JP2000009755A

JP2000009755A - プリント基板検査用治具基板およびプリント基板検査方法

Info

Publication number: JP2000009755A
Application number: JP10176172A
Authority: JP
Inventors: Keikichi Yanagii; 啓吉楊井
Original assignee: JSR Corp
Current assignee: JSR Corp
Priority date: 1998-06-23
Filing date: 1998-06-23
Publication date: 2000-01-14
Also published as: KR20000006369A; KR100575178B1; DE19928612A1; US6194906B1

Abstract

(57)【要約】【課題】被検査電極よりも大きなピッチの検査用電極
を有し、小容量のテスターにより被検査プリント基板に
ついて所要の検査を実施することができ、設計および製
造が容易なプリント基板検査用治具基板を提供するこ
と、並びに当該検査用治具基板を用いるプリント基板検
査方法を提供すること。【解決手段】本発明の検査用治具基板は、被検査電極
に対応する位置に検査用電極を備え、その少なくとも１
つは、２個以上の被検査電極に共通に対応する共通検査
用電極であり、共通検査用電極は、被検査基板における
独立の配線ネットワークが互いに電気的な閉回路を形成
することがない状態に形成されている。または、検査用
電極は、各配線ネットワークの１つの被検査電極に対応
して代表検査用電極として形成されている。本発明の検
査方法は、上記の検査用治具基板を用い、各配線ネット
ワークの導通検査と、絶縁検査を行う。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、プリント基板の電
気的性能を検査するための検査用治具基板および検査方
法に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、プリント基板の電気的性能の検
査には、当該基板上の複数の電極を電気的に接続する配
線における断線の有無を検査する導通検査と、当該基板
に独立して形成された配線ネットワーク間における絶縁
不良の有無を検査する絶縁検査の２種類がある。また、
これらの検査を実行する方法としては、被検査電極の対
の各々に個別に検査用プローブを接触させて両者間の電
気抵抗を測定するフライイングプローブ法などの個別的
検査法の他に、一括的検査法として、多数の被検査電極
に対応する位置に配置されたピン状のプローブをすべて
の被検査電極に対して一括して接触させて検査を行う方
法、あるいはピン状のプローブの代わりに被検査電極に
対応する位置に適合する形状と大きさの検査用電極をプ
ローブとして配置してなるプリント基板からなる検査用
治具基板を用いる方法などがある。

【０００３】而して、近年ではプリント基板における配
線密度が急速に増大されており、各配線間の距離（ピッ
チ）が微小化されると共に、検査用電極そのものも微細
化、高密度化されるに至っている。その結果、当然のこ
とながら、検査用プローブ装置においても、極めて微小
な被検査電極が非常に接近した状態に配置されている被
検査基板について、所期の検査を確実に実行し得ること
が要求されるようになっている。

【０００４】前述の個別的検査法は、この要求に比較的
容易に対応することができるが、多数の被検査電極対の
すべてについて個別に接触を実行して検査しなければな
らないために、所要の検査に非常に長い時間がかかり、
現実的ではない。一方、一括的検査法では、ピン状プロ
ーブを使用する場合であっても、あるいは検査用電極を
有する検査用治具基板を用いる場合であっても、それら
の検査用プローブ装置において、微小なピンプローブや
検査用電極を限定された狭い領域内に高い位置精度で配
置することが必要であって、これを実現するためにはき
わめて高度の技術が要求され、このため、実際には、当
該検査用プローブ装置を作製するために非現実的な程に
多大のコストや時間が必要となっている。

【０００５】また、微細で高密度のパターンを有するプ
リント基板の検査では、実際上、検査の対象である被検
査基板とこれに対接される検査用治具基板との間に僅か
でも位置ずれがあると、目的とする検査を行うことがで
きず、検査結果が信頼性のないものとなるので、それら
の精密な位置合わせの技術も同時に要求されるに至って
いる。

【０００６】このように、現在のプリント基板の検査用
プローブ装置の分野においては、プリント基板における
配線パターンの高密度化・微細化に対応して、微細なピ
ン状のプローブまたは検査用電極を高密度に、かつ高い
位置精度で配列するための具体的な方法が求められてお
り、その方向に沿って研究がなされているのが現状であ
る。

