WO2014050405A1 - 露光描画装置、露光描画システム、プログラム及び露光描画方法 - Google Patents

露光描画装置、露光描画システム、プログラム及び露光描画方法 Download PDF

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WO2014050405A1
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WO
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exposure
information
image
job
exposed
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PCT/JP2013/072818
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English (en)
French (fr)
Inventor
幸久 尾崎
佐藤　淳一
Original Assignee
株式会社アドテックエンジニアリング
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Publication date
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    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor

Definitions

  • the present invention relates to an exposure drawing apparatus, an exposure drawing system, a program, and an exposure drawing method, and more particularly, to an exposure drawing apparatus and an exposure drawing system that draw images on both sides of a substrate to be exposed, and the exposure drawing apparatus and the exposure drawing system.
  • the present invention relates to a program to be executed and an exposure drawing method for drawing an image on both sides of a substrate to be exposed.
  • an exposure drawing apparatus that exposes a substrate to be exposed, which is a printed circuit board, to a light beam modulated based on image information and draws an image on the substrate to be exposed. Also, in order to draw an image on both surfaces of the substrate to be exposed, two exposure drawing apparatuses are arranged in parallel, one is used for drawing the first surface, and the other is drawn on the second surface opposite to the first surface.
  • An exposure and drawing system for use in the field has also been developed.
  • the substrate to be exposed is conveyed to a predetermined position of the exposure drawing device for the second surface, An image is drawn on the second surface of the substrate to be exposed by the exposure drawing apparatus.
  • Patent Document 1 discloses a throughput of a transfer process of a substrate to be exposed when images are drawn on the first surface and the second surface of the substrate to be exposed using two exposure drawing devices, respectively. An exposure drawing system with improved image quality is disclosed.
  • Each exposure drawing apparatus included in the exposure drawing system includes a stage on which the substrate to be exposed is placed, stage moving means for moving the stage linearly, and light on the first surface of the substrate to be exposed placed on the stage. And a drawing unit having beam scanning means for scanning the beam.
  • Each exposure drawing apparatus includes an upstream unit disposed on the upstream side of the drawing unit in the moving direction of the stage, and a downstream unit disposed on the downstream side of the drawing unit in the moving direction of the stage.
  • Each exposure drawing apparatus carries the substrate to be exposed onto the stage in the drawing unit by holding the substrate to be exposed in the upstream unit and moving it in the transport direction that is the same as the moving direction of the stage.
  • a carrying-in means is provided.
  • Each exposure drawing apparatus includes unloading means for unloading the exposed substrate to the downstream unit so as to hold the exposed substrate on the stage in the drawing unit and move it in the transport direction.
  • each exposure drawing apparatus when the light beam is scanned on the first surface of the substrate to be exposed, the stage is moved from the upstream side to the downstream side in the transport direction, and the substrate to be exposed is carried to the stage located on the upstream side, The substrate to be exposed is unloaded from the stage located on the downstream side.
  • an operator draws an image drawn on the exposed substrate and an exposure condition for drawing on the exposure drawing apparatus.
  • Enter job information indicating a request (job).
  • job information indicating a request (job).
  • job information indicating a request (job).
  • the exposure drawing process may fail and the exposed substrate that has become defective may be removed.
  • the exposure drawing process may fail and the exposed substrate that has become defective may be removed.
  • each surface of the substrate to be exposed does not correspond to each other.
  • the present invention has been made in view of the above problem, and an exposure drawing apparatus capable of preventing images that do not correspond to each other from being drawn on each side when drawing images on both sides of the substrate to be exposed,
  • An object of the present invention is to provide an exposure drawing system, a program, and an exposure drawing method.
  • an exposure drawing apparatus includes first job information in which image information indicating an image to be drawn on a first surface of a substrate to be exposed is associated with exposure condition information indicating an exposure condition.
  • the first drawing means for drawing the image indicated by the first job information on the first surface by exposing the first surface based on the second surface, and a second opposite to the first surface of the substrate to be exposed
  • Storage means for storing a plurality of second job information in which image information indicating an image to be drawn on a surface and exposure condition information indicating an exposure condition are associated with each other; and the plurality of second information stored in the storage means Among the job information, the second job information having the same exposure condition information as the exposure condition information indicated by the first job information used for drawing the image on the first surface of the substrate to be exposed by the first drawing means.
  • a second rendering means for rendering the second surface of the image represented by the second job information.
  • the storage means associates a plurality of image information indicating an image to be drawn on the second surface opposite to the first surface of the substrate to be exposed and exposure condition information indicating the exposure condition.
  • the second job information is stored.
  • the second drawing unit uses the first drawing unit among the plurality of second job information stored in the storage unit to draw an image on the first surface of the substrate to be exposed. By exposing the second surface of the substrate to be exposed on which the image is drawn on the first surface based on the second job information having the same exposure condition information as the exposure condition information indicated by the first job information, An image indicated by the second job information is drawn on the second surface.
  • the second job information having the same exposure condition information as the exposure condition information of the first job information used when drawing the image on the first surface is used. Since images are drawn on two surfaces, it is possible to prevent images that do not correspond to each other from being drawn on each surface when images are drawn on both surfaces of the substrate to be exposed.
  • the exposure condition includes a size of the substrate to be exposed, a number of exposure targets of the substrate to be exposed, and a mark for determining an image drawing area on the substrate to be exposed. It may include at least one of the arrangement pattern of the marks when provided and the photosensitive material type of the substrate to be exposed. Thereby, an image can be drawn on each surface of the substrate to be exposed under the applied exposure conditions.
  • an exposure drawing system is a first in which image information indicating an image drawn on a first surface of a substrate to be exposed is associated with exposure condition information indicating an exposure condition.
  • a first exposure drawing apparatus comprising a transmission means for sending exposure condition information of the first job information used for drawing an image on one surface; and drawing on a second surface opposite to the first surface of the substrate to be exposed
  • Storage means for storing a plurality of second job information in which image information indicating an image to be performed and exposure condition information indicating an exposure condition are associated with each other, receiving means for receiving the dew condition information transmitted by the transmitting means, And the storage means An image on the first surface by the first drawing unit based on the second job information having the same exposure condition information as the exposure condition information received by the receiving unit from the plurality of stored second job information.
  • a second exposure drawing apparatus having a second drawing means for drawing an image indicated by the second job information on the second surface by exposing the second surface of the substrate to be exposed. is doing.
  • the first drawing unit of the first exposure drawing apparatus associates the image information indicating the image drawn on the first surface of the substrate to be exposed with the exposure condition information indicating the exposure condition.
  • the exposure condition information of the first job information used for drawing an image on the first surface of the substrate to be exposed by the first drawing means is sent by the sending means of the first exposure drawing apparatus.
  • the second storage means of the second exposure / drawing apparatus stores the image information indicating the image to be drawn on the second surface opposite to the first surface of the substrate to be exposed and the exposure conditions.
  • a plurality of pieces of second job information associated with the exposure condition information shown are stored.
  • the dew condition information transmitted by the transmitting unit is received by the receiving unit of the second exposure drawing apparatus.
  • the second drawing means of the second exposure drawing apparatus has the exposure condition information identical to the exposure condition information received by the receiving means from the plurality of second job information stored in the storage means.
  • An image indicated by the second job information is drawn on the second surface by exposing the second surface of the exposed substrate on which the image is drawn on the first surface by the first drawing unit based on job information. Is done.
  • the second exposure drawing apparatus has the same exposure condition information as the exposure condition information of the first job information used when drawing the image on the first surface. Since the image is drawn on the second surface using the two-job information, it is possible to prevent the images that do not correspond to each other from being drawn on each surface when the images are drawn on both surfaces of the exposed substrate.
  • the transmission unit of the first exposure drawing apparatus may transmit exposure condition information when drawing by the first drawing unit is normally completed. As a result, it is possible to more reliably prevent images that do not correspond to each other from being drawn on each side when drawing images on both sides of the exposed substrate, as compared with the case where the present invention is not applied. .
  • the transmission unit of the first exposure drawing apparatus transmits error information indicating that an error has occurred when the drawing by the first drawing unit ends abnormally.
  • the second exposure drawing apparatus has the same exposure condition information as the exposure condition information received by the receiving means in the plurality of second job information stored by the storage means.
  • a receiving unit that receives selection of any one of the plurality of second job information is provided, and the second exposure drawing apparatus includes:
  • the second drawing unit may draw an image on the second surface based on the second job information whose selection is received by the receiving unit.
  • a second storage unit that stores the first job information and the second job information, and the first job information stored by the second storage unit are stored in the first storage unit.
  • the apparatus further includes a control device including a second transmission unit that transmits to the exposure drawing apparatus and transmits the second job information to the second exposure drawing apparatus, and the first exposure drawing apparatus transmits the second job information by the second transmission unit.
  • Second receiving means for receiving the received first job information, wherein the first drawing means of the first exposure drawing apparatus uses the first job information received by the second receiving means, An image indicated by the first job information is drawn on the first surface, and the second exposure drawing apparatus further comprises third receiving means for receiving the second job information transmitted by the second transmitting means; Second exposure Said storage means image device, the second job information received by said third receiving means may be a plurality store. As a result, the entire system can be comprehensively managed by the control device.
  • control device further includes a second accepting unit that accepts input of the first job information and the second job information
  • second storage unit of the control device includes: The first job information and the second job information received by the second receiving unit may be stored. Thereby, the image corresponding to each other can be drawn on each surface of the substrate to be exposed using the job information input by the user.
  • an exposure drawing system is a first in which image information indicating an image drawn on a first surface of a substrate to be exposed is associated with exposure condition information indicating an exposure condition.
  • image information indicating an image drawn on a first surface of a substrate to be exposed is associated with exposure condition information indicating an exposure condition.
  • a first exposure drawing apparatus comprising a first transmission means for transmitting exposure condition information of the first job information used for drawing an image on one surface; and a second surface opposite to the first surface of the substrate to be exposed.
  • Storage means for storing a plurality of second job information in which image information indicating an image to be drawn and exposure condition information indicating an exposure condition are associated with each other, and receiving the exposure condition information transmitted by the first transmission means
  • First receiving means and front Control comprising second transmission means for transmitting the second job information having the same exposure condition information as the exposure condition information received by the first reception means among the plurality of second job information stored by the storage means.
  • a second exposure drawing apparatus comprising second drawing means for drawing an image indicated by the second job information on the second surface by exposing the second surface of the substrate to be exposed on which the image is drawn on one surface And have.
  • the first drawing unit of the first exposure drawing apparatus associates the image information indicating the image drawn on the first surface of the substrate to be exposed with the exposure condition information indicating the exposure condition. By exposing the first surface based on the received first job information, an image indicated by the first job information is drawn on the first surface. Further, the first transmission unit of the first exposure drawing apparatus transmits the exposure condition information of the first job information used for drawing the image on the first surface of the substrate to be exposed by the first drawing unit.
  • image information indicating an image to be drawn on the second surface opposite to the first surface of the substrate to be exposed and exposure condition information indicating the exposure conditions are stored by the storage unit of the control device.
  • a plurality of second job information each associated with is stored.
  • the exposure condition information transmitted by the first transmission means is received by the first reception means of the control device.
  • the second job having the same exposure condition information as the exposure condition information received by the first receiving means among the plurality of second job information stored by the storage means by the second transmitting means of the control device. Information is sent.
  • the second receiving information of the second exposure drawing apparatus is received by the second receiving means of the second exposure drawing apparatus, and the second job information transmitted by the second sending means is received.
  • the control device is the same as the exposure condition information of the first job information received from the first exposure drawing device and used when drawing the image on the first surface. Since the second job information having the exposure condition information is transmitted to the second exposure drawing apparatus, it is possible to mutually draw each surface when drawing an image on both sides of the exposed substrate without adding a new function to the exposure drawing apparatus. It is possible to prevent drawing of an incompatible image.
  • the exposure condition includes a size of the substrate to be exposed, a number of exposure targets of the substrate to be exposed, and a mark for determining an image drawing area on the substrate to be exposed. It may include at least one of the arrangement pattern of the marks when provided and the photosensitive material type of the substrate to be exposed. Thereby, an image can be drawn on each surface of the substrate to be exposed under the applied exposure conditions.
  • a program according to the present invention uses a computer to cause the first drawing means to display image information indicating an image to be drawn on the first surface of the substrate to be exposed and exposure condition information indicating an exposure condition.
  • the first control means that exposes the first surface based on the first job information associated with the first job information to draw the image indicated by the first job information on the first surface, and the second drawing means Of the plurality of second job information, image information indicating an image drawn on a second surface opposite to the first surface of the substrate to be exposed and exposure condition information indicating exposure conditions are associated with each other.
  • a second control means for rendering the image represented by the second job information on the second surface to function as a.
  • the computer can be operated in the same manner as the exposure drawing apparatus according to the present invention, when the image is drawn on both surfaces of the substrate to be exposed, similarly to the exposure drawing apparatus. It is possible to prevent drawing of images that do not correspond to each other on each surface.
  • the first drawing means includes image information indicating an image drawn on the first surface of the substrate to be exposed and exposure condition information indicating the exposure conditions.
  • the first job information Based on the second job information having the same exposure condition information as the exposure condition information of the first job information used for drawing the image on the first surface of the substrate to be exposed by the drawing means, an image is formed on the first surface.
  • the drawn second surface of the exposed substrate By exposing, and a, and a second control step of rendering the second surface of the image represented by the second job information.
  • the exposure drawing method according to the present invention it operates in the same manner as the exposure drawing apparatus according to the present invention. Therefore, as with the exposure drawing apparatus, when drawing an image on both sides of the substrate to be exposed, It is possible to prevent the drawing of images that do not correspond to each other.
  • the exposed substrate C is a flat substrate such as a printed wiring board or a glass substrate for a flat panel display.
  • the exposure drawing system 1 is opposite to the first exposure drawing apparatus 2 that performs exposure on the first surface of the substrate C to be exposed and the first surface of the substrate C to be exposed.
  • a second exposure drawing apparatus 3 for performing exposure on the second surface is provided.
  • the exposure drawing system 1 is provided between the first exposure drawing device 2 and the second exposure drawing device 3, and includes a reversing device 4 for inverting the front and back of the substrate C to be exposed, a first surface of the substrate C to be exposed, A control device 5 for controlling exposure on the second surface is provided.
  • the first exposure drawing apparatus 2 and the control apparatus 5 are connected to each other by the wired cable 8a, and the second exposure drawing apparatus 3 and the control apparatus 5 are connected to each other by the wired cable 8a. Communication is performed between the apparatus 2 and the second exposure drawing apparatus 3 via the wired cable 8a. Similarly, the first exposure drawing apparatus 2 and the second exposure drawing apparatus 3 are connected by a wired cable 8b, and these exposure drawing apparatuses communicate via the wired cable 8b.
  • the configuration of the first exposure drawing apparatus 2 and the second exposure drawing apparatus 3 according to the present embodiment will be described.
