JP5181949B2 - 可撓性板状体の分離取得方法および分離取得装置 - Google Patents

Description

本発明は、積層された可撓性板状体の分離取得方法および分離取得装置に関する。

ＩＣ（Integrated Circuit：集積回路）等の電子部品は、コンピュータをはじめとして、多くの製品に欠かすことのできない部品である。この電子部品の製造プロセスは、１，０００工程以上になる場合もあり、電子部品の進歩には、その１つ１つの工程の改良・改善が必要となる。

電子部品の中に、リードフレームと呼ばれ、半導体パッケージの内部配線として使われる、一般的には四角形の可撓性板状体がある。そして、ダイボンダあるいはマウンタと呼ばれる装置が、電子回路を作りこんだシリコン基板のチップであるダイをリードフレームに接合する。このような装置では、ストッカと呼ばれる容器が複数のリードフレームの積層体を収容している。ダイボンダやマウンタは、リードフレームを移動させるためのアームに、複数の吸着パッドを有している。それらの吸着パッドは同一水平面をなすように位置し、互いに連動あるいは同期して移動する。そして、吸着パッドがリードフレームの四隅を吸着して、アームが上昇することで、ストッカ内に積層されたリードフレームを、最上層から順に１枚ずつ取り出している。リードフレームには、半導体チップを載せる場所であるアイランドと、半導体上の電極部に金や銅やアルミなどの細線を介して接続しており、最終的に半導体パッケージの接続端子となるリードと、それらを囲む外枠とがある。吸着パッドは、アイランドやリードへの異物の付着を避けるため、外枠に接触する。

また、リードフレームの端部には、そのリードフレームの用途の識別、リードフレーム自体やアイランドの位置決め、あるいは搬送に用いるための円形や四角形の穴が空いている。リードフレームの穴やアイランドやリードは、品種や取り数により位置が異なる場合があるが、リードフレームの位置決め用穴に関しては、品種に依存せず同一の場所に穴が空いているものもある。このような加工が施されているリードフレームを積層した場合、界面張力の働きにより、取り出しの際にリードフレーム同士がくっついてしまうことがある。

また、リードフレームの加工部分の微細化が進むことにより、微細なバリの影響や上下の加工部分が絡み合う事で、取り出しの際、リードフレーム同士がくっついてしまうことがある。このためリードフレームとリードフレームの間に層間紙と呼ばれる主に紙でできた可撓性板状体を挟む事でリードフレーム同士がくっつくのを防止している。層間紙はリードフレームとほぼ同じ大きさに切断された状態で、アイランド部分をくりぬいた形状や、アイランド部分を行または列方向に一括してくりぬいた形状など、内部に加工がされる場合があるものの、層間紙自体は可撓性板状体であり、結果としてリードフレームと層間紙という材質の異なる可撓性板状体が交互に積み重なっている。しかしながら、層間紙は非常に軽いため、界面張力の働きによりリードフレームの下に層間紙が付いてくる場合や、層間紙が薄い場合や目が粗い場合には、層間紙を吸着する際に、層間紙のみならず下層のリードフレームを層間紙越しに吸着してしまい、層間紙の下にリードフレームが付いてくる場合がある。

上記からわかるように、単一種類もしくは異なる種類の積層された可撓性板状体を１枚ずつ分離して取得することは非常に困難である。そこで、関連技術の一例では、シリンダ（ストッカ）内に積層されているリードフレームの中央部を、押圧部材によりリードフレームに対し垂直下向きに押し、リードフレームを凹型に撓ませる。その状態で、吸着パッドがリードフレーム縁部の四隅を真空吸着し、アームが上昇することによって、リードフレームが上昇する。シリンダ内の一番上のリードフレーム平面は凹型に撓むが、二番目のリードフレーム（あるいは層間紙）は撓まないので、可撓性板状体を１枚ずつ分離させ、取得することができる（特許文献１）。 また、別の方法では、積層された可撓性板状体の四隅のうちの一方の対角位置に固定足、他方の対角位置に真空吸着をする吸着パッドをそれぞれ有する取り出しハンド（アーム）を用いる（特許文献２）。この方法では、可撓性板状体の四隅のうちの一方の対角位置を真空吸着により吸着、上昇させるが、可撓性板状体の四隅のうちの他方の対角位置には固定足が当接していることで、固定足と当接する位置を結ぶ線を中心に可撓性板状体が凹型に撓む。そのため、吸着した可撓性板状体と下層の可撓性板状体とを引き離し、取得すことができる。
特開２００１−１１４４３４号公報 特開２００３−０４８６２０号公報

