KR102633152B1 - 마스크 얼라인 스틱의 제조방법 - Google Patents

마스크 얼라인 스틱의 제조방법 Download PDF

Info

Publication number
KR102633152B1
KR102633152B1 KR1020210099190A KR20210099190A KR102633152B1 KR 102633152 B1 KR102633152 B1 KR 102633152B1 KR 1020210099190 A KR1020210099190 A KR 1020210099190A KR 20210099190 A KR20210099190 A KR 20210099190A KR 102633152 B1 KR102633152 B1 KR 102633152B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
mask
polymesh
stick
alignment
align
Prior art date
Application number
KR1020210099190A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20230017550A (ko
Inventor
강호민
허동준
이승필
Original Assignee
(주)세우인코퍼레이션
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by (주)세우인코퍼레이션 filed Critical (주)세우인코퍼레이션
Priority to KR1020210099190A priority Critical patent/KR102633152B1/ko
Publication of KR20230017550A publication Critical patent/KR20230017550A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR102633152B1 publication Critical patent/KR102633152B1/ko

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/04—Coating on selected surface areas, e.g. using masks
    • C23C14/042—Coating on selected surface areas, e.g. using masks using masks
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
    • H10K71/10—Deposition of organic active material
    • H10K71/16—Deposition of organic active material using physical vapour deposition [PVD], e.g. vacuum deposition or sputtering
    • H10K71/166—Deposition of organic active material using physical vapour deposition [PVD], e.g. vacuum deposition or sputtering using selective deposition, e.g. using a mask

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Electroluminescent Light Sources (AREA)

Abstract

본 발명은 마스크 프레임에 장착되어 마스크 프레임에 접합되는 마스크 시트를 지지하는 마스크 시트 얼라인 스틱을 제조하는 방법에 관한 것으로, 복수개의 마스크 얼라인 스틱을 제작하는 원장에 각각의 마스크 얼라인 스틱에 형성되는 복수개의 얼라인패턴 및 얼라인 키를 형성하는 얼라인패턴 및 키 형성단계; 원장에서 각각의 마스크 얼라인 스틱의 외주면을 절단하여 원장에서 마스크 얼라인 스틱을 분리시키는 마스크 얼라인 스틱 분리단계; 및 상기 마스크 얼라인 스틱 분리단계를 거쳐 분리된 마스크 얼라인 스틱을 인장시키는 마스크 얼라인 스틱 인장단계를 포함하되, 상기 마스크 얼라인 스틱 인장단계는 상기 마스크 얼라인 스틱을 탄성체인 폴리메쉬에 접합시키는 마스크 얼라인 스틱 접합단계와, 마스크 얼라인 스틱이 접합된 폴리메쉬를 인장프레임에 접합시키는 폴리메쉬 접합단계와, 인장프레임을 이용하여 상기 폴리메쉬를 인장시키는 폴리메쉬 인장단계와, 상기 인장프레임에 의해 인장된 상기 폴리메쉬가 균일하게 인장되었는지 여부를 검사하여 상기 마스크 얼라인 스틱이 균일하게 인장되었는지 여부를 검사하는 폴리메쉬 검사단계와, 상기 폴리메쉬 검사단계를 균일하게 인장되었다고 확인된 상기 마스크 얼라인 스틱의 둘레면 내측의 폴리메쉬를 제거하는 폴리메쉬 제거단계를 포함하고, 상기 폴리메쉬 검사 단계는 상면에 메탈 마스크 시트가 접합된 후 인장된 상기 폴리메쉬의 하면에서 상기 폴리메쉬의 표리를 비젼을 이용하여 촬영하는 폴리메쉬 촬영 단계와, 비젼이 촬영한 표리의 영상과 기촬영된 폴리메쉬가 균일하게 인장된 표리의 영상을 제어부가 비교검사하는 영상 비교단계를 포함하며, 상기 얼라인패턴 및 키 형성단계에서 복수개의 얼라인패턴은 드라이에칭에 의해 상기 원장에 형성되고, 상기 복수개의 키는 웨트에칭에 의해 상기 원장에 형성되며, 상기 얼라인패턴은 이격되게 형성되는 복수개의 얼라인홀이고, 상기 마스크 얼라인 스틱 분리단계에서 웨트에칭을 이용하여 상기 원장에서 마스크 얼라인 스틱의 외주면을 절단하여 상기 마스크 얼라인 스틱을 분리하며, 상기 폴리메쉬 인장 단계에서 상기 폴리메쉬를 인장시키는 인장프레임은 밀폐된 사각형상을 가지는 프레임부와, 상기 프레임부의 내부에 인접하게 배치되는 제1인장부 내지 제4인장부와, 상기 제1인장부 내지 제4인장부에 연결되어 상기 제1인장부 내지 제4인장부를 상기 프레임부의 외측으로 당겨 대응되게 배치되는 상기 제1인장부 내지 제4인장부 사이의 간격이 멀어지도록 이격시키는 클램프부를 포함하는 마스크 얼라인 스틱의 제조방법을 제공한다.
따라서, 원장에 얼라인패턴과 키 및 마스크 얼라인 스틱의 외형라인을 동시에 가공하지 않고 원장에 복수개의 얼라인패턴과 키를 가공한 후 마스크 얼라인 스틱의 외형라인을 가공함으로써 얼라인패턴 및 키의 정밀도를 향상시킬 수 있다.

