CN110790046B - 薄膜取出装置以及柔性印刷电路板的制造方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供的薄膜取出装置和柔性印刷电路板的制造方法，能够以薄膜状部件上不产生歪扭的状态，防止同时取出多个薄膜状部件；薄膜取出装置(10)具备：能够吸引保持薄膜状部件(S)的一边缘部侧的第一吸引构件(30)、能够吸引保持薄膜状部件(S)的另一边缘部侧的第二吸引构件(130)、使第一吸引构件(30)上升或下降的第一升降构件(60)、使第二吸引构件(130)上升或下降的第二升降构件(160)、控制第一升降构件(60)和第二升降构件(160)的动作的控制部(210)；控制部(210)进行如下控制：通过第一吸引构件(30)和第二吸引构件(130)，从层叠体(PS)中吸引保持最上面的薄膜状部件(S1)，然后，使第一吸引构件(30)和第二吸引构件(130)中的任意一者相对于任意另一者相对地上升或下降。

Description

薄膜取出装置以及柔性印刷电路板的制造方法

技术领域

本发明涉及薄膜取出装置和柔性印刷电路板的制造方法。

背景技术

在柔性印刷电路板的制造工序中，存在有：从层叠有多个铜箔等的薄膜状部件的部位中取出一个薄膜状部件，并提供给其他处理部位的工序。作为这样的取出柔性印刷电路板的制造中使用的薄膜状部件的装置，存在有专利文献1中所公开的装置。在专利文献1所公开的构成中，作为用于防止同时取出两个薄膜状部件的机构，具体如下，即：在多个薄膜状部件的层叠状态下，在利用真空吸盘吸附位于层叠顺序的最上面位置的薄膜状部件之后，使第一气缸工作而抬高移动框架。

【现有技术文献】

【专利文献】

专利文献1：日本公报、实开昭59-108744号

但是，在专利文献1所公开的构成中，是在层叠有多个薄膜状部件的状态下，按压固定框架侧和移动框架侧的真空吸盘，在该按压状态下，不使固定框架侧上升，而是使移动框架侧上升。因此，有时薄膜状部件弯曲而发生歪扭。尤其是，铜箔容易发生弯曲或形成折线等的变形，因此，若在真空吸盘的按压状态下抬高单侧的移动框架侧，则成为形成上述歪扭的原因。

这样的歪扭，在制造柔性印刷电路板时成为不良的原因，因此并不理想。

发明内容

本发明是鉴于上述问题而完成的，其目的在于提供一种：能够以薄膜状部件上不产生歪扭的状态，防止同时取出多个薄膜状部件的薄膜取出装置以及柔性印刷电路板的制造方法。

为了解决上述课题，根据本发明的第一观点，提供一种薄膜取出装置，该薄膜取出装置是取出柔性印刷电路板的制造中使用的薄膜状部件的装置，该薄膜取出装置具有如下特征。

本发明的薄膜取出装置，具备：第一吸引构件，其能够吸引保持薄膜状部件的一边缘部侧，第二吸引构件，其能够吸引保持薄膜状部件的另一边缘部侧，第一升降构件，其使第一吸引构件上升或下降，第二升降构件，其使第二吸引构件上升或下降，控制部，其控制第一升降构件和第二升降构件的动作；控制部进行第一控制，在该第一控制中，控制第一升降构件和第二升降构件的动作，从而通过第一吸引构件和第二吸引构件，从层叠有多个薄膜状部件的层叠体中吸引保持层叠在最上面的薄膜状部件，在该第一控制之后，控制部进行第二控制，在该第二控制中，控制第一升降构件和第二升降构件中的至少一者的动作，从而使第一吸引构件和第二吸引构件中的任意一者相对于任意另一者相对地上升或下降，由此将被吸引保持的薄膜状部件之外的其他薄膜状部件抖落。

另外，本发明的另一侧面，是在上述发明中，优选：在第一控制之后，控制部进行第三控制，在该第三控制中，控制第一升降构件和第二升降构件的动作，从而使通过第一吸引构件和第二吸引构件被吸引保持的薄膜状部件朝向从层叠体分离的方向移动，并且，在第三控制之后，控制部进行第二控制。

另外，本发明的另一侧面，是在上述发明中，优选：第一升降构件具备使第一吸引构件的长度方向的一侧上升或下降的一侧第一升降构件和使第一吸引构件的长度方向的另一侧上升或下降的另一侧第一升降构件，第二升降构件具备使第二吸引构件的长度方向的一侧上升或下降的一侧第二升降构件和使第二吸引构件的长度方向的另一侧上升或下降的另一侧第二升降构件，在第二控制中，控制部进行如下控制：控制一侧第一升降构件的动作，使第一吸引构件的长度方向的一侧上升，在该动作开始之后，控制另一侧第一升降构件的动作，使第一吸引构件的长度方向的另一侧上升，进一步地，控制一侧第二升降构件的动作，使第二吸引构件的长度方向的一侧上升，在该动作开始之后，控制另一侧第二升降构件的动作，使第二吸引构件的长度方向的另一侧上升。

另外，本发明的另一侧面，是在上述发明中，优选：在第二控制中，控制第一升降构件和第二升降构件的动作，从而形成使第一吸引构件和第二吸引构件中的任意一者朝向从层叠体分离的方向移动，且使第一吸引构件和第二吸引构件中的任意另一者不移动的状态，并且，在该动作开始之后，控制第一升降构件和第二升降构件的动作，从而形成使第一吸引构件和第二吸引构件中的任意一者不移动的状态，且使第一吸引构件和第二吸引构件中的剩余一者朝向从层叠体分离的方向移动。

另外，本发明的另一侧面，是在上述发明中，优选：薄膜取出装置，具备：分离构件，其被***相邻的薄膜状部件之间，防止这些薄膜状部件之间的吸附，移动构件，其使该分离构件移动，从而将分离构件***相邻的薄膜状部件之间；控制部控制移动构件的动作，并且，在第三控制之后，控制部进行第四控制，在该第四控制中，控制移动构件的动作，从而将分离构件配置在通过第一吸引构件和第二吸引构件被保持的薄膜状部件和层叠体的最上面的薄膜状部件之间。

另外，本发明的另一侧面，是在上述发明中，优选：薄膜取出装置具备吸附底座，该吸附底座能够将薄膜状部件呈平面状地吸引保持，并且，能够相对于层叠体上升或下降，该吸附底座的动作是通过控制部被控制；在第四控制之后，控制部进行第五控制，在该第五控制中，控制第一吸引构件和第二吸引构件的动作，从而解除通过第一吸引构件和第二吸引构件被保持的薄膜状部件的保持，由此将薄膜状部件层叠在层叠体上，在第五控制之后，控制部进行如下控制：通过使吸附底座下降，按压层叠体，并且，控制吸附底座的动作，从而吸引保持层叠体的最上面的薄膜状部件。

另外，本发明的另一侧面，是在上述发明中，优选：第一吸引构件和第二吸引构件具备吸附吸盘，该吸附吸盘以弹性部件作为材质，并且，被设置为折皱状。

另外，根据本发明的第二观点，提供一种柔性印刷电路板的制造方法，该柔性印刷电路板的制造方法是从层叠有多个薄膜状部件的层叠体中取出最上面的薄膜状部件，制造柔性印刷电路板的方法。

该柔性印刷电路板的制造方法的特征在于，包括：吸引工序，在该吸引工序中，控制第一升降构件和第二升降构件的动作，从而通过能够吸引保持薄膜状部件的一边缘部侧的第一吸引构件和能够吸引保持薄膜状部件的另一边缘部侧的第二吸引构件，从层叠体中吸引保持层叠在最上面的薄膜状部件；抖落工序，该抖落工序是在上述吸引工序之后实施，在该抖落工序中，使第一升降构件和第二升降构件中的至少一者动作，从而使第一吸引构件和第二吸引构件中的任意一者相对于任意另一者相对地上升或下降，由此抖落被吸引保持的薄膜状部件之外的其他薄膜状部件，其中，上述第一升降构件使第一吸引构件上升或下降，上述第二升降构件使第二吸引构件上升或下降。