【０００７】具体的に説明すると、図１は、被検査プリ
ント基板の一括的検査法において検査用プローブとして
用いられる従来の検査用治具基板の一例における検査用
電極と端子電極とを、互いに重ね合わせた状態で示す説
明図である。この検査用治具基板の、検査時に被検査プ
リント基板に対接される一面には、黒く塗り潰された矩
形または円形で示した検査用電極５１，５１が配置され
ると共に、他面には、白抜きの円形で示した端子電極５
２，５２を一定間隔の格子点上に配置してグリッド電極
が形成され、更に、対応する検査用電極５１と端子電極
５２とが、対を構成する状態でプリント配線５３により
電気的に接続されている。ここに、検査用電極５１の各
々は、被検査プリント基板における多数の被検査電極の
それぞれと、形状、大きさおよび位置が対応したものと
されている。

【０００８】このような検査用治具基板は、プリント基
板検査装置に装着され、被検査基板の電気的性能の検査
に供される。図２は、プリント基板検査装置の一例を示
し、Ａは検査用ヘッド機構、Ｂは検査制御機構である。
検査用ヘッド機構Ａにおいて、１０は下部ヘッドであ
り、この下部ヘッド１０上に検査用治具基板１２が装着
され、この検査用治具基板１２上に被検査基板２０が配
置される。具体的には、例えば異方導電ゴムシートなど
のコネクターシート１６，１７が検査用治具基板１２の
両面に配置されたものが下部ヘッド１０に装着され、そ
の上に被検査基板２０が配置される。また、下部ヘッド
１０の上方の上部ヘッド１１には、同様に検査用治具基
板１２とコネクターシート１６，１７とが積重して装着
されている。

【０００９】１９は駆動機構であって、検査制御機構Ｂ
における制御用コンピュータ２２により支配される制御
機構２３により駆動され、これにより、下部ヘッド１０
が上部ヘッド１１に対して押圧された状態とされて、検
査用治具基板１２と被検査基板２０が圧着されて両者の
電気的な接続がコネクターシート１６，１７を介して達
成され、そのときの被検査基板２０の被検査電極の導通
状態が下部ヘッド１０および上部ヘッド１１を介してテ
スター２４に送られて検査が実行される。

【００１０】このような検査装置により被検査基板２０
について所要の検査を実施するためには、被検査基板２
０上の被検査電極の位置と検査用治具基板１２上の検査
用電極の位置とが正確に一致した状態を得ることが不可
欠であり、これを達成するために、通常、種々の位置合
わせ機構が検査装置に組み込まれている。しかしなが
ら、近年における、プリント基板の電極が微小化し高密
度化されている現状においては、検査用治具基板１２に
対する被検査基板２０の正確な位置合わせを達成するこ
とは非常に困難となっている。

【００１１】また、従来の検査用治具基板においては、
被検査基板上の多数の被検査電極の個々のものに各一に
対応して、被検査電極と同数の検査用電極を同配列で設
ける必要があり、またテスターにおいても、それに対応
して大きな検査容量が必要とされる。

【００１２】更に、現在では、プリント基板の電極の微
小化および高密度化に伴い、検査用治具基板における検
査用電極と端子電極（グリッド電極）との間の配線によ
る電気的な接続も同様に困難を極める状況に至ってお
り、従前は基板の両面だけで十分な配線領域が得られて
いたのものが、最近では、１またはそれ以上の層間配線
による多重配線構造としなければ、基板内に所要の配線
を形成することが不可能となってきている。

【００１３】実用に供されるプリント基板は、通常、少
なくともある程度以上の数量を生産することを前提に製
造されるものであるから、その設計および製造にはそれ
なりの期間とコストが許容されるが、検査用治具基板
は、本質的には単品生産されるものであり、製造期間は
できるだけ短く、コストは低いことが要求されるもので
ある。従って、被検査基板の微小化および高密度化に対
応して被検査基板と同様の多層配線構造を採用すること
は、検査用治具基板の製造において非常に大きな負荷と
なっている。

【００１４】

【発明が解決しようとする課題】本発明は以上のような
事情に基づいてなされたものであって、その目的は、被
検査プリント基板における微細で高密度の被検査電極の
最小ピッチよりも大きなピッチで形成される寸法の大き
い検査用電極を有し、従って容量の小さい基板検査装置
（テスター）によっても、当該被検査プリント基板につ
いて所要の検査を実施することができると共に、設計お
よび製造が容易なプリント基板検査用治具基板を提供す
ることにある。本発明の他の目的は、上記の検査用治具
基板を用いるプリント基板検査方法を提供することにあ
る。

