TWI791873B - 薄膜取出裝置以及柔性印刷電路板的製造方法 - Google Patents

Abstract

本發明提供的薄膜取出裝置和柔性印刷電路板的製造方法，能夠以薄膜狀部件上不產生歪扭的狀態，防止同時取出多個薄膜狀部件；薄膜取出裝置(10)具備：能夠吸引保持薄膜狀部件(S)之一邊緣部側的第一吸引構件(30)、能夠吸引保持薄膜狀部件(S)之另一邊緣部側的第二吸引構件(130)、使第一吸引構件(30)上昇或下降的第一昇降構件(60)、使第二吸引構件(130)上昇或下降的第二昇降構件(160)、控制第一昇降構件(60)和第二昇降構件(160)之動作的控制部(210)；控制部(210)進行如下控制：透過第一吸引構件(30)和第二吸引構件(130)，從層疊體(PS)中吸引保持最上面的薄膜狀部件(S1)，然後，使第一吸引構件(30)和第二吸引構件(130)中之任意一者相對於任意另一者相對地上昇或下降。

Description

薄膜取出裝置以及柔性印刷電路板的製造方法

本發明涉及薄膜取出裝置和柔性印刷電路板的製造方法。

在柔性印刷電路板的製造步驟中，存在有：從層疊有多個銅箔等的薄膜狀部件之部位中取出一個薄膜狀部件，並提供給其他處理部位的步驟。作為這樣的取出柔性印刷電路板的製造中使用之薄膜狀部件的裝置，存在有專利文獻1中所揭露的裝置。在專利文獻1所揭露之構成中，作為用於防止同時取出兩個薄膜狀部件之機構，具體如下，即：在多個薄膜狀部件的層疊狀態下，在利用真空吸盤吸附位於層疊順序之最上面位置的薄膜狀部件之後，使第一氣缸工作而抬高移動框架。

(先前技術文獻) (專利文獻)

專利文獻1：日本專利實開昭59-108744號公報

但是，在專利文獻1所揭露之構成中，是在層疊有多個薄膜狀部件的狀態下，按壓固定框架側和移動框架側之真空吸盤，在該按壓狀態下，不使固定框架側上昇，而是使移動框架側上昇。因此，有時薄膜狀部件彎曲而發生歪扭。尤其是，銅箔容易發生彎曲或形成折線等的變形，因此，若在真空吸盤之按壓狀態下抬高單側的移動框架側，則成為形成上述歪扭的原因。 這樣的歪扭，在製造柔性印刷電路板時成為不良的原因，因此並不理想。

本發明是鑒於上述問題而完成的，其目的在於提供一種：能夠以薄膜狀部件上不產生歪扭的狀態，防止同時取出多個薄膜狀部件之薄膜取出裝置以及柔性印刷電路板的製造方法。

為了解決上述課題，根據本發明的第一觀點，提供一種薄膜取出裝置，該薄膜取出裝置是取出柔性印刷電路板的製造中使用之薄膜狀部件的裝置，該薄膜取出裝置具有如下特徵。

本發明的薄膜取出裝置，具備：第一吸引構件，其能夠吸引保持薄膜狀部件之一邊緣部側，第二吸引構件，其能夠吸引保持薄膜狀部件之另一邊緣部側，第一昇降構件，其使第一吸引構件上昇或下降，第二昇降構件，其使第二吸引構件上昇或下降，控制部，其控制第一昇降構件和第二昇降構件之動作；控制部進行第一控制，在該第一控制中，控制第一昇降構件和第二昇降構件之動作，從而透過第一吸引構件和第二吸引構件，從層疊有多個薄膜狀部件之層疊體中吸引保持層疊在最上面的薄膜狀部件，在該第一控制之後，控制部進行第二控制，在該第二控制中，控制第一昇降構件和第二昇降構件中之至少一者的動作，從而使第一吸引構件和第二吸引構件中之任意一者相對於任意另一者相對地上昇或下降，由此，將被吸引保持之薄膜狀部件之外的其他薄膜狀部件抖落。

另外，本發明的另一側面，是在上述發明中，優選：在第一控制之後，控制部進行第三控制，在該第三控制中，控制第一昇降構件和第二昇降 構件之動作，從而使透過第一吸引構件和第二吸引構件被吸引保持之薄膜狀部件，朝向從層疊體分離的方向移動，並且，在第三控制之後，控制部進行第二控制。

另外，本發明的另一側面，是在上述發明中，優選：第一昇降構件具備使第一吸引構件之長度方向的一側上昇或下降的一側第一昇降構件和使第一吸引構件之長度方向的另一側上昇或下降的另一側第一昇降構件，第二昇降構件具備使第二吸引構件之長度方向的一側上昇或下降的一側第二昇降構件和使第二吸引構件之長度方向的另一側上昇或下降的另一側第二昇降構件，在第二控制中，控制部進行如下控制：控制一側第一昇降構件之之動作，使第一吸引構件之長度方向的一側上昇，在該動作開始之後，控制另一側第一昇降構件之動作，使第一吸引構件之長度方向的另一側上昇，進一步地，控制一側第二昇降構件之動作，使第二吸引構件之長度方向的一側上昇，在該動作開始之後，控制另一側第二昇降構件之動作，使第二吸引構件之長度方向的另一側上昇。

另外，本發明的另一側面，是在上述發明中，優選：在第二控制中，控制第一昇降構件和第二昇降構件之動作，從而形成使第一吸引構件和第二吸引構件中之任意一者，朝向從層疊體分離的方向移動，且使第一吸引構件和第二吸引構件中之任意另一者不移動的狀態，並且，在該動作開始之後，控制第一昇降構件和第二昇降構件之動作，從而形成使第一吸引構件和第二吸引構件中之任意一者不移動的狀態，且使第一吸引構件和第二吸引構件中之剩餘一者，朝向從層疊體分離的方向移動。

另外，本發明的另一側面，是在上述發明中，優選：薄膜取出裝置，具備：分離構件，其被***相鄰的薄膜狀部件之間，防止這些薄膜狀部件之間之吸附，移動構件，其使該分離構件移動，從而將分離構件***相鄰的薄膜狀部件之間；控制部控制移動構件之動作，並且，在第三控制之後，控制部進行第四控制，在該第四控制中，控制移動構件之動作，從而將分離構件配置在如下位置，即：透過第一吸引構件和第二吸引構件被保持之薄膜狀部件和層疊體之最上面的薄膜狀部件之間。

另外，本發明的另一側面，是在上述發明中，優選：薄膜取出裝置具備吸附底座，該吸附底座能夠將薄膜狀部件呈平面狀地吸引保持，並且，能夠相對於層疊體上昇或下降，該吸附底座的動作是透過控制部被控制；在第四控制之後，控制部進行第五控制，在該第五控制中，控制第一吸引構件和第二吸引構件之動作，從而解除透過第一吸引構件和第二吸引構件被保持之薄膜狀部件的保持，由此，將薄膜狀部件層疊在層疊體上，在第五控制之後，控制部進行如下控制：透過使吸附底座下降，利用該吸附底座按壓該層疊體，並且，控制吸附底座之動作，從而吸引保持層疊體之最上面的薄膜狀部件。

另外，本發明的另一側面，是在上述發明中，優選：第一吸引構件和第二吸引構件具備吸附吸盤，該吸附吸盤以彈性部件作為材質，並且，被設置為折皺狀。

另外，根據本發明的第二觀點，提供一種柔性印刷電路板的製造方法，該柔性印刷電路板的製造方法是從層疊有多個薄膜狀部件的層疊體中取出最上面的薄膜狀部件，製造柔性印刷電路板的方法。

該柔性印刷電路板的製造方法之特徵在於，包括：吸引步驟，在該吸引步驟中，控制第一昇降構件和第二昇降構件之動作，從而透過能夠吸引保持薄膜狀部件之一邊緣部側的第一吸引構件和能夠吸引保持薄膜狀部件之另一邊緣部側的第二吸引構件，從層疊體中吸引保持層疊在最上面的薄膜狀部件；抖落步驟，該抖落步驟是在上述吸引步驟之後實施，在該抖落步驟中，使第一昇降構件和第二昇降構件中之至少一者動作，從而使第一吸引構件和第二吸引構件中之任意一者相對於任意另一者相對地上昇或下降，由此，抖落被吸引保持之薄膜狀部件之外的其他薄膜狀部件，其中，上述第一昇降構件使第一吸引構件上昇或下降，上述第二昇降構件使第二吸引構件上昇或下降。

