JP4715088B2 - 基板搬送装置及び基板保管搬送装置 - Google Patents

Description

この発明は、例えば液晶用ガラス等の薄板基板の搬送ラインに設置される基板搬送装置、及びこの基板搬送装置を備えた基板保管搬送装置に関する。

この種の基板保管搬送装置としては、基板をハンドリングする多関節ロボットと、基板を多段に格納可能なカセット状の棚とを組み合わせ、基板を任意に搬入出可能な機能を持たせた装置が知られている。
また、昇降可能なカセット状の棚と、固定されたコンベヤとを組み合わせ、棚の上段から順に基板を搬入して格納する一方、格納された基板を下段から順に搬出する機能を持つ装置も知られている（例えば、特許文献１）。
特開２００２−２８９６７８号公報

しかしながら、上記多関節ロボットを用いた技術では、任意の棚へ基板を搬入出することができる反面、ロボットハンドとの干渉を避けるために棚の基板収納ピッチを広く必要があり、基板の収納枚数を増すことが困難である。また、ロボットと棚を組み合わせるために、設置スペースが大きいという問題もある。この設置スペースの問題は、特にクリーンルームで使用される場合に顕著となる。
他方、上記カセット状の棚を昇降可能にした技術では、上記ような設置スペースの問題はないが、任意の棚へ基板を搬入出することができないという制約がある。

この発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、高密度に多段収納された基板を任意に搬入出可能にすることにある。

上記課題を解決するために、この発明は、複数の基板を水平姿勢にて上下方向に多段収納し得る基板カセットに対し、基板搬送方向と直交する方向への往復動により抜き差しされる基板搬入出手段を備え、この基板搬入出手段は、基板をその両側縁部にて支持しながら搬送する複数対の搬送部と、該搬送部により搬送する基板の下面側に横方向より圧搾空気を噴射し得るノズル部とを備えてなる、という手段を採用することができる。
また、複数の基板を水平姿勢にて上下方向に多段収納し得る基板カセットと、上記構成の基板搬入出手段と、前記基板カセットを前記基板搬入出手段に対し相対的に昇降移動させる昇降機構とを備えてなる、という手段を採用することもできる。

さらに、複数の基板を水平姿勢にて上下方向に多段収納し得る基板カセットと、基板搬送方向と直交する方向への往復動により基板カセットに抜き差しされる基板搬入出手段と、前記基板カセットを前記基板搬入出手段に対し相対的に昇降移動させる昇降機構とを備えた基板保管搬送装置であって、前記基板カセットは、基板をその下面からの接触により支持し得る基板支持部を備え、前記基板搬入出手段は、基板をその両側縁部にて支持しながら搬送する複数対の搬送部と、該搬送部に支持された基板と前記基板支持部との間に圧搾空気を噴射し得るノズル部とを備えてなる、という手段を採用することもできる。
この構成において、前記基板支持部は、その両側縁部に下方傾斜して延びる圧搾空気案内部を備える、という手段を採用することもできる。

以上の手段によれば、基板を搬入出したい段に基板搬入出手段を抜き差しできるよう、昇降機構を用いて基板カセットと基板搬入出手段の高さ位置を合わせた後、基板搬入出手段を基板カセットの外内へ水平方向に抜き差しすることにより、多関節ロボットを用いずとも、基板収納ピッチの狭い基板カセットに対し、基板を任意に搬入出できる。
また、この搬入出中は、終始、基板の中央寄りの部分をノズル部から噴射された圧搾空気により基板支持部からエア浮上させて非接触に支持し得るので、搬入出時における基板への接触は、搬送部により直接支持される両側縁部だけとなり、基板汚染の極小化を図ることができる。

以下、この発明の最良の形態である実施例を図１〜図４の図面を参照して説明する。
この実施例による基板保管搬送装置は、例えば液晶表示パネル（ＬＣＤ）やプラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）等に用いられるガラス基板のように、大型かつ薄板状で、しかも、汚染防止等のために搬送物の両側縁部を支持しながら搬送することが要求されるものの搬送に用いて好適であり、図１及び図２に示すように、基板カセット１と、搬送ローラ（搬送部）２４及びエア噴出管（ノズル部）２６を備えた搬送ローラユニット（基板搬入出手段）２と、カセット昇降機構（昇降機構）３とを備えて構成されている。