特許文献１で開示されている方法は、積層された可撓性板状体の中央部を、押圧部材で押し付けることにより、リードフレーム（可撓性板状体）を凹型に撓ませる。つまり、リードフレームに押圧部材が接触し、押圧力を加えるので、アイランドやリードを変形させてしまう可能性がある。また、アイランドやリードに押圧部材が接触することから、これらの部位へのごみ等の異物の付着も懸念される。

特許文献２で開示されている方法も、積層された可撓性板状体の四隅のうちの一方の対角位置にある固定足を軸に、他方の対角に位置する吸着パッドが可撓性板状体を真空吸着し、上へ上昇することにより、可撓性板状体を固定足と当接する位置を結ぶ線を中心に撓ませる。つまり、可撓性板状体に固定足が接触し、押圧力を加えていることから、この方法でもアイランドやリードを変形させてしまう可能性が出てくる。

本発明の目的は、上述した課題である、積層された可撓性板状体を分離させ、取得する際に、大きな押圧力を可撓性板状体へ加えるために可撓性板状体を変形させてしまい、また、アイランドやリードへ異物が付着してしまう、という問題を解決する可撓性板状体の分離取得方法および分離取得装置を提供することにある。

本発明は、積層された可撓性板状体を１枚ずつ分離して取得する分離取得装置であって、吸着動作可能な少なくとも１組の吸着パッドを有し、１組の吸着パッドが可撓性板状体の四隅のうちの一方の対角位置に対向するように配置されており、１組の吸着パッドが可撓性板状体を吸着し吸着パッドを持ち上げることにより、可撓性板状体の、吸着状態の１組の吸着パッドが配された対角位置同士を結ぶ線上以外の部分が自重により下に撓むようにする、可撓性板状体の分離取得装置を提供する。

本発明によると、吸着パッドが、直線上にて可撓性板状体を吸引により吸着し、上昇することで、可撓性板状体の、吸着状態の吸着パッドが配された直線上以外の部分が自重により下に撓むようにするため、可撓性板状体に押圧力を加えて変形させることなく、さらには、可撓性板状体へ異物を付着させずに、積層された可撓性板状体を分離取得することができる。

以下に、添付の図面に基づき、本発明の実施の形態を説明する。なお、同一の機能を有する構成には添付図面中、同一の番号を付与し、その説明を省略する場合もある。

図１は、本発明に係る可撓性板状体の分離取得装置の一例である、リードフレーム供給機構の側面図である。このリードフレーム供給機構には、後述するリードフレーム１だけ、あるいはリードフレーム１と層間紙が交互に積み重なったものを収容するストッカ８がある。リードフレーム供給機構には、２組の吸着パッド、すなわちリードフレーム１を吸着するための吸着パッド２の組、および、層間紙を吸着するための吸着パッド３の組と、ストッカ８内の最上層の可撓性板状体がリードフレーム１か層間紙かを判別する判別部７とを有している。これらの吸着パッド２、３は、いずれも吸着手段１３（例えば吸引ポンプ）による吸着動作だけではなく、切り替えバルブ１２を切り替えることで、真空破壊手段１４（例えば気体噴出ポンプ）で真空破壊動作（陽圧をリードフレーム１あるいは層間紙に印加する動作、すなわち気体の噴射による加圧動作）をすることができる。また、吸着パッド２と層間紙吸着パッド３は、独立した構成になっているので、リードフレーム吸着パッド２と層間紙吸着パッド３は、独立した動作が可能である。例えば、リードフレーム吸着パッド２では吸着、層間紙吸着パッド３では真空破壊といった動作である。すべての吸着パッド２、３は同一水平面をなすように位置している。なお、リードフレーム吸着パッド２と、層間紙吸着パッド３の位置関係については図２を用いて後述する。また、判別部７では、供給するもの（ストッカ８内に積層された最上層の可撓性板状体）が、リードフレーム１であるのか、層間紙であるのかを、２点プロービングによる導通状態により判別する方法や、レーザ式反射センサの反射光量による判別する方法を用いて判別する。