  • the 1st exposure drawing apparatus 2 and the 2nd exposure drawing apparatus 3 have the same structure, the 1st exposure drawing apparatus 2 is demonstrated here and the description about the 2nd exposure drawing apparatus 3 is abbreviate
  • the first exposure drawing apparatus 2 includes a flat stage 10 for fixing the substrate C to be exposed.
  • a plurality of suction holes (not shown) for sucking air are provided on the upper surface of the stage 10.
  • the air between the substrate C to be exposed and the stage 10 is sucked through the suction hole, so that the substrate C to be exposed is vacuum-sucked to the stage 10. .
  • the stage 10 is supported by a flat base 12 movably provided on the upper surface of the table-like base 11. That is, one or a plurality of (in this embodiment, two) guide rails 14 are provided on the upper surface of the base 11.
  • the base 12 is supported so as to be freely movable along the guide rail 14, and is moved by being driven by a drive mechanism (stage drive unit 42 described later) constituted by a motor or the like.
  • the stage 10 moves along the guide rail 14 in conjunction with the movement of the base 12.
  • the direction in which the stage 10 moves is defined as the Y direction
  • the direction perpendicular to the Y direction in the horizontal plane is defined as the X direction
  • the direction orthogonal to the Y direction in the vertical plane is defined as the Z direction.
  • a gate-shaped gate 15 is provided on the upper surface of the base body 11 so as to straddle the two guide rails 14.
  • the exposed substrate C placed on the stage 10 moves so as to enter and exit along the guide rail 14 through the opening of the gate 15.
  • An exposure unit 16 that exposes a light beam toward the opening is attached to the upper part of the opening of the gate 15. When the stage 10 moves along the guide rail 14 and is positioned at the opening by the exposure unit 16, the light beam is exposed on the upper surface of the substrate C to be exposed placed on the stage 10.
  • the exposure unit 16 includes a plurality (16 in the present embodiment) of exposure heads 16a. Each of the exposure heads 16 a is arranged in a matrix in the exposure unit 16.
  • the exposure unit 16 is connected to an optical fiber 18 drawn from a light source unit 17 described later and a signal cable 20 drawn from an image processing unit 19 described later.
  • Each of the exposure heads 16a has a digital micromirror device (DMD) as a reflective spatial light modulation element.
  • the exposure head 16 a modulates the light beam from the light source unit 17 by controlling the DMD based on the image information input from the image processing unit 19.
  • the first exposure drawing apparatus 2 exposes the substrate C to be exposed by irradiating the substrate C with this modulated light beam.
  • the spatial light modulator is not limited to the reflective type, and may be a transmissive spatial light modulator such as liquid crystal.
  • the image area P1 that is an area exposed by the exposure head 16a has a rectangular shape in which one side is inclined at a predetermined inclination angle with respect to the moving direction (Y direction) of the stage 10. It is.
  • FIG. 3A shows only a part of the plurality of exposure heads 16a according to this embodiment.
  • the substrate C to be exposed is moved along with the movement of the stage 10 as shown in FIG. 3B.
  • a strip-shaped exposed region P2 is formed for each exposure head 16a.
  • Each of the exposure heads 16a arranged in a matrix is arranged in the X direction so as to be shifted by a distance obtained by multiplying the length of the long side of the image region P1 by a natural number (in this embodiment, 1).
  • Each of the exposed regions P2 is formed so as to partially overlap with the adjacent exposed region P2.
  • a gate-type gate 22 is further provided on the upper surface of the base 11 so as to straddle the two guide rails 14.
  • the exposed substrate C placed on the stage 10 moves so as to enter and exit the opening of the gate 22 along the guide rail 14.
  • the photographing unit 23 is a CCD camera or the like having a built-in strobe with a very short light emission time.
  • a rail 23a is provided on the upper part of the opening of the gate 22 along a direction (X direction) perpendicular to the moving direction (Y direction) of the stage 10 in the horizontal plane. It is provided so that it can move by being guided by 23a.
  • the imaging unit 23 images the upper surface of the substrate C to be exposed placed on the stage 10.
  • the first exposure drawing apparatus 2 includes a first transfer unit 6 that transfers a substrate C to be exposed carried from the outside to a predetermined position of the first exposure drawing apparatus 2, and a substrate C to be exposed. Is transported from the first exposure drawing device 2 to a predetermined position of the reversing device 4.
  • the second exposure drawing apparatus 3 includes a first transfer unit 6 that transfers the substrate C to be exposed from the reversing device 4 to a predetermined position of the second exposure drawing apparatus 3, and the substrate C to be exposed of the second exposure drawing apparatus 3.
  • a second transport unit 7 for transporting to the outside is provided.
  • the first transport unit 6 and the second transport unit 7 have a plurality of rotating rollers and a drive motor that rotates the rotating rollers.
  • Each of the plurality of rotating rollers is laid in parallel, and a sprocket or pulley that receives a rotational force transmitted by a belt or a wire is attached to one end of the rotating roller.
  • a transmission method using a cylindrical magnet can be employed in addition to the belt or the wire.
  • the first exposure drawing apparatus 2 is an auto carrier hand (hereinafter referred to as “automatic carrier hand”) that transports the substrate C to be exposed, which has been transported to the predetermined position by the first transport unit 6 from the predetermined position to the stage 10.
  • AC hand AC hand
  • the AC hand 24 is formed in a flat plate shape and is movably provided in the X direction and the Z direction.
  • the lower surface of the AC hand 24 is provided with a plurality of suction holes 25 for sucking air. The AC hand 24 sucks air between the AC hand 24 and the exposed substrate C through the suction hole 25 when the lower surface of the AC hand 24 moves to a position where the lower surface of the AC hand 24 contacts the upper surface of the exposed substrate C.
  • the substrate C is sucked and held on the lower surface of the AC hand 24 by vacuum suction. Further, when the AC hand 24 moves to the upper surface of the stage 10 with the substrate to be exposed C sucked and held on the lower surface of the AC hand 24, the substrate C to be exposed is pushed downward and pressed against the stage 10 Z. A pressing portion 26 that is movable in the direction is provided.
  • the AC hand 24 of the first exposure drawing apparatus 2 sucks and holds the unexposed substrate C that has been transported to the first transport unit 6 and moves it upward and places it on the upper surface of the stage 10. Further, the AC hand 24 of the first exposure drawing apparatus 2 moves the exposed substrate C upward by attracting and holding the exposed substrate C exposed on the first surface placed on the upper surface of the stage 10. Move to the second transport unit 7. The exposed substrate C whose first surface has moved to the second transport unit 7 is exposed to the outside of the first exposure drawing apparatus 2 by the second transport unit 7.
  • the AC hand 24 of the second exposure drawing apparatus 3 sucks and holds the exposed substrate C exposed to the first surface conveyed to the first conveyance unit 6 and moves the exposed substrate C upward. It is placed on the upper surface of the stage 10.
  • the AC hand 24 of the second exposure drawing apparatus 3 moves the upper surface by sucking and holding the exposed substrate C on which the first surface and the second surface placed on the upper surface of the stage 10 are exposed.
  • the exposure substrate C is moved to the second transport unit 7.
  • the exposed substrate C having the exposed first and second surfaces moved to the second transport unit 7 is carried out of the exposure drawing system 1 by the second transport unit 7.
  • the reversing device 4 includes a flat plate-like subframe 30 that is pivotally supported by a rotation shaft L.
  • the subframe 30 reverses the front and back of the substrate C to be exposed by rotating 180 degrees while holding the substrate C to be exposed inside.
  • a carry-in entrance 31 through which the substrate C to be exposed is carried into the sub-frame 30 is provided on the side of the sub-frame 30 on the side where the first exposure drawing apparatus 2 is located. It has been. Furthermore, a plurality of roller pairs 34 driven by a motor 33 are provided inside the subframe 30. The roller pair 34 conveys the substrate C to be exposed housed in the subframe 30 in a sandwiched state. The exposed substrate C is transported into the subframe 30 through the carry-in port 31 by the roller pair 34, and the front and back are reversed by the rotation of the subframe 30, and the subframe through the carry-in port 31 by the roller pair 34. 30 to the outside. In addition, when the subframe 30 finishes carrying out the substrate C to be exposed, the subframe 30 is rotated 180 degrees again in order to carry the next substrate C to be exposed.
  • the first exposure drawing apparatus 2 is provided with a system control unit 40 that is electrically connected to each part of the apparatus.
  • the system control unit 40 controls each part of the first exposure drawing apparatus 2. Is centrally controlled.
  • the first exposure drawing apparatus 2 includes a job storage unit 41, a stage drive unit 42, a display device 43, an input device 44, a shooting drive unit 46, and an external input / output unit 48.
  • the system control unit 40 has a CPU (Central Processing Unit), RAM (Random Access Memory), ROM (Read Only Memory), and HDD (Hard Disk Drive). Further, the system control unit 40 causes the CPU to emit a light beam from the light source unit 17 and output corresponding image information from the image processing unit 19 at a timing according to the movement of the stage 10. In this way, the system control unit 40 controls the exposure of the light beam to the substrate C to be exposed by the exposure head 16a.
  • CPU Central Processing Unit
  • RAM Random Access Memory
  • ROM Read Only Memory
  • HDD Hard Disk Drive
  • the job storage unit 41 includes a RAM and a non-volatile memory, and stores job information indicating a job to be executed.
  • the job according to the present embodiment exposes and draws the same image on the first surface of one or more exposed substrates C of the same type under the same conditions, and exposes the same image on the second surface under the same conditions. This is a batch exposure processing request for drawing. Details of the job information will be described later.
  • the job storage unit 41 stores job information of a job to be executed in a list format, but is not limited thereto, and may be stored in a queue format.
  • the stage drive unit 42 has a drive mechanism constituted by a motor or a hydraulic pump, and drives the stage 10 under the control of the system control unit 40.
  • the display device 43 is a display unit such as a liquid crystal display that displays various information under the control of the system control unit 40.
  • the input device 44 is an input means such as a touch sensor or operation buttons for inputting various information by a user operation.
  • the imaging drive unit 46 has a drive mechanism constituted by a motor or a hydraulic pump, and drives the imaging unit 23 under the control of the system control unit 40.
  • the external input / output unit 48 inputs / outputs various information to / from various information processing apparatuses including the second exposure drawing apparatus 3 and the control apparatus 5 connected to the first exposure drawing apparatus 2.
  • the external input / output unit 48 of the second exposure drawing apparatus 3 inputs various information to and from various information processing apparatuses including the first exposure drawing apparatus 2 and the control apparatus 5 connected to the second exposure drawing apparatus 3. Output.
  • the control device 5 includes a control unit 50 that controls the exposure drawing process in the exposure drawing system 1.
  • the control device 5 includes a storage unit 51 having a ROM, an HDD, and the like that store programs and various data necessary for exposure drawing processing by the control unit 50.
  • the storage unit 51 also stores job information, a job setting processing program, a first job execution processing program, a second job execution processing program, and a job selection processing program of the second embodiment.
  • control device 5 includes a display unit 52 such as a liquid crystal display that displays various types of information based on the control of the control unit 50, and an input unit 53 such as a keyboard and a mouse that inputs various types of information through user operations. Furthermore, the control device 5 includes a communication interface 54 that transmits and receives various types of information to and from the first exposure drawing device 2 and the second exposure drawing device 3 based on the control of the control unit 50.
  • display unit 52 such as a liquid crystal display that displays various types of information based on the control of the control unit 50
  • input unit 53 such as a keyboard and a mouse that inputs various types of information through user operations.
  • control device 5 includes a communication interface 54 that transmits and receives various types of information to and from the first exposure drawing device 2 and the second exposure drawing device 3 based on the control of the control unit 50.
  • the control device 5 accepts input of information regarding a job by a user operation. Further, when the control device 5 receives input of information related to the job, the control device 5 generates job information corresponding to each of the first exposure drawing device 2 and the second exposure drawing device 3, and each of the generated job information corresponds to the corresponding exposure drawing. Send to device.
  • the first exposure drawing apparatus 2 and the second exposure drawing apparatus 3 receive job information
  • the first exposure drawing apparatus 2 and the second exposure drawing apparatus 3 store the received job information in the job storage unit 41, and the exposed substrate C according to the contents of the stored job.
  • the first exposure drawing apparatus 2 stores a plurality of pieces of job information
  • the first exposure drawing apparatus 2 executes the job indicated by the job information in the order in which the pieces of job information are received.
  • the second exposure drawing apparatus 3 according to the present embodiment sequentially executes jobs corresponding to the jobs executed by the first exposure drawing apparatus 2.
  • the control device 5 causes the first exposure drawing apparatus 2 to draw an image on the first surface of the substrate C to be exposed, and the second exposure drawing apparatus 3 sets the exposure information of the substrate C to be exposed.
  • Job information 60B for drawing an image on the second surface is generated. That is, even for jobs related to the same substrate C to be exposed, exposure drawing processing is performed on the first surface and the second surface by separate exposure drawing apparatuses. Two-side job information 60B is generated separately.
  • the job information 60A and 60B are information in which job identification information 61, image information 62, and exposure condition information 63 are associated with each job, as shown in FIGS. 7A and 7B.
  • the job identification information 61 is information for identifying each job.
  • the image information 62 is information indicating an image to be drawn.
  • the exposure condition information 63 is information indicating the exposure conditions when exposing the light beam to draw an image corresponding to the substrate C to be exposed.
  • the exposure condition information 63 includes substrate size information indicating the substrate size of the exposure target substrate C (hereinafter referred to as “target substrate”) to be drawn, and drawing number information indicating the number of drawing of the target substrate. Contains.
  • the exposure condition information 63 includes mark information in which a mark arrangement pattern in the case where a mark for determining a drawing area of an image corresponding to the target substrate is provided is indicated by coordinates, and Sensitive material type information indicating the sensitive material type of the target substrate is included.
  • the information included in the exposure condition information 63 is not limited to these, and any information may be used as long as it is information used when performing exposure drawing processing, such as information indicating the intensity of the light beam and information indicating the moving speed of the stage 10. It may be the information.
  • the operator When the operator wants the first exposure drawing apparatus 2 and the second exposure drawing apparatus 3 to execute a job, the operator inputs each information included in the job information 60A and 60B to the control apparatus 5 via the input unit 53. .
  • the control device 5 performs job setting processing for generating job information 60A for the first surface and job information 60B for the second surface based on each input information and storing the job information 60B for the second surface in the storage unit 51. Do.
  • FIG. 8 is a flowchart showing a processing flow of a job setting processing program executed by the control unit 50 of the control device 5 when an execution instruction is input via the input unit 53.
  • the program is stored in advance in a predetermined area of the ROM of the storage unit 51.
  • the display unit 52 is controlled to display a job input screen for assisting the user in inputting information related to the job.
  • the job input screen 70 includes a drawing target surface selection column 71 for selecting whether the input is related to the first surface job or the second surface job.
  • the job input screen 70 has an image input field 72 for inputting image identification information indicating an image to be drawn.
  • the image identification information is a file name of a file including image information, a URL (Uniform Resource Locator) indicating a storage location of the image file, or the like.
