CN114905150B - 一种掩膜张网焊接设备 - Google Patents

Abstract

本发明实施例公开了一种掩膜张网焊接设备，该焊接设备包括：框架，用于承载掩膜版，掩膜版包括相对的第一侧和第二侧以及相对的第三侧和第四侧；夹持拉伸装置，用于夹紧掩膜版的第一侧和第二侧，并带动掩膜版的第一侧和第二侧相向或相背运动；柔性圧触装置，柔性压触装置包括柔性压杆组件，且柔性压杆组件在第一方向、第二方向和第三方向均具备自由度，用于贴合掩膜版以将其第三侧和第四侧与框架压紧，第一方向平行于掩膜版的第一侧，第二方向平行于掩膜版的第三侧，第三方向垂直于掩膜版；激光器，用于将掩膜版焊接在框架上。本发明实施例中，掩膜版被柔性圧触装置圧触在框架上再焊接，可提高焊接过程中掩膜拉应力稳定性，提高焊接质量。

Description

一种掩膜张网焊接设备

技术领域

本发明实施例涉及焊接技术领域，尤其涉及一种掩膜张网焊接设备。

背景技术

光学掩膜版是在薄膜、塑料或玻璃基体材料上制作各种功能图形并精确定位，以便用于光致抗蚀剂涂层选择性曝光的一种结构。掩膜版应用十分广泛，在涉及光刻工艺的领域都需要使用掩膜版，如IC、显示面板等等。

在制作显示面板时，需要预先采用激光器将掩膜版焊接在用于制造平面显示面板的框架上，然后采用该掩膜版框架制作平面显示面板。激光器焊接时将掩膜版和框架高温熔融结合在一起，完成焊接动作。

然而焊接过程中，焊点处的金属熔化容易造成掩膜版内部拉伸应力发生变化，从而造成掩膜版表面的图案移动引起掩膜版的报废。

发明内容

本发明实施例提供一种掩膜张网焊接设备，以解决现有焊接过程中掩膜版内部应力变化的问题。

本发明实施例提供了一种掩膜张网焊接设备，包括：

框架，用于承载掩膜版，所述掩膜版包括相对的第一侧和第二侧以及相对的第三侧和第四侧；

夹持拉伸装置，用于夹紧所述掩膜版的第一侧和第二侧，并带动所述掩膜版的第一侧和第二侧相向或相背运动；

柔性圧触装置，所述柔性压触装置包括柔性压杆组件，且所述柔性压杆组件在第一方向、第二方向和第三方向均具备自由度，用于贴合所述掩膜版以将其第三侧和第四侧与所述框架压紧，所述第一方向平行于所述掩膜版的第一侧，所述第二方向平行于所述掩膜版的第三侧，所述第三方向垂直于所述掩膜版；

激光器，用于将所述掩膜版焊接在所述框架上。

进一步地，所述夹持拉伸装置沿所述框架的第一对称轴对称分布，且所述柔性压杆组件沿所述框架的第二对称轴对称分布；

其中，所述框架的第一对称轴垂直于其第二对称轴。

进一步地，所述掩膜版的第三侧和第四侧分别设置有焊点组，所述焊点组包括沿所述第一方向排列的至少一个焊点串，每个所述焊点串包括至少一个焊点。

进一步地，焊接时，所述柔性压杆组件的贴合位置与待焊接焊点串位置相邻且间隔设置。

进一步地，还包括：底座，所述夹持拉伸装置包括设置在所述底座上的至少两个夹持拉伸单元；

所述夹持拉伸单元的延伸方向平行于所述第一方向，所述夹持拉伸单元的位移方向平行于所述第二方向，相邻两个所述夹持拉伸单元的位移方向相反。

进一步地，所述柔性圧触装置还包括与所述柔性压杆组件连接的水平向位置调整单元和垂直向位置调整单元；

所述水平向位置调整单元用于带动所述柔性压杆组件沿平行于所述掩膜版的方向运动，所述垂直向位置调整单元用于带动所述柔性压杆组件沿垂直于所述掩膜版的方向运动。

进一步地，所述柔性压杆组件包括相对设置的两个柔性压杆单元，且所述柔性压杆单元包括压杆和柔性圧触结构，所述压杆的延伸方向与所述第二方向平行；

所述柔性圧触结构包括固定在所述压杆上的压杆连接板、压触板及弹性连接所述压杆连接板和所述压触板的至少两个柔性件，所述压触板位于所述压杆连接板面向所述掩膜版的一侧，所述至少两个柔性件用于在所述圧触板贴合所述掩膜版过程中产生形变，以调整所述压触板与所述掩膜版的平行度。

