JP2000355403A - 搬送システム - Google Patents

搬送システム

Info

Publication number
JP2000355403A
JP2000355403A JP17062099A JP17062099A JP2000355403A JP 2000355403 A JP2000355403 A JP 2000355403A JP 17062099 A JP17062099 A JP 17062099A JP 17062099 A JP17062099 A JP 17062099A JP 2000355403 A JP2000355403 A JP 2000355403A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
track
articles
tracks
tracked
mounting table
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP17062099A
Other languages
English (en)
Inventor
Hiroshi Ishida
博史 石田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Murata Machinery Ltd
Original Assignee
Murata Machinery Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Murata Machinery Ltd filed Critical Murata Machinery Ltd
Priority to JP17062099A priority Critical patent/JP2000355403A/ja
Publication of JP2000355403A publication Critical patent/JP2000355403A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Platform Screen Doors And Railroad Systems (AREA)
  • Warehouses Or Storage Devices (AREA)
  • Feeding Of Workpieces (AREA)
  • Multi-Process Working Machines And Systems (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【構成】 軌道10,10を対向配置して、有軌道台車
12,12で物品を搬送し、軌道10,10間にターン
テーブル18を設けた載置台16を設ける。 【効果】 対向配置した工程間で物品を受け渡すことが
でき、搬送効率が向上する。またターンテーブル18に
より物品の向きを揃えることができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の利用分野】この発明は有軌道台車を用いた搬送
システムに関する。
【0002】
【従来技術】従来の搬送システムでは、物品の搬送を工
程内搬送と工程間搬送等の2種類に分け、工程内搬送で
は低速であるが小回りの効く無人搬送車を用い、工程間
搬送では高速で停止位置の精度に優れた有軌道台車を用
いていた。工程内搬送の効率を高めるためには有軌道台
車の導入が好ましいが、有軌道台車では軌道のレイアウ
トに制限があり、特に対向配置した処理装置などの間で
物品を搬送することは困難である。
【0003】
【発明の課題】この発明の基本的課題は、対向する軌道
の有軌道台車間で物品を受け渡しできるようにして搬送
効率を高めることにある(請求項1〜3)。請求項2の
発明の追加の課題は、工程内での物品搬送と、対向配置
した工程間での物品の搬送とを有軌道台車で行えるよう
にして、搬送効率を改善することにある。請求項3の発
明の追加の課題は、対向する軌道間の搬送効率をさらに
改善することにある。
【0004】
【発明の構成】この発明は、有軌道台車を走行させるた
めの各々独立した2本の軌道を対向配置するとともに、
対向配置した軌道の間に、各軌道を走行する有軌道台車
によって物品を受け渡すことが可能な載置台を設けた搬
送システム(請求項1)にある。請求項2の発明は上記
に加えて、前記対向配置した軌道の両外側の各々に、物
品の処理工程を行う処理装置を設け、前記各々の有軌道
台車で各工程内での物品の搬送を行うと共に、前記両有
軌道台車と前記載置台とを介して両工程間での物品の搬
送を行うようにし、さらに複数の工程間で物品を搬送す
る他の搬送装置を設けたことを特徴とする。請求項3の
発明はさらに、複数の物品を載置できるように前記載置
台を構成したことを特徴とする。
【0005】
【発明の作用と効果】この発明では、対向配置した各軌
道を走行する有軌道台車により物品の受け渡しができる
ように、軌道の間に物品の載置台を設ける。このため、
各軌道を走行する有軌道台車の間で、有軌道台車、載置
台、有軌道台車の順で物品を搬送できる(請求項1〜
3)。
【0006】ここで、前記対向配置した軌道の両外側の
各々に、物品の処理工程を行う処理装置を設け、前記各
々の有軌道台車で各工程内での物品の搬送を行うと共
に、前記両有軌道台車と前記載置台とを介して両工程間
での物品の搬送を行うようにし、さらに複数の工程間で
物品を搬送する他の搬送装置を設けると、軌道の片側の
各工程内での物品の搬送は各々の有軌道台車で行え、対
向配置した軌道をまたぐ工程間搬送は、有軌道台車、載
置台、有軌道台車の順で行える。このため工程内搬送や
対向配置した工程間での搬送効率が向上する。また複数
の工程間で物品を搬送する他の搬送装置の負担も軽減
し、その効率が向上する。さらに軌道をU字型の折り返
し軌道にして工程間搬送を行う必要がない(請求項
2)。
【0007】また載置台に複数の物品を載置できるよう
にすると、載置台が対向する軌道間での一種のバッファ
ーとなり、搬送効率をさらに高めることができる(請求
項3)。
【0008】
【実施例】図1〜図3に、実施例の搬送システムを示
す。図1において、2,3は他の工程とのリードタイム
の差を吸収するために物品を一時的に蓄えておくための
ストッカーで、4,5は処理装置である。ストッカー2
と複数の処理装置4を例えば1列に配置し、先頭のスト
ッカー2には工程間搬送用のステーション8を設け、各
