KR100575178B1 - 프린트 기판 검사용 어댑터 기판 및 프린트 기판 검사 방법과, 검사용 어댑터 기판을 제작하기 위한 정보 생성 방법 및 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 피검사 전극보다도 큰 피치의 검사용 전극을 구비하고, 소용량의 테스터에 의해 프린트 기판에 대해 필요한 검사를 실시할 수 있고, 설계 및 제조가 용이한 프린트 기판 검사용 어댑터 기판, 및 검사용 어댑터 기판을 이용하는 프린트 기판 검사 방법을 제공한다. 또한 그러한 검사용 어댑터 기판을 제작하기 위한 정보 생성 방법 및 장치가 제공된다.

검사용 어댑터 기판은, 피검사 전극에 대응하는 위치에 검사용 전극을 구비하고, 그 검사용 전극들 중 적어도 하나는 2개 이상의 피검사 전극에 공통으로 대응하는 공통 검사용 전극이다. 공통 검사용 전극은, 배선 네트워크가 상호 전기적인 폐 회로를 형성하는 일이 없는 상태로 형성되어 있다. 대안으로, 검사용 전극들 중 적어도 하나는 각 배선 네트워크 중 하나의 피검사 전극에 대응하여 대표 검사용 전극으로서 형성되어 있다.

프린트 기판, 검사용 어댑터 기판, 집적 회로, 절연 검사, 도통 검사

Description

프린트 기판 검사용 어댑터 기판 및 프린트 기판 검사 방법과, 검사용 어댑터 기판을 제작하기 위한 정보 생성 방법 및 장치{INSPECTION ADAPTER BOARD FOR PRINTED BOARD, METHOD FOR INSPECTING PRINTED BOARD, AND METHOD AND APPARATUS FOR PRODUCING INFORMATION FOR FABRICATING THE INSPECTION ADAPTER BOARD}

도 1은 예시의 종래의 검사용 어댑터 기판으로서 검사용 전극과 단자 전극을 상호 중첩시킨 상태를 나타낸 설명도.

도 2는 프린트 기판 검사 장치의 구성을 개략적으로 나타내는 설명도.

도 3은 본 발명의 실시예에 따른 검사용 어댑터 기판에서의 검사용 전극과, 피검사 기판 상의 피검사 전극을 상호 중첩시킨 상태를 나타낸 설명도.

도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 검사용 전극과, 피검사 기판 상의 피검사 전극을 상호 중첩시킨 상태를 나타낸 설명도.

도 5는 도 4에 예시된 예에, 더 변형을 가한 경우의 설명도.

도 6은 본 발명에 따른 프린트 기판 검사 방법을 높은 효율로 실시할 수 있는 장치의 설명도.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

10 : 하부 헤드

11 : 상부 헤드

12 : 검사용 어댑터 기판

16, 17 : 커넥터 시트

20 : 피검사 기판

24 : 테스터

51 : 검사용 전극

52 : 단자 전극

53 : 프린트 배선

본 발명은, 프린트 기판의 전기적 성능을 검사하기 위한 테스터에 검사의 대상으로서 프린트 기판에 전기적으로 접속할 수 있는 기능을 갖는 검사용 어댑터 기판 및 프린트 기판의 검사 방법과, 상기 검사용 어댑터 기판을 제작하기 위한 정보 생성 방법 및 장치에 관한 것이다.

프린트 배선 기판(이하, 단순히 "프린트 기판"이라고 칭함)은 집적 회로(IC), 대규모 집적 회로(LSI), 트랜지스터, 및 저항 등의 능동 소자 및 수동 소자를 지지하는 지지체(substrate)로서의 기능과 함께, 이들 소자에 관한 전극들 사이에 필요한 전기적 접속을 달성하기 위한 배선 기능을 구비한다. 즉, 프린트 기판에서는 이 프린트 기판에 지지되는 소자들의 배치 상태 및 접속의 상황들에 따라 각 전극의 구체적인 배치가 결정되고, 또한 이들 전극사이의 전기적인 접속 상태 또는 절연 상태가 형성됨에 따라 다수의 전기적 네트워크가 형성되어 있다.

일반적으로, 프린트 기판의 전기적 성능의 검사는, 상기 기판 상의 복수의 전극을 서로 전기적으로 접속하는 배선 네트워크에서의 단선(breaking of wire)의 유무를 검사하는 도통 상태 확인 검사(electrical conduction checking insprction)(이하, 단순히 "도통 검사"라고 칭함)와, 상기 프린트 기판에 독립적으로 형성된 임의의 두개의 배선 네트워크들 사이에서의 절연 불량의 유무를 검사하는 절연 상태 확인 검사(이하, 단순히 "절연 검사"라고 칭함)의 2종류가 있다. 여기에서 사용되는 용어 "배선 네트워크"는 2개 이상이며, 서로에게 전기적으로 접속되어 있는, 프린트 기판 상에 형성되어 있는 전극들의 세트, 및 각각의 전극들을 서로 접속하기 위한 프린트 배선들로 구성된 회로를 의미하며, 홀들 및 비아들(vias)을 통해 도금된 층간 접속용의 도전부를 포함한다. 이 회로는 일반적으로 개방 회로이지만, 일부 경우에는 폐회로 또는 이들의 조합일 수 있다.

이들 검사를 실행하는 방법으로는, 피검사 전극들의 쌍 각각에 개별로 검사용 프로브를 접촉시켜 양 전극들 사이의 전기 저항을 측정하는 플라잉 프로브 방법(flying prove method) 등의 개별적 검사법 외에, 일괄적 검사법으로 다수의 피검사 전극에 대응하는 위치들에 배치된 핀형의 프로브를 모든 피검사 전극에 대해 일괄하여 접촉시켜 검사를 행하는 방법, 및 핀형의 프로브를 대신하여 피검사 전극에 대응하는 위치에 각각 적합한 형상과 크기를 갖는 검사용 전극을 프로브로서 배치하여 이루어진 프린트 기판을 포함하는 검사용 어댑터 기판을 이용하는 방법 등이 있다.

최근에는 프린트 기판에서의 배선 밀도가 급속히 증대되고, 이에 따라 배선들 사이의 거리 또는 피치(pitch)가 짧아지고, 또한 검사용 전극들 그 자체도 소형화 및 고밀도화되는 것에 이르고 있다. 그 결과, 당연히 검사용 프로브 장치에서도, 매우 소형의 피검사 전극들이 서로에게 매우 접근한 상태로 배치되어 있는 피검사 프린트 기판에 대해 희망하는 검사를 확실하게 실행할 수 있는 것이 요구되도록 이루어져 왔다.

상술된 개별적 검사 방법들은, 이 요구에 비교적 용이하게 대응할 수 있다. 그러나, 검사 작업을 다수의 피검사 전극들 쌍의 전부에 대해 개별로 접촉을 실행하여 검사해야 하기 때문에, 필요한 검사에 매우 긴 시간이 걸려, 실제적인 사용에 적합하지 않다.

한편, 일괄적 검사법으로는, 핀형 프로브를 사용하는 경우나, 또는 검사용 전극을 갖는 검사용 어댑터 기판을 이용하는 경우 어느 것에도, 이들 검사용 프로브 장치에서, 다수의 미소한 핀 프로브 또는 검사용 전극들을, 한정된 좁은 영역 내에 높은 위치 정밀도로 배치해야만 한다. 이러한 구성을 실현하기 위해서는 매우 고도의 기술이 요구되고, 이 때문에 실제로는 이러한 검사용 프로브 장치를 제작하기 위해 실제적으로는 비현실적일 정도로 막대한 비용이나 시간이 필요해진다.

또한, 미세하고 고밀도의 배선 네트워크을 갖는 프린트 기판의 검사로는, 검사의 대상인 피검사 기판과 이 프린트 기판에 접촉하게 되는 검사용 어댑터 기판 사이에 약간이라도 위치 편차(misregistration)가 발생하면, 목적하는 검사를 수행하는 것이 실제적으로 불가능하여, 검사 결과가 신뢰성이 없게 된다. 따라서, 이들을 서로 정밀하게 정렬하는 기술도 그러한 검사와 동시에 요구되게 된다.

이와 같이, 현재의 프린트 기판의 검사용 프로브 장치의 분야에서는, 프린트 기판에서의 배선 네트워크의 고밀도화 및 소형화에 대응하여, 미세한 핀형의 프로브 또는 검사용 전극을 고밀도로, 또는 높은 위치 정밀도로 배열하기 위한 구체적인 방법이 요구되고 있고, 그 방향을 따라 연구가 이루어지고 있다.

구체적으로 설명하면, 도 1은 피검사 프린트 기판(이하, "피검사 기판"이라고도 칭함)의 일괄적 검사법으로 검사용 프로브로서 이용되는 예시의 종래의 검사용 어댑터 기판의 일면 상에 검사용 전극들, 및 그것의 다른 면 상에 제공된 단자 전극들을, 상호 중첩시킨 상태 또는 투시한 상태로 나타내는 설명도이다.

이 검사용 어댑터 기판의, 피검사 기판에 대향되는 일면에는, 검은색의 직사각형 또는 원형으로 나타낸 검사용 전극들(51, 51)이 배치되고, 다른 면에는 백색 원형으로 나타낸 단자 전극들(52, 52)을 일정 간격의 격자점 상에 배치하여 그리드 전극을 형성한다. 또한, 대응하는 검사용 전극(51)과 단자 전극(52)은 프린트 배선(53)에 의해 전기적으로 접속되어 각각의 쌍을 형성한다.

검사용 전극(51)의 각각은 형상, 크기 및 위치에 있어서 피검사 기판 상의 다수의 피검사 전극의 대응하는 것을 따른다.

이러한 검사용 어댑터 기판은, 프린트 기판 검사 장치에 장착되고, 피검사 기판의 전기적 성능의 검사에 이용된다.

도 2는, 프린트 기판 검사 장치의 일례를 나타내고, 참조 기호 A 및 B는 각각 검사용 헤드 기구(inspecting head mechanism) 및 검사 제어 기구를 나타낸다.

검사용 헤드 기구 A에서, 참조 번호 10은 하부 헤드를 나타낸다. 이 하부 헤드(10) 상에 검사용 어댑터 기판(12)이 장착되고, 이 검사용 어댑터 기판(12) 상에 피검사 기판(20)이 배치된다. 구체적으로는, 예를 들어 이방 도전성 고무 시트등으로 구성된 커넥터 시트(16, 17)가 개별적으로 배치된 검사용 어댑터 기판(12)의 양면에 배치된 것이 하부 헤드(10)에 장착되고, 그 위에 피검사 기판(20)이 배치된다. 또한, 하부 헤드(10)의 상측의 상부 헤드(11)에는, 마찬가지로 검사용 어댑터 기판(12)과 커넥터 시트(16, 17)가 상술한 것과 동일한 방식으로, 적층한 상태로 장착되어 있다.

참조 번호 19는 구동 기구를 나타내며, 이것은 검사 제어 기구 B에서의 제어용 컴퓨터(22)에 의해 지배되는 제어 기구(23)에 의해 구동되며, 이에 따라 하부 헤드(10)가 상부 헤드(11)에 대해 압박된 상태가 되어 검사용 어댑터 기판들(12)의 각각은 피검사 기판(20)과 압착되어 커넥터 시트(16, 17)를 통해 양자의 전기적인 접속을 달성한다. 이 때에, 전극들이 전기적으로 도통했는지의 여부에 대한 피검사 기판(20)의 상태가 하부 헤드(10) 및 상부 헤드(11)를 통해 테스터(24)로 이송되고, 이에 따라 검사가 실행된다.

이러한 검사 장치에 의해 피검사 기판(20)에 대해 필요한 검사를 실시하기 위해서는, 피검사 기판(20) 상의 피검사 전극들의 위치와 검사용 어댑터 기판(12) 상의 검사용 전극들의 위치가 정확히 일치한 상태를 얻는 것이 필수적이다. 이러한 상태를 달성하기 위해, 통상적으로 다양한 정렬 기구들이 검사 장치에 조립되어 있다.

그러나, 최근의 프린트 기판 상의 전극이 소형화하고 고밀도화되는 현상에서는, 검사용 어댑터 기판(12)에 대해 피검사 기판(20)을 정확하게 정렬하는 것은 매우 곤란하게 되었다.

