CN103243294A - 包括沉积掩模的制造装置 - Google Patents

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Abstract

提供了一种包括沉积掩模的制造装置，所述制造装置包括：夹持器，用于固定其上形成有销孔的分开掩模片的端部；夹持销，位于夹持器中，用于***到销孔中；以及提升器，用于提升夹持销。

Description

包括沉积掩模的制造装置
技术领域
描述的技术总体上涉及包括沉积掩模的制造装置。
背景技术
有机发光二级管(OLED)显示器包括两个电极和它们之间的有机发射层。从一个电极注入的电子和从另一个电极注入的空穴在有机发射层彼此结合以形成激子，激子在发出能量时发光。
为了形成有机发射层，必须在基板上沉积有机材料，为了做到这一点，加热用有机材料填充的沉积源以蒸发有机材料，并将其喷射在基板之上。在这种情况下，为了以特定的图案沉积蒸发和喷射的有机材料，对应于沉积该有机材料的特定位置形成开口，由金属材料制成的沉积掩模用于其余位置。根据制造方法，沉积掩模分为分开掩模或者不分开掩模。通过使用安装在制造装置的两端处的夹持器向掩模片施加张力牵拉按单元分开的掩模片的两端，并将它焊接到掩模框架来使用分开掩模。通过使用在制造装置的四个角处安装的夹持器向母掩模施加张力牵拉未被分开的母掩模，并将它焊接到掩模框架来使用不分开掩模(即，常规的掩模)。
具体地讲，因为分开方法允许良好的选择，并且容易维修，所以分开方法广泛地应用于大规模生产。然而，因为分开掩模将分开掩模片的两端与夹持器结合，并对其施加张力，所以分开掩模片的两端会褶皱。这是因为，当夹持薄膜分开掩模片时，薄膜分开掩模片可能经受不住夹持器的夹持力，所以在分开掩模的两端会产生褶皱。可以减弱夹持力以阻止褶皱的产生，但是在这种情况下，可能不能提供精确的张力，并且夹持会松弛。
另外，当在分开掩模片的长度方向上产生褶皱时，可以通过对分开掩模片的两端施加张力并对其进行夹持来去除褶皱，当在分开掩模片的宽度方向上已经产生褶皱时，当对分开掩模片的两端施加张力时，褶皱不会去除。
另外，可以在将分开掩模片装载到掩模框架之前的阶段中通过真空固定分开掩模片，当夹持器夹持分开掩模片时，分开掩模片的位置会改变，所以分开掩模片的一端或两端可能未夹持在精确的位置。
在本背景技术部分公开的上述信息仅为了增强对描述的技术背景的理解，因此它可能包含不构成在本国对于本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。
发明内容
本发明的实施例提供了一种包括沉积掩模的制造装置，用于减少或者防止分开掩模片在夹持过程中产生褶皱，并且控制或者避免不当的夹持(例如，错误的夹持)。
本发明的示例性实施例提供了一种包括沉积掩模的制造装置，所述装置包括：夹持器，用于固定其上形成有销孔的分开掩模片的端部；夹持销，位于夹持器中，用于***到销孔中；以及提升器，用于提升夹持销。
所述夹持器可以包括：上夹持器，用于接触分开掩模片的端部的上侧；以及下夹持器，用于接触分开掩模片的端部的下侧，并且具有用于将分开掩模片的端部附贴在下夹持器上的抽吸槽。
夹持销可以在抽吸槽中。
用于提升夹持销的提升孔可以位于下夹持器处。
用于容纳夹持销的***槽可以位于上夹持器处。
提升器可以通过提升孔结合到夹持销。
抽吸槽可以结合到用于附贴分开掩模片的端部的真空。
沉积掩模可以包括多个分开掩模片。
根据本实施例，可以在夹持器中安装抽吸槽和夹持销以固定分开掩模片，所以可以夹持分开掩模片，同时分开掩模片在装载到掩模框架之前不皱褶而是平坦的。因此，可以消除在夹持分开掩模片的过程中发生的褶皱和不当的夹持的现象。
另外，沿四个倾斜的方向延伸分开掩模片，从而可以去除分开掩模片的在其宽度方向的褶皱。
附图说明
图1示出了根据本发明示例性实施例的分开掩模片和包括沉积掩模的制造装置的透视图。
图2示出了根据本发明示例性实施例的与包括沉积掩模的制造装置对应的分开掩模片的俯视图。
图3示出了根据本发明示例性实施例的包括沉积掩模的制造装置的夹持器的透视图。
图4示出了根据本发明示例性实施例的包括沉积掩模的制造装置的剖视图。
图5示出了根据本发明示例性实施例的通过使用包括沉积掩模的制造装置去除分开掩模片上的褶皱的方法。
具体实施方式
在下文中将参照附图更充分地描述本发明的实施例，附图中示出了本发明的示例性实施例。如本领域技术人员将认识到的，描述的实施例可以以各种不同的方式进行修改，而均未脱离本发明的精神或范围。
相同的标号贯穿说明书表示相同的元件。
另外，为了解释方便，会任意地示出在附图中所示的各个结构组件的尺寸和厚度，本发明不必局限于所示出的比例。
现将参照图1至图5详细地描述根据本发明示例性实施例的沉积掩模。
图1示出了根据本发明示例性实施例的分开掩模片和包括沉积掩模的制造装置的透视图，图2示出了根据本发明示例性实施例的与包括沉积掩模的制造装置对应的分开掩模片的俯视图，图3示出了根据本发明示例性实施例的包括沉积掩模的制造装置的的夹持器的透视图，图4示出了根据本发明示例性实施例的包括沉积掩模的制造装置的剖视图。
