TW201922594A - 高架搬送車系統及高架搬送車系統中物品之暫時保管方法 - Google Patents
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Abstract
本發明利用傾斜軌道,使高架搬送車系統可暫時保管多個物品。
高架搬送車之軌道包含相對於水平面傾斜之傾斜軌道。高架搬送車具備有於傾斜軌道上移行自如之移行單元、保持物品之機械手單元、使機械手單元升降之升降單元、於傾斜軌道上將升降單元保持為水平之水平維持機構、及控制器。而且,設置複數個位於傾斜軌道之高架搬送車可將物品移載自如且被配置為水平且高度共通之載置部。高架搬送車利用控制器,以使機械手單元以對應於傾斜軌道與各個載置部之間之高度差的升降量來進行升降之方式控制升降單元,而在與載置部之間移載物品。
Description
本發明關於高架搬送車系統及高架搬送車系統中物品之暫時保管方法。
若使高架搬送車之軌道相對於水平面傾斜,便可使1層軌道分支為上下2層、或將天花板空間之高度不同之2個建物(建築物)加以連接等。在相對於水平面傾斜之軌道(傾斜軌道)上移行之情形時,雖然較佳為使物品不會傾斜,但如此之高架搬送車之構造已被提出於專利文獻1(JPH10-250978A)中。
專利文獻1:JPH10-250978A
發明人著眼於以下之內容。高架搬送車無法以較大之傾斜角上升,即使上升之高度為例如1m左右,傾斜軌道便會變長例如10~20m左右。因此,若沿著傾斜軌道設置複數個載置部,便可暫時保管多個物品。
本發明之課題在於藉由利用傾斜軌道,使高架搬送車 系統可暫時保管多個物品。
本發明之高架搬送車系統具備有:軌道,其包含相對於水平面傾斜之傾斜軌道;高架搬送車,其具備有於上述傾斜軌道上移行自如之移行單元、保持物品之機械手單元、使上述機械手單元升降之升降單元、於上述傾斜軌道上將上述升降單元保持為水平之水平維持機構、及控制器;以及複數個載置部,其等係沿著上述傾斜軌道被設置,並被配置為水平且相同高度;上述高架搬送車係於使上述移行單元停止在欲移載物品之上述載置部之正上部之狀態下,對上述載置部進行物品之移載者,且上述控制器以如下之方式控制上述升降單元:於上述移載時,使上述機械手單元以對應於上述移行單元在上述傾斜軌道上停止之部分與欲移載上述物品之載置部之距離的升降量來進行升降。
本發明之高架搬送車系統中物品之暫時保管方法使用高架搬送車系統,而該高架搬送車系統具備有:軌道,其包含相對於水平面傾斜之傾斜軌道;高架搬送車,其具備有於上述傾斜軌道上移行自如之移行單元、保持物品之機械手單元、使上述機械手單元升降之升降單元、於上述傾斜軌道上將上述升降單元保持為水平之水平維持機構、及控制器;以及複數個載置部,其等係沿著上述傾斜軌道被設置,並被配置為水平且相同高度; 上述高架搬送車係於使上述移行單元停止在欲移載物品之上述載置部之正上部之狀態下,對上述載置部進行物品之移載,上述控制器以如下之方式控制上述升降單元而在與上述載置部之間移載物品:於上述移載時,使上述機械手單元以對應於上述移行單元在上述傾斜軌道上停止之部分與欲移載上述物品之載置部之距離的升降量來進行升降。
於高架搬送車之情形時,即使兩端之高低差不大,但由於傾斜角小,因此傾斜軌道一般仍會變長。於本發明中,沿著傾斜軌道設置具有複數個載置部之緩衝區、儲存庫等,而若沿著傾斜軌道設置緩衝區,便可簡便地設置多個緩衝區。又,亦可沿著傾斜軌道設置具有複數個作為載置部之輸送機之儲存庫。於該情形時,儲存庫可儲存多個物品,高架搬送車於與輸送機之間移載物品,而輸送機使物品於與儲存庫之內部之間移動。
載置部係沿著傾斜軌道被設置,具備有被水平配置之複數個載置部,且各載置部之高度相等。相對於此,高架搬送車由在傾斜軌道上移行,因此每個載置部,高架搬送車將物品移載至該裝置部時之手之升降量會不同。因此,利用控制器來控制升降單元,藉由使機械手單元以對應於傾斜軌道與各個載置部之間之高度差的升降量進行升降,傾斜軌道上之高架搬送車可在與各載置部之間移載物品。再者,於本說明書中,關於高架搬送車系統之記載,亦可適用於高架搬送車系統中物品之暫時保管方法。
較佳為,傾斜軌道被設置為將半導體工場等之建物與建物加以連接,且緩衝區等被設置於建物與建物之間。如此一來,便可於半導體工場等之建物與建物之間設置多個載置部。
較佳為,傾斜軌道具備有自一建物朝向另一建物地被配置之第1傾斜軌道、及自另一建物朝向一建物地被配置之第2傾斜軌道,且緩衝區等之各載置部被配置為自位於第1傾斜軌道及第2傾斜軌道中之任一者之高架搬送車均可將物品移載自如。此處,較佳為,第1傾斜軌道未進入至另一建物內而構成前端存在於建物間之迴圈,第2傾斜軌道亦未進入至一建物內,而構成前端存在於建物間之迴圈。