  • the job input screen 70 also has a substrate type input field 73 for inputting substrate type information indicating the substrate type of the substrate C to be exposed that is applied to the job to be input.
  • the job input screen 70 has a drawing number input field 74 for inputting drawing number information indicating the number of drawing of the substrate C to be exposed in the target job. Furthermore, the job input screen 70 has an input end button 75 for designating information indicating that the input has ended.
  • selection candidates are displayed in a list display or the like for each input field, and any one of the displayed selection candidates is selected via the input unit 53. good.
  • the user uses the input unit 53 to select a drawing target surface in the drawing target surface selection column 71, inputs information corresponding to each input column, and then designates an input end button 75.
  • the process waits until the input end button 75 is designated, thereby waiting until the input of information related to the job is completed.
  • job information 60A, 60B is generated based on the drawing target surface selected in the drawing target surface selection column 71 and each information input in each input column, and the generated job information 60A, 60B is generated. Is stored in the storage unit 51.
  • the control unit 50 sets the image information of the image indicated by the information input in the image input column 72 as the image information 62, and the drawing number input column 74. The information input to is used as the drawing number information, and job information 60A for the first surface is generated.
  • substrate size information, mark information, and sensitive material type information are determined from the information input in the substrate type input field 73.
  • the substrate size information, the mark information, and the photosensitive material type information are stored in the storage unit 51 in association with each substrate type of the substrate C to be exposed.
  • the substrate size information, mark information, and sensitive material type information corresponding to the substrate type indicated by the information input in the substrate type input field 73 are converted into the substrate size of the job information 60A. Information, mark information, and sensitive material type information.
  • the control unit 50 sets the image information of the image indicated by the information input in the image input field 72 as the image information 62, and enters the drawing number input field 74.
  • the input information is used as the drawing number information, and job information 60B for the second surface is generated.
  • the control unit 50 also determines and applies the substrate size information, the mark information, and the sensitive material type information in the job information 60B as in the job information 60A.
  • step S107 it is determined whether or not the job information generated in the process of step S105 is the job information 60A on the first surface.
  • the process proceeds to step S109, and the generated job information 60A is transmitted to the first exposure drawing apparatus 2 via the wired cable 8a.
  • the first exposure drawing apparatus 2 stores the received job information 60 ⁇ / b> A in its own job storage unit 41.
  • step S107 the job information generated by the process in step S105 is regarded as the second-side job information 60B, and the process proceeds to step S111.
  • step S111 the generated job information 60B is transmitted to the second exposure drawing apparatus 3 via the wired cable 8a, and then the job setting processing program is terminated.
  • the second exposure drawing apparatus 3 stores the received job information 60B in its own job storage unit 41.
  • the control device 5 performs the job information 60 ⁇ / b> A on the first surface and the job on the second surface based on information input by the user.
  • Information 60B is generated.
  • the job information 60A for the first surface generated by the control device 5 is stored in the order received in the job storage unit 41 of the first exposure drawing device 2, and the job information 60B for the second surface is stored in the second exposure drawing device 3.
  • the first exposure drawing apparatus 2 When the first exposure drawing apparatus 2 receives and stores the job information 60A from the control apparatus 5, the first exposure drawing apparatus 2 draws an image on the first surface of the substrate C to be exposed using the stored job information 60A in accordance with a predetermined user operation. The first job execution process is performed.
  • FIG. 11 is a flowchart showing the flow of processing of the first job execution processing program executed by the system control unit 40 of the first exposure drawing apparatus 2 at this time.
  • the program is stored in advance in a predetermined area of the ROM provided in the system control unit 40.
  • the timing at which the program is executed is not limited to the timing according to a predetermined user operation, but may be the timing at which the job information 60A is received.
  • step S200 control is performed to display the job information 60A stored in the job storage unit 41 on the display device 43.
  • the system control unit 40 performs control to display each job information 60A in a list format.
  • the user places the number of exposed substrates C indicated by the drawing number information in the job information 60 ⁇ / b> A to be executed on the upstream side of the first transport unit 6 of the first exposure drawing apparatus 2.
  • the user selects and designates the displayed job information 60A via the input device 44, thereby inputting a job execution instruction indicated by the designated job information 60A.
  • next step S201 the process waits until the job execution instruction is input.
  • job information 60A corresponding to the job instructed to execute hereinafter referred to as “execution first page job”.
  • the image information 62 is obtained from In the present embodiment, when acquiring the image information 62 of the image to be drawn, the image information (image information 62 of the job information 60A) stored in the own job storage unit 41 is acquired, but the present invention is not limited to this. . That is, the image identification information may be added to the job information 60A, and the image information of the image to be drawn may be acquired from the control device 5 or an external storage device based on the image identification information.
  • an exposure condition for drawing an image on the substrate C to be exposed is determined by executing the execution first surface job.
  • the system control unit 40 determines the exposure condition based on the substrate size information, the number of drawn images information, the mark information, and the photosensitive material type information in the job information 60A of the execution first surface job.
  • the system control unit 40 photographs the mark provided on the substrate C to be exposed by the photographing unit 23, and measures the position of the mark from the image obtained by the photographing. Further, the system control unit 40 determines a drawing area in which an image is drawn based on the measured mark position. Further, the system control unit 40 deforms the image to be drawn based on the determined size and shape of the drawing area.
  • the system control unit 40 determines the intensity of the light beam to be exposed, the moving speed of the stage 10 (or the exposure time of the light beam), and the like according to the photosensitive material type indicated by the photosensitive material type information.
  • an exposure drawing process for drawing an image by exposing a light beam to the substrate C to be exposed is started according to the determined exposure condition.
  • the system control unit 40 draws the deformed image on the exposed substrate C by exposing the light beam modulated based on the deformed image with the exposure head 16a. .
  • step S209 it is determined whether or not a predetermined error has occurred.
  • the system control unit 40 performs the exposure drawing process due to deformation or positioning failure of the substrate C to be exposed, failure of a part used when performing exposure drawing of the light source unit 17, the image processing unit 19, the exposure unit 16, and the like. It is determined that an error has occurred, for example, when stopped halfway. If the determination in step S209 is affirmative, the process proceeds to step S211, error information indicating that an error has occurred is transmitted to the control device 5, and the first job execution processing program is terminated. On the other hand, the control device 5 that has received the error information performs control to display the error information on the display unit 52.
  • the system control unit 40 may transmit error information to the second exposure drawing apparatus 3.
  • the second exposure drawing apparatus 3 that has received the error information performs control to display the error information on the display device 43, or the job information 60B of the job corresponding to the execution first page job in which the error has occurred. Or delete it.
  • step S209 if a positive determination is made in step S209, the process proceeds to step S213.
  • step S213 it is determined whether or not the exposure drawing process for one substrate to be exposed C has been completed. If a negative determination is made in step S213, the process returns to step S209. On the other hand, if a positive determination is made in step S213, the process proceeds to step S215.
  • step S215 the exposure condition information 63 of the execution first surface job is transmitted to the second exposure drawing apparatus 3.
  • the exposure condition information 63 of the execution first surface job is transmitted from the first exposure drawing apparatus 2 to the second exposure drawing apparatus 3, but the present invention is not limited to this.
  • the information to be transmitted may be information including the exposure condition information 63 of the execution first surface job by the second exposure drawing apparatus 3, and may be, for example, the job information 60A itself.
  • the transmitted information may be predetermined information (for example, only substrate size information, substrate size and mark information, etc.) included in the exposure condition information 63 of the execution first page job.
  • next step S217 it is determined whether or not the execution first page job has been completed.
  • the system control unit 40 determines that the execution first surface job has been completed when the exposure drawing process for the exposure target substrate C having the drawing number indicated in the drawing number information of the exposure condition information 63 is completed.
  • step S217 If the determination in step S217 is negative, the process returns to step S209. If the determination is affirmative, the first job execution processing program is terminated.
  • the second exposure drawing apparatus 3 When the second exposure drawing apparatus 3 according to the present embodiment receives the exposure condition information 63 of the execution first surface job from the first exposure drawing apparatus 2, the second exposure drawing apparatus 3 converts the exposure condition information 63 and the job information 60 ⁇ / b> B received from the control device 5. Based on this, a second job execution process for drawing an image on the second surface of the substrate C to be exposed is performed.
  • FIG. 12 is a flowchart showing the flow of processing of the second job execution processing program executed by the system control unit 40 of the second exposure drawing apparatus 3 at this time.
  • the program is stored in advance in a predetermined area of the ROM provided in the system control unit 40.
  • the timing at which the program is executed is not limited to the timing at which the job identification information of the job to be executed is received, but is the timing at which a predetermined execution instruction is input by the user via the input device 44. Also good.
  • step S301 whether or not a plurality of job information 60B having the same exposure condition information 63 as the exposure condition information 63 of the received execution first page job exists in the job information 60B stored in the job storage unit 41. Determine whether or not.
  • step S301 determines whether the job information 60B stored in the job storage unit 41 or a non-selection button for selecting no job.
  • the job selection screen 76 has a selection button 77 for selecting any one of the job information 60B stored in the job storage unit 41, and a non-selection button for selecting no job.
  • a selection button 78 is provided. The user designates one of the selection buttons 77 or the non-selection button 78 using the input device 44.
  • step S304 the process waits until any selection button 77 or non-selection button 78 is selected.
  • step S305 it is determined whether any job is selected. At this time, when any selection button 77 is selected, the system control unit 40 determines that any job is selected (positive determination), and when any non-selection button 78 is selected, any job. Is determined not to have been selected (negative determination).
  • step S305 If the determination in step S305 is affirmative, the selected job is designated as an execution target (hereinafter referred to as “execution second side job”), and the process proceeds to step S309 described later. On the other hand, if a negative determination is made in step S305, the process proceeds to step S317, error information indicating that the job is not selected is transmitted to the control device 5, and the second job execution processing program is terminated. On the other hand, the control device 5 performs control to display the received error information on the display unit 52.
  • step S301 if a negative determination is made in step S301, the process proceeds to step S307.
  • step S307 the job information 60B stored in the job storage unit 41 includes job information 60B indicating a job on the second surface having the same exposure condition information 63 as the exposure condition information 63 on the received execution first surface job. Determine if there is only one
  • step S307 If a negative determination is made in step S307, the process proceeds to step S317, error information indicating that there is no job to be executed is transmitted to the control device 5, and the second job execution processing program is terminated. On the other hand, the control device 5 performs control to display the received error information on the display unit 52.
  • step S307 determines whether the job information 60B determined to exist by the processing in step S307 is set as the execution second page job, and the process proceeds to step S309.
  • the job information 60B determined to exist by the process of step S307 may be displayed on the display device 43, and an input of a job execution instruction indicated by the job information 60B may be received. In this case, after receiving the execution instruction input, the process proceeds to step S309.
  • step S309 image information 62 of an image to be drawn on the second surface of the substrate C to be exposed is acquired from the job information 60B of the execution second surface job.
  • the image information (image information 62 of the job information 60B) stored in the own job storage unit 41 is acquired, but the present invention is not limited to this. That is, the image identification information may be added to the job information 60B, and the image information of the image to be drawn may be acquired from the control device 5 or an external storage device based on the image identification information.
  • an exposure condition for drawing an image on the substrate C to be exposed in the execution second surface job that is a job to be executed is determined.
  • the system control unit 40 sets the exposure condition based on the substrate size information, the number-of-drawing-number information, the mark information, and the photosensitive material type information in the job information 60B of the execution second-side job by the same method as in step S205. decide.
  • job A and job A ′ have the same exposure condition information 63
  • job B and job B ′ have the same exposure condition information 63
  • job information 60A for job A for drawing an image corresponding to the first surface job information 60A for job B, and the like are stored.
  • the second exposure drawing apparatus 3 stores job information 60B of job A 'and job information 60B of job B' for drawing an image corresponding to the second surface.
  • the second exposure drawing apparatus 3 sets the job A ′ having the same exposure condition information 63 as the job A as an execution target.
  • step S313 similarly to the process in step S207 of the first job execution processing program described above, an exposure drawing process is performed in which a light beam is exposed on the exposed substrate C to draw an image according to the determined exposure condition. Start.
  • step S315 it is determined whether or not a predetermined error has occurred.
  • the system control unit 40 performs the exposure drawing process due to deformation or positioning failure of the substrate C to be exposed, failure of a part used when performing exposure drawing of the light source unit 17, the image processing unit 19, the exposure unit 16, and the like. It is determined that an error has occurred, for example, when stopped halfway.
  • step S317 error information indicating that an error has occurred is transmitted to the control device 5, and the second job execution processing program is terminated.
  • the control device 5 performs control to display the received error information on the display unit 52.
  • step S315 when it becomes affirmation determination by step S315, it transfers to step S319.
  • step S319 it is determined whether or not the exposure drawing process for the substrate C to be exposed has been completed. If a negative determination is made in step S319, the process returns to step S315. If an affirmative determination is made, the process proceeds to step S321.
  • step S321 it is determined whether or not the execution second side job has been completed.
  • the system control unit 40 determines that the execution second-side job is completed when the exposure drawing process for the exposure target substrate C having the drawing number indicated in the drawing number information of the exposure condition information 63 is completed. If a negative determination is made in step S321, the process proceeds to step S323.
  • step S323 the process waits until it receives exposure condition information for drawing an image on the next exposed substrate C in the execution second-surface job.
  • step S325 it is determined whether or not the received exposure condition information is the same as the exposure condition information of the job information 60B of the execution second side job. If the determination in step S325 is affirmative, the execution of the second execution side job is continued, and the process proceeds to step S315. On the other hand, if a negative determination is made in step S325, the process proceeds to step S317, and error information indicating that exposure condition information different from the exposure condition information of the job information 60B of the execution second-surface job has been received is indicated by the control device 5. To end the first job execution processing program.
  • step S321 determines whether the first job execution processing program is terminated.
  • information indicating the first job executed is transmitted from the first exposure drawing apparatus 2 to the second exposure drawing apparatus 3, and the corresponding job is selected and executed by the second exposure drawing apparatus 3.
  • the first exposure drawing apparatus 2 transmits information indicating the first job to be executed to the control apparatus 5, the control apparatus 5 selects a corresponding job, and the selected job is subjected to the second exposure drawing. Transmit to device 3.
  • FIG. 14 is a flowchart showing the flow of processing of the job setting processing program executed by the control unit 50 of the control device 5 at this time.
  • the program is stored in advance in a predetermined area of the ROM of the storage unit 51.
  • steps S401 to S405 processing similar to that in steps S101 to S105 of the first embodiment is performed.
  • the generated job information 60A for the first surface is transmitted to the first exposure drawing apparatus 2 via the wired cable 8a, and the job setting processing program is terminated.
  • the first exposure drawing apparatus 2 stores the received job information 60 ⁇ / b> A in the job storage unit 41.
  • the first exposure drawing apparatus 2 After storing the job information 60A, the first exposure drawing apparatus 2 performs a first job execution process for drawing an image on the first surface of the substrate C to be exposed based on the job information 60A in accordance with a predetermined user operation.
