TWI607952B - 天花板搬送車及物品搬送設備 - Google Patents
天花板搬送車及物品搬送設備 Download PDFInfo
- Publication number
- TWI607952B TWI607952B TW102116201A TW102116201A TWI607952B TW I607952 B TWI607952 B TW I607952B TW 102116201 A TW102116201 A TW 102116201A TW 102116201 A TW102116201 A TW 102116201A TW I607952 B TWI607952 B TW I607952B
- Authority
- TW
- Taiwan
- Prior art keywords
- link
- traveling
- substrate
- link mechanism
- pair
- Prior art date
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
- B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
- B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
- B65G49/061—Lifting, gripping, or carrying means, for one or more sheets forming independent means of transport, e.g. suction cups, transport frames
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G2201/00—Indexing codes relating to handling devices, e.g. conveyors, characterised by the type of product or load being conveyed or handled
- B65G2201/02—Articles
- B65G2201/0214—Articles of special size, shape or weigh
- B65G2201/022—Flat
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G47/00—Article or material-handling devices associated with conveyors; Methods employing such devices
- B65G47/74—Feeding, transfer, or discharging devices of particular kinds or types
- B65G47/90—Devices for picking-up and depositing articles or materials
- B65G47/901—Devices for picking-up and depositing articles or materials provided with drive systems with rectilinear movements only
Landscapes
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Handcart (AREA)
- Manipulator (AREA)
Description
本發明是有關於一種天花板搬送車及具有該天花板搬送車之物品搬送設備,該天花板搬送車包含有:行走體,以被引導支撐在配設在天花板側之行走軌道之狀態下沿行走路徑行走;支撐體,垂吊支撐在行走體且支撐物品;昇降操作機構,操作支撐體相對於行走體昇降移動;連桿機構,設於昇降操作機構,並使上端部連結於行走體之上側連結部,且使下端部連結於支撐體之下側連結部,且於上下方向伸縮自如;及伸縮用驅動部,設於昇降操作機構,且使連桿機構伸縮。
如上述之天花板搬送車是構成為以使行走體沿行走路徑行走,且使該行走體停止在與行走路徑上中之搬送對象處對應之處之狀態,藉伸縮用驅動部將連桿機構伸縮,使支撐體昇降移動,而將物品搬送到搬送對象處。以搬送對象處而言,諸如使用物品之裝置之收受處或收納物品之收納容器之收納部等。
然後,在如此天花板搬送車中,因搬送對象處之設置誤差等,而有搬送對象處相對於天花板搬送車所支撐之物品,由適當的位置於水平方向錯開偏離之情況。在日本發明專利申請案公開公報第H10-029793號(專利文獻1)中揭示了一種構成,為了對應如此情況,將連結有連桿機構之上端部之上側連結部構成為相對於被行走體中之行走軌道支撐引導之本體部,沿水平方向滑行移動自如,藉滑動用驅動部而將上側連結部滑行移動,使基板相對於搬送對象處於水平方向移動到適當的位置。
惟,以上述專利文獻1之天花板搬送車,上側連結部相對於行走部沿水平方向移動,因此必須要確保上側連結部沿水平方向滑行移動之空間,在行走體之設置上需要大地方。
