CN110359011A - 一种掩膜片固定装置、掩膜版及掩膜版的制作方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种掩膜片固定装置、掩膜版及掩膜版的制作方法。该掩膜片固定装置包括承载部，承载部上设置有用于吸附掩膜片的至少一个吸附气孔。通过在承载部上设置有用于吸附掩膜片的至少一个吸附气孔，在贴合掩膜片的过程中，吸附气孔产生吸附力吸附掩膜片，使得掩膜片更好的贴合承载部，减少了掩膜片的褶皱现象，提高了掩膜片与承载部的贴合紧密度，从而保证了掩膜片的固定强度。另外，掩膜片的褶皱减少可以提高掩膜片的对位精度，进而提高掩膜版的精度。当掩膜版用于蒸镀显示面板的不同颜色的发光材料时，可以降低显示面板的色偏和混色等风险。

Description

一种掩膜片固定装置、掩膜版及掩膜版的制作方法

技术领域

本发明实施例涉及显示技术领域，尤其涉及一种掩膜片固定装置、掩膜版及掩膜版的制作方法。

背景技术

随着科技的飞速发展，人们对于显示更加追求细节的清晰度及表现，因此，显示面板的分辨率需要进一步的提升。但是，显示面板分辨率越高，在制作显示面板时使用的掩膜版的掩膜片厚度就越薄，将掩膜片焊接到掩膜版框架上的过程中容易产生褶皱，从而增加了掩膜片的虚焊，以及显示面板的色偏、混色风险。

发明内容

本发明提供一种掩膜片固定装置、掩膜版及掩膜版的制作方法，以减少掩膜片的褶皱，提高了掩膜版的精度，同时提高了掩膜片的固定强度。

第一方面，本发明实施例提供了一种掩膜片固定装置，包括承载部，所述承载部上设置有用于吸附掩膜片的至少一个吸附气孔。

可选地，所述承载部包括焊接区，所述焊接区设置有至少一个焊点，所述焊点周围设置有所述吸附气孔。

可选地，所述焊接区包括多个焊点，所述吸附气孔为多个，所述吸附气孔围绕多个所述焊点设置。

可选地，所述焊接区包括多个焊点；多个所述焊点呈阵列排布；所述吸附气孔行与所述焊点行间隔排布，和/或，所述吸附气孔列与所述焊点列间隔排布。

可选地，相邻行或相邻列的所述吸附气孔错位排布。

可选地，所述承载部还包括吸附腔室和连通气孔；

所述连通气孔设置于所述承载部上，且与所述吸附气孔异面；所述连通气孔和所述吸附气孔通过所述吸附腔室连通。

可选地，所述承载部包括平行设置的第一边框和第二边框；

所述第一边框和所述第二边框包括焊接区，沿垂直于所述第一边框和所述第二边框的方向，所述第一边框的焊接区和所述第二边框的焊接区相对设置。

第二方面，本发明实施例还提供了一种掩膜版，包括掩膜片和掩膜片固定装置；

所述掩膜片固定装置包括承载部，所述承载部上设置有吸附气孔；

所述掩膜片固定于在所述承载部上，且覆盖所述吸附气孔。

第三方面，本发明实施例还提供了一种掩膜版的制作方法，包括：

提供掩膜片固定装置；所述掩膜片固定装置包括承载部，所述承载部上设置有吸附气孔，所述吸附气孔用于吸附掩膜片；

将所述掩膜片放置在所述承载部上，所述掩膜片的固定端覆盖所述吸附气孔；

控制所述吸附气孔吸附所述掩膜片，并将所述掩膜片固定于所述承载部上。

可选地，所述承载部包括焊接区，所述焊接区包括多个焊点，所述吸附气孔围绕多个所述焊点设置；控制所述吸附气孔吸附所述掩膜片，包括：

在所述焊接区内，沿从所述焊接区的中心向所述焊接区的边缘方向，控制所述吸附气孔依次吸附所述掩膜片。

本发明实施例的技术方案，通过在承载部上设置有用于吸附掩膜片的至少一个吸附气孔，在贴合掩膜片的过程中，吸附气孔产生吸附力吸附掩膜片，使得掩膜片更好的贴合承载部，减少了掩膜片的褶皱现象，提高了掩膜片与承载部的贴合紧密度，从而保证了掩膜片的固定强度。另外，掩膜片的褶皱减少可以提高掩膜片的对位精度，进而提高掩膜版的精度。当掩膜版用于蒸镀显示面板的不同颜色的发光材料时，可以降低显示面板的色偏和混色等风险。