基板カセット１は、基板搬送方向（図１の白抜矢印）の前側及び後側がガラス基板４の搬入口１１ａ及び搬出口１１ｂとなる箱形形状をなしており、その内空部には、ガラス基板４を水平姿勢にて搬入出及び格納するための棚段が上下方向に多数形成されている。
各棚段を構成する背面板（基板支持部）１２は、例えば、基板搬送方向及びそれと直交する方向（すなわち、基板幅方向）に略水平に延びる平板状に形成されていて、１つの棚段につき１枚が配設されている。

背面板１２の両側縁部（基板搬送方向と直交する方向の両端部）には、その延長方向に下方傾斜して延びる垂れ板部（圧搾空気案内部）１２ａが設けられている。この垂れ板部１２ａは、水平方向（基板搬送方向と直交する方向）の長さＬが背面板１２の全長に対して例えば７％程度に設定され、また、該水平方向に対する傾斜角度αは例えば２０°程度に設定されている。なお、垂れ板部１２ａは、背面板１２とは別体のものを固定しても、背面板１２の両側縁部を屈曲形成してもよい。
以上の構成により、基板カセット１は、ガラス基板４を背面板１２による下面からの接触により水平姿勢に保持しつつ上下方向に多段収納できるようになっている。

基板カセット１は、ガラス基板４を基板カセット１内の任意の棚段に搬入したり、基板カセット１内の任意の棚段からガラス基板４を搬出できるように、上下方向に定位置に支持された搬送ローラ２４及びエア噴出管２６に対し、相対的に昇降移動できるようになっている。そのためのカセット昇降機構３は、図２に示すように、基板カセット１の底部１１ｃを支持するブラケット３１と、サーボ駆動によりブラケット３１を上下動させるボールネジと、ブラケット３１の上下動を案内するガイド３２と、基板カセット１の上下方向の位置出しに用いられるセンサとを備えて構成されている。

搬送ローラユニット２は、図３に示すように、搬送物であるガラス基板４の幅方向、言い換えればガラス基板の搬送方向（白抜矢印）と直交する方向に間隔をおいて対向配置された一対のベース２１を備え、各ベース２１には基板搬送方向に間隔をおいて複数（この実施例では６つ）のコンベヤフレーム２２が固定されている。各コンベヤフレーム２２には、ベアリング等の軸サポート２３を介して、搬送ローラ２４が回転自在に支持されている。この搬送ローラは２４は、１つのコンベヤフレーム２２につき、複数個（この実施例では６つ）が基板搬送方向に間隔をおいて並設されている。

コンベヤフレーム２２には更に、基板搬送方向に沿って基板カセット１の略搬入口１１ａ側から略搬出口１１ｂ側へと延びる管状のエア噴出管２６が固定されている。このエア噴出管２６は、図４に示すように、上下方向（基板格納方向）には搬送ローラ２４よりも若干低い位置にくるように、また、左右方向（基板幅方向）には搬送ローラ２４よりもガラス基板４の中央部側に突出するように、支持部２６ａを介して固定されている。
エア噴出管２６には、ガラス基板４の幅方向中央部側を臨むように開口するエア噴出孔２７が、基板搬送方向に沿って例えば等間隔に複数形成されている。

エア噴出管２６には、送気ブロワ又はコンプレッサ（送気源）と接続された管路がカプラ等の連結手段を介して接続されている。
そして、送気ブロワを運転すると、管路及びカプラを経て各エア噴出管２６に供給された圧搾空気がエア噴出孔２７を通ってカセット基板１の幅方向中央に向かって噴射され（図３，図４の矢線参照。但し、図３では、図示都合上、一部のみを記載。）、基板カセット１内に搬入出されたガラス基板４の下面両側縁部４ａ，４ｂすなわち搬送ローラ２４で支持される部分よりも基板中央寄りの部分４ｃが非接触に支持される。

搬送ローラ２４の先端部には、軸方向に間隔をおいて２つの周溝が形成されており、これらの周溝にガラス基板４の下面両側縁部４ａ，４ｂに接触してガラス基板４を弾性的に支持する弾性体（例えば、Ｏリング）２４ａが嵌挿されている。また、搬送ローラ２４の基端部には、ローラ駆動ギヤ２５が設けられており、駆動モータ２８からの回転駆動力は、ローラ駆動ギヤ２５及び回転伝達機構を介して搬送ローラ２４に伝達される。
回転伝達機構は、モータ軸の先端に外挿されたギヤを含むギヤ列２９ａと、このギヤ列２９ａの回転を各搬送ローラ２４のローラ駆動ギヤ２５に伝達する伝達軸２９ｂとを備えてなる。