由於半導體工場等之建物與建物,高架搬送車之規格不同,因此存在有無法相互地將高架搬送車駛入之情形。於該種情形時,可經由建物間之緩衝區等將第1傾斜軌道與第2傾斜軌道加以連接。因此,即使高架搬送車之規格不同,亦可將2個半導體工場等之建物加以連接。
較佳為,軌道具備有經由向上之傾斜軌道而被連接於一對水平軌道之一者之上層軌道、及經由向下之傾斜軌道而被連接於上述一對水平軌道之另一者之下層軌道,緩衝區等之各載置部被配置為自向上之傾斜軌道及向下之傾斜軌道中之任一者均可將物品移載自如。
於1棟建物內,亦存在有上下配置複數個高架搬送車之軌道而增加搬送能力之情形。於該情形時,經常會經由向上之傾斜軌道將上層軌道連接於共通之水平軌道,並經由向下之傾斜軌道將下層軌道連接於共通之水平軌道。此處,若自2個傾斜軌道中之任一者均移載自如地設置緩衝區等,便可暫時保管多個物品,而且自任一傾斜軌道均可對緩衝區等進行存取。
較佳為,軌道包含有被配置為俯視時平行於傾斜軌道 之水平軌道,上述載置部被配置為自位於水平軌道及傾斜軌道中之任一者之高架搬送車均可將物品移載自如。於該情形時,亦可暫時保管多個物品,而且自任一軌道均可對緩衝區等進行存取。
較佳為,上述複數個載置部係安裝於俯視時平行於上述傾斜軌道且水平之框架,上述複數個載置部與上述框架構成緩衝區。若於水平之框架安裝複數個載置部來作為緩衝區,緩衝區之構造便會變簡單。另一方面,移載物品時每個載置部之機械手單元之升降量會產生變化。於本發明中,藉由高架搬送車之控制器,以使機械手單元以對應於傾斜軌道與各載置部之間之高度差的升降量進行升降之方式來控制升降單元。因此,即使所需之升降量每個載置部都不同,亦能夠於高架搬送車與載置部之間移載物品。
較佳為,高架搬送車之控制器根據傾斜軌道之傾斜角與載置部間之距離,使機械手單元之升降量產生變化。於緩衝區之情形時,複數個載置部以固定之間距被排列配置。由於對每個載置部進行升降量之教導花費工時,因此對該等之中成為基準之載置部求出其升降量,而對其他載置部,則根據傾斜軌道之傾斜角與載置部間之距離而藉由運算等來求出。如此一來,可將求出朝向多個載置部之升降量的處理加以簡化。
再者,於軌道包含水平軌道,且具備有複數個供位於水平軌道之高架搬送車將物品移載自如且被配置為水平之載置部之情形時,控制器無需針對每個載置部使升降量產生變化,只要使機械手單元相對於各載置部之升降量固定即可。
2‧‧‧高架搬送車
3‧‧‧移行單元
4‧‧‧軌道
4'‧‧‧軌道
5‧‧‧驅動輪
5b‧‧‧從動輪
6‧‧‧橫向移動單元
7‧‧‧θ單元
8‧‧‧升降單元
9‧‧‧機械手單元
10‧‧‧物品
12‧‧‧軸
13‧‧‧減振構件
14‧‧‧驅動單元
15‧‧‧吊持構件
16、17‧‧‧減振構件
18‧‧‧夾頭
19‧‧‧減振構件
20‧‧‧托架單元
21‧‧‧推動器
22‧‧‧驅動單元
24‧‧‧移行單元
25‧‧‧通信單元
26‧‧‧控制器
27‧‧‧映射記憶體
28‧‧‧運算部
30、31‧‧‧建物
32‧‧‧傾斜軌道
33~35‧‧‧緩衝區
33a‧‧‧框架
33b、33c‧‧‧支柱
36‧‧‧載置部
33、39‧‧‧高架
40、41‧‧‧建物
42、43‧‧‧傾斜軌道
44~49‧‧‧緩衝區
50‧‧‧高架
51a、b‧‧‧水平軌道
52‧‧‧上層軌道
53‧‧‧下層軌道
54、55‧‧‧傾斜軌道
57、58‧‧‧緩衝區
60、62‧‧‧水平軌道
61‧‧‧傾斜軌道
63~72‧‧‧緩衝區
81‧‧‧傾斜軌道
82‧‧‧儲存庫
83‧‧‧處理裝置
84‧‧‧輸送機
85‧‧‧負載埠
h1‧‧‧向基準載置部之升降量
n‧‧‧載置部之位址(載置部之編號)
b‧‧‧(升降量之)變化量
圖1係實施例所使用之高架搬送車及軌道之側視圖。
圖2係高架搬送車之方塊圖。
圖3係實施例之主要部分側視圖。
圖4係示意性地表示藉由高架搬送車之傾斜軌道將半導體工場之建物間加以連接之實施例的圖。
圖5係示意性地表示藉由2層傾斜軌道及緩衝區將半導體工場之建物間加以連接之實施例的圖。
圖6係表示圖5之實施例中高架搬送車之軌道之俯視圖。
圖7係於半導體工場之建物內設置傾斜軌道及緩衝區之實施例之示意性之側視圖。
圖8係圖7之實施例之主要部分俯視圖。
圖9係於半導體工場之建物內設置傾斜軌道、水平軌道及緩衝區之實施例之示意性之側視圖。
圖10係表示圖9之實施例中高架搬送車之軌道之俯視圖。
圖11係示意性地表示傾斜軌道、儲存庫及處理裝置之側視圖。
圖12係示意性地表示自傾斜軌道朝向載置部之升降量之決定演算法的圖。
圖13係表示高架搬送車之控制演算法的圖。
以下表示用於實施本發明之最佳實施例。本發明之範圍應根據申請專利範圍之記載,參考說明書之記載及該領域周知之技術,並依照該發明所屬技術領域中具有通常知識者之理解所決定。