有鑑於上述背景,希望能實現可謀求行走體之設置空間之省空間化之天花板搬送車及設有該天花板搬送車之物品搬送設備。
本發明之天花板搬送車包含有如下元件:行走體,以被引導支撐在配設在天花板側之行走軌道之狀態下沿行走路徑行走;支撐體,垂吊支撐在前述行走體且支撐物品;
昇降操作機構,操作前述支撐體相對於前述行走體昇降移動;連桿機構,設於前述昇降操作機構,並使上端部連結於前述行走體之上側連結部,且使下端部連結於前述支撐體之下側連結部,且於上下方向伸縮自如;及伸縮用驅動部,設於前述昇降操作機構,並使前述連桿機構伸縮;在此,前述上側連結部是支撐為相對於被引導支撐於前述行走體中之前述行走軌道之本體部,可繞著沿水平方向之水平軸心擺動自如;且天花板搬送車具有使前述上側連結部相對於前述本體部繞著前述水平軸心擺動之擺動用驅動部。
即,藉以擺動用驅動部使上側連結部繞著水平軸心擺動,而使連結於上側連結部之連桿機構之整體傾斜,使連結於連桿機構之下端部之支撐體及被支撐在該支撐體之物品的位置於相對於沿著水平軸心之方向正交之水平方向移動。如此,藉以擺動用驅動部將上側連結部擺動,可將支撐體所支撐之物品沿水平方向移動,因此即使在因搬送對象處之設置誤差等,而使搬送對象處相對於天花板搬送車所支撐之物品,由適當的位置朝水平方向錯開之情況時,亦可將物品相對於搬送對象處於水平方向移動到適當的位置。
然後,上側連結部只是相對於行走部擺動,上側連結部不會在水平方向有很大的移動,因此不會為了設置行走
體而於水平方向需要很大的空間,能謀求行走體之設置空間之省空間化。
以下針對本發明之合適的實施形態之例。
在本發明之天花板搬送車之實施形態中,宜使前述水平軸心設定在沿前述行走體之行走方向之方向。
即,繞著沿行走體之行走方向之水平軸心使上側連結部擺動,可於相對於行走方向正交之橫向寬度方向移動藉支撐體所支撐之物品的位置。
即,在移載對象處偏離行走方向時,藉使行走體沿行走方向行走,可修正位置偏離,但在移載對象處於相對於行走方向正交之橫向寬度方向偏離時,行走體沿行走方向行走亦不能修正位置偏離。惟,如上述,使上側連結部繞著沿行走體之行走方向之水平軸心擺動,即可對應於使行走體沿行走方向行走亦不能修正位置偏離之在橫向寬度方向之位置偏離。
在本發明之天花板搬送車之實施形態中,前述連桿機構具有將上端部擺動自如地連結在前述上側連結部之上側連桿體之下端部、與下端部擺動自如地連結在前述下側連結部之下側連桿體之上端部擺動自如地連結構成,一對前述連桿機構是以個別伸縮自如的狀態設置,前述伸縮用驅動部是使前述一對連桿機構之其中一者即第一連桿機構中之前述上側連桿體、與前述一對前述連桿機構之另一者即第二連桿機構中之前述上側連桿體分別互相逆向擺動,而使前述一對連桿機構伸縮者為佳。
即,藉以伸縮用驅動部使一對連桿機構各自的上側連桿體互相逆向擺動,以使一對連桿機構同步之狀態下沿上下方向伸縮,如同於上下方向排列設置2個X連桿機構之形態,可以所希望之姿勢維持支撐體之狀態將支撐體昇降移動。
並且,如同以X連桿機構構成連桿機構之形態,沒有必要連結上側連桿體彼此及下側連桿體彼此,又,亦沒有必要將上側連桿體滑動自如地連結在上側連結部或將下側連桿體滑動自如地連結在下側連結部。為此,可謀求連桿機構之構成的簡化、及連桿機構與上側連結部或下側連結部之連結構造之簡化。
在本發明之天花板搬送車之實施形態中,前述伸縮用驅動部宜具有驅動使前述第一連桿機構中之前述上側連桿體擺動之第一伸縮用驅動體、及驅動使前述第二連桿機構中之前述上側連桿體擺動之第二伸縮用驅動部。
即,藉第一伸縮用驅動部而使第一連桿機構中之上側連桿體沿一方向擺動,且藉第二伸縮用驅動部而使第二連桿機構中之上側連桿體沿另一方向擺動,可將一對連桿機構各自的上側連桿體互相反向擺動。
然後,由於是將一對上側連桿體個別藉第一伸縮用驅動部及第二伸縮用驅動部驅動而擺動之構成,與藉單一伸縮用驅動部驅動一對上側連桿體擺動之形態相比,可使用驅動力小之小型物作為第一伸縮用驅動部或第二伸縮用驅動部。為此構成為在藉擺動用驅動部使上側連結部繞著水
平軸心擺動,而使物品沿水平方向移動,以謀求節省空間之行走體上輕易設置第一伸縮用驅動部或第二伸縮驅動部。
本發明之物品搬送設備為包含有上述各構成之天花板搬送車者,前述物品是形成板狀之基板,前述天花板搬送車是構成為藉前述支撐體支撐面方向為沿上下方向之朝向之基板的上端部,藉前述支撐體之下降移動使基板移動到設於搬送對象處之基板固持部,前述基板固持部是構成為將一對夾持用構件之狀態自由地切換成***狀態與夾持狀態,前述***狀態為令藉前述支撐體之下降移動而下降之基板由上方側***自如,且令前述一對夾持用構件沿基板之厚度方向相互離開之狀態,前述夾持狀態為使前述一對夾持用構件相互接近,以夾持已***前述一對夾持用構件間之基板的狀態。
即,藉以伸縮用驅動部將連桿機構伸長而移動支撐體下降,可將基板遞給基板固持部。
然後,在藉擺動用驅動部使上側連結部相對於本體部繞著水平軸心擺動時,使連桿機構由鉛直姿勢傾斜。為此,在以該傾斜的姿勢將連桿機構伸長時,支撐體朝斜下方移動,在該支撐體所支撐之基板亦朝斜下方移動,將基板固持部所具備之一對夾持用構件相互隔開,先使基板固持部成為***狀態,藉此,可將朝斜下方下降之基板由上方插
