CN111952485B - 掩模板张网组件及张网装置、张网方法 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种掩模板张网组件及张网装置、张网方法，用于将掩模板张网于掩模框架上，掩模板包括位于掩模板的相对两端的两个焊接区，焊接区包括相背的第一面和第二面，掩模框架包括相对的两个第一侧边，第一面与掩模框架的第一侧边表面相贴合；该掩模板张网组件包括：主框架，包括用于按压焊接区的第二面的按压平面及与按压平面相背设置的背面，主框架的中部设有贯通按压平面和背面的镂空区域；施力结构，设置在主框架上，向主框架上的相对两端分别施加第一按压作用力和第二按压作用力，第一按压作用力和第二按压作用力的方向均垂直于按压平面且大小相同。本发明提供的掩模板张网组件及张网装置、张网方法，能够改善掩模板张网褶皱导致的不良。
Description
技术领域
本发明涉及显示器制造技术领域，尤其涉及一种掩模板张网组件及张网装置、张网方法。
背景技术
OLED(Organic Light-Emitting Diode，又称为有机电激光显示、有机发光半导体)响应时间快，可视角度大，对比度高，重量轻，功耗低，被认为是最有发展潜力的平板显示器件，同时被认为是最有可能制作成柔性显示器件的显示技术。AMOLED显示屏发光材料主要使用精细金属掩模板(Fine Metal Mask，FMM)蒸镀到显示基板上。FMM张网是OLED生产中重要的一环，张网的效果极大地决定了OLED蒸镀制程的良率。
在相关技术中，FMM张网过程如下：通过张网机拉伸掩膜板，将掩模板的两端分别焊接于掩模框架上。但是目前掩模板张网时存在以下问题：掩模板会发生褶皱，而导致产生虚焊现象，严重影响焊接效果，从而发生PPA(对位)偏移、焊点脱落等问题，导致蒸镀混色等不良。
发明内容
为了解决上述技术问题，本发明提供一种掩模板张网组件及张网装置、张网方法，能够改善掩模板张网褶皱导致的不良现象。
为了达到上述目的，本发明采用的技术方案如下：
一种掩模板张网组件，用于将掩模板张网于掩模框架上，所述掩模板包括位于所述掩模板的相对两端的两个焊接区，所述焊接区包括相背的第一面和第二面，所述掩模框架包括相对的两个第一侧边，所述第一面与所述掩模框架的第一侧边表面相贴合；所述掩模板张网组件包括：
主框架，所述主框架包括用于按压所述焊接区的第二面的按压平面及与所述按压平面相背设置的背面，所述主框架的中部设有贯通所述按压平面和所述背面的镂空区域；
及，施力结构，所述施力结构设置在所述主框架上，所述施力结构能够向所述主框架上的相对两端分别施加第一按压作用力和第二按压作用力，所述第一按压作用力和所述第二按压作用力的方向均垂直于所述按压平面、且大小相同。
示例性的，所述主框架为沿所述第一侧边的长度方向延伸的长条形框架结构，所述镂空区域为沿所述第一侧边的长度方向延伸的长条形镂空区域。
示例性的，所述施力结构包括：分别设置在所述主框架的相对两端的第一施力部和第二施力部，所述第一施力部和所述第二施力部中每一施力部均包括用于检测该施力部当前施加于所述主框架上的按压作用力大小的力学检测部件。
示例性的，在所述主框架的相对两端中，每一端部连接有与所述主框架的按压平面平行的连接板，所述连接板上设有通孔；
每一施力部还包括：
连杆，所述连杆以垂直于所述按压平面的方向设置于所述通孔内，并能够在所述通孔内沿垂直于所述按压平面的方向往复移动，所述连杆包括相对的第一端和第二端，所述第一端为靠近所述主框架的一端，所述第二端为远离所述主框架的一端，所述力学检测部件设置于所述第二端；
及，弹性缓冲部件，所述弹性缓冲部件抵顶于所述连杆的所述第一端与所述连接板之间。
示例性的，所述掩模板张网组件还包括：用于在所述第一侧边的长度延伸方向拉伸待夹持物的夹持机构。
一种掩模板张网装置，包括：如上所述的掩模板张网组件。
一种掩模板张网方法，采用如上所述的掩模板张网装置，将掩模板张网于掩模框架上；所述方法包括：