在本发明的示例性实施例中，沉积掩模可以包括多个分开掩模片。
如图1至图4中所示，本实施例的包括沉积掩模的制造装置包括用于固定其上形成有销孔(12a、13a、14a、15a)的分开掩模片10的端部的多个夹持器100、对应于每个夹持器100并***到销孔(12a、13a、14a、15a)中的夹持销200以及用于提升夹持销200的提升器300。
分开掩模片10包括其上形成有掩模图案1的掩模主体11、从掩模主体11的左上角延伸的左上角单元12、从掩模主体11的左下角延伸并且远离左上角单元12的左下角单元13、从掩模主体11的右上角延伸的右上角单元14以及从掩模主体11的右下角延伸并且远离右上角单元14的右下角单元15。销孔(12a、13a、14a、15a)分别形成在左上角单元12、左下角单元13、右上角单元14和右下角单元15上。
多个夹持器100包括用于固定分开掩模片10的左上角单元12的左上角单元夹持器110、用于固定左下角单元13的左下角夹持器120、用于固定右上角单元14的右上角夹持器130以及用于固定右下角单元15的右下角夹持器140。
夹持器(110、120、130、140)能够在四个方向对分开掩模片10应用张力，并固定分开掩模片10以减少或者消除分开掩模片10的褶皱的产生。
现将描述四个夹持器(110、120、130、140)中的左上角单元夹持器110，因为三个夹持器120、130和140具有与左上角单元夹持器110的构造基本上等同的构造，因此将仅描述左上角单元夹持器110。
左上角单元夹持器110包括接触分开掩模片10的左上角单元12的上侧的上夹持器111和接触分开掩模片10的左上角单元12的下侧的下夹持器112。
用于吸收分开掩模片10的左上角单元12的吸收槽(例如抽吸槽)112a形成在下夹持器112上。吸收槽112a通过形成在吸收槽112a的内壁上或结合到吸收槽112a的内壁的真空管112b连接到用于产生真空的真空装置400。
通过使用吸收槽112a并吸收和固定分开掩模片10的左上角单元12以平坦的方式将分开掩模片10装载到夹持器100(例如，左上角单元夹持器110)，由此控制或者避免分开掩模片10在夹持过程中产生褶皱，并减少不当的夹持现象的影响或者完全消除不当的夹持现象。
夹持销210设置在吸收槽112a中。夹持销210***到形成在分开掩模片10的左上角单元12上的销孔12a中以固定分开掩模10。夹持销210可以***到其中的***槽111a形成在上夹持器111上。
图5示出了本发明示例性实施例的通过使用包括沉积掩模的制造装置去除分开掩模片上的褶皱的方法。
如图5中所示，将夹持销(210、220、230、240)***到分别形成在分开掩模片10的左上角单元12、左下角单元13、右上角单元14和右下角单元15上的销孔(12a、13a、14a、15a)中，夹持销(210、220、230、240)相对于销孔(12a、13a、14a、15a)是倾斜的方向。即，***到形成在分开掩模片10的左上角单元12上的销孔12a中的夹持销210位于销孔12a内部的左上角，***到形成在分开掩模片10的左下角单元13上的销孔13a中的夹持销220位于销孔13a内部的左下角，***到形成在分开掩模片10的右上角单元14上的销孔14a中的夹持销230位于销孔14a内部的右上角，以及***到形成在分开掩模片10的右下角单元15上的销孔15a中的夹持销240位于销孔15a内部的右下角。
因此，夹持销(210、220、230、240)从四个倾斜的方向(A、B、C、D)延伸分开掩模片10，所以分开掩模片10沿分开掩模片10的长度方向(L)和宽度方向(W)被牵拉，从而减少或者消除分开掩模片10的褶皱的产生。
因此，通过使用夹持销(210、220、230、240)减少或者消除了在将分开掩模片10装载到掩模框架之前产生的褶皱，并且分开掩模片10在分开掩模片10基本上不皱褶的同时被夹持，由此有效地减少或者消除了在夹持工艺中会产生的褶皱。
另外，通过使用夹持销(210、220、230、240)从四个倾斜的方向延伸分开掩模片10，所以减少或者消除了掩模片10的宽度方向(W)上的褶皱。
在下夹持器112中形成提升孔112c，通过提升孔112c可以提升夹持销210。在吸收槽112a的下侧上形成提升孔112c。
提升器300通过提升孔112c结合到夹持销210，提升孔112c可以通过使用提升器300提升夹持销210。本实施例的提升器300包括压缩机。
当分开掩模片10厚或者分开掩模的褶皱小时，不期望使用夹持销，所以可以通过使用提升器300下降穿过提升孔112c的夹持销210而通过使用夹持器100来固定分开掩模片10。
虽然已经结合目前被视为实际的示例性实施例的内容描述了本公开，但应当理解，本发明不限于所公开的实施例，而是相反，本发明意在覆盖包括在所附权利要求的精神和范围内的各种修改和等同布置及其等同物。