入一對夾持用構件之間。接著,如此在於一對夾持用構件之間***基板之狀態下,使一對夾持用構件相互接近,而將基板固持部切換成夾持狀態,藉此,可以一對夾持用構件夾持基板而固持基板。
如此,構造成藉擺動用驅動部使上側連結部繞著水平軸心擺動,將物品沿水平方向移動者,即使在已謀求了行走體之節省空間時,亦可將基板遞給基板固持部。
1‧‧‧天花板搬送車
2‧‧‧行走軌道
3‧‧‧行走路徑
4‧‧‧處理裝置
5‧‧‧基板支撐台
5a‧‧‧收受處
6‧‧‧基板收納容器
6a‧‧‧收納部
8‧‧‧夾持用構件
11‧‧‧行走體
12‧‧‧支撐體
13‧‧‧昇降操作機構
15‧‧‧行走本體部(本體部)
16‧‧‧行走用電動馬達(驅動部)
17‧‧‧驅動輪
18‧‧‧上側連結部
19‧‧‧擺動用電動馬達(驅動部)
21‧‧‧連桿機構
21F‧‧‧前側連桿機構
21R‧‧‧後側連桿機構
22‧‧‧伸縮用驅動部
22F‧‧‧一側伸縮用驅動部(前側用電動馬達)
22R‧‧‧另一側伸縮用驅動部(後側用電動馬達)
23‧‧‧下側連結部
24‧‧‧上側連桿體
25‧‧‧下側連桿體
27‧‧‧擺動部
28‧‧‧支撐部
29‧‧‧旋轉用電動馬達
30‧‧‧切換用電動汽缸
E‧‧‧搬送對象處
e‧‧‧基板固持部
H1‧‧‧上位控制器
H2‧‧‧控制裝置
L1‧‧‧水平軸心(第1軸心)
L2‧‧‧第2軸心
L3‧‧‧第3軸心
L4‧‧‧第4軸心
L5‧‧‧第5軸心
L6‧‧‧第6軸心
W‧‧‧基板(物品)
X‧‧‧前後方向
Y‧‧‧橫向寬度方向
圖1是物品搬送設備之立體圖。
圖2是天花板搬送車之局部省略側視圖。
圖3是顯示天花板搬送車之主要部位之立體圖。
圖4是顯示將連桿機構縮到最短之狀態之天花板搬送車之立體圖。
圖5是顯示將連桿機構伸到最長之狀態之天花板搬送車之立體圖。
圖6是顯示將基板的姿勢從前後姿勢變換成橫向姿勢之狀態之天花板搬送車之立體圖。
圖7是顯示將基板沿面方向傾斜之狀態之天花板搬送車之立體圖。
圖8是天花板搬送車的傾斜功能之說明圖。
圖9是天花板搬送車的傾斜功能之說明圖。
圖10是天花板搬送車的傾斜功能之說明圖。
圖11為控制方塊圖。
圖12為流程圖。
以下,根據附圖說明本發明之實施形態。
如圖1所示,物品搬送設備所設置之天花板搬送車1是以設置在天花板之行走軌道2引導支撐之狀態下設置的,沿經由搬送對象處E之上方之行走路徑3行走,搬送作為物品之形成為板狀之基板W者。此外,在本實施形態中,藉天花板搬送車1搬送作為基板W之用於液晶面板等之玻璃基板之加工之光罩。
另,將沿行走方向之水平方向稱為前後方向,且將與該前後方向正交之水平方向稱為橫向寬度方向進行說明。在圖1中,以箭頭符號X表示前後方向,以箭頭符號Y表示橫向寬度方向。天花板搬送車1是從前後方向之後側(圖1之右上側)到前側(圖1之左下側)單向地行走。
在物品搬送設備設有使用基板W(光罩)進行玻璃基板之加工處理之處理裝置4、或將數枚基板W收納自如之基板收納容器6。
接著,天花板搬送車1是構成為向基板支撐台5之收受處5a或基板收納容器6之收納部6a遞送基板W,且由收受處5a或收納部6a收取基板W。
基板支撐台5是設置成相對於處理裝置4沿橫向寬度方向鄰接之狀態,在處理裝置4設有基板搬送裝置(未示於圖中),俾將基板支撐台5之基板W放入處理裝置4內,且將處理裝置4內之基板W由基板支撐台5取出。
基板支撐台5之收受處5a是構成為使基板W之表面成為沿前後方向之姿勢(朝向)固持基板W。又,基板收納容器6之收納部6a是沿著前後方向設有數個,構成為以使基板W之表面沿橫向寬度方向之姿勢(朝向)固持基板W。
另,基板支撐台5或基板收納容器6相當於搬送對象處E,基板支撐台5之收受處5a或基板收納容器6之數個收納部6a各相當於基板固持部e。基板固持部e分別位於行走路徑3之正下方。
基板固持部e具有一對夾持用構件8,構成為可將該一對夾持用構件8之狀態自由地切換成***狀態與夾持狀態。在此,***狀態為使一對夾持用構件8沿基板W之厚度方向相離,而使藉天花板搬送車1之支撐體12之下降移動而下降之基板W由上側***自如之狀態。又,夾持狀態為使一對夾持用構件8呈相互接近之狀態,以將***於一對夾持用構件8間之基板W夾持者。
一對針對夾持用構件8是舉設在收受處5a所具備之一對夾持用構件8為例說明。如圖1及圖8~10所示,一對夾持用構件8是以排列在橫向寬度方向之狀態設置,設置成以一對夾持用構件8之下端部為支點,使上端部彼此相互遠離或靠近移動(即,接近或者是離開)地擺動自如。如圖8所示,在自然狀態時,一對夾持用構件8之各自的上端部彼此相離,在前後方向來看成為逆八字形(V字形狀),使一對夾持用構件8之狀態成為***狀態。然後,如圖9及圖10所示,以所***之基板W之載重使下端部往下壓,而使一對夾持
用構件8分別成為鉛直姿勢,使得一對夾持用構件8之狀態切換成夾持基板W之夾持狀態。
在本實施形態中,構成為一對夾持用構件8各自的上下方向之長度形成為基板W之上下方向之長度的1/3程度之長度,藉以一對夾持用構件8以厚度方向夾持基板W之下度之形態固持基板W。
此外,針對收納部6a所設置之一對夾持用構件8,將一對夾持用構件8排列於前後方向之狀態設置之點外,與收受處5a之一對夾持用構件8同樣構成,因此省略說明。