夹持所述掩模板的相对两端，沿与所述第一侧边延伸方向垂直的方向拉伸所述掩模板，以使两个所述焊接区分别拉伸至所述掩模框架的两个第一侧边，其中所述焊接区的第一面与所述掩模框架的第一侧边表面相贴合；
将所述主框架的按压平面面向所述焊接区的第二面；
通过所述施力结构向所述主框架的相对两端分别施加第一按压作用力和第二按压作用力，下压所述主框架，使所述焊接区的第一面与所述掩模框架的第一侧边表面紧密贴合；
通过所述镂空区域，将所述焊接区与所述掩模框架的第一侧边表面焊接一起。
示例性的，当所述掩模板为宽度小于第一预定宽度、且厚度小于第一预定厚度的第一掩模条时，所述通过所述施力结构向所述主框架的相对两端分别施加第一按压作用力和第二按压作用力，以下压所述主框架，使所述焊接区的第一面与所述掩模框架的第一侧边表面紧密贴合，具体包括：
通过夹持机构在所述第一侧边的长度延伸方向上拉伸及固定一辅助焊接条的相对两端，使所述辅助焊接条叠放于所述掩模板的焊接区的第二表面上，其中所述辅助焊接条的长度延伸方向为所述第一侧边的长度延伸方向；
通过所述施力结构向所述主框架的相对两端分别施加第一按压作用力和第二按压作用力，以下压所述主框架，使所述焊接区的第一面与所述掩模框架的第一侧边表面紧密贴合。
示例性的，所述辅助焊接条的材料选用不锈钢、镍钢和因瓦合金中的至少一种；所述辅助焊接条在所述第一侧边的长度方向垂直的方向上的宽度为5～30mm，在垂直于所述第一侧边的表面方向上的厚度为20～50μm。
示例性的，所述掩模板张网装置包括：用于将掩模板与框架进行对位的对位机构，所述对位机构包括图像采集单元；
所述方法中，所述夹持所述掩模板的相对两端，沿与所述第一侧边延伸方向垂直的方向拉伸所述掩模板，以使两个所述焊接区分别拉伸至所述掩模框架的两个第一侧边，其中所述焊接区的第一面与所述掩模框架的第一侧边表面相贴合，还包括：通过所述对位机构将所述掩模板与所述掩模框架进行对位；
所述通过所述施力结构向所述主框架的相对两端分别施加第一按压作用力和第二按压作用力，下压所述主框架，使所述焊接区的第一面与所述掩模框架的第一侧边表面紧密贴合之前，所述方法还包括：
采用所述图像采集单元检测所述主框架的按压平面的平整度，使所述按压平面与所述掩模框架的第一侧边表面平整度一致。
本发明所带来的有益效果如下：
本公开实施例提供的掩模板张网组件及张网装置、张网方法，所述掩模板张网组件包括主框架及施力结构，所述主框架具有按压平面，且该主框架中部设镂空区域，这样，在掩膜板张网过程中，将位于掩模板两端的两个焊接区分别与掩模框架的两个第一侧边表面贴合之后，在掩模板与掩模框架焊接之前，可使用该掩模板张网组件，利用所述主框架的按压平面下压所述掩模板的焊接区，并通过施力结构向所述主框架的两端施加相同大小的按压作用力，从而，所述掩膜板的焊接区被褶皱压平，然后，通过所述主框架上的镂空区域将所述掩模板与所述掩模框架之间进行焊接，从而，可防止由于掩膜板褶皱而引起的虚焊现象，进而改善PPA(对位)偏移、蒸镀混色、掩模板使用寿命短等问题。
附图说明
图1表示相关技术中掩模板张网时焊接区存在褶皱的结构示意图；
图2表示图1的侧视图；
图3表示本公开一种实施例提供的掩模板张网组件的结构主视图；
图4表示图3的俯视图；
图5表示本公开一种实施例提供的掩模板张网组件在对高分辨率掩模板紧张张网时的结构示意图；
图6表示图5所示的实施例中掩模板张网组件中主框架未下压掩模板时的侧视图；
图7表示图5所示的实施例中掩模板张网组件中主框架下压掩模板时的侧视图；
图8表示本公开一种实施例提供的掩模板张网组件在对宽幅掩模板紧张张网时的结构示意图；
图9表示图8所示的实施例中掩模板张网组件中主框架未下压掩模板时的侧视图；
图10表示图8所示的实施例中掩模板张网组件中主框架下压掩模板时的侧视图。
具体实施方式
为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例的附图，对本发明实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本发明的实施例，本领域普通技术人员所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