(发明效果)

根据本发明，能够提供一种：能够以薄膜状部件上不产生歪扭的状态，防止同时取出多个薄膜状部件的薄膜取出装置以及柔性印刷电路板的制造方法。

附图说明

图1是表示本发明一实施方式涉及的薄膜取出装置的构成的概略图。

图2是表示图1中所示的薄膜取出装置的吸附保持部的概略构成的图。

图3是表示图1中所示的薄膜取出装置的吸附保持部、转动机构、吸引机构以及升降机构的概略构成的图。

图4是表示图1中所示的薄膜取出装置的分离板单元的概略构成的图。

图5是表示包括图1中所示的薄膜取出装置所具备的载置台单元和吸附底座在内的薄膜取出装置的构成的概略图，是从侧面观察薄膜取出装置的状态的图。

图6是表示在图5中所示的薄膜取出装置中，使载置台上升至规定的上升位置的状态的图。

图7是表示在图5中所示的薄膜取出装置中，吸附吸盘吸引保持最上面的薄膜状部件，并使该薄膜状部件上升的状态的图。

图8是表示图1中所示的薄膜取出装置的第一吸附单元侧的升降缸和第二吸附单元侧的升降缸的动作时机的第一动作例的图，是表示各升降缸的动作时间和高度位置的关系的图。

图9是表示在图5中所示的薄膜取出装置中，使第一吸附单元侧的吸附保持部上升，并且，不使第二吸附单元侧的吸附保持部上升的状态的图。

图10是表示从图9中所示的状态，使第二吸附单元侧的吸附保持部上升的状态的图。

图11是表示在维持从图10中所示的状态使第二吸附单元侧的吸附保持部上升的状态不变的情况下，使第一吸附单元侧的吸附保持部下降的状态的图。

图12是表示从图11中所示的状态，使第二吸附单元侧的吸附保持部下降的状态的图。

图13是表示图1中所示的薄膜取出装置的第一吸附单元侧的升降缸和第二吸附单元侧的升降缸的动作时机的第二动作例的图，是表示各个升降缸的动作时间和高度位置的关系的图。

图14是表示从图9中所示的状态，使第二吸附单元侧的吸附保持部上升之后下降，并且，维持第一吸附单元侧的吸附保持部停止的状态的图。

图15是表示在图10中所示的状态之后，将分离板***被吸引保持的薄膜状部件和层叠体的最上面的薄膜状部件之间的状态的图。

图16是表示在图15中所示的状态之后，解除被吸引保持的薄膜状部件的吸引保持的状态的图。

图17是表示在图16中所示的状态之后，使吸附保持部位于退避位置，并且，使吸附底座下降，从而将吸附板朝向层叠体按压的状态的图。

图18是表示在图1中所示的薄膜取出装置中，使存在于第一吸附单元侧的吸附保持部中的、位于排列方向一侧的吸附保持部上升的状态的立体图。

图19是表示在图18中所示的状态之后，使存在于第一吸附单元侧的吸附保持部中的、位于排列方向另一侧的吸附保持部上升的状态的立体图。

图20是表示在图19中所示的状态之后，使存在于第二吸附单元侧的吸附保持部中的、位于排列方向一侧的吸附保持部上升的状态的图。

图21是表示在图20中所示的状态之后，使存在于第二吸附单元侧的吸附保持部中的、位于排列方向另一侧的吸附保持部上升的状态的图。

(符号说明)

10…薄膜取出装置、20…第一吸附单元、30…吸附保持部(对应于第一吸引构件的一部分)、31…吸附吸盘、31a…薄膜抵接部、32…支承臂、40…转动机构、41…支承轴、42…支承柱、43…转动用驱动器、44…框架、45…驱动传递机构、50…吸引机构(对应于第一吸引构件的一部分)、51…吸引泵、52…吸引管道、60…升降机构(对应于第一升降构件)、61…悬挂部件、62…升降缸、70…分离板单元、71…分离板(对应于分离构件)、72…支承臂、73…连接横梁、74…分离板驱动器(对应于移动构件)、75…导向部件、120…第二吸附单元、130…吸附保持部(对应于第二吸引构件的一部分)、131…吸附吸盘、131a…薄膜抵接部、132…支承臂、140…转动机构、141…支承轴、142…支承柱、143…转动用驱动器、144…框架、145…驱动传递机构、150…吸引机构(对应于第二吸引构件的一部分)、151…吸引泵、152…吸引管道、160…升降机构(对应于第二升降构件)、161…悬挂部件、162…升降缸、170…分离板单元、171…分离板(对应于分离构件)、172…支承臂、173…连接横梁、174…分离板驱动器(对应于移动构件)、175…导向部件、200…载置台单元、201…载置台、202…升降导向件、203…载置台用气缸、210…控制部、220…吸附底座、221…吸附板、222…移动机构连接部、PS…层叠体、S、S1、S2…薄膜状部件

具体实施方式

以下，对本发明一实施方式涉及的薄膜取出装置10进行说明。在以下的说明中，将支承轴41的长度方向作为X方向，X1侧为图1中的纸面右侧，X2侧为图1中的纸面左侧。另外，将连接第一吸附单元20和第二吸附单元120的方向作为Y方向，Y1侧为图1中的纸面前侧，Y2侧为图1中的纸面后侧。另外，将连接图5中的吸附底座220和载置台单元200的方向(上下方向)作为Z方向，Z1侧为图5中的纸面后侧(上侧)，Z2侧为图5中的纸面前侧(下侧)。

(关于薄膜取出装置的构成)

图1是表示薄膜取出装置10的构成的概略图。如图1中所示，薄膜取出装置10的主要构成元件包括：第一吸附单元20、第二吸附单元120、载置台单元200、控制部210以及吸附底座220(参照图5)。

其中，第一吸附单元20具备：吸附保持部30、转动机构40、吸引机构50、升降机构60以及分离板单元70。其中，吸附保持部30对应于第一吸引构件的一部分。另外，第一吸引构件不仅对应于吸附保持部30，还对应于吸引机构50。

图2是表示吸附保持部30的概略构成的图。图2中所示的吸附保持部30是吸附保持薄膜状部件S的部分，该吸附保持部30安装于构成转动机构40的支承轴41上。该吸附保持部30具备吸附吸盘31，该吸附吸盘31安装于支承臂32上。

该吸附吸盘31的材质，由例如橡胶或弹性体等的具有弹性的弹性部件形成。因此，构成为：即使吸附吸盘31的前端侧的薄膜抵接部31a抵接在薄膜状部件S上，也不会对薄膜状部件S造成损伤。另外，吸附吸盘31是设置为折皱状的筒状部件。因此，薄膜抵接部31a的方向能够跟随薄膜状部件S容易发生变化，因此，即使薄膜状部件S上产生翘曲等的变形，也能够跟随其变形。

另外，吸附吸盘31安装于支承臂32的前端侧(一端侧)。支承臂32由例如金属等的具有刚性的部件形成，该支承臂32能够支承吸附吸盘31和吸引分支管道。另外，支承臂32通过转动机构40进行转动，由此，构成为：能够进行使吸附吸盘31抵接在薄膜状部件S的抵接动作和使吸附吸盘31从薄膜状部件S分离的退避动作。

图3是表示吸附保持部30、转动机构40、吸引机构50以及升降机构60的概略构成的图。转动机构40具备支承轴41、支承柱42以及转动用驱动器43。支承轴41是供支承臂32的另一端侧安装的部分，是通过后述的转动用驱动器43的工作而转动的部件。该支承轴41是至少两个部位以能够转动的方式支承于支承柱42上的轴部件。另外，支承柱42是从框架44竖立设置的部件，是支承支承轴41或吸附保持部30的部分。另外，框架44是支承支承柱42的部件，例如，配置于支承柱42的下方侧的由金属制成的长部件为框架。