圖1至圖11表示實施例及其變形。於各圖中相同符號表示相同構件。圖1表示高架搬送車2,高架搬送車2由被設置於無塵室等之天花板空間之軌道4所支撐而進行移行。再者,元件符號3係高架搬送車2之移行單元,且具備有例如驅動輪5及從動輪5b。高架搬送車2藉由機械手單元9開閉自如之夾頭18來把持物品10,並藉由升降單元8使機械手單元9升降。再者,元件符號15係升降單元8利用未圖示之吊車進行上捲及捲出之吊持構件,且支撐機械手單元9。高架搬送車2藉由θ單元7使升降單元8繞鉛直軸轉動,藉由橫向移動單元6使θ單元7、升降單元8、機械手單元9、物品10於水平面內朝與軌道4成直角之方向橫向移動。再者,亦可不設置橫向移動單元6及θ單元7。
升降單元8經由與軌道4成直角之水平之軸12,而由θ單元7所支撐。藉此,即使高架搬送車2於傾斜軌道上移行,升降單元8亦可被保持為水平。為了防止升降單元8、機械手單元9、物品10以軸12為中心振動之情形,將由黏彈性之膠體、阻尼器、彈簧與阻尼器之組合等構成之減振構件13、16、17、19,如圖1所示般加以配置。藉由軸12及減振構件13、16、17、19,構成升降單元8之水平維持機構。再者,減振構件13、16、17、19沒有必要全部設置。又,亦可藉由設置主動減振用之驅動單元14,並且將減振構件13變更為主動減振用之構件,來進行主動減振。例如於驅動單元14設置位移感測器,來檢測繞著在水平面內與高架搬送車2之移行方向成直角之軸之升降單元8相對於θ單元7之角度,並進行微分而求出角速度。藉由往復式馬達等之致動器來構成減振構件13,並將與所求得之角速度成正比且反向之力施加於升 降單元8。藉此,對升降單元8施加與旋轉速度成正比之制動力而進行減振。
高架搬送車2於移行方向之前後具備有一對托架單元20、20,並藉由驅動單元22使具備有減振構件之推動器21進退,而將物品10保持為水平。即使軌道4為水平,由於物品10以軸12為中心轉動自如,因此物品10會因加減速而欲成為傾斜。藉由推動器21、21來防止該情形。於傾斜軌道上,物品10相對於托架單元20傾斜,物品10與托架單元20於側視時所成之角度與軌道之傾斜角相等。因此,驅動單元22為了抵消該傾斜而驅動推動器21。
再者,高架搬送車2只要為可使物品10自傾斜軌道升降而將其加以移載者即可,並不限定於實施例之構造。
圖2以方塊圖來表示高架搬送車2之構成,通信單元25與未圖示之高架搬送車系統之控制器等進行通信,而移行單元24使高架搬送車2移行。橫向移動單元6使升降單元8橫向移動,而軸12等之水平維持機構將升降單元8之姿勢維持為水平。θ單元7使升降單元8轉動,而升降單元8使機械手單元9升降。托架單元20導引物品之前表面及後表面,並與水平維持機構一起防止物品之傾斜。
高架搬送車2機載之控制器26將軌道之形狀結構(topology;軌道之配置)、及朝向緩衝區、儲存庫等之移載資料儲存於映射記憶體27。又,此外還儲存每個負載埠之移載資料。於移載資料中,存在有高架搬送車之停止位置、使機械手單元9升降之升降距離、藉由橫向移動單元6使物品橫向移動之距離、及藉由θ單元7使物品之朝向旋轉之角度等。於複數個相同高度且相同種類之 載置部近接地,例如以固定之間距存在之情形時,取代儲存每個載置部完全之移載資料,而儲存例如對成為基準之1個載置部完全之移載資料。而且,由於近接之載置部被規則性地配置,因此使相鄰之載置部間之移載資料之變化量儲存於映射記憶體27。運算部28根據朝向成為基準之載置部之移載資料及移載資料之變化量,來運算朝向成為基準之載置部以外之載置部之移載資料。
圖3表示使用傾斜軌道之高架搬送車系統之基本實施例,並將使該實施例進一步發展之各種實施例表示於圖4至圖11。於圖3中,在水平之軌道4、4間設置傾斜軌道32,使高架搬送車2移行。又,沿著傾斜軌道32設置緩衝區33。緩衝區33具備有俯視時平行於傾斜軌道32之例如一對框架33a、33a、及設置於框架33a、33a之例如兩端部之支柱33b、33b。又,一對框架33a、33a係藉由未圖示之水平之短邊方向之框架(與框架33a、33a於水平面內成直角之框架)所相互地連接。而且,以架設於一對框架33a、33a間之方式設置複數個載置部36,並將複數個載置部36安裝於一對框架33a、33a。再者,緩衝區33雖設置於傾斜軌道32之正下方,但亦可設置於側部下方。又,複數個載置部36係設置為相同高度。又,高架搬送車2在藉由升降單元8使機械手單元9上升至上限之狀態下,於傾斜軌道32上移行。亦即,高架搬送車2之移行時機械手單元9之位置,為機械手單元8之最上位置。
