DE3853220T2

DE3853220T2 - Verfahren und Gerät zur Herstellung von Produkten.

Info

Publication number: DE3853220T2
Application number: DE3853220T
Authority: DE
Inventors: Yoshihito Fukasawa
Original assignee: Toshiba Corp
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 1987-03-19
Filing date: 1988-03-18
Publication date: 1995-08-24
Anticipated expiration: 2008-03-19
Also published as: DE3853220D1; KR880011886A; EP0283034A3; US4930086A; EP0283034A2; KR920001028B1; EP0283034B1; JPS63232921A

Description

Diese Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Herstellen von Zielprodukten mittels Verarbeitungseinheiten, die an einer Vielzahl van Herstellungsprozessen angeordnet sind und spezieller auf ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Herstellen von Produkten, geeignet, das Transportieren von Zwischen- oder halbfertigen oder verarbeiteten Produkten zu überwachen oder zu steuern, um Zwischenprodukte effizient Verarbeitungseinheiten zuzuweisen oder zuzuordnen.
Die Herstellungen von verschiedenen Produkten einschließlich Halbleitervorrichtungen werden mit einer Vielzahl von kombinierten Herstellungsprozessen durchgeführt. Während Zwischenpradukte über diese Prozesse transportiert werden, werden ihre Zusammensetzungsarbeiten durchgeführt. Beispielsweise umfaßt ein Verfahren zum Herstellen von Halbleitervorrichtungen eine Reihe von Prozessen, d.h. einen Die-Bonding-Prozeß zum Montieren von Halbleiterkomponenten oder Elementen auf dem Anschlußrahmen, einen Aushärtungsprozeß zum Einstellen von beim Die-Bonden verwendetem Harz, einen Drahtverbindungsprozeß zum Verbinden von Elektroden der Halbleiterelemente und Anschlüssen des Anschlußrahmens unter Verwendung von Drähten, einen Gießprozeß zum Abdichten von drahtgebondeten Gebieten unter Verwendung von Harz in der Form eines Gehäuses, einen Aushärtungsprozeß zum Abbinden des Dichtharzes mittels Wärme, und einen Biegeprozeß zum Biegen von von dem Harz abstehenden Anschlüssen, usw. Aus diesem Grund ist solch eine Vorrichtung zum Herstellen von Halbleitervorrichtungen dadurch gebildet, daß Verarbeitungs- oder Herstellungseinheiten, beispielsweise ein Montiergerät, ein Drahtbonder, eine Gießeinheit, eine Aushärtungseinheit und eine Biegeeinheit, usw. in Abfalge van der stromaufwärtigen Seite eines Transportpfades für Zwischenprodukte angeordnet sind. Zu den Verarbeitungseinheiten bei jeweiligen Prozessen werden Träger getragen oder transportiert, in welchen eine Vielzahl van Anschlußrahmen untergebracht sind, auf welchen unverarbeitete Zwischenprodukte montiert sind. Durch die Beladung der Träger werden Anschlußrahmen einzeln genommen. Somit werden varbestimmte Verarbeitungen ausgeführt.
Fig. 1 ist ein Blockdiagramm, welches ein herkömmliches Beispiel einer Herstellungsvorrichtung zeigt, in welcher Verarbeitungseinheiten an einer Vielzahl van Herstellungsprozessen jeweils, wie oben beschrieben, angeordnet sind. Diese Herstellungsvorrichtung schließt vier Prozesse, bezeichnet I, II, III und IV, ein: am Prozeß I sind vier Verarbeitungseinheiten a&sub1;, a&sub2;, a&sub3; und a&sub4; angeordnet; am Prozeß II zwei Verarbeitungseinheiten b&sub1; und b&sub2;; am Prozeß III sind vier Verarbeitungseinheiten C&sub1;, C&sub2;, C&sub3; und C&sub4; angeordnet; und am Prozeß IV sind vier Verarbeitungseinheiten d&sub1;, d&sub2;, d&sub3; und d&sub4; angeordnet. In diesem Fall führen die in demselben Prozeß angeordneten Verarbeitungseinheiten dieselbe Verarbeitung durch. Die Verarbeitungseinheiten an den jeweiligen Prozessen sind mit einem Produktionsüberwachungscomputer 200 verbunden. Somit wird Information an den Produktionsüberwachungscomputer 200 geliefert, welche die Ausgabe oder die Anzahl von Produkten, Qualität und Arbeitsbedingung, usw. jeweiliger Einheiten anzeigt. Van dem Produktionsüberwachungscomputer 200 werden verschiedene Anweisungen, beispielsweise Art von Artikeln oder Waren, die zu verarbeiten sind, Losnummer, Menge und Verarbeitungsbedingung, usw. an jeden Prozeß geliefert, und somit werden diese Einheiten daraufhin gesteuert. Die Zwischenpradukte werden zu einer Verarbeitungseinheit der Gruppen von Einheiten an jeweiligen Prozessen befördert und zugewiesen, wobei sie sind, wie sie sind, oder in Trägern untergebracht sind, in der Reihenfolge der Prozesse I, II, III und IV. Somit sind vorbestimmte hergestellte Verarbeitungen dazu implementiert. In diesem Fall ist es nötig, die Art von Artikeln, zu welchen der Produkt ionsüberwachungscomputer 200 eine Verarbeitungsanweisung ausgibt, mit der Art von Artikeln, die jeweilige Verarbeitungseinheiten verarbeiten, zu kollatianieren. Aus diesem Grund sind Laufblätter oder Anzeigeschilder, beispielsweise Magnetkarten usw., an Zwischenpradukten oder Trägern angebracht, und Leser zum automatischen Lesen von diesen und/oder Tastaturen zum künstlichen Eingeben von davon gelesener Information sind an jeweiligen Verarbeitungseinheiten vorgesehen. Wenn beispielsweise ein Zwischenprodukt oder Träger von dem Prozeß I zu dem Prozeß II befördert wird, und dann die Herstellungsverarbeitung dazu implementiert ist, wird demgemäß Information, welche die Artikelart oder das Las des verarbeiteten Zwischenpraduktes oder Trägers an den Produktionsüberwachungscomputer 200 gesendet. Auf dieses Signal hin erzeugt der Produktionsüberwachungscomputer 200 eine Anweisung, das Zwischenpradukt oder den Träger an den Prozeß III zu transferieren. Somit wird das Zwischenpradukt oder der Träger einer der Verarbeitungseinheiten C&sub1;, C&sub2;, C&sub3; und C&sub4; an dem Prozeß III zugeordnet oder zugewiesen. Dann wird an diesen Verarbeitungseinheiten C&sub1;, C&sub2;, C&sub3; und C&sub4; das Anzeigeschild des transportierten Zwischenproduktes oder Trägers gelesen. Somit wird, wenn die Art des Zwischenproduktes oder Trägers mit der zugewiesenen Artikelart in Übereinstimmung ist, die Verarbeitung initiiert. So eine Zuweisung wurde bisher künstlich durchgeführt.
Jedoch treten bei dem herkömmlichen Herstellungsverfahren und der Vorrichtung die folgenden Probleme auf:
1. Jedesmal, wenn die Art oder das Los des Zwischenproduktes geändert wird, oder ein Austausch der Träger auftritt, ist eine Kommunikation mit dem Produktionsüberwachungscomputer erforderlich. Somit wird die Kommunikationsfrequenz hoch, was in der Möglichkeit resultiert, daß fehlerhafte Kommunikation auftritt.
2. Weil es erforderlich ist, das Anzeigeschild bei jeder Verarbeitung jeweiliger Prozesse zu lesen, ist die Lesefrequenz hoch. Somit können Umstände auftreten, daß aufgrund von Flecken oder des Fehlens des Anzeigeschildes oder Schwierigkeiten des Kartenlesers das Ablesen unmöglich ist, mit dem Ergebnis, daß das System durcheinander gerät.
3. Wenn eine Informationseingabe der Artikelart künstlich durchgeführt wird, sind fehlerhafte Eingaben wahrscheinlich.
4. Weil die Kommunikationsfrequenz hoch wird und eine graße Menge von Anzeigeschildern bei der Produktion einer großen Anzahl von Arten und kleiner Menge erforderlich sind, ist es wahrscheinlich, daß die oben erwähnten Schwierigkeiten 1. bis 3. auftreten, mit dem Ergebnis, daß ihre Behebung arbeitsund zeitaufwendig ist.
5. Weil eine Zuweisung von Verarbeitungseinheiten in einem Prozeß künstlich durchgeführt wird, ist es schwierig, eine effiziente Zuweisung im Hinblick auf die Umschaltfrequenz der Artikelart und/oder der Einrichtungszeit für die Verarbeitungseinheit durchzuführen.
Wie gerade oben beschrieben wurde, weist das herkömmliche Herstellungsverfahren und die Vorrichtung Probleme auf, daß, weil die Anzeigeschilder, welche die Artikelart, das Las oder ähnliches anzeigen, an den jeweiligen Prozessen gelesen werden, und somit der Produktionsüberwachungscomputer den Transport auf der Basis dieser Informtion überwacht oder steuert, Schwierigkeiten wahrscheinlich sind und eine Verbesserung der Produktionseffizient verhindert wird.
DE 34 06 325 offenbart eine Herstellungseinrichtung, welche eine Kette von Arbeitsstufen umfaßt. Jede Stufe erhält die jeweilige Arbeitsanweisung von einem Diskriminierungscode, der an dem Zwischenpradukt angebracht ist, welches an der Arbeitsstufe ankommt, um verarbeitet zu werden.
GB 2 049 994 offenbart ein Verfahren zum Zusammenbau in einer Kathodenstrahlröhre. Der Zusammenbauprozeß umfaßt die Schritte des Lesens einer codierten Markierung auf einer äußeren Oberfläche eines zusammenzubauenden Teiles, dann Initiieren eines lokalen Prozesses, abhängig von der Information, die durch Lesen der codierten Markierung erhalten wurde.

ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG

Es ist die Aufgabe dieser Erfindung, ein Herstellungsverfahren und eine Vorrichtung vorzusehen, welche in der Lage sind, die Lesefrquenz und Kommunikationsfrequenz zu reduzieren, und eine effiziente Verarbeitung durchzuführen.
Die obige Aufgabe wird erzielt mittels eines Verfahrens zum Herstellen von Produkten, die durch eine Vielzahl van Prozessen zum Verarbeiten von Zwischenprodukten der Reihe nach an einer Vielzahl von Verarbeitungsstufen, um die Produkte zu vervollständigen, hergestellt werden, während die Zwischenprodukte oder Träger zum Aufnehmen der Zwischenprodukte darin transferiert werden, hergestellt werden, wobei jede der Verarbeitungsstufen eine Vielzahl van gleichen Verarbeitungseinheiten umfaßt, die in der Lage sind, den Prozeß der Verarbeitungsstufe durchzuführen, und das Verfahren die Schritte umfaßt:
Lesen von den Zwischenprodukten zugeordneten Diskriminierungscodes nur vor der ersten Verarbeitungsstufe;
Speichern der gelesenen Diskriminierungscodes als Basisinformation und Speichern von entsprechender Verarbeitungsinformation im Hinblick auf die Verarbeitung durch die Verarbeitungseinheiten in Speichereinrichtungen; und
Auswählen einer Verarbeitungseinheit aus der Vielzahl von Verarbeitungseinheiten an einer Verarbeitungsstufe nach der ersten Verarbeitungsstufe auf der Grundlage der gespeicherten Information.
Die obige Aufgabe wird ebenfalls gelöst durch eine Vorrichtung zum Herstellen von Produkten, in welcher eine Vielzahl von Verarbeitungseinheiten an einer Vielzahl von Verarbeitungsstufen angeordnet sind; wobei die Verarbeitungsstufen angeordnet sind zum sequentiellen Herstellen von Zwischenprodukten, um die Produkte zu vervollständigen, während die Zwischenprodukte oder Träger zum Aufnehmen der Zwischenprodukte darin transferiert werden, wobei jede Verarbeitungseinheit an derselben Verarbeitungsstufe angepaßt ist, denselben Prozeß durchzuführen, und die Vorrichtung umfaßt:
Leseeinrichtungen zum Lesen von den Zwischenprodukten zugeordneten Diskriminierungscodes nur vor der ersten Verarbeitungsstufe;
Speichereinrichtungen zum Speichern der Diskriminierungscodes als Basisinformation und Speichern von Verarbeitungsinformation, welche sich auf die Prozesse bezieht, die von den Verarbeitungseinheiten an jeweiligen Verarbeitungsstufen durchgeführt werden;
Überwachungssteuerungseinrichtungen zum Steuern der Speicherung in den zweiten Speichereinrichtungen und Auswahl von einer Verarbeitungseinheit aus der Vielzahl von Verarbeitungseinheiten an einer Verarbeitungsstufe nach der ersten Verarbeitungsstufe auf der Grundlage der gespeicherten Information.
Weil die Erfindung ein Schema verwendet, vor dem ersten Prozeß die Diskriminierungscodes als Basisinformation zu lesen, um Verarbeitungsinformation von den jeweiligen Verarbeitungseinheiten in Übereinstimmung mit den Diskriminierungscodes auf zuzeichnen, und somit eine Verarbeitungseinheit, die zu verarbeiten ist, von jenen an einem Prozeß der nächsten Stufe mittels dieser Information auszuwählen, werden die folgenden Vorteile bereitgestellt:
1. Ein Leser zum Lesen von Diskriminierungscodes oder eine Tastatur zum Eingeben von Diskriminierungscodes oder ähnlichem für jede Verarbeitungseinheit in dem Produktionsprozeß wird überflüssig, mit dem Ergebnis, daß die Vorrichtung vereinfacht wird.
2. Schwierigkeiten aufgrund fehlerhaften Arbeitens beim Diskriminierungslesen, Verschlechterung des Diskriminierungscodes, eines Fehlers durch einen Bediener, usw. treten nicht auf, womit verhindert wird, daß die Zuverlässigkeit geringer wird.
3. Es ist überflüssig, eine Kommunikation mit einem Hostcomputer im Hinblick auf die Diskriminierungscodes jedesmal, wenn sich das Zwischenpradukt oder der Träger bewegt, durchzuführen, mit dem Ergebnis, daß die Kammunikationsfrequenz reduziert und die Reaktionsfreudigkeit verbessert wird.
4. Diese Vorrichtung funktioniert wirksam ebenfalls beim manuellen oder künstlichen Durchführen eines Transports anstelle des automatischen Transportsystems, um die Funktion des Eingebens des Transpartergebnisses von dem Humansystem hinzuzufügen.
5. Weil die Auswahl der Verarbeitungseinheit von der Gruppe von Einheiten mit derselben Funktion in einem Prozeß durch den Computer überwacht werden kann, kann ein effizienter Plan auf Echtheitsbasis durchgeführt werden, welcher erlaubt, daß die Einrichtungszeit, Wartezeit, usw. minimiert wird.

KURZBESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN

Fig. 1 ist ein Blockdiagramm, welches eine herkömmliche Herstellungsvorrichtung zeigt;
Fig. 2 ist ein Blockdiagramm, welches ein Ausführungsbeispiel einer Herstellungsvorrichtung gemäß dieser Erfindung zeigt;
Fig. 3 ist ein Blockdiagramm, welches ein anderes Ausführungsbeispiel einer Halbleiterherstellungsvorrichtung gemäß dieser Erfindung zeigt;
Fig. 4(A) und 4(B) sind perspektivische Ansichten, welche die Gesamtheit des Magazins bzw. eines Teiles davon zeigen;
Fig. 5 ist ein Blockdiagramm, welches die Nachführpositionen in der Halbleiterherstellungsvorrichtung zeigt;
Fig. 6 ist eine Aufsicht, welche die Anordnung einer Aushärtungseinheit und eines Drahtbonders in der Halbleiterherstellungsvorrichtung zeigt;
Fig. 7 ist eine Aufsicht, welche den Drahtbonder in der Halbleiterherstellungsvorrichtung zeigt;
Fig. 8(A) bis 8(D) sind Aufsichten, welche zeigen, wie der Drahtbonder sich ändert;
Fig. 9 ist ein Sequenzdiagramm des Drahtbonders; und
Fig. 10 bis 18 sind Flußdiagramme zum Steuern der Anordnung des Drahtbonders.