【００１５】

【課題を解決するための手段】本発明のプリント基板検
査用治具基板は、被検査プリント基板における複数の被
検査電極の位置に対応する位置に検査用電極を備えてな
るプリント基板検査用治具基板であって、検査用電極の
うちの少なくとも１つは、２個以上の被検査電極により
構成される被検査電極群に対応する形状を有する共通検
査用電極であり、共通検査用電極は、検査のために被検
査プリント基板と接触されたときに、被検査プリント基
板において形成されている互いに独立の配線ネットワー
クが、当該共通検査電極を介して互いに電気的な閉回路
を形成することがない状態に形成されていることを特徴
とする。以上において、複数の検査用電極が配線によっ
て互いに電気的に接続されていてもよい。

【００１６】本発明の他のプリント基板検査用治具基板
は、検査用電極を備えてなり、当該検査用電極は、被検
査プリント基板において形成されている互いに独立の配
線ネットワークの各々に属するただ１つの被検査電極に
対応する位置に、当該被検査電極と電気的に接続される
代表検査用電極として形成されていることを特徴とす
る。

【００１７】本発明のプリント基板検査方法は、上記の
検査用治具基板を用い、被検査プリント基板における各
配線ネットワークの導通検査を行うと共に、絶縁検査を
行うことを特徴とする。

【００１８】本発明のプリント基板検査方法は、被検査
プリント基板における各配線ネットワークの導通検査を
行うための導通検査用治具基板および絶縁検査を行うた
めの絶縁検査用治具基板を並設し、これらの検査用治具
基板および絶縁検査用治具基板にそれぞれ被検査基板を
配設し、一方の被検査プリント基板に対する導通検査と
他方の被検査プリント基板に対する絶縁検査とを、同時
に行うことを特徴とする。ここに、導通検査用治具基板
および絶縁検査用治具基板としては、それぞれ、上記の
検査用治具基板および他の検査用治具基板を用いること
ができる。

【００１９】上記のような検査用治具基板によれば、被
検査電極の数より少数であってしかもその寸法および配
置密度についての自由度がきわめて大きい検査用電極を
有するものでありながら、微小化および高密度化された
電極を有するプリント基板を被検査基板として、所要の
導通検査または絶縁検査を行うことができ、従って、い
ずれの検査においても、テスターは小さな容量のもので
十分である。

【００２０】また、導通検査および絶縁検査の両方を実
行することによって、被検査基板についての所要の検査
を確実に実行することができると共に、それぞれの検査
に要する検査用治具基板が簡単なものでよく、従って、
その設計および製造が容易であり、テスターは小さな容
量のもので十分である。そして、上記の検査用治具基板
を利用することにより、きわめて高い効率で多量のプリ
ント基板についての所要の検査を実行することができ
る。

【００２１】

【発明の実施の形態】以下、本発明について具体的に説
明する。図３は、本発明の検査用治具基板における検査
用電極と、被検査基板の被検査電極とを互いに重ね合わ
せた状態で示す説明図である。この図において、黒く塗
り潰された矩形、方形あるいは円形の図形は、被検査基
板上の被検査電極Ｘを表し、また、白抜きの長方形は検
査用治具基板（図示せず）の共通検査用電極Ｙを表す。
そして、共通検査用電極に係るもの以外の被検査電極Ｘ
には、それに対応する検査用電極Ｚが形成されている。
また、被検査電極Ｘに付された番号は、個々の被検査電
極Ｘを特定するものであり、本明細書では括弧を付して
示すこととし、また共通検査用電極Ｙに付された英小文
字は、個々の検査用電極Ｙを特定するものであり、本明
細書では括弧を付して示す。

【００２２】この図から明らかなように、各共通検査用
電極Ｙは、形状、大きさとも個々の被検査電極Ｘに対応
したものではなく、２個以上の被検査電極Ｘにより構成
される被検査電極群に１つの共通検査用電極Ｙが共通に
対応した状態、換言すれば、共通検査用電極Ｙは、被検
査電極群に属する複数の被検査電極Ｘに共通に接触する
形状と大きさと位置を有する検査用電極として形成され
ている。

