JP5019043B2 - 工程間搬送システム - Google Patents
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Description
この無人搬送車としては、工場の地上を走行するRGV(有軌道式地上搬送車)と、工場の天井部を走行するOHV(有軌道式天井搬送車)とがある。
また、この大型化する搬送車による搬送ラインのコーナ部の回転半径の大径化及び搬送ラインのループ長大化に伴い、これらを収める工場建屋自体も大きくなり、設備費が高価になるという問題があった。
液晶基板や半導体等の製造工場において、本発明の工程間搬送システムは、特に限定されるものではないが、例えば、図1に示すように、ループ状の搬送ラインRの直線区間に沿ってその外側方に複数台の製造装置M、Mを定間隔或いは任意間隔に配設するとともに、このループ状の搬送ラインRに沿って複数台の無人の搬送車V、Vを走行させ、製造装置M間を液晶基板や半導体部品を収納したカセット等の搬送物(以下、「カセットK」という。)を搬送するようにし、かつループ状の搬送ラインRの空間内に、移送機とその両端部に移載機を配置するようにして組み合わせてなるコンベアを配設するようにして構成している。
また、平行する往路側走行レールR1と復路側走行レールR2との間には、大型のカセットKを搬送するのに適した大きさの搬送車Vが搬送走行するよう、所要の空間スペースSをあけるようにし、この空間スペースS内に移送機とその両端部に移載機を配置するよう組み合わせてなるコンベアCを配設する。
この無人の搬送車Vとしては、特に限定されるものではないが、例えば、工場の地上を走行する場合はRGV(有軌道式地上搬送車)を採用し、また工場の天井部を走行する場合はOHV(有軌道式天井搬送車)を採用する。
なお、この場合、移送台車12の移動をある搬送物置台11の下方位置で停止し、昇降台を少し下降することで、カセットKは、移送台車12側から移送台車12が停止した位置の搬送物置台11上に一時保管されるものとなる。
カセットKは、無人の搬送車Vに搭載されてループ状の搬送ラインRに沿って所定の順方向に旋回するように走行して搬送され、指定された製造装置Mの位置で停止し、該製造装置Mとの間でカセットKの受け渡しを行うようにしている。
ところが、従来の方法では、このカセットKを往路側の走行レールR1に隣接された製造装置Mで渡した後、復路側の走行レールR2の予め定められたカセット搭載位置に到達するまで該搬送車Vは空車でループ状の搬送ラインRを順方向にほぼ1周走行する必要があった。
また、長い搬送ラインでは、走行レール間の空間内に2台以上のコンベアを連接配設し、かつコンベア間の連接部に1台の移載機を配設することにより、長い搬送ラインであっても少ない移載機数で効率的な移載、保管を行うことができる。
K カセット
M 製造装置
R 搬送ライン
R1 往路側走行レール
R2 復路側走行レール
R3 コーナレール
S 空間スペース
V 無人の搬送車
1 移送機
11 搬送物置台
12 移送台車
13 昇降台
2 移載機
21 移載アーム
Claims (1)
- ループ状をした搬送ラインの直線区間に沿ってその外側方に複数台の製造装置を配設するとともに、該搬送ラインの空間内に、移送機とその両端部に移載機を配置するようにして組み合わせてなるコンベアを配設して構成した工程間搬送システムであって、前記移送機を、搬送ラインの走行レールと平行して直列的に複数配置する搬送物置台と、該搬送物置台間を搬送物のタクト移送を可能とする移送台車とより構成するとともに、前記移載機を、搬送ラインの走行レールを走行する搬送車と搬送物置台との間の搬送物の移載を可能とするように構成し、かつ、2台以上のコンベアを該コンベア間の連接部に1台の移載機を配置して直列的に連接配設したことを特徴とする工程間搬送システム。
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JP2007203382A JP5019043B2 (ja) | 2007-08-03 | 2007-08-03 | 工程間搬送システム |
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JP2005280929A (ja) * | 2004-03-30 | 2005-10-13 | Murata Mach Ltd | ストッカ |
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