TWI285660B - Polymer composition, resist material, and process for forming pattern - Google Patents

Description

1285660 A7 B7 * _ " ' "" '~-—___ 五、發明說明（1 ) 發明背景 本發明係關於一種用於製造半導體裝置之阻體材料， 及一種用於此種阻體材料之聚合物組成物。特別本發明係 關於一種經由施用紫外光，特別波長不大於3〇〇nm之深部 紫外光，氟化氪激光雷射光束等作為曝光能源用來形成正 圖樣之阻體材料，及用於此種阻體材料之聚合物組成物。 晚近趨向於更高密度基體半導體裝置，需要縮短用於 精工，特別光蝕刻術之曝光裝置能源波長，今日慎重考慮 使用深部紫外光（波長300 nm或以下），氟化氪激光雷射 光束(248.4 nm)等。然而，尚未獲得任何用於此種短波長 曝光的實用阻體材料。 •至於可用於使用氟化氪激光雷射光束或深部紫外光作 為光源形成圖樣之阻體材料，已知由對於接近248.4 nm之 光具有高透射率之聚合物及含有重氮二酮基之光敏化合物 組成的溶解抑制型阻體材料(JP-A 1-80944 ; JP-A 1-154048 ； JP-A 1-155338 ； JP-A M55339 ； JP-A 1-188852 ； Y. Tani et ： Proc. SPIE, 1806, 22(1989)，等）。但此等溶解 抑制型阻體材料之敏感度低不適用於需要使用高敏感度阻 體材料之深部紫外光或氟化氪激光雷射光束《又至於降低 曝光所需能源之裝置（南度敏化），曾經提議使用曝光時 產生酸之化學放大型阻體材料作為介質（1仂以&1:?〇1)〇11· Eng· Sci·，23, 1012(1983))，有關此型阻體材料已公開許多 報告（USP 4,491，628(1985) to H. Itoet al (=JP-A 2-27660); USP 4,603,101(1986) to J.C.Crivello et al (=JP-A 62- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -I i_i i_i 1 ϋ ammt 1 ϋ 一：0, ϋ ϋ ϋ ϋ ϋ ϋ ϋ I . 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -4- 1285660 經濟部智慧尉產局唄工消費合作社印製 Τ Ί A7 B7 五、發明說明（2 ) 115440) W.R. Brunsvolt etal ^ Proc. SPIE, 1086，357 (1989); Τ·Χ· Neenan et al: Proc· SPIE，1086· 2(1989)； R.G. Tarascon et al : SPE Regional Conference Technical Papers， Ellenville，N.Y·，1988, p· 11 ; JP-A 2-25850 ; Y. Jian et al : Polym· Mater· Sci· & Eng·，M，41 (1992)等）。然而此等習知 化學放大型阻體材料之缺點為於顯影過程中由於與基質的 黏著性不良容易造成薄膜剝離，特別當用於阻體材料之聚 合物為酚醚型聚合物時尤為如此，例如聚（對-第三丁氧羰 基氧苯乙烯），聚（對-第三丁氧苯乙烯），聚（對-第三 丁氧羰基氧-α-甲基苯乙烯），聚（對-第三丁氧-α·甲基 苯乙烯），聚（對-第三丁基異丙烯基苯氧乙酸酯），聚（對 -窠三丁氧羰基氧苯乙烯/颯），聚（對-四氫哌喃基氧苯乙 烯），聚{對-(1-甲氧乙氧）苯乙烯}，聚{對（1_苯氧乙 氧）苯乙烯}等。其耐熱性也差，因此無法形成良好圖樣。 此等阻體材料之其它問題包含於叛酸-g旨型聚合物例如聚 (對-第三丁基乙烯基苯甲酸酯）及聚（對-四氫哌喃基乙烯基 苯甲酸酯）之例，存在有苯甲醯基而使接近248.4 nm之透光 率不良導致解析度不良，及於聚（第三丁基甲代丙烯酸酯） 等聚合物之例耐熱性不良及耐乾蝕刻性不良。 也曾揭示包括含妙聚合物之阻體材料3-4429〇 等），但由於例如使用聚（對-三甲基矽烷基氧笨乙烯）或聚 (對·第二丁基一甲基石夕烧基氧笨乙稀）之例包含石夕而造成 低敏感度及無法猎灰化滿意地去除，故實用上困難。 後來化學放大型阻體材料可改良此等缺陷，揭系使用 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱） I 篇 — — I — — — — — -裝· — — 訂· — — ！線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 1285660 A7

經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

(對-第二丁氧幾基氧苯乙烯/對-經苯乙稀）之阻體材料 (JP-A 2-209977及JP-A 3-206458)使用聚（對-四氫哌喃基氧 苯乙婦/對-羥笨乙烯）之阻體材料(JP-A 2-19847，Jp-A2-161436及JP-A3_83063)，及使用聚（對_第三丁氧笨乙烯/ 對-羥苯乙烯）之阻體材料[JP_A 2-262544及爪A4- 2丨丨258 OJSP 5’35〇’660)卜然❼包括此等聚合物之阻趙材料無法提 供近年來f界強力需要的高解析度，同時也有延遲時間的 問^由施用阻體至曝光’或由曝光至加熱處理(pEB)中間 隨著時間的經過有圖樣大小改變，圖樣形狀劣化的問題） :ί!:上的懷疑及基質相關性問題（圖樣可否形成依據 :二t趙基質的材料種類例如二氧切，氣化石夕，氮化 鈦，BPSG，聚料）而定的問題。 作為聚合物[例如其中引進祕基或縮嗣基 ==(，氧乙氧笨乙稀/對-經苯乙稀)〕及 (JPA2 16uL —本鹽衍生物或二笨_之阻艎材料 82550^) T，JP'A4'219757, JP-A ^81745, JP-A3- 及延遲時間問題eJP妨二T 合〔例如聚（對]•乙氧乙氧笨:種包括聚合物之組 -1-甲氧-1·甲基乙氣芏r /烯/對-羥苯乙烯），聚（對 乙氧苯乙締/對-=:二對-經笨己稀)，聚(對小乙氧 -卜乙氧乙氧笨乙烯/對_、羥笨甲基甲代丙烯酸醋）或聚（對 產生劑例如重氮二魏反丁稀二腈）〕及光酸 , σ p且體材料。此等材料具有多 2·97公复） > * ^---------線 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

•本紙張尺Μ用” @家標 1285660 經 濟 部 “智 慧 -財 產 局 -員 工 消 費 合 作 社 印 製 A7 發明說明（4 ) 種絕佳品質例如高解析度及最低延遲時間 關性及產生浮㈣問題。JP-A 6- i 94842搞^旦仍有基質相 竭不一種包衽卒人 =組合〔例如聚(對-卜乙氧乙氧苯乙稀…笨乙稀； 二氧苯乙烯）〕及—種光酸產生劑例如重氮二硬化 合物之阻體材料。此種材料雖然解析度、光罩直線性、 熱性及延遲時間絕佳，但無法擺脫基質相關性及浮渣問耐 題。EP-A 679,951報告一種阻體材料以混合使用兩種一不°同 聚合物為特徵：聚（對-1-乙氧乙氧苯乙烯/對_羥笨乙烯） 及聚（對第三丁氧氧苯乙稀/對·經笨乙朴但此種阻 體材料仍有解析度及延遲時間的問題。 、如前述，化學放大型阻體材料比較習知阻體材料敏感 度顯著改良，但仍有其問題例如所用聚合物之耐熱性不〜 良，對基質的黏著性不足，波長約248.4 nm之光之透射率 未療滿意，解析度未臻滿意，隨著時間之經過圖樣尺寸改 I或圖樣形狀劣化，儲存安定性低，焦點邊際不足，光罩 直線性不良，油腳（圖樣底部形狀較寬），產生浮渣及基 質相關性南，結果妨礙此等材料之實用性。因此迫切需要 開發一種不具有前述問題的實用高解析度阻體材料。 有鑑於此，本發明提供一種實用的阻體材料具有紫外 光’特別波長300 nm或以下之深部紫外光，氟化氪激光雷 射光束專之南透射率’同時對曝光於此等光源或電子束戍 軟X光照射具有高敏感度，耐熱性及對基質黏著性絕佳， 具有高解析度，可形成具有高準確度之圖樣而不會引起隨 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -----!!裝·----I--訂----線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 1285660 五、發明說明（5 ) 著時間之經過圖樣尺寸改變，儲存安定性絕佳，具有寬廣 焦點邊際’良好光罩直線性，且無基質相關性，同時也可 產生矩形圖樣而不會引起圖樣形狀底部較寬或產生浮 問題；及用於此種阻體材料之聚合物組成物。 本發明提供-種聚合物組成物包括： ⑴Γ種聚合物⑷含有一種單鱧單位作為其結構組 成分’該早體單位具有一種於酸存在下加熱變成驗可溶之 官能基（後文稱為官能基A);及 ’⑻:種聚合師)含有—種單體單位作為其結構組 成为，該早體早位具有一種於酸存在下加熱變成驗可溶但 比較官能基A不容易的官能基（後文稱為官能基b)。 本發明也提供一種聚合物組成物包括： 、（1 ) 種^合物⑷含有一種單體單位作為其結構組 成刀該單體單位含有於自轉在下加熱變成驗可溶之官能 基A ; 、（U) ^種聚合物(b)含有_種單體單位作為其結構組 成分，該單體單位具有一種於酸存在下加熱變成驗可溶但 比較g能基A不易溶的官能基b;及 (m)-種齡系化合物具有重均分子量於3〇〇至15，_ 之範圍。 本發明又提供一種聚合物組成物包括如上（1 )所述之 聚σ物⑷及如上⑽）所述之重均分子量綱至15,麵之 酚系化合物。 本發明也提供一種包括該聚合物組成物及光酸產生劑 本紙張尺度中關冢標準（CNS)A4規‘⑽x 297公[ -------訂---------線 1^- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 1285660 A7 B7 五、發明說明（6 ) 之阻體材料。 -------------裝—— (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本發明又提供一種圖樣形成方法包括施用阻體材料於 半導體基質上，加熱於基質上的阻體材料，通過光罩使阻 體材料曝光於化學光照射，及若有所需伴以加熱，及進行 顯影。 圖式之簡單說明 第1A至1C圖為使用本發明之阻體材料形成正圖樣方 法中各步驟之剖面示例說明圖。 第2圖為比較例1 -3，10及17中形成0.30 45 L/S圖 樣觀察到失敗之剖面示例說明圖。 第3圖為比較例4，11，13-14，16及21中形成0.3045 L/&圖樣觀察到失敗之剖面示例說明圖。 第4圖為比較例6-7及9中形成0.30 45 L/S圖樣觀 察到失敗之剖面示例說明圖。 綉· 第5圖為比較例5，8，12，15，18及20中形成0.30 45 L/S圖樣觀察到失敗之剖面示例說明圖。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 第6圖為比較例5，8，12及15經150秒烘烤及顯影 後，觀察到形成耐熱性未臻滿意之圖樣之剖面示例說明圖。 較佳具體例之詳細說明 本發明之範例具體例列舉如下。 (1) 一種聚合物組成物包括： (i )一種聚合物（a)含有一種單體單位作為其結構組成 分，該單體單位含有於酸存在下加熱變成鹼可溶之官能基 A ;及 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 2.97公釐） 1285660 A7 五、發明說明（7 , 分，(該料物⑻含有—種單料位作為其結構組成 較官处其△早位具有一種於酸存在下加熱變成驗可溶但比 車“編不易溶的官能基B。 物ibL)白如所述之聚合物組成物，其中聚合物⑷及聚合 ^ 。3有另一個可對聚合物提供耐熱性及對基質黏 者性之單體單位作為其結構組成分。 (3)如（2)所述之聚合物組成物，其中聚合物（a)及聚合 物(b)中之至少一者含有第三單體單位作為其結構組成分。 ()如（1)至（3)中任一項所述之聚合物組成物，其又包 括（迅）具有重均分子量3〇〇至15,〇〇〇之酚系化合物。 (5) 如（1)至(4)中任一項所述之聚合物組成物，其又包 括一種曝光於光化學照射時可產生酸之物質。 (6) 如（5)所述之聚合物組成物，其又包括一種紫外光吸 收劑。 (7) —種聚合物組成物包括（i )聚合物（a)及（iii)具有重 均分子量300至15,000之酚系化合物。 (8) 如（7)所述之聚合物組成物，其又包括一種曝光於光 化學照射時可產生酸之物質。 (9) 如（8)所述之聚合物組成物，其又包括一種紫外光吸 收劑。 (10) —種阻體材料包括如（5)至（9)中任一項所述之聚 合物組成物。 (11) 一種圖樣形成方法’包括施用（1〇)所述< 阻體材料 於半導體基質上’加熱於基質上的阻體材料，通過光罩曝 「紙張尺度刺國家標準(CNS)A4規格⑽x 297公爱） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) I — — — — — — — — — — — — — · 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -10 - 1285660 A7 B7 五、發明說明（8 ) 光於光化學照射，若有所需進一步加熱，及進行顯影。 本發明中，聚合物（a)中具有官能基A之單體單位包含 式[4]表示者：

R

[4] 其中R為氫原子或低碳烷基；R2及R3分別為氫原子，可以 一或多個鹵原子取代之烷基，或烯丙基，或R2及R3連同中 間'的碳原子形成一個伸烷基環，但R2及R33不可同時為氫原 子；R4為烷基或芳烷基其可以一或多個鹵原子取代或芳烷 基。 聚合物(b)中具有官能基B之單體單位包含式[7]表示 者： R6_ m ------裝！ — 訂·！ I! 線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作杜印製 、R7 其中R6為氫原子或低碳烷基；及R7為低碳烷氧基，醯氧基， 飽和雜環系氧基或118〇-0：〇-((：112)2-〇-;118為烷基及2為0或1 或以上的整數。 本發明中，輔助對聚合物提供耐熱性及對基質黏著性 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -11- 1285660 A7

五、發明說明（9 ) 之單體單位包含式[5]表示者 R I •CH” 9·

[5] 其中R為氫原子或低碳烷基:。 本發明之聚合物（a)包含式[1]表示之聚合物 R R R1

I

[1] 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 其中R，R2，R3及R4定義如上；R1為氫原子或低碳烷基； R5為氰基，羧基其可被酯化，或苯基其可含有一或多個取 代基；m及η分別為1或以上的整數；及k為〇或1或以上的 整數(但m> k)。 本發明之聚合物(b)包含式[2]表示之聚合物： I · Μ ^ ί 麯 Κ I I ϋ ϋ n I .1 ϋ n ϋ 1 ^ ϋ I ϋ ^ I ϋ ϋ n H I ϋ ϋ ϋ I ϋ I I I I I ϋ ϋ I I ϋ ϋ ^1 ϋ —«^1 I ϋ I n n I I I · (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 1285660 A7 B7 五、發明說明（ 10

R21 I R6 R6

R 22 [2] 經 濟 部 -智 慧 局 -員 工 消 費 合 作 社 印 製 其中R6及R7定義如上；R21為氫原子或低碳烷基；R22為氰 基，羧基其可經酯化，或苯基其可含有一或多個取代基；P 及r分別為1或以上之整數；及f為0或自然數（但p>f)。 式[1]，[4]及[5]中R表示之低碳烷基，式[1]中R1表示之 低碳烷基，式[2]及[7]中R6表示之低碳烷基，及式[2]中R21 表示之低碳烷基分別包含直鏈或分支烷基，較佳含1至6個 碳原子，例如甲基，乙基，丙基，丁基，戊基及己基。 式[1]及[4]中，R2, R3及R4表示之選擇性以一個鹵原子 取代之烷基可為較佳含1至10個碳原子之直鏈、分支或環系 烷基，例如曱基，乙基，正丙基，異丙基，環丙基，正丁 基，異丁基，第三丁基，第二丁基，正戊基，異戊基，第 三戊基，1-曱基戊基，環戊基，正己基，異己基，環己基， 庚基，辛基，壬基及癸基。 R2，R3及R4表示之可以一或多個函原子取代之烷基中 之鹵原子包含氣、溴、氟及碘原子。 R4表示之芳烷基包含苄基，苯乙基，苯丙基，甲基苄 基，甲基苯乙基及乙基苄基。 式[1]中R5表示之可經酯化之羧基包含羧基及其中氫 原子以例如含1 -6個碳原子之烧基取代之叛基，例如甲氧幾 -------------裝--------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁> 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 2.97公釐） -13- 1285660 A7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

-------訂---------線 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 1285660 A7 B7 五、發明說明（12 ) 正丁氧基，異丁氧基，第三丁氧基，第二丁氧基，正戊氧 基，異戊氧基，正己氧基及異己氧基。 R7表示之醯氧基為較佳含2-7個碳原子之直鏈、分支或 環系醯氧基例如乙醯氧基，丙醯氧基，正丁醯氧基，異丁 醯氧基，正戊醯氧基，特戊醯氧基，異戊醯氧基及環己烧 羰基氧基。 R7表示之飽和雜環系氧基較佳為5-或6-員包含例如四 氫口夫σ南基氧基及四氫派喃基氧基。 R7表示之式R80-C0-(CH2)z-0·中之R8為含1-10個碳原 子之直鏈、分支或環系烧基，例如甲基，乙基，正丙基， 異丙基，環丙基，正丁基，異丁基，第三丁基，第二丁基， 正戎基，異戊基，1-甲基環己基，第三戊基，1-甲基戊基， 環戊基，正己基，異己基，環己基，庚基，辛基，壬基及 癸基。R80-C0-(CH2)z-0-基之範例有甲氧羰基氧基，乙氧 羰基氧基，異丙氧羰基氧基，異丁氧羰基氧基，第三丁氧 羰基氧基，第三戊氧羰基氧基，1-曱基環己基氧羰基甲氧 基，第三丁氧魏基甲氧基及1-曱基環戊氧魏基甲氧基。 式[2]中R22表示可經酯化之羧基包含羧基及取代羧 基，其中氫原子以(^-6烷基取代例如甲氧羰基，乙氧羰基， 丙氧羰基，丁氧羰基，戊氧羰基及己氧羰基。 R22表示之選擇性取代苯基之取代基包含鹵原子例如 氣、溴、氟及填原子；較佳含1-10個碳原子之直鏈、分支 或環系烷基，例如甲基，乙基，正丙基，異丙基，環丙基， 正丁基，異丁基，第三丁基，第二丁基，正戊基，異戊基， 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X巧7公釐） -------------裝—— (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂： 線. 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1285660 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明（13 ) 第三戊基，1-甲基戊基，環戊基，正己基，異己基，環己 基，庚基，辛基，壬基及癸基；較佳含1-6個碳原子之直鍵 或分支烧氧基例如曱氧基，乙氧基，正丙氧基，異丙氧基， 正丁氧基，異丁氧基，第三丁氧基，第二丁氧基，正戊氧 基，異戊氧基，正己氧基及異己氧基；含2-7個碳原子之直 鏈、分支或環系醯基例如乙醯基，丙醯基，正丁醯基，異 丁醯基，正戊醯基，特戊醯基，異戊醯基及環己烷羰基； 5-或6-員飽和雜環系氧基例如四氫呋喃基氧基及四氫哌喃 基氧基；及R250_C0_(CH2)j0-表示之基（其中R25表示含1_6 個碳原子之低碳烷基例如甲基，乙基，丙基及丁基；及j 為0或1)。R250-C0-(CH2)j0_表示之基之範例包含甲氧羰 基I基，乙氧羰基氧基，異丙氧羰基氧基，第三丁氧羰基 氧基，異丁氧羰基氧基，第三戊基氧羰基氧基，乙氧羰基 曱氧基，第三丁氧羰基甲氧基，1-甲基環戊基氧羰基曱氧 基及1-甲基環己基氧羰基甲氧基。 R22表示之經取代的苯基包含，例如甲基乙氧苯乙烯、 乙氧苯乙烯、丙氧乙氧苯乙烯、丁氧苯乙烯及環己基苯乙 稀。 本發明之阻體材料包含含有根據本發明之聚合物（a) 及(b)之本發明之聚合物組成物，其特徵為： 合併使用含有例如式[1]表示之重複單位之聚合物（a): 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -16- -----------------I--訂---------線 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 1285660 A7 B7 R R1

