことになり、受光しな!、場合は昇降高さにずれがあることになる。昇降高さのずれがセンサ 31 laで検出されると、モータ 317 aの制御によりずれが解消されるよう制御される。センサ 311aを設けてビーム部材 31 1の昇降高さのずれを制御することで、昇降時に収納カセット 20が傾くことを防止し、収納カセット 20をより安定して昇降することができる。

[0034] なお、各ビーム部材 311に設けられる 2つのセンサ 311aは、その一方が発光部と受光部とのいずれか一方を、その他方が発光部と受光部との他方を、有する構成としてもよい。また、光センサに限られず、他のセンサも採用可能である。

[0035] <エア噴出装置 >

図 8はエア噴出装置 10の外観斜視図である。本実施形態の場合、エア噴出装置 1 0は複数のエア噴出ユニット 11から構成されており、各エア噴出ユニット 11は収納力セット 20の昇降時に収納カセット 20と干渉しないよう、進入口 25、開口部 23aを通過可能な大きさ、位置に設定されている。各エア噴出ユニット 11は、エアの噴出口 111 aが複数形成された略水平の上面 111を有する。各エア噴出ユニット 11の各上面 11 1は略同一水平面上に位置して!/、る。噴出口 11 laは不図示のエア供給装置 (例えばコンプレッサ）から供給されるエアーを噴出し、収納カセット 20に収納されているガラス基板を略水平姿勢で上面 111上で浮遊させる。

[0036] 各エア噴出ユニット 11のうち、—X方向側の最端部に位置する 2つのエア噴出ュ- ット 11の各底部内方側にはリニアガイド 12が設けられて、る。各リニアガイド 12はリユアモータ形式で、エア噴出ユニット 11の側部に配設されたエアァクチユエータ 13 を X方向に往復させる。エアァクチユエータ 13はロッド部を上下に移動させることで上下方向（Z方向）に伸縮するァクチユエータであり、そのロッド部には吸着パッド 14が取り付けられている。吸着パッド 14の上面にはエアの吸引口 14aが複数設けられており不図示のエア吸引装置 (例えばコンプレッサ）によりエアを吸引する。

[0037] 吸着パッド 14はその上面がエア噴出ユニット 11の上面 111から突出した突出位置と、その上面が上面 111と略面一か或いは上面 111よりも低!、非突出位置との間で、エアァクチユエータ 13により昇降される。突出位置における吸着パッド 14の上面の、上面 111からの突出量はガラス基板の上面 111からの浮遊量と略同じに設定され、吸着パッド 14が突出位置に位置する場合、吸着パッド 14の上面がエア噴出ユニット 11の上面 111上で浮遊状態にあるガラス基板の下面に当接する。

[0038] なお、吸着パッド 14を昇降する手段としては、エアァクチユエータ 13に限られず、他の昇降手段も採用可能である。また、リニアガイド 12は吸着パッド 14をガラス基板の搬送方向（-X方向）に移動させる移動手段として機能するが、このような移動手段としてはリニアガイド 12以外の手段も採用可能である。

[0039] 次に、各エア噴出ユニット 11のうち、 +X方向側の最端部から 2番目に位置する 2 つのエア噴出ユニット 11の各底部内方側にはブラケット 15がそれぞれ設けられ、各ブラケット 15にはエアァクチユエータ 16が取り付けられている。エアァクチユエータ 1 6はロッド部を上下に移動させることで上下方向（Z方向）に伸縮するァクチユエータであり、そのロッド部には補助ローラ 17が取り付けられている。補助ローラ 17は駆動力を持たないフリーローラである。本実施形態では、吸着パッド 14と補助ローラ 17とは、ガラス基板の搬出方向に離間した位置にそれぞれ位置している。