処理装置4とストッカー2には工程内搬送用のステーシ
ョン6を設ける。同様にストッカー3と複数の処理装置
5とを1列に配置し、ストッカー3には工程間搬送用の
ステーション8を設け、ストッカー3と処理装置5とに
工程内搬送用のステーション6を設ける。
【0009】実施例では、ストッカー2、処理装置4の
列で1つの工程を処理し、ストッカー3、処理装置5の
列で1つの工程を処理する。そして、処理装置4と処理
装置5との間で物品を搬送する場合を考える。搬送する
物品は例えば半導体基板や液晶基板等とし、例えば図示
しないカセットに収容され、処理装置4,5間で物品の
向きを180°変えることが必要である。ストッカー
2,3や処理装置4,5及び搬送システムは、例えばク
リーンルーム内に設ける。10,10は対向配置した一
対の軌道で、その両側に、ストッカー2と処理装置4の
列と、ストッカー3と処理装置5の列が有り、それぞれ
有軌道台車12,12を走行させる。各有軌道台車1
2,12にはスカラーアームを用いた移載装置14があ
り、スカラーアームに変えてスライドフォーク等でも良
い。また移載装置14は有軌道台車12ではなく、ステ
ーション6や後述の載置台16等に設けても良い。
【0010】16は軌道10,10を走行する有軌道台
車12,12によって物品を受け渡すことが可能な載置
台で、複数のターンテーブル18を軌道10,10に対
して並列に備えている。有軌道台車12の移載装置14
を用いて、台車12からターンテーブル18上へ物品を
荷下ろしし、次いで対向する軌道の有軌道台車12の移
載装置14を用いて物品を有軌道台車12に荷積みす
る。20はリニア搬送車22の軌道で、複数の工程間で
物品を搬送する。リニア搬送車22に代えて、天井走行
車や他の有軌道台車等を用いても良い。ターンテーブル
18を載置台16に設けると、ターンテーブルを有軌道
台車12の移載装置14に設ける場合よりも、構成が簡
単になる。これは、有軌道台車12にターンテーブルと
ターンテーブル上の移載装置14を設ける等よりも、有
軌道台車12には物品の向きを反転させる機能のない移
載装置12のみを設け、載置台16にターンテーブル1
8を設ける方が簡単なためである。
【0011】対向配置した一対の軌道10,10間の間
隔が不適切な場合、図2に示す軌道11,11のよう
に、軌道を湾曲させて、載置台16に軌道11,11を
接続する。軌道11,11を湾曲させることに代えて、
物品を図2の左右方向に送る双方向性のコンベアを載置
台16に設けても良い。
【0012】図3にターンテーブル18の構造を示す。
30は原動車で、図示しないモータに接続し、32はそ
のピンで、34は凸円周面である。36は従動車で、3
8はピン32と係合するための長孔で、例えば1個〜6
個程度設け、40は凸円周面34と滑らかに接するため
の凹円周面である。従動車36と同軸に歯車42を設
け、例えば歯数の比が歯車42の1/2の歯車44を設
けて、歯車44の回転でターンテーブル18を回転す
る。このようにすれば、原動車30が回転して、ピン3
2が長孔38に入ると、原動車30の回転により、従動
車36は例えば90゜回転した後、ピン32が長孔38
から脱出する。ピン32は長孔38に対して従動車36
の半径方向に出入りするので、ピン32が長孔38へ進
退する際の衝撃は小さく、またピン32が長孔38から
脱出すると、従動車36は直ちに停止する。さらに凸円
周面34と凹円周面40とが接するため、ピン32が脱
出した後は従動車36は回転しない。
【0013】原動車30の1回転は従動車36の90゜
回転に変換され、歯車42,44を用いて、歯車44の
180゜回転に変換される。このため原動車30を1回
転させれば、ターンテーブル18は180゜回転する。
そして図1のレイアウトの場合、半導体基板や液晶基板
等の物品を収容したカセットを、処理装置4,5の向き
が180゜逆なことに合わせて、載置台16で180゜
回転させる。このため有軌道台車12の移載装置14に
はターンテーブル等を設ける必要はない。ターンテーブ
ル18の構成自体は任意であるが、好ましくは図3のゼ
ネバ機構等のゼネバ機構を用い、サーボモータ等を用い
ずに、メカニカルな制御で180°回転を行う。図3で
は歯車42,44による回転角の変換を行ったが、例え
ば従動車36の出力軸をターンテーブル18の軸とし、
原動車30の2回転で、ターンテーブル18を180°
回転させても良い。
【0014】図1に戻り実施例の全体的動作を示すと、
物品はリニア搬送車22でストッカー2まで搬送され、
以下図1の左側の有軌道台車12で処理装置4を例えば
順に搬送されて、載置台16へ運ばれる。次に図1の右
側の有軌道台車12は、載置台16で180゜回転して
向きを整えられた物品を搭載し、各処理装置5を例えば
順に搬送し、処理が終了した物品をストッカー3のステ
ーション6へ荷下ろしする。そしてストッカー3から、
ステーション8を経てリニア搬送車22により次の工程
へと搬送する。このため図1の左右の処理装置4,5間
をリニア搬送車22を経ずに搬送できるので、対向する
工程間の搬送が速やかになる。また工程間の搬送にリニ
ア搬送車22を使用せずに済むため、その占有時間を他
の工程間の搬送に振り向けることができ、リニア搬送車
22の搬送効率が向上する。軌道10,10はU字型の
折り返し軌道にする必要が無く、載置台16に複数のタ
ーンテーブル18を設けたので、左側の処理装置4と右
側の処理装置5とで処理速度が異なる場合のバッファー
として用いることができる。なお載置台16は図1の処
理装置4,5間の物品移動にのみ用いるのではなく、図
1の左側の処理装置4,4間での一時的な物品の保管
や、右側の処理装置5,5間の一時的な物品の保管等に
用いても良い。さらに、リニア搬送車22と有軌道台車
12との間で物品を受け渡す場合、ストッカー2,3を
経由させる必要はなく、ストッカー2,3に代えてリニ
ア搬送車22と有軌道台車12の双方が物品を受け渡す
ことができる単なるステーションを設けても良い。
【図面の簡単な説明】
【図1】 実施例の搬送システムの構成を示す図
【図2】 変形例での軌道と載置台との配置を示す図
【図3】 実施例での載置台の要部平面図
【符号の説明】
2,3 ストッカー 4,5 処理装置 6,8 ステーション 10 軌道 12 有軌道台車 14 移載装置 16 載置台 18 ターンテーブル 20 軌道 22 リニア搬送車 30 原動車 32 ピン 34 凸円周面 36 従動車 38 長孔 40 凹円周面 42,44 歯車