【００２３】具体的に説明すると、共通検査用電極
（ａ）は、４つの被検査電極（１〜４）によって構成さ
れる被検査電極群を共通して覆うような帯状の形状およ
び寸法並び位置で形成されており、共通検査用電極
（ｂ）は、３つの被検査電極（５〜７）によって構成さ
れる被検査電極群を共通して覆うような形状および寸法
並び位置で形成されており、他の共通検査用電極（ｃ〜
ｉ）も同様である。

【００２４】共通検査用電極Ｙは、検査のために被検査
基板と接触されたときに、被検査基板において形成され
ている互いに独立の配線ネットワークが、当該共通検査
用電極を介して互いに電気的な閉回路を形成することが
ない状態に形成されていることが必要である。すなわ
ち、共通検査用電極Ｙの各々は、特定の複数の被検査電
極Ｘのすべてに対して同時に電気的に接続されるもので
あるので、或る共通検査用電極Ｙに係る被検査電極群を
構成する複数の被検査電極Ｘは、各々、互いに独立の配
線ネットワークに属するものとされなければならない。

【００２５】図３の例で説明すると、例えば共通検査用
電極（ａ）に対応する４つの被検査電極（１〜４）は、
各々独立の４つの配線ネットワークに属するものである
ことが必要であり、そうでない場合、例えば被検査電極
（２）と被検査電極（３）とが独立でない場合には、当
該共通検査用電極（ａ）が被検査電極（１〜４）に接触
されると、被検査電極（２）に係る配線ネットワーク
と、被検査電極（３）に係る配線ネットワークとが当該
共通検査用電極（ａ）を介して短絡するために電気的な
閉回路が形成されることとなり、従って電気的な検査を
行うことは不可能となる。

【００２６】本発明の検査用治具基板は、以上のような
条件が満たされた状態の共通検査用電極Ｙが形成された
ものであり、これを用いることにより、被検査基板のす
べての配線ネットワークについての所要の導通検査を実
施することができる。

【００２７】図３の例によって具体的に説明する。今、
被検査基板は、細線Ｌで示すように配線がなされている
とすると、所要の検査、すなわちすべての配線に係る被
検査電極Ｘ間の導通検査を行うためには、従来のよう
に、独立の配線の各々について、当該配線に属するすべ
ての電極対における導通の有無を検査すれば十分であ
る。

【００２８】然るに、本発明の検査用治具基板を使用す
ると、このようにすべての被検査電極対毎に検査しなく
ても、同等の検査を行うことができる。例えば、共通検
査用電極（ａ）と（ｇ）間の導通の有無を検査すること
は、被検査電極（３）およびこれと電気的に接続された
被検査電極（１８）間の導通の有無を検査することと等
価であり、共通検査用電極（ｂ）と（ｇ）間の導通の有
無を検査することは、被検査電極（３）およびこれと電
気的に接続された被検査電極（１９）間の導通の有無を
検査することと等価である。同様にして、検査用治具基
板における共通検査用電極Ｙおよびそれ以外の共通とさ
れていない検査用電極Ｚのすべての組み合わせについて
導通の有無を検査することにより、各被検査電極対につ
いて導通の有無を検査した場合のものと等価の結果が得
られる。

【００２９】以上のことから、本発明に係る検査用治具
基板によれば、従来のものに比して次のような効果が得
られる。（イ）被検査基板に必要な導通検査を実行するための検
査用治具基板として、その検査用電極が、当該被検査基
板における被検査電極の最小ピッチよりも大きなピッチ
で配置されたものを用いることができるので、当該検査
用治具基板における配線の設計における負荷が大幅に軽
減され、また当該検査用治具基板の製造における負荷が
減少し、更に検査用治具基板と被検査基板との位置合わ
せに対する条件が緩和される。（ロ）テスターの検査容量以上の数の被検査電極を有す
る被検査基板の導通検査が可能となる。