附图说明

图1为现有的一种掩膜版的结构示意图；

图2为本发明实施例提供的一种掩膜片固定装置的结构示意图；

图3为本发明实施例提供的另一种掩膜片固定装置的结构示意图；

图4为本发明实施例提供的一种掩膜片固定装置焊接区的俯视图；

图5为本发明实施例提供的另一种掩膜片固定装置焊接区的俯视图；

图6为本发明实施例提供的另一种掩膜片固定装置焊接区的俯视图；

图7为本发明实施例提供的另一种掩膜片固定装置焊接区的俯视图；

图8为本发明实施例提供的另一种掩膜片固定装置焊接区的俯视图；

图9为本发明实施例提供的另一种掩膜片固定装置焊接区的俯视图；

图10为本发明实施例提供的另一种掩膜片固定装置的结构示意图；

图11为本发明实施例提供的一种掩膜版的结构示意图；

图12为本发明实施例提供的一种掩膜版的制作方法的流程图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本发明作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本发明，而非对本发明的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本发明相关的部分而非全部结构。

图1为现有的一种掩膜版的结构示意图。如图1所示，掩膜版包括掩膜片固定装置10和掩膜片20。掩膜片固定装置10为中间镂空的结构，掩膜片固定装置10包括用于焊接掩膜片20的焊接区101。在制作掩膜版的过程中，夹爪夹持掩膜片20的夹持部分201，拉伸掩膜片20，使掩膜片20贴合到掩膜片固定装置的焊接区101，然后焊接掩膜片20至焊接区101，从而形成掩膜版。但是，随着显示面板的分辨率的提高，对掩膜版的精度要求越高，使得形成掩膜版的掩膜片20的厚度就越薄。由于掩膜片20的厚度太薄，在夹爪夹持掩膜片20进行拉伸的过程中，掩膜片20因拉伸过程中受力不均匀容易产生褶皱现象，进而使得掩膜片20与掩膜片固定装置10的焊接区101贴合不紧密，增加了掩膜片20与焊接区101的虚焊概率。另外，掩膜片20产生褶皱现象会降低掩膜片20的对位精度。因此，采用掩膜版蒸镀显示面板的膜层，例如蒸镀不同颜色子像素的发光层时，容易将一个子像素对应颜色的发光层材料蒸镀到与其相邻的子像素中，从而增加了不同发光颜色的材料蒸镀的色偏、混色风险。

针对上述技术问题，本发明实施例提供了一种掩膜片固定装置。图2为本发明实施例提供的一种掩膜片固定装置的结构示意图。如图2所示，该掩膜片固定装置100包括承载部110，承载部110上设置有用于吸附掩膜片的至少一个吸附气孔111。

如图2所示，掩膜片固定装置100可以为掩膜版框架，掩膜版框架为中间镂空结构。承载部110可以为掩膜版框架的两个平行的边框，用于放置掩膜片。吸附气孔111可以产生吸附力。在掩膜片(图2中未示出)贴合到承载部110时，吸附气孔111产生吸附力吸附掩膜片，使得掩膜片更好的贴合承载部110，减少了掩膜片的褶皱现象，提高了掩膜片与承载部110的贴合紧密度，从而保证了掩膜片的固定强度。另外，掩膜片的褶皱减少可以提高掩膜片的对位精度，进而提高掩膜版的精度。当掩膜版用于蒸镀显示面板的不同颜色的发光材料时，可以降低显示面板的色偏和混色等风险。