进一步地，所述压杆上连接有沿所述第二方向排布的至少两个所述柔性压触结构。

进一步地，所述柔性圧触结构包括沿所述第二方向排布且非共线排布的至少三个所述柔性件。

进一步地，所述柔性压触结构还包括螺栓，所述螺栓用于将所述压触板连接在所述压杆连接板上。

进一步地，所述柔性件包括螺套和位于所述螺套内的螺旋弹簧，所述螺套用于调整所述螺旋弹簧的预紧力。

本发明实施例提供的掩膜张网焊接设备，包括夹持拉伸装置和柔性圧触装置，掩膜版受到夹持拉伸装置的拉力作用，再被柔性圧触装置柔性圧触在框架上，柔性圧触装置在第一方向、第二方向和第三方向均具备自由度，可以自适应贴合掩膜版，然后进行焊接，则焊接过程中，在柔性圧触装置的压力作用下，焊点处的金属熔化，不会出现掩膜版内部用于抵抗拉伸的应力发生变化的问题，提高了焊接过程中掩膜拉力稳定性，解决了现有技术中焊接时拉力应力变化导致掩膜版表面图案移动的问题，提高了掩膜版良率；另外，掩膜版与框架压紧后，熔融金属液体也不会流动至掩膜版与框架的缝隙位置，解决了焊接不牢或虚焊现象，提高了掩膜版焊接成功率和焊接质量。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图做一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图虽然是本发明的一些具体的实施例，对于本领域的技术人员来说，可以根据本发明的各种实施例所揭示和提示的器件结构，驱动方法和制造方法的基本概念，拓展和延伸到其它的结构和附图，毋庸置疑这些都应该是在本发明的权利要求范围之内。

图1是本发明实施例提供的一种掩膜张网焊接设备的示意图；

图2是图1沿A-A'的剖视图；

图3是掩膜版焊接位置的示意图；

图4是焊接过程中柔性圧触装置和掩膜版焊接位置的示意图；

图5是本发明实施例提供的一种掩膜张网焊接设备的整体示意图；

图6是柔性圧触装置的示意图；

图7是柔性压杆单元的示意图；

图8是柔性圧触结构的示意图。

具体实施方式

为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，以下将参照本发明实施例中的附图，通过实施方式清楚、完整地描述本发明的技术方案，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例所揭示和提示的基本概念，本领域的技术人员所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

参考图1所示，为本发明实施例提供的一种掩膜张网焊接设备的示意图。图2是图1沿A-A'的剖视图。本实施例中掩膜张网焊接设备包括：框架4，用于承载掩膜版5，掩膜版5包括相对的第一侧5a和第二侧以及相对的第三侧5b和第四侧；夹持拉伸装置1，用于夹紧掩膜版5的第一侧5a和第二侧，并带动掩膜版5的第一侧5a和第二侧相向或相背运动；柔性圧触装置，柔性压触装置包括柔性压杆组件2a，且柔性压杆组件2a在第一方向X、第二方向Y和第三方向Z均具备自由度，用于贴合掩膜版5以将其第三侧5b和第四侧与框架4压紧，第一方向X平行于掩膜版5的第一侧5a，第二方向Y平行于掩膜版5的第三侧5b，第三方向Z垂直于掩膜版5；激光器3，用于将掩膜版5焊接在框架4上。

本实施例中，框架4可用于承载掩膜版5，实际中，框架4具体为用于制造平面显示面板的框架4。该制造平面显示面板的框架4可适用于制造液晶显示面板、有机发光显示面板、量子点显示面板或其他类型显示面板。相应的，根据所制造的显示面板类型的不同，掩膜版的图案根据显示面板结构的不同而变化。可以理解，框架还可以是制造其他设备的框架，在此不对框架的具体结构和掩膜版的掩膜图案进行具体限定，本发明实施例提供的掩膜张网焊接设备可适用于任意一种掩膜版和与其对应的框架。