高架搬送車2於使移行單元24停止在欲移載物品10之載置部36之正上部(正上方、或自正上方朝側方偏移之位置)之狀態下,對載置部36進行物品10之移載。此時,用以對載置部36移載物品10之機械手單元9之升降量,會依每個載置部36而不同。 亦即,複數個載置部36一方面被配置為水平且相同高度,但另一方面,傾斜軌道32由於相對於水平面傾斜,因此移行單元24於傾斜軌道32上停止之部分與欲移載物品10之載置部36之距離(高度差),會依據每個載置部36而不同。亦即,考慮在使移行單元24停止於欲移載物品10之載置部36之正上部之狀態下之高架搬送車2。該狀態之高架移行車中,藉由被上升至最上位置之機械手單元9所保持之物品10之底面與欲移載物品10之載置部36之距離(上述之高度差),會依每個載置部36而不同。控制器26以機械手單元9之升降行程會對應於上述距離而產生變化之方式來控制升降單元8。又,關於圖3最左側之載置部36,較佳為在載置部36上之物品10與高架搬送車2及高架搬送車2所搬送之物品10不產生干涉之範圍內,縮小載置部36與傾斜軌道32之間隔。
若擴建半導體工場,便會產生高架搬送車2之軌道4之高度不同之複數個建物30、31之情形。將以高架搬送車2之傾斜軌道32來連接該等建物30、31之間之實施例表示於圖4。若將傾斜軌道32自水平面之傾斜角設為例如3°,由於tan3°≒0.05,因此高低差每1m需要20m長之傾斜軌道32。因此,若沿著傾斜軌道32設置複數個緩衝區33~35,便可暫時保管多個物品。
緩衝區33~35係設置於傾斜軌道32之側部下方之軌道側方緩衝區。該等緩衝區每1個緩衝區具備有複數個水平之載置部36,又,於傾斜軌道32之例如兩側配置有緩衝區33~35。再者,既可以不在傾斜軌道32之側部下方,而在正下方設置下方緩衝區,亦可於兩側及正下方分別設置緩衝區。又,元件符號38係建物30、31間之通道之天花板。
圖5、圖6表示對應於高架搬送車因建物40、41間高架搬送車之規格不同而無法跨越建物40、41間進行移行之狀況的實施例。自建物40朝向建物41向下傾斜之傾斜軌道42,被設置為與建物40內之水平軌道4連續。又,自建物41朝向建物40向上傾斜之傾斜軌道43,被設置為與建物41內之水平軌道4'連續。緩衝區44~49被配置於自位於傾斜軌道42、43中之任一者之高架搬送車2均可將物品移載自如之位置。由於建築物40、41間之天花板39如圖5所示般傾斜,因此無法將建物40水平之軌道4朝向天花板39之下部延長。因此,將傾斜軌道42連接於水平之軌道4。緩衝區44~49必須配置在較位於傾斜軌道42、43中之任一者之高架搬送車2更下方。因此,若將建物41之水平之軌道4'保持水平之狀態朝向天花板39之下部延伸,便會產生將緩衝區44等配置於較圖6之位置更下方的必要。因此,位於傾斜軌道42之高架搬送車2對緩衝區44等移載物品10時之升降行程便會變大。因此,亦於建物41水平之軌道4'連接傾斜軌道43,傾斜軌道42、43於建物40、41間呈U字狀地折返。傾斜軌道42、43例如上下重疊且平行,並以高架搬送車2可自該等中之任一者移載物品之方式來設置緩衝區44~49。
再者,於圖5、圖6中,緩衝區44~49作為建物40側之高架搬送車系統與建物41側之高架搬送車系統之間之物品10的交接埠而發揮功能。高架搬送車2無法跨越建物40、41間移行。因此,於軌道4、42上移行之高架搬送車2,將物品載置於緩衝區44~49,於軌道4'、43上移行之高架搬送車2自緩衝區44~49接收物品。藉此,可將物品10自建物40側之高架搬送車系統交接至 建物41側之高架搬送車系統。同樣地亦可將物品10自建物41側之高架搬送車系統交接至建物40側之高架搬送車系統。於圖5、圖6之實施例中,藉由建物40側之高架搬送車系統與建物41側之高架搬送車系統之間之傾斜軌道42、43及緩衝區44~49,可設置大容量之交接埠。
圖7、圖8表示於1個建物內設置上下複數層軌道52、53之實施例。為了提昇高架搬送車系統之搬送能力,將一對水平軌道51a、51b之水平軌道51a經由傾斜軌道54連接於水平之上層軌道52。又,將另一水平軌道51b經由傾斜軌道55連接於水平之下層軌道53。傾斜軌道54、55例如於俯視時平行,且緩衝區57、58以高架搬送車自傾斜軌道54、55中之任一者均可將物品移載自如之方式設置。於傾斜軌道54、55上下重疊之情形時,例如在該等之兩側設置軌道側方緩衝區,而於不重疊之情形時,例如在傾斜軌道54、55之間設置軌道側方緩衝區。再者,元件符號50為天花板。
圖9、圖10表示設置高架搬送車自傾斜軌道61及水平軌道60中任一者均可將物品保管自如之緩衝區63~72之實施例。傾斜軌道61之右端例如被連接至水平軌道62,而左端例如以圖10之方式變更朝向。軌道60、61、62例如分別由一對軌道所構成,如圖10所示,軌道60、61之兩側設置有軌道側方緩衝區63~72。
圖11表示高架搬送車自傾斜軌道81與儲存庫82之入出庫用之輸送機84及處理裝置83之負載埠85之間移載物品之實施例。再者,處理裝置83係高架搬送車系統移載物品之對象, 而非高架搬送車系統之一部分。2個輸送機84例如被配置為水平且相同高度,且該等之排列間距為已知。因此,若使用傾斜軌道81之傾斜角及排列間距,高架搬送車之控制器便可根據朝向一個輸送機之升降量來運算出朝向其他輸送機之升降量。處理裝置83具備有水平且高度相同之複數個負載埠85。由於該等之排列間距為已知,因此同樣地可根據朝向一個負載埠之升降量來運算出朝向其他負載埠之升降量。因此,可簡單地進行求出朝向輸送機84及負載埠85之升降量之處理。