  • FIG. 15 is a flowchart showing the flow of processing of the first job execution processing program executed by the system control unit 40 of the first exposure drawing apparatus 2 at this time.
  • the program is stored in advance in a predetermined area of the ROM provided in the system control unit 40.
  • the timing at which the program is executed is not limited to the timing in accordance with a predetermined user operation, and may be the timing at which the job information 60A is received.
  • steps S500 to S513 processing similar to that in steps S201 to S213 of the first embodiment is performed.
  • step S515 the exposure condition information 63 in the job information 60A of the execution first surface job is transmitted to the control device 5.
  • step S517 processing similar to that in step S217 in the first embodiment is performed, and the first job execution processing program is terminated.
  • control apparatus 5 When the control apparatus 5 according to the present embodiment receives the exposure condition information of the job information 60A from the first exposure drawing apparatus 2, the same exposure as the received exposure condition information is received from the job information 60B stored in the storage unit 51. Job selection processing for selecting job information 60B having condition information is performed.
  • FIG. 16 is a flowchart showing the flow of processing of the job selection processing program executed by the control unit 50 of the control device 5 at this time.
  • the program is stored in advance in a predetermined area of the ROM of the storage unit 51.
  • the timing at which the program is executed is not limited to the timing at which the exposure condition information is received, but may be the timing at which a predetermined execution instruction is input by the user via the input unit 53.
  • step S601 the second side job having the same exposure condition information 63 as the received execution first side job exposure condition information 63 among the second side job information 60B stored in the storage unit 51. It is determined whether or not the information 60B exists.
  • step S601 determines whether the determination in step S601 is affirmative. If the determination in step S601 is affirmative, the process proceeds to step S605, and the second surface job information 60B having the same exposure condition information 63 as the exposure condition information 63 of the execution first surface job is transferred to the second exposure drawing apparatus 3. Transmission is performed via the wired cable 8a. The second exposure drawing apparatus 3 stores the received second-side job information 60B in the job storage unit 41.
  • step S601 the process proceeds to step S605 to indicate that there is no second-side job information 60B having the same exposure condition information 63 as the exposure condition information 63 of the execution first-side job. Control to display error information on the display unit 52 is performed.
  • the second exposure drawing apparatus 3 When the second exposure drawing apparatus 3 according to the present embodiment receives the job information 60B on the second surface from the control device 5, the second exposure drawing apparatus 3 draws an image on the second surface of the substrate C to be exposed based on the received job information 60B. The second job execution process is performed.
  • FIG. 17 is a flowchart showing the flow of processing of the second job execution processing program executed by the system control unit 40 of the second exposure drawing apparatus 3 at this time.
  • the program is stored in advance in a predetermined area of the ROM provided in the system control unit 40.
  • the timing at which the program is executed is not limited to the timing at which the job information 60B is received, but may be the timing at which a predetermined execution instruction is input by the user via the input device 44.
  • steps S701 to S705 processing similar to that in steps S301 to S305 in the first embodiment is performed.
  • steps S707 to S723 processing similar to that in steps S309 to S325 of the first embodiment is performed, and the second job execution processing program is terminated.

Landscapes

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  • Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)

Abstract

被露光基板の両面に画像を描画する際に各面で相互に対応しない画像を描画してしまうことを防止することができる露光描画装置、露光描画システム、プログラム及び露光描画方法を提供する。被露光基板の第１面に描画する画像を示す画像情報と露光条件情報とが対応付けられた第１ジョブ情報６０Ａに基づいて第１面を露光することにより、該第１ジョブ情報６０Ａにより示される画像を第１面に描画し、被露光基板の第２面に描画する画像を示す画像情報と露光条件情報とが各々対応付けられた複数の第２ジョブ情報６０Ｂを記憶し、複数の第２ジョブ情報６０Ａのうち第１面に対する画像の描画に用いた第１ジョブ情報６０Ａにより示される露光条件情報と同一の露光条件情報を有する第２ジョブ情報６０Ｂに基づいて該第１面に画像を描画した被露光基板の第２面を露光することにより、該第２ジョブ情報により示される画像を第２面に描画する。

Description

露光描画装置、露光描画システム、プログラム及び露光描画方法
　本発明は、露光描画装置、露光描画システム、プログラム及び露光描画方法に係り、特に、被露光基板の両面に画像を描画する露光描画装置及び露光描画システムと、当該露光描画装置及び露光描画システムにより実行されるプログラムと、被露光基板の両面に画像を描画する露光描画方法とに関する。
　従来、プリント基板である被露光基板に、画像情報に基づいて変調された光ビームを露光し、当該被露光基板に画像を描画する露光描画装置が開発されている。また、被露光基板の両面に画像を描画するために、この露光描画装置を２台並列させ、一方を第１面の描画に使用し、他方を第１面とは反対の第２面の描画に使用する露光描画システムも開発されている。この露光描画システムでは、第１面用の露光描画装置によって被露光基板の第１面に画像が描画された後、当該被露光基板が第２面用の露光描画装置の所定位置まで搬送され、当該露光描画装置によって被露光基板の第２面に画像が描画される。
　この露光描画システムに関する技術として、特許文献１には、２台の露光描画装置を用いて被露光基板の第１面及び第２面にそれぞれ画像を描画する際の被露光基板の搬送処理のスループットを向上させた露光描画システムが開示されている。
　この露光描画システムが有する各露光描画装置は、被露光基板が載置されるステージと、ステージを直線状に移動させるステージ移動手段と、ステージに載置された被露光基板の第１面に光ビームを走査するビーム走査手段とを有する描画ユニットを備える。また、各露光描画装置は、ステージの移動方向で、描画ユニットの上流側に配置された上流側ユニットと、ステージの移動方向で、描画ユニットの下流側に配置された下流側ユニットとを備える。また、各露光描画装置は、上流側ユニットの被露光基板を保持してステージの移動方向と同一方向である搬送方向に移動させるようにして、描画ユニット内のステージ上に被露光基板を搬入する搬入手段を備える。また、各露光描画装置は、描画ユニット内のステージ上の被露光基板を保持して搬送方向に移動させるようにして、下流側ユニットに被露光基板を搬出する搬出手段を備える。
　各露光描画装置では、被露光基板の第１面に光ビームを走査するときに、ステージを搬送方向の上流側から下流側に移動させ、上流側に位置するステージに被露光基板を搬入し、下流側に位置するステージから被露光基板を搬出する。
特開２００２－３４１５５０号公報
　一般に、露光描画装置を用いて被露光基板に画像を描画する際には、作業者が露光描画装置に対して、被露光基板に描画する画像、及び描画する際の露光条件が指定された処理要求（ジョブ）を示すジョブ情報を入力する。複数の被露光基板に同一の画像を同一の露光条件で連続して描画する場合には、ジョブ情報において一連の処理が一括りにされて表される。そして、露光描画装置は、入力されたジョブ情報に基づいて被露光基板に対する露光描画処理を行う。
　上記特許文献１に開示された露光描画システムでは、２台の露光描画装置の各々を用いて被露光基板の片面ずつ画像を描画するため、作業者は、一方の露光描画装置に第１面のジョブ情報を入力し、他方の露光描画装置に第２面のジョブ情報を入力する。このように、作業者が各露光描画装置に対して別個にジョブ情報を入力するため、作業者が入力を誤った場合には、被露光基板の各面で相互に対応しない画像が描画されてしまう可能性がある、という問題があった。
　また、一方の露光描画装置において露光描画処理に失敗し、不良品となった被露光基板が取り除かれることがある。この場合、ジョブ情報の入力が正しく行われていた場合であっても、他方の露光描画装置に入力されたジョブ情報が更新されなかった場合には、被露光基板の各面で相互に対応しない画像を描画してしまう可能性がある、という問題もあった。
　本発明は上記問題に鑑みてなされたものであり、被露光基板の両面に画像を描画する際に各面で相互に対応しない画像を描画してしまうことを防止することができる露光描画装置、露光描画システム、プログラム及び露光描画方法を提供することを目的とする。
　上記目的を達成するために、本発明に係る露光描画装置は、被露光基板の第１面に描画する画像を示す画像情報と露光条件を示す露光条件情報とが対応付けられた第１ジョブ情報に基づいて前記第１面を露光することにより、該第１ジョブ情報により示される画像を前記第１面に描画する第１描画手段と、被露光基板の前記第１面とは反対の第２面に描画する画像を示す画像情報と露光条件を示す露光条件情報とが各々対応付けられた複数の第２ジョブ情報を記憶する記憶手段と、前記記憶手段が記憶している前記複数の第２ジョブ情報のうち前記第１描画手段で被露光基板の前記第１面に対する画像の描画に用いた前記第１ジョブ情報により示される露光条件情報と同一の露光条件情報を有する前記第２ジョブ情報に基づいて該第１面に画像を描画した被露光基板の前記第２面を露光することにより、該第２ジョブ情報により示される画像を前記第２面に描画する第２描画手段と、を備えている。