DETAILLIERTE BESCHREIBUNG DER ERFINDUNG

Diese Erfindung wird detaillierter unter Bezugnahme auf bevorzugte, gezeigte Ausführungsbeispiele erläutert.
Fig. 2 ist ein Blockdiagramm, welches die Umrisse eines Ausführungsbeispiels gemäß dieser Erfindung zeigt. Ein Prozeß I, in welchem Verarbeitungseinheiten a&sub1;, a&sub2;, a&sub3; und a&sub4; zum Durchführen der Verarbeitung der ersten Stufe angeordnet sind, ein Prozeß II, in welchem Verarbeitungseinheiten b&sub1; und b&sub2; zum Durchführen der Verarbeitung der zweiten Stufe angeordnet sind, ein Prozeß III, in welchem Verarbeitungseinheiten C&sub1;, C&sub2;, C&sub3; und C&sub4; zum Durchführen einer Verarbeitung der dritten Stufe angeordnet sind, und ein Prozeß IV, in welchem Verarbeitungseinheiten d&sub1;, d&sub2;, d&sub3; und d&sub4; zum Durchführen der Verarbeitung der vierten Stufe angeordnet sind, sind in Abfolge von der stromaufwärtigen Seite zur stramabwärtigen Seite angeordnet. Das Zwischenprodukt wird vorbestimmten Verarbeitungen unterworfen, während von der stramaufwärtigen Seite (Prozeß I) zum stromabwärtigen Seite (Prozeß IV) eines Transportpfades 1 transportiert wird, wobei das Zwischenprodukt in einem Träger 2 untergebracht ist. In dieser Sequenz werden verschiedene Prozesse bis zum endgültigen Zusammenbauprozeß durchgeführt. Ein Computer 7 führt eine Beurteilung auf der Grundlage von Information des Diskriminierungscodes 3 durch, der an der äußeren Oberfläche des Trägers 2 angebracht ist, um ein Signal an einen Transportroboter 6 zu senden, um dadurch solch einen Transport durchzuführen. Ein Diskriminierungscode 3 wird in geeigneter Form angezeigt, beispielsweise ein Balkencode, usw., um den Träger 2 individuell zu überwachen oder zu steuern. Dieser Code 3 wird von einem Leser 4 gelesen und wird dann von einem Decoder 5 decodiert, woraufhin der so decodierte Code in die Speichereinheit des Computers 7 als die Basisinformation eingeschrieben wird. In diesem Ausführungsbeispiel ist der Leser 4 auf der stramaufwärtigen Seite (Eintritt) des ersten Prozesses I der Vielzahl von Prozessen I, II, III und IV vorgesehen, um den Diskriminierungscode 3 vor der Initiierung von Verarbeitungen zu lesen, um somit Information an die Speichereinheit des Computers 7 zu senden. Danach werden Verarbeitungen auf der Basis der in die Speichereinheit eingeschriebenen Diskriminierungscodes fortgesetzt. Zusätzlich sind Verarbeitungseinheiten an jeweiligen Herstellungsprozessen mit der Steuerungseinheit des Computers 7 verbunden. Diese Einheiten reagieren auf Anweisungen von der Steuerungseinheit, um varbestimmte Verarbeitungen durchzuführen, und Verarbeitungsinformation, welche die Anzahl der verarbeiteten Artikel anzeigt oder die Anzahl von erzeugten Ausschußartikeln, in die Steuerungseinheit des Computers 7 zurückzuführen, um sie so in der Speichereinheit des Computers 7 aufzuzeichnen. Die Tabelle 1 stellt die in der Speichereinheit des Computers 7 aufgezeichneten Inhalte dar.
In dem Computer 7 ist mittels Kommunikation mit einem Hostcomputer 24 oder manueller Eingabe Information über den Artnamen, Losnamen und Menge des halbverarbeiteten oder Zwischenproduktes, das einer Herstellungsverarbeitung am Prozeß I zu unterwerfen ist, aufgezeichnet. Tabelle 1 ID-Nr. Name der Art Losname Menge Verarbeitungseinheiten, welche Verarbeitung durchgeführt haben Beendigung Anzahl von Ausschußartikeln Tabelle 2 E001; x010; Y10; 30 Verarbeitungseinheit, welche eine Verarbeitung durchgeführt hat Anzahl guter Artikel Anzahl von Ausschußartikeln Arbeitszustand der Einheit
Die "ID-Nr." in Tabelle 1 stellt die Basisinformation dar, die durch Decodieren des Diskriminierungscodes 3 des Trägers 2 eingeschrieben wird, welcher von dem Leser 4 gelesen worden ist. Die Spalte "Artname", die Spalte "Losname" und die Spalte "Menge" sind Überwachungsinformation, die zuvor in dem Computer 7 gespeichert wurde, welche durch Übertragung zwischen Speichern des Computers 7 erhalten werden. Die Spalte "Verarbeitungseinheit, welche Verarbeitung durchgeführt hat" und die Spalte "Beendigung" sind Spalten zum Einschreiben von Verarbeitungsinformation, die von den Verarbeitungseinheiten an jeweiligen Prozessen zu der Steuerungseinheit des Computers 7 zurückgeführt wird. Zusätzlich ist die Spalte "Anzahl von Ausschußartikeln" die Spalte zum Einschreiben der Gesamtmenge von Ausschußartikeln, wenn alle Verarbeitungen abgeschlossen sind. Diese Verarbeitungsinformation wird auf der Grundlage des Diskriminierungscodes 3 in Übereinstimmung mit der in Tabelle 1 aufgezeichneten Basisinformation aufgezeichnet. Als Beispiel zeigen "E001" und "E002" in der Spalte "ID Nr." an, daß alle Verarbeitungen des Produktes abgeschlossen worden sind, "E003" zeigt an, daß das Produkt von der Verarbeitungseinheit d&sub3; am Prozeß IV der vierten Stufe verarbeitet wird, und "E006" zeigt an, daß das Produkt von der Verarbeitungseinheit b&sub1; am Prozeß II der zweiten Stufe verarbeitet wird. Tabelle 2 zeigt detaillierter aufgezeichnete Verarbeitungsinformation für jedes Produkt. In Tabelle 2 kann die Verarbeitungsinformation, welche "Verarbeitungseinheit, welche Verarbeitung durchgeführt hat", "Anzahl guter Artikel", "Anzahl von Ausschußartikeln" und "Arbeitsbedingung der Einheit", usw. für jeden jeweiligen Prozeß anzeigt, aufgezeichnet werden. Demgemäß ist es durch Lesen von Prozeßinformation an jeweiligen Prozessen in Übereinstimmung mit der Basisinformation möglich zu überwachen, wo in der Herstellungsvorrichtung jeweilige Träger pasitioniert sind, oder daß Produkte über irgendeinen Pfad hergestellt worden sind. Aus diesem Grund ist die Notwendigkeit, den Diskriminierungscode bei jeder Verarbeitungseinheit zu lesen, eliminiert. Somit sind die Lesefrequenz und die Kommunikationsfrequenz, die davon abhängt, beträchtlich verringert, mit dem Ergebnis, daß das Auftreten von Schwierigkeiten reduziert ist. Andererseits wählt die Steuerungseinheit des Computers 7 eine am besten geeignete Verarbeitungseinheit zum Verarbeiten von der Gruppe von Einheiten der nächsten Stufe auf der Basis der Basisinformation und der aufgezeichneten Verarbeitungsinformation. Solch eine Auswahl kann durchgeführt werden durch Analyse der zu der Verarbeitungse inheit rückgeführten Verarbeitungsinformation oder durch Vergleich zwischen der Verarbeitungsinformation und der Basisinformation. Wenn beispielsweise die Verarbeitungseinheiten C1 und C2 eine Verarbeitung durchführen und die Verarbeitungseinheiten C3 und C4 unter den Verarbeitungseinheiten C1 bis C4 an dem Prozeß III im Bereitschaftszustand sind, kann der Träger, welcher den Prozeß II abgeschlossen hat, zu den Verarbeitungseinheiten C3 und C4 im Bereitschaftszustand transportiert werden. Wenn die Ausschußartikelauftrittsrate der Verarbeitungseinheit C1 hoch ist, kann ein Transport zu der Verarbeitungseinheit C1 vermieden werden. Zusätzlich kann ein Träger derselben Art und desselben Loses fortwährend zu einer der Gruppen von Einheiten transportiert werden. Diese Steuerungseinheit bewirkt solch eine Steuerung, alle Träger von "E001", "E002" und "E003", in welchen die Inhalte der Spalte "Artname" und der Spalte "Losname" unter der in der Speichereinheit aufgezeichneten Basisinformation, wie in Tabelle 1 gezeigtl dieselben sind, zu der Verarbeitungseinheit b&sub1; an dem Prozeß II der zweiten Stufe zu transportieren, nachdem der Prozeß I der ersten Stufe abgeschlossen worden ist. Wo das Produkt derselben Art und desselben Loses unter Verwendung einer spezifizierten Verarbeitungseinheit verarbeitet wird, wird eine Startprüfung an jeweiligen Verarbeitungseinheiten, die erforderlich ist, wenn die Artikelart oder das Los geändert werden, überflüssig, wodurch es möglich wird, eine effektive Verarbeitung mit geringeren Einrichtungsverlusten auf Echtzeitbasis durchzuführen. Zusätzlich, wie später beschrieben wird, kann ein Zuweisungsprogramm an Verarbeitungseinheiten in der Steuerungseinheit gespeichert werden, um so mittels dieses Programms eine geeignete Verarbeitungseinheit auszuwählen. Es muß erwähnt werden, daß, während der Transport zu der durch die Steuerungseinheit ausgewählten Verarbeitungseinheit von dem Transpartroboter 6 durchgeführt wird, ein solcher Transport von einem Bediener durchgeführt werden kann. In diesem Fall kann durch Anzeigen des durch die Steuerungseinheit vorbereiteten Transportplanes unter Verwendung einer Anzeigeeinheit (nicht gezeigt) usw. der Transport sicher durchgeführt werden.