또한, 종래의 검사용 어댑터 기판에서는, 피검사 기판 상의 다수의 피검사 전극들을 개개의 것으로 각 하나에 대응하여, 피검사 전극과 동일한 수와 배열로 검사용 전극을 설치할 필요가 있다. 이에 따라, 테스터에서도, 큰 검사 용량이 필요해진다.

현재에는, 피검사 프린트 기판 상의 전극들이 소형화 및 고밀도화에 따른, 검사용 어댑터 기판에서의 검사용 전극들과 단자 전극(그리드) 사이의 배선에 의한 전기적인 접속도 마찬가지로 아주 곤란한 상황에 이르렀다. 종전에는 기판의 양면만으로 충분한 배선 영역을 얻을 수 있었는데도 불구하고, 최근에는 1 이상의 층간 배선이 형성된 다층 배선 구조(multilayer interconnection structure)로 하지 않으면, 기판 내에 필요한 배선을 형성하는 것이 불가능해지고 있다.

실용적으로 이용되는 프린트 기판은, 통상 동일한 종류의 기판들을 적어도 어느 정도이상의 수량으로 생산하는 것을 전제로 제조되는 것이기 때문에, 그들의 설계 및 제조에는 그 나름대로의 기간과 비용이 허용될 수 있다. 그러나, 검사용 어댑터 기판은, 본질적으로는 단품으로서 생산되는 것이므로, 제작 기간은 가능한 한 짧고, 비용은 낮은 것이 요구되는 것이다. 따라서, 피검사 기판의 소형화 및 고밀도화에 대응하여 피검사 기판에 다층 배선 구조를 채용하는 것은, 검사용 어댑터 기판의 제작에서 매우 큰 부하가 된다.

본 발명은 이상과 같은 사정에 기초하여 이루어진 것으로, 그 개괄적 목적은 피검사 프린트 기판 상에 고밀도로 배치된 소형의 피검사 전극들 사이의 최소 피치보다도 큰 피치로 형성되는 큰 치수의 검사용 전극을 구비하고, 따라서 작은 용량의 기판 검사 장치 또는 테스터에 의해서도, 상기 피검사 프린트 기판에 대해 필요한 검사를 실시할 수 있게 하고, 설계 및 제조가 용이한 프린트 기판 검사용 어댑터 기판을 제공하고, 그러한 검사용 어댑터 기판을 이용하는 프린트 기판 검사 방법을 제공하고, 상기 검사용 어댑터 기판을 제작하기 위한 정보 생성 방법 및 장치를 제공하는 것에 있다.

구체적으로는, 본 발명의 제1 목적은, 공통 검사용 전극을 갖고, 피검사 기판의 도통 상태를 검사하기에 적합한 제1 검사용 어댑터 기판을 제공하는 것에 있다.

본 발명의 제2 목적은, 대표 검사용 전극을 갖고 있고, 피검사 기판의 절연 상태를 검사하기에 적합한 제2 검사용 어댑터 기판을 제공하는 것에 있다.

본 발명의 제3 목적은, 도통 상태를 검사하기 위한 제1 검사용 어댑터 기판 및 절연 상태를 검사하기 위한 제2 검사용 어댑터 기판을 이용하는 피검사 기판의 검사 방법을 제공하는 것에 있다.

본 발명의 제4 목적은, 실제의 피검사 기판에 대응하여 공통 검사용 전극에 대한 정보를 매우 용이하게 생성할 수 있는, 도통 검사를 위한 검사용 어댑터 기판을 제작하기 위한 정보 생성 방법 및 장치를 제공하는 것에 있다.

본 발명의 제5 목적은, 실제의 피검사 기판에 대응하여, 대표 검사용 전극에 관한 정보 및 모니터용 검사 전극에 관한 정보를 매우 용이하게 생성할 수 있는, 프린트 기판 검사용의 어댑터 기판을 제작하기 위한 정보 생성 방법 및 장치를 제공하는 것에 있다.

본 발명의 제6 목적은, 제1 및 제2 검사용 어댑터 기판들을 제작하기 위한 정보 생성 방법 및 장치를 제공하는 것에 있다.
상기 목적들은 이하에 기술하는 본 발명에 의해 달성될 수 있다.

본 발명에 따르면, 피검사 프린트 기판에 있어서의 복수의 피검사 전극의 위치들에 대응하는 위치들에 검사용 전극들을 구비하며, 상기 프린트 기판의 도통 검사를 위해 이용되는 프린트 기판 검사용 어댑터 기판으로서,

상기 검사용 전극들 중 적어도 하나는, 2개 이상의 피검사 전극들로 구성되는 피검사 전극군에 대응하는 형상을 갖는 공통 검사용 전극이고,

상기 공통 검사용 전극이 검사를 위해 상기 피검사 프린트 기판과 접촉됐을 때, 피검사 프린트 기판 상에 형성되어 있는 상호 독립된 배선 네트워크들이, 상기 공통 검사 전극을 통해 상호 전기적인 폐회로를 형성할 수 없는 상태로 상기 공통 검사용 전극이 형성되어 있는 프린트 기판 검사용 어댑터 기판이 제공된다.

이 검사용 어댑터 기판에서는, 복수의 검사용 전극이 배선들에 의해 상호 전기적으로 접속되어 있을 수 있다.

본 발명에 따르면, 또한, 검사용 전극들을 구비하고, 피검사 프린트 기판의 절연 검사를 위해 이용되는 프린트 기판 검사용 어댑터 기판으로서, 상기 검사용 전극들 중의 적어도 하나는 피검사 프린트 기판 상에 형성되어 있는 상호 독립된 피검사 배선 네트워크들의 각각에 속하는 단 하나의 피검사 전극과, 상기 하나의 피검사 전극에 대응하는 위치에서 전기적으로 접속되는 대표 검사용 전극으로서 형성되어 있는 프린트 기판 검사용 어댑터 기판이 제공된다.

이 검사용 어댑터 기판에서는, 대표 검사용 전극에 전기적으로 접속된 모니터용 검사 전극이 바람직하게 형성될 수 있다.

본 발명에 따르면, 상술된 검사용 어댑터 기판들을 이용하여, 피검사 프린트 기판 상에 형성된 각 배선 네트워크들의 도통 검사를 행하고, 배선 네트워크들 사이의 절연 검사를 행하는 프린트 기판 검사 방법이 더 제공된다.

본 발명에 따르면, 피검사 프린트 기판 상에 형성된 배선 네트워크들 각각의 도통 검사를 행하기 위한 도통 검사용 어댑터 기판 및 상기 배선 네트워크들 사이의 절연 검사를 행하기 위한 절연 검사용 어댑터 기판을 병렬로 설치하고, 이들 도통 검사용 어댑터 기판 및 절연 검사용 어댑터 기판 상에 각각 피검사 프린트 기판들을 배치하여, 한쪽 피검사 프린트 기판에 대한 도통 검사와 다른 피검사 프린트 기판에 대한 절연 검사를 동시에 행하는 프린트 기판 검사 방법이 더 제공된다.

여기에, 도통 검사용 어댑터 기판 및 절연 검사용 어댑터 기판으로는, 각각 상술된 제1 검사용 어댑터 기판 및 상술된 제2 검사용 어댑터 기판을 이용할 수 있다.

상술된 바와 같은 검사용 어댑터 기판에 따르면, 피검사 전극의 수보다 작은 수의, 그 치수 및 배치 밀도의 자유도가 매우 큰 검사용 전극을 구비한 것이라도, 소형화 및 고밀도화된 전극을 갖는 프린트 기판을, 필요한 도통 검사 및 절연 검사를 행할 수 있다. 따라서, 각 검사에 있어서도, 테스터는 작은 용량의 것으로도 충분하다.

또한, 도통 검사 및 절연 검사의 양방을 실행함으로써, 피검사 기판에 대한 필요한 검사를 확실하게 달성할 수 있음과 동시에, 단순한 검사용 어댑터 기판도 두 검사들에 충분하다. 따라서, 그 설계 및 제조가 용이하게 되고, 테스터는 작은 용량으로도 충분하게 된다. 그리고, 상술된 검사용 어댑터 기판들을 이용함으로써, 매우 높은 효율로 다량의 프린트 기판에 대한 필요한 검사를 수행할 수 있다.

본 발명에 따르면, 프린트 기판 검사용 어댑터 기판 제작용 정보 생성 방법이 더 제공되며, 이것은 어댑터 기판에 피검사 프린트 기판 상의 복수의 피검사 전극의 위치들에 대응하는 위치들에 검사용 전극들을 구비하고 있고, 상기 검사용 전극들 중 적어도 하나는, 2개 이상의 피검사 전극들로 구성되는 피검사 전극 그룹에 대응하는 형상을 갖는 공통 검사용 전극이고, 상기 공통 검사용 전극은 검사를 위해 상기 피검사 프린트 기판과 접촉됐을 때, 상기 피검사 프린트 기판에 형성되어 있는 상호 독립된 배선 네트워크들이, 상기 공통 검사 전극을 통해 상호 전기적인 폐회로를 형성하지 않는 상태로 상기 공통 검사용 전극이 형성되어 있는, 프린트 기판 검사용 어댑터 기판을 제작하기 위해 정보를 생성하는 방법으로서,

(1) 상기 피검사 프린트 기판 상의 모든 피검사 전극들에 대한 기하학적 정보 및 상기 전극들 사이의 전기적 접속 정보를 이용하여, 복수의 피검사 전극으로 이루어지는 적어도 하나의 그룹을 형성하는 그룹화 처리; 및

(2) 하나의 피검사 전극 그룹에 속하는 피검사 전극들의 전부가 서로에게 전기적으로 접속된 상태에 대응하는 가상의(virtual) 공통 전극을 형성하는 공통 전극 형성 처리를 실행함에 따라, 상기 공통 검사용 전극에 관한 정보를 생성하는, 프린트 기판 검사를 위한 어댑터 기판 제작용 정보 생성 방법이다.

본 발명에 따르면, 정보 생성 장치가 더 제공되며, 어댑터 기판에 피검사 프린트 기판 상의 복수의 피검사 전극의 위치들에 대응하는 위치들에 검사용 전극을 구비하고 있고, 상기 검사용 전극들 중 적어도 하나는, 2개 이상의 피검사 전극들로 구성되는 피검사 전극 그룹에 대응하는 형상을 갖는 공통 검사용 전극이고, 상기 공통 검사용 전극이 검사를 위해 상기 피검사 프린트 기판과 접촉됐을 때, 상기 피검사 프린트 기판에 형성되어 있는 상호 독립된 배선 네트워크들이, 상기 공통 검사 전극을 통해 상호 전기적인 폐회로를 형성하지 않는 상태로 상기 공통 검사 전극이 형성되어 있는, 프린트 기판 검사용 어댑터 기판의 제작에 이용되는 정보 처리기인 정보 생성 장치로서,

(1) 상기 피검사 프린트 기판 상의 모든 피검사 전극들에 대한 기하학적 정보 및 상기 전극들 사이의 전기적 접속 정보를 이용하여, 복수의 피검사 전극으로 이루어지는 적어도 하나의 그룹을 형성하는 그룹화 처리 기능; 및

(2) 하나의 피검사 전극 그룹에 속하는 상기 피검사 전극들의 모두가 서로에게 전기적으로 접속된 상태에 대응하는 가상의 공통 전극을 형성하는 공통 전극 형성 처리 기능을 포함하여,
상기 공통 검사용 전극에 대한 정보를 생성하는, 프린트 기판 검사용 어댑터 기판의 제작에 이용되는 정보 생성 장치이다.

본 발명에 따르면, 프린트 기판 검사용 어댑터 제작용 정보 생성 방법이 더 제공되며, 이것은 어댑터 기판에 검사용 전극들을 구비하고 있고, 상기 검사용 전극들 중 적어도 하나는, 피검사 프린트 기판에 형성되어 있는 상호 독립된 배선 네트워크들 각각에 속하는 단 하나의 피검사 전극으로 이루어진 대표 피검사 전극과, 상기 대표 피검사 전극에 대응하는 위치에서, 전기적으로 접속되는 대표 검사용 전극으로서 형성되어 있는, 프린트 기판 검사용 어댑터 기판을 제작하기 위한 정보 생성 방법으로서,

(1) 상기 피검사 프린트 기판 상에 독립적으로 형성되어 있는 배선 네트워크들의 각각에 속하는 복수의 피검사 전극 중 단 하나를 대표 피검사 전극으로서 선정하는 대표 피검사 전극 선정 처리; 및

(2) 상기 피검사 프린트 기판 상에 형성되어 있는 피검사 전극들 중, 상기 대표 피검사 전극들에 전기적으로 접속되어 있는, 상기 대표 피검사 전극과는 다른 피검사 전극들로부터 적어도 하나의 피검사 전극을 모니터용 피검사 전극으로서 선정하는 모니터용 피검사 전극 선정 처리
를 실행함에 따라, 상기 대표 검사용 전극에 관한 정보 및 모니터용 검사 전극에 관한 정보를 생성하는 처리를 포함하는, 프린트 기판 검사용 어댑터 기판을 제작하기 위한 정보 생성 방법이다.