另外，在支承轴41的一端侧上，经由驱动传递机构45安装有转动用驱动器43。通过该转动用驱动器43的工作，使支承轴41转动。该转动动作中的一端部为吸附吸盘31抵接于薄膜状部件S的抵接动作的终点，而该转动动作中的另一端部为吸附吸盘31从薄膜状部件S分离的退避动作的终点。在此，作为转动用驱动器43，可以使用例如空气气缸、液压缸、电磁缸、电磁线圈以及电动机等。另外，转动用驱动器43也可以直接连结在支承轴41上。

另外，吸引机构50具备吸引泵51和吸引管道52。吸引泵51是施加负压的部件，该负压用于通过吸附吸盘31吸引保持薄膜状部件S。该吸引泵51上连接有吸引管道52的一端侧，该吸引管道52的另一端侧连接在吸附吸盘31上。因此，当吸引泵51进行工作，吸附吸盘31抵接在薄膜状部件S上时，能够通过吸附吸盘31吸引保持薄膜状部件S。

另外，关于吸引管道52，只要是例如由具有弹性的材质形成的管道、金属或树脂制的导管等能够使空气流通的筒状部件，便可以使用任何一种部件。另外，当上述支承臂32设置为筒状时，该支承臂32也为吸引管道52的一个构成元件。

另外，升降机构60是用于使上述的吸附保持部30、转动机构40以及吸引管道52的至少一部分上升或下降的机构。另外，也可以构成为：升降机构60不仅使吸引管道52的至少一部分上升或下降，还可以使吸引泵51上升或下降。另外，升降机构60对应于第一升降构件。该升降机构60分别配置在框架44的长度方向的两端侧。该升降机构60具备悬挂部件61和升降缸62。

悬挂部件61是连接框架44的端部和升降缸62的活塞杆的前端部的机构，例如，该悬挂部件61可以使用联杆机构或轴承等。尤其是，当使用联杆机构时，能够进行使框架44的一端侧的升降缸62和框架44的另一端侧的升降缸62以不同的时机(timing)上升或下降的动作，由此，能够使框架44和支承于该框架44的吸附保持部30等倾斜。

但是，关于悬挂部件61，也可以不使用联杆机构或轴承，而是使用例如金属制的柱状部件连接框架44和升降缸62之间。另外，升降缸62的活塞杆通常是不能倾斜的，因此，当悬挂部件61由金属制的柱状部件构成时，优选：进行使框架44的一端侧的升降缸62和框架44的另一端侧的升降缸62以同一时机上升或下降的动作。

另外，升降缸62是施加驱动力的部件，利用该驱动力，使框架44或吸附保持部30等上升或下降。作为该升降缸62，可以使用例如空气气缸、液压缸、电磁缸、电磁线圈以及电动机等。

图4是表示分离板单元70的概略构成的图。如图4中所示，分离板单元70具备分离板71、支承臂72、连接横梁73、分离板驱动器74以及导向部件75。分离板71是如下的板状部件，即：在维持层叠体PS(参照图5)的最上面的薄膜状部件S通过吸附保持部30被保持的状态不变的情况下被抬高时，***被抬高的薄膜状部件S和位于该被抬高的薄膜状部件S的正下方的薄膜状部件S之间。通过该分离板71的***，即使之后被吸附保持部30保持的薄膜状部件S下降，也能够防止被吸附保持部30保持的薄膜状部件S与正下方的薄膜状部件S贴紧而不能分离。另外，分离板71对应于分离构件。

在此，分离板71由不易对薄膜状部件S造成损伤的材质形成。具体而言，分离板71由如下材质形成，即：即使因为薄膜状部件S被施加按压力，也能够容易变形的材质。作为这种材质，可以举出例如弹簧钢或具有弹性的树脂。另外，从防止尘埃附着于薄膜状部件S的观点出发，分离板71的材质优选为弹簧钢。

另外，支承臂72是支承分离板71的部件，该支承臂72保持分离板71的一端侧。另外，连接横梁73是连接多个(图1和图4中为三个)支承臂72的部件。另外，分离板驱动器74对应于移动构件，是使支承臂72进行相对于薄膜状部件S靠近或分离的动作的部分。作为这种分离板驱动器74，可以使用例如空气气缸、液压缸、电磁缸、电磁线圈以及电动机等。另外，在本实施方式中，分离板驱动器74被安装为能够使连接横梁73移动。另外，导向部件75是引导基于分离板驱动器74的工作进行的连接横梁73的移动的部件，该导向部件75例如为导轨状的部件或直线导轨等。

另外，如图1中所示，第二吸附单元120具有与第一吸附单元20相同的构成。具体而言，第二吸附单元120具备：吸附保持部130、转动机构140、吸引机构150、升降机构160以及分离板单元170。

即，吸附保持部130具备：具有薄膜抵接部131a的吸附吸盘131、以及支承臂132。另外，吸附保持部130对应于第二吸引构件的一部分。另外，转动机构140具备支承轴141、支承柱142、转动用驱动器143以及框架144。另外，吸引机构150具备吸引泵151和吸引管道152。另外，吸引机构150对应于第二吸引构件的一部分。另外，升降机构160具备悬挂部件161和升降缸162。另外，升降机构160对应于第二升降构件。另外，分离板单元170具备分离板171、支承臂172、连接横梁173、分离板驱动器174以及导向部件175。另外，分离板171对应于分离构件，分离板驱动器174对应于移动构件。这些各部位，具有与第一吸附单元20的相对应部位的构成相同的构成，因此，省略其说明。

另外，薄膜取出装置10具备载置台单元200。图5是表示包括载置台单元200和吸附底座220在内的薄膜取出装置10的构成的概略图，是从侧面观察薄膜取出装置10的状态的图。如图5中所示，载置台单元200具有载置台201、升降导向件202以及载置台用气缸203。

载置台201是设置为平板状的部件，在该载置台201的上面侧载置有多个薄膜状部件S。另外，升降导向件202是如下的部件，即：通过以规定的间隔配置在载置台201的边缘部侧(例如，设置于载置台201的边缘部侧的凹部等)，能够引导载置台201沿上下方向(Z方向)上升或下降，而不会发生位置偏移。另外，载置台用气缸203是对载置台201赋予使其沿上下方向(Z方向)移动的驱动力的部件。作为该载置台用气缸203，可以使用例如空气气缸、液压缸、电磁缸、电磁线圈以及电动机等。

另外，薄膜取出装置10具备控制部210。该控制部210是控制第一吸附单元20和第二吸附单元120的各驱动部位的驱动的部分。具体而言，控制部210控制转动用驱动器43、143、吸引泵51、151、升降缸62、162以及分离板驱动器74、174的驱动。

另外，该控制部210例如是计算机，该控制部210，通过执行存储在包括外部存储装置在内的存储器中的规定的控制数据以及规定的控制程序，能够执行各种控制动作。另外，关于控制部210所执行的控制动作，之后进行说明。

如图5中所示，吸附底座220具备吸附板221、移动机构连接部222、省略图示的吸引构件、省略图示的移动机构。吸附板221上设有多个省略图示的吸引孔。因此，吸附板221能够呈平面状地吸引薄膜状部件S。另外，移动机构连接部222是连接于省略图示的移动机构上的部分。因此，通过移动机构的工作，能够使吸附板221下降，或者，能够将被吸附底座220吸引的薄膜状部件S输送至其他处理部位上。

另外，薄膜状部件S是柔性印刷电路板的制造中使用的薄膜状的部件，例如为铜箔薄片、聚酰亚胺薄片等。另外，关于铜箔薄片或聚酰亚胺薄膜等的薄膜状部件S，例如，可以在铜箔薄膜或聚酰亚胺薄膜等的基体材料上粘贴脱模用膜(release film)或保护膜等的其他薄膜部件，但也可以不粘贴这样的薄膜部件。当对薄膜状部件S中的例如铜箔材料或聚酰亚胺材料等的基体材料粘贴有其他的薄膜部件时，由于基体材料和薄膜部件的热收缩率的不同，成为薄膜状部件S上容易产生翘曲的状态。

(关于控制动作)