Description

마스크 얼라인 스틱의 제조방법{Manufacturing method of mask alignment stick}
본 발명은 마스크 얼라인 스틱의 제조방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 마스크 프레임에 장착되어 마스크 프레임에 접합되는 마스크 시트를 하부에서 지지하는 마스크 얼라인 스틱을 제조하는 마스크 얼라인 스틱의 제조방법에 관한 것이다.
한국 등록특허 제10-2210022호에 기재된 배경기술을 참조하면, 유기발광 표시장치(OLED, Organic Light-Emitting Diode)는 TV, PC, 태블릿 PC, 스마트폰, 스마트위치, 차량계기판 등에 구비되는 디스플레이 장치로서 널리 이용되고 있다. 이러한 OLED는 빛을 발광하는 발광층이 유기화합물로 이루어진다. OLED 제조 공정은 박막의 메탈 마스크를 기판에 밀착시켜서 원하는 위치에 유기물을 증착하는 방법이 주로 사용된다.
종래의 OLED 제조 공정에서는 메탈 마스크를 스틱 형태, 플레이트 형태 등으로 제조한 후, 메탈 마스크를 마스크 프레임 상에 용접하여 고정시키게 된다. 이후, 마스크 프레임에 용접된 메탈 마스크의 더미 영역을 트림 라인을 따라 절단하여 제거하게 된다.
종래의 메탈 마스크는 일정한 인장력으로 인장을 실시한 후, 마스크 프레임 상에 용접에 의하여 고정하게 된다. 이때, 메탈 마스크의 가장자리 부분에는 마스크 프레임 상에 안착되는 기판과의 얼라인을 위한 얼라인 패턴이 배치되게 된다.
그러나, 종래의 메탈 마스크는 일정한 인장력으로 인장을 실시하는 과정에서 얼라인 패턴이 배치되는 마스크 시트의 가장자리 부분으로 응력이 집중되는 관계로 얼라인 패턴의 위치가 틀어져 위치 정확도를 저하시키는 문제점 및 메탈 마스크의 중앙부위가 하부로 처지는 문제점이 발생하였다.
상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 얼라인 패턴이 형성된 마스크 얼라인 스틱을 마스크 프레임에 접합하여 메탈 마스크의 중앙 부위가 하부로 처지는 문제점을 해결하면서 메탈 마스크의 위치를 정확하게 잡아주도록 한다. 상기 마스크 얼라인 스틱에는 상기 마스크 시트와 얼라인하기 위한 얼라인 패턴과, 얼라인 키가 형성된다.
종래의 마스크 얼라인 스틱을 제조하는 경우, 시트 형상의 원장 상태에서 상기 마스크 얼라인 스틱의 외형라인과 상기 얼라인 패턴 및 얼라인 키를 에칭 공정을 통하여 동시에 가공한다.
이 경우, 마스크 얼라인 스틱의 외형라인이 먼저 가공되고, 틀어짐이 발생하여 얼라인 패턴 및 얼라인 키의 정밀도가 떨어진다는 문제점이 발생한다.
또한, 상기 얼라인 키를 가공하는 경우, 인장 상태를 예측하여 얼라인 키를 가공하는데, 원단의 굴곡 등의 문제로 인하여 정확한 얼라인 키를 가공하는 것이 어렵다는 문제점이 발생한다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 창출된 것으로, 시트 형상의 원장을 이용하여 마스크 얼라인 스틱을 제조하는 경우, 제조되는 마스크 얼라인 스틱에 형성되는 얼라인패턴 및 키를 형성한 후 제조되는 복수개의 마스크 얼라인 스틱의 외주면을 절단하여 원장에서 복수개의 얼라인패턴 및 키가 형성된 복수개의 마스크 얼라인 스틱을 분리하고, 분리된 마스크 얼라인 스틱을 인장프레임과 폴리메쉬를 이용하여 균일하게 인장한 후 폴리메쉬를 검사하여 마스크 얼라인 스틱이 균일하게 인장되었는지 여부를 확인하여 마스크 얼라인 스틱이 정확하게 제조되었는지 여부 및 얼라인 패턴과 얼라인 키의 정확하게 형성되었는지 여부를 간편하게 확인할 수 있는 마스크 얼라인 스틱의 제조방법을 제공하기 위한 것이다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 