在对本公开实施例所提供的掩模板张网组件及张网装置、张网方法进行详细说明之前，有必要对于相关技术进行以下说明：
在相关技术中，OLED的显示屏发光材料通过精细金属掩模板(Fine Metal Mask，FMM)蒸镀到显示基板上。对于蒸镀掩模板，例如精细金属掩模板来说，具体的张网过程如下：如图1和图2所示，掩模板1的相对两端具有焊接区，掩模框架2包括相对的两个第一侧边和相对的两个第二侧边，掩模板1的相对两端焊接区由夹爪夹持，在与第一侧边的长度方向垂直的方向、拉伸掩模板1的相对两端，使得掩模板的焊接区的第一表面与掩模框架2的第一侧边表面相贴合，再利用焊枪将掩模板的焊接区与第一侧边焊接，而实现张网过程。
对于高分辨率掩膜板来说，掩模板厚度较薄，宽度较窄，进行张网焊接过程中，激光能量不易精确控制，因此，在相关技术中提出一种解决方法是，将掩膜板的两端焊接区加厚设计，并在蒸镀区和焊接区间设置厚度过渡区，有效解决了焊接难的问题。但是，由于焊接区和蒸镀区间存在较大厚度差，会导致张网过程中蒸镀区和过渡区连接处出现严重的褶皱问题(如图1和图2所示)，导致张网效率不高，蒸镀混色等不良。而对于中大尺寸的宽幅掩膜板来说，由于掩模板宽度大，夹爪较多，张网难度大，在张网拉伸过程中，由于与金属框架(Frame)的贴合不佳或各个夹爪处不均匀的拉力会在掩膜板焊接区形成褶皱，焊接后褶皱会延伸并穿过焊接区到达蒸镀区导致不良的发生。
为了解决上述技术问题，本公开实施例提供了一种掩模板张网组件及张网装置、张网方法，能够改善掩模板张网褶皱导致的不良现象。
如图3至图10所示，本公开实施例提供的掩模板张网组件，用于将掩模板10张网于掩模框架20上，其中，所述掩模板10包括位于所述掩模板10的相对两端的两个焊接区11，所述焊接区11包括相背的第一面和第二面，所述掩模框架20包括相对的两个第一侧边21，所述掩模板10的两个焊接区11分别拉伸至所述掩模框架20的两个第一侧边21，且所述第一面与所述掩模框架20的第一侧边21表面相贴合。
如图3和图4所示，所述掩模板张网组件包括：主框架100及施力结构，所述主框架100包括用于按压所述焊接区11的第二面的按压平面110及与所述按压平面110相背设置的背面，所述主框架100的中部设有贯通所述按压平面110和所述背面的镂空区域120；所述施力结构设置在所述主框架100上，所述施力结构能够向所述主框架100上的相对两端分别施加第一按压作用力和第二按压作用力，所述第一按压作用力和所述第二按压作用力的方向均垂直于所述按压平面110、且大小相同。
上述方案，本公开实施例提供的掩模板张网组件包括主框架100及施力结构，所述主框架100具有按压平面110，且该主框架100中部设镂空区域120，这样，在掩膜板张网过程中，将夹爪3夹持掩模板10的两个焊接区11，使得位于掩模板10两端的两个焊接区11分别与掩模框架20的两个第一侧边21表面贴合，此时，掩模板10的焊接区11与掩模框架20的第一侧边21贴合后仍存在褶皱，部分区域贴合不良，此时，可将所述掩模板张网组件整体下降，使得所述主框架100的按压平面110，下压所述掩模板10的焊接区11，并通过施力结构向所述主框架100的两端施加相同大小的按压作用力，这样，所述掩膜板的焊接区11的褶皱即被所述主框架100的按压平面110压平，使掩膜板与掩膜框架严密贴合，最后利用焊枪30通过所述主框架100上的镂空区域120，将所述掩模板10与所述掩模框架20之间进行焊接，就可以防止由于掩模板10褶皱引起的虚焊现象，焊接后的掩膜板PPA(对位)准确、焊点牢固，蒸镀效果良好且掩模板10使用寿命更长。
需要说明的是，本公开实施例提供的掩模板张网组件中，所述主框架100主要利用其按压平面110向掩模板10的焊接区11施加均匀按压作用力，来使得所述掩模板10的焊接区11褶皱被压平，因此，本公开实施例的掩模板张网组件所适用的掩模板10优选为厚度均匀的掩模板10，也就是，掩模板10的焊接区11与蒸镀区厚度一致。