五、發明說明（14 )

R

[1] (其中R，Ri，R2，R3，R4，R5，m，n及k定義如上）其組 成為： 具有易使用小量酸去除之官能基A之單體單位，例如 式[3]表示者： : - 0 - 0-〇-尺4 [ 3 ] R3 (其中R2，R3及R4定義如上）亦gp烧氧烧氧基，鹵烧氧烧 氧基，芳烷氧烷氧基，烷氧-1-烯丙基烷氧基，鹵烷氧-1-烯丙基烷氧基，芳烷氧-1-烯丙基烷氧基等，亦即式[4]表示 之單體單位··

R

I —^C—ch2—— 2 [4] R2 O-C-0Ra 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） ----!1-裝 — II 訂·！-線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

-17- 1285660 五、發明說明（15 ) (其中R，R2，R3及R4定義如上）， 可促成對基質之黏著性及耐熱性 w 式[5]表示者： ^單位 例如

R -CH,

[5] (其中R定義如上），及、選擇性用於改良曝光部分之透光率，控制曝光部分之 顯影速度俾獲得較佳側壁構型或改良光罩直線性之單體單 位，例如式[6]表示者：

2 Η c l Γ PTC—R ί靖先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) Φ-------訂---------線 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (其中R1及R5定義如上）；及 例如具有式[2]表示之重複單位之聚合物(b): J6 R6 R21 H-C—CH2-^~tC—CH2^——e 1 、R7

[2]

OH

R 22 (其中尺，尺7’汉21，尺22，卩，1#及[定義如上），其組成為 -18 - 本紙張尺度適时關家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱） 1285660 A7 B7 16 五、發明說明（ 具有可降低顯影劑之溶解速率作用之單體單位，例如 式P]表示者： R6 I —C—CHr [7] ‘R7 (其中R6及R7定義如上）， 可改良基質黏著性及耐熱性之單體單位例如式[8]表 不者·

一 C一 CH 0 OH

[8] 及 選擇性添加供控制顯影過程中之溶解速率之單體單位 例如式[9]表示者： -------------裝--------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 [9] R21 -占一 C Η 2 (其中R21及R22定義如上）。 又本發明之阻體材料包括本發明之聚合物組成物含有 (i )聚合物（a)，（ii)聚合物(b)，及若有所需（iii)具有重均分 私紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -19· A7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1285660 -2Z-- 五、發明說明（17 ) 子量300·15,000之酚系化合物，其特徵為具有重均分子量 300-15,000之酚系化合物傾向於控制顯影過程中之溶解速 率者與式[1]聚合物及式[2]聚合物合併使用^聚合物(的之 較佳用量相對於每100份重量比聚合物（&)為1〇至9〇份重量 比，更佳10至50份重量比。二成分式組成物中聚合物(匕） 之較佳用量相對於每100份重量比聚合物（&)為1〇至65份重 里比，更佳10至50份重篁比，而盼系化合物之用量較佳為1 至30份重量比，更佳1至20份重量比。 又包括本發明之聚合物組成物之阻體材料含有（i )聚 合物（a)及（iii)具重均分子量3〇〇·ΐ5,〇〇〇之酚系化合物，其 特徵為合併使用例如式[1]表示之聚合物及具有重均分子 量h00-15,000之紛系化合物，其用來控制顯影速度。紛系 化合物之較佳用量相對於每100份重量比聚合物（〇為1至 50份重量比，更佳1至30份重量比。 當本發明之聚合物組成物用作阻艘材料之基本成分 時，使用式[1]表示之聚合物對於改良解析度及圖樣尺寸的 維持（參見延遲時間）極佳，原因為式[3]表示之官能基比 較習知官能基（例如第三丁氧幾基氧基，第三丁氧基，四 氮旅南基氧基及第二丁氧幾基甲氧基）遠更容易藉酸作用 去除。 式[2]聚合物及前述具有重均分子量獅即⑼之盼系 化合物可改良式⑴化合物所無法達成的焦點邊際 、光罩直 線性及圖樣側壁構型，由於i 取A /、了控制顯影過程中於顯影劑 之溶解速率之故。也增進聚合物組成物之耐熱性。併用至 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 2&公$ — — — — — — — — I - I I I I I — — — — — — — i-^wi (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -20· 1285660 A7 五、發明說明（18 ) 少一種式[1]化合物，至少一種式[2]化合物及一種具有重均 分子量30(Μ5,000之酚系化合物可產生抵消個別聚合物之 缺陷效果，因而可達成預期目的，亦即提高解析度及基質 黏著性，隨著時間之經過維持圖樣尺寸，及改良光罩直線 性及焦點邊際。也需注意，用於本發明之式[2]聚合物為式 [9]單體單位比式[7]單體單位更少及其重均分子量低於式 [1]化合物者，或於具重均分子量300·15,000之酚系化合物 併用該等聚合物之例中，可最有效達成前述效果同時解決 基質相關性問題。 經 濟 部 智 慧 Μ 產 局 •員 工 消 費 合 作 社 印 製 --------------裝--- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) .線· ，式[4]表示之單體單位包含例如對·或間_羥苯乙烯衍生 物〇對-或間·經·α_甲基苯乙稀衍生物之單體單位。特別此 ^單體包含對或間_1_甲氧小甲基乙氧苯乙烯，對·或間·卜 节氧-1-甲基乙氧苯乙稀，對·或間]•乙氧乙氧苯乙稀，對· 或間小甲氧乙氧苯乙烯，對_或間小正丁氧乙氧苯乙烯， 對-或間異丁氧乙氧苯乙稀’對-或間小(1，1_二甲基乙 氧)-1-甲基乙氧苯乙烯，對·或間小(u_二甲基乙氧）乙氧苯 乙烯對-或間-1-(2-氣乙氧）乙氧笨乙稀，對-或間小(2_乙 基己氧)乙氧苯乙烯，對·或間乙氧·^甲基乙氧苯乙烯， 對-★或間-1-正丙氧乙氧苯乙稀，對·或間小甲基·卜正丙氧乙 ^乙稀，對-或間小乙氧丙氧笨乙稀，對·或間小甲氧丁 氧本乙稀，對-或間-1·甲氧環己氧苯乙缚，對-或間小乙酿 ^曱基乙氧笨乙稀，及具有前述對·或間養笨乙稀衍生 物之相同保護基的對-或間甲基苯乙稀衍生物。 式m表示之單體單位包含下列單體單位例如苯乙 本紙張尺I· t _家經規格⑵〇_ x ?97公釐） 1285660 A7 五、發明說明（19 ) 稀，間-或對甲氧笨乙稀，間.或對或 對-第三丁氧苯乙稀，間-或對·，環已氧苯乙稀，間.或對小 甲基環己氧苯乙埽，間_或對]·甲基環戊氧苯乙稀，間-或 對-四氫料基氧笨乙稀，間.或對_四氣咬喃基氧苯乙稀， 間-或對-乙醯氧苯乙稀，間-或對-異丁酿氧苯乙稀’間-或 對-特戊酿氧苯乙烯，間·或對·環己烧幾基氧苯乙烯，間· 或對甲氧氧笨乙稀，間-或對-乙氧幾基氧苯乙稀’間 -或對·異丙氧幾基氧苯乙稀’間-或對-異丁氧幾基氧苯乙 烯，間·或對-第二丁氧羰基羞贫 土氧本乙烯，間-或對-第三丁氧羰 基氧本乙稀，間·或對-異戊氧幾基氧苯乙稀，間·或對·第三 j幾基氧苯乙烯’ 甲基環戊基間_或對·乙烯基苯氧乙 酸輯，1-曱基環己基間-或對·乙稀基苯氧乙酸醋，及 前述苯乙婦衍生物之相同取代基之^甲基苯乙稀衍生 式’不之單體單位包含下列單體單位例如笨乙 稀，心甲基苯乙浠，對·氣苯乙稀，鄰.、間·或對-甲 乙烯，鄰_、間或對-甲氧苯乙稀，對.正丁基苯乙稀，土 乙氧苯乙烯，間-或對-1·甲基環己氧苯乙烯，間或對七甲 基環戊氧苯乙稀，間·或對·第三丁氧笨乙稀，間_或對-四氣 哌喃基氧苯乙烯，間-或對·四氫呋喃基氧笨乙烯，間-或對 -曱氧幾基氧苯乙烯，間-或對·乙氧幾基氧苯乙烯，間-或對 -異丙氧羰基氧苯乙烯，間-或對-異丁氧羰基氧苯乙烯，間 -或對-第三丁氧羰基氧苯乙烯，間-或對-異戊氧羰基氧笨2 烯，間-或對-第三戊氧羰基氧苯乙烯，第三丁基間·或對- 乙稀基本氧乙酸醋’ 1-曱基環戍基間-或對·乙稀基笨氧乙 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 2.97公釐 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 饑 I --------訂---------線· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -22- 128566〇

經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

=，1·甲基環乙己基間·或對·乙稀基苯氧乙酸醋，及具 有别述苯乙烯衍生物之相同取代基“·甲基苯乙稀衍生 :，及丙烯腈’甲代丙稀酸，丙烯酸，甲基甲代丙稀酸醋， 第二丁基甲代丙烯酸醋，環己基甲代丙烯酸醋等單體單位。 式m表示之單趙單位包含例如對·或間·經苯乙稀衍生 ，及對·或_甲基苯乙烯衍生物之單體單位4別此 等單體包含對·或間]·曱氧小甲基乙氧苯乙稀，對·或間· +氧-1-甲基乙氧苯乙稀，對_或間]乙氧乙氧苯乙稀，對_ 或間甲氧乙氧苯乙烯，對-或間·卜正丁氧乙氧苯乙稀， 對-或間]-異丁氧乙氧苯乙稀’對·或間小(1山二甲基乙 氧M-甲基乙氧苯乙烯，對-或間·二甲基乙氧)乙氧苯 乙稀’對-或間-1-乙氧-i-曱基乙氧苯乙稀，對-或間小正丙 氧乙氧苯乙烯，對·或間」·甲基]•正丙氧乙氧苯乙烯，對_ 或間小甲氧丁氧苯乙稀，對_或間小甲氧環己氧苯乙婦， 對-或間_1.乙醯氧4甲基乙氧笨乙稀’及具有前述對·或間 -羥-苯乙烯衍生物之相同保護基的對_或間_羥-0;·甲基苯 乙烯衍生物。 組成式[1]聚合物之式[5]單體單位及組成式[2]聚合物 之式[8]單體單位為含i系縣之單體。此等單體範例有對 -或間-乙烯基酚及對-或間_羥-〇; _甲基苯乙烯。 式[1]聚合物及式[2]聚合物於某些例中可由相同單體 單位組成，但實際上此等聚合物彼此不同，原因為聚合物 (a)中使用單體單位[4]多於單體單位[6]供增大曝光部分與 未曝光部分於顯影劑之溶解速率俾確保高解析度；而聚合 本紙張尺度適用中國國豕標準（CNS)A4規格（210 X 297公餐） ------------Μ-------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 線- -23-

CH2-h-ί-c · CHr^hr l28566〇 五、發明說明（21 ) 中單料位[9]少於單料位⑺俾㈣㈣速率來改 良側壁構型及基質相關性。 聚合物[1]中單想單位[4]及單體單位⑹總數之組成比 、常為10至90 mol%，於此範圍内之任一種比例皆適用於 本發明之阻雜料’但就聚合物耐熱性、基質黏著性及光 罩直線性而言以20至50 m〇l%比為佳。 聚合物[1]中單體單位[6]之組成比通常為〇至25%，但〇 至15 mol%之比為佳，原因為此範圍内比值可改良光罩直 線，而未影響聚合物解析度。就解析度等而言，也希望單 趙單位[4]之含量多於單體單位[6]。 •聚合物[2]中單體單位[7]之組成比通常為1〇至5〇 m〇1 % ’而於此範圍内之任何比值皆適用於本發明之阻體材 料，但鑑於改良聚合物耐熱性及基質黏著性並防止延遲時 間形成表面不可溶層，以15至4〇111〇1%之比為佳。 聚合物[2]中單體單位[9]之組成比通常為〇至2〇111〇1 %，但欲求改良側壁構型同時維持解析度以〇至15 ^〇1%之 比為佳。也希望改良側壁構型及基質相關性，故單體單位 [7]之含量大於單體單位[9]。 聚合物（a)中較佳者為具有下式重複單位者： Η ti 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 χ 297 ^

!1· — — — 訂 - ---- - --線· (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 24- 1285660 五、發明說明（22 其中R2及R3分別為氯原子，含…個碳原子之直鍵或分支 烷基仁R及反3不可同時為氫原子；r4為含1至4個碳原子 之直鍵或分支境基；以5為無取代或取代苯基；m，η及 別為1^上<整數；&m>k。 聚合物(b)中較佳為具有下式重複單位者：