掩膜版5通常为方形，则其包括相对的第一侧5a和第二侧以及相对的第三侧5b和第四侧，可选第一侧5a和第二侧沿图1中水平方向即第一方向X延伸，第三侧5b和第四侧沿图1中垂直方向即第二方向Y延伸。掩膜版5的形状、图案等结构并非固定不变的，根据其所制造产品的不同，掩膜版5的结构也发生相应变化，在此不对掩膜版的结构进行具体限定。

夹持拉伸装置1用于夹紧掩膜版5的第一侧5a和第二侧，并带动掩膜版5的第一侧5a和第二侧相向或相背运动，相背运动使掩膜版5拉伸后，掩膜版5的边缘延伸至框架4的***，相向运动使掩膜版5放松。夹持拉伸装置1包括至少两个夹持拉伸单元，分别位于掩膜版5的第一侧5a和第二侧，并夹紧掩膜版5的第一侧5a和第二侧。那么夹紧后两个夹持拉伸单元相背运动时可以沿平行于第二方向Y的方向拉伸掩膜版5，或者，夹紧后两个夹持拉伸单元相向运动时可以沿平行于第二方向Y的方向放松掩膜版5。拉伸后，掩膜版5的第一侧5a和第二侧边缘延伸至框架4的***，则能够在后续焊接中将掩膜版5焊接在框架4上。

柔性圧触装置包括柔性压杆组件2a，柔性圧触装置可以控制柔性压杆组件2a在第一方向X、第二方向Y和第三方向Z均具备自由度。则柔性圧触装置可以控制柔性压杆组件2a在X方向上如图1示的左右位移，柔性圧触装置可以控制柔性压杆组件2a在Y方向上如图1示的上下位移，那么柔性压杆组件2a根据与掩膜版5的贴合位置，可以在X-Y平面内位移，直到移动至贴合位置的上方，可以理解，贴合位置位于焊接位置附近的上方。柔性圧触装置可以控制柔性压杆组件2a在Z方向上如图2示的垂向位移，柔性压杆组件2a移动至贴合位置的上方后，可以在Z方向上垂向移动，直至与掩膜版5柔性贴合。如此，采用柔性圧触装置，可以消除掩膜版5与框架4之间的缝隙。

可以理解，柔性圧触装置控制柔性压杆组件2a在X方向上如图1示的左右位移时，柔性压杆组件2a中的两个柔性压杆单元可以是相向或相背运动。图1和图2中仅简单示出了柔性压杆组件中两个柔性压杆单元位置，可以理解，柔性压杆组件的结构还包括其他，图中并未完全示出。

柔性压杆组件2a用于圧触掩膜版5的第三侧5b和第四侧，使圧触后掩膜版5的第三侧5b和第四侧与框架4柔性压紧，则消除了掩膜版5与框架4之间的缝隙。柔性压杆组件2a位于掩膜版5的第三侧5b和第四侧，且位于掩膜版5的背离框架4的一侧表面上。具体的，夹紧拉伸后，柔性压杆组件2a位移至掩膜版5的贴合位置上且垂直下压至掩膜版5上，将掩膜版5的第三侧5b与框架4压紧且将掩膜版5的第四侧与框架4压紧。可以理解，柔性压杆组件2a圧触的掩膜版5的第三侧5b和第四侧为掩膜版的焊接区域。焊接前，采用柔性压杆组件2a压紧掩膜版5和框架4，其柔性压紧特性可以消除掩膜版5和框架4之间的缝隙，避免掩膜版5熔融金属液体流动至与框架4的缝隙位置的现象，防止出现焊接不牢或虚焊现象。

激光器3用于将掩膜版5焊接在框架4上，具体的，激光器3将掩膜版5的第三侧5b焊接在框架4上，且将掩膜版5的第四侧焊接在框架4上。掩膜版5被夹持拉伸装置1拉伸后，再通过柔性压杆组件2a将掩膜版5压紧在框架4上，然后通过激光器3将掩膜版5焊接在用于制造平面显示面板的框架4上。激光器3将掩膜版5与框架4高温熔融，将二者结合在一起，完成焊接动作。

可选夹持拉伸装置1沿框架4的第一对称轴B-B'对称分布，且柔性压杆组件2a沿框架4的第二对称轴C-C'对称分布；其中，框架4的第一对称轴B-B'垂直于其第二对称轴C-C'。