　本発明に係る露光描画装置によれば、第１描画手段により、被露光基板の第１面に描画する画像を示す画像情報と露光条件を示す露光条件情報とが対応付けられた第１ジョブ情報に基づいて前記第１面を露光することにより、該第１ジョブ情報により示される画像が前記第１面に描画される。
　ここで、本発明では、記憶手段により、被露光基板の前記第１面とは反対の第２面に描画する画像を示す画像情報と露光条件を示す露光条件情報とが各々対応付けられた複数の第２ジョブ情報が記憶される。そして、本発明では、第２描画手段により、前記記憶手段が記憶している前記複数の第２ジョブ情報のうち前記第１描画手段で被露光基板の前記第１面に対する画像の描画に用いた前記第１ジョブ情報により示される露光条件情報と同一の露光条件情報を有する前記第２ジョブ情報に基づいて該第１面に画像を描画した被露光基板の前記第２面を露光することにより、該第２ジョブ情報により示される画像が前記第２面に描画される。
　このように、本発明の露光描画装置によれば、第１面に画像を描画した際に用いた第１ジョブ情報の露光条件情報と同一の露光条件情報を有する第２ジョブ情報を用いて第２面に画像を描画するので、被露光基板の両面に画像を描画する際に各面で相互に対応しない画像を描画してしまうことを防止することができる。
　なお、本発明に係る露光描画装置は、前記露光条件が、前記被露光基板のサイズ、前記被露光基板の露光対象とする枚数、前記被露光基板に画像の描画領域を決定するためのマークが設けられている場合の該マークの配置パターン、及び前記被露光基板の感材種の少なくとも１つを含むようにしても良い。これにより、適用した露光条件で被露光基板の各面に画像を描画することができる。
　一方、上記目的を達成するために、本発明に係る露光描画システムは、被露光基板の第１面に描画する画像を示す画像情報と露光条件を示す露光条件情報とが対応付けられた第１ジョブ情報に基づいて前記第１面を露光することにより、該第１ジョブ情報により示される画像を前記第１面に描画する第１描画手段、及び前記第１描画手段で被露光基板の前記第１面に対する画像の描画に用いた前記第１ジョブ情報の露光条件情報を送信する送信手段を備えた第１露光描画装置と、被露光基板の前記第１面とは反対の第２面に描画する画像を示す画像情報と露光条件を示す露光条件情報とが各々対応付けられた複数の第２ジョブ情報を記憶する記憶手段、前記送信手段により送信された前記露条件情報を受信する受信手段、及び前記記憶手段により記憶している前記複数の第２ジョブ情報から前記受信手段により受信した露光条件情報と同一の露光条件情報を有する前記第２ジョブ情報に基づいて前記第１描画手段で前記第１面に画像を描画した被露光基板の前記第２面を露光することにより、該第２ジョブ情報により示される画像を該第２面に描画する第２描画手段を備えた第２露光描画装置と、を有している。
　本発明に係る露光描画システムによれば、第１露光描画装置の第１描画手段により、被露光基板の第１面に描画する画像を示す画像情報と露光条件を示す露光条件情報とが対応付けられた第１ジョブ情報に基づいて前記第１面を露光することにより、該第１ジョブ情報により示される画像が前記第１面に描画される。また、第１露光描画装置の送信手段により、前記第１描画手段で被露光基板の前記第１面に対する画像の描画に用いた前記第１ジョブ情報の露光条件情報が送信される。
　一方、本発明に係る露光描画システムでは、第２露光描画装置の第２記憶手段により、被露光基板の前記第１面とは反対の第２面に描画する画像を示す画像情報と露光条件を示す露光条件情報とが各々対応付けられた複数の第２ジョブ情報が記憶される。また、第２露光描画装置の受信手段により、前記送信手段により送信された前記露条件情報が受信される。さらに、第２露光描画装置の第２描画手段により、前記記憶手段により記憶している前記複数の第２ジョブ情報から前記受信手段により受信した露光条件情報と同一の露光条件情報を有する前記第２ジョブ情報に基づいて前記第１描画手段で前記第１面に画像を描画した被露光基板の前記第２面を露光することにより、該第２ジョブ情報により示される画像が該第２面に描画される。
　このように、本発明の露光描画システムによれば、第２露光描画装置が、第１面に画像を描画した際に用いた第１ジョブ情報の露光条件情報と同一の露光条件情報を有する第２ジョブ情報を用いて第２面に画像を描画するので、被露光基板の両面に画像を描画する際に各面で相互に対応しない画像を描画してしまうことを防止することができる。
　なお、本発明に係る露光描画システムは、前記第１露光描画装置の前記送信手段が、前記第１描画手段による描画が正常に終了した場合の露光条件情報を送信するようにしても良い。これにより、本発明を適用しない場合に比較して、より確実に、被露光基板の両面に画像を描画する際に各面で相互に対応しない画像を描画してしまうことを防止することができる。
　また、本発明に係る露光描画システムは、前記第１露光描画装置の前記送信手段が、前記第１描画手段による描画が異常に終了した場合、エラーが発生した旨を示すエラー情報を送信するようにしても良い。これにより、本発明を適用しない場合に比較して、より確実に、被露光基板の両面に画像を描画する際に各面で相互に対応しない画像を描画してしまうことを防止することができる。
　また、本発明に係る露光描画システムは、前記第２露光描画装置が、前記記憶手段により記憶している前記複数の第２ジョブ情報に前記受信手段により受信した露光条件情報と同一の露光条件情報を有する前記第２ジョブ情報が複数存在した場合、複数存在する前記第２ジョブ情報のうち何れか１つの前記第２ジョブ情報の選択を受け付ける受付手段を更に備え、前記第２露光描画装置の前記第２描画手段が、前記受付手段により選択が受け付けられた前記第２ジョブ情報に基づいて前記第２面に画像を描画するようにしても良い。これにより、第１面に画像を描画した際に用いた第１ジョブ情報の露光条件情報と同一の露光条件情報を有する第２ジョブ情報が複数存在していても、被露光基板の両面に画像を描画する際に各面で相互に対応しない画像を描画してしまうことを防止することができる。
　また、本発明に係る露光描画システムは、前記第１ジョブ情報及び前記第２ジョブ情報を記憶する第２記憶手段、及び前記第２記憶手段により記憶している前記第１ジョブ情報を前記第１露光描画装置に送信し、前記第２ジョブ情報を前記第２露光描画装置に送信する第２送信手段を備えた制御装置を更に備え、前記第１露光描画装置が、前記第２送信手段により送信された前記第１ジョブ情報を受信する第２受信手段を更に備え、前記第１露光描画装置の前記第１描画手段が、前記第２受信手段により受信した前記第１ジョブ情報を用いて、該第１ジョブ情報により示される画像を前記第１面に描画し、前記第２露光描画装置が、前記第２送信手段により送信された前記第２ジョブ情報を受信する第３受信手段を更に備え、前記第２露光描画装置の前記記憶手段が、前記第３受信手段により受信した前記第２ジョブ情報を複数記憶するようにしても良い。これにより、制御装置によって、システム全体を統括的に管理することができる。
　特に、本発明に係る露光描画システムは、前記制御装置が、前記第１ジョブ情報及び前記第２ジョブ情報の入力を受け付ける第２受付手段を更に備え、前記制御装置の前記第２記憶手段は、前記第２受付手段により受け付けた前記第１ジョブ情報及び前記第２ジョブ情報を記憶するようにしても良い。これにより、ユーザが入力したジョブ情報を用いて、被露光基板の各面に相互に対応する画像を描画させることができる。
　一方、上記目的を達成するために、本発明に係る露光描画システムは、被露光基板の第１面に描画する画像を示す画像情報と露光条件を示す露光条件情報とが対応付けられた第１ジョブ情報に基づいて前記第１面を露光することにより、該第１ジョブ情報により示される画像を前記第１面に描画する第１描画手段、及び前記第１描画手段で被露光基板の前記第１面に対する画像の描画に用いた前記第１ジョブ情報の露光条件情報を送信する第１送信手段を備えた第１露光描画装置と、被露光基板の前記第１面とは反対の第２面に描画する画像を示す画像情報と露光条件を示す露光条件情報とが各々対応付けられた複数の第２ジョブ情報を記憶する記憶手段、前記第１送信手段により送信された露光条件情報を受信する第１受信手段、及び前記記憶手段により記憶された前記複数の第２ジョブ情報のうち前記第１受信手段により受信した露光条件情報と同一の露光条件情報を有する前記第２ジョブ情報を送信する第２送信手段を備えた制御装置と、前記第２送信手段により送信された前記第２ジョブ情報を受信する第２受信手段、及び前記第２受信手段により受信した前記第２ジョブ情報に基づいて前記第１描画手段により前記第１面に画像を描画した被露光基板の前記第２面を露光することにより、該第２ジョブ情報により示される画像を該第２面に描画する第２描画手段を備えた第２露光描画装置と、を有している。
　本発明に係る露光描画システムによれば、第１露光描画装置の第１描画手段により、被露光基板の第１面に描画する画像を示す画像情報と露光条件を示す露光条件情報とが対応付けられた第１ジョブ情報に基づいて前記第１面を露光することにより、該第１ジョブ情報により示される画像が前記第１面に描画される。また、第１露光描画装置の第１送信手段により、前記第１描画手段で被露光基板の前記第１面に対する画像の描画に用いた前記第１ジョブ情報の露光条件情報が送信される。
　一方、本発明に係る露光描画システムでは、制御装置の記憶手段により、被露光基板の前記第１面とは反対の第２面に描画する画像を示す画像情報と露光条件を示す露光条件情報とが各々対応付けられた複数の第２ジョブ情報が記憶される。また、制御装置の第１受信手段により、前記第１送信手段により送信された露光条件情報が受信される。さらに、制御装置の第２送信手段により、前記記憶手段により記憶された前記複数の第２ジョブ情報のうち前記第１受信手段により受信した露光条件情報と同一の露光条件情報を有する前記第２ジョブ情報が送信される。
　さらに、本発明に係る露光描画システムでは、第２露光描画装置の第２受信手段により、前記第２送信手段により送信された前記第２ジョブ情報が受信され、第２露光描画装置の第２描画手段により、前記第２受信手段により受信した前記第２ジョブ情報に基づいて前記第１描画手段により前記第１面に画像を描画した被露光基板の前記第２面を露光することにより、該第２ジョブ情報により示される画像が該第２面に描画される。
　このように、本発明の露光描画システムによれば、制御装置が、第１露光描画装置から受信した、第１面に画像を描画した際に用いた第１ジョブ情報の露光条件情報と同一の露光条件情報を有する第２ジョブ情報を第２露光描画装置に送信するので、露光描画装置に新たな機能を追加することなく、被露光基板の両面に画像を描画する際に各面で相互に対応しない画像を描画してしまうことを防止することができる。
　なお、本発明に係る露光描画システムは、前記露光条件が、前記被露光基板のサイズ、前記被露光基板の露光対象とする枚数、前記被露光基板に画像の描画領域を決定するためにマークが設けられている場合の該マークの配置パターン、及び前記被露光基板の感材種の少なくとも１つを含むようにしても良い。これにより、適用した露光条件で被露光基板の各面に画像を描画することができる。
　一方、上記目的を達成するために、本発明に係るプログラムは、コンピュータを、第１描画手段に、被露光基板の第１面に描画する画像を示す画像情報と露光条件を示す露光条件情報とが対応付けられた第１ジョブ情報に基づいて前記第１面を露光することにより、該第１ジョブ情報により示される画像を前記第１面に描画させる第１制御手段と、第２描画手段に、被露光基板の前記第１面とは反対の第２面に描画する画像を示す画像情報と露光条件を示す露光条件情報とが各々対応付けられた複数の第２ジョブ情報のうち、前記第１描画手段で被露光基板の前記第１面に対する画像の描画に用いた前記第１ジョブ情報の露光条件情報と同一の露光条件情報を有する前記第２ジョブ情報に基づいて該第１面に画像を描画した被露光基板の前記第２面を露光することにより、該第２ジョブ情報により示される画像を前記第２面に描画させる第２制御手段と、として機能させる。
　従って、本発明に係るプログラムによれば、コンピュータを本発明に係る露光描画装置と同様に作用させることができるので、当該露光描画装置と同様に、被露光基板の両面に画像を描画する際に各面で相互に対応しない画像を描画してしまうことを防止することができる。
　さらに、上記目的を達成するために、本発明に係る露光描画方法は、第１描画手段に、被露光基板の第１面に描画する画像を示す画像情報と露光条件を示す露光条件情報とが対応付けられた第１ジョブ情報に基づいて前記第１面を露光することにより、該第１ジョブ情報により示される画像を前記第１面に描画させる第１制御ステップと、第２描画手段に、被露光基板の前記第１面とは反対の第２面に描画する画像を示す画像情報と露光条件を示す露光条件情報とが各々対応付けられた複数の第２ジョブ情報のうち、前記第１描画手段で被露光基板の前記第１面に対する画像の描画に用いた前記第１ジョブ情報の露光条件情報と同一の露光条件情報を有する前記第２ジョブ情報に基づいて該第１面に画像を描画した被露光基板の前記第２面を露光することにより、該第２ジョブ情報により示される画像を前記第２面に描画させる第２制御ステップと、を有している。
　従って、本発明に係る露光描画方法によれば、本発明に係る露光描画装置と同様に作用するので、当該露光描画装置と同様に、被露光基板の両面に画像を描画する際に各面で相互に対応しない画像を描画してしまうことを防止することができる。
　本発明によれば、被露光基板の両面に画像を描画する際に各面で相互に対応しない画像を描画してしまうことを防止することができる、という効果を奏する。
実施形態に係る露光描画システムの全体の構成を示す概略平面図である。 実施形態に係る第１露光描画装置及び第２露光描画装置の構成を示す斜視図である。 実施形態に係る露光ヘッドによる露光領域および露光ヘッドの配列パターンを示す概略平面図である。 実施形態に係る露光ヘッドにより被露光基板上に描画される画像の画像領域を示す概略平面図である。 実施形態に係る反転装置の構成を示す一部破断斜視図である。 実施形態に係る第１露光描画装置及び第２露光描画装置の電気系の構成を示すブロック図である。 実施形態に係る制御装置の電気系の構成を示すブロック図である。 実施形態に係るジョブ情報の一例を示す模式図である。 実施形態に係るジョブ情報の一例を示す模式図である。 第１実施形態に係るジョブ設定処理プログラムの処理の流れを示すフローチャートである。 第１実施形態に係るジョブ入力画面の構成例を示す構成図である。 第１実施形態に係る露光描画システムによる露光描画処理の説明に供する模式図である。 第１実施形態に係る第１ジョブ実行処理プログラムの処理の流れを示すフローチャートである。 第１実施形態に係る第２ジョブ実行処理プログラムの処理の流れを示すフローチャートである。 第１実施形態に係るジョブ選択画面の構成例を示す構成図である。 第２実施形態に係るジョブ設定処理プログラムの処理の流れを示すフローチャートである。 第２実施形態に係る第１ジョブ実行処理プログラムの処理の流れを示すフローチャートである。 第２実施形態に係るジョブ選択処理プログラムの処理の流れを示すフローチャートである。 第２実施形態に係る第２ジョブ実行処理プログラムの処理の流れを示すフローチャートである。
［第１実施形態］
　以下、実施形態に係る露光描画装置について添付図面を用いて詳細に説明する。なお、各実施形態では、本発明を、被露光基板（後述する被露光基板Ｃ）に光ビームを露光して回路パターンを示す画像を描画する露光描画システムに適用した場合を例に挙げて説明する。また、被露光基板Ｃは、プリント配線基板、フラットパネルディスプレイ用ガラス基板などの平板基板である。
　図１に示すように、本実施形態に係る露光描画システム１は、被露光基板Ｃの第１面に対する露光を行う第１露光描画装置２、及び被露光基板Ｃの第１面とは反対の第２面に対する露光を行う第２露光描画装置３を備えている。また、露光描画システム１は、第１露光描画装置２及び第２露光描画装置３の間に設けられ、被露光基板Ｃの表裏を反転する反転装置４、及び被露光基板Ｃの第１面及び第２面に対する露光を制御する制御装置５を備えている。