Η [2，j 為含1至4個碳原子; 基；…或二或整數1;R22為無取代或取代苯 另J為1或以上之整數，及p>f。 下列式[1]表示之聚合物範例： =甲“甲基乙氧)笨乙缔/對.經 (1 My基乙氧)苯乙浠/對 ’ ’聚[對 〜笨叫聚心甲氣聚[對似 經 濟 部 智 慧 -財 產 局 -員 工 消 費 合 作 社 印 製 ’羥笨乙烯]，聚[對仆正 6氧)笨乙)fc =[對仆甲氧-1·甲基乙氧)苯乙=埽，對姻 甲氧·1•甲基乙氧二，笨乙稀， 經笨乙稀本二其聚f州 乙烯 、甲基本乙烯，聚[對_(1-甲4 乙烯/對- 對-經笨乙歸/對_甲氧笨乙烯] --- 于彳1·甲氧-1- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1285660 • A7 _B7_I_ 五、發明說明（23 ) 甲基乙氧）苯乙烯/對-羥苯乙烯/對-第]三丁氧苯乙烯]， 聚[對-(1-甲氧-1-甲基乙氧）苯乙烯/對-羥苯乙烯/對-1-甲基環己氧苯乙烯]，聚[對-(1-甲氧-1-甲基乙氧）苯乙烯/ 對-羥苯乙烯/甲基曱代丙烯酸酯]，聚[對-(1-甲氧-1-甲基 乙氧）苯乙烯/對-羥苯乙烯/第三丁基甲代丙烯酸酯]，聚 [對-(1-甲氧-1-曱基乙氧）苯乙烯/對-羥苯乙烯/丙烯 腈]，聚[對-(1-苄氧-1-甲基乙氧）苯乙烯/對-羥苯乙烯/苯 乙烯]，聚[對-(1-苄氧-1-甲基乙氧）苯乙烯/對-羥苯乙烯/ 對-氣苯乙烯]，聚[對-(1-苄氧-1-甲基乙氧）苯乙烯/對-羥 苯乙烯/對-甲基苯乙烯]，聚[對-(1-苄氧-1-甲基乙氧）苯乙 烯/對-羥苯乙烯/對-乙氧苯乙烯]，聚[對-(1·苄氧-1-甲基 乙^)苯乙烯/對-羥苯乙烯/對-第三丁氧苯乙烯]，聚（對 -1-乙氧乙氧苯乙烯/對-羥苯乙烯/苯乙烯），聚（對-1-乙氧 乙氧苯乙烯/對-羥苯乙烯/對-氣苯乙烯），聚（對-1-乙氧 乙氧苯乙烯/對-羥苯乙烯/對-甲基苯乙烯），聚（對-1-乙 氧乙氧苯乙烯/對-羥苯乙烯/間-甲基苯乙烯），聚（對-1-乙氧乙氧苯乙烯/對-羥苯乙烯/甲基曱代丙烯酸酯），聚 (對-1·乙氧乙氧苯乙烯/對-羥苯乙烯/環己基甲代丙烯酸 酯），聚（對-1-乙氧乙氧苯乙烯/對-羥苯乙烯/第三丁基甲 代丙烯酸酯），聚（對-1-乙氧乙氧苯乙烯/對·羥苯乙烯/丙 烯腈），聚（對-1-乙氧乙氧苯乙烯/對-羥苯乙烯/對-曱氧 苯乙烯），聚（對-1-乙氧乙氧苯乙烯/對-羥苯乙烯/對-乙 氧苯乙烯），聚（對-1-乙氧乙氧苯乙烯/對-羥苯乙烯/對-第三丁氧苯乙烯)，聚（對-1-乙氧乙氧苯乙烯/對-羥苯乙烯 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -丨, I 丨 I —丨丨 I · -26- 1285660 A7 B7 五、發明說明（24 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 /丙烯酸），聚（對·1·乙氧乙氧苯乙烯/對-羥苯乙烯/對-曱氧羰基氧苯乙烯），聚（對-1-乙氧乙氧苯乙烯/對-羥苯乙 烯/對-乙氧羰基氧苯乙烯），聚（對-1-乙氧乙氧苯乙烯/對 -羥苯乙烯/對-異丙氧羰基氧苯乙烯），聚（對-1-曱氧乙氧 苯乙烯/對-羥苯乙烯/對-異丁氧羰基氧苯乙烯），聚（對 -1-乙氧乙氧苯乙烯/對-羥苯乙烯/對-異丁氧羰基氧苯乙 烯），聚（對-1-乙氧乙氧苯乙烯/對-羥苯乙烯/對-異戊氧 羰基氧苯乙烯），聚（對-1-乙氧乙氧苯乙烯/對·羥苯乙烯/ 對·1·甲基環己氧苯乙烯），聚（對-1-甲氧乙氧苯乙烯/對-羥苯乙烯/苯乙烯），聚（對-1-甲氧乙氧苯乙烯/對-羥苯乙 烯/對-曱基苯乙烯），聚（對-1-甲氧乙氧苯乙烯/對-羥苯 乙>稀/間-甲基苯乙烯），聚（對-1-甲氧乙氧苯乙烯/對·羥 苯乙烯/對-氣苯乙烯），聚（對-1-甲氧乙氧苯乙烯/對-羥 苯乙烯/對-甲氧苯乙烯），聚（對-1-甲氧乙氧苯乙烯/對· 羥苯乙烯/對-乙氧苯乙烯），聚（對-1-甲氧乙氧苯乙烯/對 -羥苯乙烯/對-第三丁氧苯乙烯），聚（對-1-甲氧乙氧苯乙 烯/對-羥苯乙烯/對-1-甲基環己氧苯乙烯），聚（對-1-甲氧 乙氧苯乙烯/對-羥苯乙烯/甲基曱代丙烯酸酯），聚（對-1· 曱氧乙氧苯乙烯/對-羥苯乙烯/第三丁基曱代丙烯酸 酯），聚（對-1-曱氧乙氧苯乙烯/對-羥苯乙烯/丙烯腈）， 聚（對-1-正丁氧乙氧苯乙烯/對·羥苯乙烯/對-正丁基苯 乙烯），聚（對-1-異丁氧乙氧苯乙烯/對-羥苯乙烯/鄰-曱 氧苯乙烯），聚對-[(1，1-二曱基乙氧)·1-甲基乙氧]苯乙烯/ 對-羥苯乙烯/間-甲氧苯乙烯，聚[對-(1，1-二甲基乙氧:)-1- -27· 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1285660 , A7 _B7_I_ 五、發明說明（25 ) 曱基乙氧苯乙烯/對-羥苯乙烯/鄰-甲基苯乙烯]，聚（對 -1-乙氧乙氧苯乙烯/對-羥苯乙烯/對·乙醯氧苯乙烯），聚 (對-1·乙氧乙氧苯乙烯/對-羥苯乙烯/對-特戊醯氧苯乙 烯），聚（對-1-乙氧乙氧笨乙烯/對-羥苯乙烯/對-環己烷 羰基氧苯乙烯），聚[間-1-(2-氣乙氧）乙氧苯乙烯/間-羥苯 乙烯/苯乙烯]，聚[間-1-(2-乙基己氧）乙氧苯乙烯/間·羥 苯乙烯/間-甲基苯乙烯]，聚[對-(1-甲氧-1-甲基乙氧)-α-曱基苯乙烯/對-羥-α-甲基苯乙烯/苯乙烯]，聚[對_(1_ 乙氧-1-曱基乙氧)-苯乙烯/對-羥苯乙烯/對-曱基苯乙 烯]，聚（對-1-正丙氧乙氧苯乙烯/對-羥苯乙烯/對-甲氧 苯乙烯），聚[對-(1-甲基-1-正丙氧乙氧）苯乙烯/對-羥苯乙 烯/對-曱基苯乙烯]，聚（對-1-乙氧丙氧苯乙烯/間-羥苯 乙烯/間-第三丁氧苯乙烯），聚（間-1-乙氧丙氧苯乙烯/間 -羥苯乙烯/對-甲基苯乙烯），聚（間-1-甲氧-1-甲基乙氧苯 乙烯/間-羥苯乙烯/間·第三丁氧苯乙烯），聚[對-1-乙氧 乙氧苯乙烯/對-羥苯乙烯/對-四氫呋喃基氧苯乙烯]，聚 [對-1-乙氧乙氧苯乙稀/對-經苯乙稀/對·四氮旅11 南基氧 笨乙烯]，聚[對-1-甲氧乙氧苯乙烯/對-羥苯乙烯/對-四 氫哌喃基氧苯乙烯]，聚[對-1-乙氧乙氧苯乙烯/對-羥苯乙 烯/對-第三丁氧羰基氧苯乙烯]，聚[對-1-甲氧乙氧苯乙烯 /對-羥苯乙烯/對-第三丁氧羰基氧苯乙烯]，聚[對-(1-曱 氧-1-甲基乙氧）苯乙烯/對-羥苯乙烯/對-第三丁氧羰基 氧苯乙烯]，聚（對-1-乙氧乙氧苯乙烯/對-羥苯乙烯/第三 丁基對-乙烯基苯氧乙酸酯），聚（對-1·甲氧乙氧苯乙烯/對 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） •28· — — — — — — — — — — — — — — — — — — — — ^ ·1111111 I (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 1285660 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

-經本乙稀/第三丁義 氧乙氧苯乙婦/對乙歸基笨氧乙酸酯），聚(對小甲 氧乙酸醋}，聚[間七乙/烯甲基環己基對-乙婦基苯 第三丁氧羰基氧笨乙嫌乙氧本乙烯/間-羥笨乙烯/間-羥苯乙烯/間-第三丁知〜聚（間-“乙氧乙氧苯乙烯/間-/間-羥笨乙烯/間_第：乙聚(間小乙氧乙氧笨乙力 苯乙烯/間小乙氧乙氧:丁氧本乙稀），聚（對-1-乙氧乙氧 烯/對-第三丁氧苯乙婦對遣苯乙稀/間-經笨乙 小甲氧丁氧苯乙稀/對第三丁，乙烯），及聚(對 示之聚合物非僅限於上示者本。乙婦/笨乙稀）°當然式[1]名 以下為式[2]表示之聚合物 聚(對-羥苯乙烯/苯乙烯)， 聚(對·甲基苯乙烯/對_ 聚(對-甲氧苯乙烯/對-經笨乙歸）， 聚(對-乙基苯乙烯/對·經笨乙綠 聚(對-乙氧苯乙稀/對-經笨乙稀） 笨乙稀)， 聚(對-第二丁基本乙烯/對 賴-第三丁氧笨乙缔，對 ： 聚甲基環己基氧笨乙^對 聚(間·第二丁氧笨乙烯，間、 聚(對_甲氧幾基氧苯乙稀/對，笨=)’ 對-乙氧友基氧笨乙歸4· 聚(對·異丙氧幾基氧笨乙歸/對々笨=)，

本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格(2lu X 297

•裝 1^· --線· (閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -29· 1285660 A7 B7 五、發明說明（27 ) 聚（對·異丁氧羰基氧苯乙烯/對-羥苯乙烯）， 聚（間-異丁氧羰基氧苯乙烯/間·羥苯乙烯）， 聚（對-第三丁氧羰基氧苯乙烯/對-羥苯乙烯）， 聚（間-第三丁氧羰基氧苯乙烯/對-羥苯乙烯）， 聚（對-異戊氧羰基氧苯乙烯/對·羥苯乙烯）， 聚（間-異戊氧羰基氧苯乙烯/間·羥苯乙烯）， 聚（對-第三戊氧羰基氧苯乙烯/對-羥苯乙烯）， 聚（對-乙醯氧苯乙烯/對-羥苯乙烯）， 聚（對-異丁醯氧苯乙烯/對-羥苯乙烯）， 聚（對-特戊醯氧苯乙烯/對-羥苯乙烯）， 聚（對-環己烷羰基氧苯乙烯/對-羥苯乙烯）， 聚（對-第二丁氧羰基氧苯乙烯/對-羥苯乙烯）， 聚（對-四氫呋喃基氧苯乙烯/對-羥苯乙烯）， 聚（對·四氫哌喃基氧苯乙豨/對-羥苯乙烯）， 聚（間-四氫哌喃基氧苯乙烯/間-羥苯乙烯）， 聚（對-第三丁基乙烯基苯氧乙酸酯/對-經苯乙烯）， 聚（對-1-甲基環己基乙烯基苯氧乙酸酯/對-羥苯乙 烯）， 聚（苯乙烯/對-羥苯乙烯/對-1-甲氧乙氧苯乙烯）， 聚（對-甲基苯乙烯/對-羥苯乙烯/對-1-甲氧乙氧苯 乙烯）， 聚（對·甲基苯乙烯/對-羥苯乙烯/對-1-曱氧乙氧苯 乙烯）， 聚（對·第三丁基苯乙烯/對-羥苯乙烯/對-1-曱氧乙 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) *· -I ·1111111 ^ ·11111111 j 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1285660 A7 B7 28 五、發明說明（ 氧苯乙烯）， 聚（苯乙烯/對-羥苯乙烯/對-1-乙氧乙氧苯乙烯）， 聚（對-甲基苯乙烯/對-羥苯乙烯/對-1-乙氧乙氧苯 乙烯）， 聚（間-甲基苯乙烯/對-羥苯乙烯/對-1-乙氧乙氧苯 乙烯）， 聚（對-曱基苯乙烯/對-羥苯乙烯/對-1-乙氧乙氧苯 乙烯）， 聚（對-第三丁基苯乙烯/對-羥苯乙烯/對-1-乙氧乙 氧苯乙烯）， 聚（對-第三丁基苯乙烯/對-羥苯乙烯/對-1-乙氧乙 氧%苯乙烯）， 聚（聚乙烯/對-羥苯乙烯/對-1-甲氧-1-甲基乙氧苯 乙烯）， 聚(對·曱基苯乙烯/對-羥苯乙烯/對-1-甲氧-1-甲基 乙氧苯乙烯）， 聚（對-曱氧笨乙烯/對-羥苯乙烯/對-1-甲氧-1-甲基 乙氧苯乙烯）， 聚（對-第三丁基苯乙烯/對-羥苯乙烯/對-1-甲氧-1-甲基乙氧苯乙烯）， 聚（對-第三丁氧苯乙烯/對-羥苯乙烯/對·1-曱氧-1-曱基乙氧苯乙烯）， 聚（苯乙烯/對-羥苯乙烯/對-1-苄氧乙氧苯乙烯）， 聚（對-曱基苯乙烯/對-羥苯乙烯/對-1-苄氧乙氧苯 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） --------!1裝 —1— 訂·！ I! 線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經 濟 部 智 慧 -財 產 局 -員 工 消 費 合 作 社 印 製 -31- 1285660 A7 五、發明說明（ 29 乙烯）， 聚（對-曱基苯乙烯 乙烯)， 乙烯/斟十 苄氣 聚（對-第三丁基笨乙烯 氧苯乙烯）， 本乙场 聚（對-第三丁氧苯 氧苯乙烯）， 聚（對-乙氧幾基氧笨乙烯/對 乙氧苯乙烯）， 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 乙烯羥笨乙烯/ m笨己烯/對丄 聚（對-乙氧羰基氧苯乙烯/對、〜 乙氧苯乙烯）， 笨乙烯/fhK '聚（對·乙氧羰基氧笨乙烯 -1-曱基乙氧苯乙烯）， -本乙歸/對_1、甲氣 聚（對-第三丁氧羰基氧笨乙歸/ 甲氧乙氧苯乙烯）， 對_經笨乙烯 聚（對·第三丁氧羰基氧笨乙烯/、、 乙氧乙氧苯乙烯）， 訝·羥笨乙烯/對4 聚（對-第三丁氧羰基氧笨乙烯/、 甲氧_1_曱基乙氧苯乙烯）， 對-羥笨乙烯/對 聚（對-第三丁氧羰基氧苯乙烯 千氧乙氧苯乙稀）， 斜經笨乙埽/對_ι_ 聚（對-乙醯氧苯乙烯/對^里 苯乙烯）， 缔/對·*1-乙氧乙氧 聚（對-四氫哌喃基氧笨乙烯/對、

G張尺度適用中國國家標準(CNS)X^規格⑽X 對. “苄氣 乙 甲氣 乙氣 笨乙烯/對-丨_甲 • -AJ 111 — — — — — — — — — — — ------I ^ « — — — — — 1!^ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -32- 1285660 A7 B7 五、發明說明（3G ) 氧乙氧苯乙烯）， 聚（對-四氫哌喃基氧苯乙烯/對-羥苯乙烯/對-1-乙 氧乙氧苯乙烯）， 聚（對-四氫哌喃基氧苯乙烯/對-羥苯乙烯/對-1-甲 氧-1-甲基乙氧苯乙烯）， 聚（對-1-曱基環己基乙烯基苯氧乙酸酯/對-羥苯乙烯 /對-1-曱氧乙氧苯乙烯）， 聚（對-1-甲基環己基乙烯基苯氧乙酸酯/對-羥苯乙稀 /對-1-乙氧乙氧苯乙烯），及 聚（對-1_甲基環己基乙烯基苯氧乙酸酯/對-羥苯乙稀 /對-1-甲氧-1-甲基乙氧苯乙烯）。當然式[2]表示之聚合物 非僅限於上示者。 式[1]或式[2]表示之聚合物易根據下列方式（a)-(d)之 任一種方法獲得。 (a)方法1 式[10]表示之單體： -------------裝--------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

(其中R定義如上）及若有所需式[11]表示之單體： -33- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 1285660 A7 B7 五 、發明說明（31

Η C 1 = 5 I 1 1 [ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (其中R及R5定義如上）根據習知聚合物製備方法於 溶劑〔例如甲苯，1，4-二氧陸圜，1，2·二曱氧乙燒，f機 ^ 喃，異丙醇，2-甲氧丙醇，二氧伍圜，乙酸乙妒， 曰，甲 乙基甲明荨〕於基圈聚合引發劑〔例如偶氣型聚合 例如2,2’-偶氮貳異丁腈，2,2，·偶氮貳甲基丁腈），2,2= 氮貳(2,4-二甲基戊賸），2,2，_偶氮貳（甲基甲基丙酸酯）， 2,2’-偶氮貳（乙基2-曱基丙酸酿），2,2，_偶氮貳（甲基2_甲基丁 酸酯）等；或過氧化物型聚合引發劑例如過氧化笨曱醯，過 氧化月桂醯，貳(4·第三丁基環己基)過氧二碳酸酯，過氧 化二-第三丁基，第三丁基過氧孓乙基己酸酯，第三丁基過 氧苯曱酸酯，1，1-貳（第三丁基過氧)-3,3,5-三甲基環己烷 等〕存在下於氮氣或氬氣流下於50-:1201聚合1-1〇小時。 至於聚合物引發劑，較佳非腈類別例如2,2，-偶氮貳（甲基2-甲基丙酸酯），2,2f-偶氮貳（乙基2-甲基丙酸酯），2,2，-偶氮 家（甲基2-曱基丁酸酯）等用作此型聚合引發劑者適合生產 低分子量聚合物，原因為於有機溶劑内之溶解度高，同時 就處理安全性及毒性而言較佳。欲獲得具有低分散性之聚 合物’推薦於脫水有機溶劑〔例如6醚，；[，2_二甲氧乙烷， 四鼠°夫喃’甲基乙基甲酿I，1，3_二氧伍園，乙酸乙酯，曱 苯等〕於觸媒例如正丁鋰，環烷酸鉀等存在下於氮氣或氬 本紙張尺度週用T國國豕標準（qsJS)A4規格（210 X 297公釐） • I M W — — — lull — — — — l I I I Γ请先閱讀背面<注意事項再填寫本頁} -34- 1285660 , A7 ^_B7___ - ，•- 五、發明說明（32 ) 氣流下於低於-50°C之低溫進行陰離子活性聚合反應1-20 小時。反應產物根據習知方法接受後處理分離式[12]表示 之聚合物： R1 i： 〔其中R^RhR5及k定義如上；e表示自然數（但0.75Se/(k+e) S0.99)〕。然後此種聚合物與適當酸〔較佳無機酸例如 硫酸，磷酸，氫氣酸，氫溴酸等，其它路易士酸，或有機 酸例如對-曱苯磺酸，丙二酸，草酸等〕於有機溶劑〔例如 四氫吱11 南，丙酮，甲醇，乙醇，異丙醇，正丙醇，正丁醇， 第二丁醇，第三丁醇，1，4-二氧陸圜，1，3-二氧伍圜等〕於 30-110°C反應1-20小時而徹底去除第三丁基官能基。反應 產物進一步根據習知方法後處理而分離式[13]表示之羥苯 乙烯聚合物： ---------------------^--------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) k [12]

R

經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 R (C-CH2 )

0H e -（0 - CH2 ) k [13] (其中R，R1，R5，e及k定義如上）。此種聚合物又與式[14] 表示之乙烯基醚或異丙烯基醚化合物： 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1285660 • A7 ________B7___ 五、發明說明（33 ) R3 R4 - 0- t = CH2 [14] (其中R3及R4定義如上）於有機溶劑〔例如四氫σ夫喃，丙 酮，甲基乙基甲酮，1，4-二氧陸圜，1，3-二氧伍圜，二氣甲 烷，1，2-二甲氧乙烷，乙基醚，乙酸乙酯，丙二醇一甲醚 等〕於適當觸媒〔例如硫酸，鹽酸，磷醯氣，對_甲苯績酸， 樟腦磺酸，氣磺酸之响啶鹽，硫酸之吡啶鹽，對-甲苯績酸 之咄啶鹽等〕存在下反應，而以適當速率化學引進式[3] 官能基，所得產物根據習知方法接受後處理而分離式[i] 或[2]表示之聚合物。 (b)方法2 單體[10]係以方法1之相同方式聚合並根據習知方法 接受後處理而分離式[15]表示之均聚物：

(其中R定義如上及d為自然數）。此種均聚物與適當酸〔例 如無機酸如硫酸，磷酸，氫氣酸，氫溴酸等，及其它路易 士酸，或有機酸例如對-甲苯磺酸，丙二酸，草酸等〕於有 本紙張尺度適用中國國豕標準（CNS)A4規格（21〇 X 297公楚） -36- ---------- 訂·！--- 線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) l28566〇