需要说明的是，吸附气孔111通过吸附气孔111两侧的压强不同产生吸附力。例如，当吸附气孔111远离掩膜片的一侧的压强比较小时，吸附气孔111位于掩膜片的一侧压强比较大，则掩膜片与吸附气孔111之间的气体向远离掩膜片的一侧流动，此时吸附气孔111具有吸附力。吸附气孔111远离掩膜片的一侧的压强可以通过外部的低压强形成***形成低压强环境。例如，吸附气孔111远离掩膜片的一侧与抽真空***连通，当抽真空***进行抽真空时，吸附气孔111远离掩膜片的一侧的压强减小，从而可以在吸附气孔111两侧产生压强差，进而使吸附气孔111具有吸附力。

另外，在掩膜片贴合到承载部110的过程中，检测单元可以检测掩膜片与承载部110的相对位置关系。在垂直于承载部110的方向上，当掩膜片与承载部110的距离小于目标值时，掩膜片与承载部110完成第一次贴合，然后吸附气孔111开始产生吸附力，吸附掩膜片，使得掩膜片与承载部110完成第二次贴合，从而提高了掩膜片与承载部110的贴合紧密度。

本实施例的技术方案，通过在承载部上设置有用于吸附掩膜片的至少一个吸附气孔，在贴合掩膜片的过程中，吸附气孔产生吸附力吸附掩膜片，使得掩膜片更好的贴合承载部，减少了掩膜片的褶皱现象，提高了掩膜片与承载部的贴合紧密度，从而保证了掩膜片的固定强度。另外，掩膜片的褶皱减少可以提高掩膜片的对位精度，进而提高掩膜版的精度。当掩膜版用于蒸镀显示面板的不同颜色的发光材料时，可以降低显示面板的色偏和混色等风险。

图3为本发明实施例提供的另一种掩膜片固定装置的结构示意图。如图3所示，承载部110包括焊接区112，焊接区112设置有至少一个焊点113，焊点113周围设置有吸附气孔111。

具体地，当掩膜片通过焊接与承载部110实现固定时，承载部110可以包括焊接区112，焊接区112中包括焊点113，用于焊接掩膜片。在焊接掩膜片的过程中，焊点113熔化连接掩膜片与承载部。焊点113周围设置吸附气孔111，在掩膜片贴合到焊接区112时，吸附气孔111开始产生吸附力，使得掩膜片更好的贴合到焊接区112，在吸附气孔111将掩膜片更好的贴合后，使得在熔化焊点113焊接掩膜片与承载部110时，减少了掩膜片与焊接区112贴合不紧密形成的褶皱现象。而且，吸附气孔111在吸附过程中，可以将焊接过程中产生的热量吸附至吸附气孔111内，减少了焊接区112的热量，从而降低了焊接过程中焊接区112的热效应对焊接效果的不良影响，提高了焊接的可靠性。

需要说明的是，本实施例对吸附气孔111的数量，以及吸附气孔111与焊点113的相对位置不做限定，图3中示例性地示出吸附气孔111围绕焊点113设置。而且，图3仅是示例性地示出了焊点113和吸附气孔111为圆形，本发明实施例对焊点113以及吸附气孔111的形状不做限定。例如，焊点113和吸附气孔111还可以为多边形等。

示例性地，图4为本发明实施例提供的一种掩膜片固定装置焊接区的俯视图。如图4所示，焊接区112包括多个焊点113，吸附气孔111为多个，吸附气孔111围绕多个焊点113设置。

具体地，吸附气孔111围绕多个焊点113设置，使得吸附气孔111在产生吸附力时，可以对焊接区112内的掩膜片进行吸附，从而可以使掩膜片在焊接区112受到的吸附力均匀，避免掩膜片出现翘起的现象。另外，吸附气孔111在吸附过程中，多个吸附气孔111可以将焊接过程中产生的热量更多的吸附至吸附气孔111内，进一步地减少了焊接区112的热量，降低了焊接过程中焊接区112的热效应对焊接效果的不良影响，提高了焊接的可靠性。