마스크 프레임에 장착되어 마스크 프레임에 접합되는 마스크 시트를 지지하는 마스크 시트 얼라인 스틱을 제조하는 방법에 관한 것으로, 복수개의 마스크 얼라인 스틱을 제작하는 원장에 각각의 마스크 얼라인 스틱에 형성되는 복수개의 얼라인패턴 및 얼라인 키를 형성하는 얼라인패턴 및 키 형성단계; 원장에서 각각의 마스크 얼라인 스틱의 외주면을 절단하여 원장에서 마스크 얼라인 스틱을 분리시키는 마스크 얼라인 스틱 분리단계; 및 상기 마스크 얼라인 스틱 분리단계를 거쳐 분리된 마스크 얼라인 스틱을 인장시키는 마스크 얼라인 스틱 인장단계를 포함하되, 상기 마스크 얼라인 스틱 인장단계는 상기 마스크 얼라인 스틱을 탄성체인 폴리메쉬에 접합시키는 마스크 얼라인 스틱 접합단계와, 마스크 얼라인 스틱이 접합된 폴리메쉬를 인장프레임에 접합시키는 폴리메쉬 접합단계와, 인장프레임을 이용하여 상기 폴리메쉬를 인장시키는 폴리메쉬 인장단계와, 상기 인장프레임에 의해 인장된 상기 폴리메쉬가 균일하게 인장되었는지 여부를 검사하여 상기 마스크 얼라인 스틱이 균일하게 인장되었는지 여부를 검사하는 폴리메쉬 검사단계와, 상기 폴리메쉬 검사단계를 균일하게 인장되었다고 확인된 상기 마스크 얼라인 스틱의 둘레면 내측의 폴리메쉬를 제거하는 폴리메쉬 제거단계를 포함하고, 상기 폴리메쉬 검사 단계는 상면에 메탈 마스크 시트가 접합된 후 인장된 상기 폴리메쉬의 하면에서 상기 폴리메쉬의 표리를 비젼을 이용하여 촬영하는 폴리메쉬 촬영 단계와, 비젼이 촬영한 표리의 영상과 기촬영된 폴리메쉬가 균일하게 인장된 표리의 영상을 제어부가 비교검사하는 영상 비교단계를 포함하며, 상기 얼라인패턴 및 키 형성단계에서 복수개의 얼라인패턴은 드라이에칭에 의해 상기 원장에 형성되고, 상기 복수개의 키는 웨트에칭에 의해 상기 원장에 형성되며, 상기 얼라인패턴은 이격되게 형성되는 복수개의 얼라인홀이고, 상기 마스크 얼라인 스틱 분리단계에서 웨트에칭을 이용하여 상기 원장에서 마스크 얼라인 스틱의 외주면을 절단하여 상기 마스크 얼라인 스틱을 분리하며, 상기 폴리메쉬 인장 단계에서 상기 폴리메쉬를 인장시키는 인장프레임은 밀폐된 사각형상을 가지는 프레임부와, 상기 프레임부의 내부에 인접하게 배치되는 제1인장부 내지 제4인장부와, 상기 제1인장부 내지 제4인장부에 연결되어 상기 제1인장부 내지 제4인장부를 상기 프레임부의 외측으로 당겨 대응되게 배치되는 상기 제1인장부 내지 제4인장부 사이의 간격이 멀어지도록 이격시키는 클램프부를 포함하는 마스크 얼라인 스틱의 제조방법을 제공한다.
삭제
삭제
삭제
삭제
삭제
삭제
삭제
본 발명에 따른 마스크 얼라인 스틱의 제조방법은 원장에 얼라인패턴과 키 및 마스크 얼라인 스틱의 외형라인을 동시에 가공하지 않고 원장에 복수개의 얼라인패턴과 키를 가공한 후 마스크 얼라인 스틱의 외형라인을 가공함으로써 얼라인패턴 및 키의 정밀도를 향상시킬 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 마스크 얼라인 스틱의 제조방법의 순서를 도시한 순서도이다.
도 2는 도 1에 도시된 마스크 얼라인 스틱 인장단계의 세부적인 순서를 도시한 순서도이다.
도 3은 도 2에 도시된 폴리메쉬 검사단계의 세부적인 순서를 도시한 도면이다.