以下，对使用具有如上构成的薄膜取出装置10的柔性印刷电路板的制造方法进行说明。另外，在以下的说明中，依次记载第一工序至第七工序，当然，也可以在这些工序之外，存在其他各种工序。

(1)第一工序：最上面的薄膜状部件S的吸附保持(第一控制)

首先，如图5中所示，将层叠有多个薄膜状部件S的层叠体PS配置在规定的载置部位上。之后，如图6中所示，控制部210使载置台用气缸203进行工作，从而使载置台201上升至规定的上升位置，由此能够使吸附保持部30的吸附吸盘31的前端部抵接在层叠体PS的最上面的薄膜状部件S(以下，将该薄膜状部件S称为薄膜状部件S1)上。此时，控制部210使吸引机构50的吸引泵51进行工作，从而通过吸附吸盘31吸引保持最上面的薄膜状部件S。

在此，在与吸附吸盘31抵接的最上面的薄膜状部件S1上，有时如其端部侧朝向上侧(Z1侧)那样产生翘曲。但是，吸附吸盘31设置为波纹管状，从而能够进行弹性变形。因此，即使吸附吸盘31的前端部抵接在薄膜状部件S1的产生翘曲的部位上，吸附吸盘31也能够以仿效该翘曲的方式进行变形。因此，当吸附吸盘31的前端部抵接在最上面的薄膜状部件S1上时，能够防止对该抵接部位造成损伤。

另外，控制部210也可以不使载置台用气缸203工作，而是使升降缸62进行工作，从而使吸附吸盘31朝向薄膜状部件S1下降。即使如此，也能够吸引保持最上面的薄膜状部件S1。

(2)第二工序：使最上面的薄膜状部件S1从层叠体PS分离(第三控制)

接着，如图7中所示，控制部210使载置台用气缸203和升降缸62进行工作，从而在吸附吸盘31吸引保持最上面的薄膜状部件S的状态(即，吸引泵51工作的状态)下，使最上面的薄膜状部件S从层叠体PS分离。

具体而言，控制部210使载置台用气缸203进行工作，从而使载置台201下降至规定的退避位置。由此，在层叠体PS和被吸引保持的薄膜状部件S1之间形成比较大的空间。此时，即使在将薄膜状部件S1抬高之后，剩余的层叠体PS中位于最上面的薄膜状部件S(以下，将该薄膜状部件S称为薄膜状部件S2)在假想的范围内较大地翘曲，薄膜状部件S和薄膜状部件S2之间也会成为能够可靠地形成间隙的空间。

(3)第三工序：抖落动作的实施(第二控制)

然而，当抬高最上面的薄膜状部件S1时，有时在该薄膜状部件S1层叠时相邻的下一个薄膜状部件S2也一起被抬高。另外，有时还存在包括下一个薄膜状部件S2在内的多个薄膜状部件S被抬高的情况。尤其是，当薄膜状部件S的表面粗糙度非常小时(薄膜状部件S非常光滑时)，空气不易进入相邻且贴紧的薄膜状部件S之间，因此，容易产生这样的薄膜状部件S彼此间贴紧保持(以下，称为同时取出多个薄膜状部件S)的情况。

因此，假想在抬高层叠体PS的最上面的薄膜状部件S1之后，其他的薄膜状部件S贴紧该薄膜状部件S1的情况，实施抖落其他的薄膜状部件S的抖落动作。具体而言，控制部210将第一吸附单元20侧的升降缸62和第二吸附单元120侧的升降缸162控制为：不以同一时机工作，而是以不同的时机进行工作。以下，对这种抖落动作(第一动作例和第二动作例)进行说明。

(3-1)抖落动作的第一动作例

图8是表示第一吸附单元20侧的升降缸62和第二吸附单元120侧的升降缸162的动作时机的第一动作例的图。如图8中所示，控制部210最初使升降缸62进行工作，使第一吸附单元20侧的吸附保持部30上升，但在同一时机内，不使第二吸附单元120侧的吸附保持部130上升，而是停止升降缸162的工作。将该情况图示于图9中。于是，当使第一吸附单元20侧的吸附保持部30上升时，薄膜状部件S1斜向倾斜。因此，空气容易进入薄膜状部件S1和与其贴紧的其他薄膜状部件S之间，由此，大部分的其他薄膜状部件S从薄膜状部件S1掉落。

接着，如图8和图10中所示，控制部210使升降缸162进行工作，以与第一吸附单元20侧的吸附保持部30上升至规定位置的动作相继地，使第二吸附单元120侧的吸附保持部130上升至规定位置。于是，成为第一吸附单元20侧的吸附保持部30和第二吸附单元120侧的吸附保持部130均上升的状态。

接着，控制部210控制为：使第一吸附单元20侧的升降缸62和第二吸附单元120侧的升降缸162再次以不同的时机进行工作。具体而言，如图8和图11中所示，在维持使第二吸附单元120侧的吸附保持部130上升的状态不变的情况下，使第一吸附单元20侧的吸附保持部30下降至规定位置。此时，薄膜状部件S1斜向倾斜成第一吸附单元20侧的吸附保持部30侧位于下侧(Z2侧)，而薄膜状部件S1的第一吸附单元20侧则成为不与下一个薄膜状部件S2接触而是与其具有间隔的状态。

接着，如图8和图12中所示，控制部210使升降缸162进行工作，以与第一吸附单元20侧的吸附保持部30下降至规定位置的动作相继地，在维持第一吸附单元20侧的吸附保持部30下降的状态不变的情况下，使第二吸附单元120侧的吸附保持部130下降至规定位置。此时，薄膜状部件S1的第二吸附单元120侧也与薄膜状部件S1的第一吸附单元20侧同样地，成为不与下一个薄膜状部件S2接触而是与其具有间隔的状态。

接着，如图8和图9中所示，控制部210进行如下控制，即：使升降缸62进行工作，以与第二吸附单元120侧的吸附保持部130下降至规定位置的动作相继地，再次使第一吸附单元20侧的吸附保持部30上升，但在同一时机内，不使第二吸附单元120侧的吸附保持部130上升，而是使升降缸162的工作停止。

接着，如图8和图10中所示，控制部210进行如下控制，即：使升降缸162进行工作，以与第一吸附单元20侧的吸附保持部30上升至规定位置的动作相继地，使第二吸附单元120侧的吸附保持部130再次上升至规定位置。于是，成为第一吸附单元20侧的吸附保持部30和第二吸附单元120侧的吸附保持部130均上升的状态。由此，在被吸附保持的薄膜状部件S1和下一个薄膜状部件S2之间形成大的间隙。另外，通过重复进行如上所述的第一吸附单元20和第二吸附单元120的上升和下降，空气更加容易进入薄膜状部件S1和与其贴紧的其他薄膜状部件S之间，由此，其他薄膜状部件S从薄膜状部件S1掉落。

之后，转移至后述的第四工序。但是，为了更加可靠地使其他薄膜状部件S从薄膜状部件S1掉落，也可以再次重复进行基于图8的抖落动作。

(3-2)抖落动作的第二动作例

接着，对抖落动作的第二动作例进行说明。图13是表示第一吸附单元20侧的升降缸62和第二吸附单元120侧的升降缸162的动作时机的第二动作例的图。如图13中所示，最初是使升降缸62进行工作，使第一吸附单元20侧的吸附保持部30上升至规定位置，但在同一时机内，不使第二吸附单元120侧的吸附保持部130上升，而是使升降缸162的工作停止。该情况与已经图示于图9中的情况相同，当使第一吸附单元20侧的吸附保持部30上升时，薄膜状部件S1斜向倾斜。因此，空气容易进入薄膜状部件S1和与其贴紧的其他薄膜状部件S之间，从而大部分的其他薄膜状部件S从薄膜状部件S1掉落。