　また、第１露光描画装置２と制御装置５との間、第２露光描画装置３と制御装置５との間は、それぞれ有線ケーブル８ａで接続されており、制御装置５は、第１露光描画装置２及び第２露光描画装置３との間で、有線ケーブル８ａを介して通信する。同様に、第１露光描画装置２及び第２露光描画装置３は有線ケーブル８ｂで接続されており、これらの各露光描画装置は、有線ケーブル８ｂを介して通信する。
　次に、本実施形態に係る第１露光描画装置２及び第２露光描画装置３の構成について説明する。なお、第１露光描画装置２及び第２露光描画装置３は同一の構成を有するため、ここでは第１露光描画装置２について説明し、第２露光描画装置３についての説明を省略する。
　図２に示すように、本実施形態に係る第１露光描画装置２は、被露光基板Ｃを固定するための平板状のステージ１０を備えている。また、ステージ１０の上面には、空気を吸入する複数の吸入孔（図示省略）が設けられている。ステージ１０の上面に被露光基板Ｃが載置された際に、被露光基板Ｃ及びステージ１０間の空気が吸入孔を介して吸入されることで被露光基板Ｃがステージ１０に真空吸着される。
　また、ステージ１０は、卓状の基体１１の上面に移動可能に設けられた平板状の基台１２に支持されている。すなわち、基体１１の上面には、１本または複数本（本実施形態では、２本）のガイドレール１４が設けられている。基台１２は、ガイドレール１４に沿って自在に移動できるように支持されており、モータなどにより構成された駆動機構（後述するステージ駆動部４２）により駆動されて移動する。ステージ１０は、基台１２の移動に連動してガイドレール１４に沿って移動する。
　なお、以下では、ステージ１０が移動する方向をＹ方向と定め、このＹ方向に対して水平面内で直交する方向をＸ方向と定め、Ｙ方向に鉛直面内で直交する方向をＺ方向と定める。
　基体１１の上面には、２本のガイドレール１４を跨ぐように立設された門型のゲート１５が設けられている。ステージ１０に載置された被露光基板Ｃは、ゲート１５の開口部をガイドレール１４に沿って出入りするようにして移動する。ゲート１５の開口部の上部には、当該開口部に向けて光ビームを露光する露光部１６が取り付けられている。この露光部１６により、ステージ１０がガイドレール１４に沿って移動して上記開口部に位置している場合に、ステージ１０に載置された被露光基板Ｃの上面に光ビームが露光される。
　本実施形態に係る露光部１６は、複数個（本実施形態では、１６個）の露光ヘッド１６ａを含んで構成されている。露光ヘッド１６ａの各々は、露光部１６においてマトリクス状に配列されている。また、露光部１６には、後述する光源ユニット１７から引き出された光ファイバ１８と、後述する画像処理ユニット１９から引き出された信号ケーブル２０とがそれぞれ接続されている。
　露光ヘッド１６ａの各々は、反射型の空間光変調素子としてのデジタルマイクロミラーデバイス（ＤＭＤ）を有している。露光ヘッド１６ａは、画像処理ユニット１９から入力される画像情報に基づいてＤＭＤを制御することで光源ユニット１７からの光ビームを変調する。第１露光描画装置２は、この変調した光ビームを被露光基板Ｃに照射することにより被露光基板Ｃに対する露光を行う。なお、空間光変調素子は反射型に限定されず、液晶などの透過型の空間光変調素子であっても良い。
　図３Ａに示すように、露光ヘッド１６ａで露光される領域である画像領域Ｐ１は、一方の辺が、ステージ１０の移動方向（Ｙ方向）に対して予め定められた傾斜角で傾斜した矩形状である。なお、図３Ａにおいては、本実施形態に係る複数の露光ヘッド１６ａのうちの一部のみを示している。また、ステージ１０がゲート１５の開口部を移動する際に露光ヘッド１６ａにより被露光基板Ｃに光ビームが露光されると、図３Ｂに示すように、ステージ１０の移動に伴って被露光基板Ｃに露光ヘッド１６ａ毎に帯状の露光済み領域Ｐ２が形成される。マトリクス状に配列された露光ヘッド１６ａの各々は、Ｘ方向に、画像領域Ｐ１の長辺の長さを自然数倍（本実施形態では、１倍）した距離ずつずらして配置されている。そして、露光済み領域Ｐ２の各々は、隣接する露光済み領域Ｐ２と部分的に重ねられて形成される。
　図２に示すように、基体１１の上面には、さらに、２本のガイドレール１４を跨ぐように立設された門型のゲート２２が設けられている。ステージ１０に載置された被露光基板Ｃは、ゲート２２の開口部をガイドレール１４に沿って出入りするようにして移動する。
　ゲート２２の開口部の上部には、開口部を撮影するための１個または複数個（本実施形態では、３個）の撮影部２３が取り付けられている。撮影部２３は、１回の発光時間が極めて短いストロボを内蔵したＣＣＤカメラなどである。また、ゲート２２の開口部の上部には、水平面内においてステージ１０の移動方向（Ｙ方向）に対して垂直な方向（Ｘ方向）に沿ってレール２３ａが設けられ、撮影部２３の各々はレール２３ａに案内されて移動可能に設けられている。この撮影部２３により、ステージ１０がガイドレール１４に沿って移動して上記開口部に位置している場合に、ステージ１０に載置された被露光基板Ｃの上面が撮影される。
　図１及び図２に示すように、第１露光描画装置２は、外部から搬入された被露光基板Ｃを第１露光描画装置２の所定位置まで搬送する第１搬送部６、被露光基板Ｃを第１露光描画装置２から反転装置４の所定位置まで搬送する第２搬送部７を備えている。同様に、第２露光描画装置３は、被露光基板Ｃを反転装置４から第２露光描画装置３の所定位置まで搬送する第１搬送部６、被露光基板Ｃを第２露光描画装置３の外部へ搬送する第２搬送部７を備えている。
　第１搬送部６及び第２搬送部７は、複数の回転ローラと当該回転ローラを回転する駆動モータとを有している。上記複数の回転ローラは、各々が平行に敷設され、回転ローラの一端にはベルト又はワイヤーによって伝達される回転力を受けるスプロケット又は滑車が取り付けられる。回転ローラを回転する駆動モータの回転力を伝達する手段としては、ベルト又はワイヤー以外に円筒状のマグネットによる伝達方法も採用できる。
　また、図２に示すように、第１露光描画装置２は、第１搬送部６により所定位置まで搬送されてきた被露光基板Ｃを、当該所定位置からステージ１０まで搬送するオートキャリアハンド（以下、ＡＣハンド）２４を備えている。ＡＣハンド２４は平板状に形成されるとともに、Ｘ方向及びＺ方向に移動可能に設けられている。ＡＣハンド２４の下面には、空気を吸入する複数の吸入孔２５が設けられている。ＡＣハンド２４は、ＡＣハンド２４の下面が被露光基板Ｃの上面に接する位置に移動した際に、ＡＣハンド２４及び被露光基板Ｃの間の空気を吸入孔２５で吸入することにより、被露光基板ＣをＡＣハンド２４の下面に真空吸着させて吸着保持する。また、ＡＣハンド２４の下面には、被露光基板Ｃを吸着保持した状態でＡＣハンド２４がステージ１０の上面まで移動した際に、被露光基板Ｃを下方に向けて押し出してステージ１０に押し付けるＺ方向に移動自在な押付部２６が設けられている。
　第１露光描画装置２のＡＣハンド２４は、第１搬送部６まで搬送されてきた未露光の被露光基板Ｃを吸着保持して上方に移動させ、ステージ１０の上面に載置する。また、第１露光描画装置２のＡＣハンド２４は、ステージ１０の上面に載置された第１面が露光済みの被露光基板Ｃを吸着保持することにより上方に移動させ、被露光基板Ｃを第２搬送部７まで移動させる。第２搬送部７まで移動した第１面が露光済みの被露光基板Ｃは、第２搬送部７により第１露光描画装置２の外部へ搬出される。
　また、第２露光描画装置３のＡＣハンド２４は、第１搬送部６まで搬送されてきた第１面が露光済みの被露光基板Ｃを吸着保持して上方に移動させ、被露光基板Ｃをステージ１０の上面に載置する。また、第２露光描画装置３のＡＣハンド２４は、ステージ１０の上面に載置された第１面及び第２面が露光済みの被露光基板Ｃを吸着保持することにより上方に移動させ、被露光基板Ｃを第２搬送部７まで移動させる。第２搬送部７まで移動した第１面及び第２面が露光済みの被露光基板Ｃは、第２搬送部７により露光描画システム１の外部へ搬出される。
　次に、本実施形態に係る反転装置４の構成について説明する。
　図４に示すように、反転装置４は、回動軸Ｌに回動自在に軸支された平板状のサブフレーム３０を備えている。サブフレーム３０は、被露光基板Ｃを内部に保持した状態で１８０度回転することにより被露光基板Ｃの表裏を反転させる。
　また、図４に示すように、サブフレーム３０が有する側面のうちの第１露光描画装置２が位置する側の側面に、被露光基板Ｃがサブフレーム３０の内部に搬入される搬入口３１設けられている。さらに、サブフレーム３０の内部にはモータ３３で駆動される複数のローラ対３４が設けられている。ローラ対３４は、サブフレーム３０の内部に収納された被露光基板Ｃを挟持した状態で搬送する。被露光基板Ｃは、ローラ対３４によって搬入口３１を介してサブフレーム３０の内部に搬送されると共に、サブフレーム３０の回転によって表裏が反転され、ローラ対３４によって搬入口３１を介してサブフレーム３０の外部に搬送される。なお、サブフレーム３０は、被露光基板Ｃの搬出を終えると、次の被露光基板Ｃを内部に搬入するために再び１８０度回動する。
　次に、本実施形態に係る第１露光描画装置２及び第２露光描画装置３の電気系の構成について説明する。なお、第１露光描画装置２及び第２露光描画装置３は同一の電気系の構成を有するため、ここでは第１露光描画装置２について説明し、第２露光描画装置３についての説明を省略する。
　図５に示すように、第１露光描画装置２には、装置各部にそれぞれ電気的に接続されるシステム制御部４０が設けられており、このシステム制御部４０により第１露光描画装置２の各部が統括的に制御される。また、第１露光描画装置２は、ジョブ記憶部４１、ステージ駆動部４２、表示装置４３、入力装置４４、撮影駆動部４６、及び外部入出力部４８を有している。
　システム制御部４０は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、ＲＡＭ（Random AccessMemory）、ＲＯＭ（Read Only Memory）、及びＨＤＤ（Hard Disk Drive）を有している。また、システム制御部４０は、上記ＣＰＵにより、ステージ１０の移動に応じたタイミングで、光源ユニット１７から光ビームを出射させると共に、対応する画像情報を画像処理ユニット１９により出力させる。システム制御部４０は、このようにして露光ヘッド１６ａによる被露光基板Ｃに対する光ビームの露光を制御する。
　ジョブ記憶部４１は、ＲＡＭや不揮発性メモリを有し、実行対象とするジョブを示すジョブ情報を記憶する。本実施形態におけるジョブは、同一種類の１枚または複数枚の被露光基板Ｃの第１面に同一の画像を同一条件で露光描画すると共に、第２面にも同一の画像を同一条件で露光描画する一括りの露光処理要求である。なお、ジョブ情報の詳細については後述する。本実施形態では、ジョブ記憶部４１は、実行対象とするジョブのジョブ情報をリスト形式で記憶するが、これに限定されず、キュー形式で記憶しても良い。
　ステージ駆動部４２は、モータまたは油圧ポンプなどにより構成された駆動機構を有しており、システム制御部４０の制御によってステージ１０を駆動する。
　表示装置４３は、システム制御部４０の制御により各種情報を表示する液晶ディスプレイ等の表示手段である。
　入力装置４４は、ユーザ操作により各種情報を入力するタッチセンサや操作ボタン等の入力手段である。
　撮影駆動部４６は、モータまたは油圧ポンプなどにより構成された駆動機構を有しており、システム制御部４０の制御によって撮影部２３を駆動する。
　外部入出力部４８は、第１露光描画装置２に接続された第２露光描画装置３及び制御装置５を含む各種情報処理装置との間で各種情報の入出力を行う。なお、第２露光描画装置３の外部入出力部４８は、第２露光描画装置３に接続された第１露光描画装置２及び制御装置５を含む各種情報処理装置との間で各種情報の入出力を行う。
　次に、本実施形態に係る制御装置５の電気系の構成について説明する。
　図６に示すように、制御装置５は、露光描画システム１における露光描画処理を制御する制御部５０を備えている。また、制御装置５は、制御部５０による露光描画処理に必要なプログラムや各種データを記憶するＲＯＭ及びＨＤＤ等を有する記憶部５１を備えている。なお、記憶部５１は、ジョブ情報、ジョブ設定処理プログラム、第１ジョブ実行処理プログラム、第２ジョブ実行処理プログラム、及び第２実施形態のジョブ選択処理プログラムも記憶している。
　また、制御装置５は、制御部５０の制御に基づいて各種情報を表示する液晶ディスプレイ等の表示部５２、及びユーザ操作により各種情報を入力するキーボードやマウス等の入力部５３を備えている。さらに、制御装置５は、制御部５０の制御に基づいて第１露光描画装置２及び第２露光描画装置３に対する各種情報の送受信を行う通信インタフェース５４を備えている。
　ここで、本実施形態に係る制御装置５は、ユーザ操作によるジョブに関する情報の入力を受け付ける。また、制御装置５は、ジョブに関する情報の入力を受け付けた際、第１露光描画装置２及び第２露光描画装置３に各々対応するジョブ情報を生成し、生成したジョブ情報を各々対応する露光描画装置に送信する。本実施形態に係る第１露光描画装置２及び第２露光描画装置３は、ジョブ情報を受信した際、受信したジョブ情報をジョブ記憶部４１に記憶し、記憶したジョブの内容に従って被露光基板Ｃに対する露光描画処理を実行する。この際、本実施形態に係る第１露光描画装置２は、複数のジョブ情報を記憶している場合には、各ジョブ情報を受信した順に、各ジョブ情報によって示されるジョブを実行する。なお、本実施形態に係る第２露光描画装置３は、第１露光描画装置２で実行されたジョブに対応するジョブを順次実行する。
　ジョブ情報の生成に際し、制御装置５は、第１露光描画装置２に被露光基板Ｃの第１面に画像を描画させるためのジョブ情報６０Ａ、及び第２露光描画装置３に被露光基板Ｃの第２面に画像を描画させるためのジョブ情報６０Ｂをそれぞれ生成する。すなわち、同一の被露光基板Ｃに関するジョブであっても、第１面及び第２面に対してそれぞれ別個の露光描画装置で露光描画処理を行うため、第１面用のジョブ情報６０Ａ、及び第２面用のジョブ情報６０Ｂをそれぞれ別個に生成する。
　ジョブ情報６０Ａ、６０Ｂは、一例として図７Ａ及び図７Ｂに示すように、ジョブ識別情報６１と、画像情報６２と、露光条件情報６３とがそれぞれジョブ毎に対応付けられた情報である。なお、ジョブ識別情報６１は、各々のジョブを識別するための情報である。また、画像情報６２は、描画対象とする画像を示す情報である。また、露光条件情報６３は、被露光基板Ｃに対応する画像を描画するために光ビームを露光する際の露光条件を示す情報である。本実施形態に係る露光条件情報６３は、描画対象とする被露光基板Ｃ（以下、「対象基板」という。）の基板サイズを示す基板サイズ情報、及び対象基板の描画枚数を示す描画枚数情報を含んでいる。また、本実施形態に係る露光条件情報６３は、対象基板に対応する画像の描画領域を決定するためのマークが設けられている場合の当該マークの配置パターンが座標で示されたマーク情報、及び対象基板の感材種を示す感材種情報等を含んでいる。しかしながら、露光条件情報６３に含まれる情報はこれらに限定されず、光ビームの強度を示す情報、ステージ１０の移動速度を示す情報等、露光描画処理を行う際に使用される情報であれば任意の情報であって良い。
　作業者は、第１露光描画装置２及び第２露光描画装置３にジョブを実行させたい場合に、入力部５３を介して、ジョブ情報６０Ａ、６０Ｂに含まれる各情報を制御装置５に入力する。これに応じて、制御装置５は、入力された各情報に基づいて第１面用のジョブ情報６０Ａ、及び第２面用のジョブ情報６０Ｂを生成して記憶部５１に記憶するジョブ設定処理を行う。