如圖2及圖4~7所示,天花板搬送車1包含有:以被行走軌道2引導支撐之狀態沿行走路徑3行走之行走體11、垂吊支撐在行走體11且支撐基板W之支撐體12、及操作支撐體12相對於行走體11昇降移動之昇降操作機構13。
[行走體]
如圖2所示,在行走體11之行走本體部15(相當於本發明中之「本體部」)設有藉行走用電動馬達16驅動旋轉而轉動在行走軌道2之上面之驅動輪17、及抵接於行走軌道2之側面而旋轉自如之導輪(未示於圖中)。接著,藉行走用電動馬達16驅動驅動輪17旋轉,導輪接觸行走軌2而被引導,行走體11藉行走軌道2引導,構成為沿行走路徑3行走者。
如圖2及圖3所示,在行走體11設有昇降操作機構13連結之上側連結部18。該上側連結部18是支撐成相對於行走體11中之行走本體部15繞著沿前後方向(行走體11之行走方向)之第1軸心L1(水平軸心)擺動自如。
然後,在行走體11之行走本體部15設有擺動用電動馬達19,作為使上側連結部18相對於行走本體部15繞著第1軸心L1擺動之擺動用驅動部。行走體11構成為藉該擺動用電動馬達19之驅動而將上側連結部18擺動,如圖8~10所示,使連結在上側連結部18之昇降操作機構13繞著第1軸心L1擺動。
[昇降操作機構]
昇降操作機構13包含有:連桿機構21,將上端部連結於行走體11之上側連結部18,且將下端部連結於支撐體12之下側連結部23,並沿上下方向伸縮自如、及伸縮用驅動部22,將連桿機構21伸縮。
如圖2及圖3所示,連桿機構21構成為連結上側連桿體24之上端部相對於行走體11之上側連結部18繞著第2軸心L2擺動自如,且連結上側連桿體24之下端部與下側連桿體25之上端部繞著第3軸心L3擺動自如,連結下側連桿體25之下端部相對於支撐體12之下側連結部23繞著第4軸心L4擺動自如。
另,連桿機構21是以使第2軸心L2、第3軸心L3與第4軸心L4成為相互平行之狀態設置,該等第2軸心L2、第3軸心L3及第4軸心L4與第1軸心L1正交,順沿著橫向寬度方向。
然後,一對連桿機構21以各別伸縮自如之狀態設置,一對連桿機構21各自的上側連桿體24及下側連桿體25形成為棒狀。又,一對連桿機構21各使上側連桿體24及下
側連桿體25形成相同長度。
另,一對連桿機構21互相前後方向錯開之狀態個別連接在上側連結部18及下側連結部23,為便於說明,將連結於前側(圖2中的左側)之一邊的連桿機構21稱為前側連桿機構21F,將連結於後側(圖2中之右側)之另一邊連桿機構21稱為後側連桿機構21R。前側連桿機構21F相當於本發明中之「第一連桿機構」,後側連桿機構21R相當於本發明中之「第二連桿機構」。
針對連桿機構21之設置再加以說明,在上側連結部18中朝向橫向寬度方向之一側(右側)之面連結有前側連桿機構21F之上側連桿體24,上側連結部18中朝向橫向寬度方向之另一側(左側)之面連結有後側連桿機構21R之上側連桿體24。
又,在下側連結部23中之朝向橫向寬度方向之一側(右側)之面連結有前側連桿機構21F之下側連桿體25,在下側連結部23中之朝向橫向寬度方向之另一側(左側)之面連結有後側連桿機構21R之下側連桿體25。
如此一來,一邊的連桿機構21是以相對於另一邊的連桿機構21橫向寬度方向不同之處分別連結上側連結部18及下側連結部23。
又,前側連桿機構21F之上側連桿體24與後側連桿機構21R之上側連桿體24互以相同高度且前後方向上錯開之處連結於上側連結部18,前側連桿機構21F之下側連桿體25與後側連桿機構21R之下側連桿體25互以相同高度且
前後方向上錯開之處連結於下側連結部23。
如此構成之後,前側連桿機構21F係以與後側連桿機構21R相同高度,且相對於後側連桿機構21R在前後方向上不同之處分別連結於上側連結部18及下側連結部23。即,前側連桿機構21F與後側連桿機構21R互以相同高度,且橫向寬度方向及前後方向各自的方向中相異之處,連結於上側連結部18及下側連結部23各部。
例如,一對連桿機構21各從橫向寬度方向來看,在位於由上側連桿體24連結於上側連結部18之處的正下方處,將下側連桿體25連結於下側連結部23之狀態設置。
一對連桿機構21,從橫向寬度方向來看,以互朝反方向彎曲之狀態設置。在一對連桿機構21各自縮到最短之狀態(參考圖4)及伸到最長之狀態(參考圖5及圖6)中,從橫向寬度方向來看,前側連桿機構21F中之上側連桿體24與後側連桿機構21R中之上側連桿體24互相交叉,且前側連桿機構21F中之下側連桿體25與後側連桿機構21R中之下側連桿體25互相交叉之狀態下設置一對連桿機構21。
另,在一對連桿機構21之各自縮到最短之狀態下,前側連桿機構21F中之上側連桿體24與下側連桿體25之連結處位於較後側連桿機構21R中之上側連桿體24連結於上側連結部18之處、或下側連桿體25連結於下側連結部23之處更後側,又,後側連桿機構21R中之上側連桿體24與下側連桿體25之連結處位於較前側連桿機構21F中之上側連桿體24連結於上側連結部18之處、或下側連桿體25連結於下側
連結部23之處更前側。
伸縮用驅動部22是構造成藉使前側連桿機構21F中之上側連桿體24與後側連桿機構21R中之上側連桿體24各自互朝反方向擺動,而使一對連桿機構21分別伸縮者。