搬送ローラ２４を回転駆動する駆動モータ２８は、左右に配された各コンベヤフレーム２２に対して１個の割合、つまり、１２本の搬送ローラ２４に対して１個の割合で左右に３個づつ設置されていて、基板保管搬送装置全体では計６個設けられている（図１）。
搬送ローラ２４及びエア噴出管２６の基板カセット１内への抜き差しは、各コンベヤフレーム２２を一体に固定しているベース２１を水平方向、かつ基板搬送方向と直交する方向に前進及び後退させるローラ往復動機構（図示略）により実現される。

次に、以上の如く構成された基板保管搬送装置において、ガラス基板４を基板カセット１の任意の棚段に搬入する際の一手順について説明する。
搬送ローラ２４及びエア噴出管２６が基板カセット１外に抜き出された状態から、まず、カセット昇降機構３を駆動し、搬送ローラ２４及びエア噴出管２６の前進移動先に、ガラス基板４を搬入しようとする棚段（以下、搬入予定段）が位置するように基板カセット１を昇降させる。このとき、搬入予定段に対応する背面板１２は、搬送ローラ２４よりも若干低めに位置決めされる。

次いで、図２に示すように、ローラ往復動機構を駆動し、搬送ローラ２４及びエア噴出管２６を前進させて基板カセット１内に差し込む。
そして、送気ブロワから管路及びカプラを経てエア噴出管２６に圧搾空気を送気すると、この圧搾空気はエア噴出管２６に形成されたエア噴出孔２７からガラス基板４の幅方向中央部に向けて噴射される（図４）。これにより、搬入されたガラス基板４と背面板１２の上面１２Ａとの間にエア浮上層３０を形成し得るようになり、搬入されたガラス基板４は、搬送ローラ２４に支持される下面両側縁部４ａ，４ｂよりも基板中央寄りの部分４ｃが、このエア浮上層３０を介して非接触に支持可能になる。

しかる後、駆動モータ２８を駆動し、その回転駆動力をギヤ列２９ａ，伝達軸２９ｂ，及びローラ駆動ギヤ２５を介して搬送ローラ２４に伝達し、搬送ローラ２４をその軸回りに回転させる。すると、図１に示すように、基板カセット１の上流側に移送されてきたガラス基板４は、その下面両側縁部４ａ，４ｂに対する搬送ローラ２４との接触によって生じる摩擦力により、搬送方向前方（白抜矢印）に向かう搬送力を付与されて基板カセット１内に搬入される。このとき、ガラス基板４の下面両側縁部４ａ，４ｂは、それに転がり接触している搬送ローラ２４によって下方より直接支持されている。

これに対し、搬送ローラ２４と下面両側縁部４ａ，４ｂとの接触部分よりも基板中央寄りの部分４ｃは、エア噴出管２６に供給された圧搾空気がエア噴出孔２７から噴射されることにより、搬送ローラ２４の頂部と、それよりも若干低めに位置決めされた背面板１２の上面１２Ａとの段差に生ずる隙間に形成されたエア浮上層３０を介して、非接触に支持されている。この隙間は、非常に狭いものであるが、本実施例では、背面板１２の両側縁部に垂れ板部１２ａが設けられているので、エア消費量を減らしつつ効率的にガラス基板４を浮上させることができる。

すなわち、垂れ板部１２ａが設けられていないと、エア噴出孔２７から噴射された圧搾空気のごく一部しか隙間内に流入することができず、その殆どはガラス基板４のエア浮上に寄与しないまま無駄に消費されてしまうことになる。
これに対し、この実施例のように、背面板１２に垂れ板部１２ａが設けられていると、圧搾空気の流入間口が拡げられるので、エア噴出孔２７から噴射された圧搾空気は、垂れ板部１２ａに案内されて略全量が隙間に導入されることになる。よって、少ないエア消費量で効率的にガラス基板４を非接触支持することができる。

ガラス基板４が基板カセット１内に完全に搬入されると、送気ブロワからエア噴出管２６への送気を遮断すると共に、カセット昇降機構３を駆動して基板カセット１を上昇させ、搬入されたガラス基板４を基板カセット１の背面板１２に預ける。
そして、ガラス基板４が搬送ローラ２４から離間したところで、つまり、ガラス基板４を背面板１２に完全に預け終えたところで、ローラ往復動機構を駆動し、搬送ローラ２４及びエア噴出管２６を後退させて基板カセット１から抜き出す。以上が搬入動作の一例である。