Fig. 3 ist ein Blockdiagramm, wenn diese Erfindung auf die Herstellung einer Halbleitervorrichtung angewendet wird. Ein Mantiergerät 11 zum Die-Bonden eines Halbleiterchips (nicht gezeigt) auf einen Anschlußrahmen (nicht gezeigt), eine primäre Aushärtungseinheit 12 und eine sekundäre Aushärtungseinheit 13 zum thermischen Aushärten eines Harzes, welches Banden zur Zeit des Bondens unterzogen wurde, um den Rahmen und den Halbleiterchip klebend zu verbinden, vier Bonder 14, 15, 16 und 17 zum Drahtbonden von Elektroden des Halbleiterchips und Anschlüssen des Anschlußrahmens, und ein Speicher 18 zum zeitweiligen Lagern des Anschlußrahmens, nachdem das Drahtbonden beendet ist, um den Drahtrahmen zu der Gießeinheit 19 des nächsten Prozesses zu transportieren, sind in Abfolge auf dem Transportpfad 1 angeordnet. Diese Verarbeitungseinheiten sind jeweils mit Steuerungen 11a, 12a ... 18a ausgestattet. Die jeweiligen Steuerungen 11a, 12a 18a sind mit dem Computer 7 verbunden, um den Diskriminierungscode und die Verarbeitungsinformation zu überwachen oder zu steuern, um eine Steuerung für die Zuweisung zu Verarbeitungseinheiten durchzuführen. Demgemäß zeichnet der Computer 7 in die Speichereinheit die von den jeweiligen Steuerungen 11a, 12a ... 18a zurückgeführte Verarbeitungsinformation auf. Andererseits ist der Leser 4 zum Lesen des Diskriminierungscodes des Zwischenproduktes mit dem Computer 7 verbunden. Somit wird der Diskriminierungscode von dem Leser 4 in die Speichereinheit des Computers 7 als Basisinformation aufgezeichnet. Auch in diesem Ausführungsbeispiel wird die Verarbeitungsinformation von den Steuerungen 11a, 12a ... 18a in Übereinstimmung mit der Basisinformation in derselben Weise wie in dem oben erwähnten Ausführungsbeispiel aufgezeichnet. Während der Computer 7 einen Transportraboter 20 zum Transportieren eines Zwischenproduktes zu einer zugewiesenen Verarbeitungseinheit steuert, wird sein Antrieb von einem Produktionsüberwachungscomputer 24, der als Hostcomputer dient, gesteuert. In diesem Ausführungsbeispiel ist das Zwischenprodukt auf einem Anschlußrahmen 21 montiert, wie in Fig. 4(A) gezeigt ist. Eine große Anzahl von Anschlußrahmen 21 werden auf dem Transportpfad 1 transportiert oder getragen, wobei jeder Anschlußrahmen 21 in einem Magazin 22, das als Träger dient, untergebracht ist. In diesem Fall, wie in Fig. 4(B) gezeigt, sind eine Vielzahl von Stufenabschnitte 22a gegenüber auf der inneren Seitenoberfläche des Magazins 22 gebildet. Der Anschlußrahmen 21 wird transportiert, während er von den jeweiligen Stufenabschnitten 22a gehalten wird. Auf der oberen Oberfläche des Magazins 22 ist ein Diskriminierungscode 23 angebracht, angezeigt durch einen Balkencode usw. Dieser Diskriminierungscode 23 wird von dem Leser 4 gelesen. Das Lesen solch eines Diskriminierungscodes 23 wird stramaufwärts des Montiergerätes 11 zum Die-Banden durchgeführt, was der Herstellungsprozeß der ersten Stufe ist, oder am Eingang zum Montiergerät 11. In der oben genannten Konfiguration ist das System mit den folgenden Funktionen in den Computer 7 zusammengefügt.
1. Transportsteuerung des Magazins 22
2. Laufüberwachung des Magazins 22
3. Austausch von Produktionsinformation mit den Gruppen von Einheiten an jeweiligen Prozessen
4. Kommunikation mit dem Produktionsüberwachungscomputer
Fig. 5 zeigt die Herstellungsverarbeitung des Magazins und Spurpositionen, an welchen ein Bereitschaftszustand für die Herstellungsverarbeitung erforderlich ist. Wo das Lesen des Diskriminierungscodes des Magazins 22 durch den Leser 4 an der Spurposition der Nr. 1 ist, ist die Spurposition an der Speicherung 18 die Nr. 19. Somit sind 19 Spurpositionen insgesamt erforderlich. Demgemäß sind Speichergebiete entsprechend wenigstens 19 Spalten für die Verarbeitungsinformation entsprechend einem Diskriminierungscode in der Speichereinheit des Computers vorgesehen, in welchem Aufzeichnung und/oder Überwachung aller Prozeßinformationen durchgeführt werden. Als Beispiel dieser Aufzeichnung wird ein Diskriminierungscode 23 eines leeren Magazins 22 von dem Leser 4 als die Verarbeitungsinformation an der Spurpasition Nr. 1 gelesen. Diese Information wird in die erste Spalte der Spurtabelle (Tabelle 3) in der Speichereinheit entsprechend der von dem Diskriminierungscode erhaltenen Basisinformation eingetragen. Tabelle 3 Diskriminirungscode Spurposition Montierverarbeitungsinformation Aushärtungsverarbeitungsinformation Verarbeitungsinformation
Wenn das Magazin 22 dan zu dem Montiergerät 11 transportiert wird, wird die Verarbeitungsinformation in die zweite Spalte der Spurtabelle eingetragen. Wenn das Die-Banden von dem Mantiergerät 11 beendet ist und das Magazin 22 zum Aushärten in die Bereitschaftsposition transportiert wird, wird die Verarbeitungsinformation in die dritte Spalte der Spurtabelle eingetragen. In derselben Weise, wie oben genannt, wird nachfolgend durch Eintragen der Verarbeitungsinformation in Abfolge die Überwachung des Magazins durchgeführt. Demgemäß wird nicht nur die Notwendigkeit des Lesens van Überwachungscodes an jeweiligen Prozessen für die Herstellungsverarbeitung eliminiert, sondern ebenfalls wird an jeder Spurposition Verarbeitungsinformation aufgezeichnet, um sie dadurch zu der Datenbank zu wechseln, wobei der Diskriminierungscade ein Schlüssel ist, um es somit möglich zu machen, die Funktionen wie folgt zu expandieren:
1. Erfassen der Arbeitsleistung individueller Verrbeitungseinheiten
2. Erfassen der Auftrittsrate von Ausschußartikeln in den individuellen Verarbeitungseinheiten
3. Erfassen der Ausgabe oder des Ergebnisses für jedes Los
4. Erfassen der Zeit, zu welcher die Produktion beginnt oder endet mit jedem Los oder Prozeß
5. Bestätigung des Artnamens, Losnamens, der Anzahl von Produkten, der Anzahl von guten Artikeln, der Anzahl von Ausschußartikeln, der Verarbeitungsstartzeit/Endzeit und des Ergebnisses der Startprüfung
6. Effiziente Zuweisung des Magazins an vier Bonder 14, 15, 16 und 17
Ein Beispiel der obigen Funktion 6. wird beschrieben. Fig. 6 zeigt die Anordnung der Verarbeitungseinheiten an dem Aushärtungsprozeß und dem Drahtbondprozeß. Die primäre Aushärtungseinheit 12 und die sekundäre Aushärtungseinheit 13 sind aneinandergrenzend vorgesehen. Auf beiden Seiten dieser Einheiten sind ein Belader 25 und ein Entlader 26 angeordnet. Das Magazin wird von dem Entlader 26 an vier Bonder 14, 15, 16 und 17 geliefert. Bezugsziffer 27 bezeichnet eine Sicherheitszone zum Plazieren des Magazins 22 in einem Bereitschaftszustand, wenn alle Bonder 14, 15, 16 und 17 eine Verarbeitung ausführen. Für einen Aushärtungsvorgang werden drei Magazine 22 zur gleichen Zeit verarbeitet. Drei Magazine 22 werden von der linken Seite des Entladers 26 herausgeführt oder heraustransportiert zu den Aushärtungspasitionen von P&sub1;, P&sub2; und P&sub3; davon und werden dann in der Reihenfolge P&sub3;, P&sub2; und P&sub1; an den Bonder geliefert. In diesem Ausführungsbeispiel werden die Bonder 14, 15, 16 und 17 derselben Struktur verwendet.