又,伸縮用驅動部22包含有作為驅動前側連桿機構21F中之上側連桿體24擺動之第一伸縮用驅動部之前側用電動馬達22F、及作為驅動後側連桿機構21R中之上側連桿體24擺動之第二伸縮用驅動部之後側用電動馬達22R。
伸縮用驅動部22,從左側側面來看,構成為藉以前側用電動馬達22F將前側連桿機構21F之上側連桿體24順時針擺動,且藉以後側用電動馬達22R將後側連桿機構21R之上側連桿體24逆時針擺動,而使一對連桿機構21分別伸長者。又,伸縮用驅動部22,從左側側面來看,構成為藉以前側用電動馬達22F將前側連桿機構21F之上側連桿體24逆時針擺動,且以後側用電動馬達22R將後側連桿機構21R之上側連桿體24順時針擺動,而使一對連桿機構21分別縮短者。
然後,昇降操作機構13是構成為藉以伸縮用驅動部22將一對連桿機構21各自伸長,移動支撐體12下降,且,以伸縮用驅動部22而將一對連桿機構21各自縮短,移動支撐體12上昇。
另,前側用電動馬達22F設置成該輸出軸驅動前側連桿機構21F之上側連桿體24繞著第2軸心L2旋轉,後側用電動馬達22R設置成該輸出軸驅動後側連桿機構21R之上側連
桿體24繞著第2軸心L2旋轉。
另,藉使前側用電動馬達22F之驅動速度與後側用電動馬達22R之驅動速度相異,可使基板W一邊沿面方向傾斜一邊昇降。又,藉只驅動前側用電動馬達22F或者是後側用電動馬達22R,如圖7所示,可使基板W沿面方向傾斜。在此,將基板W沿面方向傾斜意指,使隨著傾斜之基板W各部之移動方向成為與基板W之面平行之方向而將基板W傾斜者。
[支撐體]
如圖2及圖3所示,支撐體12具有擺動部27。擺動部27是被支撐成相對於連桿機構21之下側連桿體25所連結之下側連結部23而繞著沿前後方向之第5軸心L5擺動自如。接著,擺動部27是支撐支撐基板W之支撐部28,使其繞著沿上下方向之第6軸心L6旋轉自如。
又,在支撐體12設有:旋轉用電動馬達29,驅動支撐部28相對於擺動部27繞著第6軸心L6旋轉(參考圖11)、及切換用電動汽缸30,用以切換擺動部27相對於下側連結部23而繞著第5軸心L5擺動自如之狀態,與限制擺動部27相對於下側連結部23而繞著第5軸心L5擺動之狀態(參考圖11)。
然後,構成為藉以旋轉用電動馬達29驅動支撐部28旋轉,如圖6所示,使支撐部28及該支撐部28所支撐之基板W繞著第6軸心L6旋轉,可使基板W之姿勢(方向)切換成基板W之表面沿前後方向之前後姿勢(參考圖5),與基板W之表面沿橫向寬度方向之橫向姿勢(參考圖6)。
另,在將基板W之姿勢變更為前後姿勢之狀態下,構成為將天花板搬送車1沿行走路徑3行走移動,且將基板W遞給基板支撐台5之收受處5a。又,在將基板W之姿勢變更為橫向姿勢之狀態下,構成為將基板W遞給基板收納容器6之收納部6a。
又,雖然省略了詳細說明,切換用電動汽缸30設置成可將設在下側連結部23側之接觸構件(未示於圖中)昇降移動。成為一種切換成下列狀態之構成,即,藉以切換用電動汽缸30將接觸構件下降移動到接觸於擺動部27之限制位置,而限制擺動部27相對於下側連結部23擺動之狀態,又,藉以切換用電動汽缸30將接觸構件上昇移動到離開擺動部27之限制解除位置,而解除擺動部27之擺動限制,使擺動部27相對於下側連結部23自由擺動之狀態。
接著,在解除擺動部27之擺動限制之狀態下,如圖9及圖10所示,即使因擺動用電動馬達19之動作使連桿機構21繞著第1軸心L1擺動,使擺動部27繞著第5軸心L5擺動,基板W之姿勢亦不變,維持在基板W之表面沿鉛直方向之姿勢。
如圖11所示,在天花板搬送車1設以控制裝置H2。控制裝置H2控制行走用電動馬達16、擺動用電動馬達19、前側用電動馬達22F、後側用電動馬達22R、旋轉用電動馬達29及切換用電動汽缸30之動作。控制裝置H2是構成為根據來自設置於地上側之上位控制器H1之控制指令,控制設於天花板搬送車1之電動馬達之動作,以執行將基板W
遞給搬送對象處E之遞交處理、及由搬送對象處E收取基板W之收取處理。
另,因基板支撐台5或基板收納容器6之設置誤差,會有搬送對象處E相對於行走路徑3由正下方位置沿橫向寬度方向偏離之情況。針對像這樣位置偏離之搬送對象處E,記憶為位置偏離處,對於作為該位置偏離處而所記憶之搬送對象處E,事先記憶相對於行走路徑3之搬送對象處E之在橫向寬度方向之偏離量及搬送對象處E與天花板搬送車1之高低差所求出之補正擺動量。
根據圖12所示之順序說明遞交處理。
首先,執行行走控制,將支撐基板W之天花板搬送車1停止在對應於搬送對象處E之停止位置。接著,在搬送對象處E為基板收納容器6之收納部6a時,執行旋轉控制,使旋轉用電動馬達29作動,使支撐體28相對於擺動部27繞著第6軸心L6旋轉90°。又,在搬送對象處E為位置偏離處時,執行傾斜控制,使切換用電動汽缸30作動,切換成限制解除狀態,使擺動用電動馬達19作動,使上側連結部18相對於行走本體部15繞著第1軸心L1擺動補正擺動量之後,使切換用電動汽缸30作動,切換成限制狀態。然後,執行伸長控制,使前側用電動馬達22F及後側用電動馬達22R作動,將一對連桿機構21伸長,藉此將基板W移動到基板固持部e。
另,收取處理為以與遞交處理相反之順序進行之處理,因此省略說明。