【００３０】図３に関する上記の説明から明らかなよう
に、本発明の検査用治具基板においては、被検査基板上
のすべての被検査電極対間の電気的導通を検査するため
に必要な、当該検査用治具基板上に設けられるべき検査
用電極（共通検査用電極を含む。）の数は、当該被検査
電極の数よりも大幅に少ないものとなる。その結果、本
発明の検査用治具基板においては、テスターに接続され
るべき端子電極（グリッド電極）の数を被検査電極の総
数よりも少数とすることができ、結果的に検査可能容量
の少ないテスターによっても、より多数の被検査電極対
についての導通検査を実施することが可能となる。

【００３１】以上のように、本発明は、検査用治具基板
において、１つの被検査電極群を構成する複数の被検査
電極に共通に作用する共通検査用電極を設ける点に特徴
を有するものであるが、このような検査用電極と被検査
電極との対応関係を実現するためには、必ずしも、１つ
の被検査電極群に属する複数の被検査電極が、１つのま
とまった領域に配置された互いに近接するものである必
要はなく、電気的な関係で１つの被検査電極群を構成す
るものであればよい。

【００３２】また、以上の検査用治具基板においては、
更に、離間した位置に配置されている検査用電極（共通
検査用電極を含む。）同志を、追加の接続用配線によっ
て接続することができる。具体的に説明すると、図４
は、図３と同様の状態、すなわち被検査電極と検査用電
極の配列を互いに重ね合わせた状態で示すものであり、
黒く塗り潰された部分が被検査基板の被検査電極Ｘであ
り、白抜きの長方形が検査用治具基板の共通検査用電極
Ｙであり、この共通検査用電極Ｙに係るもの以外の被検
査電極Ｘにはその個々に対応して検査用電極Ｚが設けら
れている。この図４の配線例では、被検査電極Ｘの数が
左側領域に１０個、中央領域に１０個、右側領域に８個
の合計２８個であるのに対し、検査用電極の数は、左側
領域に５個、中央領域に８個、右側領域に３個の合計１
６個にまで減少していることが理解される。

【００３３】そして、図５の例では、図４の例におい
て、更に、２つの接続用配線Ｃによって各々２個の検査
用電極Ｚ１とＺ２、および検査用電極Ｚ３とＺ４が電気
的に接続されている。この場合には、例えば検査用電極
Ｚ１とＺ２は、互いに共通検査用電極としての作用を有
するものとなる。その結果、図５の例では、独立した検
査用電極Ｙの数は１４個にまで減少させることができ、
その結果、当該検査用治具基板に設けられるべき端子電
極の数が更に減少され、また、テスターとしては単に１
４個の検査点を検査するだけの容量があればよいことに
なる。

【００３４】検査用治具基板を設計する上で、最も重要
な問題の一つは、基板の一方の面に配置された検査用電
極と他方の面における端子電極（グリッド電極）とを効
率良く配線して電気的に接続することであり、この配線
作業は、当然のことながら、検査用電極の総数が多くな
り、また高密度になるほど困難になる。従って、上記の
ように独立の検査用電極の総数を減少させることができ
ることは、検査用電極間のピッチを大きくすることが可
能となり、配線の設計も容易になることを意味する。更
に、配線作業が容易になる結果、より太い配線ラインや
大口径のバイアホールを形成することが可能となるの
で、製造における負荷もまた減少することとなる。

【００３５】既述のように、プリント基板の電極が微小
化および高密度化されるに従って、検査用治具基板の設
計および製造の両方において困難が増大している現状で
は、従前のように被検査点毎に検査用電極を設けた検査
用治具基板を製作することは殆ど実際的でない。これに
対する便法として、従来では、複数の微細な被検査電極
を対応する検査用電極により置き換えて、その検査用電
極と、他のそれほど微細ではない被検査電極との間の導
通検査を実施する検査用治具基板が使用されてきた。ま
た、被検査基板内のすべての配線を検査する機能を１枚
の検査用治具基板に組み込むことができない場合には、
配線を適当な方法で分割し、分割された配線の各々に対
応する複数の検査用治具基板を作製して、各部分毎に検
査する方法も実行されてきた。しかしながら、これらの
方法では複数の被検査電極に対応する検査用電極相互の
関係に対する考慮はなされておらず、そのため、これら
の方法には自ずと限界がある。

【００３６】これに対し、本発明では、検査用治具基板
において検査用電極の数を減少させることができるの
で、テスターの容量、並びに当該検査用治具基板の設計
および製造における負荷を軽減しながら、また、検査用
治具基板と被検査基板との位置合わせに対する条件が緩
和された状態で、１個の検査用治具基板により、被検査
電極の全部について所要の検査を実行することができ、
この点で、本発明はきわめて大きな技術的効果を奏する
ものであることが理解される。