、發明說明（34

0 OH

機溶劑〔例四氫呋喃，丙酮，1，4-二氧陸圜，1，3-二氧伍圜， 甲醇，乙醇，正丙醇，異丙醇，正丁醇，第二丁醇，第三 丁醇’等〕於30_100°C反應1-10小時而以適當速率去除第 三丁基。反應產物根據習知方法接受後處理而分離式[16] 表示之羥苯乙烯共聚物： R R1 -(C-CHi ) c - (C-CH2 ) k-[16] (其中R，R1及k定義如上，及c = m+n)。此種共聚物對 應於式[2]聚合物其中f=〇。此種共聚物内以方法1之相同 方式引進式[3]官能基，接著根據習知方法後處理而分離式 [l](k#0)或式 |；2](f#〇)聚合物。 (c)方法3 式[1〇]或式[17]單體： 裝--------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 H C 2 一 H C8 C I 一一 νηη^λο R-c—ζ -37· 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 1285660 A7 _ B7_五、發明說明（35 ) (其中R定義如上）以方法1之相同方式聚合及根據習知 方法後處理而分離上示式[15]或式[18]表示之均聚物：

Rso

Η C

Η c I CB 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (其中R及d定義如上）。此種均聚物於有機溶劑〔例如四 氫吱喃，1，4-二氧陸圜，1，3-二氧伍圜，乙酸乙酯，曱醇， 乙醇，正丙醇，異丙醇，正丁醇，第二丁醇，第三丁醇， 水等〕若有所需於氮流下於適當鹼〔較佳氫氧化鈉，氫氧 化卸，氨水，經胺，多種氫氧化四烧銨溶液，多種三烧胺， 多種三芳烷胺等〕或適當酸〔較佳無機酸例如硫酸，鹽酸， 磷酸，氫溴酸等，路易士酸，對·甲苯磺酸，丙二酸，草酸 等〕存在下於10-70°C反應0.5-10小時而徹底去除官能基第 三丁基或乙醯基。反應產物根據習知聚合物製備方法接受 後處理而分離式[19]表示之羥苯乙烯聚合物： R一（C 一 CH2)

(其中R及d定義如上）。此種均聚物内引進式[3]官能基及 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -38· ---------I I I I ---ί — 訂---I--I--線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 1285660 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明（36 ) 根據習知方法進行後處理分離式[1]表示之聚合物(k=〇)。 (d)方法4 根據方法3所得式[19]均聚物與適量羥基保護劑〔例 如二烧基二碳酸醋例如二-第三丁基三碳酸騎，燒基氣碳酸 酯例如甲基氣碳酸酯，2,3-二氫呋喃，2,3_二氫吸味，第三 丁基一氣乙酸酯，1-甲基環己基一氣乙酸_，異丁稀，二 甲基硫酸’甲基n-甲基環己基氣等〕*有機溶劑〔; 如四氫呋喃，M-二氧陸圜，乙酸乙酯，甲基乙基曱酮， 丙酮，二氣甲烷，1，3-二氧伍圜，甲醇，乙醇，正丙醇， 異丙醇，正丁醇，第二丁醇，第三丁醇，二氣甲烧等〕於 適當鹼〔較佳氫氧化鉀，氫氧化鈉，碳酸鈉，碳酸鉀，三 乙胺，N-甲基口比嘻㈣，六氫口比咬，多種氫氧化四烧錄溶 液，多種二烷胺，多種三芳烷胺等〕存在下於1〇_1〇〇(^反 應0.5-30小時，及反應產物根據習知方法接受後處理獲得 式[13]共聚物。 此種共聚物内以方法1之相同方式引進式[3]官能 基，接著根據習知方法後處理獲得式[1](k#〇)或式[2](f^ 0)表示之聚合物。 若本發明之聚合物組成物用作阻體材料，則用於本發 明之式[1]聚合物之較佳例為其中尺及“分別為氫原子或低 碳烷基，R2及R3中之一者為氫原子或低碳烷基，而另一者 為低碳烧基，R為低碳烷基，R5為以低碳烧基取代之苯基， 低碳烷氧基，醯氧基，飽和雜環系氧基，或式 R250-C0-(CH2)j0·基（其中R25表示低碳烷基及」為〇或丨）， 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱） !!裝 —11 訂· — ！！ I 線 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) •39- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A285660 • A7 _：_B7______ 五、發明說明（37 ) m及η各自為自然數，及k為0或自然數(但〇.l^(m+k)/ (m+n+k)$0.9，0$k/(m+n+k)$0.25，m>k)。 式[2]表示之聚合物之較佳例為其中R6及R21分別為氫 原子，R7為低碳烧氧基’醯氧基’飽和雜環系氧基，或式 R80-C0-(CH2)z-0-基（其中R8表示低碳烷基及z為0或1)，R22 及R23之一者為氫原子或低碳烷基，R24為低碳烷基，及p、 1#及[各自為自然數，（但〇.1$?/(?+1+£)$〇.5,〇$£/(?+斤1[) S0.2，及f<p)。 式Π]或式[2]表示之聚合物之重均分子量只要聚合物 可用作阻體材料成分則並無限制，但通常藉GPC測定（以 聚苯乙烯校準）此等聚合物之重均分子量[Mw]於式[1]聚合 物之例通常落入約5,000至50,000，較佳約7,000至30,000之 範圍，而於式[2]聚合物之例落入約1，〇〇〇至25,000，較佳約 2,000至15,〇〇〇之範圍。要緊地，由解析度，延遲時間造成 尺寸變化，及改良圖樣側壁及基質相關性觀點看來，式[i] 聚合物之重均分子量大於式[2]聚合物。此種分子量並無特 殊限制’只要聚合物[1]之分子量大於或甚至僅略大於聚合 物[2]之分子量而可達成前述效果即可，但通常希望聚合物 [1]之重均分子量比聚合物[2]大約10%或以上。式[1]及式[2] 兩種聚合物之分散度[Mw/Mn]較佳於1.0至2.0之範圍，原因 為此種分散度最適合於曝光區平衡聚合物於顯影劑的溶離 速度’結果導致圖樣側壁構型改良。 鐘於耐熱性、光罩直線性、近似效果、延遲時間及解 析度’聚合物⑷對聚合物⑻之重·量比通常為1〇: 9至10: 1， 本紙張尺度適用中規格·^ 1297公釐） I--------^--------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -40- 1285660 A7 B7 五、發明說明（38 ) 較佳3 : 2至4 : 1。 本發明使用之酚系化合物之獲得方式可經由式po]表 示之酚：

R 2 6

OH

[20] (其中R26為氫原子，甲基或乙基）與適量式[21]表示之醛 R27-Cj-H〇 [21] (其中R27為氫原子，低碳烷基或選擇性取代苯基）或適量 式R2]表示之二羥甲基化合物：

R --I----裝 — II 訂----線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) HOCHj

CH： OH

[22] 經 濟 部 智 慧 -財 產 局 Μ 工 消 費 合 作 社 印 製 (其中R28為氫原子，曱基或乙基）於溶劑（例如水，二乙 二醇，甘油等，或溶劑混合物）或無溶劑於酸（例如草酸， 硫酸，磷酸，對-甲苯磺酸等）存在下於50-180°C以攪拌反 應0.5-20小時獲得。反應產物藉適當手段分離，例如濃縮 至乾，倒入水中，分離及純化等。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） • 41- 1285660 五 Α7 Β7 發明說明（39 ) 式[21]中R27表示之低碳烷基較佳為含1-3個碳原子之 直鏈或分支烷基，例如甲基，乙基，正丙基或異丙基。式 [21]中R27定義之選擇取代笨基之取代基可為例如鹵原子 如氣原子，溴原子，碘原子或氟原子，烷基例如甲基，乙 基，第三丁基等，或烷氧基例如甲氧基，乙氧基等。 至於本發明之酚系化合物可使用例如酚系樹脂及酚類 與羥甲基化合物之縮聚物 '特別包含對_甲酚/曱醛縮聚 物，間_甲鼢/甲醛縮聚物，對-曱酚/間-甲酚/甲醛縮聚 物，酚/甲醛縮聚物，對-曱酚/乙醛縮聚物，對-甲酚/乙 醛縮聚物，間-甲酚/乙醛縮聚物，對·甲酚/間-甲酚/乙 醛縮聚物，酚/乙醛縮聚物’對·甲酚/丙醛縮聚物，間-甲 酚>丙醛縮聚物，酚/丙醛縮聚物，對-曱酚/笨甲醛縮聚 物，間-甲酚/苯甲醛縮聚物，對-甲酚/間-甲酚/苯甲醛 縮聚物，酚/苯曱醛縮聚物，對-甲酚/對-甲基苯曱醛縮 聚物，間-甲酚/對-甲基苯甲醛縮聚物，間-甲酚/間-甲酚 /對-甲基苯曱醛縮聚物，酚/對-甲基苯甲醛縮聚物，對-甲酚/1，4_苯二甲醛縮聚物，間-甲酚/ι，4-苯二曱醛縮聚 物，及對-曱酚/間-曱酚/1，4-苯二甲醛縮聚物。 可用於本發明之酚系化合物除前述樹脂外也包含 1，1，1-叁(4·羥苯基）乙烷，α，，α，α，-叁(4-羥苯基）-1-乙 基-4-異丙基苯，及3,4-二羥-4-(2,4-二羥苯基)-7-羥-2,2,4· 三曱基-2Η-1-苯耕旅喊。 本發明使用之酚系化合物之重均分子量並無特殊限制 只要化合物可用作阻體材料成分即可，但通常藉GPC測量 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) — II 訂！！ ！·線- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -42· 1285660 A7 B7 五、發明說明（40 ) 經 濟 部 智 慧 -財 產 局 •員 工 消 費 合 作 社 印 製 (以聚苯乙稀校準）聚合物之重均分子量叫約綱至 15,000，較佳約300至10,000，更佳約3〇〇至8 〇〇()，其提供 側壁構型或基質相關性之改良同時維持高解析度及_ 性。 本發明之酚系化合物對式Π]聚合物或式tl]聚合物與 式[2]聚合物之和之比通常為3 : 7至1 : 99，較佳2 : 8至1 : 49，因後者對於改良側壁構型，基質相關性及解析度而言 為較佳。 欲使用本發明之聚合物組成物生產阻體材料，額外使 用一種曝露於化學光照射時可產生酸之物質（此種物質於 後文稱為“光酸產生劑”）。此等成分通常以較佳使用有 機溶劑之溶液形式使用。 至於本發明之光酸產生劑，可使用任一種曝光於化學 光照射時可產生酸且對阻體圖樣之形成無任何不良影響的 物質，但較佳使用具有波長接近248.4 nm之高透射率且可 維持阻體材料高透明度之物質，或可藉曝光促進接近 248.4nm之透射率並維持阻體材料之高透明度之物質。至 於本發明使用之光酸產生劑之特佳例，可舉出如下式 [23]，P4]，1；26]，[27]，|；28]及[30]化合物： 0 騰 -S—C一I I 0 n2 [23] 〔其中R及R分別為燒基或_烧基’及A為確酿基或$炭 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（21〇 X 297公釐） <請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝 訂· 線· •43- 1285660 A7 B7 五、發明說明（41 ) 基〕；

R I OMUSno I 2 CUN I OMSMUO R 4 2 〔其中R11為氫原子，鹵原子，烷基，烷氧基或鹵烷基，及 R12為烷基，鹵烷基或式[25]基： -(CH： ) [25 {其中R13為氫原子，鹵原子，烷基，烷氧基或鹵烷基，及' q為0或1至3之整數}〕；

(請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) * I — — — — — — — ^ ·1111111 I · 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 〔其中R14為氫原子，鹵原子，烷基或三氟甲基，及R15為 燒基，芳烷基，烷氧基，苯基或甲苯基〕’

Θ 3 〇 5 9 R 7 0s I t RISIR - 6 R 2 〔其中R16為烷基，苯基，取代笨.基或芳烷基，R17及R18分 -44- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） A7 B7 !285660 五、發明說明（42 ) 別為氫原子，烷基，苯基，取代苯基或芳烷基，及Rl9為氟 烷基，三氟甲基苯基，甲基或甲苯基〕；

R

R

0-B - R23 C 一 CH2 R

[28] 〔其中R29為烷基，氟烷基，苯基，取代苯基或芳烷基，R30 及R31分別為氫原子，甲基，甲氧基，硝基，氰基，羥基或 式[29]基：

R 33.

[29] 〔其中R33為烷基，氟烷基，笨基，取代苯基或芳烷基，及 B為磺醯基或羰基〕，及R32為氫原子，甲基或乙基〕； --------!11裝 ----- -- 訂 — — — — —----線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

[30] OS〇2 R34 OSO2 R34 R35 〔其中R34為烧基，氟烧基，笨基，取代苯基或芳烧基，及 R35為氫原子，甲基，氟烷基，甲氧基，硝基，氛基，羥基 或式[29]基〕。 式[23]中R9及R10表示之烷基及亦由R9及RW表示之鹵 烷基中之烷基可為較佳含1至10値破原子之直鏈、分支或環 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -45- 1285660

經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（43 ) 系者。此等烷基範例包含甲基，乙基，正丙基，異丙基’ 環丙基，正丁基，異丁基，第三丁基，第二丁基，正戊基， 異戊基，第三戊基，卜甲基戊基，環戊基，正己基’異己 基，環己基，庚基，辛基，壬基及癸基。 鹵烷基中之鹵素例如為氣、溴、氟或碘。 式[24]中R11表示之烷基及亦由R11表示之鹵烷基中之 烷基可為較佳含1至5個碳原子之直鏈或分支者。此等烷基 範例包含甲基，乙基，正丙基’異丙基’正丁基’異丁基’ 第三丁基，第二丁基，正戊基，異戊基，第三戊基，及1_ 甲基戊基。R11定義中鹵烷基中之鹵素及鹵素可為例如氣、 溴、氟或碘。R11表示之烷氧基較佳含1至5個碳原子之直鏈 或分支者包含甲氧基，乙氧基，正丙氧基，異丙氧基，正 丁氧基，異丁氧基，第三丁氧基，第二丁氧基，正戊氧基 及異戊氧基。R12表示之烷基及R12表示之鹵烷基中之烷基 較佳含1至10個碳原子之直鏈、分支或環系者，包含甲基， 乙基，正丙基，異丙基，環丙基:，正丁基，異丁基，第三 丁基，第二丁基，正戊基，異戊基，第三戊基，^甲基戊 基’環戊基，正己基，異己基，環己基，庚基，辛基，壬 基及癸基。齒烷基中之函素可為例如為氣、溴、氟或碘。 式[25]中R13表示之烧基及亦由R13表示之鹵烧基中之 烷基較佳含1至6個碳原子之直鏈或分支者，其範例包含曱 基，乙基，正丙基，異丙基，正丁基，異丁基，第三丁基， 第二丁基，正戊基，異戊基，第三戊基，及丨_甲基戊基， 正己基及異己基。R13表示之烷氣基較佳含1至6個破原子 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) S,