於圖12表示朝向成為基準之載置部以外之載置部之移載資料的運算。於近接之載置部間,移載資料不同者通常為升降量。於載置部規則地以固定之間距被配置之情形時,每當載置部之位址(載置部之編號)n變化1,升降量便會變化固定之變化量b。例如於以No.1之載置部為基準而升降量為h1之情形時,朝向第3個載置部之升降量為h1+2b,朝向第5個載置部之升降量為h1+4b,而朝向第n個載置部之升降量為h1+(n-1)b。如此一來,可簡化對複數個近接之載置部求出升降量之處理。再者,亦可取代在每次移載時運算升降量,而將對每個載置部之升降量之運算結果儲存於映射記憶體。
於圖13表示高架搬送車2之控制演算法。移行單元進行到目的地(載置部)之移行,θ單元使物品配合載置部繞鉛直軸旋轉。升降單元使物品以對應於載置部之升降量進行升降。而且,如圖12所示,於例如以位址n為1之載置部成為基準之情形時,對近接之相同種類之載置部(位址n),將相鄰之載置部間之升降量之變化量設為b,而利用h1+(n-1)b來求出朝向第n個載置部之升 降量。又,托架單元以使物品不會於傾斜軌道上傾斜之方式,使推動器進退。
於實施例中可得到以下之效果。
1)可沿著傾斜軌道設置緩衝區、儲存庫等,而使高架搬送車系統可暫時保管之物品之數量增加。
2)利用半導體工場等之建物間之傾斜軌道,可設置多個緩衝區。又,即使於高架搬送車無法直接駛入其他建物之情形時,亦可經由建物間之緩衝區來交換物品。
3)於經由2條傾斜軌道將一對水平軌道連接於上層軌道及下層軌道時,可沿著傾斜軌道設置多個緩衝區。
4)可根據朝向成為基準之載置部之升降量、載置部之排列間距、及軌道之傾斜角,來運算出對複數個載置部之升降量。因此,無需測量每個載置部之升降量。
Claims (11)
- 一種高架搬送車系統,其具備有:軌道,其包含相對於水平面傾斜之傾斜軌道;高架搬送車,其具備有於上述傾斜軌道上移行自如之移行單元、保持物品之機械手單元、使上述機械手單元升降之升降單元、於上述傾斜軌道上將上述升降單元保持為水平之水平維持機構、及控制器;以及複數個載置部,其等沿著上述傾斜軌道被設置,並被配置為水平且相同高度;上述高架搬送車係於使上述移行單元停止在欲移載物品之上述載置部之正上部之狀態下,對上述載置部進行物品之移載者,且上述控制器以如下之方式控制上述升降單元:於上述移載時,使上述機械手單元以對應於上述移行單元在上述傾斜軌道上停止之部分與欲移載上述物品之載置部之距離的升降量來進行升降。
- 如請求項1之高架搬送車系統,其中,上述傾斜軌道係設置為將建物與建物加以連接,上述載置部係設置於建物與建物之間。
- 如請求項1之高架搬送車系統,其中,上述傾斜軌道具備有自一建物朝向另一建物地被配置之第1傾斜軌道、及自上述另一建物朝向上述一建物地被配置之第2傾斜軌道,上述載置部係配置為自位於上述第1傾斜軌道及上述第2傾斜軌道中之任一者之高架搬送車均可將物品移載自如。
- 如請求項1之高架搬送車系統,其中,上述軌道具備有經由向上之傾斜軌道而被連接於一對水平軌道之一者之上層軌道、及經由 向下之傾斜軌道而被連接於上述一對水平軌道之另一者之下層軌道,上述載置部係配置為自上述向上之傾斜軌道及上述向下之傾斜軌道中之任一者均可將物品移載自如。
- 如請求項1之高架搬送車系統,其中,上述軌道包含有被配置為俯視時平行於上述傾斜軌道之水平軌道;上述載置部係配置為自位於上述水平軌道及上述傾斜軌道中之任一者之高架搬送車均可將物品移載自如。
- 如請求項1至5中任一項之高架搬送車系統,其中,上述複數個載置部係安裝於俯視時平行於上述傾斜軌道且水平之框架,上述複數個載置部與上述框架構成緩衝區。
- 如請求項1至5中任一項之高架搬送車系統,其中,其具備具有複數個作為上述載置部之輸送機之儲存庫。
- 如請求項1至5中任一項之高架搬送車系統,其中,上述控制器根據上述傾斜軌道之傾斜角與載置部間之距離,使每個載置部之機械手單元之升降量產生變化。
- 如請求項8之高架搬送車系統,其中,上述軌道包含水平軌道,且具備有複數個供位於上述水平軌道之高架搬送車將物品移載自如且被配置為水平並且高度相等之第2載置部,上述控制器係構成為使機械手單元相對於複數個第2載置部之各載置部之升降量固定。
- 如請求項3之高架搬送車系統,其中,上述第1傾斜軌道及上述第2傾斜軌道均被配置為於上述一建物與上述另一建物之間呈 U字狀地折返。