次に、基板カセット１内に格納されている任意の棚段のガラス基板４を搬出する際の一手順について説明する。

まず、カセット昇降機構３を駆動し、搬送ローラ２４及びエア噴出管２６の前進移動先に、搬出予定のガラス基板４を格納している棚段（以下、搬出予定段）が位置するように基板カセット１を昇降させる。このとき、搬出予定段に対応する背面板１２は、搬送ローラ２４よりも若干高めに位置決めされる。
次に、ローラ往復動機構を駆動し、搬送ローラ２４及びエア噴出管２６を前進させて基板カセット１内に差し込んだ後、カセット昇降機構３を駆動して基板カセット１を下降させ、搬出予定のガラス基板４の下面両側縁部４ａ，４ｂを搬送ローラ２４に預ける。

そして、送気ブロワから管路及びカプラを経てエア噴出管２６に圧搾空気を送気すると、この圧搾空気はエア噴出管２６に形成されたエア噴出孔２７からガラス基板４の幅方向中央部に向けて噴射される。これにより、搬出予定のガラス基板４と背面板１２の上面１２Ａとの間にエア浮上層３０が形成されるので、搬送ローラ２４に支持された下面両側縁部４ａ，４ｂよりも基板中央寄りの部分４ｃは、このエア浮上層３０を介して背面板１２に非接触に支持される。このとき、背面板１２に垂れ板部１２ａが設けられているので、上記搬入動作の一例で説明したとおり、少ないエア消費量で効率的にガラス基板４を非接触支持することができる。

しかる後、駆動モータ２８を駆動して搬送ローラ２４をその軸回りに回転させると、基板カセット１内に格納されていた搬出予定のガラス基板４は、その下面両側縁部４ａ，４ｂに対する搬送ローラ２４との接触によって生じる摩擦力により、搬送方向前方（図１の白抜矢印）に向かう搬送力を付与されて基板カセット１外に搬出される。このとき、ガラス基板４の下面両側縁部４ａ，４ｂは、それに転がり接触している搬送ローラ２４によって下方より直接支持されているが、搬送ローラ２４と下面両側縁部４ａ，４ｂとの接触部分よりも基板中央寄りの部分４ｃは、エア噴出管２６に供給された圧搾空気がエア噴出孔２７ａより噴射されることにより、エア浮上層３０を介して非接触に支持されている。

ガラス基板４が基板カセット１外に完全に搬出されると、送気ブロワからエア噴出管２６への送気を遮断すると共に、ローラ往復動機構を駆動し、搬送ローラ２４及びエア噴出管２６を後退させて基板カセット１から抜き出す。以上が搬出動作の一例である。

以上説明したように、この実施例による基板保管搬送装置によれば、ガラス基板４を搬入出したい棚段に搬送ローラ２４及びエア噴出管２６を抜き差しできるよう、カセット昇降機構３を用いて基板カセット１と搬送ローラ２４の高さ位置を合わせた後、搬送ローラ２４を基板カセット１の外内へ水平方向に抜き差しすることにより、多関節ロボットを用いずとも、基板収納ピッチの狭い基板カセット１に対し、ガラス基板４を任意に搬入出することができる。
しかも、この搬入出中は、終始、ガラス基板４の基板中央寄りの部分４ｃを、エア噴出管２６から基板下面側に噴射された圧搾空気により背面板１２からエア浮上させて非接触に支持しているので、ガラス基板４への接触は搬送ローラ２４が差し込まれる下面両側縁部４ａ，４ｂだけとなっており、基板汚染の極小化を図ることができる。

次に、この発明の他の実施例について、図６〜図８の図面を参照して説明する。
この実施例（以下、実施例２）による基板保管搬送装置と、図１〜図５に示す上記実施例（以下、実施例１）とを比較すると、両者は、背面板１２の両側縁部における垂れ板部１２ａの有無、及び搬送ローラ２４とエア噴出管２６との相対的な位置関係が相違するだけで、その余は同様に構成されている。
従って、以下、実施例１との相違点を中心に説明する。なお、実施例１と同様の構成要素については、同一の符号を付している。

この実施例２の基板カセット１においても、ガラス基板４を水平姿勢にて搬入出及び格納するための背面板（基板支持部）１２は、例えば、基板搬送方向及びそれと直交する方向（すなわち、基板幅方向）に略水平に延びる平板状に形成されていて、１つの棚段につき１枚が配設されている。
ただし、図７に示すように、この背面板１２の両側縁部には、実施例１のような垂れ板部１２ａは設けられていない。