在本公开一些实施例的实施例中，如图3和图4所示，所述主框架100为沿所述第一侧边21的长度方向延伸的长条形框架结构，所述镂空区域120为沿所述第一侧边21的长度方向延伸的长条形镂空区域120。
在上述实施例中，由于掩模框架20的第一侧边21为长条形，而所述主框架100主要用于将掩模板10的焊接区11在掩模框架20的第一侧边21上压平，因此，所述主框架100设计为长条形框架结构，如图所示，所述主框架100的长度和宽度等尺寸，可根据掩模框架20的第一侧边21的长度和宽度尺寸匹配。
此外，所述镂空区域120为焊接时为焊枪30预留的焊接口，所述镂空区域120可以是长条形，所述镂空区域120的长度可以与掩膜框架的第一侧边21宽度相同或接近，对应任意宽度掩膜板的张网焊接。
应当理解的是，在一些实施例中，所述镂空区域120可以是整体呈长条形的开口，也可以是由若干镂空子区域组成。
此外，在本公开一些示例性的实施例中，所述施力结构包括：分别设置在所述主框架100的相对两端的第一施力部210和第二施力部220，所述第一施力部210和所述第二施力部220中每一施力部均包括用于检测该施力部当前施加于所述主框架100上的按压作用力大小的力学检测部件201。
在上述公开实施例中，在所述主框架100的相对两端分别设置第一施力部210和第二施力部220，每个施力部均设有力学检测部件201，这样，通过力学检测部件201，可以检测所述主框架100的相对两端向掩模板10上所施加的按压作用力是否相同，也就是，检测主框架100按压作用力是否均匀，以保证掩模板10褶皱压平效果。
在本公开一些示例性实施例中，如图3和图4所示，在所述主框架100的相对两端中，每一端部连接有与所述主框架100的按压平面110平行的连接板130，所述连接板130上设有通孔；每一施力部还包括：连杆102及弹性缓冲部件103，所述连杆102以垂直于所述按压平面110的方向设置于所述通孔内，并能够在所述通孔内沿垂直于所述按压平面110的方向往复移动，所述连杆102包括相对的第一端和第二端，所述第一端为靠近所述主框架100的一端，所述第二端为远离所述主框架100的一端，所述力学检测部件201设置于所述第二端；所述弹性缓冲部件103抵顶于所述连杆102的所述第一端与所述连接板130之间。
在上述实施例中，通过向所述力学检测部件201施力，可以使所述连杆102在垂直于所述主框架100的按压平面110方向上往复移动，以调节所述主框架100的相对两端上的力学检测部件201上受力一致。
需要说明的是，在上述公开实施例中，所述力学检测部件201可以选用力学传感器，对于其具体选择类型及型号等不限定。所述弹性缓冲部件可以选用弹簧等，起到对按压作用力进行缓冲，以保护掩模板。
此外，需要说明的是，以上仅是提供了所述施力结构的一种实施例，在实际应用中，所述施力结构的具体实现方式不限于此，只要能够满足向所述主框架100的相对两端施加相同大小作用力即可。
此外，在本公开一些实施例中，如图5所示，所述掩模板张网组件还包括：用于在所述第一侧边21的长度延伸方向拉伸待夹持物的夹持机构300。所述夹持机构300可以是与传统的张网设备中夹爪3的结构相同，需要说明的是，传统的张网设备内的夹爪3是在与第一侧边21垂直的方向上拉伸掩模板10，所述夹持机构300是沿与所述第一侧边21平行的方向拉伸待夹持物，其中该待夹持物可以是辅助焊接条500。
此外，在本公开实施例中还提供了一种掩模板张网装置，包括：本公开实施例提供的掩模板张网组件。
本公开实施例提供的掩模板张网装置可以适用于各种类型掩模板10，例如，可适用于高分辨率掩模板10及宽幅掩膜板。
以所述掩模板10为高分辨率掩膜板为例，所述掩模板10为宽度小于第一预定宽度、且厚度小于第一预定厚度的第一掩模条，高分辨率掩模板10一般宽度小，而厚度薄，掩模板10的焊接区11厚度较薄，焊接过程激光能量不易精确控制。