[其他實施形態]
(1)在上述實施形態中,是以使用上側連桿體24及下側連桿體25而將連桿機構21構成為ㄑ字形狀(a dog leg shape),且如此之連桿機構21個別地伸縮自如之狀態設置一對之構成為例說明,亦可構成為將連桿機構21、將上側連桿體24彼此及下側連桿體25彼此連結而在長向之中間部擺動自如之X字形狀之X連桿機構。另,在連桿機構21是以X連桿機構構成時,亦可以單一的X連桿機構構成連桿機構21,又,亦可將X連桿機構上下方向排列多數構成連桿機構。
(2)在上述實施形態中,是以伸縮用驅動部22具有驅動一邊的連桿機構21(第一連桿機構)中之上側連桿體24擺動之第一伸縮驅動部、及驅動另一邊的連桿機構21(第二連桿機構)中之上側連桿體24擺動之第二伸縮驅動部之構成為例說明,但伸縮用驅動部22亦可藉驅動一邊的連桿機構21中之上側連桿體24與另一邊連桿機構21中之上側連桿體24擺動之兩側伸縮驅動部構成。另,此時,將兩側伸縮驅動部與一對上側連桿體24經由齒輪等之連動機構連結連動,以使一對上側連桿體24互相逆向擺動。
(3)在上述實施形態中,是以支撐上側連結部18,使其相對於本體部繞著沿行走體11之行走方向之水平軸心擺動自如之構成為例說明,但亦可採用支撐上側連結部18,使其相對於本體部繞著沿與行走體11之行走方向正交之橫向寬度方向之水平軸心方向擺動自如之構成。
(4)在上述實施形態中,是以基板固持部e是以一對夾持用構件8之下端部為支點而將上端部彼此相互遠
近移動,而使一對夾持用構件8之狀態切換成***狀態與夾持狀態之構成為例說明,亦可採用基板固持部e使一對夾持用構件8整體相互遠近移動,將一對夾持用構件8之狀態切換成***狀態與夾持狀態之構成。
又,在上述實施形態中,是以藉所***之基板W之自重使一對夾持用構件8之狀態從***狀態切換成夾持狀態之構成為例說明,或亦可採用設置操作驅動一對夾持用構件8之驅動機構,藉該驅動機構之驅動,使一對夾持用構件8之狀態從***狀態切換成夾持狀態之構成。
(5)在上述實施形態中,是以搬送作為基板之光罩之構成為例進行說明,但亦可搬送作為基板之液晶玻璃基板或有機EL面板等其他基板。又,以物品來說,除了基板以外,亦可為紙盒(carton case)、容器(container)或收納有數枚基板之基板收納容器等。
12‧‧‧支撐體
13‧‧‧昇降操作機構
15‧‧‧行走本體部(本體部)
18‧‧‧上側連結部
19‧‧‧擺動用電動馬達(驅動部)
21‧‧‧連桿機構
21F‧‧‧前側連桿機構
21R‧‧‧後側連桿機構
22‧‧‧伸縮用驅動部
22F‧‧‧一側伸縮用驅動部(前側用電動馬達)
22R‧‧‧另一側伸縮用驅動部(後側用電動馬達)
23‧‧‧下側連結部
27‧‧‧擺動部
28‧‧‧支撐部
L1‧‧‧水平軸心(第1軸心)
L2‧‧‧第2軸心
L3‧‧‧第3軸心
L4‧‧‧第4軸心
L5‧‧‧第5軸心
L6‧‧‧第6軸心
W‧‧‧基板(物品)
Claims (4)
- 一種天花板搬送車,包含有:行走體,以被引導支撐在配設在天花板側之行走軌道之狀態沿行走路徑行走;支撐體,垂吊支撐在前述行走體,且用以支撐物品;昇降操作機構,操作前述支撐體相對於前述行走體昇降移動;連桿機構,設於前述昇降操作機構,並使上端部連結於前述行走體之上側連結部,且使下端部連結於前述支撐體之下側連結部,且於上下方向伸縮自如;及伸縮用驅動部,設於前述昇降操作機構,並使前述連桿機構伸縮;前述上側連結部被支撐成相對於前述行走體中之被引導支撐在前述行走軌道之本體部,可繞著沿水平方向之水平軸心擺動自如;前述水平軸心是設定在沿前述行走體之行走方向的方向,前述支撐體中用以支撐前述物品的支撐部是以如下的方式支撐在前述下側連結部:繞著沿前述行走體之行走方向的擺動軸心相對於前述下側連結部擺動自如,且前述擺動軸心為與前述水平軸心平行,且前述天花板搬送車具有:擺動用驅動部,使前述上側連結部相對於前述本體 部繞著前述水平軸心擺動,而將前述連桿機構的姿勢切換成前述連桿機構伸縮之方向為鉛直方向的鉛直姿勢、與前述連桿機構伸縮之方向為相對於前述鉛直方向呈交叉的上下方向的傾斜姿勢;及控制裝置,控制前述伸縮用驅動部及前述擺動用驅動部之作動,以使前述連桿機構在前述鉛直姿勢及前述傾斜姿勢進行伸縮。
- 如申請專利範圍第1項之天花板搬送車,其中前述連桿機構構成為使上端部擺動自如地連結於前述上側連結部之上側連桿體之下端部、與下端部擺動自如地連結於前述下側連結部之下側連桿體之上端部擺動自如地連結,一對前述連桿機構設置成各自伸縮自如之狀態,前述伸縮用驅動部構成為使前述一對連桿機構其中一者即第一連桿機構中之前述上側連桿體、與前述一對前述連桿機構其中另一者即第二連桿機構中之前述上側連桿體分別相互逆向擺動,藉此使前述一對連桿機構伸縮。
- 如申請專利範圍第2項之天花板搬送車,其中前述伸縮用驅動部具有:驅動使前述第一連桿機構中之前述上側連桿體擺動之第一伸縮用驅動部;及驅動使前述第二連桿機構中之前述上側連桿體擺動之第二伸縮用驅動部。