Eine solche Struktur wird unter Bezugnahme auf Fig. 7 mittels eines Beispiels des Bonders 14 beschrieben. Am zentralen Abschnitt eines Körpers 14a ist ein Bondkopf 14b zum Ausführen von Drahtbonden vorgesehen. Auf der stromaufwärtigen Seite (links) des Bondkopfes wird ein Magazin 22 herangeführt. Von diesem Magazin werden Anschlußrahmen 21 einzeln herausgenommen und dann dem Drahtbonden unterzogen. Dann werden diese Anschlußrahmen in leeren Magazinen 22 untergebracht, welche auf der stromabwärtigen Seite (rechts) bereitstehen. Demgemäß dient die stromaufwärtige Seite des Bandkopfes als eine Beladungseinheit, welche zu verarbeitende Anschlußrahmen liefert. Zusätzlich sind auf den stromaufwärtigen Seiten jeweiliger Bonder 14 Zwischenmontagetische 28 zum Bereithalten von wenigstens zwei Magazinen aus dem unten beschriebenen Grund vorgesehen. Weil drei Magazine gleichzeitig von dem Entlader 26 herausgenommen oder heraustransportiert werden, ist es nötig, zwei Magazine mit Ausnahme eines Magazins, welches zu Beginn des Drahtbondens verarbeitet wird, bereitzuhalten. Wenn demgemäß das Drahtbonden fortgesetzt wird, werden Magazine auf dem Zwischenmontagetisch 28 einzeln auf den Bonder heraustransportiert. Vor dem Drahtbonden sind der Körper des Bonders und der Zwischenmontagetisch 28 sämtlich in einem leeren Zustand, wie in Fig. 8(A) gezeigt ist. Mit Fortschreiten des Drahtbondprozesses ändert sich der Zustand des Körpers des Bonders und des Zwischentisches wie folgt Der Zwischenmontagetisch 28 ist voll (Fig. 7) -> eine Leerzone tritt auf dem Zwischenmantagetisch auf (Fig. 8(B)) -> der Zwischenmantagetisch ist insgesamt im Leerzustand (Anzahl der Leerzanen ist zwei) (Fig. 8(C) -> der Zwischenmantagetisch ist insgesamt im Leerzustand und das Magazin auf dem Belader des Bonders ist im Leerzustand. Schließlich kehrt der Zustand zu dem in Fig. 8(A) gezeigten Zustand zurück. Es muß vermerkt werden, daß das in die Beladungseinheit in den Fig. 8(B) und 8(C) geführte oder transportierte Magazin ein Verarbeitungsmagazin ist, in welchem zu verarbeitende Anschlußrahmen untergebracht sind. Zum Zuweisen eines auf den Entlader 26 auf der stramabwärtigen Seite der Aushärtungseinheit 13 heraustranspartierten oder herausgeführten Magazinzuges zu den vier Bondern 14, 15, 16 und 17 unter den obigen Umständen wird ein Verfahren verwendet, aus der oben erwähnten Spurtabelle den Namen des Loses des Magazins auf dem Entlader 26 und den Namen des Loses eines varanschreitenden Magazins, das dem Bonder zuvor zugewiesen wurde, zu lesen, um sie auf der Grundlage der in Fig. 9 gezeigten Sequenz zuzuweisen. In Fig. 9 stellen die Symbole A, B, C, D, E und F Losnamen von zu verarbeitenden Artikeln dar. Jeweilige Lose A bis F sind jeweils in sechs Magazinen untergebracht. Sie werden alle drei Magazine auf den Entlader 26 der Aushärtungseinheit herausgeführt oder heraustransportiert. Tabelle 4 zeigt ein Zuweisungsmuster zu den Aushärtungspasitionen P&sub1;, .P&sub2; und P&sub3; des Magazins, welches auf dem Entlader 26 der Aushärtungseinheit 13 auftritt. Tabelle 4 Muster Nr. Ausbärtungsposition Vorangehendes Los P1 P2 P3
Tabelle 4 zeigt das Beispiel, daß das vorangehende Magazin nur das Los A hat. In diesem Fall werden 21 (in Zahlen 21) Arten von Mustern von Nr. 1 bis Nr. 21 erzeugt. Der Computer 7 überwacht diese Muster, um eine Plansteuerung zu den Bondern durchzuführen. Die Fig. 10 bis 18 zeigen Planflußdiagramme, welche jeweils den in Tabelle 5 gezeigten Planprozeduren entsprechen. Tabelle 5 Planprozedur Flußdiagramm
Die auf diesen Flußdiagrammen basierenden Programme sind in dem Computer 7 gespeichert. Sie werden in der Reihenfolge der Musterplantabelle (Tabelle 6), die in gleicher Weise in der Steuereinheit gespeichert ist, aufgerufen und sequentiell ausgeführt. Tabelle 6 Muster Nr. Planprozedur
Bei der Planprozedur Nr. 1, wie in Fig. 10 gezeigt, wird ein Vergleich zwischen dem Losnamen des auf den Entlader 26 herausgeführten oder heraustransportierten Magazins und dem Losnamen des vorangehenden Magazins auf dem Bonder durchgeführt (Schritt 41). Wenn sich die Losnamen voneinander unterscheiden, geht der Planvorgang zu einer anderen Planprozedur, die der Planprozedur Nr. 1 folgt, gemäß der Sequenz oder Reihenfolge, die in Tabelle 6 gezeigt ist, über (Schritt 42). Wenn andererseits die Losnamen dieselben sind, wird beurteilt (Schritt 43), ob die Anzahl von leeren oder unbesetzten Zonen auf dem Zwischenmontagetisch 28 Eins ist. Als Ergebnis wird der Planvorgang beendet (ENDE 1), wenn die Anzahl von Leerzonen Eins ist. Wenn die Anzahl im Gegenteil nicht Eins ist, wird beurteilt (Schritt 44), ob die Anzahl von Leerzonen Zwei ist oder nicht. Wenn die Anzahl von Leerzonen Zwei ist, wird als Ergebnis der Planvorgang beendet (ENDE 2). Wenn im Gegenteil die Anzahl von Leerzonen nicht Zwei ist, wird eine Beurteilung durchgeführt (Schritt 45), ob das Verarbeitungsmagazin, in welchem die Anschlußrahmen untergebracht sind, an der Beladungseinheit des Bonders vorhanden ist oder nicht. Als Ergebnis wird, wenn das Verarbeitungsmagazin abwesend ist (Fig. 8(D)) der Planvorgang beendet (ENDE 3). Wenn im Gegenteil das Verarbeitungsmagazin vorhanden ist, geht der Planvorgang zu einer anderen Planprazedur nach der Planprozedur Nr. 1 gemäß der in Tabelle 6 gezeigten Sequenz oder Reihenfolge über (Schritt 46). Es muß vermerkt werden, daß die ENDE-Verarbeitung in der Planprozedur bevorzugt in der Reihenfolge ENDE 1, ENDE 2 und ENDE 3 behandelt oder ausgeführt wird.
Bei der Planprazedur Nr. 2, wie in Fig. 11 gezeigt, wird ein Vergleich zwischen dem Losnamen des auf den Entlader 26 herausgeführten oder heraustransportierten Magazins und dem Losnamen des vorangehenden Magazins auf dem Bonder durchgeführt (Schritt 51). Wenn sich die Losnamen voneinander unterscheiden, geht der Planvorgang zu einer anderen Planprazedur nach der Planprozedur Nr. 2 in der in Tabelle 6 gezeigten Abfolge oder Reihenfolge über (Schritt 52). Wenn im Gegenteil die Losnamen dieselben sind, wird beurteilt (Schritt 53), ob die Anzahl von Leerzonen auf dem Zwischenmantagetisch Zwei ist. Als Ergebnis wird der Planvorgang beendet (ENDE 1), wenn die Anzahl von Leerzonen Zwei ist. Wenn im Gegenteil die Anzahl von Leerzonen nicht Zwei ist, wird beurteilt (Schritt 54), ob die Anzahl von Leerzonen Eins ist oder nicht. Als Ergebnis wird der Planvorgang beendet (ENDE 2), wenn die Anzahl von Leerzanen Eins ist. Wenn im Gegenteil die Anzahl von Leerzonen nicht Eins ist, wird beurteilt (Schritt 55), ob das Verarbeitungsmagazin, in welchem Anschlußrahmen untergebracht sind, an der Beladungseinheit des Bonders vorhanden ist oder nicht. Als Ergebnis wird der Planvorgang beendet (ENDE 3), wenn das Verarbeitungsmagazin abwesend ist. Wenn im Gegenteil das Verarbeitungsmagazin vorhanden ist, geht der Planvorgang zu einer anderen Planprozedur nach der Planprozedur Nr. 2 gemäß der in Tabelle 6 gezeigten Abfolge oder Reihenfolge über (Schritt 56).
Bei der Planprozedur Nr. 3, wie in Fig. 12 gezeigt, wird beurteilt, ob das Verarbeitungsmagazin, in welchem Anschlußrahmen untergebracht sind, an der Beladungseinheit des Bonders vorhanden ist oder nicht (Schritt 62), unabhängig davon, ob der Losname des auf den Entlader 26 herausgeführten oder heraustranspartierten Magazins und der Losname des vorangehenden Magazins auf dem Bonder miteinander übereinstimmen oder nicht (Schritt 61). Als Ergebnis wird der Planvorgang beendet (ENDE), wenn das Verarbeitungsmagazin abwesend ist. Wenn im Gegenteil das Verarbeitungsmagazin vorhanden ist, geht der Planvargang zu einer anderen Planprozedur nach der Planprozedur Nr. 3 in Übereinstimmung mit der in Tabelle 6 gezeigten Abfolge oder Reihenfolge über (Schritt 63).
Bei der in Fig. 13 gezeigten Planprozedur Nr. 4 wird beurteilt, ob der Lasname des auf den Entlader 26 herausgeführten oder heraustransportierten Magazins und der Losname des vorangehenden Magazins auf dem Bonder miteinander übereinstimmen (Schritt 71) oder nicht. Als Ergebnis geht, wenn die Losnamen sich voneinander unterscheiden, der Planvargang auf eine andere Planprazedur nach der Planprozedur Nr. 4 gemäß der Abfolge oder Reihenfolge, die in Fig. 6 gezeigt ist, über (Schritt 72). Wenn im Gegenteil die Losnamen dieselben sind, wird beurteilt, ab das Verarbeitungsmagazin, in welchem Anschlußrahmen untergebracht sind, an der Beladungseinheit des Bonders vorhanden ist oder nicht (Schritt 73). Als Ergebnis wird der Planvorgang beendet (ENDE), wenn das Verarbeitungsmagazin abwesend ist. Im Gegenteil geht der Planvorgang zu der Planprozedur Nr. 3 über (Schritt 74), wenn das Verarbeitungsmagazin vorhanden ist.
