发明内容
本发明的目的是在输送车***中提高物品的输送效率。
有关本发明的输送车***,是用来在多个处理装置之间输送物品的输送车***,具备轨道、输送车和载置台。轨道具有与多个处理装置相邻的多个环路。输送车通过以单向通行在多个环路上行走而输送物品。载置台具有在环路的内侧接近于环路的两侧部分而配置、并沿环路的长度方向排列配置为一列的第1载置台及第2载置台,第1载置台及第2载置台分别具有朝向环路的两侧部分的一侧开设的第1开口部及朝向环路的两侧部分的相反侧开设的第2开口部。
在该***中,由于载置台具有在环路内朝向两侧的轨道分别开设的第1开口部及第2开口部,所以在物品的临时放置时,能够选择具有处于作为目的的处理装置的附近并且朝向该处理装置开设的开口部的载置台。以上的结果是,物品的输送效率提高。
第1载置台及第2载置台也可以在环路内以直线状配置。
在该***中,能够将环路的宽度设定在最小限度。
输送车***也可以还具备连接在多个环路上、能够在多个环路间中继物品的移动的自动仓库。
在该***中,能够在多个环路之间将物品保管到自动仓库中。因而,不再需要例如将生产日程以外的物品放置到载置台上。此外,自动仓库作为路径异常时的迂回路径发挥功能。
轨道也可以配置在比地面靠下方。
在该***中,由于轨道没有突出到比地面靠上方,所以当作业者越过轨道移动时轨道不易成为障碍。
输送车***也可以还具有覆盖轨道、与地面平行配置的保护盖。
在该***中,由于通过保护盖使地面变得平坦,所以当作业车越过轨道移动时不会损坏轨道。
处理装置也可以包括可直接移动物品而连结的第1处理装置及第2处理装置。多个环路也可以包括分别配置在第1处理装置的入口及第2处理装置的出口处的入口侧环路及出口侧环路。
在该***中,物品被从处于入口侧环路中的输送车移动到第1处理装置中,再被直接移动到第2处理装置中。最后,物品被从第2处理装置移动到处于出口侧环路中的输送车上。这样,通过将多个处理装置彼此连接,输送车***整体中的输送次数变少。
多个环路也可以具有平行排列的多个第1环路、和配置为将多个第1环路的第1端部间连结的第2环路。在多个第1环路的第2端部侧也可以不设置环路。
在该***中,由于没有设置将多个第1环路的第2端部间连结的环路,所以容易将装置运入到多个第1环路间或将装置从多个第1环路间运出。
多个环路也可以具有平行排列的多个第1环路、配置为将多个第1环路的第1端部间连结的第2环路、和配置为将多个第1环路的第2端部间连结的第3环路。构成第3环路的轨道也可以配置在比地面靠下方。
在该***中,由于构成第3环路的轨道没有突出到比地面靠上方,所以当作业者越过轨道移动时轨道不易成为障碍。
输送车***也可以还具备覆盖构成第3环路的轨道、与地面平行配置的保护盖。
在该***中,由于通过保护盖使地面变得平坦,所以容易将装置运入到多个第1环路间或将装置从多个第1环路间运出。
发明效果
在有关本发明的输送车***中,由于载置台在环路内具有朝向环路的两侧部分分别开设的第1开口部及第2开口部,所以物品的输送效率提高。
具体实施方式
(1)输送车***
使用图1说明有关本发明的输送车***1。图1是采用了本发明的一实施方式的输送车***的示意俯视图。在该实施方式中,输送车***1在制造大型的液晶的液晶制造工厂中采用。在液晶制造工厂中,配置有多个处理装置2及检查装置4。
输送车***1是在多个处理装置2间输送物品(例如收容有多个基板的盒)的***,具有轨道3、输送车5、自动仓库7、和多个缓冲区9。在输送车***1中,轨道3具有多个环路(环绕路),输送车5在各环路中以单向通行行走。
轨道3具有第1~第4环路11、13、15、17。第1~第3环路11、13、15向一个方向较长地延伸,因此具有直线状的两侧部分和处于两端的曲线。第1~第3环路11、13、15相互平行地排列延伸。第4环路17配置为,使其在第1~第3环路11、13、15的一侧端间延伸。在该实施方式中,在第1~第3环路11、13、15的与第4环路17相反侧没有设置轨道。因而,容易将装置运入到第1~第4环路11、13、15、17间或从它们之间运出装置。