本实施例中，夹持拉伸装置1用于夹紧拉伸掩膜版5的第一侧5a和第二侧，因此夹持拉伸装置1应沿着框架4的第一对称轴B-B'对称分布，便于分别夹紧拉伸掩膜版5的第一侧5a和第二侧。柔性压杆组件2a用于圧触掩膜版5的第三侧5b和第四侧，因此柔性压杆组件2a应沿着框架4的第二对称轴C-C'对称分布，便于分别圧触掩膜版5的第三侧5b和第四侧。已知掩膜版5通常为方形，即其第一侧5a和第三侧5b垂直，那么可选框架4的第一对称轴B-B'垂直于其第二对称轴C-C'，使得夹持拉伸装置1和柔性压杆组件2a沿框架4中心对称分布。

本发明实施例提供的掩膜张网焊接设备，包括夹持拉伸装置和柔性圧触装置，掩膜版受到夹持拉伸装置的拉力作用，再被柔性圧触装置柔性圧触在框架上，柔性圧触装置在第一方向、第二方向和第三方向均具备自由度，可以自适应贴合掩膜版，然后进行焊接，则焊接过程中，在柔性圧触装置的压力作用下，焊点处的金属熔化，不会出现掩膜版内部用于抵抗拉伸的应力发生变化的问题，提高了焊接过程中掩膜拉力稳定性，解决了现有技术中焊接时拉力应力变化导致掩膜版表面图案移动的问题，提高了掩膜版良率；另外，掩膜版与框架压紧后，熔融金属液体也不会流动至掩膜版与框架的缝隙位置，解决了焊接不牢或虚焊现象，提高了掩膜版焊接成功率和焊接质量。

参考图3所示，可选掩膜版5的第三侧5b和第四侧5c分别设置有焊点组51，焊点组51包括沿第一方向X排列的至少一个焊点串51a，每个焊点串51a包括至少一个焊点511。

本实施例中，掩膜版5的第三侧5b和第四侧5c分别设置有焊点组51，焊点组51中各个焊点511即为焊接时激光器的焊接位置，激光器在焊点511位置处熔融金属以焊接掩膜版5和框架。可以理解，掩膜版通常为金属掩膜版，激光焊接熔融金属即为激光器在焊接时熔融焊点处的金属掩膜版，使其与框架焊接在一起。

需要说明的是，掩膜版尺寸、形状等参数发生变化时，焊点组及其中焊点的数量、位置等均可能发生变化，并非固定不变的，相关从业人员可根据产品所需合理设计掩膜版与框架的焊接位置。

参考图4所示，可选焊接时，柔性压杆组件2a的贴合位置与待焊接焊点串51a位置相邻且间隔设置。焊接时，柔性压杆组件2a与掩膜版5的贴合位置靠近待焊接焊点串51a，可以保证掩膜版5的待焊接位置与框架压紧，使得掩膜版5的待焊接位置与框架之间不存在缝隙，避免了焊接时熔融金属液体流至掩膜版5与框架之间缝隙的问题，提高了焊接稳定性和焊接质量。可以理解，掩膜版5上的焊点511沿X向成列分布，柔性压杆组件2a会根据待焊点位置的不同而沿X向移动以调整与掩膜版5的贴合位置。

参考图5所示，可选掩膜张网焊接设备还包括：底座107，夹持拉伸装置1包括设置在底座107上的至少两个夹持拉伸单元101～106；夹持拉伸单元101～106的延伸方向X平行于第一方向X，夹持拉伸单元101～106的位移方向Y平行于第二方向，相邻两个夹持拉伸单元的位移方向相反。

本实施例中，夹持拉伸装置1包括至少两个夹持拉伸单元，每个夹持拉伸单元的延伸方向X均与掩膜版第一侧延伸方向平行，夹持拉伸单元的运动即位移方向Y平行于掩膜版所在平面且垂直于掩膜版第一侧延伸方向。

可选夹持拉伸装置1包括6个夹持拉伸单元，依次标记为101、102、103、104、105和106；相邻两个夹持拉伸单元之间可以夹持一个掩膜版，那么该夹持拉伸装置1中最多可以夹持5个掩膜版。可以理解，5个掩膜版可以共用一个柔性圧触装置，即柔性圧触装置移动并圧触时，可以同时圧触5个并列排布的掩膜版。

采用该夹持拉伸装置1时，可以同步对至少2个掩膜版进行焊接，提高了焊接效率。

参考图5和图6所示，可选柔性圧触装置2还包括与柔性压杆组件2a连接的水平向位置调整单元201和垂直向位置调整单元202；水平向位置调整单元201用于带动柔性压杆组件2a沿平行于掩膜版的方向运动，垂直向位置调整单元202用于带动柔性压杆组件2a沿垂直于掩膜版的方向运动。