需要说明的是，所述第一预定宽度和所述第一预定厚度可以是实际应用中，根据经验所确定的取值，其取值原则是，该掩模条的厚度会导致焊接过程不易精确控制。因此，本公开实施例提供的掩模板张网装置在对高分辨率掩膜板进行张网时，可通过设置辅助焊接条500来进行焊接，具体的张网过程可以如下：
首先，夹持所述掩模板10的相对两端，沿与所述第一侧边21延伸方向垂直的方向拉伸所述掩模板10，以使两个所述焊接区11分别拉伸至所述掩模框架20的两个第一侧边21，其中所述焊接区11的第一面与所述掩模框架20的第一侧边21表面相贴合；
然后，将所述主框架100的按压平面110面向所述焊接区11的第二面；
然后，通过所述夹持机构300在所述第一侧边21的长度延伸方向上拉伸及固定一辅助焊接条500的相对两端，使所述辅助焊接条500叠放于所述掩模板10的焊接区11的第二表面上，其中所述辅助焊接条500的长度延伸方向为所述第一侧边21的长度延伸方向，所述辅助焊接条500覆盖在掩膜板上，可保证薄掩膜板不被焊穿或出现虚焊等焊接不良；
然后，通过所述施力结构向所述主框架100的相对两端分别施加第一按压作用力和第二按压作用力，以下压所述主框架100，使所述焊接区11的第一面与所述掩模框架20的第一侧边21表面紧密贴合；
然后，通过所述镂空区域120，将所述焊接区11与所述掩模框架20的第一侧边21表面焊接一起。
所述辅助焊接条500的材料可选用不锈钢、镍钢和因瓦合金等。
所述辅助焊接条500的长度和宽度可根据掩膜板焊接区11的宽度确定。
例如，在所述第一侧边21的长度方向垂直的方向上的宽度为5～30mm，在垂直于所述第一侧边21的表面方向上的厚度为20～50μm。
需要说明的是，为了保证掩膜板被所述主框架100均匀充分地压实，所述掩模板张网组件使用时，其主框架100的按压平面110的平坦度需保持与掩膜框架的第一侧边21表面平坦度一致。
在本公开实施例提供的掩模板张网装置中，还包括：用于将掩模板10与框架进行对位的对位机构，所述对位机构包括图像采集单元(CCD)。
在本公开实施例中，可以在焊接前，通过所述对位机构将所述掩模板10与所述掩模框架20进行对位；采用所述图像采集单元检测所述主框架100的按压平面110的平整度，使所述按压平面110与所述掩模框架20的第一侧边21表面平整度一致。也就是说，将掩模板10张网设备的图像采集单元复用，来对所述主框架100进行平坦度测试，这样，可使用掩模板10张网设备现有的对位机构进行平坦度检测即可，无需单独设置平坦度检测机构。
以所述掩模板10为宽幅掩膜板为例，所述掩模板10为宽度大于第二预定宽度的第二掩模条，所述第二预定宽度可以是实际应用中根据经验所确定的取值，其取值原则是，该掩模条的宽度和厚度很大，不会导致焊接过程不易精确控制。因此，本公开实施例提供的掩模板张网组件在对宽幅掩膜板进行张网时，可无需设置辅助焊接条500来进行焊接，具体的张网过程可以如下：
首先，夹持所述掩模板10的相对两端，沿与所述第一侧边21延伸方向垂直的方向拉伸所述掩模板10，以使两个所述焊接区11分别拉伸至所述掩模框架20的两个第一侧边21，其中所述焊接区11的第一面与所述掩模框架20的第一侧边21表面相贴合；
然后，将所述主框架100的按压平面110面向所述焊接区11的第二面；
然后，通过所述施力结构向所述主框架100的相对两端分别施加第一按压作用力和第二按压作用力，以下压所述主框架100，使所述焊接区11的第一面与所述掩模框架20的第一侧边21表面紧密贴合；
然后，通过所述镂空区域120，将所述焊接区11与所述掩模框架20的第一侧边21表面焊接一起。
此外，本公开实施例提供了一种掩模板10张网方法，采用本公开实施例提供的掩模板张网装置将掩模板10张网于掩模框架20上；所述方法包括：
步骤S01、夹持所述掩模板10的相对两端，沿与所述第一侧边21延伸方向垂直的方向拉伸所述掩模板10，以使两个所述焊接区11分别拉伸至所述掩模框架20的两个第一侧边21，其中所述焊接区11的第一面与所述掩模框架20的第一侧边21表面相贴合；