根據本發明，能夠提供一種：能夠以薄膜狀部件上不產生歪扭的狀態，防止同時取出多個薄膜狀部件之薄膜取出裝置以及柔性印刷電路板的製造方法。

10:薄膜取出裝置

20:第一吸附單元

30:吸附保持部(對應於第一吸引構件之一部分)

31:吸附吸盤

31a:薄膜抵接部

32:支承臂

40:轉動機構

41:支承軸

42:支承柱

43:轉動用驅動器

44:框架

45:驅動傳遞機構

50:吸引機構(對應於第一吸引構件之一部分)

51:吸引泵

52:吸引管道

60:昇降機構(對應於第一昇降構件)

61:懸掛部件

62:昇降缸

70:分離板單元

71:分離板(對應於分離構件)

72:支承臂

73:連接橫樑

74:分離板驅動器(對應於移動構件)

75:導向部件

120:第二吸附單元

130:吸附保持部(對應於第二吸引構件之一部分)

131:吸附吸盤

131a:薄膜抵接部

132:支承臂

140:轉動機構

141:支承軸

142:支承柱

143:轉動用驅動器

144:框架

145:驅動傳遞機構

150:吸引機構(對應於第二吸引構件之一部分)

151:吸引泵

152:吸引管道

160:昇降機構(對應於第二昇降構件)

161:懸掛部件

162:昇降缸

170:分離板單元

171:分離板(對應於分離構件)

172:支承臂

173:連接橫樑

174:分離板驅動器(對應於移動構件)

175:導向部件

200:載置台單元

201:載置台

202:昇降導向件

203:載置台用氣缸

210:控制部

220:吸附底座

221:吸附板

222:移動機構連接部

PS:層疊體

S、S1、S2:薄膜狀部件

圖1係顯示本發明一實施方式涉及的薄膜取出裝置之構成的概略圖。

圖2係顯示圖1中所示之薄膜取出裝置的吸附保持部之概略構成的圖。

圖3係顯示圖1中所示之薄膜取出裝置的吸附保持部、轉動機構、吸引機構以及昇降機構之概略構成的圖。

圖4係顯示圖1中所示之薄膜取出裝置的分離板單元之概略構成的圖。

圖5係顯示包括圖1中所示之薄膜取出裝置所具備的載置台單元和吸附底座在內的薄膜取出裝置之構成的概略圖，是從側面觀察薄膜取出裝置之狀態的圖。

圖6係顯示在圖5中所示之薄膜取出裝置中，使載置台上昇至規定的上昇位置之狀態的圖。

圖7係顯示在圖5中所示之薄膜取出裝置中，吸附吸盤吸引保持最上面的薄膜狀部件，並使該薄膜狀部件上昇之狀態的圖。

圖8係顯示圖1中所示的薄膜取出裝置之第一吸附單元側的昇降缸和第二吸附單元側的昇降缸的動作時機之第一動作例的圖，係顯示各昇降缸的動作時間和高度位置之關係的圖。

圖9係顯示在圖5中所示之薄膜取出裝置中，使第一吸附單元側的吸附保持部上昇，並且，不使第二吸附單元側的吸附保持部上昇之狀態的圖。

圖10係顯示從圖9中所示之狀態，使第二吸附單元側的吸附保持部上昇之狀態的圖。

圖11係顯示在維持從圖10中所示之狀態使第二吸附單元側的吸附保持部上昇之狀態不變的情況下，使第一吸附單元側的吸附保持部下降之狀態的圖。

圖12係顯示從圖11中所示之狀態，使第二吸附單元側的吸附保持部下降之狀態的圖。

圖13係顯示圖1中所示的薄膜取出裝置之第一吸附單元側的昇降缸和第二吸附單元側的昇降缸的動作時機之第二動作例的圖，係顯示各昇降缸的動作時間和高度位置之關係的圖。

圖14係顯示從圖9中所示之狀態，使第二吸附單元側之吸附保持部上昇之後下降，並且，維持第一吸附單元側的吸附保持部停止之狀態的圖。

圖15係顯示在圖10中所示之狀態之後，將分離板***被吸引保持之薄膜狀部件和層疊體之最上面的薄膜狀部件之間之狀態的圖。

圖16係顯示在圖15中所示之狀態之後，解除被吸引保持的薄膜狀部件之吸引保持的狀態的圖。

圖17係顯示在圖16中所示之狀態之後，使吸附保持部位於退避位置，並且，使吸附底座下降，從而將吸附板朝向層疊體按壓之狀態的圖。

圖18係顯示在圖1中所示之薄膜取出裝置中，使存在於第一吸附單元側的吸附保持部中之位於排列方向一側的吸附保持部上昇之狀態的立體圖。

圖19係顯示在圖18中所示之狀態之後，使存在於第一吸附單元側的吸附保持部中之位於排列方向另一側的吸附保持部上昇之狀態的立體圖。

圖20係顯示在圖19中所示之狀態之後，使存在於第二吸附單元側的吸附保持部中之位於排列方向一側的吸附保持部上昇之狀態的圖。

圖21係顯示在圖20中所示之狀態之後，使存在於第二吸附單元側的吸附保持部中之位於排列方向另一側的吸附保持部上昇之狀態的圖。

以下，對本發明一實施方式涉及之薄膜取出裝置10進行說明。在以下的說明中，將支承軸41的長度方向作為X方向，X1側為圖1中的紙面右側，X2側為圖1中的紙面左側。另外，將連接第一吸附單元20和第二吸附單元120的方向作為Y方向，Y1側為圖1中的紙面前側，Y2側為圖1中的紙面後側。 另外，將連接圖5中的吸附底座220和載置台單元200的方向(上下方向)作為Z方向，Z1側為圖5中的紙面後側(上側)，Z2側為圖5中的紙面前側(下側)。

(關於薄膜取出裝置的構成)

圖1係顯示薄膜取出裝置10之構成的概略圖。如圖1中所示，薄膜取出裝置10之主要構成元件包括：第一吸附單元20、第二吸附單元120、載置台單元200、控制部210以及吸附底座220(參照圖5)。

其中，第一吸附單元20具備：吸附保持部30、轉動機構40、吸引機構50、昇降機構60以及分離板單元70。其中，吸附保持部30對應於第一吸引構件之一部分。另外，第一吸引構件不僅對應於吸附保持部30，還對應於吸引機構50。

圖2係顯示吸附保持部30之概略構成的圖。圖2中所示之吸附保持部30是吸附保持薄膜狀部件S的部分，該吸附保持部30安裝於構成轉動機構40的支承軸41上。該吸附保持部30具備吸附吸盤31，該吸附吸盤31安裝于支承臂32上。

該吸附吸盤31之材質，由例如橡膠或彈性體等的具有彈性之彈性部件形成。因此，構成為：即使吸附吸盤31的前端側之薄膜抵接部31a抵接在薄膜狀部件S上，也不會對薄膜狀部件S造成損傷。另外，吸附吸盤31是設置為折皺狀的筒狀部件。因此，薄膜抵接部31a的方向能夠跟隨薄膜狀部件S容易發生變化，因此，即使薄膜狀部件S上產生翹曲等的變形，也能夠跟隨其變形。

另外，吸附吸盤31安裝于支承臂32之前端側(一端側)。支承臂32由例如金屬等的具有剛性之部件形成，該支承臂32能夠支承吸附吸盤31和吸引分支管道。另外，支承臂32透過轉動機構40進行轉動，由此，構成為：能 夠進行使吸附吸盤31抵接在薄膜狀部件S的抵接動作和使吸附吸盤31從薄膜狀部件S分離的退避動作。

圖3係顯示吸附保持部30、轉動機構40、吸引機構50以及昇降機構60之概略構成的圖。轉動機構40具備支承軸41、支承柱42以及轉動用驅動器43。支承軸41是供支承臂32之另一端側安裝的部分，是透過後述的轉動用驅動器43之工作而轉動的部件。該支承軸41是至少兩個部位以能夠轉動的方式支承于支承柱42上的軸部件。另外，支承柱42是從框架44豎立設置的部件，是支承支承軸41或吸附保持部30的部分。另外，框架44是支承支承柱42的部件，例如，配置于支承柱42之下方側的由金屬製成之長部件為框架。

另外，在支承軸41之一端側上，經由驅動傳遞機構45安裝有轉動用驅動器43。透過該轉動用驅動器43的工作，使支承軸41轉動。該轉動動作中之一端部為吸附吸盤31抵接於薄膜狀部件S的抵接動作之終點，而該轉動動作中之另一端部為吸附吸盤31從薄膜狀部件S分離的退避動作之終點。在此，作為轉動用驅動器43，可以使用例如空氣氣缸、液壓缸、電磁缸、電磁線圈以及電動機等。另外，轉動用驅動器43也可以直接連結在支承軸41上。