第1环路11通过设置多个第1捷径用连结部19,实现第1小环路11a、第2小环路11b、第3小环路11c。第2环路13通过设置多个第2捷径用连结部21,实现第4小环路13a、第5小环路13b、第6小环路13c。第3环路15通过设置多个第3捷径用连结部23,实现第7小环路15a、第8小环路15b、第9小环路15c。
第4环路17通过设置多个第4捷径用连结部25,实现第10小环路17a、第11小环路17b。第10小环路17a通过多个连结部27连结在第1环路11及第2环路13上。第11小环路17b通过连结部28连结在第3环路15上。
多个处理装置2在第1~第4环路11、13、15、17的外侧排列配置有多个。处理装置2的结构及种类是周知的,所以这里省略详细说明。
作为多个处理装置2的一种,设有连续配置在各环路间的连续处理装置29。连续处理装置29设置在第1环路11与第2环路13之间、以及第2环路13与第3环路15之间。连续处理装置29包括能够直接移动物品而连结配置的第1处理装置29a及第2处理装置29b。例如,第1处理装置29a是蚀刻装置,第2处理装置29b是剥离装置。因而,物品被从处于第1环路11中的输送车5运入到第1处理装置29a的入口车站36中而被处理,接着被运入到第2处理装置29b中而被处理,最后被运出到处于第2环路13的出口车站38中的输送车5上。如以上所述,由于在多个处理装置2间没有设置输送轨道,所以输送车***1整体中的输送工序数变少。
自动仓库7配置在第1环路11与第2环路13之间。自动仓库7具有能够载置物品的多个货架和起重机。由于自动仓库7的结构是周知的,所以这里省略说明。自动仓库7沿第1环路11和第2环路13延伸的方向较长地延伸,具有向第1环路11侧延伸的第1车站31、和向第2环路13侧延伸的第2车站33。由此,自动仓库7能够在与在第1环路11或第2环路13中行走的输送车5之间取放物品。
另外,在该实施方式中,多个检查装置4以连接在自动仓库7上的形态配置在自动仓库7的周围。但是,检查装置的位置并没有特别限定。
多个缓冲区9是作为将物品在处理装置2间输送时的临时放置场所发挥功能的载置台。多个缓冲区9配置在第1~第4环路11~17内、更具体地讲配置在各小环路内。缓冲区9沿着环路的长度方向较长地形成,如后所述,具有设有开口部的多个收纳部。在第1~第9小环路11a、11b、11c、13a、13b、13c、15a、15b、15c内,分别配置有4个缓冲区9。在第10小环路17a内配置有6个缓冲区9。在第11小环路17b内,以一列且直线状配置有4个缓冲区9。
利用图4,对第1缓冲区9A和第2缓冲区9B的配置及构造进行详细说明。图4是图1的局部放大图。在各小环路内,第1缓冲区9A和第2缓冲区9B交替配置。第1缓冲区9A和第2缓冲区9B的基本的构造是相同的,但开口部的朝向相反。如图4所示,在第1小环路11a内,第1缓冲区9A具有3台第1单位缓冲区85。第1单位缓冲区85具有朝向相邻的轨道、具体而言朝向第1小环路11a的一个直线部分的第1开口部85a。第2缓冲区9B具有3台第2单位缓冲区86。第2单位缓冲区86具有朝向相邻的轨道、具体而言朝向第1小环路11a的另一个直线部分的第2开口部86a。根据以上,第1缓冲区9A的第1开口部85a和第2缓冲区9B的第2开口部86a在第1小环路11a内朝向相反侧。以上的结果是,对于第1缓冲区9A能够进行从第1小环路11a的第1侧的进入,对于第2缓冲区9B能够进行从第1小环路11a的第2侧的进入。这样,在1个小环路内确保了从小环路的哪一侧都能够进入的缓冲区,所以能够在短时间内执行输送车5与缓冲区9之间的移载。