본 발명에 따르면, 정보 생성 장치가 더 제공되며, 이것은 어댑터 기판에 검사용 전극들을 구비하고 있고, 상기 검사용 전극들 중 적어도 하나는, 피검사 프린트 기판에 형성되어 있는 상호 독립된 배선 네트워크들 각각에 속하는 단 하나의 피검사 전극으로 이루어진 대표 피검사 전극과, 상기 대표 피검사 전극에 대응하는 위치에서, 전기적으로 접속되는 대표 검사용 전극으로서 형성되어 있는, 프린트 기판 검사용 어댑터 기판의 제작에 이용되는 정보 처리기인 정보 생성 장치로서,

(1) 상기 피검사 프린트 기판 상에 독립적으로 형성되어 있는 배선 네트워크들의 각각에 속하는 복수의 피검사 전극 중 단 하나의 전극을 상기 대표 피검사 전극으로서 선정하는 대표 피검사 전극 선정 처리 기능; 및

(2) 상기 피검사 프린트 기판 상에 형성되어 있는 피검사 전극들 중, 상기 대표 피검사 전극들에 전기적으로 접속되어 있는, 상기 대표 피검사 전극과는 다른 피검사 전극들로부터 적어도 하나의 피검사 전극을 모니터용 피검사 전극으로서 선정하는 모니터용 피검사 전극 선정 처리 기능을 포함하고,
상기 대표 검사용 전극에 관한 정보 및 모니터용 검사 전극에 관한 정보를 생성하는, 프린트 기판 검사용 어댑터 기판의 제작에 이용되는 정보 생성 장치

본 발명에 따르면, 프린트 기판 검사용 어댑터 기판을 제조하는데 사용되는 정보를 생성하는 방법이 더 제공되며, 상기 방법은 상술된 그룹화 처리 및 공통 전극 형성 처리를 실행하고, 상술된 대표 피검사 전극 선정 처리 및 모니터용 피검사 전극 선정 처리를 행하는 것을 포함한다.

본 발명에 따르면, 프린트 기판 검사용 어댑터 기판을 제조하는데 사용되는 정보를 생성하는 장치가 더 제공되며, 상기 장치는 상술된 그룹화 처리 기능 및 공통 전극 형성 처리 기능과, 상술된 대표 피검사 전극 선정 처리 기능 및 모니터용 피검사 전극 선정 처리 기능을 포함한다.

본 발명에 따르면, 상술된 제1의 검사용 어댑터 기판 및 상술된 제2의 검사용 어댑터 기판을 제작하는 경우에, 피검사 전극들에 대한 정보를 처리하여, 피검사 기판 상의 상기 피검사 전극에 대응하는 공통 검사용 전극들, 대표 검사용 전극들 및 모니터용 검사 전극들에 관한 정보를 생성하기 위해, 복수의 처리 수단 및 조건의 설정이 제공되고, 이 수단들 및 조건들을 임의로 변경하여 적용함으로써, 많은 종류의 피검사 기판에 대해서도, 각각의 목적에 따라 결과를 얻을 수 있는 방식으로 정보를 처리할 수 있다. 따라서, 매우 용이하게, 목적하는 검사용 어댑터 기판을 얻을 수 있다.

발명의 상세한 기술과 적합 실시예

이하, 본 발명의 검사용 어댑터 기판에 대해 구체적으로 설명한다.

도 3은 본 발명의 실시예에 따른 검사용 어댑터 기판에서의 검사용 전극들(이하 "제1 검사용 어댑터 기판"으로 칭함)과, 피검사 기판 상의 피검사 전극들을 상호 중첩시킨 상태(투시한 상태)로 도시한다.

도 3에서, 검은색의 직사각형, 정방형 및 원형의 도형은, 피검사 기판 상의 피검사 전극 X를 나타내고, 또한 백색 직사각형은 검사용 어댑터 기판(도시하지 않음)의 공통 검사용 전극 Y를 나타낸다. 검사용 어댑터 기판에 있어서, 공통 검사용 전극들에 관한 것 이외의 피검사 전극 X에 대응하여 검사용 전극 Z가 형성되어 있다.

피검사 전극 X에 첨부된 번호는, 개개의 피검사 전극들 X를 특정하는 것으로, 본 명세서에서는 괄호를 붙여 나타내며, 또한 공통 검사용 전극들 Y에 첨부된 영문 소문자는, 개개의 공통 검사용 전극 Y를 특정하고자 하는 것으로, 본 명세서에서는 괄호를 붙여 나타낸다.

도 3으로부터 분명히 알 수 있듯이, 공통 검사용 전극 Y의 각각은, 형상과 크기 양쪽 면에서 모두 개개의 피검사 전극 X에 대응하는 것이 아니라, 2개 이상의 피검사 전극 X로 구성되는 피검사 전극 그룹에 대응하는 상태로 형성되어 있다. 바꾸어 말하면, 각각의 공통 검사용 전극 Y는 피검사 전극들의 그룹에 속하는 모든 피검사 전극들 X에 공통으로 접촉하는 형상, 크기 및 위치를 갖는 전극으로 형성되어 있다.

구체적으로 설명하면, 도 3에 도시된 실시예에서, 공통 검사용 전극 (a)는 4개의 피검사 전극들 (1) ∼ (4)로 구성되는 피검사 전극 그룹을 공통으로 덮은 띠형의(band-like) 형상, 크기 및 위치로 형성되어 있고, 공통 검사용 전극 (b)는 3개의 피검사 전극들 (5) ∼ (7)로 구성되는 피검사 전극 그룹을 공통적으로 피복하는 형상, 크기 및 위치로 형성되어 있고, 그외의 공통 검사용 전극들 (c) ∼ (i)도 동일한 방식으로 형성되어 있다.

공통 검사용 전극 Y의 각각은, 검사를 위해 피검사 기판과 접촉됐을 때, 피검사 기판 상에 형성되어 있는 상호 독립된 배선 네트워크들이 상기 공통 검사용 전극을 통해 상호 전기적인 폐회로를 형성하지 않는 상태로 형성되는 것이 필요하다.

즉, 공통 검사용 전극 Y의 각각은, 특정한 복수의 피검사 전극 X의 전부에 대해 동시에 전기적으로 접속되는 것이므로, 어떤 공통 검사용 전극 Y에 대한 피검사 전극 그룹을 구성하는 복수의 피검사 전극 X는, 각각 상호 독립된 배선 네트워크에 속해야 한다.

도 3을 참조하여 설명한다. 예를 들면, 공통 검사용 전극(a)에 대응하는 4개의 피검사 전극들 (1) ∼ (4)는, 각각 서로 독립된 4개의 배선 네트워크에 속해야 한다. 그렇지 않은 경우에는, 예를 들면, 피검사 전극들 (2) 및 (3)은 모두 동일한 배선 네트워크에 속해 있는 경우에는, 상기 공통 검사용 전극 (a)가 피검사 전극들 (1) ∼ (4)에 접촉되면, 피검사 전극들 (2) 및 (3)과 관련된 배선 네트워크는 상기 공통 검사용 전극(a)을 통해 단락하며, 그 결과 전기적인 폐회로가 형성된다. 따라서, 높은 신뢰성을 갖고 전기적인 검사를 행하는 것은 불가능해진다.

제1 검사용 어댑터 기판에는, 이상과 같은 조건이 만족된 상태의 공통 검사용 전극 Y가 형성되어 있다. 따라서, 이 어댑터 기판을 이용함에 따라 피검사 기판 상의 모든 배선 네트워크에 대해 필요한 도통 검사를 실시할 수 있다.

도 3에 도시된 실시예를 참조하여 구체적으로 설명한다. 지금 피검사 기판상에, 세선 L로 나타낸 바와 같이 배선이 이루어져 있다고 가정하면, 필요한 검사, 즉 모든 배선에 대한 피검사 전극들 X 사이의 도통 검사를 행하기 위해서는, 종래와 같이 서로 독립된 배선 라인의 각각에 속하는 모든 전극쌍들이 전기적으로 도전성인지의 유무를 검사하는 것이 수행된다.

그러나, 제1 검사용 어댑터 기판을 사용하면, 모든 피검사 전극쌍마다 검사하지 않아도, 동등한 검사를 행할 수 있다.

예를 들면, 공통 검사용 전극 (a)와 (g) 사이의 도통의 검사는, 피검사 전극(3)과 이것과 전기적으로 접속된 피검사 전극(18) 사이의 도통의 검사와 등가이고, 공통 검사용 전극 (b)와 (g) 사이의 도통의 검사는, 피검사 전극(6)과 이것과 전기적으로 접속된 피검사 전극(19) 사이의 도통의 검사와 등가이다.

마찬가지로, 검사용 어댑터 기판에서의 공통 검사용 전극 Y 및 그 외의 공통으로 되어 있지 않은 검사용 전극 Z의 모든 조합에 대해 도통의 유무를 검사함에 따라 각 피검사 전극쌍에 대해 도통의 유무를 검사한 경우의 것과 동일한 결과를 얻을 수 있다.

이상의 것으로부터, 상기 제1 검사용 어댑터 기판에 따르면, 다음과 같은 효과를 얻을 수 있다.

(a) 피검사 기판에 필요한 도통 검사를 실행하기 위한 검사용 어댑터 기판으로서, 검사용 전극들이, 상기 피검사 기판 상의 피검사 전극들 사이의 최소 피치보다도 큰 피치로 배치된 검사용 어댑터 기판을 이용할 수 있으므로, 상기 검사용 어댑터 기판에서의 배선의 설계에서의 부하가 대폭 경감되고, 또한 상기 검사용 어댑터 기판의 제작에서의 부하가 감소한다. 또한, 검사용 어댑터 기판과 피검사 기판과의 정렬에 대한 조건이 완화된다.

(b) 테스터의 검사 용량보다 큰 수의 피검사 전극들을 갖는 피검사 기판의 도통 검사가 가능해진다.

도 3에 따른 상술된 설명으로부터 분명히 알 수 있듯이, 제1 검사용 어댑터 기판에서는, 피검사 기판 상의 모든 피검사 전극쌍들 간의 전기적 도통을 검사하기 위해 필요한, 상기 제1 검사용 어댑터 기판 상에 설치되는 검사용 전극(공통 검사용 전극을 포함함)의 수는, 피검사 전극의 수보다도 대폭 적어진다. 그 결과, 제1 검사용 어댑터 기판에서는, 테스터에 접속되어야하는 단자 전극들(그리드)의 수를 피검사 전극들의 총수보다 감소시킬 수 있고, 결과적으로 검사 가능 용량이 적은 테스터에 의해서도, 더 많은 수의 피검사 전극쌍들 사이의 도통 검사를 실시하는 것이 가능해진다.

이상과 같이, 제1 검사용 어댑터 기판은, 하나의 피검사 전극 그룹에 속하는 복수의 피검사 전극에 공통으로 작용하는 공통 검사용 전극을 설치하는 점에 특징이 있다. 이러한 검사용 전극들과 피검사 전극들과의 대응 관계를 실현하기 위해서는, 하나의 피검사 전극 그룹에 속하는 복수의 피검사 전극이, 반드시 한정된 영역에 상호 근접하여 배치된 것일 필요는 없고, 서로 전기적인 관계로 피검사 전극 그룹을 형성하는 것이면 된다.

제1 검사용 어댑터 기판에서는, 또한 서로 떨어진 위치에 배치되어 있는 검사용 전극들(공통 검사용 전극을 포함함)이, 추가의 접속용 배선에 의해 서로 전기적으로 접속할 수 있다.