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 有軌道台車を走行させるための各々独立
    した2本の軌道を対向配置するとともに、対向配置した
    軌道の間に、各軌道を走行する有軌道台車によって物品
    を受け渡すことが可能な載置台を設けた搬送システム。
  2. 【請求項2】 前記対向配置した軌道の両外側の各々
    に、物品の処理工程を行う処理装置を設け、前記各々の
    有軌道台車で各工程内での物品の搬送を行うと共に、前
    記両有軌道台車と前記載置台とを介して両工程間での物
    品の搬送を行うようにし、 さらに複数の工程間で物品を搬送する他の搬送装置を設
    けたことを特徴とする、請求項1の搬送システム。
  3. 【請求項3】 複数の物品を載置できるように前記載置
    台を構成したことを特徴とする、請求項1または2の搬
    送システム。
JP17062099A 1999-06-17 1999-06-17 搬送システム Pending JP2000355403A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP17062099A JP2000355403A (ja) 1999-06-17 1999-06-17 搬送システム

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP17062099A JP2000355403A (ja) 1999-06-17 1999-06-17 搬送システム

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2000355403A true JP2000355403A (ja) 2000-12-26

Family

ID=15908259

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP17062099A Pending JP2000355403A (ja) 1999-06-17 1999-06-17 搬送システム

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2000355403A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011173673A (ja) * 2010-02-24 2011-09-08 Muratec Automation Co Ltd 搬送車システム

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011173673A (ja) * 2010-02-24 2011-09-08 Muratec Automation Co Ltd 搬送車システム

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3508130B2 (ja) 搬送システム
JP5618190B2 (ja) 供給搬出システム
JP2007039237A (ja) 磁性ベルト駆動式軌道搬送方法及び装置
JPH09285982A (ja) 薄型ワーク搬送装置
JP3828108B2 (ja) コンベア装置
JP2005029319A (ja) 搬送システム
JP2000355403A (ja) 搬送システム
JP2000124284A (ja) 搬送装置
JP2000203702A (ja) 自動搬送システム
JP2000238633A (ja) リニア搬送車
JPH03192015A (ja) 移載装置
JP2000095305A (ja) 物品処理装置
JPH0213361Y2 (ja)
JPH0134711B2 (ja)
JPH08186160A (ja) ウエハ収納箱搬送装置
JP3995085B2 (ja) ループ搬送システム
JPH054281B2 (ja)
JPH0158021B2 (ja)
JPH06171708A (ja) 工程間搬送システム
JPH0734017Y2 (ja) 搬送装置
JP2725526B2 (ja) 自動保管棚装置
JP2000277584A (ja) 半導体デバイスの製造ライン
JPS63130467A (ja) 搬送車
JP2000109212A (ja) レール走行式工程間搬送装置
JPH07285088A (ja) スタッカロボット

Legal Events

Date Code Title Description
A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20031222