另外，吸引機構50具備吸引泵51和吸引管道52。吸引泵51是施加負壓的部件，該負壓用於透過吸附吸盤31吸引保持薄膜狀部件S。該吸引泵51上連接有吸引管道52之一端側，該吸引管道52之另一端側連接在吸附吸盤31上。因此，當吸引泵51進行工作，吸附吸盤31抵接在薄膜狀部件S上時，能夠透過吸附吸盤31吸引保持薄膜狀部件S。

另外，關於吸引管道52，只要是例如由具有彈性的材質形成之管道、金屬或樹脂制之導管等能夠使空氣流通的筒狀部件，便可以使用任何一種 部件。另外，當上述支承臂32設置為筒狀時，該支承臂32也為吸引管道52之一個構成元件。

另外，昇降機構60是用於使上述的吸附保持部30、轉動機構40以及吸引管道52之至少一部分上昇或下降的機構。另外，也可以構成為：昇降機構60不僅使吸引管道52之至少一部分上昇或下降，還可以使吸引泵51上昇或下降。另外，昇降機構60對應於第一昇降構件。該昇降機構60分別配置在框架44之長度方向的兩端側。該昇降機構60具備懸掛部件61和昇降缸62。

懸掛部件61是連接框架44之端部和昇降缸62的活塞杆之前端部的機構，例如，該懸掛部件61可以使用聯杆機構或軸承等。尤其是，當使用聯杆機構時，能夠進行使框架44的一端側之昇降缸62和框架44的另一端側之昇降缸62以不同的時機(timing)上昇或下降的動作，由此，能夠使框架44和支承於該框架44之吸附保持部30等傾斜。

但是，關於懸掛部件61，也可以不使用聯杆機構或軸承，而是使用例如金屬制的柱狀部件連接框架44和昇降缸62之間。另外，昇降缸62之活塞杆通常是不能傾斜的，因此，當懸掛部件61由金屬制的柱狀部件構成時，優選進行：使框架44的一端側之昇降缸62和框架44的另一端側之昇降缸62以同一時機上昇或下降的動作。

另外，昇降缸62是施加驅動力的部件，利用該驅動力，使框架44或吸附保持部30等上昇或下降。作為該昇降缸62，可以使用例如空氣氣缸、液壓缸、電磁缸、電磁線圈以及電動機等。

圖4係顯示分離板單元70之概略構成的圖。如圖4中所示，分離板單元70具備分離板71、支承臂72、連接橫樑73、分離板驅動器74以及導向 部件75。分離板71是如下的板狀部件，即：在維持層疊體PS(參照圖5)之最上面的薄膜狀部件S透過吸附保持部30被保持的狀態不變的情況下被抬高時，***被抬高之薄膜狀部件S和位於該被抬高之薄膜狀部件S的正下方的薄膜狀部件S之間。透過該分離板71的***，即使之後被吸附保持部30保持的薄膜狀部件S下降，也能夠防止被吸附保持部30保持之薄膜狀部件S與正下方的薄膜狀部件S貼緊而不能分離。另外，分離板71對應於分離構件。

在此，分離板71由不易對薄膜狀部件S造成損傷的材質形成。具體而言，分離板71由如下材質形成，即：即使因為薄膜狀部件S被施加按壓力，也能夠容易變形的材質。作為這種材質，可以舉出例如彈簧鋼或具有彈性的樹脂。另外，從防止塵埃附著於薄膜狀部件S的觀點出發，分離板71之材質優選為彈簧鋼。

另外，支承臂72是支承分離板71的部件，該支承臂72保持分離板71之一端側。另外，連接橫樑73是連接多個(圖1和圖4中為三個)支承臂72的部件。另外，分離板驅動器74對應於移動構件，是使支承臂72進行相對於薄膜狀部件S靠近或分離的動作的部分。作為這種分離板驅動器74，可以使用例如空氣氣缸、液壓缸、電磁缸、電磁線圈以及電動機等。另外，在本實施方式中，分離板驅動器74被安裝為能夠使連接橫樑73移動。另外，導向部件75是引導基於分離板驅動器74的工作進行之連接橫樑73的移動的部件，該導向部件75例如為導軌狀的部件或直線導軌等。

另外，如圖1中所示，第二吸附單元120具有與第一吸附單元20相同的構成。具體而言，第二吸附單元120具備：吸附保持部130、轉動機構140、吸引機構150、昇降機構160以及分離板單元170。

即，吸附保持部130具備：具有薄膜抵接部131a之吸附吸盤131、以及支承臂132。另外，吸附保持部130對應於第二吸引構件之一部分。另外，轉動機構140具備支承軸141、支承柱142、轉動用驅動器143以及框架144。另外，吸引機構150具備吸引泵151和吸引管道152。另外，吸引機構150對應於第二吸引構件之一部分。另外，昇降機構160具備懸掛部件161和昇降缸162。另外，昇降機構160對應於第二昇降構件。另外，分離板單元170具備分離板171、支承臂172、連接橫樑173、分離板驅動器174以及導向部件175。另外，分離板171對應於分離構件，分離板驅動器174對應於移動構件。這些各部位，具有與第一吸附單元20的相對應部位之構成相同的構成，因此，省略其說明。

另外，薄膜取出裝置10具備載置台單元200。圖5係顯示包括載置台單元200和吸附底座220在內的薄膜取出裝置10之構成的概略圖，是從側面觀察薄膜取出裝置10之狀態的圖。如圖5中所示，載置台單元200具有載置台201、昇降導向件202以及載置台用氣缸203。

載置台201是設置為平板狀的部件，在該載置台201的上面側載置有多個薄膜狀部件S。另外，昇降導向件202是如下的部件，即：透過以規定的間隔配置在載置台201之邊緣部側(例如，設置於載置台201之邊緣部側的凹部等)，能夠引導載置台201沿上下方向(Z方向)上昇或下降，而不會發生位置偏移。另外，載置台用氣缸203是對載置台201賦予使其沿上下方向(Z方向)移動之驅動力的部件。作為該載置台用氣缸203，可以使用例如空氣氣缸、液壓缸、電磁缸、電磁線圈以及電動機等。

另外，薄膜取出裝置10具備控制部210。該控制部210是控制第一吸附單元20和第二吸附單元120的各驅動部位之驅動的部分。具體而言，控 制部210控制轉動用驅動器43、143、吸引泵51、151、昇降缸62、162以及分離板驅動器74、174之驅動。

另外，該控制部210例如是電腦，該控制部210，透過執行存儲在包括外部記憶裝置在內的記憶體中之規定的控制資料以及規定的控制程式，能夠執行各種控制動作。另外，關於控制部210所執行之控制動作，之後進行說明。

如圖5中所示，吸附底座220具備吸附板221、移動機構連接部222、省略圖示之吸引構件、省略圖示之移動機構。吸附板221上設有多個省略圖示之吸引孔。因此，吸附板221能夠呈平面狀地吸引薄膜狀部件S。另外，移動機構連接部222是連接於省略圖示之移動機構上的部分。因此，透過移動機構的工作，能夠使吸附板221下降，或者，能夠將被吸附底座220吸引的薄膜狀部件S輸送至其他處理部位上。

另外，薄膜狀部件S是柔性印刷電路板的製造中使用之薄膜狀的部件，例如為銅箔薄片、聚醯亞胺(polyimide)薄片等。另外，關於銅箔薄片或聚醯亞胺薄膜等的薄膜狀部件S，例如，可以在銅箔薄膜或聚醯亞胺薄膜等的基體材料上粘貼脫模用膜(release film)或保護膜等的其他薄膜部件，但也可以不粘貼這樣的薄膜部件。當對薄膜狀部件S中之例如銅箔材料或聚醯亞胺材料等的基體材料粘貼有其他的薄膜部件時，由於基體材料和薄膜部件之熱收縮率的不同，成為薄膜狀部件S上容易產生翹曲的狀態。

(關於控制動作)

以下，對使用具有如上構成的薄膜取出裝置10之柔性印刷電路板的製造方法進行說明。另外，在以下的說明中，依次記載第一步驟至第七步驟，當然，也可以在這些步驟之外，存在其他各種步驟。

(1)第一步驟：最上面的薄膜狀部件S之吸附保持(第一控制)