구체적으로 설명하면, 도 4는 도 3과 동일한 상태, 즉 피검사 전극들과 검사용 전극들의 배열을 상호 중첩시킨 상태를 도시한다. 검은색의 사각형, 정방형, 원형은 피검사 기판 상의 피검사 전극 X를 나타내고, 하얀색 직사각형은 검사용 어댑터 기판의 공통 검사용 전극 Y를 나타낸다. 검사용 어댑터 기판에서, 이 공통 검사용 전극 Y에 대한 것 외의 피검사 전극 X에는 검사용 전극 Z가 대응하여 설치되어 있다. 이 도 4에 도시된 배선예에서는, 피검사 전극 X의 수는 좌측 영역에 10개 전극들, 중앙 영역에 10개 전극들, 우측 영역에 8개 전극들로, 합계 28개 전극들인데 비해, 검사용 전극의 수는, 좌측 영역에 5개 전극들(하나의 공통 검사용 전극 Y와, 4개의 검사용 전극 Z), 중앙 영역에 8개 전극들(하나의 공통 검사용 전극 Y와, 7개의 검사용 전극 Z), 우측 영역에 3개 전극들(하나의 공통 검사용 전극 Y와, 2개의 검사용 전극 Z)로, 합계 16개 전극들까지 감소하는 것을 알 수 있다.

도 5에 도시된 예에서는, 도 4에 도시된 예에서, 굵은선으로 나타내는 2개의 접속용 배선 C에 의해 각각 2개의 검사용 전극들 Z1과 Z2, 및 Z3과 Z4가 전기적으로 접속되어 있다. 이 경우에는, 예를 들면 검사용 전극 Z1과 Z2는, 각각 상호 공통 검사용 전극으로서의 작용을 갖게 된다. 그 결과, 도 5의 예에서는 독립한 검사용 전극의 총수, 즉 공통 검사용 전극 Y와, 공통되지 않은 검사용 전극 Z의 총수는 14개 전극들까지 감소시킬 수 있고, 그 결과 상기 검사용 어댑터 기판에 설치되는 단자 전극의 수가 더욱 감소된다. 따라서, 사용되는 테스터로서는 단지 14개의 검사점을 검사하는 만큼의 용량을 가질 수 있다.

일반적으로, 검사용 어댑터 기판을 설계하는 데에, 가장 중요한 문제 중 하나는, 기판의 한쪽 면에 배치된 검사용 전극과 다른 면에서의 단자 전극(그리드) 을 효율적으로 배선하여 전기적으로 접속하는 것이다. 당연하게도, 이 배선 작업은, 검사용 전극의 총수가 많아지고, 또한 고밀도가 될수록 곤란해진다. 따라서, 상술된 바와 같이 독립된 검사용 전극의 총수를 감소시키는 것은, 검사용 전극들 사이의 피치를 크게 하는 것이 가능해지고, 배선의 설계도 용이해지는 것을 의미한다. 또한, 배선 작업이 용이해지는 결과, 보다 굵은 배선 라인이나 대구경의 비아홀을 형성하는 것이 가능해지므로, 제조 또는 생산에서의 부하 또한 감소하게 된다.

상술된 바와 같이, 프린트 기판 상의 전극들의 소형화 및 고밀도화됨에 따라, 검사용 어댑터 기판의 설계 및 제조의 양방에서 어려움이 증대하는 기존의 상황에서는, 종전과 같이 피검사점마다 검사용 전극을 설치한 검사용 어댑터 기판을 제작하는 것은 거의 실용적이 아니다.

이것에 대처하는 편리한 방법으로서, 종래에는 소형 전극들의 정확한 구별 없이, 복수의 미세한 피검사 전극들과, 그 정도로 미세하지 않은 피검사 전극 사이의 도통 검사를 실시하는 검사용 어댑터 기판이 사용되어 왔다.

또한, 피검사 기판 내의 모든 배선을 검사하는 기능을 1매의 검사용 어댑터 기판에 내장할 수 없는 경우에는, 배선을 적당한 방법으로 분할하여, 분할된 배선 부분들의 각각에 대응하는 복수의 검사용 어댑터 기판을 제작하여, 각 배선 부분마다 검사를 수행하는 방법도 실행되어 왔다.

그러나, 이들의 방법으로는 복수의 피검사 전극에 대응하는 검사용 전극들 사이의 상호의 관계에 대한 고려는 이루어지지 않는다. 따라서, 이들의 방법에는 자연히 한계가 있다.

다른 한편으로는, 본 발명에서는 검사용 어댑터 기판에서 검사용 전극의 수를 감소시킬 수 있다. 따라서, 테스터의 용량, 및 상기 검사용 어댑터 기판의 설계 및 제조에서의 부하를 경감하면서, 또한 검사용 어댑터 기판과 피검사 기판과의 정렬에 대한 조건이 완화된 상태에서, 하나의 검사용 어댑터 기판에 의해, 피검사 전극의 전부에 대해 필요한 검사를 실행할 수 있다. 그러므로, 이 점에서 본 발명은 매우 큰 기술적 효과를 발휘하는 것을 이해할 수 있다.

제1 검사용 어댑터 기판에 따르면, 공통 검사용 전극은 복수의 피검사 전극에 공통으로 전기적으로 접속된다. 따라서, 피검사 기판 내에서 서로 독립적으로 형성된 배선 네트워크들 중의 절연 상태에 대한 완전한 검사 결과를 동시에 얻을 수 없다. 즉, 절연 검사를 행할 수 없다.

이 절연 검사를 행하기 위해, 본 발명에서는 다른 검사용 어댑터 기판(이하에서는 "제2 검사용 어댑터 기판"이라고 칭함)을 제공한다. 제2 검사용 어댑터 기판은, 피검사 기판 상에, 독립적인 배선 네트워크들의 각각에 속하는 다수의 피검사 전극 중에서 적당하게 선정하고, 그 선정된 피검사 전극(이하에서는 "선정 피검사 전극"이라고 칭함)의 각각에 대응한 검사용 전극을 대표 검사용 전극으로 구비하는 것이다.

이 절연 검사용 어댑터 기판을 이용함에 따라, 필요한 절연 검사를 확실하게 실행할 수 있다.

대표 검사용 전극에 대응하는 대표 피검사 전극으로는, 각 배선 네트워크에서의 피검사 전극들 임의의 하나일 수 있으므로, 예를 들면 크기가 최대의 피검사 전극, 또는 인접하는 것과의 이격 거리가 최대인 피검사 전극을 대표 피검사 전극으로서 선택할 수 있다. 따라서, 절연 검사용 어댑터 기판에서의 검사용 전극, 즉 대표 검사용 전극은, 피검사 기판 상의 피검사 전극에 비해 상당히 배치 밀도가 작고 또한 전극 크기가 큰 것으로 형성할 수 있다. 따라서, 그 설계 및 제조는 매우 용이하다.

이상과 같이, 하나의 피검사 기판에 대해, 도통 검사 및 절연 검사라는 2종류의 검사를 실행하는 것은, 그 한도 내에서 작업 공정의 증가를 초래한다. 그러나, 전체적으로 보면 검사용 어댑터 기판의 설계 및 제조가 용이해진다는 이점을 얻을 수 있으며, 더욱이 이에 따르는 비용 저감, 기간의 단축화라는 수반적인 효과를 크게 얻을 수 있다. 따라서 상술된 불이익을 고려해도 훨씬 현저한 이익을 얻을 수 있다.

도 6은, 피검사 기판에 대해 도통 검사와 절연 검사를 높은 효율로 실시할 수 있는 본 발명의 프린트 기판 검사 장치를 도시한다.

이 프린트 기판 검사 장치에서, 참조부호 A는 검사용 헤드 기구를 나타내며, 도 2에 도시된 검사용 헤드 기구와 기본적으로 동일한 구성을 갖는다. 도 2에서와 같이, 동일한 검사 제어 기구(도시하지 않음)에 의해 그 동작이 제어된다.

이 검사 장치에서의 검사용 헤드 기구 A의 하부 헤드(10) 및 상부 헤드(11)에는, 도통 검사를 위한 제1 검사용 어댑터 기판(32) 및 절연 검사를 위한 제2 검사용 어댑터 기판(34)은 각각 제1 영역 Ra 및 제2 영역 Rb 상에 나란히 위치되어 장착되어 있다. 이 어댑터 기판들은 공통 베이스 상에 설치될 수 있다.

검사용 헤드 기구 A의 양측의 영역에는, 기판 스토커(board stockers)(36, 38)가 각각 배치되어 있다. 기판 스토커(36)는, 제1 스토커 부분(36a)과 제2 스토커 부분(36b)이, 제1 영역 Ra 및 제2 영역 Rb와 마찬가지로 나란히 배치된 이연 구조(double-stocker structure)를 갖는다. 마찬가지로, 기판 스토커(38)도 제1 스토커 부분(38a)과 제2 스토커 부분(38b)이 나란히 배치된 이연 구조를 갖는다. 기판 스토커들(36, 38)의 각각에 있어서 2개의 스토커 부분들은, 그들 사이의 거리 및 각각의 크기가, 실제로 검사에 제공되는 피검사 기판(40)의 크기에 맞춰 각각의 크기를 조절 가능하게 이루어져 있다.

검사시에는, 우선 한쪽의 기판 스토커(36)의 제1 스토커 부분(36a) 및 제2 스토커 부분(36b)으로부터, 동일한 설계에 기초하여 제작된 동종의 피검사 기판(40)의 2매가, 동시에 예를 들면 레일 반송 장치 또는 로보트 반송 장치등의 수단에 의해, 하부 헤드(10)의 제1 영역 Ra 및 제2 영역 Rb상에 배치된다.

이어서, 검사용 헤드 기구 A에서는, 구동 기구(19)에 의해 하부 헤드(10)가 상부 헤드(11)에 대해 압착된 상태가 되어, 2매의 피검사 기판(40)이 제1 영역 Ra에서는 제1 검사용 어댑터 기판(32)에 의한 도통 검사가 행해지고, 동시에 제2 영역 Rb에서는 제2 검사용 어댑터 기판(34)에 의한 절연 검사가 행해진다. 검사가 종료한 후에, 2매의 피검사 기판(40)은 동시에 반출되어, 각각 다른 기판 스토커(38)의 제1 스토커 부분(38a) 및 제2 스토커 부분(38b)에 수납된다.

기판 스토커(36) 내의 피검사 기판의 전부에 대해 상술된 테스트가 완료된 후에는, 다른 기판 스토커(38)에 포함된 피검사 기판이 동시에 검사된 2매의 피검사 기판의 위치가 교환된 상태에서 기판 스토커(36)로 복귀된다. 구체적으로는, 다른 기판 스토커(38)의 제1 스토커 부분(38a)에 포함된 피검사 기판이 기판 스토커(36)의 제2 스토커 부분(36b)에 복귀되며, 또한 다른 기판 스토커(38)의 제2 스토커 부분(38b)에 포함된 피검사 기판이 기판 스토커(36)의 제1 스토커 부분(36a)으로 복귀된다. 그후에, 상술된 바와 같은 테스트들이 행해진다.

이상과 같은 방식으로, 모든 피검사 기판들(40)에 대해 검사용 어댑터 기판(32)에 의한 도통 검사와, 검사용 어댑터 기판(34)에 의한 절연 검사의 양방이 행해진다.

이러한 검사 장치에 따르면, 피검사 기판(40)에 대해 필요한 도통 검사 및 절연 검사를 매우 높은 효율로 수행할 수 있다.

본 발명의 검사용 어댑터 기판에 따르면, 어댑터 기판들이 피검사 전극들의 수보다 적고, 그 크기 및 배치 밀도에 대한 자유도가 매우 큰 검사용 전극을 갖지만, 소형화 및 고밀도화된 전극을 갖는 프린트 기판을 피검사 기판으로서, 필요한 도통 검사 또는 절연 검사를 행할 수 있다. 따라서, 각 검사에서도, 테스터는 작은 용량이어도 충분하다.

또한, 도통 검사 및 절연 검사의 양방을 실행함으로써, 피검사 기판에 대한 필요한 검사를 확실하게 실행할 수 있으며, 또한 간단한 검사용 어댑터 기판으로도 각각의 검사들에 충분하다. 따라서, 그 설계 및 제조가 용이해지고, 테스터는 작은 용량의 것이라도 충분하다. 또한, 상술된 검사용 어댑터 기판을 이용함으로써, 다량의 프린트 기판에 대한 필요한 검사를 매우 높은 효율로 실행할 수 있다.

제1 및 제2 검사용 어댑터 기판들에 따르면, 그들의 설계 및 제작에서의 제약이 대폭 완화되어 자유도가 매우 커지고, 이들에 따르는 비용의 저감, 기간의 단축 등의 수반적인 실제 상의 효과가 커진다. 따라서, 전체적으로 도통 검사와 절연 검사 모두를 행할 필요가 있는 불이익을 고려해도, 훨씬 현저한 이익을 얻을 수 있다.