另外，每个吸附气孔111可以被单独控制产生吸附力。当焊接区112包括多个焊点113时，可以从焊接区112中间位置对应的吸附气孔111开始产生吸附力，然后依次向焊接区112的两端的方向延伸，依次使吸附气孔111产生吸附力。示例性地，继续参考图4，焊接区112为矩形，焊接区112包括对称轴AA’。在掩膜片与焊接区112第一次贴合后，对称轴AA’上的吸附气孔111开始产生吸附力，对掩膜片进行吸附。然后沿着向焊接区112的两端延伸的第一方向X1和第二方向X2，依次使吸附气孔111产生吸附力，对掩膜片进行吸附。从焊接区112的中间位置向两端的方向依次使吸附气孔111产生吸附力，使掩膜片从中间区域开始与焊接区112紧密贴合，然后依次使掩膜片的两侧区域与焊接区112紧密贴合，可以避免掩膜片拉伸不平整，掩膜片的两侧区域与焊接区112紧密贴合导致掩膜片的中间区域凸起或凹陷产生褶皱的现象，因此可以进一步地减少掩膜片的褶皱，提高了掩膜片与焊接区112的贴合紧密度，从而保证了掩膜片的固定强度。另外，掩膜片的褶皱减少可以提高掩膜片的对位精度，进而提高掩膜版的精度。

需要说明的是，吸附气孔111与焊点113之间的距离可以根据需要的吸附气孔111的吸附力作用调节，本发明实施例不做限定。

图5为本发明实施例提供的另一种掩膜片固定装置焊接区的俯视图。如图5所示，焊接区112包括多个焊点113；多个焊点113呈阵列排布；吸附气孔111行与焊点113行间隔排布。

具体地，吸附气孔111行与焊点113行间隔排布，使得每个焊点113的周围均设置有吸附气孔111。相对于图4中的吸附气孔111围绕多个焊点113的排布，不仅能够使焊接区112不同位置对应的掩膜片受到的吸附力更加均匀，而且在焊接时每个焊点113散处的热量均能够被其周围的吸附气孔111吸附，从而可以使吸附气孔111更加均匀的吸附焊接区112的热量。

图6为本发明实施例提供的另一种掩膜片固定装置焊接区的俯视图。如图6所示，吸附气孔111列与焊点113列间隔排布。

具体地，吸附气孔111列与焊点113列间隔排布，同样可以使每个焊点113的周围均设置有吸附气孔111。其有益效果与图5中的吸附气孔111行与焊点113行间隔排布的有益效果相同，此处不再赘述。

图7为本发明实施例提供的另一种掩膜片固定装置焊接区的俯视图。如图7所示，吸附气孔111行与焊点113行间隔排布，并且吸附气孔111列与焊点113列间隔排布。

具体地，吸附气孔111行与焊点113行间隔排布，并且吸附气孔111列与焊点113列间隔排布，使得每个焊点113的周围设置的吸附气孔111增加。因此，相对于图5和图6中吸附气孔111的排布，可以进一步地提高焊接区112不同位置对应的掩膜片受到的吸附力的均匀性，而且在焊接时每个焊点113散处的热量均能够被其周围的吸附气孔111吸附，从而可以使吸附气孔111更加均匀的吸附焊接区112的热量。

图8为本发明实施例提供的另一种掩膜片固定装置焊接区的俯视图。如图8所示，相邻行或相邻列的吸附气孔111错位排布。

具体地，图8示例性地示出了相邻行的吸附气孔111错位排布的结构。相邻行的吸附气孔111错位排布，可以使焊点113周围的吸附气孔111排布更加均匀，进而提高了焊接区112不同位置对应的掩膜片受到的吸附力的均匀性，而且在焊接时每个焊点113散处的热量均能够被其周围的吸附气孔111吸附，从而可以使吸附气孔111更加均匀的吸附焊接区112的热量。

需要说明的是，在其他实施例中，相邻列的吸附气孔111也可以错位排布。其有益效果与相邻行的吸附气孔111错位排布的有益效果相同，此处不再赘述。

在其他实施例中，吸附气孔的行与焊点的行还可以间隔错位排布。图9为本发明实施例提供的另一种掩膜片固定装置焊接区的俯视图。如图9所示，吸附气孔111的行与焊点113的行间隔错位排布，此时焊点113的周围设置的吸附气孔111增加，因此可以进一步地提高焊接区112不同位置对应的掩膜片受到的吸附力的均匀性，而且在焊接时每个焊点113散处的热量均能够被其周围的吸附气孔111吸附，从而可以使吸附气孔111更加均匀的吸附焊接区112的热量。