首先，如圖5中所示，將層疊有多個薄膜狀部件S之層疊體PS配置在規定的載置部位上。之後，如圖6中所示，控制部210使載置台用氣缸203進行工作，從而使載置台201上昇至規定的上昇位置，由此能夠使吸附保持部30的吸附吸盤31之前端部抵接在層疊體PS之最上面的薄膜狀部件S(以下，將該薄膜狀部件S稱為薄膜狀部件S1)上。此時，控制部210使吸引機構50之吸引泵51進行工作，從而透過吸附吸盤31吸引保持最上面的薄膜狀部件S。

在此，在與吸附吸盤31抵接之最上面的薄膜狀部件S1上，有時如其端部側朝向上側(Z1側)那樣產生翹曲。但是，吸附吸盤31設置為波紋管狀，從而能夠進行彈性變形。因此，即使吸附吸盤31的前端部抵接在薄膜狀部件S1之產生翹曲的部位上，吸附吸盤31也能夠以仿效該翹曲的方式進行變形。因此，當吸附吸盤31的前端部抵接在最上面的薄膜狀部件S1上時，能夠防止對該抵接部位造成損傷。

另外，控制部210也可以不使載置台用氣缸203工作，而是使昇降缸62進行工作，從而使吸附吸盤31朝向薄膜狀部件S1下降。即使如此，也能夠吸引保持最上面的薄膜狀部件S1。

(2)第二步驟：使最上面的薄膜狀部件S1從層疊體PS分離(第三控制)

接著，如圖7中所示，控制部210使載置台用氣缸203和昇降缸62進行工作，從而在吸附吸盤31吸引保持最上面的薄膜狀部件S之狀態(即，吸引泵51工作之狀態)下，使最上面的薄膜狀部件S從層疊體PS分離。

具體而言，控制部210使載置台用氣缸203進行工作，從而使載置台201下降至規定的退避位置。由此，在層疊體PS和被吸引保持之薄膜狀部件S1之間形成比較大的空間。此時，即使在將薄膜狀部件S1抬高之後，剩餘的層疊體PS中位於最上面的薄膜狀部件S(以下，將該薄膜狀部件S稱為薄膜狀部件S2)在假想的範圍內較大地翹曲，薄膜狀部件S和薄膜狀部件S2之間也會成為能夠可靠地形成間隙的空間。

(3)第三步驟：抖落動作的實施(第二控制)

然而，當抬高最上面的薄膜狀部件S1時，有時在該薄膜狀部件S1層疊時相鄰的下一個薄膜狀部件S2也一起被抬高。另外，有時還存在包括下一個薄膜狀部件S2在內的多個薄膜狀部件S一起被抬高的情況。尤其是，當薄膜狀部件S的表面粗糙度非常小時(薄膜狀部件S非常光滑時)，空氣不易進入相鄰且貼緊的薄膜狀部件S之間，因此，容易產生這樣的薄膜狀部件S彼此間貼緊保持(以下，稱為同時取出多個薄膜狀部件S)的情況。

因此，假想在抬高層疊體PS之最上面的薄膜狀部件S1之後，其他的薄膜狀部件S貼緊該薄膜狀部件S1的情況，實施抖落其他的薄膜狀部件S之抖落動作。具體而言，控制部210將第一吸附單元20側的昇降缸62和第二吸附單元120側的昇降缸162控制為：不以同一時機工作，而是以不同的時機進行工作。以下，對這種抖落動作(第一動作例和第二動作例)進行說明。

(3-1)抖落動作的第一動作例

圖8係顯示第一吸附單元20側的昇降缸62和第二吸附單元120側的昇降缸162的動作時機之第一動作例的圖。如圖8中所示，控制部210最初使昇降缸62進行工作，使第一吸附單元20側的吸附保持部30上昇，但在同一時機內，不使 第二吸附單元120側的吸附保持部130上昇，而是停止昇降缸162的工作。將該情況圖示於圖9中。於是，當使第一吸附單元20側的吸附保持部30上昇時，薄膜狀部件S1斜向傾斜。因此，空氣容易進入薄膜狀部件S1和與其貼緊的其他薄膜狀部件S之間，由此，大部分的其他薄膜狀部件S從薄膜狀部件S1掉落。

接著，如圖8和圖10中所示，控制部210使昇降缸162進行工作，以與第一吸附單元20側的吸附保持部30上昇至規定位置的動作相繼地，使第二吸附單元120側的吸附保持部130上昇至規定位置。於是，成為第一吸附單元20側的吸附保持部30和第二吸附單元120側的吸附保持部130均上昇的狀態。

接著，控制部210控制為：使第一吸附單元20側的昇降缸62和第二吸附單元120側的昇降缸162再次以不同的時機進行工作。具體而言，如圖8和圖11中所示，在維持使第二吸附單元120側的吸附保持部130上昇的狀態不變的情況下，使第一吸附單元20側的吸附保持部30下降至規定位置。此時，薄膜狀部件S1斜向傾斜成第一吸附單元20側的吸附保持部30側位於下側(Z2側)，而薄膜狀部件S1之第一吸附單元20側，則成為不與下一個薄膜狀部件S2接觸，而是與其具有間隔的狀態。

接著，如圖8和圖12中所示，控制部210使昇降缸162進行工作，以與第一吸附單元20側的吸附保持部30下降至規定位置的動作相繼地，在維持第一吸附單元20側的吸附保持部30下降之狀態不變的情況下，使第二吸附單元120側的吸附保持部130下降至規定位置。此時，薄膜狀部件S1之第二吸附單元120側也與薄膜狀部件S1之第一吸附單元20側同樣地，成為不與下一個薄膜狀部件S2接觸，而是與其具有間隔的狀態。

接著，如圖8和圖9中所示，控制部210進行如下控制，即：使昇降缸62進行工作，以與第二吸附單元120側的吸附保持部130下降至規定位置的動作相繼地，再次使第一吸附單元20側的吸附保持部30上昇，但在同一時機內，不使第二吸附單元120側的吸附保持部130上昇，而是使昇降缸162的工作停止。

接著，如圖8和圖10中所示，控制部210進行如下控制，即：使昇降缸162進行工作，以與第一吸附單元20側的吸附保持部30上昇至規定位置的動作相繼地，使第二吸附單元120側的吸附保持部130再次上昇至規定位置。於是，成為第一吸附單元20側的吸附保持部30和第二吸附單元120側的吸附保持部130均上昇的狀態。由此，在被吸附保持之薄膜狀部件S1和下一個薄膜狀部件S2之間形成大的間隙。另外，透過重複進行如上所述的第一吸附單元20和第二吸附單元120的上昇和下降，空氣更加容易進入薄膜狀部件S1和與其貼緊的其他薄膜狀部件S之間，由此，其他薄膜狀部件S從薄膜狀部件S1掉落。

之後，轉移至後述的第四步驟。但是，為了更加可靠地使其他薄膜狀部件S從薄膜狀部件S1掉落，也可以再次重複進行基於圖8的抖落動作。

(3-2)抖落動作的第二動作例

接著，對抖落動作的第二動作例進行說明。圖13係顯示第一吸附單元20側的昇降缸62和第二吸附單元120側的昇降缸162的動作時機之第二動作例的圖。如圖13中所示，最初是使昇降缸62進行工作，使第一吸附單元20側的吸附保持部30上昇至規定位置，但在同一時機內，不使第二吸附單元120側的吸附保持部130上昇，而是使昇降缸162的工作停止。該情況與已經圖示於圖9中的情況相同，當使第一吸附單元20側的吸附保持部30上昇時，薄膜狀部件 S1斜向傾斜。因此，空氣容易進入薄膜狀部件S1和與其貼緊的其他薄膜狀部件S之間，從而大部分的其他薄膜狀部件S從薄膜狀部件S1掉落。

接著，如圖13和圖14中所示，控制部210使昇降缸162進行工作，在使第二吸附單元120側的吸附保持部130上昇至規定位置之後，使該第二吸附單元120側的吸附保持部130下降至規定位置，但在同一時機內，不使第一吸附單元20側的吸附保持部30下降，而是使昇降缸62的工作停止。於是，到達至上昇之頂部的吸附保持部130再次下降，因此，薄膜狀部件S1成為與飄蕩時相同的狀態，從而空氣容易進入薄膜狀部件S和與其貼緊之其他薄膜狀部件S之間。由此，大部分的其他薄膜狀部件S從薄膜狀部件S1掉落。另外，當使第二吸附單元120側的吸附保持部130下降至規定位置時，薄膜狀部件S1之第二吸附保持部120側，成為不與下一個薄膜狀部件S2接觸，而是與其具有間隔的狀態。