接着，如图13和图14中所示，控制部210使升降缸162进行工作，在使第二吸附单元120侧的吸附保持部130上升至规定位置之后，使该第二吸附单元120侧的吸附保持部130下降至规定位置，但在同一时机内，不使第一吸附单元20侧的吸附保持部30下降，而是使升降缸62的工作停止。于是，到达至上升的顶部的吸附保持部130再次下降，因此，薄膜状部件S1成为与飘荡时相同的状态，从而空气容易进入薄膜状部件S和与其贴紧的其他薄膜状部件S之间。由此，大部分的其他薄膜状部件S从薄膜状部件S1掉落。另外，当使第二吸附单元120侧的吸附保持部130下降至规定位置时，薄膜状部件S1的第二吸附保持部120侧成为不与下一个薄膜状部件S2接触而是与其具有间隔的状态。

进而，如图13和图12中所示，控制部210使升降缸62进行工作，以与第二吸附单元120侧的吸附保持部130下降至规定位置的动作相继地，使第一吸附单元20侧的吸附保持部30下降至规定位置，但在同一时机内，不使第二吸附单元120侧的吸附保持部130上升，而是使升降缸162的动作停止。此时，薄膜状部件S1的第一吸附单元20侧也与薄膜状部件S1的第二吸附单元120侧相同地，成为不与下一个薄膜状部件S2接触，而是与其具有间隔的状态。

接着，如图13和图11中所示，控制部210使升降缸162进行工作，以与第一吸附单元20侧的吸附保持部30下降至规定位置的动作相继地，使第二吸附单元120侧的吸附保持部130上升，但在同一时机内，不使第一吸附单元20侧的吸附保持部30上升，而是使升降缸62的动作停止。

接着，如图13和图10中所示，控制部210使升降缸62进行工作，以在维持使第二吸附单元120侧的吸附保持部130上升的状态不变的情况下，再次使第一吸附单元20侧的吸附保持部30上升至规定位置。于是，成为第一吸附单元20侧的吸附保持部30和第二吸附单元120侧的吸附保持部130均上升的状态。由此，在被吸附保持的薄膜状部件S1和下一个薄膜状部件S2之间形成大的间隙。另外，通过重复进行如上所述的第一吸附单元20和第二吸附单元120的上升和下降，空气更加容易进入薄膜状部件S1和与其贴紧的其他薄膜状部件S之间，由此，其他薄膜状部件S从薄膜状部件S1掉落。

之后转移至后述的第四工序。但是，为了更加可靠地使其他薄膜状部件S从薄膜状部件S1掉落，也可以再次重复进行基于图13的抖落动作。

另外，使第一吸附单元20侧的升降缸62和第二吸附单元120侧的升降缸162不以同一时机工作，而是以不同时机工作的控制方式，并不限于上述的控制方式。即，只要是能够使贴紧于最上面的薄膜状部件S1的其他薄膜状部件S良好地掉落，第一吸附单元20侧的升降缸62和第二吸附单元120侧的升降缸162的动作时机，可以是任意的时机。

(4)第四工序：分离板71的***(第四控制)

接着，如图15中所示，控制部210使分离板驱动器74进行工作，以将分离板71***被吸附保持部30、130吸引保持(抬高)的薄膜状部件S1和剩余的层叠体PS的最上面的薄膜状部件S2之间。

(5)第五工序：解除最上面的薄膜状部件S1的吸引保持(第五控制)接着，控制部210使载置台用气缸203进行工作，使载置台201上升。与此同时，控制部210使第一吸附单元20侧的吸引泵51和第二吸附单元120侧的吸引泵151的工作停止，并解除最上面的薄膜状部件S1的吸引保持。此时，也可以控制升降缸62、162，使吸附保持部30、130下降。

于是，如图16中所示，通过解除最上面的薄膜状部件S1的吸引保持，最上面的薄膜状部件S1朝向薄膜状部件S2(层叠体PS)落下。此时，成为分离板71夹入最上面的薄膜状部件S1和薄膜状部件S2之间的状态。另外，由于分离板71是由能够弹性变形的部件形成，因此，即使分离板71抵接在薄膜状部件S1、S2上，也能够防止对其造成损伤。另外，在解除对薄膜状部件S1的吸引保持之后，控制部210使转动用驱动器43、143进行工作，从而使吸附保持部30、130位于退避位置(参照图17)。由此，即使在下一工序中吸附底座220下降，也能够防止吸附保持部30、130和吸附底座220发生干扰。

(6)第六工序：利用吸附底座220吸引保持最上面的薄膜状部件S1接着，控制部210在使未图示的吸引构件和移动机构工作的同时，使吸附底座220下降。然后，将吸附板221朝向层叠体PS按压，形成为将该层叠体PS夹入吸附板221和载置台201之间的状态。此时，即使最上面的薄膜状部件S1上产生翘曲，通过该夹入动作，最上面的薄膜状部件S1也是在该翘曲被矫正的状态下，被吸附板221吸引保持。将该情况图示于图17中。另外，即使在图17中所示的状态下，与图16中所示的状态相同地，分离板71也是被夹入最上面的薄膜状部件S1和薄膜状部件S2之间。

在此，若强烈按压吸附板221，分离板71、171夹入层叠体PS和吸附板221之间，由此有可能产生刮痕。为了不产生这种刮痕，吸附底座220具备省略图示的吸引鼓风机(blower)，在利用该吸引鼓风机吸引的同时，使吸附板221徐徐地下降。然后，优选：在吸附板221将最上面的薄膜状部件S1即将向下侧(Z2侧)按压之前，以仅使最上面的薄膜状部件S1上升的方式进行吸引。另外，吸附板221徐徐地下降至吸附保持最上面的薄膜状部件S1为止，当吸附保持该薄膜状部件S1后，使吸附板221的下降停止。在此，为了判断出是否吸附保持了最上面的薄膜状部件S1，吸附底座220也可以具备省略图示的真空传感器。

另外，当最上面的薄膜状部件S1以及其他薄膜状部件S上产生翘曲时，若吸附板221未下降至最上面的薄膜状部件S1呈平坦状为止，则真空传感器不判断为最上面的薄膜状部件S1通过吸引鼓风机被吸附保持。该情况下，最上面的薄膜状部件S1呈平坦状地被压入，直至最上面的薄膜状部件S1通过吸引鼓风机被吸引。但是，即使呈平坦状地被压入，当吸附保持了最上面的薄膜状部件S1时，朝向最上面的薄膜状部件S1的下侧(Z2侧)的进一步的压入被停止，因此，能够防止如上所述的刮痕的产生。

另外，在利用吸附板221吸引最上面的薄膜状部件S1之后，使未图示的移动机构工作，使吸附底座220上升，之后将最上面的薄膜状部件S1输送至其他的处理部位。

(7)第七工序：载置台201的下降(返回初始位置)

接着，控制部210使载置台用气缸203工作，使载置台201下降，从而将载置台201移动至初始位置。而且，之后重复进行上述的第一工序至第七工序的动作，从层叠体PS中依次取出薄膜状部件S。

(关于其他控制动作)

然而，关于如上所述的第一吸附单元20侧和第二吸附单元120侧的使其他薄膜状部件S掉落的动作，也可以按照下述方式进行。

首先，实施与上述图6中说明的工序相同的第一工序(最上面的薄膜状部件S的吸附保持)。关于该第一工序已经进行说明，故省略其说明。接着，作为兼具第二工序(使最上面的薄膜状部件S1从层叠体PS分离)和第三工序(抖落动作的实施)的动作，进行如下的第八工序至第十一工序的动作。

(8)第八工序：第一吸附单元20的排列方向一侧(X1侧)的吸附保持部30的上升

在第一工序之后，控制部210控制升降缸62的工作，使例如存在于第一吸附单元20侧的吸附保持部30中的、位于排列方向一侧(X1侧)的吸附保持部30上升。将该状态图示于图18中。于是，支承轴41倾斜，因此，随着从吸附保持部30中的排列方向一侧(X1侧)朝向另一侧(X2侧)，吸附保持部30的高度位置逐渐变低。此时，存在于第二吸附单元120侧的吸附保持部130是以高度位置一致的状态排列，因此，成为：被吸引保持的薄膜状部件S1不是呈平面状地吸引保持，而是以里侧(Y2侧)被扭曲的方式吸引保持的状态。