また、実施例２の搬送ローラユニット２においても、コンベヤフレーム２２に、基板搬送方向に沿って基板カセット１の略搬入口１１ａ側から略搬出口１１ｂ側へと延びる管状のエア噴出管２６が固定されている。
このエア噴出管２６は、図７に示すように、上下方向（基板格納方向）には搬送ローラ２４よりも低い位置にくるように、また、左右方向（基板幅方向）には搬送ローラ２４よりもガラス基板４の幅方向中央部側に突出するように、支持部２６ｂを介して固定されている。

ここで、エア噴出管２６と搬送ローラ２４との相対的な位置関係、つまり、上下方向に沿う両者の軸心間距離Ｈと、左右方向に沿う両者の先端間距離Ｗについて、上記実施例１と対比すると、以下の通りとなる。なお、両者を区別する便宜上、実施例１及びこの実施例２には、それぞれ添字の１及び２を付している。
Ｈ₁＜Ｈ₂ … 式１
Ｗ_１＞Ｗ_２ … 式２

次に、基板カセット１内に格納されている任意の棚段のガラス基板４を搬出する際の一手順について説明する。なお、搬入する際の手順は、実施例１と同様であるため、その説明は省略する。
まず、カセット昇降機構３を駆動し、搬送ローラ２４及びエア噴出管２６の前進移動先に、搬出予定のガラス基板４を格納している棚段（以下、搬出予定段）が位置するように基板カセット１を昇降させる。このとき、搬出予定段に対応する背面板１２は、搬送ローラ２４よりも若干高めに位置決めされる。

次に、ローラ往復動機構を駆動し、搬送ローラ２４及びエア噴出管２６を前進させて基板カセット１内に差し込んだ後、カセット昇降機構３を駆動して基板カセット１を下降させ、搬出予定のガラス基板４の下面両側縁部４ａ，４ｂを搬送ローラ２４に預ける。
すると、図６に示すように、ガラス基板４の下面両側縁部４ａ，４ｂよりも基板中央寄りの部分４ｃは、基板自重により背面板１２上に載置されたままであるが、下面両側縁部４ａ，４ｂは撓んで相対的に反り上がり、背面板１２との間に隙間が形成される。

そして、送気ブロワから管路及びカプラを経てエア噴出管２６に圧搾空気を送気すると、この圧搾空気はエア噴出管２６に形成されたエア噴出孔２７からガラス基板４の幅方向中央部に向けて噴射される。これにより、搬出予定のガラス基板４と背面板１２の上面１２Ａとの間にエア浮上層３０が形成されるので、搬送ローラ２４に支持された下面両側縁部４ａ，４ｂよりも基板中央寄りの部分４ｃは、このエア浮上層３０を介して非接触に支持されることになる。

このとき、背面板１２には、実施例１のような垂れ板部１２ａが設けられていないが、この実施例２においては、基板中央寄りの部分４ｃに対して反り上がった下面両側縁部４ａ，４ｂが、実施例１における垂れ板部１２ａと同様に機能して圧搾空気の流入間口が拡げられるので、エア噴出孔２７から噴射された圧搾空気は、ガラス基板４の下面両側縁部４ａ，４ｂに案内されて略全量が隙間に導入されることになる。
よって、背面板１２に垂れ板部１２ａが設けられていなくても、少ないエア消費量で効率的にガラス基板４を非接触支持することができる。

しかる後、駆動モータ２８を駆動して搬送ローラ２４をその軸回りに回転させると、基板カセット１内に格納されていた搬出予定のガラス基板４は、その下面両側縁部４ａ，４ｂに対する搬送ローラ２４との接触によって生じる摩擦力により、搬送方向前方に向かう搬送力を付与されて基板カセット１外に搬出される。このとき、ガラス基板４の下面両側縁部４ａ，４ｂは、それに転がり接触している搬送ローラ２４によって下方より直接支持されているが、搬送ローラ２４と下面両側縁部４ａ，４ｂとの接触部分よりも基板中央寄りの部分４ｃは、エア噴出管２６に供給された圧搾空気がエア噴出孔２７ａより基板下面側に噴射されることにより、エア浮上層３０を介して非接触に支持されている。

ガラス基板４が基板カセット１外に完全に搬出されると、送気ブロワからエア噴出管２６への送気を遮断すると共に、ローラ往復動機構を駆動し、搬送ローラ２４及びエア噴出管２６を後退させて基板カセット１から抜き出す。以上が、この実施例２における搬出動作の一例である。