その他に、この可撓性板状体の分離取得装置には、吸着パッド２、３を水平に保ったまま上下させる上下移動機構１５と、水平方向に移動させる水平移動機構１６とがあり、切り替えバルブ１２、判別部７、上下移動機構１５、および水平移動機構１６に指示を与える制御部１１をも有する。最終的に、リードフレーム１はリードフレーム供給位置１８へ、層間紙は層間紙廃棄ボックス１７へ移動させる。

図２はリードフレーム１の概観と吸着パッド２、３の吸着位置の関係を表した図である。リードフレーム１には、半導体チップを載せる場所であるアイランド５と、半導体上の電極部に金や銅やアルミなどの細線を介し接続しており、最終的には半導体パッケージの接続端子となるリード６と、それらを囲む部分である外枠９と、外枠９に設けられ、リードフレーム１の用途の識別やリードフレーム１自体やアイランドの位置決めに用いるリードフレーム穴４がある。

リードフレーム吸着パッド２による被吸着位置２１は、一直線上に位置して、積層された可撓性板状体の一方の対角に対向するように、層間紙吸着パッド３による被吸着部２２は、他の直線上に位置して、可撓性板状体の他方の対角に位置するように、各組の吸着パッド２、３がそれぞれの直線上に位置している。

実際に、ストッカ８内にリードフレーム１や層間紙が積層された状態から分離される流れを、図３を用いて以下に説明する。

ストッカ８内に積層された可撓性板状体の分離を開始する。図３のステップＳ１にて、すべての吸着パッド２、３を降下させ、ストッカ８内最上層の可撓性板状体に接触した状態にする。図３のステップＳ２において、吸着パッド２、３の吸着手段１３による吸着動作に先立ち、予め判別部７が最上層の可撓性板状体がリードフレーム１か、層間紙かを判別する。

まずは、識別部７が、ストッカ８内に積層された可撓性板状体がリードフレーム１であると判断した場合について説明する。

図３のステップＳ３で、吸着手段１３が、リードフレーム吸着パッド２を介して吸着動作を行い、図３のステップＳ７のとおり、リードフレーム１を吸着した状態で、上昇する。このとき、層間紙吸着パッド３を介しての吸着動作は行わない。すると、図４に示すように、リードフレーム１の可撓性により、吸着されていない対角(層間紙吸着パッドによる被吸着位置２２側）が吸着パッドから離れて垂れ下がるように、リードフレーム１が撓む。すなわち、リードフレーム吸着パッド２がリードフレーム１を吸着し、リードフレーム吸着パッド２を持ち上げることにより、リードフレーム１のリードフレーム吸着パッド２が配置された直線上以外の部分（非吸着状態の層間紙吸着パッド３が配置された位置を含む部分）が、自重により下に撓む。

この状態におけるリードフレーム１の層間紙吸着パッドによる被吸着位置２２を結ぶ対角線で切断した断面図（図２のＡＡ’断面図）を図５に示す。図５（ａ）の手前と奥にリードフレーム吸着パッドによる被吸着位置２１が位置し、両側部に層間紙吸着パッドによる被吸着位置２２が位置する。また、図５（ａ）の一端の側部Ｂの拡大図を図５（ｂ）に示す。

界面張力は張力の働く方向に対しては強いが張力の働く方向に対して垂直方向の力には弱い。リードフレーム吸着パッドによる被吸着位置２１の上昇に伴い、層間紙吸着パッドによる被吸着位置２２は、層間紙吸着パッド３が吸着動作を行っていないので、自重により下に曲がるため、リードフレーム１が撓み、積層されたリードフレーム１に並行方向ずれ１９が生じる。そして、ずれた面積分だけ界面張力の働きが無くなるため、積層されていたはじめの状態よりも界面張力の働きを弱めることができる。さらに、並行方向のずれ１９を生じさせる板面に平行な力が、最上層のリードフレーム１とその下の層の可撓性板状体の界面張力的な働きを弱めている。そのため、最上層のリードフレーム１とその下の層の可撓性板状体を分離することができる。これは、リードフレーム１だけを積層した場合、リードフレーム１の下に層間紙がある場合、いずれの場合でも界面張力の働きを弱めることができる。リードフレーム吸着パッド２が配置されている位置とは異なる対角位置に層間紙吸着パッド３が位置していることで、吸着手段１３がリードフレーム吸着パッド２を介して吸着すると同時に、図３のステップＳ４に示すように、真空破壊手段１４が層間紙吸着パッド３を介して真空破壊動作、つまり空気などの気体を噴射する事ができる。そのため、リードフレーム吸着パッド２でリードフレーム１を吸着保持している位置とは異なる対角位置（層間紙吸着パッドによる被吸着位置２２）を下方向により押し落とすことができる。このことで、リードフレーム１の撓みが大きくなることから、リードフレーム１の曲率が大きくなり、並行方向ずれ１９がより大きくなる。つまり、界面張力の働きをより弱めることができ、効果的に最上層とその下の層を分離することができることを意味する。