通过以上的结构,在相邻于各处理装置2的环路内有缓冲区9,特别是有具有朝向环路的两侧部分分别开口的开口部的缓冲区9。因而,在两个处理装置2间输送物品时,通常能够用两个命令实现输送。具体而言,通过第1命令,输送车5从作为出发地的处理装置2运出物品,输送到作为目的地的处理装置2的附近的缓冲区9中。通过第2命令,输送车5将物品从缓冲区9输送到作为目的地的处理装置2中。这样,通过输送车5的两次运动完成物品的输送,所以输送车***1中的物品的输送吞吐量提高。
利用图5,作为输送车***1的变形例,说明确保了停止场所的布局。图5是表示轨道的变形例的输送车***的局部示意俯视图。
在图5中,将处理装置2的一部分去除,在该部位上配置有从第7小环路15a延伸的旁路89。旁路89的两端连接在第7小环路15a上,其中间部为规定长度的直线状,相对于第7小环路15a的直线部分平行。在旁路89中能够停止多台输送车5。另外,旁路89的配置位置、形状并不限定于该实施方式。此外,旁路89的可停车台数也可以是一台。
需要检修或维护的输送车5进入到旁路89中,在直线部分上停止。在该状态下作业者检修或维护输送车5。根据以上,不会因检修或维护作业而使在处理装置2间输送的输送车5的作业停止。即,能够减少或消除输送车***1中的停工时间。
(2)输送车
利用图2及图3对输送车5的构造进行说明。图2是作为本发明的一实施方式的输送车***的局部剖视图。图3是输送车的示意俯视图。在图2中,纸面正交方向是输送车5的输送方向,纸面左右方向是物品的移载方向。在图3中,纸面上下方向是输送车5的输送方向,纸面左右方向是物品的移载方向。
在图2中,表示地面32和天花板面34,还表示输送车5、缓冲区9、处理装置2的车站2a。输送车5、缓冲区9、处理装置2的车站2a的上表面为大致相同的高度,接近于天花板面34。
输送车5是用来在处理装置2的车站间输送玻璃基板或盒等的物品的输送机构。输送车5具有主体35、行走部37、辊式输送机39、推拉移载装置41、和微环境机构43。
主体35具有大致箱形形状。
行走部37具有设在主体35的左右前后的车轮45、连接在车轮45上的行走马达131(图7)、和设在行走马达131上的编码器139(图7)。车轮45行走的轨道47由图2可知,配置在形成于地面32上的凹部32a内,配置在比地面32靠下方。
另外,如图14所示,在输送车5不行走的部位的轨道47之上可以放置保护盖70。保护盖70覆盖轨道47,与地面32平行地配置。通过保护盖70,地面32变得平坦,所以作业者在越过轨道47移动时不会将轨道47损坏。
辊式输送机39可转动地设在主体35的上表面,构成输送车5的支撑面。如图2及图3所示,辊式输送机39的辊39a沿与行走方向成直角的方向排列,由此物品能够容易地向左右方向移动。另外,辊式输送机39由在行走方向上离开的一对辊列构成。辊式输送机39的辊39a都是自由辊(非自驱动辊),辊列单单构成物品的导引部件。因而,能够减小移载物品时的阻力,适合于有重量的物品的移载。这样,输送车5的支撑面是由转动自如的辊构成的辊式输送机39,所以在物品的移载时能够抑制磨损粉的产生。
推拉移载装置41是将辊式输送机39的辊列上的物品推拉移动的进退装置。推拉移载装置41具有能够沿左右方向伸缩的臂机构51、设在臂机构51上的钩部件53、和使臂机构51上下·左右·进退的推拉驱动机构133(图7)。在图2所示的状态下,推拉移载装置41配置在比辊式输送机39靠下方。另外,推拉移载装置41由于不需要支撑物品的载荷,所以结构较简单。因而,能够实现输送车5的轻量化。
钩部件53具有从臂机构51的最上段的臂再向左右方向两侧延伸的第1部分53a、和从第1部分53b的端部向上方延伸的第2部分53b。第2部分53b彼此的左右方向距离比物品的左右方向长度稍长。