[0040] 補助ローラ 17はその上端がエア噴出ユニット 11の上面 111から突出した突出位置と、その上端が上面 111と略面一か或いは上面 111よりも低!、非突出位置との間で、エアァクチユエータ 16により昇降される。突出位置における補助ローラ 17の上端の、上面 111からの突出量はガラス基板の上面 111からの浮遊量と略同じに設定され、補助ローラ 17が突出位置に位置する場合、補助ローラ 17の上端がエア噴出ユニット 11の上面 111上で浮遊状態にあるガラス基板の下面に当接する。本実施形態の場合、補助ローラ 17は吸着パッド 14の昇降と同期的に昇降する。なお、補助ローラ 17 を昇降する手段としては、エアァクチユエータ 16に限られず、他の昇降手段も採用可能である。

[0041] <位置決め装置 >

図 9は位置決め装置 40の外観斜視図である。本実施形態の場合、位置決め装置 4 0は 4基配設されている。 4基の位置決め装置 40は、それぞれ 2つが 1組となる。 1組の位置決め装置 40は互いに向力、合うように Y方向に離間して配設されて!/、る。そして、 2組の位置決め装置 40は X方向に離間して配設されて、る。

[0042] 各位置決め装置 40はガラス基板の端縁 (本実施形態の場合、 Y方向の両端辺）を略水平方向に押圧する円形のローラ 41と、ローラ 41を Y方向に往復移動させるプッシャ 42と、を備える。プッシャ 42はここでは Y方向に伸縮するエアァクチユエータである。ローラ 41はプッシャ 42の先端部分に回転自在に軸支されて、る。

[0043] <制御部 >

図 10はワーク収納装置 Aの制御部 50の構成を示すブロック図である。制御部 50はワーク収納装置 Aの全体の制御を司る CPU51と、 CPU51のワークエリアを提供すると共に、可変データ等が記憶される RAM52と、制御プログラム、制御データ等の固定的なデータが記憶される ROM53と、を備える。 RAM52、 ROM53は他の記憶手段を採用可能である。

[0044] 入力インターフェース（IZF) 54は、 CPU51とセンサ 311aとのインターフェースであり、入力 IZF54を介して CPU51はセンサ 311aの検出結果を取得する。出力インターフェース（IZF) 55は、 CPU51とモータ 317a、リニアガイド 12及び制御弁とのィンターフェースであり、出力 I/F55を介して CPU41はモータ 317a、リニアガイド 12 及び制御弁を制御する。制御弁は、各エア噴出ユニット 11の噴出口 111aからのェァの噴出の有無、吸着パッド 14の吸引口 14aのエアの吸引の有無、エアァクチユエータ 13及び 16の作動、プッシャ 42の作動を切替える制御弁である。

[0045] 通信インターフェース（IZF) 56はワーク処理設備 100全体を制御するホストコンビユータ 6と CPU51とのインターフェースであり、 CPU51はホストコンピュータ 6からの指令に応じてワーク収納装置 Aを制御することになる。

[0046] <ワーク収納装置 Aの動作 >

ワーク収納装置 Aにおけるガラス基板の搬出時の動作について説明する。図 11乃至図 19はワーク収納装置 Aの動作説明図である。図 11及び図 15はエア噴出装置 1 0及び収納カセット 20の平面視図であり、図 12乃至図 14及び図 16乃至 19は図 11 の線 I—Iに沿う断面図である。各図においては要部のみ図示し、ワイヤ 23等は省略されている。

[0047] 本実施形態では昇降装置 30による昇降動作によってエア噴出装置 10を収納カセット 20内に進入させ、エア噴出装置 10により載置部上（つまり、各段のワイヤ 23上）のガラス基板を載置部から浮遊させる。そして、移載装置 Cのハンドユニット 4が浮遊状態にあるガラス基板を抜き取るようにして収納カセット 20外へ搬出する。

[0048] 図 12は収納カセット 20がエア噴出装置 10の上方を位置しており、未だエア噴出装置 10が収納カセット 20内に進入していない状態を示す。図 12に示す収納カセット 2 0の各段にはガラス基板 Wが載置されている。ガラス基板 Wは、より下段のものから搬出される。図 12のように収納カセット 20にガラス基板 Wが満杯の状態の場合、最下段のガラス基板 Wが最初に搬出される。