Claims (8)

1.一种包括沉积掩模的制造装置，所述装置包括：
夹持器，用于固定其上形成有销孔的分开掩模片的端部；
夹持销，位于夹持器中，用于***到销孔中；以及
提升器，用于提升夹持销。
2.根据权利要求1所述的包括沉积掩模的制造装置，其中，所述夹持器包括：
上夹持器，用于接触分开掩模片的端部的上侧；以及
下夹持器，用于接触分开掩模片的端部的下侧，并且具有用于将分开掩模片的端部附贴在下夹持器上的抽吸槽。
3.根据权利要求2所述的包括沉积掩模的制造装置，其中，夹持销在抽吸槽中。
4.根据权利要求3所述的包括沉积掩模的制造装置，其中，用于提升夹持销的提升孔位于下夹持器中。
5.根据权利要求4所述的包括沉积掩模的制造装置，其中，用于容纳夹持销的***槽位于上夹持器中。
6.根据权利要求4所述的包括沉积掩模的制造装置，其中，提升器通过提升孔结合到夹持销。
7.根据权利要求3所述的包括沉积掩模的制造装置，其中，抽吸槽结合到用于附贴分开掩模片的端部的真空。
8.根据权利要求1所述的包括沉积掩模的制造装置，其中，沉积掩模包括多个分开掩模片。
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