進而，如圖13和圖12中所示，控制部210使昇降缸62進行工作，以與第二吸附單元120側的吸附保持部130下降至規定位置的動作相繼地，使第一吸附單元20側的吸附保持部30下降至規定位置，但在同一時機內，不使第二吸附單元120側的吸附保持部130上昇，而是使昇降缸162的動作停止。此時，薄膜狀部件S1之第一吸附單元20側，也與薄膜狀部件S1之第二吸附單元120側相同地，成為不與下一個薄膜狀部件S2接觸，而是與其具有間隔的狀態。

接著，如圖13和圖11中所示，控制部210使昇降缸162進行工作，以與第一吸附單元20側的吸附保持部30下降至規定位置的動作相繼地，使第二吸附單元120側的吸附保持部130上昇，但在同一時機內，不使第一吸附單元20側的吸附保持部30上昇，而是使昇降缸62的動作停止。

接著，如圖13和圖10中所示，控制部210使昇降缸62進行工作，以在維持使第二吸附單元120側的吸附保持部130上昇的狀態不變的情況下，再次使第一吸附單元20側的吸附保持部30上昇至規定位置。於是，成為第一吸附單元20側之吸附保持部30和第二吸附單元120側之吸附保持部130均上昇的狀態。由此，在被吸附保持之薄膜狀部件S1和下一個薄膜狀部件S2之間形成大的間隙。另外，透過重複進行如上所述的第一吸附單元20和第二吸附單元120的上昇和下降，空氣更加容易進入薄膜狀部件S1和與其貼緊之其他薄膜狀部件S之間，由此，其他薄膜狀部件S從薄膜狀部件S1掉落。

之後轉移至後述的第四步驟。但是，為了更加可靠地使其他薄膜狀部件S從薄膜狀部件S1掉落，也可以再次重複進行基於圖13之抖落動作。

另外，使第一吸附單元20側的昇降缸62和第二吸附單元120側的昇降缸162不以同一時機工作，而是以不同時機工作的控制方式，並不限於上述的控制方式。即，只要是能夠使貼緊於最上面的薄膜狀部件S1之其他薄膜狀部件S良好地掉落，第一吸附單元20側的昇降缸62和第二吸附單元120側的昇降缸162的動作時機，可以是任意的時機。

(4)第四步驟：分離板71的***(第四控制)

接著，如圖15中所示，控制部210使分離板驅動器74進行工作，以將分離板71***如下位置，即：被吸附保持部30、130吸引保持(抬高)之薄膜狀部件S1和剩餘的層疊體PS中之最上面的薄膜狀部件S2之間的位置。

(5)第五步驟：解除最上面的薄膜狀部件S1之吸引保持(第五控制)

接著，控制部210使載置台用氣缸203進行工作，使載置台201上昇。與此同時，控制部210使第一吸附單元20側的吸引泵51和第二吸附單元120側的吸引泵151的工作停止，並解除最上面的薄膜狀部件S1之吸引保持。此時，也可以控制昇降缸62、162，使吸附保持部30、130下降。

於是，如圖16中所示，透過解除最上面的薄膜狀部件S1之吸引保持，最上面的薄膜狀部件S1朝向薄膜狀部件S2(層疊體PS)落下。此時，成為分離板71夾入最上面的薄膜狀部件S1和薄膜狀部件S2之間的狀態。另外，由於分離板71是由能夠彈性變形的部件形成，因此，即使分離板71抵接在薄膜狀部件S1、S2上，也能夠防止對其造成損傷。

另外，在解除對薄膜狀部件S1之吸引保持之後，控制部210使轉動用驅動器43、143進行工作，從而使吸附保持部30、130位於退避位置(參照圖17)。由此，即使在下一步驟中吸附底座220下降，也能夠防止吸附保持部30、130和吸附底座220之間發生干擾。

(6)第六步驟：利用吸附底座220吸引保持最上面的薄膜狀部件S1

接著，控制部210在使未圖示的吸引構件和移動機構工作的同時，使吸附底座220下降。然後，將吸附板221朝向層疊體PS按壓，從而形成為將該層疊體PS夾入吸附板221和載置台201之間的狀態。此時，即使最上面的薄膜狀部件S1上產生翹曲，透過該夾入動作，最上面的薄膜狀部件S1也是在該翹曲被矯正的狀態下，被吸附板221吸引保持。將該情況圖示於圖17中。另外，即使在圖17中所示之狀態下，與圖16中所示之狀態相同地，分離板71也是被夾入最上面的薄膜狀部件S1和薄膜狀部件S2之間。

在此，若強烈按壓吸附板221，分離板71、171夾入層疊體PS和吸附板221之間，由此有可能產生刮痕。為了不產生這種刮痕，吸附底座220具備省略圖示之吸引鼓風機(blower)，在利用該吸引鼓風機吸引的同時，使吸附板221徐徐地下降。然後，優選：在吸附板221將最上面的薄膜狀部件S1即將向下側(Z2側)按壓之前，以僅使最上面的薄膜狀部件S1上昇的方式進行吸引。另外，吸附板221徐徐地下降至吸附保持最上面的薄膜狀部件S1為止，當吸附保持該薄膜狀部件S1之後，使吸附板221的下降停止。在此，為了判斷出是否吸附保持了最上面的薄膜狀部件S1，吸附底座220也可以具備省略圖示的真空感測器。

另外，當最上面的薄膜狀部件S1以及其他薄膜狀部件S上產生翹曲時，若吸附板221未下降至最上面的薄膜狀部件S1呈平坦狀為止，則真空感測器不判斷為最上面的薄膜狀部件S1透過吸引鼓風機被吸附保持。該情況下，最上面的薄膜狀部件S1呈平坦狀地被壓入，直至最上面的薄膜狀部件S1透過吸引鼓風機被吸引。但是，即使呈平坦狀地被壓入，當吸附保持了最上面的薄膜狀部件S1時，朝向最上面的薄膜狀部件S1的下側(Z2側)之進一步的壓入被停止，因此，能夠防止如上所述的刮痕的產生。

另外，在利用吸附板221吸引最上面的薄膜狀部件S1之後，使未圖示的移動機構工作，使吸附底座220上昇，之後將最上面的薄膜狀部件S1輸送至其他的處理部位。

(7)第七步驟：載置台201的下降(返回初始位置)

接著，控制部210使載置台用氣缸203工作，使載置台201下降，從而將載置台201移動至初始位置。而且，之後重複進行上述的第一步驟至第七步驟的動作，從層疊體PS中依次取出薄膜狀部件S。

(關於其他控制動作)

然而，關於如上所述的第一吸附單元20側和第二吸附單元120側之使其他薄膜狀部件S掉落之動作，也可以按照下述方式進行。

首先，實施與上述圖6中說明的步驟相同的第一步驟(最上面的薄膜狀部件S之吸附保持)。關於該第一步驟已經進行說明，故省略其說明。

接著，作為兼具第二步驟(使最上面的薄膜狀部件S1從層疊體PS分離)和第三步驟(抖落動作的實施)的動作，進行如下的第八步驟至第十一步驟之動作。

(8)第八步驟：第一吸附單元20的排列方向一側(X1側)之吸附保持部30的上昇

在第一步驟之後，控制部210控制昇降缸62的工作，使例如存在於第一吸附單元20側的吸附保持部30中之、位於排列方向一側(X1側)之吸附保持部30上昇。將該狀態圖示於圖18中。於是，支承軸41傾斜，因此，隨著從吸附保持部30中之排列方向一側(X1側)朝向另一側(X2側)，吸附保持部30之高度位置逐漸變低。此時，存在於第二吸附單元120側的吸附保持部130是以高度位置一致的狀態排列，因此，成為：被吸引保持之薄膜狀部件S1不是呈平面狀地吸引保持，而是以里側(Y2側)被扭曲的方式被吸引保持的狀態。

透過實施這種使薄膜狀部件S1扭曲這樣的動作，空氣容易進入薄膜狀部件S1和與其貼緊之他薄膜狀部件S之間，由此，大部分的其他薄膜狀部件S從薄膜狀部件S1掉落。

(9)第九步驟：第一吸附單元20的排列方向另一側的(X2側)之吸附保持部30的上昇

接著，控制部210控制昇降缸62的工作，使存在於第一吸附單元20側的吸附保持部30中之、位於排列方向另一側(X2側)之吸附保持部30上昇。將該狀態圖示於圖19中。於是，成為第一吸附單元20側之吸附保持部30整體上昇之狀態。此時，在第一吸附單元20側，在被吸附保持之薄膜狀部件S1和下一個薄膜狀部件S2之間形成間隙。