また、可撓性板状体は、板バネとしての作用を持ち合わせている。リードフレーム１の四隅のうち、真空破壊手段１４が層間紙吸着パッド３を介して真空破壊動作を行っている対角位置は、気体噴出による圧力によりリードフレーム１を押し下げる力を持つが、一方リードフレーム１は押し下げられたことによる反力を有しているため、バネ振動を引き起こす。更に気体噴出圧力は実際には供給圧力の揺らぎがあるため、可撓性板状体を微細に振動させる効果を持っており、より効果的に界面張力の働きを弱めることができる。

更に、図６に示すように、層間紙吸着パッドによる被吸着位置２２が、リードフレーム穴４に掛かる位置に配置されていることが望ましい。層間紙にはリードフレーム穴４に相当する穴が空いていないため、真空破壊手段１４が、層間紙吸着パッド３を介し、層間紙吸着パッドによる被吸着位置２２に真空破壊動作をすることで、リードフレーム１と層間紙の間に気体を送り込むことができる。それによって、界面張力の働きを効果的に無効化し、最上層の１枚だけを分離して取得することができる。

次に、図３のステップＳ２において、判別部７により、ストッカ８内に積層された可撓性板状体の最上層が層間紙と判別した場合について説明する。

図３のステップＳ５では、全ての吸着パッド２、３が下降して層間紙と接触している状態で、吸着手段１３が層間紙吸着パッド３を介して吸着動作を行い、図３のステップＳ７のとおり、層間紙を吸着した状態で、上昇する。このとき、リードフレーム吸着パッド２を介しての吸着動作は行わない。すると、上記のリードフレーム１を吸着した場合と同様に、層間紙の可撓性により、吸着されていない対角(リードフレーム吸着パッドによる被吸着位置）が吸着パッドから離れて垂れ下がるように、層間紙が撓む。すなわち、層間紙吸着パッド３が層間紙を吸着し、層間紙吸着パッド３を持ち上げることにより、層間紙の層間紙吸着パッド３が配置された直線上以外の部分（非吸着状態のリードフレーム吸着パッド２が配置された位置を含む部分）が、自重により下に撓む。このことにより、前述のリードフレーム１を分離した場合と同様な理由で、層間紙を分離できる。

なお、層間紙を吸着する際に、まれに層間紙越しにリードフレーム１を吸着する場合がある。これは、界面張力の働きとは異なり層間紙の通気性の程度と、層間紙越しの吸着力と、リードフレーム１の自重とのバランスが関係してくる。この場合、図３のステップＳ６により、真空破壊手段１４がリードフレーム吸着パッド２を介し、リードフレーム吸着パッドによる被吸着位置２１に、真空破壊動作により気体噴出をして、層間紙の撓み量を大きくする。そうすることで、上層の層間紙と下層のリードフレーム１の曲率半径の違いによる２層の並行方向のずれ１９が大きくなり、大きくずれた部分の面積分だけ界面張力の働きを弱めることができる。さらに、並行方向のずれ１９を生じさせる板面に平行な力が、最上層の層間紙とその下の層の可撓性板状体の界面張力的な働きを弱めている。そのため、最上層とその下の層の可撓性板状体を分離することができる。また、層間紙も可撓性板状体であるため、板バネ的性質を持つ。前述の板バネ的性質を利用してリードフレーム１を取り出す方法と同様に、真空破壊手段１４がリードフレーム吸着パッド２を介し、層間紙に真空破壊動作を行い、層間紙を振動させることで、層間紙を分離できる。しかし、層間紙越しにリードフレーム１を吸着するような層間紙においては、層間紙自体に小さな隙間があり、層間紙吸着パッド３からの吸着動作が十分に層間紙に伝えることができず、吸着力が弱まっている。そのため、撓み量を大きくしたり、振動を加えたりすることで層間紙自体を取り落す事があるので、層間紙の状態に応じて図３のステップＳ６に示すリードフレーム吸着パッドによる被吸着位置２１の真空破壊動作を行うかどうか決めておく。