【００３７】一方、上記の検査用治具基板によれば、共
通検査用電極は、複数の被検査電極に共通に電気的に接
続されることから、被検査基板内において独立に形成さ
れた配線パターン間の絶縁状態の有無についての検査結
果を同時に得ることができない。この絶縁検査を行うた
め、本発明では、他の検査用治具基板を提供する。この
他の検査用治具基板は、被検査基板において、１本の電
気的ラインを形成する連続した配線パターンの各々に属
する多数の被検査電極のうちの適当な１個を配線パター
ン毎に選定し、その選定された被検査電極（「選定被検
査電極」という。）の各々に対応した検査用電極を代表
検査用電極として有するものである。この絶縁検査用治
具基板を用いることにより、所要の絶縁検査を確実に実
行することができる。

【００３８】そして、代表検査用電極に対応する選定被
検査電極としては、各配線パターンにおけるもののうち
任意のものでよいから、例えば寸法が最大の被検査電
極、あるいは隣接するものとの離間距離が最大の被検査
電極を選定被検査電極とすることができ、従って、絶縁
検査用治具基板における検査用電極、すなわち代表検査
用電極は、被検査基板の被検査電極に対して相当に配置
密度が小さくてしかも電極寸法の大きいものとすること
ができ、従ってその設計および製造は非常に容易であ
る。

【００３９】このように、一の被検査基板に対して、導
通検査および絶縁検査という２種類の検査を実行するこ
とは、その限りにおいて作業工程の増加を招くこととな
るが、全体的に見ると、検査用治具基板の設計、製造が
容易になることの利点が得られる上、それらに伴うコス
ト低減、期間の短縮化などの付随的な効果が大きく得ら
れ、従って上記の不利益を考慮しても遙に顕著なメリッ
トが得られる。

【００４０】図６は、本発明のプリント基板検査方法を
高い効率で実施することのできる装置の説明図である。
このプリント基板検査装置において、Ａは検査用ヘッド
機構であって、図２における検査用ヘッド機構と基本的
に同様の構成を有し、また同様の検査制御機構（図示せ
ず）によりその動作が制御される。この検査装置におけ
る検査用ヘッド機構Ａの下部ヘッド１０および上部ヘッ
ド１１には、その第１領域および第２領域上に、それぞ
れ、上記の検査用治具基板３２および絶縁検査用治具基
板３４が並んで装着されている。これらは１枚の共通の
基板を有するものであってもよい。

【００４１】検査用ヘッド機構Ａの両側の領域には、そ
れぞれ、基板ストッカー３６，３８が配設されており、
検査時には、一方の基板ストッカー３６から、検査され
るべき同一の配線パターンを有する同種の被検査基板４
０の２枚が、同時に、例えばレール搬送装置またはロボ
ット搬送装置などの適宜の搬送装置により、下部ヘッド
１０上に搬入される。

【００４２】基板ストッカー３６，３８は２連になって
おり、相互の距離および各々のサイズは、実際に検査に
供される被検査基板４０のサイズに合わせて調節可能と
されている。検査用ヘッド機構Ａにおいては、被検査基
板４０が２枚並んで第１領域および第２領域に搬入さ
れ、駆動機構１９により下部ヘッド１０が上部ヘッド１
１に対して押圧された状態とされて、２枚の被検査基板
４０が、第１領域では検査用治具基板３２による導通検
査が行われ、同時に、第２領域では絶縁検査用治具基板
３４による絶縁検査が行われる。そして、検査が終了し
た後に、２枚の被検査基板４０は、同時に搬出されて、
他方の基板ストッカー３８に収納される。

【００４３】一方の基板ストッカー３６内の被検査基板
のすべてについて上記のテストが終了した後は、他方の
基板ストッカー３８の被検査基板を、同時に検査された
２枚の被検査基板の位置が交換された状態で一方の基板
ストッカー３６に戻し、その上で上記と同様のテストが
行われ、これにより、すべての被検査基板４０につい
て、検査用治具基板３２による導通検査と、絶縁検査用
治具基板３４による絶縁検査の両方が行われる。このよ
うな検査装置によれば、被検査基板４０について、必要
な導通検査および絶縁検査をきわめて高い効率で実行す
ることができる。