此時，薄膜狀部件S1從扭曲狀態恢復，成為其里側(Y2側)整體被抬高的狀態。透過該動作的實施，空氣也容易進入薄膜狀部件S1和與其貼緊之其他薄膜狀部件S之間，由此，大部分的其他薄膜狀部件S從薄膜狀部件S1掉落。

(10)第十步驟：第二吸附單元120的排列方向一側(X1側)之吸附保持部130的上昇

接著，控制部210控制昇降缸162的工作，使存在於第二吸附單元120側的吸附保持部130中之、位於排列方向一側(X1側)之吸附保持部130上昇。將該狀態圖示於圖20中。於是，支承軸141傾斜，因此，隨著從吸附保持部130中之排列方向一側(X1側)朝向另一側(X2側)，吸附保持部130之高度位置逐漸變低。此時，第一吸附單元20側的多個吸附保持部30已經以成為相同高度 的方式上昇，因此，成為：被吸引保持之薄膜狀部件S1並不是呈平面狀地被吸引保持，而是以外側(Y1側)扭曲的方式被吸引保持的狀態。

透過實施這種使薄膜狀部件S1扭曲這樣的動作，空氣更加容易進入薄膜狀部件S1和與其貼緊之其他薄膜狀部件S之間，由此，大部分的其他薄膜狀部件S從薄膜狀部件S1掉落。

(11)第十一步驟：第二吸附單元120的排列方向另一側(X2側)之吸附保持部130的上昇

接著，控制部210控制昇降缸162的工作，使存在於第二吸附單元120側的吸附保持部130中之、位於排列方向另一側(X2側)之吸附保持部130上昇。將該狀態圖示於圖21中。於是，成為第二吸附單元120側之吸附保持部130整體上昇的狀態。另外，此時，第一吸附單元20側之吸附保持部30已經整體上昇。因此，在被吸附保持之薄膜狀部件S1和下一個薄膜狀部件S2之間形成大致平行狀態的間隙(空間)。

此時，薄膜狀部件S1從扭曲狀態恢復，成為其里側(Y2側)整體被抬高之狀態。透過實施這樣的動作，空氣容易進入薄膜狀部件S1和與其貼緊之其他薄膜狀部件S之間，由此，其他薄膜狀部件S從薄膜狀部件S1掉落。

透過實施如上所述之第八步驟至第十一步驟的動作，空氣容易進入薄膜狀部件S1和與其貼緊之其他薄膜狀部件S之間，由此，貼緊在薄膜狀部件S1之其他薄膜狀部件S從薄膜狀部件S1掉落。

另外，在第十一步驟之後，依次執行如上所述之第四步驟(分離板71的***)、第五步驟(解除最上面的薄膜狀部件S1之吸引保持)、第六 步驟(利用吸附底座220吸引保持最上面的薄膜狀部件S1)以及第七步驟(載置台201的下降(返回初始位置))。

另外，在上述各步驟之後，實施用於製造柔性印刷電路板之各步驟，由此製造出作為產品的柔性印刷電路板。

(關於功效)

具有如上構成的薄膜取出裝置10，能夠取出柔性印刷電路板的製造中使用之薄膜狀部件S，該薄膜取出裝置10，具備：能夠吸引保持薄膜狀部件S之一邊緣部側的吸附保持部30(第一吸引構件)、能夠吸引保持薄膜狀部件S之另一邊緣部側的吸附保持部130(第二吸引構件)、使吸附保持部30(第一吸引構件)上昇或下降的昇降機構60(第一昇降構件)、使吸附保持部130(第二吸引構件)上昇或下降的昇降機構160(第二昇降構件)、以及控制昇降機構60(第一昇降構件)和昇降機構160(第二昇降構件)之動作的控制部210。

另外，控制部210進行第一控制，在該第一控制中，控制昇降機構60(第一昇降構件)和昇降機構160(第二昇降構件)之動作，從而利用吸附保持部30(第一吸引構件)和吸附保持部130(第二吸引構件)，從層疊有多個薄膜狀部件S的層疊體PS中，吸引保持層疊在最上面的薄膜狀部件S1，在該第一控制之後，控制部210進行第二控制，在該第二控制中，透過控制昇降機構60(第一昇降構件)和昇降機構160(第二昇降構件)中之至少一者的工作，從而使吸附保持部30(第一吸引構件)和吸附保持部130(第二吸引構件)中之任意一者相對於任意另一者相對地上昇或下降，由此，抖落被吸引保持之薄膜狀部件之外的其他薄膜狀部件S。

因此，在透過第一控制，形成為透過吸附保持部30(第一吸引構件)和吸附保持部130(第二吸引構件)吸引保持最上面的薄膜狀部件S1之狀態之後，透過第二控制，在該第一控制之後，透過使吸附保持部30(第一吸引構件)和吸附保持部130(第二吸引構件)中之任意一者相對於任意另一者相對地上昇或下降，從而空氣容易進入被吸引保持之薄膜狀部件S和與其貼緊之其他薄膜狀部件S之間，由此，大部分的其他薄膜狀部件S從薄膜狀部件S1掉落。因此，能夠防止同時取出多個薄膜狀部件S。

另外，為了防止這樣的同時取出多個薄膜狀部件S的情況，現有情況下，是透過人工方式取出薄膜狀部件S，然而，在本實施方式中，透過使用薄膜取出裝置10，能夠自動地進行該薄膜狀部件S的取出作業。因此，能夠防止薄膜狀部件S的取出作業中之人為錯誤，並且，透過實施自動取出作業，能夠提高柔性印刷電路板之生產效率。

另外，用於防止這樣的同時取出多個薄膜狀部件S之動作，是透過吸附保持部30(第一吸引構件)和吸附保持部130(第二吸引構件)之間之相對的昇降動作來實現，因此，能夠形成為薄膜狀部件S上不產生歪扭的狀態。

另外，在本實施方式中，控制部210在上述第一控制之後進行第三控制，在該第三控制中，控制昇降機構60(第一昇降構件)和昇降機構160(第二昇降構件)之動作，使透過吸附保持部30(第一吸引構件)和吸附保持部130(第二吸引構件)被吸引保持的薄膜狀部件S，朝向從層疊體PS分離的方向移動，並且，在該第三控制之後進行第二控制。

因此，即使在薄膜狀部件S上產生翹曲等的變形，也能夠確保用於使貼緊在薄膜狀部件S1上的其他薄膜狀部件S掉落的空間。另外，能夠確保 用於進行吸附保持部30(第一吸引構件)和吸附保持部130(第二吸引構件)之間的相對昇降動作之足夠的空間，由此，能夠使貼緊在薄膜狀部件S1的其他薄膜狀部件S良好地掉落。

進而，在本實施方式中，昇降機構60(第一昇降構件)具備使吸附保持部30(第一吸引構件)之長度方向的一側上昇或下降的昇降缸62(一側第一昇降構件)和使吸附保持部30(第一吸引構件)之長度方向的另一側上昇或下降的昇降缸62(另一側第一昇降構件)。另外，昇降機構160(第二昇降構件)具備使吸附保持部130(第二吸引構件)之長度方向的一側上昇或下降的昇降缸162(一側第二昇降構件)和使吸附保持部130(第二吸引構件)之長度方向的另一側上昇或下降的昇降缸162(另一側第二昇降構件)。另外，在第二控制中，控制部210進行如下控制：控制昇降缸62(一側第一昇降構件)的工作，使吸附保持部30(第一吸引構件)之長度方向的一側上昇，在該動作開始之後，控制昇降缸62(另一側第一昇降構件)的工作，使吸附保持部30(第一吸引構件)之長度方向的另一側上昇，進而，控制昇降缸162(一側第二昇降構件)的工作，使吸附保持部130(第二吸引構件)之長度方向一側上昇，在該動作開始之後，控制昇降缸162(另一側第二昇降構件)的工作，使吸附保持部130(第二吸引構件)之長度方向的另一側上昇。

因此，位於長度方向(X方向)的一側(X1側)之吸附保持部30(第一吸引構件)相對于位於長度方向(X方向)的另一側(X2側)之吸附保持部30(第一吸引構件)上昇，因此，如圖18中所示，實施使薄膜狀部件S1扭曲這樣的動作。另外，位於長度方向(X方向)的一側(X1側)之吸附保持部130(第二吸引構件)相對于位於長度方向(X方向)的另一側(X2側)之 吸附保持部130(第二吸引構件)上昇，因此，如圖20中所示，實施使薄膜狀部件S1扭曲這樣的動作。透過實施這樣的動作，空氣容易進入薄膜狀部件S1和與其貼緊之其他薄膜狀部件S之間，由此，大部分的其他薄膜狀部件S從薄膜狀部件S1掉落。因此，能夠良好地防止同時取出多個薄膜狀部件S。