步骤S02、将所述主框架100的按压平面110面向所述焊接区11的第二面；
步骤S03、通过所述施力结构向所述主框架100的相对两端分别施加第一按压作用力和第二按压作用力，下压所述主框架100，使所述焊接区11的第一面与所述掩模框架20的第一侧边21表面紧密贴合；
步骤S04、通过所述镂空区域120，将所述焊接区11与所述掩模框架20的第一侧边21表面焊接一起。
示例性的，当所述掩模板10为宽度小于第一预定宽度、且厚度小于第一预定厚度的第一掩模条时，所述通步骤S03具体包括：
步骤S031、通过夹持机构300在所述第一侧边21的长度延伸方向上拉伸及固定一辅助焊接条500的相对两端，使所述辅助焊接条500叠放于所述掩模板10的焊接区11的第二表面上，其中所述辅助焊接条500的长度延伸方向为所述第一侧边21的长度延伸方向；
步骤S032、通过所述施力结构向所述主框架100的相对两端分别施加第一按压作用力和第二按压作用力，以下压所述主框架100，使所述焊接区11的第一面与所述掩模框架20的第一侧边21表面紧密贴合。
其中，所述辅助焊接条500的材料选用不锈钢、镍钢和因瓦合金中的至少一种；
所述辅助焊接条500在所述第一侧边21的长度方向垂直的方向上的宽度为5～30mm，在垂直于所述第一侧边21的表面方向上的厚度为20～50μm。
示例性的，当所述掩模板10为宽度大于第而预定宽度的第二掩模条时，所述通步骤S03具体包括：
步骤S031、通过夹持机构300在所述第一侧边21的长度延伸方向上拉伸及固定一辅助焊接条500的相对两端，使所述辅助焊接条500叠放于所述掩模板10的焊接区11的第二表面上，其中所述辅助焊接条500的长度延伸方向为所述第一侧边21的长度延伸方向；
步骤S032、通过所述施力结构向所述主框架100的相对两端分别施加第一按压作用力和第二按压作用力，以下压所述主框架100，使所述焊接区11的第一面与所述掩模框架20的第一侧边21表面紧密贴合。
示例性的，所述掩模板张网装置包括：用于将掩模板10与框架进行对位的对位机构，所述对位机构包括图像采集单元；所述方法中，所述步骤S01还包括：通过所述对位机构将所述掩模板10与所述掩模框架20进行对位；
所述步骤S03之前，所述方法还包括：
采用所述图像采集单元检测所述主框架100的按压平面110的平整度，使所述按压平面110与所述掩模框架20的第一侧边21表面平整度一致。
有以下几点需要说明：
(1)本公开实施例附图只涉及到与本公开实施例涉及到的结构，其他结构可参考通常设计。
(2)为了清晰起见，在用于描述本公开的实施例的附图中，层或区域的厚度被放大或缩小，即这些附图并非按照实际的比例绘制。可以理解，当诸如层、膜、区域或基板之类的元件被称作位于另一元件“上”或“下”时，该元件可以“直接”位于另一元件“上”或“下”或者可以存在中间元件。
(3)在不冲突的情况下，本公开的实施例及实施例中的特征可以相互组合以得到新的实施例。
以上，仅为本公开的具体实施方式，但本公开的保护范围并不局限于此，本公开的保护范围应以权利要求的保护范围为准。
Claims (10)
1.一种掩模板张网组件，用于将掩模板张网于掩模框架上，所述掩模板包括位于所述掩模板的相对两端的两个焊接区，所述焊接区包括相背的第一面和第二面，所述掩模框架包括相对的两个第一侧边，所述第一面与所述掩模框架的第一侧边表面相贴合；其特征在于，所述掩模板张网组件包括：
主框架，所述主框架包括用于按压所述焊接区的第二面的按压平面及与所述按压平面相背设置的背面，所述主框架的中部设有贯通所述按压平面和所述背面的镂空区域；
及，施力结构，所述施力结构设置在所述主框架上，所述施力结构能够向所述主框架上的相对两端分别施加第一按压作用力和第二按压作用力，所述第一按压作用力和所述第二按压作用力的方向均垂直于所述按压平面、且大小相同。
2.根据权利要求1所述的掩模板张网组件，其特征在于，