图10为本发明实施例提供的另一种掩膜片固定装置的结构示意图。如图10所示，承载部110还包括吸附腔室114和连通气孔115；连通气孔115设置于承载部110上，且与吸附气孔111异面设置；连通气孔115和吸附气孔111通过吸附腔室114连通。

示例性地，承载部110可以为长方体，吸附气孔111与连通气孔115在承载部110不同的表面。示例性地，如图10所示，吸附气孔111在承载部110的上表面，连通气孔115可以设置在承载部110的前后表面或下表面。在同一焊接区112内，吸附腔室114可以包括一个或多个。连通气孔115和吸附腔室114的数量可以与吸附气孔111一一对应，从而可以实现对吸附气孔111的单独控制。

连通气孔115和吸附气孔111通过吸附腔室114连通，而连通气孔115可以与外部的低压强形成***(图10中未示出)连通，通过外部的低压强形成***使连通气孔115和吸附腔室114产生低压强环境，从而使吸附气孔111在掩膜片与焊接区112之间产生吸附力。示例性地，连通气孔115可以与抽真空***连通。当吸附气孔111需要产生吸附力时，抽真空***开始通过连通气孔115对吸附腔室114进行抽真空，使得吸附腔室114形成低压强环境，然后通过吸附气孔111产生吸附力吸附掩膜片。

继续参考图10，承载部110包括平行设置的第一边框116和第二边框117；第一边框116和第二边框117包括焊接区112，沿垂直于第一边框116和第二边框117的方向，第一边框116的焊接区112和第二边框117的焊接区112相对设置。

示例性地，掩膜片固定装置100可以为掩膜版框架。第一边框116和第二边框117用于焊接掩膜片。在焊接掩膜片时，第一边框116和第二边框117的焊接区112分别对掩膜片两端进行焊接，使掩膜片固定于掩膜版框架上。

另外，连通气孔115可以设置于第一边框116和第二边框117中不与掩膜片接触的表面，从而通过连通气孔115与外部的抽真空***连通，实现吸附气孔111的吸附作用。示例性地，如图10所示，位于第一边框116上的连通气孔115可以设置于第一边框116远离第二边框117的表面，位于第二边框117上的连通气孔115可以设置于第二边框117远离第一边框116的表面，此时可以使连通气孔115容易与外部的低压强形成***连通，降低了吸附气孔111产生吸附力的操作难度。

本发明实施例还提供一种掩膜版。图11为本发明实施例提供的一种掩膜版的结构示意图。如图11所示，掩膜版包括掩膜片200和掩膜片固定装置100；掩膜片固定装置100包括承载部110，承载部上110设置有吸附气孔111；掩膜片200固定于在承载部100上，且覆盖吸附气孔111。

具体地，在掩膜片200贴合到承载部110时，吸附气孔111产生吸附力吸附掩膜片200，使得掩膜片200更好的贴合承载部110，减少了掩膜片200的褶皱现象，提高了掩膜片200与承载部110的贴合紧密度，从而保证了掩膜片200的固定强度。另外，掩膜片200的褶皱减少可以提高掩膜片200的对位精度，进而提高掩膜版的精度。当掩膜版用于蒸镀显示面板的不同颜色的发光材料时，可以降低显示面板的色偏和混色等风险。

本发明实施例还提供一种掩膜版的制作方法。图12为本发明实施例提供的一种掩膜版的制作方法的流程图。如图12所示，该制作方法包括：

S121、提供掩膜片固定装置；掩膜片固定装置包括承载部，承载部上设置有吸附气孔，吸附气孔用于吸附掩膜片。

S122、将掩膜片放置在承载部上，掩膜片的固定端覆盖吸附气孔。

具体地，掩膜片放置在承载部上，使掩膜片与承载部完成第一次贴合。掩膜片的固定端覆盖吸附气孔，当吸附气孔产生吸附力时，可以对覆盖吸附气孔的掩膜片进行吸附。

S123、控制吸附气孔吸附掩膜片，并将掩膜片固定于承载部上。

具体地，控制吸附气孔吸附掩膜片，使得掩膜片与承载部实现第二次贴合，从而可以提高掩膜片与承载部的贴合紧密度，从而保证了掩膜片的固定强度。另外，掩膜片的褶皱减少可以提高掩膜片的对位精度，进而提高掩膜版的精度。当掩膜版用于蒸镀显示面板的不同颜色的发光材料时，可以降低显示面板的色偏和混色等风险。