【００４４】

【発明の効果】本発明の検査用治具基板によれば、被検
査電極の数より少数であってしかもその寸法および配置
密度についての自由度がきわめて大きい検査用電極を有
するものでありながら、微小化および高密度化された電
極を有するプリント基板を被検査基板として、所要の導
通検査または絶縁検査を行うことができ、従って、いず
れの検査においても、テスターは小さな容量のもので十
分である。

【００４５】また、導通検査および絶縁検査の両方を実
行することによって、被検査基板についての所要の検査
を確実に実行することができると共に、それぞれの検査
に要する検査用治具基板が簡単なものでよく、従って、
その設計および製造が容易であり、テスターは小さな容
量のもので十分である。そして、上記の検査用治具基板
を利用することにより、きわめて高い効率で多量のプリ
ント基板についての所要の検査を実行することができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】従来の検査用治具基板の一例における検査用電
極と端子電極とを互いに重ね合わせた状態で示す説明図
である。

【図２】プリント基板検査装置の構成の概要を示す説明
図である。

【図３】本発明の検査用治具基板における検査用電極
と、被検査基板の被検査電極とを互いに重ね合わせた状
態で示す説明図である。

【図４】本発明の一例に係る検査用電極と、被検査基板
の被検査電極とを互いに重ね合わせた状態で示す説明図
である。

【図５】図４の例に、更に変形を加えた場合の説明図で
ある。

【図６】本発明のプリント基板検査方法を高い効率で実
施することのできる装置の説明図である。

【符号の説明】

１０下部ヘッド１１上部ヘッド１２検査用治具基板２０被検査基板１６，１７コネクターシート１９駆動機構２２制御用コンピュータ２３制御機構２４テスターＸ被検査電極Ｙ共通検査用電極Ａ検査用ヘッド機構Ｂ検査制御機構３０プリント基板検査装置３２検査用治具基板３４絶縁検査用治具基板３６，３８基板ストッカー４０被検査基板５１検査用電極５２端子電極５３プリント配線

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】被検査プリント基板における複数の被検
査電極の位置に対応する位置に検査用電極を備えてなる
プリント基板検査用治具基板であって、検査用電極のうちの少なくとも１つは、２個以上の被検
査電極により構成される被検査電極群に対応する形状を
有する共通検査用電極であり、共通検査用電極は、検査のために被検査プリント基板と
接触されたときに、被検査プリント基板において形成さ
れている互いに独立の配線ネットワークが、当該共通検
査電極を介して互いに電気的な閉回路を形成することが
ない状態に形成されていることを特徴とするプリント基
板検査用治具基板。
【請求項２】複数の検査用電極が配線によって互いに
電気的に接続されていることを特徴とする請求項１に記
載のプリント基板検査用治具基板。
【請求項３】検査用電極を備えてなり、当該検査用電
極は、被検査プリント基板において形成されている互い
に独立の配線ネットワークの各々に属するただ１つの被
検査電極に対応する位置に、当該被検査電極と電気的に
接続される代表検査用電極として形成されていることを
特徴とするプリント基板検査用治具基板。
【請求項４】請求項１または請求項２に記載の検査用
治具基板を用いて被検査プリント基板における各配線ネ
ットワークの導通検査を行うと共に、請求項３に記載の
検査用治具基板を用いて当該被検査プリント基板におけ
る各配線ネットワークの絶縁検査を行うことを特徴とす
るプリント基板検査方法。
【請求項５】被検査プリント基板における各配線ネッ
トワークの導通検査を行うための導通検査用治具基板お
よび絶縁検査を行うための絶縁検査用治具基板を並設
し、これらの検査用治具基板および絶縁検査用治具基板
にそれぞれ被検査基板を配設し、一方の被検査プリント
基板に対する導通検査と他方の被検査プリント基板に対
する絶縁検査とを、同時に行うことを特徴とするプリン
ト基板検査方法。
【請求項６】導通検査用治具基板が請求項１または請
求項２に記載の検査用治具基板であり、絶縁検査用治具
基板が請求項３に記載の検査用治具基板であることを特
徴とする請求項５に記載のプリント基板検査方法。