微环境机构43具有框体55、一对闸门57、和FFU(Fan Filter Unit)59。微环境机构43是用来在输送车5中使物品的周围环境的清洁度提高的机构。框体55设在主体35的上部及前后,将规定的空间遮蔽。在框体55的左右两侧形成有开口部,在开口部上设有一对闸门57。闸门57能够在闸门驱动马达135(图7)作用下进行开闭动作。在图2所示的状态下,一对闸门57将框体55内的空间从外部遮蔽。FFU59是用来对框体55内供给洁净空气的装置,受FFU驱动马达137(图7)驱动。
(3)缓冲区
利用图2,说明缓冲区9(相对于图4的第1单位缓冲区85、第2单位缓冲区86)的构造。
缓冲区9例如在第1小环路11a的内侧接近于两侧部分而配置。缓冲区9具有载置台61、辊式输送机63、和微环境机构65。
载置台61具有大致箱形形状。辊式输送机63可转动地设在载置台61的上表面,构成缓冲区9的载置面。辊式输送机63与输送车5的辊式输送机39是相同的高度。辊式输送机63的辊沿与行走方向成直角的方向排列,由此物品能够容易沿左右方向移动。另外,辊式输送机63由在行走方向上离开的一对辊列构成。辊式输送机63的辊都是自由辊。这样,缓冲区9的载置面是由转动自如的辊构成的辊式输送机63,所以在物品的移载时能够抑制磨损粉的产生。
微环境机构65具有盖67和FFU69。微环境机构65是用来在缓冲区9中提高盖67内即物品的周围环境的清洁度的机构。盖67设在载置台61的上部,将规定的空间遮蔽。在盖67的轨道侧,形成有开口部67a(相当于图4的第1开口部85a、第2开口部86a)。在该实施方式中,盖仅配置在物品的上方,但盖也可以仅设在物品的上方和左右,也可以配置在物品的上方、左右和里侧。在该实施方式中,在开口部上没有设置闸门,但根据需要也可以设置闸门。FFU69是通过对框体55内供给洁净空气、用来提高载置的物品的周围的清洁度的装置。FFU69受FFU驱动马达137(图7)驱动。
(4)车站
利用图2对处理装置2的车站2a进行说明。车站2a具有载置台71和辊式输送机73。
载置台71具有大致箱形形状。辊式输送机73可转动地设在载置台71的上表面。辊式输送机73的辊沿与行走方向成直角的方向排列,由此物品能够容易沿左右方向移动。另外,辊式输送机73由在行走方向上离开的一对辊列构成。辊式输送机73的辊都是自由辊。
(5)控制结构
利用图6说明输送车***1的控制***120。图6是表示输送车***的控制***的框图。
控制***120具有制造控制器121、物流控制器123、自动仓库控制器125、和输送车控制器127。
物流控制器123是自动仓库控制器125及输送车控制器127的上位的控制器。输送车控制器127管理多个输送车5,具有对它们分配输送指令的分配功能。另外,“输送指令”包括关于行走的指令以及关于货物抓起位置和货物放下位置的指令。
制造控制器121能够在与处理装置2之间进行通信。处理装置2将结束了处理的物品的输送请求(货物抓起请求、货物放下请求)发送给制造控制器121。
制造控制器121将来自处理装置2的输送请求发送给物流控制器123,物流控制器123将报告发送给制造控制器121。
物流控制器123如果从制造控制器121接受到输送请求,则在伴随着自动仓库7中的入库或出库的情况下,以规定的定时将入库或出库指令向自动仓库控制器125发送。并且,自动仓库控制器125对应于此将入库或出库指令向自动仓库7发送。物流控制器123还如果从制造控制器121接受到输送请求,则将其变换为输送指令,进行向输送车5的输送指令分配动作。
输送车控制器127为了制作输送指令而与各输送车5连续地通信,基于从各输送车5发送来的位置数据得到其位置信息。
利用图7对输送车5的输送车内控制器129进行说明。图7是表示输送车内的控制器的结构的框图。
输送车内控制器129是由CPU、RAM、ROM等构成、执行程序的计算机。在输送车内控制器129的存储器中保存有路线图。输送车5一边比较记载在路线图中的坐标和本机的内部坐标(由编码器139(后述)求出的坐标)一边继续行走。
在输送车内控制器129上,连接着行走马达131、推拉驱动机构133、闸门驱动马达135、FFU驱动马达137、编码器139。