도 4는 원장에 복수개의 얼라인패턴 및 키를 형성 후 복수개의 마스크 얼라인 스틱을 원장에서 분리하는 과정을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 5는 폴리메쉬에 마스크 얼라인 스틱이 접합되는 과정을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 6은 마스크 얼라인 스틱이 접합된 폴리메쉬를 인장프레임에 접합시키는 과정을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 7은 도 6에 도시된 인장프레임을 이용하여 폴리메쉬를 인장시키는 과정을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 8은 폴리메쉬를 인장시킨 인장프레임에서 마스크 얼라인 스틱의 하부면에 위치하는 폴리메쉬를 절단시키는 과정을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 9는 인장프레임을 이용하여 인장된 마스크 얼라인 스틱을 마스크 프레임에 접합시키는 과정을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 10은 인장된 폴리메쉬를 검사하는 과정을 개략적으로 도시한 도면이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 실시 예를 상세히 설명하기로 한다. 이에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니 되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 실시 예에 따른 마스크 얼라인 스틱 제조방법은 마스크 프레임에 장착되어 상기 마스크 프레임에 접합되는 마스크 시트를 지지하는 마스크 얼라인 스틱을 제조하기 위한 것으로, 얼라인패턴 및 키 형성단계(S10)와, 마스크 얼라인 스틱 분리단계(S20)를 포함하고, 마스크 얼라인 스틱 인장단계(S30)를 더 포함할 수 있다.
도 1 및 도 4를 참조하면, 상기 얼라인패턴 형성단계(S10)는 복수개의 마스크 얼라인 스틱(110)을 제작하는 원장(10)에 각각의 마스크 얼라인 스틱(110)에 형성되는 복수개의 얼라인패턴(112) 및 키(114)를 형성하는 단계이며, 복수개의 얼라인패턴(112)은 드라이에칭에 의해 상기 원장(10)에 형성되고, 상기 복수개의 키(114)는 웨트에칭에 의해 상기 원장(10)에 형성되는 것이 바람직하다. 상기 얼라인패턴(112)은 복수개의 얼라인홀(112a)로 이루어지며, 복수개의 얼라인홀(112a)은 각각의 마스크 얼라인 스틱(110)에 길이방향으로 등간격으로 이격되게 형성된다
도 1을 참조하면, 상기 얼라인패턴 및 키 형성단계(S10)를 거친 후 마스크 얼라인 스틱 분리단계(S20)를 수행하며, 상기 마스크 얼라인 스틱 분리단계(S20)는 상기 원장(10)에서 마스크 얼라인 스틱(110)의 외주면을 절단하여 상기 원장(10)에서 복수개의 마스크 얼라인 스틱(110)을 분리시키는 단계이다. 상기 마스크 얼라인 스틱 분리단계(S20)에서는 웨트에칭을 이용하여 상기 마스크 얼라인 스틱(110)의 외주면을 절단하여 상기 원장(10)에서 마스크 얼라인 스틱(110)을 분리하는 것이 바람직하다. 상기 원장(10)에 복수개의 얼라인패턴(112)과 키(114)를 가공한 후 마스크 얼라인 스틱(110)의 외주면을 절단함으로써 얼라인패턴(112) 및 키(114)의 정밀도를 향상시킬 수 있게 된다.
여기서, 웨트에칭은 습식 식각이라고도 하며 목표 금속만을 부식 용해하는 성질을 가지는 액체의 약품을 사용하는 식각이고, 드라이에칭은 서브미크론 가공 기술의 하나로서 감압(減壓)된 용기 속에서 가스 또는 이온에 의해 에칭하는 방법으로 웨트에칭에 비해 가공 정도(精度)가 향상되며, 미세가공이 필요없으면 웨트에칭을 이용하고, 미세가공이 필요한 경우에는 드라이에칭을 이용하는 것이 바람직하다.
상기 마스크 얼라인 스틱 분리단계(S20)를 거친 후 마스크 얼라인 스틱 인장단계(S30)를 수행하며, 상기 마스크 얼라인 스틱 인장단계(S30)는 분리된 마스크 얼라인 스틱(110)을 균등하게 인장시키는 단계이다.