상술한 바와 같이, 제1 및 제2 검사용 어댑터 기판들은, 기본적으로 큰 이익을 얻을 수 있는 점에서 매우 우수하다. 그러나, 실제로 이들을 제작하는 경우에는, 몇개의 큰 문제점이 있는 것이 판명되었다.

예를 들면, 상술된 각 검사용 어댑터 기판의 원리에 기초하여 구체적인 피검사 기판을 검사하기 위한 검사용 어댑터 기판의 설계를 수작업으로 행하는 경우에는, 피검사 기판에서의 피검사 전극의 전기적인 접속 상태를 해석하기 위해 적어도 수일 이상의 시간을 필요로 하고, 또한 최적이라고 생각되어지는 공통 검사용 전극의 위치 및 형상의 결정 작업, 및 이 작업으로부터 얻어진 정보를, 후속의 프로세스를 위해 컴퓨터 등에 기록하는 입력 작업을 행할 필요가 있다.

특히, 제1 검사용 어댑터 기판에서의 공통 검사용 전극의 조건, 구체적으로는 그 크기 및 위치등을 결정하는 작업에서는, 하나의 공통 검사용 전극에 대응하는 피검사 전극 그룹에 속하는 피검사 전극들의 수가 더욱 많아지도록하는 방식으로 공통 검사용 전극의 조건을 결정하는 것이 요구되며, 더욱 많은 수의 공통 검사용 전극들을 형성할 수 있다. 그러나, 공통 검사용 전극의 조건을 부주의하게 결정하면, 일부의 피검사 전극들이 검사 대상으로부터 벗어날 우려도 있다. 따라서, 이 작업은 그 목적 및 원리를 충분히 이해하고 있는 사람이 신중히 행할 필요가 있다. 또한, 피검사 기판의 규모 및 전기 회로의 복잡함에 따라 변하기는 하지만, 매우 긴 처리 시간, 예를 들면 약 2주 이상의 기간이 필요하다.

일반적으로, 프린트 기판의 설계에서의 기본적 룰은, 상기 프린트 기판이 조립되는 장치 또는 기기의 종류(예를 들면, 전화기, 공작 기계의 컨트롤러, 게임기 등), 적용 분야(민간용 기기용, 산업용, 군사용 등의 장치 또는 기기), 처리해야 할 전기 신호의 종류(아날로그 신호, 디지탈 신호, 또는 이들의 혼합 신호), 서비스 환경(휴대형 또는 거치형)등의 여러가지 조건에 따른 많은 시스템들을 따른다. 그 결과로서, 피검사 기판의 디자인(전극의 수, 형상, 크기, 배치 및 전극들간 또는 전극들 중의 전기적인 접속체인 배선 네트워크)의 내용은 매우 다양하다. 따라서, 모든 경우에 변경없이 적용할 수 있는 공통의 검사 어댑터 기판에 대한 정보를 형성하는 방법은 존재하지 않는다.

상술된 바와 같이, 제1 검사용 어댑터 기판의 제작에서는 개별적인 피검사 전극들에 대응하는 검사용 전극을 갖는 종래의 검사용 어댑터 기판에 비해, 특히 그 설계는, 매우 긴 작업 공정을 필요로 한다는 문제점을 수반한다.

한편, 대표 검사용 전극을 갖는 제2 검사용 어댑터 기판의 제작에도, 사정은 제1 검사용 어댑터 기판의 경우와 기본적으로 동일하다.

본 발명에 따르면, 이러한 문제점을 해결하기 위해, 이하에 설명될 정보 생성 방법 및 장치가 제공된다.

이 정보 생성 방법에 따라 제작되는 2종의 검사용 어댑터 기판에 대해 기본적인 사정을 확인하면, 다음과 같다:

(A) 도통 검사를 위한 제1 검사용 어댑터 기판

도통 검사용의 제1 검사용 어댑터 기판에서는, 특정한 조건들에 따라 공통 검사용 전극들이 설치된다. 이 조건들은 아래의 3개 조건들을 포함한다.

(a) 공통 검사용 전극의 각각은, 복수의 피검사 전극과 동시에 접촉하는 것이다.

(b) 피검사 전극은, 피검사 기판에서의 배선 네트워크 중 어느 하나에 속하지만, 하나의 공통 검사용 전극에 대응하는 복수의 피검사 전극의 각각은, 서로 독립적으로 형성된 배선 네트워크에 속한다.

(c) 검사용 어댑터 기판이 전기적 검사의 목적으로 피검사 기판과 접촉됐을 때, 피검사 기판에서의 각각의 배선 네트워크와 검사용 어댑터 기판의 각각의 검사용 전극에 의해 형성되는 회로는, 모두 폐회로를 형성하지는 않는다.

이상의 조건 (a) ∼ (c)에 따라 형성된 공통 검사용 전극을 갖는 검사용 어댑터 기판에 따르면, 피검사 기판에서의 모든 배선 네트워크들의 도통 검사를, 각 배선 네트워크마다 독립적으로 행할 수 있다. 이것은 도 3에 도시된 실시예에 기술된 설명으로부터도 분명히 알 수 있다.

(B) 절연 검사를 위한 제2 검사용 어댑터 기판

절연 검사용의 제2 검사용 어댑터 기판의 설계에서는, 피검사 기판에서의 각 배선 네트워크로부터, 대표 피검사 전극으로서 단 하나의 피검사 전극을 선택하는 것이 행해진다. 즉, 절연 검사는, 검사 대상으로서의 피검사 전극이 속하는 하나의 배선 네트워크에서의 대표 피검사 전극에 임의의 전압을 인가할 때, 다른 모든 대표 피검사 전극사이에 어떠한 전류 흐름도 검출되지 않은 것을 확인하고, 이 처리를 모든 대표 피검사 전극에 대해 차례로 반복함에 따라 수행된다. 모든 대표 피검사 전극의 조합에 대한 상기 확인의 조작이 종료하면, 목적하는 절연 검사가 완료한다.

이 절연 검사에 따르면, 다음과 같은 효과를 얻을 수 있다.

(i) 프린트 기판 검사 장치에서의 테스터의 용량을, 피검사 기판 상의 피검사 전극에 대응하는 용량보다 작게 할 수 있다.

(ii) 검사용 어댑터 기판들에서의 검사용 전극들 사이의 피치를, 피검사 프린트 기판 상의 피검사 전극들 사이의 최소 피치보다도 크게 할 수 있다.

이상의 사정을 배경으로 하여, 본 발명에 따른 정보 생성 방법 및 장치에 대해 구체적으로 설명한다.

본 발명에서는, 어떤 피검사 기판에 대해, 도통 검사에 사용되는 제1 검사용 어댑터 기판 및 절연 검사에 사용되는 제2 검사용 어댑터 기판을 제작하기 위해, 기본적으로 이하의 단계들이 실행된다.

(1) 피검사 기판 상의 피검사 전극에 대한 정보의 입력 단계;

(2) 제1 검사용 어댑터 기판의 검사용 전극에 대한 정보의 생성 단계;

(3) 제2 검사용 어댑터 기판의 검사용 전극에 대한 정보의 생성 단계; 및

(4) 생성된 정보의 출력 단계.

이하, 이들 각 단계들에 대해 상세히 설명한다.

(1) 피검사 기판 상의 피검사 전극에 대한 정보의 입력 단계:

이 단계는, 프린트 피검사 기판 상의 피검사 전극들의 상대적인 위치, 형상, 및 크기 등의 기하학적 정보, 및 피검사 전극들 상호간의 전기적 접속 정보, 즉 도통 또는 절연에 대한 정보를 기초적 정보로서, 컴퓨터, 그 밖의 정보 처리 장치에 의해 처리되는 임의의 매체로 판독하는 단계이다.

이 단계에서 입력의 대상이 되는 정보원은, 피검사 기판에 관한 상술된 정보를 주는 것이면 특별한 한정이 없다. 예를 들면 피검사 기판에 대한 설계 정보, 및 실제의 프린트 기판을 해석함으로써 얻어진 정보를 이용할 수 있다. 또한, 검사의 대상이 되는 피검사 기판을 종래 방법에 따라 검사하기 위한 검사용 어댑터 기판에 대한 정보도, 피검사 전극에 대한 상술된 정보와 실질적으로 등가이므로, 정보원으로서 사용할 수도 있다.

기초적 정보의 판독 수단으로는, 이동식 하드디스크, 플로피디스크, MO, 자기 테이프, CD-R등의 기록 매체를 이용하는 방법이 일반적이다. 그러나, 입력 수단으로서 인터넷, LAN, 또는 퍼스널 컴퓨터 통신등의 통신 수단에 의해, 직접 정보를 판독할 수도 있다. 수작업에 의한 입력도 가능하다. 그러나, 수작업의 입력은 장시간을 필요로 하는 데다가 오입력이 생길 우려가 크다. 따라서 설계 변경이 있었을 때 약간 수정하는 경우 외에는 수작업은 불리하다.

(2) 제1 검사용 어댑터 기판의 검사용 전극에 대한 정보의 생성 단계:

이 단계는, 상기 단계 (1)에 의해 입력된 피검사 전극에 대한 기하학적 정보 및 전기적 접속 정보에 기초하여, 일부 피검사 전극을 그룹으로 형성하여 이 그룹에 대응하는 공통 검사용 전극에 관한 정보를 취득하는 단계이다.

이 단계는, 피검사 전극 그룹을 형성하는 그룹화 처리 및 공통 전극 형성 처리의 2단계로 분리된다.

(2-1) 그룹화 처리

피검사 기판의 검사에 실제로 이용되는 프린트 기판 검사 장치 또는 테스터의 능력(용량), 및 검사용 어댑터 기판의 용량과 피검사 기판에서의 배선의 용량을 효과적으로 이용하여, 높은 검사 효율을 얻을 수 있도록 하는 방식으로, 피검사 전극들을 그룹화한다. 구체적으로는, 이하의 조건 하에서, 후술하는 순서에 따라 그룹화가 행해진다.

〔a〕 동일 그룹에 속해지는 피검사 전극의 조건

피검사 전극의 전부 또는 일부에 대해, 주로 실제의 전극의 크기, 상대 위치 및 형상, 그리고 인접하는 전극들 사이의 간격 등의 기하학적 정보에 기초하여 동일 그룹에 속하게 하는 복수의 피검사 전극을 선정한다.

구체적으로는, 이하에 나타낸 조건의 항목〔a-1〕∼〔a-5〕로부터 선발되는, 적어도 하나의 항목이 적용되고, 그 항목에 대응하는 복수의 피검사 전극이 동일 그룹에 속하는 것으로서 선택된다. 각 항목에서 나타내고 있는 수치는 임계값의 일예이고, 절대적 또는 한정적인 값은 아니다. 복수의 항목이 조합하여 적용되는 경우에는, 필요에 따라 각 항목마다 웨이팅(weightings)을 행함에 따라, 보다 바람직한 결과를 얻을 수 있다.

〔a-1〕전극 중심간 거리가 짧은 전극군인 것(예를 들면, 1000㎛ 이하).

〔a-2〕인접하는 전극사이의 간격이 작은 전극군인 것(예를 들면, 500㎛ 이하).

〔a-3〕좁은 영역에 높은 밀도로 위치하는 전극군인 것(예를 들면, 30개/㎠ 이상).

〔a-4〕예를 들면 집적 회로에 대응하는 격자형으로 전극들이 배열된 특정 배치를 따르는 전극군인 것.

〔a-5〕기타, 특히 그룹화에 적당한 전극군인 것.

〔b〕동일 그룹으로부터 제외해야 할 피검사 전극의 조건

피검사 전극의 전부 또는 일부에 대해, 전기적으로 독립적인 검사가 가능해지도록, 주로 전기적 접속 정보에 기초하여 동일 그룹으로부터 제외해야 할 피검사 전극을 선정한다.

통상적으로, 이하에 나타낸 조건의 항목들의 전부가 적용되고, 그 항목에 대응하는 피검사 전극들이 제외된다. 그러나, 일부 경우, 예를 들어 제조 시에 단선이 생기지 않은 것이 분명한 경우에는, 대응하는 항목을 적용하지 않을 수도 있다.

〔b-1〕동일 배선 네트워크에 포함되는 전극들 중의 하나의 전극인 것;

〔b-2〕다른 그룹을 통해 전기적으로 접속되는 전극들 인 것; 및

〔b-3〕특히 그룹화에 적당하지 않은 전극들 인것.