- 一種物品搬送設備,具有天花板搬送車,前述天花板搬送車包含有: 行走體,以被引導支撐在配設在天花板側之行走軌道之狀態沿行走路徑行走;支撐體,垂吊支撐在前述行走體,且用以支撐物品;昇降操作機構,操作前述支撐體相對於前述行走體昇降移動;連桿機構,設於前述昇降操作機構,並使上端部連結於前述行走體之上側連結部,且使下端部連結於前述支撐體之下側連結部,且於上下方向伸縮自如;及伸縮用驅動部,設於前述昇降操作機構,並使前述連桿機構伸縮,前述上側連結部被支撐成相對於前述行走體中之被引導支撐在前述行走軌道之本體部,可繞著沿水平方向之水平軸心擺動自如,且前述天花板搬送車具有使前述上側連結部相對於前述本體部繞著前述水平軸心擺動之擺動用驅動部,前述物品是形成為板狀之基板,前述天花板搬送車是構成為藉前述支撐體支撐面方向為沿上下方向之朝向之基板的上端部,藉前述支撐體之下降移動使基板移動到設於搬送對象處之基板固持部,前述基板固持部是構成為可將一對夾持用構件之狀態自由地切換成***狀態與夾持狀態,前述***狀態為令藉前述支撐體之下降移動而下降 之基板由上方側***自如地,令前述一對夾持用構件沿基板之厚度方向相互離開之狀態,前述夾持狀態為使前述一對夾持用構件相互接近,而可夾持已***於前述一對夾持用構件間之基板的狀態。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012137120A JP5648865B2 (ja) | 2012-06-18 | 2012-06-18 | 天井搬送車及び物品搬送設備 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
TW201400396A TW201400396A (zh) | 2014-01-01 |
TWI607952B true TWI607952B (zh) | 2017-12-11 |
Family
ID=49891879
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
TW102116201A TWI607952B (zh) | 2012-06-18 | 2013-05-07 | 天花板搬送車及物品搬送設備 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5648865B2 (zh) |
KR (1) | KR102025207B1 (zh) |
CN (1) | CN103508373B (zh) |
TW (1) | TWI607952B (zh) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015105167A (ja) * | 2013-11-29 | 2015-06-08 | 日本板硝子株式会社 | ガラス板保持具及びガラス板搬送装置 |
JP6064940B2 (ja) * | 2014-04-07 | 2017-01-25 | 株式会社ダイフク | 物品搬送車 |
JP6583399B2 (ja) * | 2017-12-13 | 2019-10-02 | マツダ株式会社 | 搬送装置 |
CN114364620B (zh) * | 2019-09-13 | 2023-06-16 | 村田机械株式会社 | 空中搬送车 |
CN113620017B (zh) * | 2021-01-07 | 2022-11-15 | 江苏海洋大学 | 一种用于工业自动化传输设备的搬运机构 |
CN113173418A (zh) * | 2021-04-29 | 2021-07-27 | 科德汽车零部件(长春)有限公司 | 一种用于天窗运输的自动协同搬运*** |
CN113800214A (zh) * | 2021-08-31 | 2021-12-17 | 上海楼哒物流技术中心 | 一种轨道小车、使用方法及物流*** |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1029793A (ja) * | 1996-07-16 | 1998-02-03 | Nec Yamagata Ltd | 垂直移載装置および垂直移載方法 |
JPH10250978A (ja) * | 1997-03-13 | 1998-09-22 | Murata Mach Ltd | 天井走行車 |
JPH11188669A (ja) * | 1997-12-25 | 1999-07-13 | Mitsubishi Electric Corp | 搬送装置 |
CN102070021A (zh) * | 2009-11-25 | 2011-05-25 | 株式会社大福 | 基板搬送设备 |
CN102161417A (zh) * | 2010-02-24 | 2011-08-24 | 村田自动化机械有限公司 | 输送车*** |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0641322B2 (ja) * | 1985-11-19 | 1994-06-01 | 日本ファイリング株式会社 | 保管管理装置 |
JP2513458Y2 (ja) * | 1990-03-07 | 1996-10-09 | ファナック株式会社 | 電子機器用シェルフ |