なお、実施例１との対比において、エア噴出管２６と搬送ローラ２４との相対的な位置関係を上記式１，２に示すように、Ｈ₁＜Ｈ₂かつＷ_１＞Ｗ_２としているのは、実施例２では、ガラス基板４をその下面両側縁部４ａ，４ｂへの接触により上方に反り上がらせるものであるから、上下方向に沿う軸心間寸法Ｈ_２を小さくし過ぎたり、左右方向に沿う先端間寸法Ｗ_２を大きくし過ぎると、エア噴出管２６がガラス基板４に接触してしまうからである。
また、上下方向に沿う軸心間寸法Ｈ_２をある程度大きくすることにより、すなわち、エア噴出孔２７を背面板１２の上面１２Ａ側に近づけることにより、背面板１２とガラス基板４との間に圧搾空気をより直接的に噴射することが可能になるからである。

以上説明したように、この実施例２による基板保管搬送装置によっても、多関節ロボットを用いずとも、基板収納ピッチの狭い基板カセット１に対し、ガラス基板４を任意に搬入出することができる。また、この搬入出中は、終始、ガラス基板４の基板中央寄りの部分４ｃを、エア噴出管２６から噴射された圧搾空気により背面板１２からエア浮上させて非接触に支持し得るので、ガラス基板４への接触は搬送ローラ２４が差し込まれる下面両側縁部４ａ，４ｂだけとなっており、基板汚染の極小化を図ることができる。

なお、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々の設計変更が可能である。
例えば、基板搬入出手段は、搬送ローラ２４のようなコンベヤ装置に代えて、ガラス基板４の両側縁部を把持するクランプと、そのクランプを基板搬送方向に移動させるスライド機構とを備えた外部駆動装置であってもよい。

この発明の一実施例による基板保管搬送装置の要部を示す平面図である。 図１に示す基板保管搬送装置の正面図である。 図１の円形波線領域の拡大図である。 図２の円形波線領域の拡大図である。 図３の要部を更に拡大した拡大図である。 この発明の他の実施例による基板保管搬送装置の正面図である。 図６の円形波線領域の拡大図である。 図７の要部を更に拡大した拡大図である。

符号の説明

１ 基板カセット
２ 搬送ローラユニット（基板搬入出手段）
３ カセット昇降機構（昇降機構）
４ ガラス基板
４ａ、４ｂ 下面両側縁部
１２ 背面板（基板支持部）
１２ａ 垂れ板部（圧搾空気案内部）
２４ 搬送ローラ（搬送部）
２６ エア噴出管（ノズル部）

Claims (4)

1. 複数の基板を水平姿勢にて上下方向に多段収納し得る基板カセットに対し、基板搬送方向と直交する方向への往復動により抜き差しされる基板搬入出手段を備え、
   この基板搬入出手段は、基板をその両側縁部にて支持しながら搬送する複数対の搬送ローラと、該搬送ローラにより搬送される基板の下面側に横方向より圧搾空気を噴射し得るノズル部とを備えてなり、
   ノズル部は、上下方向には搬送ローラよりも低い位置で、また左右方向には搬送ローラよりも基板の中央部側に位置することを特徴とする基板搬送装置。
2. 複数の基板を水平姿勢にて上下方向に多段収納し得る基板カセットと、
   請求項１記載の基板搬入出手段と、
   前記基板カセットを前記基板搬入出手段に対し相対的に昇降移動させる昇降機構とを備えてなることを特徴とする基板保管搬送装置。
3. 複数の基板を水平姿勢にて上下方向に多段収納し得る基板カセットと、基板搬送方向と直交する方向への往復動により基板カセットに抜き差しされる基板搬入出手段と、前記基板カセットを前記基板搬入出手段に対し相対的に昇降移動させる昇降機構とを備えた基板保管搬送装置であって、
   前記基板カセットは、基板をその下面からの接触により支持し得る基板支持部を備え、
   前記基板搬入出手段は、基板をその両側縁部にて支持しながら搬送する複数対の搬送ローラと、該搬送ローラに支持された基板と前記基板支持部との間に圧搾空気を噴射し得るノズル部とを備えてなり、
   ノズル部は、上下方向には搬送ローラよりも低い位置で、また左右方向には搬送ローラよりも基板の中央部側に位置することを特徴とする基板保管搬送装置。
4. 前記基板支持部は、その両側縁部に下方傾斜して延びる圧搾空気案内部を備えることを特徴とする請求項３記載の基板保管搬送装置。

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