[0049] まず、図 13に示すように各エア噴出ユニット 11の噴出口 111aからエアを噴出する。また、エアァクチユエータ 13及び 16により、 +X方向の端部にある吸着パッド 14及び補助ローラ 17をそれぞれ突出位置へ上昇させ、吸引口 14aからのエアの吸引を行なう。図 13において線 L1は各エア噴出ユニット 11の各上面 111の Z方向の位置（高さ）を示し、線 L2は吸着パッド 14の上面及び補助ローラ 17の上端の Z方向の位置 (高さ）を示している。

[0050] 次に、昇降装置 30により収納カセット 20を図 14に示すように降下させてエア噴出装置 10を収納カセット 20内に進入させ、各エア噴出ユニット 11の上面 111が最下段の載置部と略同じ高さに位置するようにする。すると、噴出口 111aからのエアの噴出により最下段の載置部に載置されていたガラス基板 Wが浮遊し、浮遊状態になる。同時に、吸着パッド 14の上面がガラス基板 Wの下面に当接し、吸引口 14aからのエアの吸引によりガラス基板 Wは吸着パッド 14に吸着する。吸着パッド 14はガラス基板 W の極一部を吸着するものであるため、ガラス基板 wを固定してしまうほどのものではない。また、補助ローラ 17の上端がガラス基板 Wの下面に当接する。

[0051] 次に、図 15に示すように位置決め装置 40のプッシャ 42を駆動して、ローラ 41を収納カセット 20に向けて Y方向に移動させる。ローラ 41の Z方向の高さは各エア噴出ュニット 11の上面 111の高さよりも僅かに上方に設定されており、ローラ 41が収納カセット 20内に入り込んで浮遊状態にあるガラス基板 Wの端縁を押圧する。これにより、浮遊状態にあるガラス基板 Wの位置決めがなされる。位置決め後、ローラ 41は元の位置へ戻る。

[0052] ローラ 41がガラス基板 Wを押圧するとガラス基板 Wへ各ローラ 41の当り方次第で急激にガラス基板 Wを移動させ、ガラス基板 Wが滑る虞がある。しかし、本実施形態ではガラス基板 Wが吸着パッド 14に吸着されているので、吸着パッド 14によりガラス基板 Wが支持され、ガラス基板 Wの急激な移動に抵抗する。従って、ガラス基板 Wの滑りを低減し、ガラス基板 Wをより安定して浮遊させることができる。

[0053] ガラス基板 Wの位置決めが終了すると、図 16に示すようにリニアガイド 13を駆動し、吸着パッド 14を— X方向（ガラス基板 Wの排出方向）に移動させる。ガラス基板 14 は吸着パッド 14に吸着され、かつ、各エア噴出ユニット 11の噴出口 111aからエアが噴出されて浮遊状態にあるので、ガラス基板 14は吸着パッド 14の移動に従って、 - X方向に移動する。この結果、図 16に示すようにガラス基板 14の一部が収納カセット 20から飛び出した状態となる。ガラス基板 Wが移動する際、吸着パッド 14に対して搬出方向に離間して設けられた補助ローラ 17がガラス基板 Wの移動方向の後方部分を支持するので、ガラス基板 Wをより安定して移動させることができる。

[0054] 次に、図 17に示すように移載装置 Cのハンドユニット 4がガラス基板 Wを受け取りに来る。ハンドユニット 4はその吸引口 4aからエアを吸引することでガラス基板 Wの端部の下面を吸着保持する。ガラス基板 Wが吸着パッド 14に吸着されているので、ハンドユニット 4がガラス基板 Wを受け取りに来る際、ガラス基板 Wが滑ることが防止される。ハンドユニット 4がガラス基板 Wの端部を保持すると、吸着パッド 14の吸引口 14aからのエアの吸引を停止し、吸着パッド 14によるガラス基板 Wの吸着を解除する。更に、エアァクチユエータ 13及び 16を作動して吸着パッド 14及び補助ローラ 16をそれぞれ非突出位置に移動する。各エア噴出ユニット 11の噴出口 111aからのエアの噴出は継続する。

[0055] 続いて図 18に示すように移載装置 Cのハンドユニット 4を— X方向に移動して、収納カセット 20からガラス基板 Wを抜き取るようにして搬出する。また、リニアガイド 12を作動して吸着パッド 14を +X方向に移動し、元の位置へ戻す。このようにして 1枚のガラス基板 Wの搬出が終了する。