ί I I ϋ ϋ ϋ 1 1 ϋ ϋ n ϋ βϋ ϋ ϋ 11 ϋ 11 ϋ ^1 I 1« ϋ I I -46- 1285660 A7 遂齊 Sr i曰鋈讨轰苟員r.肖f^ftFi^s. B7 五、發明說明（44 ) 之直鏈或分支者，包含甲氧基，乙氧基，正丙氧基，異丙 氧基，正丁氧基，異丁氧基，第三丁氧基，第二丁氧基， 正戊氧基，異戊氧基，正己氧基及異己氧基。Rl3定義中之 鹵炫基之鹵素可為例如為氣、溴、氟或蛾。 式[26]中R14表示之烷基為較佳含1至5個碳原子之直 鏈或分支者，此等烷基包含甲基，乙基，正丙基，異丙基， 正丁基’異丁基’第二丁基’第二丁基，正戍基，異戊基， 第三戊基，及1_甲基戊基。R15表示之烷氧基較佳含丨至1〇 個碳原子之直鏈、分支或環系者，包含甲基，乙基，正丙 基’異丙基，環丙基，正丁基，異丁基，第三丁基，第二 丁基，正戍基’異戍基’第二戊基’ 1-甲基戍基，環戊基， 正己基’異己基’ ί哀己基’庚基’辛基，壬基及癸基。r14 定義中之鹵素可為例如為氣、溴、氟或碘。 R15表示之芳烧基範例包含辛基，苯乙基，苯丙基，甲 基卡基’甲基苯乙基及乙基辛基。R15表示之1至6個碳原 子之烧氧基可為直鏈或分支者包含例如甲氧基，乙氧基， 正丙氧基，異丙氧基，正丁氧基，異丁氧基，第三丁氧基， 第二丁氧基，正戊氧基及異戊氧基，正己氧基及異己氧基。 式[27]中R16，R17及R18表示之烷基為較佳含eg個碳 原子之直鏈，分支或環系者，此範例包含甲基，乙基，正 丙基，異丙基，環丙基，，正丁基，異丁基，第三丁基， 第二丁基，正戊基，異戊基，第三戊基，丨-曱基戊基，環 戊基’正己基’異己基’環己基，庚基及辛基。此等R表 示之取代苯基範例包含甲苯基，〇苯基，第三丁苯基及氣 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） I--— — — — — — — i — — — — — --1111 I--線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 285660 A7 B7 五、發明說明（45 ) 苯基，而R表示之芳烷基範例包含苄基，苯乙基，苯丙基， 甲基苄基，甲基苯乙基及乙基苄基。R19表示之氟烧基中之 院基為較佳含1至8個碳原子之直鏈或分支者，包含例如甲 基，乙基，正丙基，異丙基，正丁基，異丁基，第三丁基， 第二丁基，正戊基，異戊基，第三戊基，1-甲基戊基，正 己基，異己基，庚基及辛基。此等基中取代氟原子總數較 佳為1至17。 式[28]中R29表示之烷基為較佳含丨至6個碳原子之直 鏈、分支或環系者，包含例如甲基，乙基，正丙基’異丙 基，正丁基，異丁基，第三丁基，第二丁基，正戊基，異 戊基，環戊基，正己基及環己基。R29表示之取代苯基包含 甲苯基，乙苯基，第三丁苯基及氣苯基，而R29表示之芳烧' 基範例包含苄基，苯乙基，苯丙基，甲基苄基，甲基苯乙 基及乙基苄基。R29表示之氟烷基中之烷基為較佳含1至8 個碳原子之直鏈或分支者，包含例如甲基，乙基，正丙基’ 異丙基，正丁基，異丁基，第三丁基，第二丁基，正戍基’ 異戊基，第三戊基，1-甲基戊基，正己基，異己基，庚基 及辛基。此等基中取代氟原子總數較佳為1至17 ° 式[29]中R33表示之烷基為較佳含1至6個碳原子之直 鏈、分支或環系者，包含例如甲基，乙基，正丙基’異丙 基，正丁基，異丁基，第三丁基，第二丁基，正戊基，異 戊基，環戊基，正己基及環己基。R33表示之取代苯基包含 甲苯基，乙苯基，第三丁苯基及氣苯基，而R33表示之芳燒 基範例包含苄基，苯乙基，苯丙基，甲基苄基，、甲基苯乙 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 * I I I I I I β !! *^ I — I!! — — — — — ! — — — — — — — — , -48- A7 1285660 _______________ 五、發明說明（46 ) 基及乙基苄基。R33表示之氟烷基中之烷基為較佳含丨至8 個碳原子之直鏈或分支者，包含例如甲基，乙基，正丙基， 異丙基，正丁基，異丁基，第三丁基，第二丁基，正戊基， 異戊基，正己基，庚基及辛基。此等基中取代氟原子總數 較佳為1至17。 式[30]中R34表示之烷基為較佳含丨至6個碳原子之直 鏈、分支或環系者，包含例如甲基，乙基，正丙基，異丙 φ 基，正丁基，異丁基，第三丁基，第二丁基，正戊基，異 戊基’環戊基，正己基及環己基。R34表示之取代苯基包含 甲苯基，乙苯基，第三丁苯基及氣苯基，而R34表示之芳烷 基範例包含苄基，苯乙基，苯丙基，曱基苄基，曱基苯乙 基及乙基苄基。表示之氟烷基中之烷基為較佳含Γ 至8個碳原子之直鏈或分支者，包含例如甲基，乙基，正丙 基’異丙基，正丁基，異丁基，第三丁基，第二丁基，正 戍基’異戊基’正己基，庚基及辛基，此等基中取代氟原 _ 子總數較佳為1至17。 較佳用於本發明之光酸產生劑列舉如下。 式[23]表示之光酸產生劑；丨_環己基績醢基二 甲基乙基磺醯基）重氮甲烷，貳（1,1-二甲基乙基磺醯基）重 氮甲烷，貳（1-甲基乙基磺醯基）重氮甲烷，貳（環己基磺醯 基）重鼠甲烧’ 環己基績醢基-1-環己基幾基重氮甲烧，1_ 重氮-1-環己基磺醯基_3,3_二甲基丁烷酮，^重氮甲基 磺醯基-4_苯基丁烷_2_酮，；μ重氮-丨彳丨，^二甲基乙基磺醯 基)-3,3-二甲基-2-丁酮，1-乙醯基γ1·(1-甲基乙基磺醯基 本紙張尺度適用+國國家標準（CNS)A4規格（21G X 297公髮） I ----- -裝 ---!| 訂·！ I! — ·線 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) •49- A7 1285660 ------B7 ,_ 五、發明說明（47 ) 重氮甲烷等。 式[24]表示之光酸產生劑··貳（對-甲苯磺醯基)重氮甲 烧，武（2,4-二甲基苯磺醯基）重氮甲烷，甲基磺醯基_對_甲 苯績酿基重氮甲烷，貳（對_第三丁基苯基磺醯基）重氮甲 烧’€(對-氣苯磺醯基）重氮甲烷，環己基磺醯基_對_甲苯 磺醢基重氮甲烷等。 式[26]表示之光酸產生劑：丨·對_甲苯磺醯基環己基 羰基重氮甲烷，1-重氮-丨气對-甲苯磺醯基)-3,3-二甲基丁烷 -2-酮’ 1-重氮-丨_苯磺醯基_3,3_二甲基丁烷酮，^重氮 -1-(對-甲苯續醯基>3-甲基丁烧酮等。 式[27]表示之光酸產生劑：三苯鎞三氟甲烷磺酸鹽， 三苯全氟辛烷磺酸鹽，二苯基-對甲苯锍全氟辛烷磺酸， 鹽’妻（對-甲苯基)锍全氟辛烷磺酸鹽，叁(對_氣苯)锍三氟 甲烷磺酸鹽，叁（對-甲苯基）锍三氟甲烷磺酸鹽，三甲基锍 三氟甲烷磺酸鹽，二甲基苯基锍三氟甲烷磺酸鹽，二甲基_ 對-甲苯基锍三氟曱烷磺酸鹽，二甲基_對_甲苯基全氟辛烷 磺酸鹽等。 式[28]表示之光酸產生劑·· 2,6-二-三氟甲烷磺醯氧苯 乙嗣，2,6-二三氟甲烷磺醯氧苯丙酮，2,3,4邊_三氟甲燒 磺醯氧苯乙酮，2,6-二-甲烷磺醯氧苯乙酮，2,6-二-甲烷磺 醯氧笨丙酿| , 2,3,4_叁-甲烷磺醯氧苯乙酮，2-三氟曱烷磺 醯氧苯乙酿I , 2·甲烷磺醯氧苯乙嗣，2-正丁烷磺醯氧苯乙 酮，2,6-二-正丁烷磺醢氧苯乙酮，2,3,4-妻_正丁烷磺醯氧 苯乙酮，2,6-二-全氟丙烷羧笨丙,，2,3,‘叁_全氟丙烷羧 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（21〇 χ 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 I -I 1 ϋ n ^OJ· ϋ n ϋ ϋ ϋ I mi ϋ ϋ ϋ I I n I ^1 .1 .1 ^1 ϋ ϋ ^1 ^1 ϋ ϋ n H ^1 ϋ -50- 1285660 A7 B7 五、發明說明（48 ) 苯乙酮，2,6-二-對-甲苯磺醯基苯乙酮，2,6-二-對-甲苯績 醯基苯丙酮，2,6-二-三氟乙醯氧苯乙酮，2-三氟乙醯氧_6_ 甲氧苯乙酿I ’ 6-經-2·全氟丁烧績醢氧苯乙酮，2-三氟乙醢 氧-6-硝基苯乙酮，2,3,4-叁-三氟乙醯氧苯乙酮，2,6-二-全 氟丙醯氧苯乙酮等。 式[30]表示之光酸產生劑：1，2,3_銮-甲烷磺醯氧苯， 1，2,3_|_對-甲苯磺醯氧苯，參-三氟乙醯氧苯， 0 叁-全氟丁烷磺醯氧苯，1，2,3-秦-環己基磺醯氧苯，ι，2·二- 甲烧石黃酿氧-3-硝基苯，2,3-二-甲院績醯氧盼，1，2,4-妻-對-甲苯磺醯氧苯，1，2,4-銮-甲烷磺醯氧苯，ι，2,4-叁-三氟乙 醯氧苯，1，2,4-妻·環己基磺醯氧苯，ι，2-二-正丁烷磺醯氧 -3-硝基苯’ 1，2,3-參-全氟辛烧績醢氧苯，ι，2-二·全氟丁娱； 磺醯氧酚等。 本發明之阻體材料較佳包括（i )至少一種式聚合物 及（ii)至少一種式[2]聚合物之組合，或（i )至少一種式[η 0 聚合物，（ii)至少一種式[2]聚合物及（ffi)—種分子量 (Mw)300-15,000之酚系化合物之組合，或（i )至少一種式⑴ 聚合物，及（ii)分子量（Mw)300-15,000之酚系化合物，及 至少一種選自式[23]，[24]，[26]，[27]，[28]及[30]之光酸 產生劑之組合。若使用兩種或多種光酸產生劑，則較佳組 合例為式[23]光酸產生劑，其對波長於248.4nm之光具有良 好透射率且可維持阻體材料高度透明，曝光後對加熱處理 之溫度依賴性低(PEB)，曝光時可產生酸。另一例為式 [24]，[26]，[27]，[28]或[30]之光，酸產生劑，其於特定曝 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） ------------•裝--------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) A7 1285660 ______B7___ _ 五、發明說明（49 ) 光劑量之酸產生效率高，或曝光時可產生強酸，此種組合 最適合改良圖樣之裙裾部分構型及去除浮渣。 如此，若於本發明之阻體材料使用兩種或多種光酸產 生劑，可獲得去除阻體圖樣裙裾部分的油腳與浮渣效果。 此種現象可解釋為一種光酸產生劑可產生較強酸或引起較 大的酸擴散，即使低抵阻體的底部也可去除聚合物官能 基。有鑑於此，特別推薦於本發明使用式[23]光酸產生劑 與式[24]，[26]，[27]，[28]或[30]之光酸產生劑之組合。 至於使用兩種或多種光酸產生劑時光酸產生劑之比 例，式[24]，[26]，07]，P8]或[30]之光酸產生劑對式P3] 之光酸產生劑之比為1-70比100，較佳10-50比100 (份數重 量比）。 ， 單獨使用最有效對抗圖樣油腳或產生浮渣的式[2 7 ]光. 酸產生劑，可能出現由於延遲時間造成圖樣生成不當或尺 寸變化之問題，但此種問題可藉施用頂塗層克服。也可使 用除特佳者以外之光酸產生劑。例如多種三笨鹽及二笨錢 鹽（此等鏺鹽陰離子包含PF6·，AsF0-及BF4·)，| (三氣 甲基）-均-三啩/三乙醇胺，叁（三氣甲基）_均_三钟/乙 醯胺等不適合單獨使用，原因為對延遲時間敏感，但與式 [23]光酸產生劑併用時變有效。 至於用於製備本發明之阻體材料之溶劑，可使用任— 型溶劑只要可溶解本發明之聚合物組成物，光酸產生劑及 選擇性使用之添加劑例如紫外光吸收劑，酸性化合物界面 活性劑等即可，但通常較佳使用县有良好薄膜生成性質且 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -1 ^9-------tr---------^丨^^· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -52- 1285660 A7 ______ B7_____ 五、發明說明（5〇 ) 於約220-400 nm未顯示吸收之溶劑。此等溶劑範例包含但 非僅限於曱基溶纖素乙酸酯，乙基溶纖素乙酸酯，丙二醇 一甲醚乙酸酯，丙二醇一***乙酸酯，丙二醇一***乙酸 酯，乳酸甲酯，乳酸乙酯，2-乙氧乙基乙酸酯，甲基枕酸 鹽，甲基3-甲基丙酸酯，乙基3-曱氧丙酸酯，N-甲基-2-咄 咯啶酮，N，N-二甲基甲醯胺，N，N-二甲基甲醯胺，環己烷， ‘ 甲基乙基甲酮，2·庚酮，1，4-二氧陸圜，二乙二醇一甲醚， 二乙二醇二甲醚及乙二醇一異丙醚。 本發明之阻體材料中光酸產生劑對聚合物組成物之比 為1-30比1〇〇，較佳U0比100 (份數重量比）。阻體材料 中之溶劑量並無限制，只要溶解本發明聚合物獲得正光阻 材料時無障礙即可，光酸產生劑及其它添加劑塗覆於 基質上’但通常溶劑之用量1-20份重量比，較佳1.5-10份重 量比對1份重量比聚合物。 本發明之阻體材料基本上包括三種成分（本發明之聚 ^ 合物組成物，光酸產生劑及溶劑），但可含有其它特定目 的用物質例如紫外光吸收劑及酸性化合物例如改良側壁構 型或去除圖樣油腳或基質與界面間之浮渣。又為了改良薄 膜生成性質或改良濕潤性及紋路抗性可含界面活性劑。 本發明之阻體材料可用的紫外光吸收劑包含9-重氮芴 及其衍生物，1-重氮·2-四氳萘酮，2-重氮-1-四氫萘酮，9· 重氮-10-菲酮，2,2，，4,4，-肆（鄰-萘醌二疊氮-4-磺醯氧）二苯 甲酮’ 2,2’，4,4’·四羥二苯甲酮，ι，2,3-叁（鄰-萘醌二疊氮-4-續醯氧）丙烷，9-(2_甲氧乙氧）甲泰蒽，9-(2-乙氧乙氧）曱基 本紙張尺度適用巾關家鮮（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -53- ---I-----— II -裝—--— II 訂·--I-----線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) I285660

五、發明說明（5!)葱，9-(4-f氧丁氧）甲基葱，9_葱甲基乙酸酉旨，二經黃素剩 獬皮黃晒，三㈣素_，四㈣_ 苯甲剩，M，-二經二苯甲鋼，2’2，，4,4，·四經二苯甲剩秦等斯一 但較佳使用式[31]表示之9-重氮-10-菲酮：n2 〇[31]

其於約248.4 nm具有強力吸收或式[32]表示之葱衍生物 (9H2 ) X-〇 -（CHz ) y-〇R20 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

[32] 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 〔其中r20為烷基，及X及y分別為1至4之自然數〕。 式[32]中R20表示之烧基為較佳含1至6個碳原子之 直、刀支或環系者’此等烧基範例包含甲基，乙基，正丙 基’異丙基，環丙基，正丁基，異丁基，第三丁基，第二 丁基’正戊基，異戊基，第三戊基，1-甲基戊基，環戊基， 正己基，異己基及環己基。 選擇性用於本發明阻體材料之酸性化合物範例包含有 機酸如酞酸，丁二酸，丙二酸，苯甲酸，柳酸，間-羥苯甲 酸，對·羥笨曱酸，鄰-乙醯基苯甲酸，鄰-乙醯氧苯甲酸， 鄰_硝基苯甲酸，硫柳酸及硫菸驗.蹀，柳醛，柳基羥肟酸， 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） •54- ϋ βϋ ϋ I^eJ· ϋ ·-1 ϋ ϋ ·ϋ ϋ ϋ I ϋ ^1 ϋ H 1 ^1 ϋ I ϋ ϋ I ϋ ϋ I ·ϋ n ϋ n n ϋ n - 遂齊郎A曰慈时菱¾員X.消費多阼；4一印製 1285660 A7 _B7___ 五、發明說明（52 ) 丁二醯亞胺，酞二醯亞胺，糖精及抗壞血酸。 至於界面活性劑可使用非離子界面活性劑如聚乙二醇 二硬脂酸酯，聚乙二醇二月桂酸酯，聚乙二醇，聚丙二醇， 聚氧伸乙基硬脂基醚，聚氧伸乙基月桂基醚，聚氧伸乙基 - 鯨蠟基醚，聚氧伸乙基壬基醚及聚氧伸乙基辛基苯基醚， 及多種其它市售非離子界面活性劑，含氟非離子界面活性 ’劑，含氟陽離子界面活性劑，含氟陰離子界面活性劑，陽 .離子界面活性劑及陰離子界面活性劑。此等界面活性劑 中，較佳用於本發明者為具有良好光阻薄膜生成性質之含 氟非離子界面活性劑，例如Fluorad(商品名，得自住友3M 公司），SURFLON(商品名，得自旭玻璃公司），UNIDYNE (商品名，得自Daikin工業公司），MEGAFAC (商品名，' 得自大日本油墨化學公司）及EFTOP(商品名，得自Tohken 產品公司）。 本發明之阻體材料中又可含有業界常用之敏感度調節 劑例如聚乙烯基吡啶，聚（乙烯基吡啶/甲基甲代丙烯酸 ® 酯），吡啶，六氫咄啶，三正丙胺，三正丁胺，三辛胺， 三苄胺，二環己胺，二環己基甲胺，氫氧化四甲銨，氫氧 化四乙錄，氩氧化四正丙錄，氫氧化四正丁錄，三乙胺及 N-甲基-2-吡咯啶酮，及增塑劑例如二乙基酞酸酯，二丁基 酞酸酯及二丙基酞酸酯。 . 本發明之阻體材料可施用於半導體基質或具有光照吸 收塗層之半導體基質，由於效果較高故以後者為佳。 多種材料如鋁，.聚矽，鋁·矽」矽化鎢等可用作半導體 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -55- -------------裝--------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 1285660 A7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 B7 五、發明說明（53 ) 基質。光照吸收塗層可藉已知方法形成於半導體基質上’ 例如化學蒸氣沈積（CVD)或喷鍍，使用光照吸收膜形成材 料如氮化矽及氮化鈦，或無機抗反射膜形成材料如氧氮化 矽不定形碳等。 欲使用包括本發明之新穎聚合物組成物之阻體材料來 形成圖樣，適合下述方法。 包括本發明之新穎聚合物組成物之阻體材料塗覆於半 導體基質如聚矽氧晶圓或表面具有光照吸收膜的半導體基 質上至塗膜厚度約0.5至2.0 45 (若膜用作三層結構的頂層 則約0·1至0.5 45 )並於70-130°C之烘箱前烘烤10-30分錄， 或於70-150°C之熱板前烘烤1-2分鐘。然後，設計用來形成 所需圖樣的光罩置於光阻膜上，並以曝光劑量約1-100 、 mJ/cm2施加光化學照射例如波長不大於300 nm之深部紫 外光，接著於70-150°C之熱板烘烤1-2分鐘。然後藉習知方 法例如浸潰，攪動，喷灑等使用適當顯影劑，例如〇.1_5% 氫氧化四甲銨(TMAH)水溶液進行顯影約0·5-3分鐘而於基 質上形成所需圖樣。 至於顯影劑推薦選用適當濃度通常0.01-20%之鹼性 溶液其適合放大曝光及未曝光部分間之溶解度差異，考慮 阻體材料溶解度而選擇。至於鹼性溶液可使用例如含有機 胺如TMAH膽鹼，或三乙醇胺或無機鹼如氫氧化鈉或氣氧 化卸之水溶液。 本發明之聚合物組成物用於阻體材料之特徵為包括式 [1]聚合物及重均分子量比式[1]聚..合物更小的式[2]聚合物 ^紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） c請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁> — I — i I I i — — — — — — — — — — — — — — — — — — — I,— I 瞻 五 1285660 A7 _ B7 、發明說明（54 ) 之組合，或式[1]聚合物與分子量（Mw)300至丨5,000之酚系 化合物之組合，或式[1]聚合物、式[2]聚合物及分子量 (Mw)300至15,000之組合。至於式[1]聚合物顯然由於結構 中式[4]單體單位含有前述式[3]官能基，故此等聚合物更容 易於用於相同目的的其它聚合物以外的酸存在下去除官能 基變成鹼可溶，如此有利於提供較高解析度且於曝光至加 熱處理（烘烤）期間維持穩定的圖樣尺寸。又由於此等聚 合物也含有式[5]羥苯乙浠單位作為另一種結構成分，故具 有高耐熱性，適合乾式蝕刻及對基質的高黏著性。至於式 [2]聚合物值得注意者為也包括式[7]單體單位與式[9]單體 單位以適當調整莫耳比之組合，此等聚合物經由控制曝光 部分之顯像速度用來改良焦點邊際同時改良光罩直線性。， 也具有使圖樣側壁變光滑效果。 又出乎意料地併用式[1]聚合物、分子量 Mw)300-15,000之酚系化合物，及/或式[2]聚合物，除了 可達成前述效果外，可解決基質相關性問題。 式[7]單體單位中’包括於酸存在下相當容易去除官能 基而轉成可溶驗性顯影劑的經苯乙稀單位（例如式[7]單體 單位，其中R7為第三丁氧基，四氫呋喃基氧基，四氫旅喃 基氧基’四丁氧k基乳’為第二丁氧幾基甲氧基，1•曱基 環己基幾基甲氧基等），但本發明中由於含式[3]官能基之 式[4]單體單位遠更快速容易於酸作用下去除官能基變成 的苯乙烯單位，故式[7]單體單位絕對未或大體未參與化學 放大過程。 .,； t紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） ------I!-------— II--訂·---I--I 線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -57- 1285660 A7 B7 五、發明說明（55 ) 本發明之顯著效果在於事實上經由併用至少一種式[1] 化合物，少一種式[2]化合物及/或至少一種分子量 (Mw)300至15,000之酚系化合物，及進一步併用前述特定 光酸產生劑，可解決習知使用深部紫外光、氟化氪激光雷 射光束等形成的光阻圖樣之多種問題，並提供可安全地用 於深部紫外光或氟化氪激光雷射光束之阻體材料。 證實本發明之阻體材料不僅可經由曝光於深部紫外光 或氟化氪激光雷射光束，同時也可藉i線光，電子束或軟 X光照射產生酸。如此，本發明之阻體材料可經由利用材 料之化學放大性質藉深部紫外光，襄化氪激光雷射光束， i線光，電子束或軟X光照射方法形成所需圏樣。 本發明進一步由操作態樣闡述。當 -, 田本發明之阻體材料' 曝先於光化學照射如氟化氪激光雷射朵 .化束或深部紫外光 時，根據下式1，2,3,4或5之先沿* am 力反應囷於曝光區產 生酸： (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -------訂---------線 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 ^紙張尺度適用7國國家g7CNS)A4規格⑽χ 297公£_ -ϋ ϋ ϋ n n - -58- 1285660 五、發明說明（56 )