通过实施这种使薄膜状部件S1扭曲这样的动作，空气容易进入薄膜状部件S1和与其贴紧的他薄膜状部件S之间，由此，大部分的其他薄膜状部件S从薄膜状部件S1掉落。

(9)第九工序：第一吸附单元20的排列方向另一侧的(X2侧)的吸附保持部30的上升

接着，控制部210控制升降缸62的工作，使存在于第一吸附单元20侧的吸附保持部30中的、位于排列方向另一侧(X2侧)的吸附保持部30上升。将该状态图示于图19中。于是，成为第一吸附单元20侧的吸附保持部30整体上升的状态。此时，在第一吸附单元20侧，在被吸附保持的薄膜状部件S1和下一个薄膜状部件S2之间形成间隙。

此时，薄膜状部件S1从扭曲状态恢复，成为其里侧(Y2侧)整体被抬高的状态。通过该动作的实施，空气也容易进入薄膜状部件S1和与其贴紧的其他薄膜状部件S之间，由此，大部分的其他薄膜状部件S从薄膜状部件S1掉落。

(10)第十工序：第二吸附单元120的排列方向一侧(X1侧)的吸附保持部130的上升

接着，控制部210控制升降缸162的工作，使存在于第二吸附单元120侧的吸附保持部130中的、位于排列方向一侧(X1侧)的吸附保持部130上升。将该状态图示于图20中。于是，支承轴141倾斜，因此，随着从吸附保持部130中的排列方向一侧(X1侧)朝向另一侧(X2侧)，吸附保持部130的高度位置逐渐变低。此时，第一吸附单元20侧的多个吸附保持部30已经以成为相同高度的方式上升，因此，成为：被吸引保持的薄膜状部件S1并不是呈平面状地被吸引保持，而是以外侧(Y1侧)扭曲的方式被吸引保持的状态。

通过实施这种使薄膜状部件S1扭曲这样的动作，空气更加容易进入薄膜状部件S1和与其贴紧的其他薄膜状部件S之间，由此，大部分的其他薄膜状部件S从薄膜状部件S1掉落。

(11)第十一工序：第二吸附单元120的排列方向另一侧(X2侧)的吸附保持部130的上升

接着，控制部210控制升降缸162的工作，使存在于第二吸附单元120侧的吸附保持部130中的、位于排列方向另一侧(X2侧)的吸附保持部130上升。将该状态图示于图21中。于是，成为第二吸附单元120侧的吸附保持部130整体上升的状态。另外，此时，第一吸附单元20侧的吸附保持部30已经整体上升。因此，在被吸附保持的薄膜状部件S1和下一个薄膜状部件S2之间形成大致平行状态的间隙(空间)。

此时，薄膜状部件S1从扭曲状态恢复，成为其里侧(Y2侧)整体被抬高的状态。通过实施这样的动作，空气容易进入薄膜状部件S1和与其贴紧的其他薄膜状部件S之间，由此，其他薄膜状部件S从薄膜状部件S1掉落。

通过实施如上所述的第八工序至第十一工序的动作，空气容易进入薄膜状部件S1和与其贴紧的其他薄膜状部件S之间，由此，贴紧在薄膜状部件S1的其他薄膜状部件S从薄膜状部件S1掉落。

另外，在第十一工序之后，依次执行如上所述的第四工序(分离板71的***)、第五工序(解除最上面的薄膜状部件S1的吸引保持)、第六工序(利用吸附底座220吸引保持最上面的薄膜状部件S1)以及第七工序(载置台201的下降(返回初始位置))。

另外，在上述各工序之后，实施用于制造柔性印刷电路板的各工序，由此制造出作为产品的柔性印刷电路板。

(关于效果)

具有如上构成的薄膜取出装置10，能够取出柔性印刷电路板的制造中使用的薄膜状部件S，该薄膜取出装置10，具备：能够吸引保持薄膜状部件S的一边缘部侧的吸附保持部30(第一吸引构件)、能够吸引保持薄膜状部件S的另一边缘部侧的吸附保持部130(第二吸引构件)、使吸附保持部30(第一吸引构件)上升或下降的升降机构60(第一升降构件)、使吸附保持部130(第二吸引构件)上升或下降的升降机构160(第二升降构件)、以及控制升降机构60(第一升降构件)和升降机构160(第二升降构件)的动作的控制部210。

另外，控制部210进行第一控制，在该第一控制中，控制升降机构60(第一升降构件)和升降机构160(第二升降机构)的动作，从而利用吸附保持部30(第一吸引构件)和吸附保持部130(第二吸引构件)，从层叠有多个薄膜状部件S的层叠体PS中吸引保持层叠在最上面的薄膜状部件S1，在该第一控制之后，控制部210进行第二控制，在该第二控制中，通过控制升降机构60(第一升降构件)和升降机构160(第二升降构件)中的至少一者的工作，从而使吸附保持部30(第一吸引构件)和吸附保持部130(第二吸引构件)中的任意一者相对于任意另一者相对地上升或下降，由此抖落被吸引保持的薄膜状部件之外的其他薄膜状部件S。

因此，在通过第一控制，形成为通过吸附保持部30(第一吸引构件)和吸附保持部130(第二吸引构件)吸引保持最上面的薄膜状部件S1的状态之后，通过第二控制，在该第一控制之后，通过使吸附保持部30(第一吸引构件)和吸附保持部130(第二吸引构件)中的任意一者相对于任意另一者相对地上升或下降，从而空气容易进入被吸引保持的薄膜状部件S和与其贴紧的其他薄膜状部件S之间，由此，大部分的其他薄膜状部件S从薄膜状部件S1掉落。因此，能够防止同时取出多个薄膜状部件S。

另外，为了防止这样的同时取出多个薄膜状部件S的情况，现有情况下，是通过人工方式取出薄膜状部件S，然而，在本实施方式中，通过使用薄膜取出装置10，能够自动地进行该薄膜状部件S的取出作业。因此，能够防止薄膜状部件S的取出作业中的人为错误，并且，通过实施自动取出作业，能够提高柔性印刷电路板的生产效率。

另外，用于防止这样的同时取出多个薄膜状部件S的动作，是通过吸附保持部30(第一吸引构件)和吸附保持部130(第二吸引构件)之间的相对的升降动作来实现，因此，能够形成为薄膜状部件S上不产生歪扭的状态。

另外，在本实施方式中，控制部210在上述第一控制之后进行第三控制，在该第三控制中，控制升降机构60(第一升降构件)和升降机构160(第二升降构件)的动作，使通过吸附保持部30(第一吸引构件)和吸附保持部130(第二吸引构件)被吸引保持的薄膜状部件S朝向从层叠体PS分离的方向移动，并且，在该第三控制之后进行第二控制。

因此，即使在薄膜状部件S上产生翘曲等的变形，也能够确保用于使贴紧在薄膜状部件S1上的其他薄膜状部件S掉落的空间。另外，能够确保用于进行吸附保持部30(第一吸引构件)和吸附保持部130(第二吸引构件)之间的相对升降动作的足够的空间，由此，能够使贴紧在薄膜状部件S1的其他薄膜状部件S良好地掉落。