本实施例中，柔性圧触装置2设置在底座107上，该柔性圧触装置2包括一柔性压杆组件2a，柔性压杆组件2a圧触夹持拉伸装置1夹持的各掩膜版的第三侧与框架，还圧触夹持拉伸装置1夹持的各掩膜版的第四侧与框架，图5和图6中仅示出了柔性压杆组件2a的一侧结构。可以理解，柔性压杆组件2a包括相对设置的两个柔性压杆单元，该柔性压杆单元的延伸方向平行于第二方向Y；其中一个柔性压杆单元用于圧触掩膜版的第三侧与框架，另一个柔性压杆单元用于圧触掩膜版的第四侧与框架。在其他实施例中，柔性圧触装置还可以包括多个柔性压杆组件，例如相邻两个夹持拉伸单元对应设置一个柔性压杆组件。

柔性圧触装置2包括水平向位置调整单元201和垂直向位置调整单元202。圧触时，水平向位置调整单元201带动柔性压杆组件2a在X-Y平面内运动，使得柔性压杆组件2a到达掩膜版待圧触位置的上方，然后垂直向位置调整单元202带动柔性压杆组件2a沿垂直于掩膜版的方向Z运动，使得柔性压杆组件2a圧触掩膜版和框架。放松时，垂直向位置调整单元202带动柔性压杆组件2a向远离掩膜版的方向垂直运动，使得柔性压杆组件2a上升以放松掩膜版和框架，然后水平向位置调整单元201带动柔性压杆组件2a在X-Y平面内运动，使得柔性压杆组件2a远离掩膜版。

可选放松时，夹持拉伸装置1位于柔性压杆组件2a的内侧，圧触时，柔性压杆组件2a从掩膜版的外侧运动至掩膜版上方，再向下压紧掩膜版和框架。

需要说明的是，水平向位置调整单元由水平向伺服电机进行驱动，以使柔性压杆组件运动到正确的圧触位置上方。垂直向位置调整单元由垂直向伺服电机进行驱动，为压紧提供动力，保证垂向运动精确控制。

参考图7和图8所示，柔性压杆组件包括相对设置的两个柔性压杆单元203，且柔性压杆单元203包括压杆204和柔性圧触结构205，压杆204的延伸方向与第二方向平行；柔性圧触结构205包括固定在压杆204上的压杆连接板2051、压触板2055及弹性连接压杆连接板2051和压触板2055的至少两个柔性件205a，压触板2055位于压杆连接板2051面向掩膜版的一侧，至少两个柔性件205a用于在圧触板2055贴合掩膜版过程中产生形变，以调整压触板2055与掩膜版的平行度。

压杆204的延伸长度大于或等于一个掩膜版第三侧长度，柔性压触结构205通过螺栓固定在压杆204上，具体的，柔性压触结构205中压杆连接板2051通过螺栓固定在压杆204上。柔性圧触结构205中压触板2055面向掩膜版，圧触后，圧触板2055与掩膜版直接接触，并压紧掩膜版和框架。

柔性圧触结构205还包括弹性连接压杆连接板2051和压触板2055的至少两个柔性件205a，柔性件205a可以在压触板2055收到压力时发生形变和微小收缩。即柔性圧触结构205圧触掩膜版过程中，压触板2055接触掩膜版后，柔性件2055可以在圧触板2055贴合掩膜版过程中产生形变或微小压缩，通过机械调整保证了压触板2055与掩膜版的平行度，在圧触过程中实现最大的圧触面积，并使压触板2055与掩膜版压紧。

采用柔性圧触结构205压紧掩膜版和框架，不会损伤掩膜版，且柔性圧触结构205的柔性特性也能够更好的消除掩膜版和框架之间的缝隙，防止熔融金属泄漏造成虚焊现象，提高焊接质量。

参考图7所示，可选压杆204上连接有沿第二方向排布的至少两个柔性压触结构205。多个柔性圧触结构205分别圧触掩膜版，则每个柔性圧触结构205的柔性件205a可以保证其压触板与掩膜版的平行度，提高柔性圧触装置与掩膜版的贴合稳定性。可选相邻两个夹持拉伸单元之间设置有一个或多个柔性圧触结构。