도 2를 참조하면, 상기 마스크 얼라인 스틱 인장단계(S30)는 마스크 얼라인 스틱 접합단계(S31)와, 폴리메쉬 접합단계(S32)와, 폴리메쉬 인장단계(S33)와, 폴리메쉬 제거단계(S34)와, 폴리메쉬 검사단계(S35)를 포함한다.
도 2 및 도 5를 참조하면, 상기 마스크 얼라인 스틱 접합단계(S31)는 상기 원장(10)에서 분리된 얼라인패턴(112) 및 키(114)가 형성된 복수개의 마스크 얼라인 스틱(110)을 사각형상을 가지는 탄성체인 폴리메쉬(200)에 접합시키는 단계이며, 상기 마스크 얼라인 스틱(110)을 상기 폴리메쉬(200)에 접합 시 상기 마스크 얼라인 스틱(110)의 둘레면 끝단부와 인접한 부분을 본딩하여 상기 폴리메쉬(200)에 접착하게 된다. 상기 마스크 얼라인 스틱 접합단계(S31)를 완료하게 되면 본딩되는 상기 마스크 얼라인 스틱(110)의 둘레면만 상기 폴리메쉬(120)에 접합되고, 둘레면을 제외한 부분은 상기 폴리메쉬(120)와 접합되지 않고 밀착되게 된다.
상기 폴리메쉬(200)는 80~150mesh 인 것이 바람직하고, 상기 마스크 얼라인 스틱(110)의 인장 조건 및 두께에 따라 메쉬의 굵기나 규격을 상이하게 적용할 수 있는 것이 바람직하다.
도 2, 도 6 및 도 7을 참조하면, 상기 마스크 얼라인 스틱 접합단계(S31)를 거친 후 폴리메쉬 접합단계(S32)를 수행하며, 상기 폴리메쉬 접합단계(S32)는 상부면에 복수개의 마스크 얼라인 스틱(110)이 접합된 상기 폴리메쉬(200)를 인장프레임(300)에 접합시키는 단계이다. 상기 마스크 얼라인 스틱(110)이 접합된 상기 폴리메쉬(200)는 상기 인장프레임(300)의 내부에 구비되는 제1인장부(320) 내지 제4인장부(350)에 결합됨으로써 상기 인장프레임(300)에 접합되게 된다.
상기 마스크 얼라인 스틱(110)이 접합된 상기 폴리메쉬(200)를 인장시키는 상기 인장프레임(300)은 프레임부(310)와, 상기 프레임부(310)의 내부에 구비되는 제1인장부(320), 제2인장부(330), 제3인장부(340), 제4인장부(350)와, 상기 제1인장부(320) 내지 제4인장부(350)와 연결되는 클램프부(360)를 포함한다.
상기 마스크 얼라인 스틱(110)이 접합된 상기 폴리메쉬(200)를 인장시키는 상기 인장프레임(300)은 프레임부(310)와, 상기 프레임부(310)의 내부에 구비되는 제1인장부(320), 제2인장부(330), 제3인장부(340), 제4인장부(350)와, 상기 제1인장부(320) 내지 제4인장부(350)와 연결되는 클램프부(360)를 포함한다.
상기 제1인장부(320) 내지 제4인장부(350)는 클램프부(360)와 연결되며, 상기 클램프부(360)는 상기 제1인장부(320) 내지 제4인장부(350)를 상기 프레임부(310)의 외측방향으로 당겨 대응되게 배치되는 상기 제1인장부(320) 내지 제4인장부(350) 사이의 간격이 멀어지도록 이격시킴으로써 상기 폴리메쉬(200)를 인장시키게 된다. 상기 프레임부(310)에는 상기 클램프부(360)가 관통하는 복수개의 관통홀(310a)이 형성되는 것이 바람직하며, 상기 제1인장부(320) 내지 제4인장부(350)와 일단이 연결되는 상기 클램프부(360)의 타단은 상기 관통홀(310a)을 통과 후 상기 클램프부(360)를 전후로 이동시키는 전후이동부재(370)와 연결되는 것이 바람직하다.
상기 폴리메쉬 접합단계(S32)를 거친 후 폴리메쉬 인장단계(S33)를 수행하며, 상기 폴리메쉬 인장단계(S33)는 상기 인장프레임(300)을 이용하여 마스크 얼라인 스틱(110)이 접합된 상기 폴리메쉬(200)를 인장시키는 단계이다.