　次に、図８を参照して、本実施形態に係る露光描画システム１の作用を説明する。なお、図８は、入力部５３を介して実行指示が入力された際に制御装置５の制御部５０によって実行されるジョブ設定処理プログラムの処理の流れを示すフローチャートである。当該プログラムは、記憶部５１のＲＯＭの所定領域に予め記憶されている。
　まず、ステップＳ１０１では、ユーザによるジョブに関する情報の入力を補助するためのジョブ入力画面を表示部５２に表示させる制御を行う。図９に示すように、本実施形態に係るジョブ入力画面７０は、第１面のジョブに関する入力か第２面のジョブに関する入力かを選択する描画対象面選択欄７１を有している。また、ジョブ入力画面７０は、描画する画像を示す画像識別情報を入力する画像入力欄７２を有している。画像識別情報は、画像情報を含むファイルのファイル名や、画像ファイルの格納先を示すＵＲＬ（Uniform Resource Locator）等である。また、ジョブ入力画面７０は、入力対象とするジョブに適用される被露光基板Ｃの基板種類を示す基板種類情報を入力する基板種類入力欄７３を有している。また、ジョブ入力画面７０は、対象とするジョブにおける被露光基板Ｃの描画枚数を示す描画枚数情報を入力する描画枚数入力欄７４を有している。さらに、ジョブ入力画面７０は、入力が終了した旨を示す情報を指定するための入力終了ボタン７５を有している。なお、各入力欄に各情報を入力する際、入力欄毎にリスト表示等によって選択候補が表示され、表示された選択候補の何れか１つを入力部５３を介して選択するようにしても良い。ユーザは、入力部５３を用いて、描画対象面選択欄７１で描画対象とする面を選択し、各入力欄に対応する情報を入力した後、入力終了ボタン７５を指定する。
　そこで、次のステップＳ１０３では、入力終了ボタン７５が指定されるまで待機することにより、ジョブに関する情報の入力が終了するまで待機する。
　次のステップＳ１０５では、描画対象面選択欄７１で選択された描画対象の面、及び各入力欄に入力された各情報に基づいてジョブ情報６０Ａ、６０Ｂを生成し、生成したジョブ情報６０Ａ、６０Ｂを記憶部５１に記憶する。この際、制御部５０は、描画対象面選択欄７１で第１面が選択された場合、画像入力欄７２に入力された情報が示す画像の画像情報を画像情報６２とし、描画枚数入力欄７４に入力された情報を描画枚数情報とし、第１面のジョブ情報６０Ａを生成する。また、ジョブ情報６０Ａでは、基板種類入力欄７３に入力された情報から、基板サイズ情報、マーク情報、及び感材種情報を決定する。すなわち、本実施形態に係る露光描画システム１では、被露光基板Ｃの基板種類毎に、基板サイズ情報、マーク情報、及び感材種情報がそれぞれ対応付けられて記憶部５１に記憶されている。そして、本実施形態に係る露光描画システム１では、基板種類入力欄７３に入力された情報が示す基板種類に対応する基板サイズ情報、マーク情報、及び感材種情報を、ジョブ情報６０Ａの基板サイズ情報、マーク情報、及び感材種情報とする。
　また、制御部５０は、描画対象面選択欄７１で第２面が選択された場合、画像入力欄７２に入力された情報が示す画像の画像情報を画像情報６２とし、描画枚数入力欄７４に入力された情報を描画枚数情報として、第２面のジョブ情報６０Ｂを生成する。また、制御部５０は、ジョブ情報６０Ｂでも、ジョブ情報６０Ａと同様にして、基板サイズ情報、マーク情報、及び感材種情報を決定して適用する。
　次のステップＳ１０７では、上記ステップＳ１０５の処理において生成したジョブ情報が、第１面のジョブ情報６０Ａであるか否かを判定する。ステップＳ１０７で肯定判定となった場合はステップＳ１０９に移行し、生成したジョブ情報６０Ａを第１露光描画装置２に有線ケーブル８ａを介して送信する。これに対して第１露光描画装置２は、受信したジョブ情報６０Ａを自身のジョブ記憶部４１に記憶する。
　一方、ステップＳ１０７で否定判定となった場合は上記ステップＳ１０５の処理によって生成したジョブ情報が第２面のジョブ情報６０Ｂであったと見なしてステップＳ１１１に移行する。
　ステップＳ１１１では、生成したジョブ情報６０Ｂを第２露光描画装置３に有線ケーブル８ａを介して送信した後、本ジョブ設定処理プログラムを終了する。これに対して第２露光描画装置３は、受信したジョブ情報６０Ｂを自身のジョブ記憶部４１に記憶する。
　このように、本実施形態に係る露光描画システム１では、図１０に示すように、制御装置５が、ユーザによって入力された情報に基づいて第１面のジョブ情報６０Ａ、及び第２面のジョブ情報６０Ｂを生成する。そして、制御装置５によって生成された第１面のジョブ情報６０Ａは第１露光描画装置２のジョブ記憶部４１に受信された順に記憶され、第２面のジョブ情報６０Ｂは第２露光描画装置３のジョブ記憶部４１に受信された順に記憶される。
　第１露光描画装置２は、制御装置５からジョブ情報６０Ａを受信して記憶すると、予め定められたユーザ操作に従って、記憶したジョブ情報６０Ａを用いて被露光基板Ｃの第１面に画像を描画する第１ジョブ実行処理を行う。
　次に、図１１を参照して、本実施形態に係る第１ジョブ実行処理を実行する際の第１露光描画装置２の作用を説明する。なお、図１１は、この際に第１露光描画装置２のシステム制御部４０によって実行される第１ジョブ実行処理プログラムの処理の流れを示すフローチャートである。当該プログラムは、システム制御部４０が備えているＲＯＭの所定領域に予め記憶されている。なお、当該プログラムが実行されるタイミングは、予め定められたユーザ操作に従ったタイミングに限らず、ジョブ情報６０Ａを受信したタイミングであっても良い。
　始めに、ステップＳ２００では、ジョブ記憶部４１に記憶しているジョブ情報６０Ａを表示装置４３に表示させる制御を行う。この際、システム制御部４０は、複数のジョブ情報６０Ａが記憶されている場合には、各ジョブ情報６０Ａをリスト形式で表示させる制御を行う。ユーザは、実行対象とするジョブ情報６０Ａの描画枚数情報により示される枚数の被露光基板Ｃを第１露光描画装置２の第１搬送部６の上流側に配置する。そして、ユーザは、入力装置４４を介して、表示されたジョブ情報６０Ａを選択指定することにより、指定したジョブ情報６０Ａによって示されるジョブの実行指示を入力する。
　次のステップＳ２０１では、上記ジョブの実行指示が入力されるまで待機し、次のステップＳ２０３では、実行が指示されたジョブ（以下、「実行第１面ジョブ」という。）に対応するジョブ情報６０Ａから画像情報６２を取得する。なお、本実施形態では、描画する画像の画像情報６２を取得する際、自身のジョブ記憶部４１に記憶されている画像情報（ジョブ情報６０Ａの画像情報６２）を取得するが、これに限定されない。すなわち、ジョブ情報６０Ａに上記画像識別情報を付与しておき、当該画像識別情報に基づいて、描画する画像の画像情報を、制御装置５や外部の記憶装置から取得しても良い。
　次のステップＳ２０５では、実行第１面ジョブの実行により被露光基板Ｃに画像を描画する際の露光条件を決定する。この際、システム制御部４０は、実行第１面ジョブのジョブ情報６０Ａにおける基板サイズ情報、描画枚数情報、マーク情報、及び感材種情報に基づいて露光条件を決定する。本実施形態では、まず、システム制御部４０は、撮影部２３により被露光基板Ｃに設けられた上記マークを撮影し、撮影によって得られた画像から当該マークの位置を計測する。また、システム制御部４０は、計測したマークの位置に基づいて画像を描画する描画領域を決定する。さらに、システム制御部４０は、決定した描画領域のサイズや形状に基づいて描画対象とする画像を変形させる。そして、システム制御部４０は、上記感材種情報が示す感材種に応じて、露光する光ビームの強度、ステージ１０の移動速度（または光ビームの露光時間）等を決定する。
　次のステップＳ２０７では、決定した露光条件に応じて、被露光基板Ｃに光ビームを露光して画像を描画する露光描画処理を開始する。本実施形態に係る露光描画処理では、システム制御部４０は、変形させた画像に基づいて変調させた光ビームを露光ヘッド１６ａにより露光することにより当該変形させた画像を被露光基板Ｃに描画する。
　次のステップＳ２０９では、予め定められたエラーが発生したか否かを判定する。この際、システム制御部４０は、被露光基板Ｃの変形や位置決め不良、光源ユニット１７や画像処理ユニット１９、露光部１６等の露光描画を行う際に用いられる部位の故障等により露光描画処理が途中で停止した場合等に、エラーが発生したと判定する。ステップＳ２０９で肯定判定となった場合はステップＳ２１１に移行し、エラーが発生した旨を示すエラー情報を制御装置５に送信し、本第１ジョブ実行処理プログラムを終了する。これに対し、エラー情報を受信した制御装置５は、エラー情報を表示部５２に表示させる制御を行う。なお、システム制御部４０は、エラー情報を第２露光描画装置３に送信しても良い。これに対し、エラー情報を受信した第２露光描画装置３は、当該エラー情報を表示装置４３に表示する制御を行ったり、エラーが発生した実行第１面ジョブに対応するジョブのジョブ情報６０Ｂを削除したりする。
　一方、ステップＳ２０９で肯定判定となった場合はステップＳ２１３に移行する。
　ステップＳ２１３では、１枚の被露光基板Ｃに対する露光描画処理が完了したか否かを判定する。ステップＳ２１３で否定判定となった場合は上記ステップＳ２０９に戻る一方、ステップＳ２１３で肯定判定となった場合はステップＳ２１５に移行する。
　ステップＳ２１５では、実行第１面ジョブの露光条件情報６３を第２露光描画装置３に送信する。なお、本実施形態では、第１露光描画装置２から第２露光描画装置３に実行第１面ジョブの露光条件情報６３を送信するが、これに限定されない。すなわち、送信される情報は、第２露光描画装置３が実行第１面ジョブの露光条件情報６３を含んだ情報であれば良いため、例えばジョブ情報６０Ａそのものであっても良い。また、送信される情報は、実行第１面ジョブの露光条件情報６３に含まれる予め定められた情報（例えば基板サイズ情報のみ、基板サイズ及びマーク情報等）であってもよい。
　次のステップＳ２１７では、実行第１面ジョブが完了したか否かを判定する。この際、システム制御部４０は、露光条件情報６３の描画枚数情報に示される描画枚数の被露光基板Ｃに対する露光描画処理が完了した場合に、実行第１面ジョブが完了したと判定する。
　ステップＳ２１７で否定判定となった場合は上記ステップＳ２０９に戻る一方、肯定判定となった場合は本第１ジョブ実行処理プログラムを終了する。
　本実施形態に係る第２露光描画装置３は、実行第１面ジョブの露光条件情報６３を第１露光描画装置２から受信すると、露光条件情報６３と制御装置５から受信したジョブ情報６０Ｂとに基づいて、被露光基板Ｃの第２面に画像を描画する第２ジョブ実行処理を行う。
　次に、図１２を参照して、本実施形態に係る第２ジョブ実行処理を実行する際の第２露光描画装置３の作用を説明する。なお、図１２は、この際に第２露光描画装置３のシステム制御部４０によって実行される第２ジョブ実行処理プログラムの処理の流れを示すフローチャートである。当該プログラムは、システム制御部４０が備えているＲＯＭの所定領域に予め記憶されている。なお、当該プログラムが実行されるタイミングは、実行対象のジョブのジョブ識別情報を受信したタイミングに限らず、ユーザにより入力装置４４を介して予め定められた実行指示が入力されたタイミング等であっても良い。
　始めに、ステップＳ３０１では、ジョブ記憶部４１に記憶しているジョブ情報６０Ｂに、受信した実行第１面ジョブの露光条件情報６３と同一の露光条件情報６３を有するジョブ情報６０Ｂが複数存在するか否かを判定する。
　ステップＳ３０１で肯定判定となった場合はステップＳ３０３に移行し、ユーザによるジョブの選択を補助するためのジョブ選択画面７６を表示装置４３に表示する制御を行う。図１３に示すように、本実施形態に係るジョブ選択画面７６は、ジョブ記憶部４１に記憶されているジョブ情報６０Ｂの何れか１つを選択する選択ボタン７７、及び何れのジョブも選択しない非選択ボタン７８を有している。ユーザは、入力装置４４を用いて、何れかの選択ボタン７７または非選択ボタン７８を指定する。
　次のステップＳ３０４では、何れかの選択ボタン７７または非選択ボタン７８が選択されるまで待機する。
　次のステップＳ３０５では、何れかのジョブが選択されたか否かを判定する。この際、システム制御部４０は、何れかの選択ボタン７７が選択された場合、何れかのジョブが選択されたと判定（肯定判定）し、非選択ボタン７８が選択された場合、何れかのジョブが選択されなかったと判定（否定判定）する。
　ステップＳ３０５で肯定判定となった場合は、選択されたジョブを実行対象とするジョブ（以下、「実行第２面ジョブ」という。）とし、後述するステップＳ３０９に移行する。一方、ステップＳ３０５で否定判定となった場合はステップＳ３１７に移行し、ジョブが選択されなった旨を示すエラー情報を制御装置５に送信して、本第２ジョブ実行処理プログラムを終了する。これに対し、制御装置５は、受信したエラー情報を表示部５２に表示する制御を行う。
　一方、ステップＳ３０１で否定判定となった場合はステップＳ３０７に移行する。
　ステップＳ３０７では、ジョブ記憶部４１に記憶しているジョブ情報６０Ｂに、受信した実行第１面ジョブの露光条件情報６３と同一の露光条件情報６３を有する第２面のジョブを示すジョブ情報６０Ｂが１つのみ存在するか否かを判定する
　ステップＳ３０７で否定判定となった場合はステップＳ３１７に移行し、実行対象とするジョブが存在しない旨を示すエラー情報を制御装置５に送信し、本第２ジョブ実行処理プログラムを終了する。これに対し、制御装置５は、受信したエラー情報を表示部５２に表示する制御を行う。
　一方、ステップＳ３０７で肯定判定となった場合は、上記ステップＳ３０７の処理によって存在すると判定されたジョブ情報６０Ｂを実行第２面ジョブとし、ステップＳ３０９に移行する。なお、この際、上記ステップＳ３０７の処理によって存在すると判定されたジョブ情報６０Ｂを表示装置４３に表示し、当該ジョブ情報６０Ｂにより示されるジョブの実行指示の入力を受け付けても良い。この場合には、実行指示の入力を受け付けた後に、ステップＳ３０９に移行する。
　ステップＳ３０９では、実行第２面ジョブのジョブ情報６０Ｂから被露光基板Ｃの第２面に描画する画像の画像情報６２を取得する。なお、本実施形態では、画像情報６２を取得する際、自身のジョブ記憶部４１に記憶されている画像情報（ジョブ情報６０Ｂの画像情報６２）を取得するが、これに限定されない。すなわち、ジョブ情報６０Ｂに上記画像識別情報を付与しておき、当該画像識別情報に基づいて、描画する画像の画像情報を、制御装置５や外部の記憶装置から取得しても良い。
　次のステップＳ３１１では、実行対象とするジョブである実行第２面ジョブにおいて被露光基板Ｃに画像を描画する際の露光条件を決定する。この際、システム制御部４０は、上記ステップＳ２０５と同様の手法で、実行第２面ジョブのジョブ情報６０Ｂにおける基板サイズ情報、描画枚数情報、マーク情報、及び感材種情報に基づいて露光条件を決定する。
　一例として図７Ａ及び図７Ｂに示すように、ジョブＡとジョブＡ’とは同一の露光条件情報６３を有し、ジョブＢとジョブＢ’とは同一の露光条件情報６３を有するとする。また、一例として図１０に示すように、第１露光描画装置２において、第１面に対応する画像を描画するジョブＡのジョブ情報６０Ａ、ジョブＢのジョブ情報６０Ａ等が記憶されているとする。さらに、第２露光描画装置３において、第２面に対応する画像を描画するジョブＡ’のジョブ情報６０Ｂ、ジョブＢ’のジョブ情報６０Ｂが記憶されているとする。この状態で第１露光描画装置２においてジョブＡが実行された場合、第２露光描画装置３では、ジョブＡと同一の露光条件情報６３を有するジョブＡ’が実行対象とされる。
　次のステップＳ３１３では、前述した第１ジョブ実行処理プログラムのステップＳ２０７の処理と同様に、決定した露光条件に応じて、被露光基板Ｃに光ビームを露光して画像を描画する露光描画処理を開始する。