ストッカ８内の最上層が層間紙で、その次の層がリードフレーム１の場合の効果的な層間紙とリードフレーム１の分離方法を図６に示す。リードフレーム穴４に該当する位置が層間紙吸着パッドによる被吸着位置２２となるように層間紙吸着パッド３を配置すると、層間紙吸着パッド３が層間紙を吸着する際、ちょうど層間紙の下はリードフレーム穴４になっているので、リードフレーム１を吸着することができない。そのため、図３のステップＳ６により、全ての吸着部を上昇させる際に層間紙とリードフレーム１を分離することが可能となる。

このように、本発明によると、リードフレーム吸着パッドによる被吸着位置２１が、積み重なった可撓性板状態の四隅のうちの一方の対角位置付近に位置し、層間紙吸着パッドによる被吸着位置２２が、積み重なった可撓性板状体の四隅のうち他の対角位置付近に位置している。そして最上層の可撓性板状体がリードフレーム１か層間紙かを予め判別しておき、それぞれの場合に応じた２点の被吸着位置における吸着を行う。一方、他の被吸着位置では吸着を行わない。そして、被吸着位置を水平に上昇させることにより、吸着を行っていない方の被吸着位置が自重により湾曲して垂れ下がり、２枚以上の可撓性板状体が並行方向のずれを生じることで、ずれた面積分だけ界面張力の働きがなくなり、はじめの積層状態より界面張力の働きを弱めることができる。そのため、積み重なった可撓性板状体のうち最上層にある１枚だけを分離して取得することが可能となる。

以上説明した本発明の分離取得装置は、全く新規な装置として構成するだけでなく、既存の分離取得装置を改造することによって構成することも可能である。本願の出願前に、可撓性板状体の四隅（４点）を吸着する吸着パッドを有する可撓性板状体の分離取得装置が既に普及している。従って、このような既存の分離取得装置の吸着パッドのうち、可撓性板状体の四隅のうちの一方の対角位置に対向する吸着パッドが吸着動作を行うときに、他方の対角位置に対向する吸着パッドが吸着動作を行わず、好ましくは気体の噴射による加圧動作（真空破壊動作）を行うようにすればよい。その場合、既存の分離取得装置に配管および配線の追加や変更を行うだけで本発明の効果を得ることが可能であるため、本発明の分離取得装置を全く新規に製造する場合や、配管や配線等以外の複雑な機構を追加して機械的な分離取得を実現する場合に比べて、比較的低コストで容易に実現可能である。また、本発明の分離取得装置は、機械的な分離取得を実現する装置に比べて、小型化が可能である。

本発明に係る実施形態の可撓性板状体の分離取得装置の概略構成図である。 リードフレームおよび吸着パッドによる被吸着位置の関係を示した概略図である。 本発明に係る可撓性板状体の分離取得方法を示したフローチャートである。 リードフレーム吸着パッドでリードフレームを吸着したときのリードフレームの概略図である。 リードフレーム吸着パッドでリードフレームを吸着したときの、図２におけるＡＡ’断面の概略図であり、（ａ）は断面図、（ｂ）は（ａ）のＢ部を拡大した図である。 層間紙吸着パッドによる、リードフレーム上での好ましい被吸着位置を示した要部拡大図である。

符号の説明

１ リードフレーム
２ リードフレーム吸着パッド
３ 層間紙吸着パッド
４ リードフレーム穴
５ アイランド
６ リード
７ 判別部
８ ストッカ
９ 外枠
１１制御部
１２切り替えバルブ
１３吸着手段
１４真空破壊手段
１５上下移動機構
１６水平移動機構
１７層間紙廃棄ボックス
１８リードフレーム供給位置
１９ずれ
２１リードフレーム吸着パッドによる被吸着位置
２２層間紙吸着パッドによる被吸着位置

Claims (15)