상기 프레임부(310)의 내측에 사각형상을 가지도록 배치되는 제1인장부(320) 내지 제4인장부(350)에 사각형상을 가지는 폴리메쉬(200)의 둘레면을 결합 후 상기 전후이동부재(370)를 이용하여 상기 클램프부(360)를 상기 프레임부(310)의 외측으로 당기면 대응되게 배치되는 상기 제1인장부(320) 내지 제4인장부(350) 사이의 간격이 멀어지면서 상기 폴리메쉬(200) 및 상기 폴리메쉬(200)에 접합된 마스크 얼라인 스틱(110)이 균일한 인장력에 의해 인장되게 된다.
도 2 및 도 8을 참조하면, 상기 폴리메쉬 인장단계(S33)를 거친 후 폴리메쉬 제거단계(S34)를 수행한다. 상기 폴리메쉬 제거단계(S34)는 상기 마스크 얼라인 스틱(110)의 둘레면 내측에 위치하는 폴리메쉬(200)를 제거하는 단계이며, 상기 폴리메쉬(200)의 제거 시 레이저를 이용하는 것이 바람직하다.
도 2 및 도 3을 참조하면, 상기 폴리메쉬 인장단계(S33)를 수행한 후 상기 폴리메쉬 제거단계(S34)를 수행하기 전에 폴리메쉬 검사단계(S35)를 수행하는 것이 바람직하다. 상기 폴리메쉬 검사단계(S35)는 상기 인장프레임(300)에 의해 인장된 폴리메쉬(200)가 균일하게 인장되었는지 여부를 검사하는 단계이며, 상기 폴리메쉬 검사단계(S35)는 폴리메쉬 촬영 단계(S351)와, 영상 비교단계(S352)를 포함한다.
도 3 및 도 10을 참조하면, 상기 폴리메쉬 촬영 단계(S351)는 상면에 마스크 얼라인 스틱(110)이 접합된 후 인장된 상기 폴리메쉬(200)의 하면을 비젼(500)을 이용하여 촬영하는 단계이며, 상기 비젼(500)을 이용하여 상기 인장프레임(300)에 의해 인장된 상기 폴리메쉬(200)의 표리(210)를 촬영한 후 촬영된 영상은 제어부(600)로 전송된다.
상기 폴리메쉬 촬영 단계(S351)를 거친 후 영상 비교단계(S352)를 수행하며, 상기 영상 비교단계(S352)는 상기 비젼(500)이 촬영한 인장된 폴리메쉬(200)의 표리(210)의 영상과 기촬영된 후 제어부(600)에 저장된 폴리메쉬(200)가 균일하게 인장된 표리의 영상을 비교검사하는 단계이며, 상기 폴리메쉬 검사단계(S35)를 수행함으로써 폴리메쉬(200)가 균일하게 인장되었는지 여부 및 이를 통해 얼라인 마스크 스틱(110)에 형성된 얼라인패턴(112) 및 키(114)가 변형되었는지 여부를 간편하고 빠른 시간 내에 확인할 수 있게 되며, 정상으로 판별된 폴리메쉬(200)는 후속 과정을 수행하고, 불량으로 판별된 폴리메쉬(200)는 폐기처리되게 된다.
상기 폴리메쉬(200)는 상기 마스크 얼라인 스틱(110)과 차이점을 가지도록 유색인 것이 바람직하며, 상기 폴리메쉬(200)가 유색을 가짐으로써 상기 폴리메쉬(200)의 표리(210)가 균일하게 인장되었는지 여부를 판별하는데 용이하고, 상기 폴리메쉬(200)의 표리(210)가 형상이 변경되었는지 여부를 확인하여 균일하게 인장되었는지 여부를 판별할 수 있게 된다.
상기 원장(10)에 얼라인패턴(112)과 키(114) 및 마스크 얼라인 스틱(110)의 외형라인을 동시에 가공하지 않고 상기 원장(10)에 복수개의 얼라인패턴(112)과 키(114)를 가공한 후 마스크 얼라인 스틱(110)의 외형라인을 가공함으로써 얼라인패턴(112) 및 키(114)의 정밀도를 향상시킬 수 있다.
본 발명은 도면에 도시된 실시 예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시 예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.
100 : 원장 110 : 마스크 얼라인 스틱
112 : 얼라인패턴 114 : 키
200 : 폴리메쉬 300 : 인장프레임
310 : 프레임부 320 : 제1인장부
330 : 제2인장부 340 : 제3인장부
350 : 제4인장부 360 : 클램프부
400 : 마스크 프레임 500 : 비젼
600 : 제어부