进而，在本实施方式中，升降机构60(第一升降构件)具备使吸附保持部30(第一吸引构件)的长度方向的一侧上升或下降的升降缸62(一侧第一升降构件)和使吸附保持部30(第一吸引构件)的长度方向的另一侧上升或下降的升降缸62(另一侧第一升降构件)。另外，升降机构160(第二升降构件)具备使吸附保持部130(第二吸引构件)的长度方向的一侧上升或下降的升降缸162(一侧第二升降构件)和使吸附保持部130(第二吸引构件)的长度方向的另一侧上升或下降的升降缸162(另一侧第二升降构件)。另外，在第二控制中，控制部210进行如下控制：控制升降缸62(一侧第一升降构件)的工作，使吸附保持部30(第一吸引构件)的长度方向的一侧上升，在该动作开始之后，控制升降缸62(另一侧第一升降构件)的工作，使吸附保持部30(第一吸引构件)的长度方向的另一侧上升，进而，控制升降缸162(一侧第二升降构件)的工作，使吸附保持部130(第二吸引构件)的长度方向一侧上升，在该动作开始之后，控制升降缸162(另一侧第二升降构件)的工作，使吸附保持部130(第二吸引构件)的长度方向的另一侧上升。因此，位于长度方向(X方向)的一侧(X1侧)的吸附保持部30(第一吸引构件)相对于位于长度方向(X方向)的另一侧(X2侧)的吸附保持部30(第一吸引构件)上升，因此，如图18中所示，实施使薄膜状部件S1扭曲这样的动作。另外，位于长度方向(X方向)的一侧(X1侧)的吸附保持部130(第二吸引构件)相对于位于长度方向(X方向)的另一侧(X2侧)的吸附保持部130(第二吸引构件)上升，因此，如图20中所示，实施使薄膜状部件S1扭曲这样的动作。通过实施这样的动作，空气容易进入薄膜状部件S1和与其贴紧的其他薄膜状部件S之间，由此，大部分的其他薄膜状部件S从薄膜状部件S1掉落。因此，能够良好地防止同时取出多个薄膜状部件S。

另外，在本实施方式中，在上述第二控制中，控制升降机构60(第一升降构件)和升降机构160(第二升降构件)的工作，形成使吸附保持部30(第一吸引构件)和吸附保持部130(第二吸引构件)中的任意一者朝向从层叠体PS分离的方向移动，且使吸附保持部30(第一吸引构件)和吸附保持部130(第二吸引构件)中的任意另一者不移动的状态，并且，在该动作开始之后，控制升降机构60(第一升降构件)和升降机构160(第二升降构件)的工作，形成使吸附保持部30(第一吸引构件)和吸附保持部130(第二吸引构件)中的任意一者不移动的状态，且使吸附保持部30(第一吸引构件)和吸附保持部130(第二吸引构件)中的剩余一者朝向从层叠体PS分离的方向移动。

因此，如图8或图13中所示，成为吸附保持部30(第一吸引构件)和吸附保持部130(第二吸引构件)中的任意一者，以任意另一者为支点上升或下降的状态，因此，空气容易进入薄膜状部件S1和与其贴紧的其他薄膜状部件S之间。由此，能够使其他薄膜状部件S从最上面的薄膜状部件S1良好地掉落，从而能够良好地防止同时取出多个薄膜状部件S。

进而，在本实施方式中，薄膜取出装置10具备：被***相邻的薄膜状部件S之间，防止这些薄膜状部件S之间的吸附的分离板71(分离构件)、以及以将分离板71(分离构件)***相邻的薄膜状部件S之间的方式，使分离板71(分离构件)移动的分离板驱动器74(移动构件)。另外，控制部210控制分离板驱动器74(移动构件)的工作，并且，控制部210在上述第三控制之后进行第四控制，在该第四控制中，控制分离板驱动器74(移动构件)的工作，将分离板71(分离构件)配置在如下位置，即：被吸附保持部30(第一吸引构件)及吸附保持部130(第二吸引构件)保持的薄膜状部件S1和层叠体PS的最上面的薄膜状部件S2之间的位置。

因此，当解除被吸附保持部30和吸附保持部130(第一吸引构件和第二吸引构件)吸引保持的薄膜状部件S1的保持，该薄膜状部件S1朝向层叠体PS的最上面的薄膜状部件S2掉落时，成为分离板71被夹入薄膜状部件S1和薄膜状部件S2之间的状态。因此，能够防止薄膜状部件S1和薄膜状部件S2再次被贴紧，从而能够使薄膜状部件S1和薄膜状部件S2良好地分离。

另外，在本实施方式中，薄膜取出装置10具备吸附底座220，该吸附底座220能够将薄膜状部件S呈平面状地吸引保持，并且，能够相对于层叠体PS上升或下降，该吸附底座220的动作是通过控制部210被控制。另外，在上述第四控制之后，控制部210进行第五控制，在该第五控制中，控制吸引机构50(第一吸引构件)和吸引机构150(第二吸引构件)的工作，解除被吸附保持部30和吸附保持部130(第一吸引构件和第二吸引构件)保持的薄膜状部件的保持，并将薄膜状部件S1层叠在层叠体PS上。另外，控制部210在第五控制之后，进行如下控制：使吸附底座220下降，按压层叠体PS(层叠体)，并且，控制吸附底座220的工作，吸引保持层叠体PS的最上面的薄膜状部件S1。

因此，如图17中所示，通过实施利用吸附底座220的下降按压层叠体PS的动作，成为将层叠体PS夹入吸附板221和载置台201之间的状态。由此，即使在最上面的薄膜状部件S1上产生翘曲，通过该夹入动作，也能够矫正最上面的薄膜状部件S1的翘曲。因此，最上面的薄膜状部件S1，能够以成为平面状的状态被吸引保持在吸附底座220上。由此，在制造柔性印刷电路板之后的工序中，能够准确地定位薄膜状部件S1的位置。

另外，在本实施方式中，吸附保持部30和吸附保持部130(第一吸引构件和第二吸引构件)具备吸附吸盘31、131，该吸附吸盘31、131以弹性部件作为材质且设置为折皱状。因此，吸附吸盘31、131能够容易跟随薄膜状部件S发生变化，因此，即使在薄膜状部件S上产生翘曲等的变形，也能够跟随其变形。因此，即使吸附吸盘31、131抵接在薄膜状部件S上，也能够防止对薄膜状部件S造成损伤。

另外，本实施方式涉及的柔性印刷电路板的制造方法，包括：吸引工序，在该吸引工序中，控制升降机构60(第一升降构件)和升降机构160(第二升降构件)的动作，从而通过能够吸引保持薄膜状部件S1的一边缘部侧的吸附保持部30(第一吸引构件)和能够吸引保持薄膜状部件S1的另一边缘部侧的吸附保持部130(第二吸引构件)，从层叠体PS中吸引保持层叠在最上面的薄膜状部件S1；抖落工序，该抖落工序是在上述吸引工序之后进行，在该抖落工序中，通过使升降机构60(第一升降构件)和升降机构160(第二升降构件)中的至少一者工作，从而使吸附保持部30(第一吸引构件)和吸附保持部130(第二吸引构件)中的任意一者相对于任意另一者相对地上升或下降，由此，将被吸引保持的薄膜状部件之外的其他薄膜状部件S抖落，其中，升降机构60(第一升降构件)使吸附保持部30(第一吸引构件)上升或下降，升降机构160(第二升降构件)使吸附保持部130(第二吸引构件)上升或下降。

因此，在通过实施吸引工序，形成为最上面的薄膜状部件S1被吸附保持部30(第一吸引构件)和吸附保持部130(第二吸引构件)吸引保持的状态之后，通过实施抖落工序，使吸附保持部30(第一吸引构件)和吸附保持部130(第二吸引构件)中的任意一者相对于任意另一者相对地上升或下降，从而空气容易进入被吸引保持的薄膜状部件S1和与其贴紧的其他薄膜状部件S之间，由此，使大部分的其他薄膜状部件S从薄膜状部件S1掉落。因此，能够防止同时取出多个薄膜状部件S。

另外，为了防止这样的同时取出多个薄膜状部件S的情况，现有情况下，是通过人工方式取出薄膜状部件S，然而，在本实施方式中，通过使用薄膜取出装置10，能够自动地进行薄膜状部件S的取出作业。因此，能够防止薄膜状部件S的取出作业中的人为错误，并且，通过实施自动取出作业，能够提高柔性印刷电路板的生产效率。

另外，用于防止这样的同时取出多个薄膜状部件S的动作，是通过吸附保持部30(第一吸引构件)和吸附保持部130(第二吸引构件)之间的相对升降动作来实现，因此，能够形成为薄膜状部件S上不产生歪扭的状态。

(变形例)

以上，对本发明的一实施方式进行了说明，但是，本发明除此之外也可以进行各种变形。以下，对此进行说明。

在上述实施方式中，第一吸引构件对应吸附保持部30和吸引机构50，第二吸引构件对应吸附保持部130和吸引机构150。但是，也可以使上述对应关系呈相反。即，第一吸引构件对应吸附保持部130和吸引机构150，第二吸引构件对应吸附保持部30和吸引机构50。同样地，也可以构成为：第一升降构件对应升降机构160，第二升降构件对应升降机构60。