参考图8所示，可选柔性圧触结构205包括沿第二方向排布且非共线排布的至少三个柔性件205a。可以理解，若一个柔性圧触结构上包含一个柔性件，则压触板贴合掩膜版时，柔性件产生形变或微小压缩，可能会导致压触板的平行度不稳定，例如压触板和压杆连接板的间距不均一，因此一个柔性圧触结构上包含多个柔性件，可以解决柔性件压缩或形变时不稳定的问题。

在此基础上，柔性圧触结构205包括沿第二方向排布且非共线排布的至少三个柔性件205a，能够进一步解决柔性件压缩或形变时导致的压触板2055不稳定的问题。可以理解，若柔性圧触结构的多个柔性件共线，那么柔性圧触结构在第二方向可以保证稳定性，但是在第一方向上无法保证稳定性。因此柔性圧触结构205的多个柔性件205a在第二方向上非共线排布，则能够提高柔性圧触结构205在第一方向的稳定性，保证压触板2055与压杆连接件2051的间距在第一方向和第二方向的稳定性。

参考图8所示，可选柔性件205a包括螺套2053和位于螺套2053内的螺旋弹簧2052，螺套2053用于调整螺旋弹簧2052的预紧力。可选柔性压触结构205还包括螺栓2054，螺栓2054用于将压触板2055连接在压杆连接板2051上。

本实施例中，柔性压触结构205主要包括压杆连接板2051，压杆连接板2051通过螺栓固定在压杆204上。可选螺旋弹簧2052为圆线螺旋弹簧，螺套2053用于嵌套螺旋弹簧2052，压触板2055的底面面向掩膜版，并在圧触时直接接触掩膜版并柔性压紧。

圧触过程中，柔性压杆组件中水平向位置调整单元带动柔性压杆单元沿掩膜版第一侧延伸方向和第三侧延伸方向运动，垂直向位置调整单元带动柔性压杆单元沿垂直于掩膜版的方向运动，直至柔性压杆单元接触掩膜版，并压紧掩膜版和框架。在此压触板2055与掩膜版的圧触过程中，螺套2053会对圆线螺旋弹簧2052进行初始预紧，则柔性压触结构205中三点非共线螺套2053可以调整圆线螺旋弹簧2052的预紧力，通过机械调整保证了压触板2055与金属掩膜版平行度，在压触过程中实现最大的压触面积。

具体的，柔性圧触装置的水平向位置调整单元移动到位后，垂直向位置调整单元向下动作，压触板2055与金属掩膜版压触过程中，圆线螺旋弹簧2052会产生微小压缩(或者形变)，由于螺栓2054的存在起到对一定的导向作用，解决了圆线螺旋弹簧2052压缩(或形变)时不稳定的问题，保证压触板2055与金属掩膜版压触精度，减少压触过程中对掩膜版产生的平移或者形变。

可选柔性压触结构205的螺套螺栓2053可以选用微型导轨滑块结构或导向轴无油衬套结构，能够更好地提高在圆形螺线弹簧2052的微小形变过程中的导向精度。

需要说明的是，掩膜版上的掩膜图案通常对应像素孔，若因焊接而发生移动，则会造成掩膜报废。本实施例中，通过圆线螺旋弹簧的自适应及非共线预紧调整垂向压紧位置，以便于对不同厚度的金属掩膜版压紧，实现更高的垂向精度控制，保障焊接过程掩膜像素孔不移动，提高掩膜良率。

基于上述实施例，本实施例提供了金属掩膜版拉伸压触精度及压触重复性测试数据。如下表1所示。

由上表可知，本实施例提供的掩膜张网焊接设备可实现单次压触平移精度小于0.25μm，单次压触旋转精度小于0.25urad，多次压触平移重复性小于0.5μm，多次压触旋转重复性小于0.5urad。

本发明实施例提供的掩膜张网焊接设备，增加了柔性圧触装置，在焊接前柔性圧触装置水平移动至待焊接位置附近，再垂向移动对掩膜版和框架进行柔性压紧，自适应贴合掩膜版后再焊接，保证了水平和垂向运动的精确控制。保证了焊接过程中，掩膜版内部用于抵抗夹持拉伸装置拉伸的应力不发生变化，从而避免掩膜版表面的图案移动引起掩膜版报废的问题。另一方面，金属框架表面通常不平整，在焊接前对掩膜版和框架进行柔性压紧，还能够避免熔融金属液体流动至与框架的缝隙位置，解决焊接不牢或虚焊现象。提高焊接质量和掩膜版焊接成功率，提高了焊接过程中掩膜拉力稳定性和良率。