1 2 o s

.0 -H3 Ho CIS CH3 CHn N2 0 CHa h2 0 CH3 -C Ηα^^^-C H- —ft - C - C H： 一 SOn H CHa (2)

Ci F17 S 0：

FnSO：i H (3) ----— I!-----裝 i — — — — — — 訂·！ !!線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -59- 1285660 A7 B7 五、發明說明（57 )

0 S 0 2 C Η 3 -coch3 OS〇2 CHa

CH：, S03 H (4)

〇S02 C4 H9 -OSO2 C4 H* OSOj C< H$

C4 H, SO3 H H2 (5), 前述曝光步驟後，接著加熱處理可引發下式6之反應·· 一（CH-CH2 ) η — Ηφ -(CH-CH. ) η (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

OCH-CH： OCH2 CH £ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 因此’本發明聚合物之特定官能基（式6之1-乙氧乙氧基） 於酸作用下進行化學變化變成羥基，結果此種聚合物變成 驗可溶’並於顯影步驟中溶離於顯影劑内。 它方面於未曝光區未進行化學反應，故即使當進行加 熱處理時此區也未產生酸。又用铃促進基質黏著性之聚合 (6) I — — — — — — ^» — — — — — — 1— — — — — — — — — — — — —_____— II___ -60-

1285660 五、發明說明（58 ) 物之親水部分反而藉光酸產生劑保護不受驗性顯影劑濕 满。如此當使財糾絲體⑽細雜生成時，介於 曝光部分與未曝光部分間之驗性顯影劑溶解度產生大的差 異’此種差異加上未曝光區聚合物對基質有強力黏著性， 故顯影過程巾*會造成薄顧離—層，結果可獲得具有 良好對比度的正圖樣。又因曝光產生的酸如式6說明具有 催化作用’故曝光劑量僅限於足夠產生所需酸的程度，可 減少曝光能量需要量。 進一步利用下列實例、製備例及比較例詳細描述本發 明。 實例及比較例中使用的部分聚合物，光酸產生劑及紫 外光吸收劑係根據JP-A 4-210960(USP 5,216，135); ， JP-A4-211258(USP 5,350,660 ； EP-A 0,440,374) ； JP-A 5-249682 (EP-A 0,250,642) ； JP-A 4-251259 ； Bull. Chim.Soc. France, Vol. 1974, p.1956; C.D. Beard et al ： J. Org. Chem., Vol· 38, ρ·3673(1973)等揭示之方法合成（揭示内容併述於 此以供參考）。 製備例1 聚（對-1-乙氧乙氧苯乙烯/對-羥苯乙烯/對·甲基苯乙烯） 之合成 (1)於100g (0.567 mol)對·第三丁氧苯乙烯及 3.54g(0.03 mol)對·曱基苯乙烯於3〇〇 ml 1，4_二氧陸圜之溶 液内加入催化量之2,2*·偶氮貳（甲基_2_甲基丙酸酯）而於8〇 °C之氮流下進行反應6小時。反麝溶液經冷卻及倒入 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） I----裝-------—訂·--- - ----線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 繞齊邨智慧財產局員工消費合作社印製 -61- A7 1285660 五、發明說明（59 5,000ml甲醇溶液引發結晶。過濾出沈澱的結晶，以甲醇洗 滌及真空脫水獲得92.3g聚（對··第三丁氧苯乙稀/辦甲基 苯乙烯）呈白色粉末。基於1H NMR發現聚合物含對·第=丁 氧苯乙稀單位及對-曱基苯乙稀單位之莫耳比約95 : 5。藉 GPC以聚苯乙烯校準測知重均分子量（Mw)約2〇 〇()()。 (2) 70g如上⑴所得聚（對-第三丁氧苯乙稀/對_甲基 苯乙烯）溶解於1，4-二氧陸圜，然後加入1〇〇如濃鹽酸及 混合物於70-80t攪拌反應4小時。反應溶液冷卻後，倒入 5.000 ml水引發結晶。生成的結晶過濾出，以水洗滌及真 空脫水獲得4.6g聚（對-羥苯乙烯/對_甲基苯乙烯）呈白色 粉末。生成的聚合物中對_羥苯乙烯單位/對·甲基苯乙烯 單位之莫耳比約95 : 5(iH NMR)。Mw与i4,500(Gpc以聚笨 乙烯校準）。 (3) 於15.0g如上(2)所得聚（對·羥苯乙烯/對·甲基苯 乙烯）及3.5g乙基乙稀基越於15〇1111 M•二氧陸圓之溶液内 加入催化量之對-甲苯續酸吡啶鏘:鹽於室溫以 小時。反應溶液倒入5，__及結晶。沈殺的结晶^遽 出，以水洗務及真空脫水獲得旧蜱（對+乙氧乙氧苯L 浠/對-絲乙埽/對.甲基苯乙稀）呈白色粉末。聚合物之 對-1-乙氧乙氧笨乙稀單位/對邊苯乙婦單位/對-甲基笨 乙烯單位之莫耳比基於1HNMR為約35 ·· 60 ·· 5。Mw£= 18.000 ; Mw/Mn% h86 (Gpc以聚苯乙稀校 · 製備例2 聚(對-1_乙氧乙氧笨乙烯/對-經蒌乙烯/對-苯乙烯)之合 t紙張尺度適用中國國家標準（UNS)A4規格（2ι〇 χ 297公爱） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 ·· Φ-------tr----------------------·---------- -62- 1285660 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 、發明說明（6〇 ) 成 ⑴使用8i.ig(o.46_)對-第三丁氧苯乙烯及 4._.04γπ〇1)苯乙烯作為起始細斗，根據製備例i⑴之程 序進行聚合反應及後處理獲得77,賊（對·第三丁氧苯乙稀 /苯乙稀）呈白色粉狀結晶L中對.第三了氧苯乙浠 單位/苯乙烯單位之莫耳比物：8。（ihnmr)。麻与 20,000(GPC以聚苯乙烯校準）。 (2) 使用70g如上（1)所得聚（對-第三丁氧苯乙稀/苯 乙稀)進行製備例1 (2)程序之反應及後處理，獲得44.喊 (經苯乙稀/苯乙浠）呈白色粉狀結晶。聚合物之對_經苯乙 稀單位/苯乙浠單位之莫耳比約92:8。（1關·)。·— 15,000(GPC以聚苯乙烯校準）。 ， (3) 使用於l5.0g如上⑺所得聚（經苯乙稀/苯乙稀)及 3.2g乙稀基乙基㈣，進行製備例1(3)程序之反應及後處 =，獲得⑷蜱（對-卜乙氧乙氧經苯乙稀/對-經笨乙稀/ 苯=婦）呈白色粉狀結晶。聚合物中對小乙氧乙氧經苯乙 稀早位/對.經苯乙稀單位/笨乙稀單位之莫耳比⑽：62 : 8。（》H NMR)。Mw^ 18，_ ; Mw/Mn= ! 85(Gpc以聚 苯乙烯校準）。 製備例3 聚（對-1-乙氧乙氧羥苯乙烯//對_羥苯乙烯/對·第三丁氧 苯乙烯）之合成 ⑴於17.6g對-第三丁氧苯乙烯於5〇1111異丙醇之溶液 内力入催化里之2,2’-偶氮貳（甲基}甲基丙酸酯)於氮下於 :紙張尺度適用tiiii^(CNS)A4規格⑽χ挪^ --------------裝 i I (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) . --線· -I n ϋ · -63- 1285660 A7 五、發明說明（61 ) 8〇C進行反應6小時。反應溶液經冷卻及倒入l，000ml甲醇 溶液内引發結晶。生成的結晶經過濾出，以曱醇洗滌及真 空脫水獲得16.7g聚（對_第三丁氧苯乙烯）呈白色粉狀結 晶。Mw=?20,000(gpc以聚苯乙烯校準）。 ⑺15.0g如上⑴所得聚（對-第三丁氧苯乙烯）懸浮於 異丙醇然後加入15 ml濃鹽酸，及混合物於7〇-80。(：以攪拌 反應4小時。反應溶液經冷卻及倒入1,000 ml水中結晶。 沈澱的結晶經過濾出，以水洗滌及真空脫水獲得9勉聚（對 -羥苯乙烯/對-第三丁氧苯乙烯)呈白色粉狀結晶。聚合物 中對-羥苯乙烯單位/對·第三丁氧苯乙烯單位之莫耳比約 94 : 6。CHNMR)。Mw%15,〇〇〇(Gpc以聚苯乙烯校準）。 (3) 15.7g如上（2)所得聚（對_經苯乙烯/對_第三丁氧， 笨乙烯）及3.2g乙基乙稀基醚溶解於14〇ml丨，4_二氧陸園於 其中加入催化量之對·甲苯績酸之叱咬鏘鹽於室溫授掉反 應24小時。反應溶液倒入3 〇〇〇ml水中及結晶。沈殺的結晶 經過慮出，以水洗條及真空脫水獲得155找(對·】·乙氧乙 =稀:對-經苯乙稀/對·第三丁氧笨乙婦)呈白色粉 2二々 對-1.乙氧乙氧笨乙稀單位/對-經苯乙 T氧苯⑽單位之莫^_:64:6。 (HNMR)。Mw_ 18，_(Gpc以聚笨 製備例4 ^)〇 =笨=_苯㈣〜苯-對-第 於I5.7g根據如上（2)所得之聚(對 κ甲氧-1-甲基乙氧 本紙張尺度適财®圈冢標準（CNS)A4規格（21“297公楚) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 ϋ ϋ ϋ ϋ ϋ 1 一：°JI I I ϋ I— I 1 I ϋ ϋ I ϋ ϋ I n I I I ί ϋ ϋ I ϋ I ϋ . -64- 1285660 A7 經濟部智慧时產局員工消費合作社印製 五、發明說明（62 本乙烯/對-經苯乙烯，對_第 小丙稀於12_四氫味 本乙烯)及3.2g2-甲氧 於室溫以授拌反應16小時内加入催化量之碟醢氣 聚(對甲氧小甲基乙氧苯及真空脫水獲得14.3g 乙氧笨乙稀單位/對姆二:二中對甲氧+甲氧 單位之莫對·第三丁氧苯乙稀 υ · 6( HNMR) 〇 Mw= 17 800 · Mw/Mn=1.9G(GPC以聚笨乙稀校準）β ，’ 製備例5 聚(對小乙氧乙氧苯乙稀/對·經苯乙稀/對四氫哌咕基 乳本乙稀）之合成 ， ⑴使用32.4g對-乙酿氧苯乙稀作起始物料，根據製備 例3⑴進行聚合反應及後處理獲得则咖對-乙酿氧苯 乙烯）呈白色粉狀結晶。Mw% 15,000 ; (GPC以聚苯乙烯校 準）。 (2) 於16.2g如上⑴所得聚（對·乙醯氧苯乙烯）之^心二 氧陸圜溶液内加入25 ml濃鹽酸及混合物迴流攪拌4小 時。反應溶液經冷卻及倒入後，MOO…水中引發結晶。 沈澱的結晶經過濾出，以水洗滌及真空脫水獲得11.4g聚 (對-羥苯乙烯）呈白色粉末。Mw与12,000(GPC以聚苯乙烯 校準）。 (3) 於10.8g(2)所得聚（對·羥苯乙烯）於72ml 1，4-二氧 陸圜之溶液内加入：lr2g 2,3-二氫略•·喃及0.05g對-甲苯磺酸 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） .65 -----— — — — — — — — ^ i — — — — — — — — — — — — — (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) A7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1285660 五、發明說明（63 ) 之㈣鹽，㈣5魏進槪應15小1 倒 —财及結晶。賴的結晶經過心 真空脫水獲得购聚(對姻乙埽/對_四氣㈣基氧^ 乙烯)呈白色粉狀結晶。聚合物之對_羥苯 氨㈣基氧苯乙婦單位之莫耳比物：5(1hn 二 13,000(GPC以聚苯乙烯校準）。 1 (4)使用❿根據如上⑺所得聚（對遍笨乙稀/對_四 纽畴基氧苯乙稀)及2々乙基乙烯_根據製備例3(3) 進订反應及後處理’生成的結晶經過據出，以水洗膝及真 空脫水獲得㈣聚（對小乙氧乙氧苯乙烯/對-經苯乙v 對-四氫:底痛基氧苯乙烯）呈白色粉狀結晶。聚合物内對小 乙氧乙氧苯乙稀單位/對·經苯乙稀單位/對·四氨娘 氧苯乙烯單位之莫耳比約35: 6〇: 5(1hnmr)。与 16,000(GPC以聚苯乙烯校準）。 製備例6 聚（對-1-乙氧乙氧苯乙烯/對_羥苯乙烯/對_第三丁氧羰 基氧苯乙稀）之合成 (1) 35.3g根據製備例3 (1)所得聚（對_第三丁氧苯乙烯) 懸浮於異丙醇，然後加入5〇 ml濃鹽酸及混合物迴流攪拌4 小時"反應溶液經冷卻及倒入3,〇〇〇…水中結晶。沈澱的 結晶經過渡出，以水洗滌及真空脫水獲得22.1g聚（對-羥苯 乙稀）呈白色粉狀結晶。MW% i4,500(GPC以聚苯乙婦校 準）。 (2) 於16.2g如上（1)所得之聚(對-羥苯乙烯）於60ml乙 本、.代張尺度週用T國國豕標準（cns)A4規格（210 X 297公楚

-66-

1285660 五、發明說明（64 酉文乙s曰之岭液内加入3〇g二-第三丁基二碳酸酯及三乙 至皿反應4小時。反應結束時，於減壓下蒸館去除乙 S夂乙S曰及殘餘物溶解於8()細_，並倒人i，_mi水中引 發、"日日，七殿的結晶經過渡出，U水洗條及真空脫水獲得 iMg聚(對’笨乙稀/對-第三丁氧戴基氧苯乙稀）呈白色 =狀…曰曰。對·羥苯乙烯單位/對-第三丁氧羰基氧笨乙烯 單位之莫耳比約94 : 6(4 NMR)。Mw与16,500(GPC以聚苯 乙稀校準）。 一（3)使用11.4g根據如上(2)所得聚（對_羥苯乙烯/對_ 第-丁氧羰基氧苯乙稀)及2 5§乙基乙稀基驗，遵照製備例 1(3)之程序進行反應及後處理獲得⑽聚（對]•乙氧乙氧 對-羥苯乙烯’對_第三丁氧羰基氧苯乙烯)呈白， :嫌:晶°聚合物内對小乙氧乙氧苯乙烯單位/對-經苯 30:早位/對-第三丁氧幾基氧苯乙烯單位之莫耳比約 聚笨乙埽。MW=?2G，咖；Mw/Mn=1.9G(GPC以 製備例7 =對七尹氧乙氧苯乙埽/對·經苯乙 烯基笨氧乙酸醋）之合纟 第一丁基乙 K2g根據製備例6⑴所得聚(對-經苯稀）， ㈣=氣乙酸醋及2.5g無水碳酸鉀懸浮於細 二:Γ小時“冷卻後，過遽出不溶物及遽液倒入 真、k中及、“曰β生成的結晶經過濾出，以水水洗滌及 真4水獲得⑽聚(對·經笨乙烯/對_第三丁基乙婦基 --------------裝 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經 齊 部 智 慧 財 產 m 員 二 消 費 合 ί乍 #土 印 製 本紙張尺—用^5^準(cNS—格 ^297 公 f ----^---------^---------- -67- A7 1285660 主、發明說明（65 ) 苯氧乙酸酯）呈白色粉狀結晶。聚合物中對-羥笨 /對第三τ基乙烯苯氧乙酸自旨單位之莫耳比物稀早仅

TfHNMR)。Mw与16’0〇〇(GPC以聚苯乙烯校準）。 (2)使用13.2g根據如上（1)所得聚（對·羥笨乙 第三丁基乙烯基苯氧乙酸酷)及2.Gg?基乙縣越進 備例1(3)之程序獲得1〇.6§聚（對小甲氧乙氧苯 經苯乙烯，對-第三丁基乙埽基苯氧乙酸醋)呈白色粉狀, 晶:所得聚合物内對小甲氧乙氧笨乙稀單位/對-乙。 烯早位/對·第三丁基乙烯基笨氧乙酸醋單位之莫耳比 33 : 60 : 7(lH NMR)。Mw% 19 5〇〇 ; Mw/Mn=i 8 c” 聚苯乙烯校準）。 製備例8 聚（對-1-乙氧乙氧苯乙烯/對_羥苯乙烯)之合成 使用8g根據製備例6⑴所得聚(對·經苯乙婦)及2々 乙基乙稀基賴據製備例1(3)進行反應及後處理，獲得 9.2g聚(對-i-乙氧己氧苯乙埽/對·經苯乙稀）呈淡褐色粉 狀結晶。聚合物内對小乙氧乙氧苯乙稀單位/對_經苯乙 稀單位之莫耳比約38:62(1HNMR)eMwi?18,5〇〇;