　次のステップＳ３１５では、予め定められたエラーが発生したか否かを判定する。この際、システム制御部４０は、被露光基板Ｃの変形や位置決め不良、光源ユニット１７や画像処理ユニット１９、露光部１６等の露光描画を行う際に用いられる部位の故障等により露光描画処理が途中で停止した場合等に、エラーが発生したと判定する。ステップＳ３１５で肯定判定となった場合はステップＳ３１７に移行し、エラーが発生した旨を示すエラー情報を制御装置５に送信し、本第２ジョブ実行処理プログラムを終了する。これに対し、制御装置５は、受信したエラー情報を表示部５２に表示する制御を行う。
　一方、ステップＳ３１５で肯定判定となった場合はステップＳ３１９に移行する。
　ステップＳ３１９では、被露光基板Ｃに対する露光描画処理が完了したか否かを判定する。ステップＳ３１９で否定判定となった場合は上記ステップＳ３１５に戻る一方、肯定判定となった場合はステップＳ３２１に移行する。
　次のステップＳ３２１では、実行第２面ジョブが完了したか否かを判定する。この際、システム制御部４０は、露光条件情報６３の描画枚数情報に示される描画枚数の被露光基板Ｃに対する露光描画処理が完了した場合に、実行第２面ジョブが完了したと判定する。ステップＳ３２１で否定判定となった場合はステップＳ３２３に移行する。
　ステップＳ３２３では、実行第２面ジョブにおける次の被露光基板Ｃに対する画像の描画を行うための露光条件情報を受信するまで待機する。
　次のステップＳ３２５では、受信した露光条件情報が、実行第２面ジョブのジョブ情報６０Ｂの露光条件情報と同一であるか否かを判定する。ステップＳ３２５で肯定判定となった場合は、実行第２面ジョブの実行を継続し、上記ステップＳ３１５に移行する。一方、ステップＳ３２５で否定判定となった場合はステップＳ３１７に移行し、実行第２面ジョブのジョブ情報６０Ｂの露光条件情報とは異なった露光条件情報を受信した旨を示すエラー情報を制御装置５に送信して、本第１ジョブ実行処理プログラムを終了する。
　一方、ステップＳ３２１で肯定判定となった場合は本第１ジョブ実行処理プログラムを終了する。
［第２実施形態］
　以下、第２実施形態に係る露光描画システム１について添付図面を用いて詳細に説明する。
　上記第１実施形態では、第１露光描画装置２から第２露光描画装置３に実行第１面ジョブを示す情報を送信し、第２露光描画装置３で対応するジョブを選択して実行する。一方、第２実施形態では、第１露光描画装置２から制御装置５に実行第１面ジョブを示す情報を送信し、制御装置５で対応するジョブを選択し、選択したジョブを第２露光描画装置３に送信する。
　なお、第２実施形態に係る露光描画システム１の構成は、第１実施形態に係る露光描画システム１と同様であるので、ここでは説明は省略する。
　次に、図１４を参照して、本実施形態に係るジョブ設定処理を実行する際の制御装置５の作用を説明する。なお、図１４は、この際に制御装置５の制御部５０によって実行されるジョブ設定処理プログラムの処理の流れを示すフローチャートである。当該プログラムは、記憶部５１のＲＯＭの所定領域に予め記憶されている。
　まず、ステップＳ４０１乃至Ｓ４０５では、第１実施形態のステップＳ１０１乃至Ｓ１０５と同様の処理を行う。
　次のステップＳ４０７では、生成した第１面のジョブ情報６０Ａを第１露光描画装置２に有線ケーブル８ａを介して送信して、本ジョブ設定処理プログラムを終了する。第１露光描画装置２は、受信したジョブ情報６０Ａをジョブ記憶部４１に記憶する。
　第１露光描画装置２は、ジョブ情報６０Ａを記憶すると、予め定められたユーザ操作に従って、ジョブ情報６０Ａに基づいて被露光基板Ｃの第１面に画像を描画する第１ジョブ実行処理を行う。
　次に、図１５を参照して、本実施形態に係る第１ジョブ実行処理を実行する際の第１露光描画装置２の作用を説明する。なお、図１５は、この際に第１露光描画装置２のシステム制御部４０によって実行される第１ジョブ実行処理プログラムの処理の流れを示すフローチャートである。当該プログラムは、システム制御部４０が備えているＲＯＭの所定領域に予め記憶されている。なお、当該プログラムが実行されるタイミングは、予め定められたユーザ操作に従ったタイミングに限らず、ジョブ情報６０Ａを受信したタイミング等であっても良い。
　ステップＳ５００乃至Ｓ５１３では、第１実施形態のステップＳ２０１乃至Ｓ２１３と同様の処理を行う。
　ステップＳ５１５では、実行第１面ジョブのジョブ情報６０Ａにおける露光条件情報６３を制御装置５に送信する。
　次のステップＳ５１７では、第１実施形態のステップＳ２１７と同様の処理を行い、本第１ジョブ実行処理プログラムを終了する。
　本実施形態に係る制御装置５は、ジョブ情報６０Ａの露光条件情報を第１露光描画装置２から受信すると、記憶部５１に記憶しているジョブ情報６０Ｂから、受信した露光条件情報と同一の露光条件情報を有するジョブ情報６０Ｂを選択するジョブ選択処理を行う。
　次に、図１６を参照して、本実施形態に係るジョブ選択処理を実行する際の制御装置５の作用を説明する。なお、図１６は、この際に制御装置５の制御部５０によって実行されるジョブ選択処理プログラムの処理の流れを示すフローチャートである。当該プログラムは、記憶部５１のＲＯＭの所定領域に予め記憶されている。なお、当該プログラムが実行されるタイミングは、露光条件情報を受信したタイミングに限らず、ユーザにより入力部５３を介して予め定められた実行指示が入力されたタイミング等であっても良い。
　まず、ステップＳ６０１では、記憶部５１に記憶している第２面のジョブ情報６０Ｂのうち、受信した実行第１面ジョブの露光条件情報６３と同一の露光条件情報６３を有する第２面のジョブ情報６０Ｂが存在するか否かを判定する。
　ステップＳ６０１で肯定判定となった場合はステップＳ６０５に移行し、実行第１面ジョブの露光条件情報６３と同一の露光条件情報６３を有する第２面のジョブ情報６０Ｂを第２露光描画装置３に有線ケーブル８ａを介して送信する。第２露光描画装置３は、受信した第２面のジョブ情報６０Ｂをジョブ記憶部４１に記憶する。
　一方、ステップＳ６０１で否定判定となった場合はステップＳ６０５に移行し、実行第１面ジョブの露光条件情報６３と同一の露光条件情報６３を有する第２面のジョブ情報６０Ｂが存在しない旨を示すエラー情報を表示部５２に表示する制御を行う。
　本実施形態に係る第２露光描画装置３は、上記第２面のジョブ情報６０Ｂを制御装置５から受信すると、受信したジョブ情報６０Ｂに基づいて、被露光基板Ｃの第２面に画像を描画する第２ジョブ実行処理を行う。
　次に、図１７を参照して、本実施形態に係る第２ジョブ実行処理を実行する際の第２露光描画装置３の作用を説明する。なお、図１７は、この際に第２露光描画装置３のシステム制御部４０によって実行される第２ジョブ実行処理プログラムの処理の流れを示すフローチャートである。当該プログラムは、システム制御部４０が備えているＲＯＭの所定領域に予め記憶されている。なお、当該プログラムが実行されるタイミングは、ジョブ情報６０Ｂを受信したタイミングに限らず、ユーザにより入力装置４４を介して予め定められた実行指示が入力されたタイミング等であっても良い。
　始めに、ステップＳ７０１乃至Ｓ７０５では、第１実施形態のステップＳ３０１乃至３０５と同様の処理を行う。
　ステップＳ７０７乃至Ｓ７２３では、第１実施形態のステップＳ３０９乃至Ｓ３２５と同様の処理を行い、本第２ジョブ実行処理プログラムを終了する。
　１　露光描画システム
　２　第１露光描画装置
　３　第２露光描画装置
　４　反転装置
　５　制御装置
　１０　ステージ
　１６ａ　露光ヘッド
　４０　システム制御部
　４１　ジョブ記憶部
　５０　制御部
　５１　記憶部
　６０Ａ　第１ジョブ情報
　６０Ｂ　第２ジョブ情報
　Ｃ　被露光基板

Claims (12)

  1. 　被露光基板の第１面に描画する画像を示す画像情報と露光条件を示す露光条件情報とが対応付けられた第１ジョブ情報に基づいて前記第１面を露光することにより、該第１ジョブ情報により示される画像を前記第１面に描画する第１描画手段と、
    　被露光基板の前記第１面とは反対の第２面に描画する画像を示す画像情報と露光条件を示す露光条件情報とが各々対応付けられた複数の第２ジョブ情報を記憶する記憶手段と、
    　前記記憶手段が記憶している前記複数の第２ジョブ情報のうち前記第１描画手段で被露光基板の前記第１面に対する画像の描画に用いた前記第１ジョブ情報により示される露光条件情報と同一の露光条件情報を有する前記第２ジョブ情報に基づいて該第１面に画像を描画した被露光基板の前記第２面を露光することにより、該第２ジョブ情報により示される画像を前記第２面に描画する第２描画手段と、
    　を備えた露光描画装置。
  2. 　前記露光条件は、前記被露光基板のサイズ、前記被露光基板の露光対象とする枚数、前記被露光基板に画像の描画領域を決定するためのマークが設けられている場合の該マークの配置パターン、及び前記被露光基板の感材種の少なくとも１つを含む
    　請求項１記載の露光描画装置。
  3. 　被露光基板の第１面に描画する画像を示す画像情報と露光条件を示す露光条件情報とが対応付けられた第１ジョブ情報に基づいて前記第１面を露光することにより、該第１ジョブ情報により示される画像を前記第１面に描画する第１描画手段、及び
    　前記第１描画手段で被露光基板の前記第１面に対する画像の描画に用いた前記第１ジョブ情報の露光条件情報を送信する送信手段
    　を備えた第１露光描画装置と、
    　被露光基板の前記第１面とは反対の第２面に描画する画像を示す画像情報と露光条件を示す露光条件情報とが各々対応付けられた複数の第２ジョブ情報を記憶する記憶手段、
    　前記送信手段により送信された前記露条件情報を受信する受信手段、及び
    　前記記憶手段により記憶している前記複数の第２ジョブ情報から前記受信手段により受信した露光条件情報と同一の露光条件情報を有する前記第２ジョブ情報に基づいて前記第１描画手段で前記第１面に画像を描画した被露光基板の前記第２面を露光することにより、該第２ジョブ情報により示される画像を該第２面に描画する第２描画手段
    　を備えた第２露光描画装置と、
    　を有する露光描画システム。
  4. 　前記第１露光描画装置の前記送信手段は、前記第１描画手段による描画が正常に終了した場合の露光条件情報を送信する
    　請求項３記載の露光描画システム。
  5. 　前記第１露光描画装置の前記送信手段は、前記第１描画手段による描画が異常に終了した場合、エラーが発生した旨を示すエラー情報を送信する
    　請求項３または４記載の露光描画システム。
  6. 　前記第２露光描画装置は、前記記憶手段により記憶している前記複数の第２ジョブ情報に前記受信手段により受信した露光条件情報と同一の露光条件情報を有する前記第２ジョブ情報が複数存在した場合、複数存在する前記第２ジョブ情報のうち何れか１つの前記第２ジョブ情報の選択を受け付ける受付手段を更に備え、
    　前記第２露光描画装置の前記第２描画手段は、前記受付手段により選択が受け付けられた前記第２ジョブ情報に基づいて前記第２面に画像を描画する
    　請求項３乃至５の何れか１項記載の露光描画システム。
  7. 　前記第１ジョブ情報及び前記第２ジョブ情報を記憶する第２記憶手段、及び
    　前記第２記憶手段により記憶している前記第１ジョブ情報を前記第１露光描画装置に送信し、前記第２ジョブ情報を前記第２露光描画装置に送信する第２送信手段
    　を備えた制御装置を更に備え、
    　前記第１露光描画装置は、前記第２送信手段により送信された前記第１ジョブ情報を受信する第２受信手段を更に備え、
    　前記第１露光描画装置の前記第１描画手段は、前記第２受信手段により受信した前記第１ジョブ情報を用いて、該第１ジョブ情報により示される画像を前記第１面に描画し、
    　前記第２露光描画装置は、前記第２送信手段により送信された前記第２ジョブ情報を受信する第３受信手段を更に備え、
    　前記第２露光描画装置の前記記憶手段は、前記第３受信手段により受信した前記第２ジョブ情報を複数記憶する
    　請求項３乃至６の何れか１項記載の露光描画システム。
  8. 　前記制御装置は、前記第１ジョブ情報及び前記第２ジョブ情報の入力を受け付ける第２受付手段を更に備え、
    　前記制御装置の前記第２記憶手段は、前記第２受付手段により受け付けた前記第１ジョブ情報及び前記第２ジョブ情報を記憶する
    　請求項７記載の露光描画システム。
  9. 　被露光基板の第１面に描画する画像を示す画像情報と露光条件を示す露光条件情報とが対応付けられた第１ジョブ情報に基づいて前記第１面を露光することにより、該第１ジョブ情報により示される画像を前記第１面に描画する第１描画手段、及び
    　前記第１描画手段で被露光基板の前記第１面に対する画像の描画に用いた前記第１ジョブ情報の露光条件情報を送信する第１送信手段
    　を備えた第１露光描画装置と、
    　被露光基板の前記第１面とは反対の第２面に描画する画像を示す画像情報と露光条件を示す露光条件情報とが各々対応付けられた複数の第２ジョブ情報を記憶する記憶手段、
    　前記第１送信手段により送信された露光条件情報を受信する第１受信手段、及び
    　前記記憶手段により記憶された前記複数の第２ジョブ情報のうち前記第１受信手段により受信した露光条件情報と同一の露光条件情報を有する前記第２ジョブ情報を送信する第２送信手段
    　を備えた制御装置と、
    　前記第２送信手段により送信された前記第２ジョブ情報を受信する第２受信手段、及び
    　前記第２受信手段により受信した前記第２ジョブ情報に基づいて前記第１描画手段により前記第１面に画像を描画した被露光基板の前記第２面を露光することにより、該第２ジョブ情報により示される画像を該第２面に描画する第２描画手段
    　を備えた第２露光描画装置と、
    　を有する露光描画システム。
  10. 　前記露光条件は、前記被露光基板のサイズ、前記被露光基板の露光対象とする枚数、前記被露光基板に画像の描画領域を決定するためのマークが設けられている場合の該マークの配置パターン、及び前記被露光基板の感材種の少なくとも１つを含む
    　請求項３乃至９の何れか１項記載の露光描画システム。
  11. 　コンピュータを、
    　第１描画手段に、被露光基板の第１面に描画する画像を示す画像情報と露光条件を示す露光条件情報とが対応付けられた第１ジョブ情報に基づいて前記第１面を露光することにより、該第１ジョブ情報により示される画像を前記第１面に描画させる第１制御手段と、
    　第２描画手段に、被露光基板の前記第１面とは反対の第２面に描画する画像を示す画像情報と露光条件を示す露光条件情報とが各々対応付けられた複数の第２ジョブ情報のうち、前記第１描画手段で被露光基板の前記第１面に対する画像の描画に用いた前記第１ジョブ情報の露光条件情報と同一の露光条件情報を有する前記第２ジョブ情報に基づいて該第１面に画像を描画した被露光基板の前記第２面を露光することにより、該第２ジョブ情報により示される画像を前記第２面に描画させる第２制御手段と、
    　として機能させるためのプログラム。
  12. 　第１描画手段に、被露光基板の第１面に描画する画像を示す画像情報と露光条件を示す露光条件情報とが対応付けられた第１ジョブ情報に基づいて前記第１面を露光することにより、該第１ジョブ情報により示される画像を前記第１面に描画させる第１制御ステップと、
    　第２描画手段に、被露光基板の前記第１面とは反対の第２面に描画する画像を示す画像情報と露光条件を示す露光条件情報とが各々対応付けられた複数の第２ジョブ情報のうち、前記第１描画手段で被露光基板の前記第１面に対する画像の描画に用いた前記第１ジョブ情報の露光条件情報と同一の露光条件情報を有する前記第２ジョブ情報に基づいて該第１面に画像を描画した被露光基板の前記第２面を露光することにより、該第２ジョブ情報により示される画像を前記第２面に描画させる第２制御ステップと、
    　を有する露光描画方法。
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