所述主框架为沿所述第一侧边的长度方向延伸的长条形框架结构，所述镂空区域为沿所述第一侧边的长度方向延伸的长条形镂空区域。
3.根据权利要求1所述的掩模板张网组件，其特征在于，
所述施力结构包括：分别设置在所述主框架的相对两端的第一施力部和第二施力部，所述第一施力部和所述第二施力部中每一施力部均包括用于检测该施力部当前施加于所述主框架上的按压作用力大小的力学检测部件。
4.根据权利要求3所述的掩模板张网组件，其特征在于，
在所述主框架的相对两端中，每一端部连接有与所述主框架的按压平面平行的连接板，所述连接板上设有通孔；
每一施力部还包括：
连杆，所述连杆以垂直于所述按压平面的方向设置于所述通孔内，并能够在所述通孔内沿垂直于所述按压平面的方向往复移动，所述连杆包括相对的第一端和第二端，所述第一端为靠近所述主框架的一端，所述第二端为远离所述主框架的一端，所述力学检测部件设置于所述第二端；
及，弹性缓冲部件，所述弹性缓冲部件抵顶于所述连杆的所述第一端与所述连接板之间。
5.根据权利要求1所述的掩模板张网组件，其特征在于，
所述掩模板张网组件还包括：用于在所述第一侧边的长度延伸方向拉伸待夹持物的夹持机构。
6.一种掩模板张网装置，其特征在于，包括：如权利要求1至5任一项所述的掩模板张网组件。
7.一种掩模板张网方法，其特征在于，采用如权利要求6所述的掩模板张网装置，将掩模板张网于掩模框架上；所述方法包括：
夹持所述掩模板的相对两端，沿与所述第一侧边延伸方向垂直的方向拉伸所述掩模板，以使两个所述焊接区分别拉伸至所述掩模框架的两个第一侧边，其中所述焊接区的第一面与所述掩模框架的第一侧边表面相贴合；
将所述主框架的按压平面面向所述焊接区的第二面；
通过所述施力结构向所述主框架的相对两端分别施加第一按压作用力和第二按压作用力，下压所述主框架，使所述焊接区的第一面与所述掩模框架的第一侧边表面紧密贴合；
通过所述镂空区域，将所述焊接区与所述掩模框架的第一侧边表面焊接一起。
8.根据权利要求7所述的掩模板张网方法，其特征在于，
当所述掩模板为宽度小于第一预定宽度、且厚度小于第一预定厚度的第一掩模条时，所述通过所述施力结构向所述主框架的相对两端分别施加第一按压作用力和第二按压作用力，以下压所述主框架，使所述焊接区的第一面与所述掩模框架的第一侧边表面紧密贴合，具体包括：
通过夹持机构在所述第一侧边的长度延伸方向上拉伸及固定一辅助焊接条的相对两端，使所述辅助焊接条叠放于所述掩模板的焊接区的第二表面上，其中所述辅助焊接条的长度延伸方向为所述第一侧边的长度延伸方向；
通过所述施力结构向所述主框架的相对两端分别施加第一按压作用力和第二按压作用力，以下压所述主框架，使所述焊接区的第一面与所述掩模框架的第一侧边表面紧密贴合。
9.根据权利要求8所述的方法，其特征在于，
所述辅助焊接条的材料选用不锈钢、镍钢和因瓦合金中的至少一种；
所述辅助焊接条在所述第一侧边的长度方向垂直的方向上的宽度为5～30mm，在垂直于所述第一侧边的表面方向上的厚度为20～50μm。
10.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，
所述掩模板张网装置包括：用于将掩模板与框架进行对位的对位机构，所述对位机构包括图像采集单元；
所述方法中，所述夹持所述掩模板的相对两端，沿与所述第一侧边延伸方向垂直的方向拉伸所述掩模板，以使两个所述焊接区分别拉伸至所述掩模框架的两个第一侧边，其中所述焊接区的第一面与所述掩模框架的第一侧边表面相贴合，还包括：通过所述对位机构将所述掩模板与所述掩模框架进行对位；
所述通过所述施力结构向所述主框架的相对两端分别施加第一按压作用力和第二按压作用力，下压所述主框架，使所述焊接区的第一面与所述掩模框架的第一侧边表面紧密贴合之前，所述方法还包括：
采用所述图像采集单元检测所述主框架的按压平面的平整度，使所述按压平面与所述掩模框架的第一侧边表面平整度一致。
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