Mw/Mn吐88(GPC以聚苯乙烯校準）。 製備例9 聚（對-1-甲氧乙氧苯乙稀/對遍苯乙稀)之合成 使用8g根據製備例6⑴所得聚(對-經苯乙稀)及2 2g 甲基乙稀基醚根據製備例1(3)進行反應及後處理 ，獲得 8.6g聚（對]-甲氧乙氧笨乙稀/對:經苯乙稀）呈淡褐色粉 ί靖先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 I ^^^^1 — — — — —— » — — — — — — — — I — — — — — — — — — — — — — — — — — — — — — —

-68- A7 乙

---!·裝--- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁} 訂· --線· 1285660 五、發明說明（66 ) 狀結晶。聚合物内對-1-甲氧乙氧苯乙烯單位/對·羥苯 烯單位之莫耳比約4: ό(1ίίΝΜΙΐρΜνν^18,〇〇0;二 w/Mn=1.89(GPC以聚苯乙稀校準）。 製備例10 聚（對-四氫哌喃基氧苯乙烯/對-羥苯乙烯）之合成 (1) 於17.6g對-第三丁氧苯乙烯於甲苯之溶液内加入 催化量之2,2’-偶氮貳異丁腈於氮流下於8(rc進行聚合反應 6小時。反應溶液經冷卻及倒入1000^甲醇引發結晶。〜 澱的結晶經濾出，以甲醇洗滌及真空脫水獲得16以聚（對 第二丁氧笨乙烯）呈白色粉狀結晶。Mw# 以聚笨 乙稀校準）。 (2) 於15.〇g如上（1)所得聚（對_第三丁氧苯乙烯）之， Μ-二氧陸圜溶液内加入1〇 ml濃鹽酸及混合物迴流攪拌4 小時。反應溶液倒入1，00〇1111水及結晶。沈澱的結晶經過 濾出，以水洗滌及真空脫水獲得9%聚（對-羥苯乙烯）呈白 色粉狀結晶。Mw与7,500(GPC以聚苯乙烯校準）。 (3) 於9.0g如上（2)所得之聚（對_羥苯乙烯）於 100mll’2 一曱氧乙烧之溶液内加入12如二氮旅喃及 〇·5爾酸於3{M〇t授拌反㈣小時。反應溶液於減壓下 濃縮及殘餘物以碳酸納中和，及倒入^麵㈤水中引發結 晶。沈殿的結晶經過渡出，以水洗務及真空脫水獲得ll.Og 聚（對-四氫呢味基氧苯乙稀/對·經苯乙烯）呈白色粉狀結 f。聚合物㈣·四氫Μ基氧苯乙烯單位/對_鮮乙稀 皁位之莫耳比約3 : 7(1HNMR)。Mw与10,000 ; 私紙張尺度適財S目家^^)A4 —⑽x 297—y -69- A7 1285660 五、發明說明（67 )

Mw/Mn=1.60(GPC以聚苯乙稀校準）。 製備例11 聚(對-第三丁氧幾基氧苯乙烯/對_經笨乙婦)之人成 使用18.0g如上製備例i 0(2)所得聚(對經苯乙D 10.6g二-第三丁基二碳酸醋及叫三乙胺，遵照例 (:)之程序獲得18·2·第三丁氧幾基氧笨乙烯/對·超 苯乙稀）呈白色粉狀結晶。聚合物内對_第三丁氧知奸 乙烯單位/對絲⑽單位之莫約3 : 7(ΐΗΝς= Mw与l〇,〇00(GPC以聚苯乙烯校準）。 製備例12 聚（對-第三丁氧苯乙烯/對·羥苯乙烯）之合成 於I5.0g根據製備例10⑴所得聚(對-第三丁氧苯乙稀） 之1’4·二氧陸園溶液内加入⑺⑻濃鹽酸於8〇_阶授掉反 應3小時。反應溶液經冷卻及倒入水中引發結晶。沈殺的 結晶經過漶出’以水洗務及真空脫水獲得98g聚（對·第三丁 氧苯=烯/對-經苯乙稀)呈白色粉狀結晶。聚合物内對-第 二丁氧笨乙烯單位/對經苯乙烯單位之莫耳比約3:7(1H NMR)。Mwi? 8,5G。； Mw/Mn=1 65(Gpc以聚苯 製備例13 聚（對-第三丁氧幾基氧苯乙稀/對·經苯乙烯)之合成 …（:）使用17.6g對-第三丁氧苯乙稀，根據製備例ι〇(ι) 進行聚Q及處理反應溶液獲得12 5§聚（第·第三丁氧苯乙烯） 呈白色粉狀結晶。Mw与3,500(GPC以聚苯乙烯校準）。 (2)使用12.0g如上（1)所得聚(對·第三丁氧苯乙烯），遵 本紙張尺度適用中國^i?TcNS)A4規格⑽X 297公£ 閱 讀 背 ♦ -70- A7 1285660 _________B7___ 五、發明說明（68 ) 照製備例10(2)之程序獲得8 2g聚（對_羥苯乙烯）呈白色粉 狀結晶。Mw与3,0〇〇(GPC以聚苯乙烯校準）。 (3)使用8.0g如上（2)所得聚（對·羥苯乙烯），遵照製備 例6 (2)之程序進行反應及後處理，獲得7&聚（對·第三丁 氧幾基氧苯乙烯/對-經苯乙烯）呈淡褐色粉狀結晶。聚合 物内對-第三丁氧裂基氧苯乙稀單位/對·經苯乙婦單位之

莫耳比約 3 : 7(1HNMR)。Mw与 4,0〇〇 ; Mw/Mn=1 6〇(GPC 以聚苯乙烯校準）。 ’製備例14 聚（對-第三丁基乙稀基苯氧乙酸輯/對_經苯乙稀）之合成 4.0g製備例10(2)所得聚（對_羥苯乙烯），2.5§第三丁基 一氯乙酸醋及2.5g無水碳酸鉀懸浮於35ml丙酮及迴流授拌· 2小時。冷卻後過濾出不溶物及遽液倒入1〇〇〇 水中引 發結晶。沈殺的結晶經過濾出，以水洗蘇及真空脫水獲得 5.2g聚（對-第三丁基乙稀基苯氧乙酸醋/對·經苯乙稀）呈 白色粉狀結晶。聚合物内對第三丁基苯氧乙_單位/對 -經苯乙烯單位之莫耳比約35 : 65(1hnmr) 〇 Mw = 經齊轳眢慧时轰笱員工消費合作社印製 11，000 ; Mw/Mn=1.65(GPC以聚苯乙烯校準）。 製備例15 聚（對-1-乙氧乙氧苯乙烯/對，笨乙烯/反丁稀二晴)之 合成 ⑴33.4g (0.19 111〇1)對_第三丁氧苯乙稀及〇 8g(〇 〇i m〇1)反丁稀二腈於甲苯於催化量之2以馬滅（曱基2岬基 丙酸醋）存在下於9(TC氮流下聚合2小時。反應溶液倒入甲 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297^^7 -71- A7

1285660 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（69 ) 醇引發結晶。沈澱的結晶經過濾出，洗滌及脫水獲得23 5g . 聚（對-第三丁氧苯乙烯/反丁烯二腈）呈白色結晶。Mw与 24,500(GPC以聚苯乙烯校準）。 (2) 使用20.0g如上（1)所得聚（對_第三丁氧苯乙烯/ 反丁烯二腈）’遵照製備例1 (2)之程序進行反應及後處 理，獲得l〇.9g聚（對·羥苯乙烯/反丁烯二腈）呈白色粉狀結 晶。Mw与16,500(GPC以聚苯乙稀校準）。 (3) 使用9.0g如上(2)所得聚（對_羥苯乙烯/反丁烯二 腈）及2.8g乙基乙烯基醚，遵照製備例i (3)之程序進行反 應及後處理，獲得8.3g聚（對-1-乙氧乙氧苯乙烯/對_羥苯 乙烯/反丁稀一腈）呈白色粉狀結晶。聚合物内對_1_乙氧 乙氧苯乙烯單位/對·羥苯乙烯單位之莫耳比約3 : 7(1H ， NMR)。Mw与 20,000 ; Mw/Mn= 1.85(GPC 以聚苯乙烯校準）9 製備例16 聚（對-1-乙乳乙乳本乙稀/對-經苯乙稀）之合成

(1) 使用15.9g聚（對-第三丁氧苯乙烯）[Mw与 20,000 ; Mw/Mn=1.2(GPC以聚苯乙烯校準）；日本蘇打公 司生產]，遵照製備例6(1)之程序進行反應及後處理，獲 得10.5g聚（對-經苯乙烯）之白色粉狀結晶。mw%4,〇〇〇(；C}PC 方法聚苯乙烯校準）。 (2) 使用8.0g如上⑴所得均勻分散之聚（對，苯乙稀) 及2.4g乙基乙烯基醚，以前述製備例1(3)之相同方法進行 反應及後處理，獲得9.0g聚（對-1-乙氧乙氧苯乙烯/對_羥 苯乙烯）呈白色粉狀結晶。聚合物界對-1-乙氧乙氧笨乙婦 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ^9-------^---------^1®.-------------.--------- -72· A7 1285660 五、發明說明（70 單位/對遍苯乙烯單位之莫耳比約35:65。胸与17,5〇〇.; Mw/Mn= 1 · i 5(GPC以聚苯乙烯校準）。 製備例17 聚(對-異丁氧幾基氧苯乙烯/對-經苯乙稀)之合成 使用18.0g聚（對’苯乙稀）[Mw〜1〇，嶋；Mw/Mn = 以聚笨乙烯校準）；日本蘇打公司生產],ι〇·. 碳酸二異丁醋（由氣碳酸異丁醋與碳酸卸合成），遵照製 備6 (2)之程序進行反應及後處理，獲得ΐ6·5§聚（對**異丁 氧幾基氧苯乙稀/對-經苯乙稀)之淡褐色粉狀結晶。聚合 物内對-異丁氧幾基氧苯乙婦單位/對-經苯乙稀單位之莫

耳比約 28 · 72(1H NMR)。Mw% 13,000 ; Mw/Mn=1.05(GPC 以聚苯乙婦校準）。 ， 製備例18 聚（對-乙氧羰基氧苯乙烯/對-羥苯乙烯）之合成 窗（丨）於17.6g對·第三丁氧苯乙烯之甲苯溶液内加入催 化量之2,2’-偶氮貳（2,4-二甲基戊腈）於氮流下於7〇它進行 聚σ反應6小時。反應溶液根據製備例10(1)處理獲得16.5§ 聚（對_第二丁氧苯乙烯）呈白色粉狀結晶。Mw与9,500(GPC 以聚笨乙埽校準）。 (2) 使用15.0g根據如上（丨）所得之聚（對-第三丁氧苯 乙烯）’進行製備例1〇(2)之程序獲得9.0g聚（對-羥苯乙烯） 呈白色粉狀結晶。Mw与7,000(GPC以聚苯乙烯校準）。 (3) 使用9.0g根據如上⑺所得聚（對-經苯乙烯）及4_〇g 焦碳酸二乙酯，遵照製備例Θ (2)孓程序獲得9.0g聚（對-乙 私紙張尺度適用中國準（CNS)A4規格（ χ 297公爱） -----------—裝--------訂-------—線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -73- 1285660 A7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 發明說明（71

氧幾基氧苯乙稀/對僻乙峨白色粉狀結晶。對-乙氧 缝氧苯乙烯單位/對遍笨乙稀單位之莫耳比約3 ·· 7(1H ::”一―^ 聚(對·異丙氧幾基氧苯乙稀/對·經苯乙烯)之合成 使用12.0g製備例18(2)所得聚(對-經苯乙稀)及屯城 進行製備例6(2)之程序獲得u.··異丙 氧…苯，乙烯/對姆乙稀)呈白色粉狀結晶。聚合物 内對-異丙乳幾基氧苯乙稀單位/對·經苯乙稀單位之莫耳 比約 3 · 7(4 NM. Mw% 9，_ ; Mw/Mn= Gpc 以 苯乙烯校準^ 製備例20 聚(對-第三丁氧幾基氧苯乙烯/對-經苯乙稀)之合成. 一山使用18.0g製備例6⑴所得聚（對經苯乙稀)及⑺6g 炭酸第一丁Sa ’進行製備例6(2)之程序獲得18.〇g聚 (對-第三丁氧㈣氧苯乙歸/對·Μ苯乙稀）呈白色粉狀結 晶。聚合物内對·第三丁氧幾基氧苯乙稀單位/對-經苯乙 稀早位之莫耳比約28 : 72(4 NMR)。Mw与！9，_ ; MW/Mn=l.85(GPC以聚笨乙烯校 製備例21 聚，1_乙氧乙氧苯乙稀/對-經笨乙烯)之合成 使用16.0g製備例10(2)所得之聚(對經苯乙稀)及❿ 乙稀基乙㈣’進㈣備例1 (3)之程序獲得15.5g聚(對·i-乙氧乙氧笨乙稀/對遍苯乙婦）。聚合物内對·卜乙氧乙氧 n I ϋ »^1 ϋ n ϋ ϋ ^1 ^1 ^1 ^1 I ^1 H ϋ ϋ ϋ ϋ ^1 ^1 ^1 ϋ ϋ I I I n ϋ I ϋ ϋ ϋ n I I (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

1285660 五、發明說明（72 ) 苯乙稀單位/對-鮮乙歸單位之莫耳比約n 9,500 ；Mw/Mn=1.65(GPC，x^^6^^ 製備例22 聚(對-1-乙氧乙氧苯乙烯/對娜 L·烯)之合成 ’耵弟-丁氧笨 ⑴使用48.6g(0.3m〇1)對·乙醯氧笨乙烯， •第三丁氧苯乙烯及催化量之2,2，_偶氮武(2= 戊腈），遵照製備例3(1)之程序進行反應及後處理，t ㈣聚(對第三丁氧笨乙稀/對-乙醯氧苯乙烯)呈白:得 狀結晶。聚合物内對-乙醯氧笨乙烯單位，對-第三丁!4粉 乙烯單位之莫耳比約3: 1(ΐΗΝ·)βΜ”ι〇,5〇:;风笨

Mw/Mn=1.32(GPC以聚笨乙烯校準）。 ’ 經濟邨智慧財產局員工消費合作社印製 (2) 46.3g根據上如⑴所得聚（對_乙醯氧苯乙烯/ ' 第三丁氧苯乙烯)及U)_l6%氫氧化四甲銨水溶液之對' 合物於SOGmi異丙醇迴流授拌4小時。反應溶液以己^ 和及減壓濃縮，殘餘物溶解於15〇1111丙酮及倒入5,〇〇〇功中 水引發結晶。沈澱的結晶經過濾出，以水洗滌及真外mi 獲得33.8g聚（對-羥笨乙烯/對·第三丁氧苯乙烯^水 中對_羥苯乙烯單位/對-第三丁氧苯乙烯單位之莫耳比物 3 ·· 1(巾 NMR)。Mw% 8,540 ; Mw/Mn=1.30(GPC以聚〜約 烯校準）。 (3) 使用26.8g如上(2)所得聚（對-羥苯乙烯/對、第一 丁氧苯乙烯）及1.5g乙基乙烯基醚，根據製備例i (3)進行反 應及後處理，獲得25.0g聚(對·丨-心氧笨乙烯/對_羥笨 卜紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱） A7 1285660 —-------B7_______ 五、發明說明（73 ) /對-第三丁氧苯乙烯）呈白色粉狀結晶。聚合物中對_丨-乙 氧苯乙烯單位/對-羥苯乙烯單位/對_第三丁氧苯乙烯單 位之莫耳比約 10 : 65 : 25。Mw 与 9,200 ; Mw/Mn=1.30(GPC 以聚苯乙烯校準）。 製備例23 對-甲酚/間-甲酚/甲醛縮聚物(Mw= 800)之合成 於60.0g(0.55mol)對·甲酚，60.0g(0.55mol)間-甲酚及 2.4g草酸二水合物之混合液中於l〇〇°c以攪拌逐滴添加 33.7g(0.42mol)37%甲醛溶液，及混合物於100± 5°C以攪 拌反應4小時。反應結束後，2,000 ml水倒入反應溶液内 引發沈澱。藉傾析去除上清液後，沈澱溶解於120ml丙酮 及1200ml水倒入溶液内引發沈澱。傾析上清液後，溶液於’ 減壓下蒸發至乾獲得74.5g殘餘對-甲酚/間-甲酚/甲醛縮 聚物呈淡黃色蠟狀結晶。Mw与880 ; Mw/Mn=2.07(GPC以 聚苯乙烯校準）。 製備例24 對·曱酚/間·曱酚/甲醛縮聚物（Mw= 1，500)之合成 使用 60.0g(0.55mol)對-甲酚，60.0g(0.55mol#1_ 甲酚 及45.0g(0.55mol)37%甲醛溶液，根據製備例23之程序進行 反應及後處理獲得90.4g對·甲酚/間-甲酚/甲醛縮聚物呈 淡黃色蠟狀結晶。Mw与1，580 ; Mw/Mn=2.49(GPC以聚苯 乙烯校準）。 製備例25 對-甲酚/間·甲酚/甲醛縮聚物（Mw=6,000)之合成 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 'SJ------訂—— 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 __________— — I:_________ -76- 1285660 B7