另外，在上述实施方式中，吸附吸盘31构成为呈折皱状。但是，吸附吸盘31并不限于这样的构成，例如，也可以构成为：在规定长度的橡胶管上呈规定间距地设有吸引孔等。

另外，上述实施方式的薄膜取出装置10，也可以进一步具备其他的构成。例如，也可以构成为：为了应对薄膜状部件S彼此间因为静电而吸附的情况，设置离子发生器(除电鼓风机)，通过从该离子发生器喷吹带有规定电荷的空气，从而去除静电。

另外，关于上述各控制动作，可以在某一控制动作结束后，开始下一个控制动作，但是，也可以在某一控制动作结束的同时，或者，尚未结束前开始下一个控制动作。

另外，上述实施方式中的薄膜状部件S，可以是仅在聚酰亚胺薄膜等的基体材料的单面侧存在铜箔的单面铜箔材料，也可以是基体材料的双面侧均存在铜箔的双面铜箔材料，还可以是具有双面铜箔材料以上的多层铜箔的多层材料。另外，关于薄膜状部件S，除了基体材料和铜箔之外，还可以具备粘结材料层或保护该粘结材料层的脱模用膜。当具备这样的粘结材料层或脱模用膜时，与不具备粘结材料层或脱模用膜的情况相比，使薄膜状部件S的厚度变大。因此，即使在薄膜状部件S上产生翘曲，当吸附板221下降而吸附保持最上面的薄膜状部件S1时，刮痕更加不易产生。

Claims (8)

1.一种薄膜取出装置，其是取出柔性印刷电路板的制造中使用的薄膜状部件的装置，

所述薄膜取出装置的特征在于，

具备：

多个第一吸引构件，其能够吸引保持所述薄膜状部件的一边缘部侧，

多个第二吸引构件，其能够吸引保持所述薄膜状部件的另一边缘部侧，

第一升降构件，其使所述第一吸引构件上升或下降，

第二升降构件，其使所述第二吸引构件上升或下降，

控制部，其控制所述第一升降构件和所述第二升降构件的动作，

第一转动机构，其使多个所述第一吸引构件转动，从而进行使所述第一吸引构件抵接在所述薄膜状部件的抵接动作和使所述第一吸引构件从所述薄膜状部件分离的退避动作，以及

第二转动机构，其使多个所述第二吸引构件转动，从而进行使所述第二吸引构件抵接在所述薄膜状部件的抵接动作和使所述第二吸引构件从所述薄膜状部件分离的退避动作；

所述第一转动机构具备使多个所述第一吸引构件同时旋转的第一支承轴和使该第一支承轴转动的第一转动用驱动器，

所述第二转动机构具备使多个所述第二吸引构件同时旋转的第二支承轴和使该第二支承轴转动的第二转动用驱动器，

所述第一转动用驱动器和所述第二转动用驱动器的动作通过所述控制部被控制，由此实现所述抵接动作和所述退避动作；

所述控制部进行第一控制，在该第一控制中，控制所述第一升降构件和所述第二升降构件的动作，从而通过所述第一吸引构件和所述第二吸引构件，从层叠有多个所述薄膜状部件的层叠体中吸引保持层叠在最上面的所述薄膜状部件，

在所述第一控制之后，所述控制部进行第三控制，在该第三控制中，控制所述第一升降构件和所述第二升降构件的动作，从而使被所述第一吸引构件和所述第二吸引构件吸引保持的所述薄膜状部件朝向从所述层叠体分离的方向移动，

在所述第三控制之后，所述控制部进行第二控制，在该第二控制中，控制所述第一升降构件和所述第二升降构件中的至少一者的动作，从而使所述第一吸引构件和所述第二吸引构件中的任意一者相对于任意另一者相对地上升或下降，由此将被吸引保持的薄膜状部件之外的其他所述薄膜状部件抖落。

2.如权利要求1所述的薄膜取出装置，其特征在于，

所述第一升降构件具备：使所述第一吸引构件的长度方向的一侧上升或下降的一侧第一升降构件和使所述第一吸引构件的长度方向的另一侧上升或下降的另一侧第一升降构件，

所述第二升降构件具备：使所述第二吸引构件的长度方向的一侧上升或下降的一侧第二升降构件和使所述第二吸引构件的长度方向的另一侧上升或下降的另一侧第二升降构件，

在所述第二控制中，所述控制部进行如下控制：

控制所述一侧第一升降构件的动作，使所述第一吸引构件的长度方向的一侧上升，在该动作开始之后，控制所述另一侧第一升降构件的动作，使所述第一吸引构件的长度方向的另一侧上升，

并且，控制所述一侧第二升降构件的动作，使所述第二吸引构件的长度方向的一侧上升，在该动作开始之后，控制所述另一侧第二升降构件的动作，使所述第二吸引构件的长度方向的另一侧上升。

3.如权利要求1所述的薄膜取出装置，其特征在于，

在所述第二控制中，控制所述第一升降构件和所述第二升降构件的动作，从而形成使所述第一吸引构件和所述第二吸引构件中的任意一者朝向从所述层叠体分离的方向移动，并且，使所述第一吸引构件和所述第二吸引构件中的任意另一者不移动的状态，

在该动作开始之后，控制所述第一升降构件和所述第二升降构件的动作，从而形成使所述第一吸引构件和所述第二吸引构件中的任意一者不移动的状态，并且，使所述第一吸引构件和所述第二吸引构件中的剩余一者朝向从所述层叠体分离的方向移动。

4.如权利要求1所述的薄膜取出装置，其特征在于，

所述薄膜取出装置，具备：

分离构件，其被***相邻的所述薄膜状部件之间，防止这些薄膜状部件之间的吸附，

移动构件，其使所述分离构件移动，从而将所述分离构件***相邻的所述薄膜状部件之间；

所述控制部控制所述移动构件的动作，并且，

在所述第三控制之后，所述控制部进行第四控制，在该第四控制中，控制所述移动构件的动作，从而将所述分离构件配置在通过所述第一吸引构件和所述第二吸引构件被保持的所述薄膜状部件和所述层叠体的最上面的所述薄膜状部件之间。

5.如权利要求4所述的薄膜取出装置，其特征在于，

所述薄膜取出装置具备吸附底座，该吸附底座能够将所述薄膜状部件呈平面状地吸引保持，并且，能够相对于所述层叠体上升或下降，所述吸附底座的动作是通过所述控制部被控制，

在所述第四控制之后，所述控制部进行第五控制，在该第五控制中，控制所述第一吸引构件和所述第二吸引构件的动作，从而解除通过所述第一吸引构件和所述第二吸引构件被保持的所述薄膜状部件的保持，由此将所述薄膜状部件层叠在所述层叠体上，

在所述第五控制之后，所述控制部进行如下控制：

通过使所述吸附底座下降，按压所述层叠体，并且，

控制所述吸附底座的动作，从而吸引保持所述层叠体的最上面的所述薄膜状部件。

6.如权利要求1～5中任意一项所述的薄膜取出装置，其特征在于，

所述第一吸引构件和所述第二吸引构件具备吸附吸盘，所述吸附吸盘以弹性部件作为材质，并且，被设置为折皱状。

7.如权利要求1～5中任意一项所述的薄膜取出装置，其特征在于，

所述薄膜取出装置具备吸引保持所述薄膜状部件的吸附底座，

所述吸附底座具备吸附板，该吸附板上设有多个吸引孔，且能够利用多个所述吸引孔呈平面状地吸引所述薄膜状部件。

8.如权利要求6所述的薄膜取出装置，其特征在于，

所述薄膜取出装置具备吸引保持所述薄膜状部件的吸附底座，

所述吸附底座具备吸附板，该吸附板上设有多个吸引孔，且能够利用多个所述吸引孔呈平面状地吸引所述薄膜状部件。

Images