本实施例的技术方案，将掩膜片放置在承载部上后，控制吸附气孔吸附掩膜片，使得掩膜片与承载部之间能够实现紧密贴合，从而保证了掩膜片的固定强度。另外，掩膜片的褶皱减少可以提高掩膜片的对位精度，进而提高掩膜版的精度。当掩膜版用于蒸镀显示面板的不同颜色的发光材料时，可以降低显示面板的色偏和混色等风险。

在上述技术方案的基础上，当承载部包括焊接区，焊接区包括多个焊点，吸附气孔围绕多个焊点设置时，控制吸附气孔吸附掩膜片，包括：

在焊接区内，沿从焊接区的中心向焊接区的边缘方向，控制吸附气孔依次吸附掩膜片。

具体地，通过从焊接区的中心向焊接区的边缘方向依次吸附掩膜片，可以避免焊接区边缘对应的掩膜片与焊接区先贴合，而焊接区中心对应的掩膜版后贴合造成的掩膜片褶皱，从而可以保证掩膜片的贴合紧密度，进一步地减少掩膜片的褶皱，从而保证了掩膜片的固定强度。另外，掩膜片的褶皱减少可以提高掩膜片的对位精度，进而提高掩膜版的精度。

注意，上述仅为本发明的较佳实施例及所运用技术原理。本领域技术人员会理解，本发明不限于这里所述的特定实施例，对本领域技术人员来说能够进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本发明的保护范围。因此，虽然通过以上实施例对本发明进行了较为详细的说明，但是本发明不仅仅限于以上实施例，在不脱离本发明构思的情况下，还可以包括更多其他等效实施例，而本发明的范围由所附的权利要求范围决定。

Claims (10)

1.一种掩膜片固定装置，其特征在于，包括承载部，所述承载部上设置有用于吸附掩膜片的至少一个吸附气孔。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述承载部包括焊接区，所述焊接区设置有至少一个焊点，所述焊点周围设置有所述吸附气孔。

3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述焊接区包括多个焊点，所述吸附气孔为多个，所述吸附气孔围绕多个所述焊点设置。

4.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述焊接区包括多个焊点；多个所述焊点呈阵列排布；所述吸附气孔行与所述焊点行间隔排布，和/或，所述吸附气孔列与所述焊点列间隔排布。

5.根据权利要求4所述的装置，其特征在于，相邻行或相邻列的所述吸附气孔错位排布。

6.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述承载部还包括吸附腔室和连通气孔；

所述连通气孔设置于所述承载部上，且与所述吸附气孔异面；所述连通气孔和所述吸附气孔通过所述吸附腔室连通。

7.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述承载部包括平行设置的第一边框和第二边框；

所述第一边框和所述第二边框包括焊接区，沿垂直于所述第一边框和所述第二边框的方向，所述第一边框的焊接区和所述第二边框的焊接区相对设置。

8.一种掩膜版，其特征在于，包括掩膜片和掩膜片固定装置；

所述掩膜片固定装置包括承载部，所述承载部上设置有吸附气孔；

所述掩膜片固定于在所述承载部上，且覆盖所述吸附气孔。

9.一种掩膜版的制作方法，其特征在于，包括：

提供掩膜片固定装置；所述掩膜片固定装置包括承载部，所述承载部上设置有吸附气孔，所述吸附气孔用于吸附掩膜片；

将所述掩膜片放置在所述承载部上，所述掩膜片的固定端覆盖所述吸附气孔；

控制所述吸附气孔吸附所述掩膜片，并将所述掩膜片固定于所述承载部上。

10.根据权利要求9所述的掩膜版的制作方法，其特征在于，所述承载部包括焊接区，所述焊接区包括多个焊点，所述吸附气孔围绕多个所述焊点设置；控制所述吸附气孔吸附所述掩膜片，包括：

在所述焊接区内，沿从所述焊接区的中心向所述焊接区的边缘方向，控制所述吸附气孔依次吸附所述掩膜片。