Bei der in Fig. 14 gezeigten Planprazedur Nr. 5 wird ein Vergleich zwischen dem Losnamen des auf den Entlader 26 herausgeführten oder heraustransportierten Magazins und dem Losnamen des vorangehenden Magazins auf dem Bonder durchgeführt (Schritt 81). Als Ergebnis geht der Planvorgang zu einer anderen Planprazedur nach der Planprazedur Nr. 5 gemäß der Abfolge oder Reihenfolge, die in Tabelle 6 gezeigt ist, über (Schritt 82), wenn die Losnamen dieselben sind. Wenn im Gegenteil sich die Losnamen voneinander unterscheiden, wird beurteilt (Schritt 83), ob die Anzahl van Leerzonen auf dem leeren Zwischenmontagetisch Zwei ist. Wenn die Anzahl von Leerzonen Zwei ist, wird als Ergebnis der Planvorgang beendet (ENDE 1). Wenn im Gegenteil die Anzahl von Leerzonen nicht Zwei ist, wird beurteilt (Schritt 84), ob die Anzahl von Leerzonen Eins ist oder nicht. Als Ergebnis wird der Planvorgang beendet (ENDE 2), wenn die Anzahl van Leerzonen Eins ist. Wenn im Gegenteil die Anzahl von Leerzonen nicht Eins ist, geht der Planvorgang zu einer anderen Layoutprozedur nach der Layoutprozedur Nr. 5 gemäß der Abfolge oder Reihenfolge, die in Tabelle 6 gezeigt ist, über (Schritt 85).
Bei der in Fig. 15 gezeigten Layautprozedur Nr. 6 wird ein Vergleich zwischen dem Losnamen des auf den Entlader 26 herausgeführten oder heraustransportierten Magazins und dem Losnamen des vorangehenden Magazins auf dem Bonder durchgeführt (Schritt 91). Als Ergebnis geht der Layautvorgang zu einer anderen Layoutprozedur nach der Layoutprazedur Nr. 6 gemäß der Abfolge oder Reihenfolge, die in Tabelle 6 gezeigt ist, über (Schritt 92), wenn die Losnamen dieselben sind. Wenn im Gegenteil die Losnamen voneinander verschieden sind, wird beurteilt (Schritt 93), ob die Anzahl von Leerzonen auf den Zwischenmontagetischen 28 Zwei ist oder nicht. Als Ergebnis wird der Layoutvorgang beendet (ENDE), wenn die Anzahl von Leerzanen Zwei ist. Wenn im Gegenteil die Anzahl von Leerzonen nicht Zwei ist, geht der Layoutvargang über zu einer anderen Layoutprozedur nach der Layoutprazedur Nr. 6, die in Tabelle 6 gezeigt ist (Schritt 94).
Bei der in Fig. 16 gezeigten Planprozedur Nr. 7 wird ein Vergleich zwischen dem Losnamen des auf den Entlader 26 herausgeführten oder heraustransportierten Magazins und dem Losnamen des vorangehenden Magazins auf dem Bonder durchgeführt (Schritt 101). Als Ergebnis geht der Layoutvorgang zu einer anderen Layautprozedur nach der Layoutprazedur Nr. 7 in Übereinstimmung mit der Abfolge oder Reihenfolge, die in Tabelle 6 gezeigt ist, über (Schritt 102), wenn sich die Losnamen voneinander unterscheiden. Wenn die Losnamen dieselben sind, wird als Ergebnis beurteilt (Schritt 103), ob zwei Bonder vorhanden sind, in welchen die Anzahl von Leerzanen auf dem Zwischenmontagetisch 28 Zwei ist oder nicht. Wenn solche zwei Bonder vorhanden sind, wird als Ergebnis der Planvorgang beendet (ENDE 1). Wenn sie im Gegenteil abwesend sind, wird beurteilt (Schritt 104), ob ein Bonder vorhanden ist, in welchem die Anzahl von Leerzonen auf den Zwischenmontagetischen Zwei ist und ein Bonder vorhanden ist, in welchem die Anzahl von Leerzonen auf dem Zwischenmontagetisch Eins ist oder nicht. Wenn solche Bonder vorhanden sind, wird als Ergebnis der Planvorgang beendet (ENDE 2). Wenn sie im Gegenteil nicht vorhanden sind, wird beurteilt (Schritt 105), ob drei Bonder vorhanden sind, in welchen die Anzahl von Leerzanen auf dem leeren Zwischenmontagetisch Eins ist oder nicht. Wenn als Ergebnis solche Bonder vorhanden sind, wird der Planvorgang beendet (ENDE 3). Wenn sie im Gegenteil nicht vorhanden sind, geht der Planvorgang über zu einer anderen Planprozedur nach der Planprozedur Nr. 7 gemäß der in Tabelle 6 gezeigten Abfolge oder Reihenfolge (Schritt 106).
Bei der in Fig. 17 gezeigten Planprozedur Nr. 8 wird ein Vergleich durchgeführt zwischen dem Losnamen des auf den Entlader 26 herausgeführten oder heraustranspartieren Magazins und dem Losnamen des vorangehenden Magazins auf dem Bonder (Schritt 111). Als Ergebnis geht der Planvorgang zu einer anderen Planprozedur nach der Planprozedur Nr. 8 gemäß der in Tabelle 6 gezeigten Abfolge oder Reihenfolge über (Schritt 112), wenn die Losnamen dieselben sind. Wenn sich die Losnamen unterscheiden, wird im Gegenteil beurteilt (Schritt 113), ab zwei Bonder vorhanden sind, in welchen die Anzahl von Leerzanen auf dem Zwischenmontagetisch 28 Zwei ist. Wenn solche Bonder vorhanden sind, wird als Ergebnis der Layoutvorgang beendet (ENDE 1). Wenn sie im Gegenteil nicht vorhanden sind, wird beurteilt, ob ein Bonder, in welchem die Anzahl von Leerzonen auf dem leeren Zwischenmantagetisch 28 Zwei ist, und ein Bonder, in welchem die Anzahl von Leerzonen auf dem leeren Zwischenmontagetisch Eins ist (vorhanden sind) oder nicht (Schritt 114). Wenn solche Bonder vorhanden sind, wird als Ergebnis der Layoutvorgang beendet (ENDE 2). Wenn sie im Gegenteil nicht vorhanden sind, wird beurteilt (Schritt 115), ob drei Bonder vorhanden sind, in welchen die Anzahl von Leerzonen auf dem leeren Zwischenmontagetisch Eins ist oder nicht. Wenn solche Bonder vorhanden sind, wird als Ergebnis der Planvorgang beendet (ENDE 3). Wenn sie im Gegenteil nicht vorhanden sind, geht der Planvorgang zu einer anderen Planprozedur nach der Planprozedur Nr. 8 in Übereinstimmung mit der Abfolge oder Reihenfolge, die in Tabelle 6 gezeigt ist, über (Schritt 116).
Die Planprozedur Nr. 9 ist, wie in Tabelle 6 gezeigt, die letzte Prozedur für alle die Muster Nr. 1 bis Nr. 21. Bei dieser Planprozedur Nr. 9 wird, wie in Fig. 18 gezeigt, ein Vergleich zwischen der Anzahl von Magazinen (SN), welche auf der Sicherheitszone 27 plaziert werden können, und der Anzahl von Magazinen (CN) auf dem Entlader 26 der Aushärtungseinheit durchgeführt (Schritt 121). Als Ergebnis werden, wenn der SN- Wert gleich dem CN-Wert oder größer als dieser ist, Magazine auf dem Entlader 26 in die Sicherheitszane 27 geführt oder transportiert (Schritt 122). Wenn der SN-Wert andererseits kleiner ist als der CN-Wert, wird beurteilt (Schritt 123), ob eine Anforderung zum Transportieren von anderen Magazinen gemacht wird. Wenn solch eine Anforderung vorhanden ist, wird als Ergebnis eine Planung zu dem Bonder unterbrochen, um das Transportieren von anderen Magazinen anzuweisen (Schritt 124). Wenn im Gegenteil solch eine Anforderung nicht vorhanden ist, wird die Pragrammausführung für eine vorbestimmte Zeit unterbrochen (beispielsweise 30 Sekunden). Dann kehrt der Planvargang zur ersten Planprozedur zurück, um von dort wieder zu beginnen (Schritt 125).
In diesem Ausführungsbeispiel wird das in Tabelle 4 gezeigte Zuweisungsmuster, die in Tabelle 6 gezeigte Musterzuweisungstabelle und der Algorithmus für das in Fig. 18 gezeigte Flußdiagramm in der Steuereinheit als das Zuweisungsprogramm gespeichert. Somit wird eine selektive Verarbeitung von Bondern durchgeführt. Eine Erläuterung wird z.B. im Zusammenhang mit dem Fall gegeben, daß das Muster, das auf dem Entlader 26 der Aushärtungseinheit auftritt, das in Tabelle 4 gezeigte Muster Nr. 2 ist. In solch einem Fall, wie in Tabelle 6 gezeigt, geht der Planvorgang über von der Planprozedur Nr. 1 zur Planprozedur Nr. 3 und geht ferner über zur Planprozedur Nr. 9. Demgemäß zeigt dieses an, daß der Planvorgang zur Planprozedur Nr. 3 bei beiden Schritten 42 und 46 in Fig. 10 übergeht, welche die Planprozedur Nr. 1 anzeigt, und ferner zur Planprozedur Nr. 9 in Schritt 63 in der Planprozedur Nr. 3 übergeht (Fig. 12). Dann kehrt nach 30 Sekunden der Planvargang zur ersten Planprazedur Nr. 1 bei Schritt 125 in der Planprazedur Nr. 9 zurück. Somit werden die oben genannten Verarbeitungen fortwährend ausgeführt, wodurch es möglich wird, eine geeignete Planung an einen Bonder der Gruppe von Bonder zu implementieren.