- 一種高架搬送車系統中物品之暫時保管方法,其使用高架搬送車系統,而該高架搬送車系統具備有:軌道,其包含相對於水平面傾斜之傾斜軌道;高架搬送車,其具備有於上述傾斜軌道上移行自如之移行單元、保持物品之機械手單元、使上述機械手單元升降之升降單元、於上述傾斜軌道上使上述升降單元保持為水平之水平維持機構、及控制器;以及複數個載置部,其等係沿著上述傾斜軌道被設置,並被配置為水平且相同高度;上述高架搬送車係於使上述移行單元停止在欲移載物品之上述載置部之正上部之狀態下,對上述載置部進行物品之移載,上述控制器以如下之方式控制上述升降單元而在與上述載置部之間移載物品:於上述移載時,使上述機械手單元以對應於上述移行單元在上述傾斜軌道上停止之部分與欲移載上述物品之載置部之距離的升降量來進行升降。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017212597 | 2017-11-02 | ||
JP2017-212597 | 2017-11-02 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
TW201922594A true TW201922594A (zh) | 2019-06-16 |
TWI762735B TWI762735B (zh) | 2022-05-01 |
Family
ID=66331615
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
TW107138207A TWI762735B (zh) | 2017-11-02 | 2018-10-29 | 高架搬送車系統及高架搬送車系統中物品之暫時保管方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11515186B2 (zh) |
JP (1) | JP6844715B2 (zh) |
CN (1) | CN111212797B (zh) |
TW (1) | TWI762735B (zh) |
WO (1) | WO2019087571A1 (zh) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI830966B (zh) * | 2019-11-20 | 2024-02-01 | 日商村田機械股份有限公司 | 高架搬送車 |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2020209398A1 (ko) * | 2019-04-09 | 2020-10-15 | 엘지전자 주식회사 | 오버헤드타입 이송장치 |
US11367637B2 (en) * | 2020-02-11 | 2022-06-21 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Method of operating transport system |
US11854849B2 (en) * | 2020-06-12 | 2023-12-26 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company Ltd. | Method for operating conveying system |
US20240025637A1 (en) | 2020-12-16 | 2024-01-25 | Murata Machinery, Ltd. | Transport system |
US20220289492A1 (en) * | 2021-03-12 | 2022-09-15 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Overhead transport system |
US20230138603A1 (en) * | 2021-11-01 | 2023-05-04 | Amazon Technologies, Inc. | Elevators for material handling shuttles |
CN116002407B (zh) * | 2023-02-10 | 2023-08-29 | 浙江大学 | 一种自动收齿装置及其使用方法 |
Family Cites Families (34)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59149207A (ja) * | 1983-02-16 | 1984-08-27 | Daifuku Co Ltd | 格納設備 |
JPS63258388A (ja) * | 1987-04-15 | 1988-10-25 | 元田電子工業株式会社 | 天井走行クレ−ン |
JPH10250978A (ja) * | 1997-03-13 | 1998-09-22 | Murata Mach Ltd | 天井走行車 |