(6)输送车***的动作
使用图2及图8~图13说明输送车***1的动作。图8~图13是作为本发明的一实施方式的输送车***的局部剖视图。在图2的状态下,输送车5在载置有物品C1的状态下停止在缓冲区9与处理装置2的车站2a之间。在车站2a上载置有物品C2。从该状态起,输送车5将物品C1卸到缓冲区9中,接着将物品C2从车站2a装入。以下,详细说明该动作。
从图2的状态起,在输送车5中,通过驱动闸门驱动马达135,将缓冲区9侧的闸门57打开。进而,驱动推拉驱动机构133的升降机构(未图示),使臂机构51上升。结果,将钩部件53的第2部分53b配置在物品C1的左右方向两侧。在图8中表示臂机构51的上升后的状态。
从图8的状态起,在输送车5中,驱动推拉驱动机构133的滑动机构(未图示),使臂机构51滑动到缓冲区9侧。由此,物品C1被钩部件53的第2部分53b推压,被从输送车5输送到缓冲区9内。具体而言,物品C1在辊式输送机39及辊式输送机63上滑动移动。在图9中表示物品C1的移动后的状态。
从图9的状态起,在输送车5中,驱动推拉驱动机构133的升降机构(未图示),使臂机构51下降。结果,将钩部件53的第2部分53b配置在比物品C1的左右方向两侧靠下方。接着,驱动推拉驱动机构133的滑动机构(未图示),使臂机构51滑动到输送车5侧。由此,臂机构51回到输送车5内。最后,驱动闸门驱动马达135,将缓冲区9侧的闸门57关闭。在图10中表示闸门57关闭的状态。
如以上说明,输送车5停止在缓冲区9的侧方,通过推拉移载装置41使物品在主体35与缓冲区9之间移动。物品如果从推拉移载装置41作用力,则在辊式输送机39和辊式输送机63之上移动。这样,能够以简单的构造进行重物的移载。
从图10的状态起,在输送车5中,通过驱动闸门驱动马达135,将车站2a侧的闸门57打开。进而,驱动推拉驱动机构133的滑动机构(未图示),使臂机构51滑动到缓冲区9侧。在图11中表示臂机构51的滑动后的状态。
从图11的状态起,在输送车5中,驱动推拉驱动机构133的升降机构(未图示),使臂机构51上升。结果,将钩部件53的第2部分53b配置在物品C2的左右方向两侧。在图12中表示臂机构51上升后的状态。
从图12的状态起,驱动推拉驱动机构133的滑动机构,使臂机构51滑动到输送车5侧。由此,臂机构51回到输送车5内。此外,物品C2被钩部件53的第2部分53b推压,被从车站2a输送到输送车5内。具体而言,物品C2在辊式输送机73及辊式输送机39上滑动移动。进而,驱动推拉驱动机构133的升降机构(未图示),使臂机构51下降。结果,将钩部件53的第2部分53b配置在比物品C2的左右方向两侧靠下方。最后,驱动闸门驱动马达135,将车站2a侧的闸门57关闭。在图13中表示闸门57关闭的状态。
以上,一系列的移载动作结束。
(7)其他实施方式
以上,对本发明的一实施方式进行了说明,但本发明并不限定于上述实施方式,在不脱离发明主旨的范围内能够进行各种变更。
特别是,写在本说明书中的多个实施方式及变形例可以根据需要而任意地组合。
(A)在上述实施方式中,分别具有多个朝向不同侧的开口部的第1缓冲区9A和第2缓冲区9B一个一个地交替设置,但本发明并不限定于这样的实施方式。
缓冲区只要在环路内具有朝向环路的两侧部分分别开口的第1开口部及第2开口部,是怎样的构造都可以。例如,也可以将一方的种类的缓冲区连续地配置。进而,也可以使用仅具有1个开口部的缓冲区。即,关于缓冲区的形状、各个缓冲区的连续数并没有特别限定。
根据以上的构造,缓冲区在环路内具有朝向环路的两侧部分分别开设的第1开口部及第2开口部。因而,在将物品运入到缓冲区9中时,能够选择处于作为目的的处理装置2的附近并且具有朝向该处理装置2开设的开口部的缓冲区。以上的结果是,物品的输送效率提高。
(B)在环路内,多个缓冲区9也可以不以直线状配置。但是,为了使环路的宽度不极端地变大,优选地将多个缓冲区9配置为一列。另外,在缓冲区9以直线状配置的情况下,能够将环路的宽度设定为最小限度。