1. 積層された可撓性板状体を１枚ずつ分離して供給する分離取得装置であって、吸着動作可能な少なくとも１組の吸着パッドを有し、前記１組の吸着パッドが前記可撓性板状体の四隅のうちの一方の対角位置に対向するように配置されており、前記１組の吸着パッドが前記可撓性板状体を吸着し前記吸着パッドを持ち上げることにより、前記可撓性板状体の、吸着状態にある前記１組の吸着パッドが配された前記対角位置同士を結ぶ線上以外の部分が自重により下に撓むようにする、可撓性板状体の分離取得装置。
2. ２組の吸着パッドを少なくとも有し、一方の組の前記吸着パッドは、積層された前記可撓性板状体の四隅のうちの一方の対角位置に対向するように配置され、他方の組の前記吸着パッドは、積層された前記可撓性板状体の四隅のうちの他方の対角位置に対向するように配置され、１組ずつ互いに独立して吸着動作が可能である、請求項1に記載の可撓性板状体の分離取得装置。
3. 前記吸着パッドは、１組ずつ互いに独立して、前記吸着動作と、気体の噴射による加圧動作とを実行可能である、請求項２に記載の可撓性板状体の分離取得装置。
4. 一方の組の前記吸着パッドによる前記吸着動作と、他方の組の前記吸着パッドによる前記加圧動作とを同時に実行可能である、請求項３に記載の可撓性板状体の分離取得装置。
5. 前記吸着パッドのうちの少なくとも１つが、前記可撓性板状体に設けられた穴の上に位置している、請求項１から４のいずれか1項に記載の可撓性板状体の分離取得装置。
6. 一方の組の前記吸着パッドはリードフレーム吸着パッドであり、他方の組の前記吸着パッドは層間紙吸着パッドである、請求項２から４のいずれか１項に記載の可撓性板状体の分離取得装置。
7. 前記層間紙吸着パッドは、前記可撓性板状体であるリードフレームに設けられた穴の上に位置し、前記リードフレーム吸着パッドは前記リードフレームの前記穴以外の部分の上に位置する、請求項６に記載の可撓性板状体の分離取得装置。
8. 最上層の前記可撓性板状体の種類を判別する判別部を有する、請求項１から７のいずれか１項に記載の可撓性板状体の分離取得装置。
9. 積層された可撓性板状体を１枚ずつ分離して取得する分離取得方法であって、前記可撓性板状体の四隅の対角位置に配置した１組以上の吸着パッドで前記可撓性板状体を吸引により吸着し、上昇させることで、前記可撓性板状体の対角線上以外の部分を自重により下に撓ませる、可撓性板状体の分離取得方法。
10. 積層された前記可撓性板状体の四隅のうちの一方の対角位置に対向する位置を、前記吸着パッドで吸引により吸着させ、上昇させる、請求項９に記載の可撓性板状体の分離取得方法。
11. 最上層の前記可撓性板状体の四隅のうちの一方の対角位置を吸引する吸着動作と、他方の対角位置に気体を噴射することによる加圧動作とを行いながら、前記可撓性板状体を吸着している前記吸着パッドを上昇させる、請求項１０に記載の可撓性板状体の分離取得方法。
12. 前記吸着パッドのうちの少なくとも１つが、前記可撓性板状体に設けられた穴の上で前記吸着動作および気体を噴射することによる前記加圧動作を行う、請求項９から１１のいずれか1項に記載の可撓性板状体の分離取得方法。
13. 交互に積層された前記可撓性板状体である層間紙とリードフレームのうちの最上層の前記層間紙または前記リードフレームを分離して取得する分離取得方法であって、前記リードフレームが最上層に位置しているときは、一方の組の前記吸着パッドによる吸着動作を行い、前記層間紙が最上層に位置しているときは、他方の組の前記吸着パッドによる吸着動作を行う、請求項９から１１のいずれか１項に記載の可撓性板状体の分離取得方法。
14. 前記層間紙が最上層に位置しているときは、下層の前記リードフレームの外枠の四隅にあるリードフレーム穴上で吸着動作を行い、前記リードフレームが最上層に位置しているときは、前記リードフレーム穴以外の部分で吸着動作を行う、請求項１３に記載の可撓性板状体の分離取得方法。
15. 最上層の前記可撓性板状体の種類を判別部により判別してから、前記可撓性板状体に対し、前記吸着パッドの各々が前記吸着動作または気体を噴射することによる前記加圧動作を行う請求項９から１４のいずれか１項に記載の可撓性板状体の分離取得方法。

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