〔c〕 그 밖의 조건들

그룹화 처리에 따른 본질적인 조건이 아니지만, 이하와 같은 조건을 부가할 수 있다. 이 조건들에 의해, 그룹화 처리를 신속하고 또한 정확히 행하는 것이 가능해지고, 또한 검사의 실행과 검사 결과의 해석을 한층 더 용이하게 행하는 것이 가능해진다. 이들 조건의 항목들은, 단독으로 또는 임의의 조합으로 적용된다. 항목들이 조합하여 적용되는 경우에는, 각 항목마다 웨이팅을 행함에 따라, 더욱 바람직한 결과를 얻을 수 있다. 상기 항목들 [a] 또는 [b]와는 다른 일부 경우에서는, 항목들이 전혀 적용되지 않은 경우도 있다.

이들 제한의 예로는, 상한 및 하한 중의 어느 하나 또는 양쪽이 설정됨에 따른 제한, 어떤 허용 범위 또는 금지 범위를 설정함에 따른 제한을 포함한다. 이들 제한들을 복합하여 설정할 수도 있다. 실제로, 각각의 제한들은, 일부 경우에, 피검사 전극들의 총수와 같은 수, 프린트 피검사 기판의 전체 면적에 대한 피검사 전극들의 총 면적의 비 같은 면적, 전극들의 배치 밀도등의 형태로 직접적이거나 또는 간접적인 제한으로써 주어질 수 있다.

〔c-1〕그룹에 속하는 전극의 총수에 부과된 제한.

〔c-2〕피검사 기판의 전체적으로 그룹화되는 전극의 총수에 부과된 제한.

〔c-3〕하나의 그룹이 차지하는 면적에 부과된 제한.

〔c-4〕형성되는 그룹의 총수에 부과된 제한.

〔c-5〕형성된 그룹들 사이의 거리, 및/또는 간격의 크기에 부과된 제한.

〔c-6〕형성된 그룹 및 어느 그룹에도 속하지 않는 피검사 전극들로 이루어진 요소들 사이의 거리 및 간격의 크기에 부과된 제한.

〔c-7〕배선 네트워크를 형성하기 위해 그룹화된 전극들의 총수에 부과된 제한.
〔c-8〕형성되는 공통 검사용 전극에 대응하는 영역의 형상이 처리되기 용이해지도록 할 수 있는 그룹에 속하는 전극들에 부여된 제한.

상술된 항목을 피검사 기판 상의 피검사 전극에 적용하여 그룹을 형성하는 순서는, 적용의 순서에 따라 이하의 3가지 방법으로부터 선택할 수 있다.

순서 (1) :

피검사 기판상의 모든 전극에 대해 순차적으로 〔a〕에 속하는 항목과 〔b〕에 속하는 항목을 동시에 적용하여, 그룹화와 제외를 동시에 행한다.

순서 (2) :

우선, 피검사 기판 상에 있는 모든 전극에 대해 〔a〕에 속하는 항목을 적용하여, 임시 그룹을 만든 다음에, 〔b〕에 속하는 항목에 대응하는 전극을 제외함에 따라, 최종적인 그룹을 형성한다.

순서 (3) :

우선, 피검사 기판 상에 있는 모든 전극에 대해 〔b〕에 속하는 항목을 적용하여 그룹화하는 데 부적당한 전극을 제외하고, 그 다음에 〔a〕에 속하는 항목을 적용하여 그룹을 형성한다.

실제의 처리로서는 순서 (1)이 단순하고, 형성하는 피검사 전극의 그룹에 대응하는 공통 검사용 전극의 수 및 그룹화 처리의 속도 모두에 대해서도, 표준 결과를 제공할 수 있다.

순서 (2)에 따르면, 형성되는 공통 검사용 전극의 품질은 순서 (1)의 경우보다 향상한다. 그러나, 처리 시스템에 큰 작업 공간이 필요해진다.

순서 (3)에 따르면, 그룹화 처리의 속도는 매우 빨라진다. 그러나, 피검사 전극의 배치가 복잡한 경우에는, 그룹화에 의해 [b]에 속하는 항목에 대응하는 전극들이 새롭게 생길 가능성이 있다. 따라서, 재차 체크를 행하는 것이 바람직하다.

이상의 사실으로부터, 피검사 기판의 복잡함이나 규모에 대해 어댑터 기판 설계 시스템이 충분한 처리 속도 및 작업 공간을 갖는 경우에는 순서 (2)를 선택하고, 그 이외일 때에는 순서 (1) 또는 순서 (3)을 선택하는 것이 바람직하다.

또한, 〔b〕에 속하는 항목에 대응하는 전극을 제외하는 방법으로는, 이하의 2개의 방법들로부터 선택하는 것이 가능하다.

제외 방법 (1)

대응하는 임시 그룹 또는 그룹화의 후보로부터 단순히 제외하는 방법.

제외 방법 (2)

임시 그룹을 복수의 그룹으로 분할하는 방법.

이 전극의 제외 처리에서는, 제외해야 할 전극이나 제외 방법에 선택의 여지가 생길 수 있다. 이러한 경우에, 전극의 전기적 접속 정보 외에, 전극의 크기, 형상, 상대적인 위치 관계, 인접 전극들 사이의 간격, 및 특정한 배열에 따르는 경우에는 그 배열의 규칙성 등의 기하학적 정보를 참고하여, 실제로 제외하는 전극 및 제외 방법을 결정할 수 있다.

이상의 설명에서는, 이해를 쉽게 하기 위해 피검사 기판 상의 피검사 전극의 전체를 모두 함께 처리하는 경우에 대해 설명하였다. 그러나, 피검사 기판의 면적을 복수의 섹션으로 분리하고, 각각의 섹션 내에서의 전극들에 대해 상술된 그룹화 처리를 차례로 실행하는 방법을 채용할 수도 있다. 매 섹션마다 처리하는 방법은, 정보 처리 장치 및 처리 시스템에 요구되는 작업 공간이 적은 것이라도 이점을 갖는다. 그러나, 섹션들 사이의 경계에서는 필연적으로 그룹이 분할되게 된다. 그러므로, 이것을 고려할 필요가 있다.

또한, 상기 〔c〕에 속하는 항목에 대해서는, 상기 제한에 따라 적절한 타이밍에 항목을 적용할 필요가 있다.

이상의 그룹화 처리에서는, 상기 처리를 위해 선택한 항목 또는 순서가 피검사 기판에 적합하지 않아서, 그 때문에 처리가 완료하지 않은 경우나, 또는 처리가 완료한 경우에도 기대에 따른 결과를 얻을 수 없는 경우 등이 생길 가능성이 있다. 이러한 경우에는, 그것의 임계값을 변경하거나, 또는 항목의 조합을 변경하고, 그 다음에 처리를 다시 행함에 따라, 목적하는 결과를 얻을 수 있다.

(2-2) 공통 전극 형성 처리:

이 처리는 상술된 그룹화 처리에 의해 결정된, 동일 그룹에 속하는 피검사 전극을 그 때에 서로 전기적으로 접속하여, 가상의 공통 전극을 형성하는 처리이다. 이 처리를 행함에 따라, 목적하는 검사용 어댑터 기판의 공통 검사용 전극에 대한 직접적인 정보, 즉 그 기하학적 정보 및 전기적 접속 정보를 얻을 수 있다.

공통 전극 형성 처리에 사용될 수 있는 수단은, 이하에 나타낸 바와 같이 크게 3개의 방법으로 나뉘어진다.

〔a〕단순히 전기적으로 접속하는 수단

이 수단으로는, 예를 들면 피검사 전극이 중복하여 표시된 소정의 검사용 어댑터 기판의 표시에서, 1그룹에 속하는 전극들이, 실제로 폭을 갖는 선에 의해 서로에게 연결하는 작업이 행해진다.

〔b〕 1그룹에 속하는 전극들 각각에 대응하는 임의의 영역을 상정하여 그들의 중복을 이용하는 수단
구체적으로는 다음과 같은 수단이 있다.

〔b-1〕1그룹에 속하는 전극들 각각의 영역 내의 어느 일점을 중심으로 하는 적절한 반경의 원을 그려서, 하나의 전극에 의한 원이 임의의 다른 전극에 대한 원과 중복되는 상태를 구하고, 그 외형 윤곽내의 영역을 공통 전극 형성 영역으로서 간주하는 수단; 및

〔b-2〕1그룹에 속하는 전극들의 각각이, 그 윤곽의 유사한 형태를 유지하면서 확대하는 작업을 행함에 따라, 하나의 확대된 전극에 관련된 영역이 임의의 다른 확대된 전극과 관련된 영역과 중복되는 상태를 구하고, 그 외형 윤곽내의 영역을 공통 전극 형성 영역으로서 간주하는 수단.

〔c〕1그룹에 속하는 전극들의 전부가 포함되는 다각형의 공통 전극 형성 영역을 구하는 수단
구체적으로는 다음과 같은 수단이 있다.

〔c-1〕1그룹에 속하는 전극들 전부를 둘러싼 직사각형, 원형 또는 그 밖의 임의의 형상의 영역을 미리 설정하고, 이 영역을 공통 전극 형성 영역으로서 간주하는 수단.

〔c-2〕1그룹에 속하는 전극 각각에 외접하는 다각형을 미리 설정하여, 모든 선택적 다각형의 각 쌍에서, 한쪽 다각형의 정점들 중의 하나와 다른 다각형의 정점들 중의 하나를 각각 연결하는 직선 전체를 리스트업하는 작업을, 다각형의 쌍에 대해 행하고, 이러한 직선 리스트업 작업은, 그 결과 얻을 수 있는 모든 직선군으로부터 상호 교차하는 직선을 제외하고, 잔존하는 직선군에 의해 형성되는 다각형에 의해 둘러싸인 영역을 공통 전극 형성 영역으로서 간주하는 수단; 및

〔c-3〕1그룹에 속하는 전극들 각각에 외접하는 다각형을 미리 설정하고, 미리 설정된 다각형의 정점들 중에서 설정된 X 축 또는 Y 축을 따라 가장 끝에 위치하는 일 정점을 개시점으로 하여, 반시계 방향 또는 시계 방향으로, 일정한 거리의 범위 내에 있는 정점들 중 가장 외측에 위치하는 점을 차례로 직선으로 연결함에 따라 형성되는 다각형에 의해 둘러싸인 영역을 공통 전극 형성 영역으로서 간주하는 수단.

이들 방법들은, 각 그룹의 조건들에 따라 각각 적절한 방법으로 사용할 수도 있다. 그러므로, 하나의 피검사 기판에 대해 특정한 수단을 균일하게 적용할 필요는 없다. 실제로, 일부 경우에는 얻어진 공통 전극 형성 영역에는, 불필요한 부분이 포함되어 있을 수 있다. 이 경우에, 그 불필요한 부분을 삭제할 수 있다.

임의의 방법에서, 전극이 고려되는 그룹에 속하는데도, 형성된 공통 전극 형성 영역으로부터 벗어난 상태로 되어 있는 전극이나, 또는 그와는 반대로, 전극이 고려되는 그룹 이외의 그룹에 속해야 하는데도, 형성된 공통 전극 형성 영역과 접촉하거나 중복하고 있는 전극의 가능성이 실제로 존재한다. 이 때문에, 이러한 결점이 발생하지 않는 것을 확인하는 것이 필요하다. 만약 결점이 있으면, 조건이나 방법을 변경하여 다시 처리를 실행하는 시스템을 사용하는 것이 바람직하다.

(3) 제2 검사용 어댑터 기판의 검사용 전극에 대한 정보의 생성 단계

이 단계는, 상기 단계 (1)에 의해 입력된 피검사 전극에 대한 기하학적 정보 및 전기적 접속 정보에 기초하여, 피검사 기판의 배선 네트워크들 사이의 절연 특성에 대한 검사에 이용되는 제2 검사용 어댑터 기판을 제작하기 위한 정보를 생성하는 단계이다.

이 단계는, 검사하는 배선 네트워크에 각각 임의의 전압을 인가하거나 또는 전류의 흐름을 검출하기 위한 대표 피검사 전극을 선정하는 대표 피검사 전극 선정 처리, 및 검사용 어댑터 기판에 접촉되었을 때 상기 대표 피검사 전극이 정확하게 대표 검사용 전극에 전기적으로 접속되는 것을 확인하기 위한 모니터용 피검사 전극을 선정하는 모니터용 피검사 전극 선정 처리의 2단계로 분리된다.

