KR20060080561A - 아이디위치 검사기능을 갖는 레이저마킹 시스템 및 그검사방법 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (8)
- 레이저마킹이 수행될 글라스 기판이 고정 설치되는 스테이지;상기 스테이지를 길이 방향(Y축 방향)으로 왕복운동시키는 Y축 이동수단;상기 스테이지 상부에 상기 스테이지와 이격된 채로 설치되어 적어도 하나 이상의 레이저 소스로부터 발생된 레이저빔을 상기 글라스 기판 상에 조사하여 글라스 아이디 데이터 마킹을 포함한 각종 레이저마킹을 수행하는 스캔헤드;상기 스테이지 상부에 상기 스테이지와 이격된 채로 설치되어 상기 글라스 기판을 촬영하는 이동 카메라;상기 이동 카메라를 상기 스테이지의 폭 방향(X축 방향)으로 왕복운동시키는 X축 이동수단;상기 글라스 기판의 에지 부위를 촬영하기 위해 상기 에지 부위에 고정 설치되는 고정 카메라; 및상기 Y축 이동수단과 X축 이동수단의 움직임을 제어하는 모션제어와 상기 고정 카메라 및 이동 카메라에 의해 촬영된 영상 데이터를 분석하는 비전분석이 탑재되어 상기 글라스 기판에 마킹된 글라스 아이디 데이터를 촬영 및 분석하여 그 위치값을 생성하는 제어 유니트를 포함하여 이루어진 아이디위치 검사기능을 갖는 레이저마킹 시스템.
- 제 1 항에 있어서, 상기 X축 이동수단 및 Y축 이동수단은 각각 안내레일과 리니어모터를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 아이디위치 검사기능을 갖는 레이저마킹 시스템.
- 제 2 항에 있어서, 상기 X축 이동수단은 상기 스테이지를 가운데 두고 마주보도록 설치된 한 쌍의 수직 지지대;상기 수직 지지대를 연결하는 수평 지지대;상기 수평 지지대에 설치되는 안내레일; 및상기 이동 카메라를 지지한 채로 상기 안내레일을 따라 이동하는 리니어모터를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 아이디위치 검사기능을 갖는 레이저마킹 시스템.
- 레이저마킹이 수행될 글라스 기판을 스테이지에 고정시킨 상태에서 스캔헤드에 의해 글라스 아이디 데이터를 마킹하고, 이후 이동 카메라와 스테이지를 각각 X축 방향 또는 Y축 방향으로 이동시켜가면서 상기 마킹된 글라스 아이디 데이터를 촬영하며, 상기 촬영된 글라스 아이디 데이터의 위치를 정밀 분석하여 오차를 파악함으로써 위치값을 생성하는 작업을 단일의 레이저마킹 시스템을 통해 수행하되,(a) 상기 글라스 기판을 상기 스테이지에 고정시킨 상태에서 상기 글라스 기판의 에지 부위에 고정 설치되는 고정 카메라에 의해 에지 얼라인을 수행하는 단계;(b) 상기 글라스 아이디 데이터의 내용과 상기 글라스 기판의 원점을 기준으 로 한 그 위치 좌표값이 저장되어 있는 레시피 파일에 의거하여 상기 글라스 기판에 적어도 하나 이상의 글라스 아이디 데이터를 마킹하는 단계;(c) 상기 글라스 아이디 데이터가 마킹된 위치를 검사하기 위해 상기 스테이지 및 상기 이동 카메라를 이동시켜 상기 글라스 기판의 원점을 찾아가는 단계; 및(d) 상기 레시피 파일 분석에 따라 각각의 글라스 아이디 데이터의 정확한 마킹 위치를 찾아서 위치값을 생성하는 단계를 포함하여 이루어진 레이저마킹 시스템을 통한 아이디위치 검사방법.
- 제 4 항에 있어서, 상기 단계 (b)에서 상기 글라스 기판은 현상 과정을 거치지 않은 상태이고, 상기 글라스 아이디 데이터의 마킹시 그 결과가 상기 이동 카메라의 영상에 들어오도록 상기 스캔헤드의 레이저 파워를 높여서 상기 글라스 기판에 도포된 포토레지스터를 제거하는 것을 특징으로 하는 레이저마킹 시스템을 통한 아이디위치 검사방법.
- 제 5 항에 있어서, 상기 단계 (c)는 상기 스테이지 축이 길이 방향으로 이동하면서 상기 글라스 기판의 길이 라인과 상기 이동 카메라의 중심을 맞추는 얼라인을 수행하여 그 전체 길이 및 어긋남 정도를 파악한 후에 상기 글라스 기판 길이의 1/2이 되는 지점에 상기 이동 카메라가 위치할 수 있도록 상기 스테이지를 이동하고, 상기 글라스 기판의 폭 방향에 대해서도 상기 이동 카메라를 직접 이동시키면서 상기 글라스 기판의 폭 라인과 상기 이동 카메라의 중심을 맞추는 얼라인을 수 행하여 그 전체 폭 및 어긋남 정도를 파악한 후에 상기 글라스 기판 폭의 1/2이 되는 지점으로 상기 이동 카메라를 이동시키는 과정에 의해 수행되는 것을 특징으로 하는 레이저마킹 시스템을 통한 아이디위치 검사방법.