US6663123B1 (en) * | 1997-04-02 | 2003-12-16 | Stafford T. Kovacs | Panel mover |
JP2002261144A (ja) * | 2001-03-01 | 2002-09-13 | Micronics Japan Co Ltd | 基板の受け渡し方法及び装置 |
JP2010129924A (ja) * | 2008-11-28 | 2010-06-10 | Renesas Electronics Corp | カセットステージ |
-
2012
- 2012-06-18 JP JP2012137120A patent/JP5648865B2/ja active Active
-
2013
- 2013-05-07 TW TW102116201A patent/TWI607952B/zh active
- 2013-05-29 KR KR1020130060902A patent/KR102025207B1/ko active IP Right Grant
- 2013-06-17 CN CN201310238317.4A patent/CN103508373B/zh active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1029793A (ja) * | 1996-07-16 | 1998-02-03 | Nec Yamagata Ltd | 垂直移載装置および垂直移載方法 |
JPH10250978A (ja) * | 1997-03-13 | 1998-09-22 | Murata Mach Ltd | 天井走行車 |
JPH11188669A (ja) * | 1997-12-25 | 1999-07-13 | Mitsubishi Electric Corp | 搬送装置 |
CN102070021A (zh) * | 2009-11-25 | 2011-05-25 | 株式会社大福 | 基板搬送设备 |
CN102161417A (zh) * | 2010-02-24 | 2011-08-24 | 村田自动化机械有限公司 | 输送车*** |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR102025207B1 (ko) | 2019-09-25 |
TW201400396A (zh) | 2014-01-01 |
JP2014001042A (ja) | 2014-01-09 |
JP5648865B2 (ja) | 2015-01-07 |
CN103508373B (zh) | 2017-03-01 |
KR20130142067A (ko) | 2013-12-27 |
CN103508373A (zh) | 2014-01-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI607952B (zh) | 天花板搬送車及物品搬送設備 | |
JP6052143B2 (ja) | 直動回動装置 | |
JP5631372B2 (ja) | ワーク搬送装置 | |
JP5472824B2 (ja) | 自動車組立てラインにおける車体搬送台車 | |
TWI599536B (zh) | 天花板搬送車 | |
CN103889779A (zh) | 货物输送车辆 | |
JP7294752B2 (ja) | 搬送車 | |
JP2012210989A (ja) | 把持装置 | |
KR101246362B1 (ko) | 기판 이송 장치 | |
CN209702230U (zh) | 叉车 | |
JP2007076756A (ja) | 搬送装置 | |
JP6237437B2 (ja) | 搬送機 | |
JP2013139233A (ja) | 搬送用カート | |
JP4286461B2 (ja) | 移載機 | |
JP7471193B2 (ja) | 搬送ロボット及び搬送システム | |
JP4715952B2 (ja) | フロッグレッグ型移載装置 | |
US20220040016A1 (en) | Removable electric propulsion system for a rolling object - simultaneous and combined gripping and lifting of the wheels in the longitudinal direction | |
JP4631433B2 (ja) | 基板搬送装置及び基板搬送方法 | |
JP2006143364A (ja) | 物品搬送装置 | |
JP2003252423A (ja) | 被搬送物吊下搬送用ハンガー | |
JP6044407B2 (ja) | 物品搬送台車 | |
IT201900008214A1 (it) | Veicolo a guida autonoma | |
JP2004291113A (ja) | 移載機 | |
JP2002337077A (ja) | 移載機 |