另外，在本實施方式中，在上述第二控制中，控制昇降機構60(第一昇降構件)和昇降機構160(第二昇降構件)之工作，形成使吸附保持部30(第一吸引構件)和吸附保持部130(第二吸引構件)中之任意一者，朝向從層疊體PS分離的方向移動，且使吸附保持部30(第一吸引構件)和吸附保持部130(第二吸引構件)中之任意另一者不移動的狀態，並且，在該動作開始之後，控制昇降機構60(第一昇降構件)和昇降機構160(第二昇降構件)的工作，形成使吸附保持部30(第一吸引構件)和吸附保持部130(第二吸引構件)中之任意一者不移動的狀態，且使吸附保持部30(第一吸引構件)和吸附保持部130(第二吸引構件)中之剩餘一者，朝向從層疊體PS分離的方向移動。

因此，如圖8或圖13中所示，成為吸附保持部30(第一吸引構件)和吸附保持部130(第二吸引構件)中之任意一者，以任意另一者為支點上昇或下降的狀態，因此，空氣容易進入薄膜狀部件S1和與其貼緊之其他薄膜狀部件S之間。由此，能夠使其他薄膜狀部件S從最上面的薄膜狀部件S1良好地掉落，從而能夠良好地防止同時取出多個薄膜狀部件S。

進而，在本實施方式中，薄膜取出裝置10具備：被***相鄰的薄膜狀部件S之間，防止這些薄膜狀部件S之間的吸附之分離板71(分離構件)、以及以將分離板71(分離構件)***相鄰的薄膜狀部件S之間之方式，使分離板71(分離構件)移動之分離板驅動器74(移動構件)。另外，控制部210控 制分離板驅動器74(移動構件)的工作，並且，控制部210在上述第三控制之後進行第四控制，在該第四控制中，控制分離板驅動器74(移動構件)的工作，將分離板71(分離構件)配置在如下位置，即：被吸附保持部30(第一吸引構件)及吸附保持部130(第二吸引構件)保持之薄膜狀部件S1和層疊體PS之最上面的薄膜狀部件S2之間的位置。

因此，當解除被吸附保持部30和吸附保持部130(第一吸引構件和第二吸引構件)吸引保持的薄膜狀部件S1之保持，該薄膜狀部件S1朝向層疊體PS之最上面的薄膜狀部件S2下落時，成為分離板71被夾入薄膜狀部件S1和薄膜狀部件S2之間的狀態。因此，能夠防止薄膜狀部件S1和薄膜狀部件S2再次被貼緊，從而能夠使薄膜狀部件S1和薄膜狀部件S2良好地分離。

另外，在本實施方式中，薄膜取出裝置10具備吸附底座220，該吸附底座220能夠將薄膜狀部件S呈平面狀地吸引保持，並且，能夠相對於層疊體PS上昇或下降，該吸附底座220的動作是透過控制部210被控制。另外，在上述第四控制之後，控制部210進行第五控制，在該第五控制中，控制吸引機構50(第一吸引構件)和吸引機構150(第二吸引構件)的工作，解除被吸附保持部30和吸附保持部130(第一吸引構件和第二吸引構件)保持之薄膜狀部件的保持，並將薄膜狀部件S1層疊在層疊體PS上。另外，控制部210在第五控制之後，進行如下控制：使吸附底座220下降，按壓層疊體PS(層疊體)，並且，控制吸附底座220的工作，吸引保持層疊體PS之最上面的薄膜狀部件S1。

因此，如圖17中所示，透過實施利用吸附底座220的下降按壓層疊體PS的動作，成為將層疊體PS夾入吸附板221和載置台201之間的狀態。由此，即使在最上面的薄膜狀部件S1上產生翹曲，透過該夾入動作，也能夠矯正 最上面的薄膜狀部件S1之翹曲。因此，最上面的薄膜狀部件S1，能夠以成為平面狀的狀態被吸引保持在吸附底座220上。由此，在製造柔性印刷電路板之後的步驟中，能夠準確地定位薄膜狀部件S1之位置。

另外，在本實施方式中，吸附保持部30和吸附保持部130(第一吸引構件和第二吸引構件)具備吸附吸盤31、131，該吸附吸盤31、131以彈性部件作為材質且設置為折皺狀。因此，吸附吸盤31、131能夠容易跟隨薄膜狀部件S發生變化，因此，即使在薄膜狀部件S上產生翹曲等的變形，也能夠跟隨其變形。因此，即使吸附吸盤31、131抵接在薄膜狀部件S上，也能夠防止對薄膜狀部件S造成損傷。

另外，本實施方式涉及的柔性印刷電路板的製造方法，包括：吸引步驟，在該吸引步驟中，控制昇降機構60(第一昇降構件)和昇降機構160(第二昇降構件)的動作，從而透過能夠吸引保持薄膜狀部件S1之一邊緣部側的吸附保持部30(第一吸引構件)和能夠吸引保持薄膜狀部件S1之另一邊緣部側的吸附保持部130(第二吸引構件)，從層疊體PS中吸引保持層疊在最上面的薄膜狀部件S1；抖落步驟，該抖落步驟是在上述吸引步驟之後進行，在該抖落步驟中，透過使昇降機構60(第一昇降構件)和昇降機構160(第二昇降構件)中之至少一者工作，從而使吸附保持部30(第一吸引構件)和吸附保持部130(第二吸引構件)中之任意一者相對於任意另一者相對地上昇或下降，由此，將被吸引保持之薄膜狀部件之外的其他薄膜狀部件S抖落，其中，昇降機構60(第一昇降構件)使吸附保持部30(第一吸引構件)上昇或下降，昇降機構160(第二昇降構件)使吸附保持部130(第二吸引構件)上昇或下降。

因此，在透過實施吸引步驟，形成為最上面的薄膜狀部件S1被吸附保持部30(第一吸引構件)和吸附保持部130(第二吸引構件)吸引保持的狀態之後，透過實施抖落步驟，使吸附保持部30(第一吸引構件)和吸附保持部130(第二吸引構件)中之任意一者相對於任意另一者相對地上昇或下降，從而空氣容易進入被吸引保持之薄膜狀部件S1和與其貼緊之其他薄膜狀部件S之間，由此，使大部分的其他薄膜狀部件S從薄膜狀部件S1掉落。因此，能夠防止同時取出多個薄膜狀部件S。

另外，為了防止這樣的同時取出多個薄膜狀部件S的情況，現有情況下，是透過人工方式取出薄膜狀部件S，然而，在本實施方式中，透過使用薄膜取出裝置10，能夠自動地進行薄膜狀部件S的取出作業。因此，能夠防止薄膜狀部件S的取出作業中之人為錯誤，並且，透過實施自動取出作業，能夠提高柔性印刷電路板之生產效率。

另外，用於防止這樣的同時取出多個薄膜狀部件S之動作，是透過吸附保持部30(第一吸引構件)和吸附保持部130(第二吸引構件)之間之相對昇降動作來實現，因此，能夠形成為薄膜狀部件S上不產生歪扭的狀態。

(變形例)

以上，對本發明的一實施方式進行了說明，但是，本發明除此之外也可以進行各種變形。以下，對此進行說明。

在上述實施方式中，第一吸引構件對應吸附保持部30和吸引機構50，第二吸引構件對應吸附保持部130和吸引機構150。但是，也可以使上述對應關係呈相反。即，第一吸引構件對應吸附保持部130和吸引機構150，第二吸 引構件對應吸附保持部30和吸引機構50。同樣地，也可以構成為：第一昇降構件對應昇降機構160，第二昇降構件對應昇降機構60。

另外，在上述實施方式中，吸附吸盤31構成為呈折皺狀。但是，吸附吸盤31並不限於這樣的構成，例如，也可以構成為：在規定長度的橡膠管上呈規定間距地設有吸引孔等。

另外，上述實施方式之薄膜取出裝置10，也可以進一步具備其他的構成。例如，也可以構成為：為了應對薄膜狀部件S彼此間因為靜電而吸附之情況，設置離子發生器(除電鼓風機)，透過從該離子發生器噴吹帶有規定電荷的空氣，從而去除靜電。