Claims

1. Verfahren zum Herstellen von Produkten, die von einer Vielzahl von Prozessen (I - IV) zum Verarbeiten von Zwischenprodukten der Reihe nach an einer Vielzahl von Verarbeitungsstufen, um die Produkte zu vervollständigen, hergestellt werden, während die Zwischenprodukte oder Träger (2), welche die Zwischenprodukte darin aufnehmen, transferiert werden, dadurch gekennzeichnet, daß jede der Verarbeitungsstufen eine Vielzahl von gleichen Verarbeitungseinheiten (a&sub1;, a&sub2;, ..., b&sub1;, b&sub2;, . .., C&sub1;, c&sub2;, ..., d&sub1;, d&sub2;, ...) umfaßt, welche in der Lage sind, den Prozeß der Verarbeitungsstufe durchzuführen, und dadurch, daß das Verfahren die Schritte umfaßt:

Lesen von den Zwischenprodukten zugeordneten Diskriminierungscodes (3) nur vor der ersten Verarbeitungsstufe;

Speichern der gelesenen Diskriminierungscodes als Basisinformation und Speichern von entsprechender Verarbeitungsinformation im Hinblick auf die Verarbeitung durch die Verarbeitungseinheiten (a&sub1;, a&sub2;, ..., b&sub1;, b&sub2;, ..., C&sub1;, C&sub2;, ..., d&sub1;, d&sub2;, ...) in Speichereinrichtungen; und

Auswählen einer Verarbeitungseinheit aus der Vielzahl von Verarbeitungseinheiten an einer Verarbeitungsstufe nach der ersten Verarbeitungsstufe auf der Basis der gespeicherten Information.

2. Verfahren zum Herstellen von Produkten nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Speicherschritt ferner einen Schritt des Speichern von Überwachungsinformation umfaßt, welche sich auf jeweilige Zwischenprodukte oder Träger (2) bezieht, und entsprechend der Basisinformation.

3. Verfahren zum Herstellen von Produkten nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Verarbeitungsinformation Information einschließt, welche an den jeweiligen Verarbeitungs stufen ausgewählte Verarbeitungseinheiten anzeigt, sowie Information, welche verarbeitete Ergebnisse durch die ausgewählten Verarbeitungseinheiten anzeigt.

4. Verfahren zum Herstellen von Produkten nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Verarbeitungsinformation Information einschließt, welche an den jeweiligen Verarbeitungsstufen (I, II, III, IV) ausgewählte Verarbeitungseinheiten anzeigt, sowie Information, welche verarbeitete Ergebnisse durch die ausgewählten Verarbeitungseinheiten (a&sub1;, b&sub1;, c&sub1;, d&sub1;) anzeigt, wobei die Überwachungsinformation Information im Hinblick auf die Art, die Lasnummer oder die Menge der jeweiligen Zwischenprodukte oder Träger einschließt.

5. Vorrichtung zum Herstellen von Produkten, in welcher eine Vielzahl von Verarbeitungseinheiten (a&sub1;, a&sub2;, ... b&sub1;, b&sub2;, ..., C&sub1;, C&sub2;, ..., d&sub1;, d&sub2;, ...) an einer Vielzahl von Verarbeitungsstufen (I - IV) angeordnet sind; wobei die Verarbeitungsstufen angeordnet sind zum sequentiellen Herstellen von Zwischenprodukten, um die Produkte zu vervollständigen, während die Zwischenprodukte oder Träger (2), welche die Zwischenprodukte darin aufnehmen, transferiert werden, dadurch gekennzeichnet, daß jede Verarbeitungseinheit an derselben Verarbeitungsstufe angepaßt ist, denselben Prozeß durchzuführen, und dadurch, daß die Vorrichtung umfaßt:

Leseeinrichtungen (4) zum Lesen von den Zwischenprodukten zugeordneten Diskriminierungscodes (3) nur vor der ersten Verarbeitungsstufe;

Speichereinrichtungen zum Speichern der Diskriminierungscodes als Basisinformation und Speichern von Verarbeitungsinformation, welche sich auf die von den Verarbeitungseinheiten an jeweiligen Verarbeitungsstufen durchgeführten Prozesse bezieht;

Überwachungssteuerungseinrichtungen (24) zum Steuern der Speicherung in den Speichereinrichtungen und Auswahl einer Verarbeitungseinheit aus der Vielzahl von Verarbeitungseinheiten (a&sub1;, a&sub2;, ..., b&sub1;, b&sub2;, ..., C&sub1;, c&sub2;, ..., d&sub1;, d&sub2;, ...) an einer Verarbeitungsstufe nach der ersten Verarbeitungsstufe auf der Grundlage der gespeicherten Information.

6. Vorrichtung zum Herstellen von Produkten nach Anspruch 5, gekennzeichnet durch Speichereinrichtungen zum Speichern von Überwachungsinformation im Hinblick auf die jeweiligen Zwischenpradukte oder Träger (2), wobei die Überwachungssteuerungseinrichtung (7, 24) angepaßt ist, Überwachungsinformation entsprechend der Basisinformation zu lesen, um sie in Übereinstimmung mit der Basisinformation aufzuzeichnen.

7. Vorrichtung zum Herstellen von Produkten nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Verarbeitungsinformation Information einschließt, welche an den jeweiligen Prozessen (I - IV) ausgewählte Verarbeitungseinheiten anzeigt, sowie Information, welche verarbeitete Ergebnisse durch die ausgewählten Verarbeitungseinheiten anzeigt.

8. Vorrichtung zum Herstellen von Produkten nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Verarbeitungsinformation Information einschließt, welche an den jeweiligen Verarbeitungsstufen ausgewählte Verarbeitungseinheiten anzeigt, und Information, welche verarbeitete Ergebnisse durch die ausgewählten Verarbeitungseinheiten anzeigt, wobei die Überwachungsinformation Information im Hinblick auf die Art, die Losnummer oder Menge der jeweiligen Zwischenprodukte oder Träger einschließt.