Claims (8)

  1. 마스크 프레임에 장착되어 마스크 프레임에 접합되는 마스크 시트를 지지하는 마스크 시트 얼라인 스틱을 제조하는 방법에 관한 것으로,
    복수개의 마스크 얼라인 스틱을 제작하는 원장에 각각의 마스크 얼라인 스틱에 형성되는 복수개의 얼라인패턴 및 얼라인 키를 형성하는 얼라인패턴 및 키 형성단계;
    원장에서 각각의 마스크 얼라인 스틱의 외주면을 절단하여 원장에서 마스크 얼라인 스틱을 분리시키는 마스크 얼라인 스틱 분리단계; 및
    상기 마스크 얼라인 스틱 분리단계를 거쳐 분리된 마스크 얼라인 스틱을 인장시키는 마스크 얼라인 스틱 인장단계를 포함하되,
    상기 마스크 얼라인 스틱 인장단계는,
    상기 마스크 얼라인 스틱을 탄성체인 폴리메쉬에 접합시키는 마스크 얼라인 스틱 접합단계와,
    마스크 얼라인 스틱이 접합된 폴리메쉬를 인장프레임에 접합시키는 폴리메쉬 접합단계와,
    인장프레임을 이용하여 상기 폴리메쉬를 인장시키는 폴리메쉬 인장단계와,
    상기 인장프레임에 의해 인장된 상기 폴리메쉬가 균일하게 인장되었는지 여부를 검사하여 상기 마스크 얼라인 스틱이 균일하게 인장되었는지 여부를 검사하는 폴리메쉬 검사단계와,
    상기 폴리메쉬 검사단계를 균일하게 인장되었다고 확인된 상기 마스크 얼라인 스틱의 둘레면 내측의 폴리메쉬를 제거하는 폴리메쉬 제거단계를 포함하고,
    상기 폴리메쉬 검사 단계는,
    상면에 메탈 마스크 시트가 접합된 후 인장된 상기 폴리메쉬의 하면에서 상기 폴리메쉬의 표리를 비젼을 이용하여 촬영하는 폴리메쉬 촬영 단계와,
    비젼이 촬영한 표리의 영상과 기촬영된 폴리메쉬가 균일하게 인장된 표리의 영상을 제어부가 비교검사하는 영상 비교단계를 포함하며,
    상기 얼라인패턴 및 키 형성단계에서 복수개의 얼라인패턴은 드라이에칭에 의해 상기 원장에 형성되고, 상기 복수개의 키는 웨트에칭에 의해 상기 원장에 형성되며,
    상기 얼라인패턴은 이격되게 형성되는 복수개의 얼라인홀이고,
    상기 마스크 얼라인 스틱 분리단계에서 웨트에칭을 이용하여 상기 원장에서 마스크 얼라인 스틱의 외주면을 절단하여 상기 마스크 얼라인 스틱을 분리하며,
    상기 폴리메쉬 인장 단계에서 상기 폴리메쉬를 인장시키는 인장프레임은,
    밀폐된 사각형상을 가지는 프레임부와,
    상기 프레임부의 내부에 인접하게 배치되는 제1인장부 내지 제4인장부와,
    상기 제1인장부 내지 제4인장부에 연결되어 상기 제1인장부 내지 제4인장부를 상기 프레임부의 외측으로 당겨 대응되게 배치되는 상기 제1인장부 내지 제4인장부 사이의 간격이 멀어지도록 이격시키는 클램프부를 포함하는 마스크 얼라인 스틱의 제조방법.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 삭제
  7. 삭제
  8. 삭제
KR1020210099190A 2021-07-28 2021-07-28 마스크 얼라인 스틱의 제조방법 KR102633152B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020210099190A KR102633152B1 (ko) 2021-07-28 2021-07-28 마스크 얼라인 스틱의 제조방법