[0056] ハンドユニット 4がガラス基板 Wを抜き取る際、吸着パッド 14は非突出位置にあるので、ガラス基板 Wの下面に吸着パッド 14が擦れてガラス基板 Wを傷つけることが防止されると共に、吸着パッド 14を早期に元の位置に戻して次のガラス基板 Wの搬出の準備を行うことができる。

[0057] また、ガラス基板 Wを収納カセット 20から移載装置 Cへ受け渡す際、ガラス基板 W が図 17に示したように収納カセット 20—定量搬出された状態で、ハンドユニット 4がガラス基板 Wを受け取ることができるので、ハンドユニット 4が収納カセット 20内に入り込む必要がなぐ移載装置 Cへのワークの受渡しが円滑に行なえる。つまり、本実施形態の吸着パッド 14は、吸着パッド 14が移動することで、ガラス基板 Wの滑り防止だけではなぐガラス基板 Wの一定量の搬出による移載装置 Cへのワークの受渡しの円滑化をもなし得る。

[0058] 更に、吸着パッド 14と補助ローラ 17の昇降を同期的に行なうことで、補助ローラ 17 はガラス基板 Wの補助的な支持が必要な時にのみ、エア噴出ユニット 11の上面 111 力突出させることができる。

[0059] 以後、収納カセット 20を順次降下させ、同様の手順を繰り返すことによりガラス基板 Wが順次搬出されることになる。図 19は中段の載置部までガラス基板 Wの搬出が終了した状態を示す図であり、収納カセット 20が降下することに従って、エア噴出装置 10が収納カセット 20内へより進入していくことになる。また、移載装置 Cから収納カセット 20へガラス基板 Wを搬入する場合は、上述した搬出時と概ね逆の動作にて行なうことができ、収納カセット 20を順次上昇させて上段の載置部から順にガラス基板 W を搬入していくことになる。

[0060] <収納カセットの他の例 > 収納カセット 20はフォークリフト等に搭載されて搬送され、昇降装置 30のビーム部材 311上に載置される。収納カセット 20を搬送する際、振動により収納カセット 20内に収納されたガラス基板が搬出入口 24から飛び出してしまう場合がある。図 20はこのような問題を解決する収納カセット 20'の外観斜視図である。図 20において、上述した収納カセット 20と同じ構成については同じ符号を付し、説明を省略する。

[0061] 収納カセット 20，は、収納カセット 20の梁部材 22d及び 22eがそれぞれ ±X方向に延長された梁部材 22d'及び 22e'を備えており、これらの両端部にはそれぞれ規制部材 26が設けられている。規制部材 26は、例えば、可撓性を有する榭脂等力もなり、方形枠状の本体部分から Y方向に突出した複数の櫛歯 26aを有する。櫛歯 26aは上下方向（Z方向）に、収納カセット 20'の各載置部の配設ピッチと同ピッチで配設され、その Z方向の幅はガラス基板 Wの厚さと略同じである。

[0062] 図 21及び図 22は、—X側の規制部材 26の櫛歯 26a近傍の拡大断面図である。図 21はガラス基板 Wが収納カセット 20'内で載置部上に載置状態にある場合を示している。同図に示すように、ガラス基板 Wの— X方向には櫛歯 26aが存在しており、ガラス基板 Wがー X方向に移動して排出されようとすると櫛歯 26aに干渉する。これにより、ガラス基板 Wが収納カセット 20'の搬送時の振動等により搬出方向（一 X方向）に移動することが規制される。なお、図 20の +X側の規制部材 26も同様に、ガラス基板 W が収納カセット 20'の搬送時の振動等により +X方向に移動することを規制する。

[0063] 次に、図 22はガラス基板 Wのうちの一つが収納カセット 20'内で載置部上で浮遊している場合を示している。つまり、同図の最下段のガラス基板 Wは搬出されようとしている状態である。ガラス基板 Wが浮遊することにより、ガラス基板 Wは櫛歯 26a間の隙間を通過できることになり、規制部材 26は浮遊状態にあるガラス基板 Wが搬出方向（ X方向）に移動することは規制しない。