注意，上述仅为本发明的较佳实施例及所运用技术原理。本领域技术人员会理解，本发明不限于这里所述的特定实施例，对本领域技术人员来说能够进行各种明显的变化、重新调整、相互结合和替代而不会脱离本发明的保护范围。因此，虽然通过以上实施例对本发明进行了较为详细的说明，但是本发明不仅仅限于以上实施例，在不脱离本发明构思的情况下，还可以包括更多其他等效实施例，而本发明的范围由所附的权利要求范围决定。

Claims (9)

1.一种掩膜张网焊接设备，其特征在于，包括：

框架，用于承载掩膜版，所述掩膜版包括相对的第一侧和第二侧以及相对的第三侧和第四侧；

夹持拉伸装置，用于夹紧所述掩膜版的第一侧和第二侧，并带动所述掩膜版的第一侧和第二侧相向或相背运动；

柔性圧触装置，所述柔性压触装置包括柔性压杆组件，且所述柔性压杆组件在第一方向、第二方向和第三方向均具备自由度，用于贴合所述掩膜版以将其第三侧和第四侧与所述框架压紧，所述第一方向平行于所述掩膜版的第一侧，所述第二方向平行于所述掩膜版的第三侧，所述第三方向垂直于所述掩膜版；

激光器，用于将所述掩膜版焊接在所述框架上；

所述掩膜版的第三侧和第四侧分别设置有焊点组，所述焊点组包括沿所述第一方向排列的至少一个焊点串，每个所述焊点串包括至少一个焊点；

焊接时，所述柔性压杆组件的贴合位置与待焊接焊点串位置相邻且间隔设置。

2.根据权利要求1所述的掩膜张网焊接设备，其特征在于，所述夹持拉伸装置沿所述框架的第一对称轴对称分布，且所述柔性压杆组件沿所述框架的第二对称轴对称分布；

其中，所述框架的第一对称轴垂直于其第二对称轴。

3.根据权利要求1所述的掩膜张网焊接设备，其特征在于，还包括：底座，所述夹持拉伸装置包括设置在所述底座上的至少两个夹持拉伸单元；

所述夹持拉伸单元的延伸方向平行于所述第一方向，所述夹持拉伸单元的位移方向平行于所述第二方向，相邻两个所述夹持拉伸单元的位移方向相反。

4.根据权利要求1所述的掩膜张网焊接设备，其特征在于，所述柔性圧触装置还包括与所述柔性压杆组件连接的水平向位置调整单元和垂直向位置调整单元；

所述水平向位置调整单元用于带动所述柔性压杆组件沿平行于所述掩膜版的方向运动，所述垂直向位置调整单元用于带动所述柔性压杆组件沿垂直于所述掩膜版的方向运动。

5.根据权利要求4所述的掩膜张网焊接设备，其特征在于，所述柔性压杆组件包括相对设置的两个柔性压杆单元，且所述柔性压杆单元包括压杆和柔性压触结构，所述压杆的延伸方向与所述第二方向平行；

所述柔性圧触结构包括固定在所述压杆上的压杆连接板、压触板及弹性连接所述压杆连接板和所述压触板的至少两个柔性件，所述压触板位于所述压杆连接板面向所述掩膜版的一侧，所述至少两个柔性件用于在所述圧触板贴合所述掩膜版过程中产生形变，以调整所述压触板与所述掩膜版的平行度。

6.根据权利要求5所述的掩膜张网焊接设备，其特征在于，所述压杆上连接有沿所述第二方向排布的至少两个所述柔性压触结构。

7.根据权利要求5所述的掩膜张网焊接设备，其特征在于，所述柔性圧触结构包括沿所述第二方向排布且非共线排布的至少三个所述柔性件。

8.根据权利要求5所述的掩膜张网焊接设备，其特征在于，所述柔性压触结构还包括螺栓，所述螺栓用于将所述压触板连接在所述压杆连接板上。

9.根据权利要求5所述的掩膜张网焊接设备，其特征在于，所述柔性件包括螺套和位于所述螺套内的螺旋弹簧，所述螺套用于调整所述螺旋弹簧的预紧力。