- 제 6 항에 있어서, 상기 단계 (d)에서의 상기 마킹된 글라스 아이디 데이터의 상기 X축 방향의 얼라인은 사전에 저장된 글라스 아이디 패턴을 참조하여 마킹된 글라스 아이디 데이터를 확인하고, 상기 확인된 글라스 아이디 데이터의 중심점과 상기 이동 카메라 중심점과의 차이만큼 상기 이동 카메라의 중심 방향으로 이동하면서 이루어지되,상기 마킹된 글라스 아이디 데이터를 촬상 범위에 두고 패턴 매칭을 수행하여 상기 마킹된 글라스 아이디 데이터의 중심 픽셀값(측정 데이터1)을 저장하는 단계;상기 마킹된 글라스 아이디 데이터가 촬상 범위에서 벗어나지 않도록 상기 이동 카메라를 미리 정해진 값(이동 데이터1)만큼 소량 이동시키는 단계;패턴 매칭을 재수행하여 중심 픽셀값(측정 데이터2)을 확인한 후에 상기 측정 데이터1과 상기 측정 데이터2의 차(측정 데이터3)를 구하는 단계; 및상기 이동 데이터1을 상기 측정 데이터3으로 나누는 단계로 이루어지는 것을 특징으로 하는 레이저마킹 시스템을 통한 아이디위치 검사방법.
- 제 6 항 또는 제 7 항에 있어서, 상기 단계 (d)에서의 상기 마킹된 글라스 아이디 데이터의 상기 Y축 방향의 얼라인은 사전에 저장된 글라스 아이디 패턴을 참조하여 마킹된 글라스 아이디 데이터를 확인하고, 상기 확인된 글라스 아이디 데이터의 중심점과 상기 이동 카메라 중심점과의 차이만큼 상기 이동 카메라의 중심 방향으로 이동하면서 이루어지되,상기 마킹된 글라스 아이디 데이터를 촬상 범위에 두고 패턴 매칭을 수행하여 상기 마킹된 글라스 아이디 데이터의 중심 픽셀값(측정 데이터1)을 저장하는 단계;상기 마킹된 글라스 아이디 데이터가 촬상 범위에서 벗어나지 않도록 상기 스테이지를 미리 정해진 값(이동 데이터1)만큼 소량 이동시키는 단계;패턴 매칭을 재수행하여 중심 픽셀값(측정 데이터2)을 확인한 후에 상기 측정 데이터1과 상기 측정 데이터2의 차(측정 데이터3)를 구하는 단계; 및상기 이동 데이터1을 상기 측정 데이터3으로 나누는 단계로 이루어지는 것을 특징으로 하는 레이저마킹 시스템을 통한 아이디위치 검사방법.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020060042662A KR100802596B1 (ko) | 2006-05-11 | 2006-05-11 | 아이디위치 검사기능을 갖는 레이저마킹 시스템 및 그검사방법 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020060042662A KR100802596B1 (ko) | 2006-05-11 | 2006-05-11 | 아이디위치 검사기능을 갖는 레이저마킹 시스템 및 그검사방법 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR2020060012656U Division KR200422077Y1 (ko) | 2006-05-11 | 2006-05-11 | 아이디위치 검사기능을 갖는 레이저마킹 장치 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20060080561A true KR20060080561A (ko) | 2006-07-10 |
KR100802596B1 KR100802596B1 (ko) | 2008-02-13 |
Family
ID=37171839
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020060042662A KR100802596B1 (ko) | 2006-05-11 | 2006-05-11 | 아이디위치 검사기능을 갖는 레이저마킹 시스템 및 그검사방법 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR100802596B1 (ko) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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CN109177539A (zh) * | 2018-10-30 | 2019-01-11 | 付灵 | 一种自动测定玻璃长宽数据化打印***及其控制方法 |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100950251B1 (ko) | 2007-10-25 | 2010-03-31 | 삼성중공업 주식회사 | 레이저 비전의 레이저 패턴 추출 방법 |
KR101691106B1 (ko) * | 2010-10-22 | 2016-12-30 | 엘지디스플레이 주식회사 | 평면모터 구조 및 이를 이용한 대상물 대응방법 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR19990026496A (ko) * | 1997-09-25 | 1999-04-15 | 윤종용 | 통합형 백 앤드 공정 시스템 및 이를 통한 백앤드 공정진행 방법 |
KR20020076553A (ko) * | 2001-03-29 | 2002-10-11 | 삼성전자 주식회사 | 반도체 패키지의 마킹장치 |
KR100461161B1 (ko) * | 2001-06-22 | 2004-12-14 | (주)하드램 | 아이트리플이 1394를 이용하는 레이저 마킹 시스템 |
KR20030075861A (ko) * | 2002-03-21 | 2003-09-26 | 삼성전자주식회사 | 반도체 칩 패키지 마킹 장치 |
KR100492748B1 (ko) * | 2002-09-11 | 2005-06-07 | (주)하드램 | 셀렉터블 다중 스캔헤드를 이용한 시분할 레이저 마킹장치및 방법 |
JP4477333B2 (ja) * | 2003-09-29 | 2010-06-09 | シャープ株式会社 | 薄膜トランジスタ基板の製造方法及びそれに用いるレーザアニール装置 |
KR20050071424A (ko) * | 2005-06-15 | 2005-07-07 | (주)영원테크 | 레이저 마킹 시스템의 보정파일 생성방법 |
-
2006
- 2006-05-11 KR KR1020060042662A patent/KR100802596B1/ko active IP Right Grant
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KR20160034090A (ko) | 2014-09-19 | 2016-03-29 | 한화테크윈 주식회사 | 기판 검사장치 |
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CN109177539A (zh) * | 2018-10-30 | 2019-01-11 | 付灵 | 一种自动测定玻璃长宽数据化打印***及其控制方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR100802596B1 (ko) | 2008-02-13 |
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A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
G170 | Publication of correction | ||
FPAY | Annual fee payment |
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Payment date: 20131122 Year of fee payment: 7 |
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|
FPAY | Annual fee payment |
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FPAY | Annual fee payment |
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FPAY | Annual fee payment |
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