(C)在图15所示的输送车***中,轨道3除了上述实施方式的构造以外,还在第1~第3环路11、13、15的与第4环路17相反侧具有第5环路77。
第5环路77通过设置第5捷径连结部79,实现第12小环路77a、第13小环路77b。第12小环路77a通过多个连结部81连结在第1环路11及第2环路13上。第13小环路77b通过连结部83连结在第3环路15上。
第1~第5环路11、13、15、17、77的轨道如上述实施方式中说明那样收纳在地面32的凹部32a内。在该实施方式中,例如在通常时,在第5环路77的轨道之上预先盖上保护盖。通过配置保护盖,地面32变得平坦,所以容易将装置运入到第1~第4环路11、13、15、17间或从它们之间运出装置。此外,当作业者越过第5环路77移动时不会将轨道损坏。并且,例如在异常时,能够将保护盖拆下而使输送车5在第5轨道77上行走。
在该实施方式中,在第5环路77内没有设置缓冲区。但是,根据需要也可以配置缓冲区。
(D)利用图16~图19,说明提高了缓冲区的物品收容能力的其他实施方式。图16是采用了本发明的其他另一实施方式的输送车***的局部剖视图。图17是载置台的示意俯视图。图18是载置台的局部侧视图。图19是输送车***的局部剖视图。
如图16及图17所示,缓冲区91具有辊式输送机93和支撑机构95。
辊式输送机93与上述实施方式是同样的,但在各辊93a间确保有规定的间隙。辊式输送机93还具有支撑辊93a的支撑部93b、支柱93c、以及支撑棒93d。支撑部93b是直接支撑辊93a的部分,沿辊93a排列的方向延伸。支撑部93b旋转自如地支撑辊93a的对置于另一辊列的一侧的端部。支柱93c将支撑部93b维持在规定高度。支撑棒93d从支柱93c倾斜延伸,旋转自如地支撑辊93a的与另一辊列相反侧的端部。即,在辊93a的与另一辊列相反侧没有设置支柱。
支撑机构95是用来使辊式输送机93上的物品移动到比辊式输送机93靠上方的机构,具有支撑部件97和驱动机构99。支撑部件97是分别沿上下方向通过一对辊式输送机93而能够支撑物品的一对部件,如图17所示,具有基础框101、和从基础框101延伸的多个细的支撑部103。各基础框101配置在各辊式输送机93的前后方向外侧,沿辊式输送机93的各辊93a排列的方向延伸。如图16及图17所示,多个支撑部103延伸到辊式输送机93的辊93a之间。支撑部103的上表面是平坦的面,配置在比辊93a的上表面靠下方。驱动机构99是用来驱动支撑部件97的机构,具有支柱105、升降马达(未图示)、和链(未图示)。支柱105例如设在四角上,沿上下方向延伸,如图18所示,可上下运动地支撑支撑部件97的基础框101的两端。升降马达(未图示)能够经由链(未图示)使支撑部件97上下运动。
在该实施方式中,由于支柱105延伸得较高,所以随之缓冲区91的盖67的天花板部也变高,进而,天花板面34的对应于缓冲区91的部分也变高。
在该输送车***中,在将物品放置到辊式输送机93上之后,通过升降马达(未图示)将链(未图示)卷起,使支撑部件97上升。于是,多个支撑部103通过辊式输送机93的辊93a之间而向上方移动。由此,如图18所示,支撑部件97的支撑部103将物品C抬起,由此物品C从辊式输送机93的辊93a离开。最终,如图19所示,物品C在缓冲区91内在最高的位置处受多个支撑部103支撑。在此状态下,在辊式输送机93上能够确保能够运入下个物品的空间。以上,能够在缓冲区91内运入两个物品。即,缓冲区91的物品收容能力变高。
另外,用来将物品抬起的支撑部件的形状并不限定于上述实施方式。支撑部件也可以是例如梯子形状。
(E)主体35的辊式输送机39和缓冲区9的辊式输送机63只要在物品C的移载时是相同的高度就可以。即,任一个或两者的面能够变更高度,在输送车5的行走中或停止中两者的面的高度也可以不同。