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020210099190A KR102633152B1 (ko) 2021-07-28 2021-07-28 마스크 얼라인 스틱의 제조방법

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20230017550A KR20230017550A (ko) 2023-02-06
KR102633152B1 true KR102633152B1 (ko) 2024-02-05

Family

ID=85223849

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020210099190A KR102633152B1 (ko) 2021-07-28 2021-07-28 마스크 얼라인 스틱의 제조방법

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR102633152B1 (ko)

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101579907B1 (ko) * 2015-09-01 2015-12-23 김대삼 박막 증착용 마스크 조립체 제조 방법, 제조 장치 및 마스크 조립체
KR101919912B1 (ko) * 2018-05-25 2018-11-21 (주)세우인코퍼레이션 폴리 메쉬를 이용한 oled 메탈 마스크 인장법

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101579907B1 (ko) * 2015-09-01 2015-12-23 김대삼 박막 증착용 마스크 조립체 제조 방법, 제조 장치 및 마스크 조립체
KR101919912B1 (ko) * 2018-05-25 2018-11-21 (주)세우인코퍼레이션 폴리 메쉬를 이용한 oled 메탈 마스크 인장법

Also Published As

Publication number Publication date
KR20230017550A (ko) 2023-02-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR102162790B1 (ko) 마스크 프레임 조립체용 용접기
US10144156B2 (en) Imprint apparatus, imprint method, and method for producing device
KR101974771B1 (ko) 임프린트 장치, 임프린트 방법 및 물품의 제조 방법
JP2010272707A (ja) アライメント接合方法
JP6671160B2 (ja) インプリント装置、物品製造方法および位置合わせ方法
TWI449005B (zh) 功能性膜片貼合方法、貼合機台及膜片貼合對位方法
US7900348B2 (en) Method of manufacturing an electronic component substrate
JP2012060079A (ja) テンプレートチャック、インプリント装置、及びパターン形成方法
US9604314B2 (en) Method for forming a mask pattern using a laser
JP2011091286A (ja) 半導体装置の製造方法
KR102633152B1 (ko) 마스크 얼라인 스틱의 제조방법
KR102633153B1 (ko) 마스크 얼라인 스틱의 제조방법
JP4509072B2 (ja) 基板整列方法
KR101579907B1 (ko) 박막 증착용 마스크 조립체 제조 방법, 제조 장치 및 마스크 조립체
TWI655031B (zh) Film forming device and film forming method
JP2017068121A (ja) 偏光子の検査方法および偏光板の製造方法
CN108076596A (zh) 线路板的制造方法
KR102597712B1 (ko) Oled 마스크 조립체의 제조 방법
KR101579910B1 (ko) 마스크 조립체 제조 방법, 제조 장치 및 마스크 조립체
CN115876762A (zh) 光学检查装置以及利用其的检查方法
US20080130981A1 (en) Mask pattern matching method and mask pattern matching apparatus using the same
KR20230164259A (ko) 마스크 조립체의 제조 방법
KR20060085123A (ko) 기준 반도체 칩을 구비하는 반도체 기판 및 이를 이용한반도체 칩 어셈블리 방법
KR102546159B1 (ko) Oled 마스크 제조방법
KR102520174B1 (ko) 오픈 마스크 조립체의 제조 방법

Legal Events

Date Code Title Description
E902 Notification of reason for refusal
AMND Amendment
E601 Decision to refuse application
X091 Application refused [patent]
AMND Amendment
X701 Decision to grant (after re-examination)
GRNT Written decision to grant