另外，關於上述各控制動作，可以在某一控制動作結束後，開始下一個控制動作，但是，也可以在某一控制動作結束的同時，或者，尚未結束前開始下一個控制動作。

另外，上述實施方式中之薄膜狀部件S，可以是僅在聚醯亞胺薄膜等的基體材料的單面側存在銅箔的單面銅箔材料，也可以是基體材料的雙面側均存在銅箔的雙面銅箔材料，還可以是具有雙面銅箔材料以上的多層銅箔之多層材料。另外，關於薄膜狀部件S，除了基體材料和銅箔之外，還可以具備粘結材料層或保護該粘結材料層的脫模用膜。當具備這樣的粘結材料層或脫模用膜時，與不具備粘結材料層或脫模用膜的情況相比，使薄膜狀部件S的厚度變大。因此，即使在薄膜狀部件S上產生翹曲，當吸附板221下降而吸附保持最上面的薄膜狀部件S1時，刮痕更加不易產生。

10:薄膜取出裝置

20:第一吸附單元

30:吸附保持部(對應於第一吸引構件之一部分)

40:轉動機構

41:支承軸

43:轉動用驅動器

50:吸引機構(對應於第一吸引構件之一部分)

51:吸引泵

60:昇降機構(對應於第一昇降構件)

62:昇降缸

70:分離板單元

71:分離板(對應於分離構件)

74:分離板驅動器(對應於移動構件)

120:第二吸附單元

130:吸附保持部(對應於第二吸引構件之一部分)

140:轉動機構

141:支承軸

143:轉動用驅動器

150:吸引機構(對應於第二吸引構件之一部分)

151:吸引泵

160:昇降機構(對應於第二昇降構件)

162:昇降缸

170:分離板單元

171:分離板(對應於分離構件)

174:分離板驅動器(對應於移動構件)

200:載置台單元

201:載置台

203:載置台用氣缸

210:控制部

S:薄膜狀部件

X1:右側

X2:左側

Y1:前側

Y2:後側

Claims (8)

1. 一種薄膜取出裝置，其是取出柔性印刷電路板的製造中使用之薄膜狀部件的裝置，所述薄膜取出裝置之特徵在於，具備：多個第一吸引構件，其能夠吸引保持所述薄膜狀部件之一邊緣部側，多個第二吸引構件，其能夠吸引保持所述薄膜狀部件之另一邊緣部側，第一昇降構件，其使所述第一吸引構件上昇或下降，第二昇降構件，其使所述第二吸引構件上昇或下降，以及控制部，其控制所述第一昇降構件和所述第二昇降構件之動作；第一轉動機構，使多個所述第一吸引構件轉動，用於進行使所述第一吸引構件抵接至所述薄膜狀部件的抵接動作及自所述薄膜狀部件分離所需的退避動作；第二轉動機構，使多個所述第二吸引構件轉動，用於進行使所述第二吸引構件抵接至所述薄膜狀部件的抵接動作及自所述薄膜狀部件分離所需的退避動作；所述第一轉動機構具備使所述多個第一吸引構件同時旋轉的第一支承軸及使該第一支承軸轉動的第一轉動用驅動器；所述第二轉動機構具備使所述多個第二吸引構件同時旋轉的第二支承軸及使該第二支承軸轉動的第二轉動用驅動器；所述第一轉動用驅動器及所述第二轉動用驅動器的動作是受到所述控制部所控制，以實現所述抵接動作及所述退避動作； 所述控制部進行第一控制，在該第一控制中，控制所述第一昇降構件和所述第二昇降構件之動作，從而透過所述第一吸引構件和所述第二吸引構件，從層疊有多個所述薄膜狀部件之層疊體中，吸引保持層疊在最上面的所述薄膜狀部件，並且，在所述第一控制之後，所述控制部進行第三控制，在該第三控制中，控制所述第一昇降構件和所述第二昇降構件之動作，從而使被所述第一吸引構件和所述第二吸引構件吸引保持的所述薄膜狀部件，朝向從所述層疊體分離的方向移動，並且，在所述第三控制之後，所述控制部進行第二控制，在該第二控制中，控制所述第一昇降構件和所述第二昇降構件中之至少一者的動作，從而使所述第一吸引構件和所述第二吸引構件中之任意一者相對於任意另一者相對地上昇或下降，由此，將被吸引保持之薄膜狀部件之外的其他所述薄膜狀部件抖落。
2. 如申請專利範圍第1項所述之薄膜取出裝置，其中，所述第一昇降構件具備：使所述第一吸引構件之長度方向的一側上昇或下降的一側第一昇降構件和使所述第一吸引構件之長度方向的另一側上昇或下降的另一側第一昇降構件，所述第二昇降構件具備：使所述第二吸引構件之長度方向的一側上昇或下降的一側第二昇降構件和使所述第二吸引構件之長度方向的另一側上昇或下降的另一側第二昇降構件，在所述第二控制中，所述控制部進行如下控制： 控制所述一側第一昇降構件之動作，使所述第一吸引構件之長度方向的一側上昇，在該動作開始之後，控制所述另一側第一昇降構件之動作，使所述第一吸引構件之長度方向的另一側上昇，並且，控制所述一側第二昇降構件之動作，使所述第二吸引構件之長度方向的一側上昇，在該動作開始之後，控制所述另一側第二昇降構件之動作，使所述第二吸引構件之長度方向的另一側上昇。
3. 如申請專利範圍第1項所述之薄膜取出裝置，其中，在所述第二控制中，控制所述第一昇降構件和所述第二昇降構件之動作，從而形成使所述第一吸引構件和所述第二吸引構件中之任意一者，朝向從所述層疊體分離的方向移動，並且，使所述第一吸引構件和所述第二吸引構件中之任意另一者不移動的狀態，在該動作開始之後，控制所述第一昇降構件和所述第二昇降構件之動作，從而形成使所述第一吸引構件和所述第二吸引構件中之任意一者不移動的狀態，並且，使所述第一吸引構件和所述第二吸引構件中之剩餘一者，朝向從所述層疊體分離的方向移動。
4. 如申請專利範圍第1項所述之薄膜取出裝置，其中，所述薄膜取出裝置，具備：分離構件，其被***相鄰的所述薄膜狀部件之間，防止這些薄膜狀部件之間之吸附，移動構件，其使所述分離構件移動，從而將所述分離構件***相鄰的所述薄膜狀部件之間；所述控制部控制所述移動構件之動作，並且， 在所述第三控制之後，所述控制部進行第四控制，在該第四控制中，控制所述移動構件之動作，從而將所述分離構件配置在如下位置：透過所述第一吸引構件和所述第二吸引構件被保持之所述薄膜狀部件和所述層疊體之最上面的所述薄膜狀部件之間的位置。
5. 如申請專利範圍第4項所述之薄膜取出裝置，其中，所述薄膜取出裝置具備吸附底座，該吸附底座能夠將所述薄膜狀部件呈平面狀地吸引保持，並且，能夠相對於所述層疊體上昇或下降，所述吸附底座的動作是透過所述控制部被控制，在所述第四控制之後，所述控制部進行第五控制，在該第五控制中，控制所述第一吸引構件和所述第二吸引構件之動作，從而解除透過所述第一吸引構件和所述第二吸引構件被保持之所述薄膜狀部件的保持，由此，將所述薄膜狀部件層疊在所述層疊體上，在所述第五控制之後，所述控制部進行如下控制：透過使所述吸附底座下降，利用所述吸附底座按壓所述層疊體，並且，控制所述吸附底座之動作，從而吸引保持所述層疊體之最上面的所述薄膜狀部件。
6. 如申請專利範圍1至5項中任意一項所述之薄膜取出裝置，其中，所述第一吸引構件和所述第二吸引構件具備吸附吸盤，所述吸附吸盤以彈性部件作為材質，並且，被設置為折皺狀。
7. 如申請專利範圍1至5項中任意一項所述之薄膜取出裝置，其中，所述薄膜取出裝置具備吸附底座，以吸引保持所述薄膜狀部件； 所述吸附底座具備吸附板，所述吸附板設有多個吸引孔，藉由該多個吸引孔，能夠呈平面狀地吸引所述薄膜狀部件。
8. 如申請專利範圍第6項所述之薄膜取出裝置，其中，所述薄膜取出裝置具備吸附底座，以吸引保持所述薄膜狀部件；所述吸附底座具備吸附板，所述吸附板設有多個吸引孔，藉由該多個吸引孔，能夠呈平面狀地吸引所述薄膜狀部件。

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