[0064] なお、上述した移載装置 Cのハンドユニット 4のように、ガラス基板の端部を保持して排出する方式の場合、従来ではハンドユニットが収納カセット内に少し入り込んでガラス基板を保持する必要があつたが、本実施形態のように規制部材 26を設けた構成ではハンドユニットと規制部材 26とが干渉してハンドュ-ッ 4が収納カセット 20'内に入り込めない。 [0065] し力しながら、本実施形態では吸着パッド 14の移動により、ガラス基板 Wを収納力セット 20'力も一定量飛び出させることができ、ハンドュニッ 4が収納カセット 20'内に入り込む必要がない。従って、規制部材 26を設けた収納カセット 20'にも対応できる

[0066] <他の実施形態 >

上記実施形態では吸着機能を持つ吸着パッド 14を採用したが、ガラス基板の滑り防止には必ずしも吸着機能を有するノッドである必要はなく、ガラス基板 Wの急激な移動（滑り）に抵抗するパッドであればよい。例えば、上面にゴムやフェルト布等を有するパッドであってもよい。尤も、吸着パッド 14のように吸着機能を有するノッドの方力ガラス基板の滑り防止に効果的であることは言うまでも無い。

[0067] 本願発明は上記実施の形態に限定されるものでなぐまた本願発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々の変更や修正が可能であるため、本願発明の範囲は以下の請求の範囲によって規定されるべきである。

Claims

請求の範囲

[1] エアの噴出口が複数形成された略水平の上面を有し、前記噴出口からのエアの噴出により、方形板状のワークを略水平姿勢で前記上面上で浮遊させるエア噴出手段と、

上下方向に多段に形成され、前記エア噴出手段が通過可能な開口部を有すると共に前記ワークが略水平姿勢で載置される複数の載置部と、前記ワークの搬出口を形成する側部と、前記エア噴出手段が通過可能な進入口を形成する底部と、を備え、前記エア噴出手段の上方に配設される収納カセットと、

前記収納カセットと前記エア噴出手段とを相対的に上下に昇降させる昇降手段と、を備え、

前記昇降手段による昇降動作によって前記エア噴出手段を前記収納カセット内に進入させ、前記収納カセットから外部へ搬出する前記ワークを前記エア噴出手段により前記載置部から浮遊させるワーク収納装置において、

前記エア噴出手段の前記上面力突出して、浮遊状態にある前記ワークの下面に当接するパッドを設けたことを特徴とするワーク収納装置。

[2] 前記パッドを前記エア噴出手段の前記上面から突出する突出位置と、非突出位置との間で昇降するパッド昇降手段を更に設けたことを特徴とする請求項 1に記載のヮーク収納装置。

[3] 前記パッドが、エアの吸引により浮遊状態にある前記ワークの下面に吸着する吸着ノ^ドであることを特徴とする請求項 1に記載のワーク収納装置。

[4] 前記吸着パッドを前記ワークの搬出方向に移動させる移動手段を更に設けたことを特徴とする請求項 3に記載のワーク収納装置。

[5] 前記エア噴出手段の前記上面から突出して、前記移動手段による前記吸着パッドの移動に伴い移動する前記ワークの下面に当接する補助ローラを更に設けたことを特徴とする請求項 4に記載のワーク収納装置。

[6] 前記吸着パッドと前記補助ローラとは前記ワークの搬出方向に離間して設けられ、更に、

前記吸着パッドを、前記エア噴出手段の前記上面から突出する突出位置と、非突出位置との間で昇降する吸着パッド昇降手段と、

前記補助ローラを、前記エア噴出手段の前記上面から突出する突出位置と、非突出位置との間で昇降する補助ローラ昇降手段と、を備え、

前記吸着パッドと前記補助ローラとは同期的に昇降することを特徴とする請求項 5 に記載のワーク収納装置。

浮遊状態にある前記ワークの端縁を略水平方向に押圧して前記ワークを位置決めする位置決め手段を備えたことを特徴とする請求項 1に記載のワーク収納装置。