JP3367389B2 (ja) | 1997-08-13 | 2003-01-14 | 神鋼電機株式会社 | 天井搬送システム及びその位置決め方法 |
GB2405262B (en) * | 2002-05-07 | 2006-06-14 | Agere Systems Inc | A multi-layer inductor formed in a semiconductor substrate and having a core of ferromagnetic material |
EP1535143A4 (en) * | 2002-06-19 | 2010-05-05 | Brooks Automation Inc | AUTOMATED MATERIAL HANDLING SYSTEM FOR SEMICONDUCTOR MANUFACTURING BASED ON A COMBINATION OF VERTICAL CAROUSELS AND OVERHEAD HOISTS |
KR101323337B1 (ko) * | 2002-10-11 | 2013-10-30 | 무라타 기카이 가부시키가이샤 | 자동 재료 핸들링 시스템 |
US20050079041A1 (en) * | 2003-10-13 | 2005-04-14 | International Business Machines Corporation | Hoisting device for use with overhead traveling carriage system |
JP4348613B2 (ja) * | 2003-12-09 | 2009-10-21 | 株式会社ダイフク | 搬送設備 |
DE202006001990U1 (de) * | 2006-02-07 | 2006-04-06 | Newfrey Llc, Newark | Halter für stabförmige Gegenstände, wie Kabel, Rohre o.dgl. |
JP4848862B2 (ja) * | 2006-07-07 | 2011-12-28 | ムラテックオートメーション株式会社 | 搬送台車走行軌道 |
JP5040271B2 (ja) * | 2006-11-17 | 2012-10-03 | 村田機械株式会社 | 有軌道搬送装置 |
DE102007035839B4 (de) * | 2007-07-31 | 2017-06-22 | Globalfoundries Dresden Module One Limited Liability Company & Co. Kg | Verfahren und System zum lokalen Aufbewahren von Substratbehältern in einem Deckentransportsystem zum Verbessern der Aufnahme/Abgabe-Kapazitäten von Prozessanlagen |
EP2277759B1 (en) * | 2008-05-22 | 2016-12-21 | Murata Machinery, Ltd. | Overhead conveying vehicle |
JP5477651B2 (ja) * | 2010-08-04 | 2014-04-23 | 株式会社ダイフク | 物品搬送設備 |
TWI415779B (zh) * | 2010-10-20 | 2013-11-21 | Inotera Memories Inc | 旋轉式儲存搬運系統及其控制方法 |
JP5229363B2 (ja) * | 2010-11-04 | 2013-07-03 | 村田機械株式会社 | 搬送システム及び搬送方法 |
JP5382470B2 (ja) * | 2010-11-04 | 2014-01-08 | 村田機械株式会社 | 搬送システム及び搬送方法 |
JP2013035657A (ja) * | 2011-08-08 | 2013-02-21 | Murata Machinery Ltd | 移動装置 |
TWI447058B (zh) * | 2011-11-30 | 2014-08-01 | Inotera Memories Inc | 天車輸送系統及其運轉方法 |
US9520313B2 (en) * | 2012-06-08 | 2016-12-13 | Murata Machinery, Ltd. | Conveyance system and temporary storage method of articles in conveyance system |