(3-1) 대표 피검사 전극 선정 처리

대표 피검사 전극은, 검사 대상인 피검사 기판에서의 배선 네트워크 각각에 검사용 전압을 인가하기 위한 전극이고, 각 배선 네트워크마다 하나의 전극이 선정된다. 대표 피검사 전극은, 배선 네트워크와 임의의 다른 배선 네트워크 사이의 단락 상태를 검출하기 위한 프로브 전극으로서 이용할 수 있다.

대표 피검사 전극으로는, 이하의 조건을 만족하는 피검사 전극이 선정된다.

조건 1

검사용 전극과, 안정된 전기적인 접속이 달성되는 데에 충분한 기계적 접촉이 확보되는 크기를 갖는 전극인 것. 따라서, 일반적으로 각 배선 네트워크에서 최대 면적의 전극이 대표 피검사 전극이 된다.

조건 2

검사용 전극과의 접촉을 용이하게 달성할 수 있는, 정방형, 원형등의 형상을 갖는 전극인 것.

조건 3

전극의 밀도가 낮은 영역에 존재하는 전극인 것.

(3-2) 모니터용 피검사 전극 선정 처리

모니터용 피검사 전극들의 각각은, 상술된 대표 피검사 전극들 중의 임의의 하나에 대해 전기적으로 도통 상태에 있는 피검사 전극으로부터 선정된다.

이 모니터용 피검사 전극에 대응하여 검사용 어댑터 기판 상에 형성되는 모니터용 검사 전극과, 대표 피검사 전극에 대응하여 검사용 어댑터 기판 상에 형성되는 대표 검사용 전극을 이용하여, 모니터용 피검사 전극과 대표 피검사 전극사이의 도통 상태를 확인할 수 있고, 이에 따라 대표 검사용 전극이 대표 피검사 전극에 대해 정확하게 접촉되고, 그 결과 배선 네트워크에 필요한 전압이 인가되어 있는 상태인 것을 확인할 수 있다.

대표 검사용 전극과의 전기적인 접속을 확인하기 위해서는, 각 배선 네트워크 당 하나씩의 모니터용 피검사 전극을 선정하는 것이 이상적이다. 그러나, 실용적인 관점에서는 피검사 기판 전체에 대해 수개로부터 십수개의 전극들로도 충분하다.

모니터용 피검사 전극의 선정에는, 이하의 조건이 만족되는 것이 바람직하다.

조건 1

모니터용 피검사 전극은, 관련된 대표 피검사 전극들 전체보다도 작아야 한다.

조건 2

모니터용 피검사 전극은, 모니터용 검사 전극과의 접촉을 용이하게 달성할 수 있는, 정방형, 원형등의 형상의 전극이어야 한다.

조건 3

복수의 모니터용 피검사 전극의 일부는, 피검사 기판의 4개의 코너부, 또는 이것에 가까운 영역에 일반적으로 존재하는 것이다.

조건 4

모니터용 피검사 전극들이 피검사 기판의 전체에 분포하는 것이다.

이상의 조건들을 만족하는 모니터용 피검사 전극을 선정함으로써, 검사용 어댑터 기판에서의 대표 검사용 전극이, 피검사 기판의 전체 영역에 걸쳐 존재하는 대표 피검사 전극에 대해, 확실하게 전기적으로 접속되어 있는 상태로 되어 있는 것을, 상기 모니터용 피검사 전극과, 검사용 어댑터 기판의 모니터용 검사 전극 사이의 전기적인 접속성을 검사함으로써, 실용상 충분한 정도로 보증되게 된다.

(4) 생성된 정보의 출력 단계

이 단계는, 상기 (2)의 정보 생성 단계에서 얻어진 정보를, 제1 검사용 어댑터 기판을 설계하기 위한 정보로서 출력하고, 상기 (3)의 정보 생성 단계에서 얻어진 정보를, 제2 검사용 어댑터 기판을 설계하기 위한 정보로서 출력하는 단계이다.

제1 검사용 어댑터 기판의 설계에서는, 공통 전극 형성 처리에 의해 단일의 가상의 공통 전극이 구체적으로 가정되고, 상기 가상의 공통 전극이 차지하는 영역, 즉 공통 전극 형성 영역에 대응하여, 실제의 공통 검사용 전극이 제작된다. 따라서, 상술된 처리에 따라 생성된 공통 전극들에 관한 기하학적 정보 및 전기적 접속 정보를 출력하면, 제1 검사용 어댑터 기판에서 형성되도록 공통 검사용 전극의 위치, 형상, 크기등의 조건을 실제로 결정하기 위한 기하학적 정보, 및 또한 상기 공통 검사용 전극에서 달성되도록 전기적 접속 상태를 얻기 위한 구체적인 정보가 제공된다. 따라서, 이 정보를 이용하여, 목적하는 피검사 기판을 위한 도통 검사용의 제1 검사용 어댑터 기판을 설계할 수 있다.

또, 통상의 경우에는, 공통 검사용 전극 외에, 피검사 전극에 개별로 대응하는 공통화되지 않은 검사용 전극이 검사용 어댑터 기판에도 존재한다. 이 경우에는 전기적 접속 정보는, 당연히 이들 공통되지 않은 검사용 전극에 대한 정보를 포함한다.

상술한 정보와 함께, 형성되는 공통 검사용 전극들과, 이것에 대응하는 피검사 전극들 사이의 귀속 관계를 나타내는 부가 정보를 출력하는 것이 바람직하다. 또한, 형성되는 공통 검사용 전극에 의해 도통 또는 절연 상태가 되는 피검사 전극들 사이의 전기적인 접속 정보가 출력되는 것이 한층 더 바람직하다. 이러한 부가적인 정보를 출력하는 것에는, 예를 들면 이들 정보로부터, 기판 검사 장치에서 검사에 이용되는 데이타를 생성할 수 있다는 이점이 있다.

제2 검사용 어댑터 기판의 설계에서는, 선정된 대표 피검사 전극 및 모니터용 피검사 전극의 기하학적 정보 및 전기적 접속 정보를 출력하면, 제2 검사용 어댑터 기판에서 형성되는 대표 검사용 전극 및 모니터용 검사 전극의 위치, 형상, 크기 등의 조건을 실제로 결정하기 위한 기하학적 정보, 및 상기 대표 검사용 전극 및 모니터용 검사 전극에서 달성되는 전기적 접속 상태를 얻기 위한 구체적인 정보가 제공된다. 따라서, 이 정보를 이용하여 목적하는 피검사 기판을 위한 절연 검사용의 제2 검사용 어댑터 기판을 설계할 수 있다.

이상의 각 단계들에서의 정보는, 반드시 하나의 파일에 집약되어 있을 필요는 없으며, 정보의 성질과, 중요도, 후속 공정에 따라, 복수의 파일로 분할될 수 있다.

정보의 출력의 수단으로는, 이동식 하드디스크, 플로피 디스크, MO, 자기테이프, 또는 CD-R 등의 기록가능한 기록 매체를 이용할 수 있다. 또한, 기타 인터넷, LAN, 퍼스널 컴퓨터 통신등의 통신 수단에 의해, 후속 프로세스를 제어하는 컴퓨터로 직접 출력할 수도 있다. 오퍼레이터가, 처리의 진행 상황 및 결과를 확인할 수 있도록 하기 위해, 디스플레이 상에 필요한 정보를 표시시킬 수 있다.

이상의 처리에 있어서, 피검사 기판에서의 피검사 전극, 피검사 전극 그룹, 대표 피검사 전극 및 모니터용 피검사 전극을 개별적으로로 식별하는 식별 마크를 미리 부여해두어, 그 식별 마크에 의해 출력 또는 입력에서 그들을 식별하거나 나타내는 것이 가능하다. 이 경우에, 식별 마크로는, 번호, 문자등에 의한 기호, 및/또는 개별적인 명칭, 그 밖의 부호 또는 기호(sign)를 이용할 수 있다.

각각의 단계들 (1) ∼ (4)를 통한 처리에 따라, 실제로 제1 및 제2 검사용 어댑터 기판들을 제작하기 위해 필요한 정보, 특히 형성되는 공통 검사용 전극, 대표 검사용 전극 및 모니터용 검사 전극에 대한 구체적이고 또한 직접적인 정보, 즉 기하학적 정보 및 전기적 접속 정보를, 매우 짧은 시간 내에 생성할 수 있다. 실제의 소요시간은 수분 내지 수십분이면 충분하다.

상술한 각 단계들에서의 처리의 각 스테이지에서 이용되는 조건의 조합이나 임계값은, 미리 정보 처리 장치 또는 처리 시스템에 조립되어 있을 필요가 있다. 그러나, 필요에 따라 설정의 변경이 가능한 상태가 되는 경우에는, 예외적인 처리를 실행하는 것이 가능해지고, 이것은 검사의 대상이 되는 피검사 기판의 범위가 보다 광범한 것이 된다는 점에서 유리하다.

일반적으로 제1 및 제2 검사용 어댑터 기판들을 셋트로 제작하여, 사용할 필요가 있다. 따라서 정보 처리 장치 또는 처리 시스템은, 상술된 모든 단계들에 따른 전체 처리를 자동적으로 실행하도록 설정되어 있는 것이 바람직하다. 그러나, 일부 경우에 피검사 기판은 도통 검사 또는 절연 검사의 한쪽만이 행해지는 대상이 되는 경우도 있다. 이러한 경우를 위해, 제1 및 제2 검사용 어댑터 기판들 중 어느 한쪽의 설계에만 대응할 수 있도록 처리 시스템을 미리 설정하는 것이 가능하다.
또한, 이상의 각 단계들에서는, 상이한 설정 조건에 따라 복수의 결과가 생성되도록 정보 처리를 실행하는 것도 가능하다. 이 경우에는, 각 설계 내용을 서로 대비하여 사용에 최적의 설계를 선택함으로써, 큰 신뢰성을 갖는 검사용 어댑터 기판을 얻을 수 있다.

상술한 방식으로 생성되는 정보에 기초한 설계의 내용에 따라, 제1 및 제2 검사용 어댑터 기판들이 제작된다. 그 구체적인 제작 수단으로서, 종래 알려져 있는 수단을 이용할 수 있다.

이러한 방식으로 제작된 제1 및 제2 검사용 어댑터 기판들을 이용하여, 각각 기초적 정보를 얻는 피검사 기판에 대해 도통 검사 및 절연 검사가 행해진다.

도통 검사에서는, 제1 검사용 어댑터 기판이 공통 검사용 전극을 구비하고, 절연 검사에서는 제2 검사용 어댑터 기판이 대표 검사용 전극 및 모니터용 피검사 전극을 구비함에 따라, 이미 기술된 각각의 우수한 효과를 얻을 수 있다.

도통 검사 및 절연 검사 모두를 수행하는 것에 의해, 피검사 기판의 전기적인 성능을, 충분히 높은 신뢰성으로 확인할 수 있다.

본 발명의 방법 또는 장치에 따르면, 피검사 기판의 규모, 및 배선 네트워크의 구성의 복잡함에 따라서 다르긴 하지만, 필요한 처리는 수분 내지 십수분간 행할 수 있다. 또한, 그 결과는, 그대로 후속 프로세스로도 전달될 수 있으므로, 검사용 어댑터 기판의 설계 및 제작에서 대폭적인 소요 시간의 단축 및 수고의 절약을 달성할 수 있다.

실제로 정보의 처리에 관계하는 오퍼레이터는, 주로 지정된 피검사 기판에 관한 정보를, 퍼스널 컴퓨터등의 정보 처리 장치의 처리 시스템에 공급하는 작업과, 정보 처리 결과를 그대로 프로세스로 전달하는 작업만을 수행한다. 그러므로, 이 작업들을 위한 처리에 고유의 원리나 목적을 이해할 필요는 없고, 단지 정보 처리 장치의 기본적인 조작법을 알고 있으면 충분하다. 따라서, 오퍼레이터는 전문가 또는 숙련자일 필요는 없고, 어느 사람이라도 용이하게 실행할 수 있다.