KR20140079102A (ko) * | 2012-12-18 | 2014-06-26 | 주식회사 엘지실트론 | 엘리베이터형 웨이퍼 클리너 |
WO2014115472A1 (ja) * | 2013-01-28 | 2014-07-31 | 村田機械株式会社 | 移載装置及び移載方法 |
WO2015194267A1 (ja) * | 2014-06-19 | 2015-12-23 | 村田機械株式会社 | キャリアの搬送システムと搬送方法 |
JP6256783B2 (ja) * | 2014-09-10 | 2018-01-10 | 村田機械株式会社 | 一時保管システムと、これを用いた搬送システム、及び一時保管方法 |
CN204162038U (zh) * | 2014-09-24 | 2015-02-18 | 燕山大学 | 一种自动上下料的跃层悬挂链输送装置 |
JP6048686B2 (ja) * | 2014-09-25 | 2016-12-21 | 村田機械株式会社 | 一時保管装置と搬送システム及び一時保管方法 |
JP6330714B2 (ja) * | 2015-04-09 | 2018-05-30 | 株式会社ダイフク | 物品搬送設備及び物品搬送設備の保守作業方法 |
US9681781B2 (en) * | 2015-10-20 | 2017-06-20 | Liberty Hardware Mfg. Corp. | Personal care accessory support system |
JP6641926B2 (ja) * | 2015-11-26 | 2020-02-05 | 株式会社ダイフク | 物品搬送設備 |
JP6531638B2 (ja) * | 2015-12-09 | 2019-06-19 | 株式会社ダイフク | 物品搬送設備 |
US20170194181A1 (en) * | 2016-01-04 | 2017-07-06 | Micron Technology, Inc. | Overhead traveling vehicle, transportation system with the same, and method of operating the same |
JP7231721B2 (ja) * | 2018-10-04 | 2023-03-01 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | 搬送システム |
US20220289492A1 (en) * | 2021-03-12 | 2022-09-15 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Overhead transport system |
-
2018
- 2018-09-10 US US16/754,380 patent/US11515186B2/en active Active
- 2018-09-10 CN CN201880066867.3A patent/CN111212797B/zh active Active
- 2018-09-10 JP JP2019549912A patent/JP6844715B2/ja active Active
- 2018-09-10 WO PCT/JP2018/033358 patent/WO2019087571A1/ja active Application Filing
- 2018-10-29 TW TW107138207A patent/TWI762735B/zh active
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI830966B (zh) * | 2019-11-20 | 2024-02-01 | 日商村田機械股份有限公司 | 高架搬送車 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPWO2019087571A1 (ja) | 2020-10-22 |
TWI762735B (zh) | 2022-05-01 |
CN111212797A (zh) | 2020-05-29 |
US20200243363A1 (en) | 2020-07-30 |
CN111212797B (zh) | 2021-07-20 |
JP6844715B2 (ja) | 2021-03-17 |
WO2019087571A1 (ja) | 2019-05-09 |
US11515186B2 (en) | 2022-11-29 |
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