본 발명에 따르면, 피검사 기판에서의 피검사 전극에 대한 기하학적 정보 및 전기적 접속 정보를 예를 들면 퍼스널 컴퓨터등의 정보 처리 장치로 판독하고, 이 정보에 기초하여 피검사 전극의 그룹화 처리 및 공통 전극 형성 처리를 행하고, 그 결과 얻어진 정보에 기초하여 검사용 어댑터 기판에서 형성되는 공통 검사용 전극의 조건에 대한 구체적인 정보가 생성된다. 이들의 정보 처리에 필요한 조건을 정보 처리 장치 또는 정보 처리 시스템에서 미리 설정해두거나, 또는 선정되는 조건으로서 미리 설정해 둠에 따라, 목적하는 도통 검사용의 검사용 어댑터 기판에 형성되는 공통 검사용 전극에 대한 기하학적 정보 및 전기적 접속 정보를 매우 단시간 내에 또한 용이하게 생성할 수 있다.

또한, 본 발명에 따르면, 피검사 기판에서의 피검사 전극에 대한 기하학적 정보 및 전기적 접속 정보를 정보 처리 장치로 판독하고, 이 정보에 기초하여 각 배선 네트워크마다 대표 피검사 전극 선정 처리 및 모니터용 피검사 전극 선정 처리를 행하고, 그 결과 얻어진 정보에 기초하여, 검사용 어댑터 기판에서 형성되는 대표 검사용 전극 및 모니터용 검사 전극의 조건에 대한 구체적인 정보가 생성된다. 이들 정보의 처리에 필요한 조건을 정보 처리 장치 또는 정보 처리 시스템에서 미리 설정해 두거나, 또는 선정되는 조건으로 미리 설정해 둠에 따라, 목적하는 절연 검사용의 검사용 어댑터 기판에 형성되는 대표 검사용 전극 및 모니터용 검사 전극에 대한 기하학적 정보 및 전기적 접속 정보를 매우 단시간 내에 또한 용이하게 생성할 수 있다.

또한, 본 발명에 따르면, 상술된 바와 같은 방식으로 생성된 정보에 기초하여, 목적하는 공통 검사용 전극을 구비한 도통 검사용의 검사용 어댑터 기판, 및 목적하는 대표 검사용 전극 및 모니터용 검사 전극을 구비한 절연 검사용의 검사용 어댑터 기판을, 매우 간단하고 또한 용이하게 제작할 수 있다. 또한, 이들 검사용 어댑터 기판은 높은 신뢰성을 갖는다. 따라서, 검사용 어댑터 기판을 이용하는 것에 의해, 피검사 기판에 대해 필요한 도통 검사 및 절연 검사를 확실하고 높은 신뢰성으로 수행할 수 있다.

Claims (13)

1. 피검사 프린트 기판에 있어서의 복수의 피검사 전극의 위치들에 대응하는 위치들에 검사용 전극들을 구비하며, 상기 프린트 기판의 도통 검사를 위해 이용되는 프린트 기판 검사용 어댑터 기판으로서,

   상기 검사용 전극들 중 적어도 하나는, 2개 이상의 피검사 전극들로 구성되는 피검사 전극군에 대응하는 형상을 갖는 공통 검사용 전극이고,

   상기 공통 검사용 전극이 검사를 위해 상기 피검사 프린트 기판과 접촉됐을 때, 피검사 프린트 기판 상에 형성되어 있는 상호 독립된 배선 네트워크들이, 상기 공통 검사 전극을 통해 상호 전기적인 폐회로를 형성할 수 없는 상태로 상기 공통 검사용 전극이 형성되어 있는 프린트 기판 검사용 어댑터 기판.
2. 제1항에 있어서,

   복수의 검사용 전극이 배선들에 의해 상호 전기적으로 접속되어 있는 프린트 기판 검사용 어댑터 기판.
3. 검사용 전극들을 구비하고, 피검사 프린트 기판의 절연 검사를 위해 이용되는 프린트 기판 검사용 어댑터 기판으로서,

   상기 검사용 전극들 중의 적어도 하나는 피검사 프린트 기판 상에 형성되어 있는 상호 독립된 피검사 배선 네트워크들의 각각에 속하는 단 하나의 피검사 전극과, 상기 하나의 피검사 전극에 대응하는 위치에서 전기적으로 접속되는 대표 검사용 전극으로서 형성되어 있는 프린트 기판 검사용 어댑터 기판.
4. 제3항에 있어서,

   상기 대표 검사용 전극에 전기적으로 접속된 모니터용 검사 전극을 포함하는 프린트 기판 검사용 어댑터 기판.
5. 제1항 또는 제2항에 기재된 검사용 어댑터 기판을 이용하여 상기 피검사 프린트 기판 상의 배선 네트워크들 각각의 도통 검사를 행하고, 제3항 또는 제4항에 기재된 검사용 어댑터 기판을 이용하여 상기 피검사 프린트 기판 상에 형성된 배선 네트워크들 사이의 절연 검사를 행하는 프린트 기판 검사 방법.
6. 피검사 프린트 기판 상에 형성된 배선 네트워크들 각각의 도통 검사를 행하기 위한 도통 검사용 어댑터 기판 및 상기 배선 네트워크들 사이의 절연 검사를 행하기 위한 절연 검사용 어댑터 기판을 병렬로 설치하고, 이들 도통 검사용 어댑터 기판 및 절연 검사용 어댑터 기판 상에 각각 피검사 프린트 기판들을 배치하여, 한쪽 피검사 프린트 기판에 대한 도통 검사와 다른 피검사 프린트 기판에 대한 절연 검사를 동시에 행하는 프린트 기판 검사 방법.
7. 제6항에 있어서,

   상기 도통 검사용 어댑터 기판은 제1항 또는 제2항에 기재된 검사용 어댑터 기판이고, 상기 절연 검사용 어댑터 기판은 제3항 또는 제4항에 기재된 검사용 어댑터 기판인 프린트 기판 검사 방법.
8. 어댑터 기판에 피검사 프린트 기판 상의 복수의 피검사 전극의 위치들에 대응하는 위치들에 검사용 전극들을 구비하고 있고, 상기 검사용 전극들 중 적어도 하나는, 2개 이상의 피검사 전극들로 구성되는 피검사 전극 그룹에 대응하는 형상을 갖는 공통 검사용 전극이고, 상기 공통 검사용 전극은 검사를 위해 상기 피검사 프린트 기판과 접촉됐을 때, 상기 피검사 프린트 기판에 형성되어 있는 상호 독립된 배선 네트워크들이, 상기 공통 검사 전극을 통해 상호 전기적인 폐회로를 형성하지 않는 상태로 상기 공통 검사용 전극이 형성되어 있는, 프린트 기판 검사용 어댑터 기판을 제작하기 위해 정보를 생성하는 방법으로서,

   (1) 상기 피검사 프린트 기판 상의 모든 피검사 전극들에 대한 기하학적 정보 및 상기 전극들 사이의 전기적 접속 정보를 이용하여, 복수의 피검사 전극으로 이루어지는 적어도 하나의 그룹을 형성하는 그룹화 처리; 및

   (2) 하나의 피검사 전극 그룹에 속하는 피검사 전극들의 전부가 서로에게 전기적으로 접속된 상태에 대응하는 가상의(virtual) 공통 전극을 형성하는 공통 전극 형성 처리

   를 실행함에 따라, 상기 공통 검사용 전극에 관한 정보를 생성하는, 프린트 기판 검사를 위한 어댑터 기판 제작용 정보 생성 방법.
9. 어댑터 기판에 피검사 프린트 기판 상의 복수의 피검사 전극의 위치들에 대응하는 위치들에 검사용 전극을 구비하고 있고, 상기 검사용 전극들 중 적어도 하나는, 2개 이상의 피검사 전극들로 구성되는 피검사 전극 그룹에 대응하는 형상을 갖는 공통 검사용 전극이고, 상기 공통 검사용 전극이 검사를 위해 상기 피검사 프린트 기판과 접촉됐을 때, 상기 피검사 프린트 기판에 형성되어 있는 상호 독립된 배선 네트워크들이, 상기 공통 검사 전극을 통해 상호 전기적인 폐회로를 형성하지 않는 상태로 상기 공통 검사용 전극이 형성되어 있는, 프린트 기판 검사용 어댑터 기판의 제작에 이용되는 정보 처리기인 정보 생성 장치로서,

   (1) 상기 피검사 프린트 기판 상의 모든 피검사 전극들에 대한 기하학적 정보 및 상기 전극들 사이의 전기적 접속 정보를 이용하여, 복수의 피검사 전극으로 이루어지는 적어도 하나의 그룹을 형성하는 그룹화 처리 기능; 및

   (2) 하나의 피검사 전극 그룹에 속하는 상기 피검사 전극들의 모두가 서로에게 전기적으로 접속된 상태에 대응하는 가상의 공통 전극을 형성하는 공통 전극 형성 처리 기능

   을 포함하여,

   상기 공통 검사용 전극에 대한 정보를 생성하는, 프린트 기판 검사용 어댑터 기판의 제작에 이용되는 정보 생성 장치.
10. 어댑터 기판에 검사용 전극들을 구비하고 있고, 상기 검사용 전극들 중 적어도 하나는, 피검사 프린트 기판에 형성되어 있는 상호 독립된 배선 네트워크들 각각에 속하는 단 하나의 피검사 전극으로 이루어진 대표 피검사 전극과, 상기 대표 피검사 전극에 대응하는 위치에서, 전기적으로 접속되는 대표 검사용 전극으로서 형성되어 있는, 프린트 기판 검사용 어댑터 기판을 제작하기 위한 정보 생성 방법으로서,

    (1) 상기 피검사 프린트 기판 상에 독립적으로 형성되어 있는 배선 네트워크들의 각각에 속하는 복수의 피검사 전극 중 단 하나를 대표 피검사 전극으로서 선정하는 대표 피검사 전극 선정 처리; 및

    (2) 상기 피검사 프린트 기판 상에 형성되어 있는 피검사 전극들 중 상기 대표 피검사 전극들에 전기적으로 접속되어 있는, 상기 대표 피검사 전극과는 다른 피검사 전극들로부터 적어도 하나의 피검사 전극을 모니터용 피검사 전극으로서 선정하는 모니터용 피검사 전극 선정 처리

    를 실행함에 따라, 상기 대표 검사용 전극에 관한 정보 및 모니터용 검사 전극에 관한 정보를 생성하는 처리를 포함하는, 프린트 기판 검사용 어댑터 기판을 제작하기 위한 정보 생성 방법.
11. 어댑터 기판에 검사용 전극들을 구비하고 있고, 상기 검사용 전극들 중 적어도 하나는, 피검사 프린트 기판에 형성되어 있는 상호 독립된 배선 네트워크들 각각에 속하는 단 하나의 피검사 전극으로 이루어진 대표 피검사 전극과, 상기 대표 피검사 전극에 대응하는 위치에서, 전기적으로 접속되는 대표 검사용 전극으로서 형성되어 있는, 프린트 기판 검사용 어댑터 기판의 제작에 이용되는 정보 처리기인 정보 생성 장치로서,

    (1) 상기 피검사 프린트 기판 상에 독립적으로 형성되어 있는 배선 네트워크들의 각각에 속하는 복수의 피검사 전극 중 단 하나의 전극을 상기 대표 피검사 전극으로서 선정하는 대표 피검사 전극 선정 처리 기능; 및

    (2) 상기 피검사 프린트 기판 상에 형성되어 있는 피검사 전극들 중, 상기 대표 피검사 전극들에 전기적으로 접속되어 있는, 상기 대표 피검사 전극과는 다른 피검사 전극들로부터 적어도 하나의 피검사 전극을 모니터용 피검사 전극으로서 선정하는 모니터용 피검사 전극 선정 처리 기능

    을 포함하고,

    상기 대표 검사용 전극에 관한 정보 및 모니터용 검사 전극에 관한 정보를 생성하는, 프린트 기판 검사용 어댑터 기판의 제작에 이용되는 정보 생성 장치.
12. 제8항에 기재된 그룹화 처리 및 공통 전극 형성 처리를 행하는 단계, 제10항에 기재된 대표 피검사 전극 선정 처리 및 모니터용 피검사 전극 선정 처리를 행하는 단계를 포함하는, 프린트 기판 검사용 어댑터 기판의 제작에 이용되는 정보를 생성하는 방법.
13. 제9항에 기재된 그룹화 처리 기능 및 공통 전극 형성 처리 기능과, 제11항에 기재된 대표 피검사 전극 선정 처리 기능 및 모니터용 피검사 전극 선정 처리 기능을 포함하는, 프린트 기판 검사용 어댑터 기판의 제작에 이용되는 정보 생성 장치.

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