五、發明說明（74 ) 使用 30.0g(0.28mol)對-甲酚，30.0g(〇.28m〇i)間·甲紛 及40.5g(0.50mol)37%甲醛溶液，根據製備例23之程序進行 反應及後處理獲得38.4g對-甲酚/間-甲酚/甲醛縮聚物呈 淡黃色蠛狀結晶。Mw与6,600 ; Mw/Mn==6.82(GPC以聚苯 乙烯校準）。 製備例26 聚（對-1-乙氧乙氧苯乙烯/對-羥苯乙烯/對-異丙氧幾基 氧苯乙烯）之合成 ® (1)於17.6g對·第三丁氧苯乙烯之甲苯溶液内加入催 化篁之2,2 -偶亂底（2,4-一甲基異戍勝）俾於7〇°c於氮流下 進行聚合反應6小時。反應產物根據製備例1〇(丨)處理，獲 得16.5聚（對-第三丁氧苯乙烯）呈白色粉狀結晶。Mw_ , 9,500(GPC以聚苯乙烯校準）。 (2) 使用15.0g根據如上（1)所得聚（對_第三丁氧苯乙 稀）’進行製備例10(2)之程序進行反應及後處理獲得9 〇g 聚（對-經苯乙烯）呈白色粉狀結晶Mw与7,000(GPC以聚苯 •乙烯校準)。 (3) 使用12.0g如上（2)所得聚（對-羥苯乙烯）及3 〇§異 丙基氣碳酸酯，根據製備例6 (2)進行反應及後處理，獲得 11.7g聚（對-異丙氧羰基氧苯乙烯/對-羥苯乙烯）呈白色粉 狀結晶。聚合物中對-異丙氧羰基氧苯乙烯單位/對_羥苯 乙烯單位之莫耳比約2 : 8(1H NMR)。Mw与8,0〇〇 ; Mw/Mn=l .60(GPC以聚苯乙烯校準）。 (4) 使用lO.Og如上(3)所得聚(對-異丙氧幾基氧苯乙 本紙張尺度剌t S @家標準（CNS)A4規格（210 X 297公楚"7 — — I! — — — — — — · · ί I — I I I 訂·— — — — — — I- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -77- 1285660 A7 _______B7 _ 五、發明說明（75 ) 烯/對-經苯乙烯）及0.8g乙基乙烯基醚，根據製備例1⑺ 進行反應及後處理，獲得8.9g聚（對-1-乙氧乙氧苯乙烯/對 -經苯乙烯/對-異丙氧羰基氧苯乙烯）呈白色粉狀結晶。聚 合物中對-1-乙氧乙氧苯乙烯單位/對-羥苯乙烯單位/對_ 異丙氧幾基氧苯乙稀單位之莫耳比約10 : 70 : 20(4 NMR)。Mw与 8,300 ; Mw/Mn=1.60(GPC以聚苯乙稀校準）。 製備例27 對-甲酚/1，4-二羥甲基苯縮聚物之合成 38.4g(0.36mol)對-甲酚，及35.0g(0.25mol)二甲苯_ α，α··二醇加熱溶解，然後於90_l〇〇°c加入〇.i5g甲燒碍 酸及混合物於同溫攪拌2小時。冷卻後，倒入1〇〇1111丙_ 並溶解於反應溶液然後溶液倒入2,〇〇〇 ml水，授拌後任其、 放置，隨後傾析去除上清液及殘餘物溶解於100ml丙綱， 倒入2,000 ml水中及攪拌。溶液任其放置，傾析去除上清 液及殘餘物於減壓下蒸發至乾，獲得65.0對-甲酚/丨，4_二 經曱基苯縮聚物呈淡黃色粉狀結晶。Mw与6,700 ,· Mw/Mn=3.50(GPC以聚苯乙烯校準）。 實例1 經 濟 部 智 慧 財 產 局 員 工 消 費 合 作 社 印 製 製備具有如下組成之光阻材料： 聚（對-1-乙氧乙氧苯乙烯/ 對-羥苯乙烯/對-第三丁氧 苯乙稀)[Mw=18,000 ;

Mw/Mn=1.90 ;製備例3之聚合物] 4.5 g 聚（對-第三丁氧羰基氧苯乙烯 ： •78- 128566〇 A7 〜^_B7 ' __丨_ 丨· 丨丨丨丨··1 11,11 1 1 '" - 五、發明說明（76 ) _ /對-羥苯乙烯）Mw=10,000 ; Μ\ν/Μη=1·65 ;製備例 11 聚合物] ι·5 g 武（1，1-二甲基乙基磺醯基）重氮甲烷 〇.2 g 貳（對-甲苯磺醯基）重氮甲烷 0el g 丙二醇一甲醚乙酸酯 22.7 g 用前述光阻形成圖樣之方法參照第1圖說明。 前述阻體材料3紡塗於氮化鈦基質2上（經由 CVD或喷鍍於鋁底座1上獲得），及於9〇t：熱板上挺烤％ 秒形成1.0/zm厚度阻體薄膜（第1A圖）。阻體薄膜選擇性 通過光罩5 (第1B圖）曝光於氟化氪激光雷射(Na=〇.55) 光束4具有波長248.4 nm，於100°C熱板上後烘烤90秒然後 以鹼性顯影劑（2.38%氫氧化四甲銨溶液）顯影60秒，因而溶 解去除阻體材料之曝光部分形成正圖樣3a(第1C圖）。所得 正圖樣為矩形且具有0.2445 L/S解析度。曝光劑量為 28mJ/cm2 ° 欲測定本發明之阻體材料之熱阻，所得阻體樣於曝 光、後烘烤及顯影後於130°C熱板上烘烤150秒。所得圖樣 為矩形且可獲得0.24/zmL/S解析度，指示阻體膜高度耐 熱。 於曝光至加熱處理（後烘烤）期間測量使用本發明之 阻體材料形成的圖樣隨著時間之經過之尺寸變化。即使距 離曝光4小時後，仍可獲得〇.24#mL/S之解析度。 又如第2圖所示，使用本發男之阻體材料時，光罩直 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐） --------------裝·.......訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 1285660 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（77 ) 線性良好至0.25/zm。此外，當藉散焦曝光時，對直線/ 空間0.25/zm形狀並未劣化達0.7/zm。表示獲得足夠的焦 點邊際。圖樣側壁光滑且未見浮渣。 當以前述方式使用本發明之阻體材料材料於二氧化矽 基質上形成圖樣時，於曝光劑量18mJ/cm2可解析0.20/zm L/S矩形圖樣。此外當藉散焦曝光時，對直線/空間0.25 /zm未見形狀劣化達〇.7/zm。如此表示獲得充分焦點邊際。 又當使用製備後於23°C儲存一個月之本發明之阻體材 料以前述相同方式形成圖樣時，可於相同曝光劑量解析 0.24/zmL/S正圖樣，證實本發明之阻體材料之儲存安定性 良好。 實例2-33 · 製備下表1 -16所示組成物之光阻材料。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) — — — — — — ·11111111 I — — — — — — — — — — — — — — — — — III — — — 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -80 - A7 L生聲 窆篆时£^_1.肖^^乍.土^^ 1285660 ——__B7 五、發明說明（78 ) 表1 實例2 聚（對-1-乙氧乙氧苯乙烯/對-烴 - 苯乙烯/對·曱基苯乙烯）〔Mw = - 18,000 ; Mw/Mn= 1.86 ;製備 例1之聚合物〕 4.8 g • 聚（對·四氫哌喃基氧苯乙烯/對-羥 苯乙烯）〔Mw= 1〇,〇〇〇 ; Mw/Mn = 1·60 ;製備例10之聚合物〕 1-2 g 貳（1-甲基乙基磺醯基）重氮甲烷 0.2 g 苯磺醯基重氮甲烷 0.1 g 丙二醇-甲醚乙酸酯 22.7 g · 實例3 聚（對-1·甲氧-1-甲基乙氧苯乙稀 /對-烴苯乙烯/對-第三丁氧苯乙烯） 〔Mw= 17,800 ; Mw/Mn= 1·90 ; 製備例4之聚合物〕 4.5 g • 聚（對-第三丁氧羰基氧苯乙烯/對-羥苯乙烯）〔Mw= 10,000 ; Mw/ Mn= 1.65 ;製備例11之聚合物〕 1.2 g 貳（1-曱基乙基磺醯基）重氮甲烷 0.2 g - 苯甲醯基苯磺醯基重氮曱烷 0.1 g • 丙二醇一甲醚乙酸酯 22.7 g ------— I!--裝---— — — — — 訂---— II---線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 81- 128566〇 A7 B7 五 、發明說明（79 ) 表2 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 實例4 故（對-1-乙氧乙氧苯乙烯/對-烴 苯乙烯）〔Mw= 18,500 ; Mw/Mn =1·88 ;製備例8之聚合物〕 4.5 g 聚（對-第三丁氧苯乙烯/對-羥 苯乙烯）〔Mw/Mn= 1.65 ;製備例 12之聚合物〕 I5 g 貳（1，1-二甲基乙基磺醯基）重氮甲烷〇.2g 苯甲醯基磺醯基重氮甲烷 °·1 g 丙-醇-甲醚乙酸酯 2ϋι»^ 實例5 聚（對-1-曱氧乙氧苯乙烯/對-烴 苯乙烯）〔Mw= 18,000 ; Mw/Mn =1·89 ;製備例9之聚合物〕 4·5 g 聚（對-第三丁氧羰基氧苯乙烯/對_ 羥苯乙烯）〔Mw= 10,000 ; Mw/ · Μη=1·65〕 S 貳環己基磺醯基重氮甲烷 贰(對-甲苯磺醯基)重氮甲烷 g 丙二酵一甲醚乙酸酯__ 實例6 聚（對-1-乙氧乙氧苯乙烯/對-烴 苯乙烯）〔Mw= 18,500 ; Mw/Mn = 1.88〕 4.5g 聚（對-第三丁氧羰基氧苯乙烯/對-羥苯乙烯）〔Mw= 10,000 ; Mw/ Mn= 1.65 ] ^ 家（環己基確醯基）重氮甲姨： 0, 1 三苯锍三氟甲烧績酸鹽 0A 1 9·重氮-10-菲_ ^ Λ 丙二醇一甲醚乙酸酯 ___ <請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) Φ 訂--- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 χ 297公釐） 82- i濟部智fsssst社印製 1285660 A7 _B7 五、發明說明（8〇 ) 表3 賓例7 聚（對一1 一乙氧乙氧苯乙烯/對一羥 苯乙烯/苯乙烯）〔M w = 1 8,0 0 0 : M w/M η — 1.85 ;製備例2之聚合 物〕 4.8 g. 聚（對一四氫哌喃基氧苯乙烯/對一羥 苯乙烯）〔M w = 1 〇，〇 0 〇 ; M w / Μ η = 1.60] 1.2 g 1 一重氮一 1 一環己基磺醯基一 3，3—二 甲基一 2 — 丁酿 0.2 g 贰（對一氯苯磺醢基）重氮甲烷 0·1 2 乳.酸乙黯 24.7 Ζ 實例8 聚（對一1一乙氧乙氧苯乙烯/對一羥 苯乙烯/對一四氫哌喃基氧苯乙烯）〔 Mw = 16,000 » MwXMn =1.78 » 製備例5之聚合物〕 4.5 s 聚（對一第三丁氧苯乙烯對一羥苯乙 錄）〔Mw = 8,500;Mw/Mn = 1.65] 1 . 5 g 贰（環己基磺醯基）重氮甲烷 〇·2 S 贰（1-甲基乙基磺趣基）重氮甲浣 0.1 S 3 —甲氧丙酸甲酯 24.7 2 裝--------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -83- 1285660 A7 B7 IX 8 /V 明說 明發 4 表 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 賓例9 贽（對-1一甲氣乙氧苯乙烯/對一羥 苯乙烯/反丁烯二膪）〔Mw= 20,000 ; Mw/Mn，1·85 ;製備例 1 5之聚合物〕 聚（對一第三丁氧羰基氧苯乙烯/對一 4.8 S 羥苯乙烯）〔M w = 4,0 0 0 : M w / Μ η =1.60 :製備例13之聚合物〕 1.2 S 贰（1,1 一二甲基乙基磺醯基）重氮甲 烷 0.2 S 1 一重氮一 1 一甲基磺醯基一 4 一苯基一 丁 说一 2 —爾 0.1 ε 丙二醇一甲醚乙酸酯 22.7 S 贲例10 聚（對一1一乙氧乙氣苯乙烯/對一羥 苯乙烯）〔M w = 1 8,5 0 0 ; iM 1 / Μ η = 1.88] 4.5 S 聚（對一第三丁氧羰基氣:苯乙烯/對一 羥苯乙烯）〔Mw = 10,000:Mw/ Μ η = 1 · 6 5〕 1.5 g 贰（環己基磺趣基）重氮甲烷 0.2 s 贰（2,4—二甲基苯磺醯基）重氮甲烷 0.1 g 丙二醇一甲醚乙酸酯 24.7 s (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ;Φ-----------------Μ. 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 χ 2.97公釐） 1285660

、^^' I 五、發明說明（82 ) 表5 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 ·* ^mn 聚（對一1一乙氧乙氣苯乙烯/對一羥 苯乙烯/對-第三丁氧羰基氧苯乙烯） 〔Mw，20,000 ; Mw/Mn，1·90 ; 製備例6之聚合物〕 4.8 g 聚（對一第=丁氧羰基氧苯乙烯/對一 羥苯乙烯）CMw = 10,000:Mw/ Μη=1·65〕 1.2 g 贰（環己基磺醯基）重氮甲烷 〇·2 S 贰苯磺醢基重氮甲烷 〇·1 s 9 - ( 2 —甲氧乙氧）甲基百 〇.1 2 丙二醇一甲越乙酸酯 14.2 g 寊例1 2 聚（對一1一乙氧乙氧苯乙烯/對一羥 苯乙烯/對一第三丁基乙烯基苯氧乙酸 酯）〔Mw = 19,5〇〇:Mw/Mn = 1·88 :製備例7之聚合物〕 4·5 g 聚（對一第三丁氧苯乙烯/對一羥苯乙 嫌）〔Mw = 8,500;M.w/Mri = 1.65] 1.5 g 1 一乙醞基一1一（1一甲基乙基磺趣基） 重氮甲烷 0.2 g 贰（對一甲苯磺酿基）重氮甲烷 0.1 g 9 一重氣一丨〇—罪萌 O.lg 乳酸乙詣 24.6 g 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 2.97公釐） •85· 五、發明說明（83 ) 表6 聚（對一1一乙氧乙氧苯乙烯/對一羥 苯乙·烯）〔M w = 1 8，5 0 0 ; M W / Μ η = 1.88] 4.5 g 聚（對-第三丁基乙烯基苯氣乙酸蘑/ 對一羥苯乙烯）〔Mw = ll,000:Mw /Μη=1·65 ;製備例14之聚合物〕1.5 S 贰（1,1 一二甲基·乙基磺醯基）重氮甲烷 0.2 g 對一甲苯基二苯銶三氟甲烷磺酸鹽. 0.1 g 9 一（2—甲氣乙氣）甲基If 0.1 S 丙二酵一甲醚乙酸醋 22.6 g 聚（對一1一乙氧乙氧苯乙烯/對一羥 苯乙烯）〔Mw = 18,500:Mw/Mn ^1.88 ] 4.5 g 聚（對-第三丁氧羰基氧苯乙烯/對-羥苯乙烯）〔Mw = 10,000:Mw/ Μ η = 1·65·:製備例11聚合物〕 1·2 g 聚（對一第三丁氧羰基氧苯乙烯/對一 羥苯乙烯）〔Mw=4,000;Mw/ Μ η = 1·60 ;製備例13之聚合物〕 0·3 g 贰（環己基磺醮基）重永甲烷 〇·2 S 贰（2,4—二甲基苯磺醯基）重氮甲 坑 0 · 1 S 9 一（2—甲氧乙氧）甲基| 〇.1 2 丙二醇一甲醚乙酸譖 22.6 s 本紙張尺度_㈣_標準（CI^S)A4規格（21〇 X 2?7公釐） 1285660 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明（84 ) 表7 寊例15 聚（對一1一甲氧乙氣苯乙烯/對一羥 渾乙烯）〔M w = 1 8，0 0 ϋ : Μ w / Μ η 一 1 · 8 9〕 4.5 S 聚（對-第三丁氧羰基氧苯乙烯/對-羥苯乙烯）〔Mw = 10,000:Mw / iM η = 1 · 6 5〕 1.0 i 聚（對一第三丁氧羰基氧苯乙烯/對-羥苯乙烯）〔M w = 4 0,0 0 0 : M w /Μη =1.60] 0.5 S 贰（環己基磺醯基）重氮甲烷 0.2 S 贰（對一·甲苯磺醯基）重氮甲烷 0.1 S 1,2,3-叁（鄰一萘醌二叠氮一 4 一磺 醯基氣丙烷） 0.5 i 柳酸 0.2 S 丙二酵一甲醚乙酸蘸 24.5 g 實例16 聚（對一1一乙氧乙氧苯乙烯/對一羥 苯乙烯）〔Mw = 17,500;Mw/Mn = 1.15 ;製備例16之聚合物〕 聚（對一第三丁氧羰基氧苯乙烯/對-羥苯乙烯）〔Mw = 10,000;Mw/ 4,5 S Μ η = 1.6 5 ] ' 1.5 S 贰（環己基磺醯基）重氮甲烷 貳 （2,4-二甲基苯磺醯基）重氮甲 0.3 g 烷 0.1 s 丙二醇一甲醚乙酸醒 24.6 s --------------裝--- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂： -線· 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 237公釐） •87· 1285660

、發明說明（85 ) 表8 ©例17 聚（對一1 一甲氣乙氧苯乙烯/對一 聲米乙烯）〔Mw = 18,000:Mw/ Μ η — 1·89〕 聚（對-異丁氣羰基氣苯乙烯/對一 經苯乙烧）〔Mw = 18,000:Mw /Μ π = 1·ϋ5 :製備例17之聚合物〕 贰（1,1 一二甲基乙基磺酿基）重氮甲 烷 贰（對一甲苯磺趣基）重氮甲烷 9 一重氮一 10—菲醑 丙二酵一甲醚乙酸譖 4 Ζ 1.5 2 0.3 g0.1 g 0.2 g 24.4 g 實例18 聚（對一1一乙氧乙氧苯乙烯/對一羥 苯乙烯）〔Mw = 18,500 ;Mw/Mn ==1·88〕 4.5 Ζ 聚（對一異丁氣羰基氣苯乙烯/對一 羥苯乙烯）〔Mw«13,000:Mw/ M n = 1 ·05〕 1.5 g 贰（環己基磺醮基）重氮甲烷 0.3 g 贰一（2,4—二甲基苯磺醞基）重氮甲 说 0.1 g 丙二酵一甲醚乙酸磨 24.6 g --I----------I!訂·-----I !線 ----- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4嬈格（210 X 297公釐） -88- 1285660 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 ____B7 五、發明說明（86 ) 表9 κ m 19 聚（對- 1一乙氧乙氧苯乙烯/對一羥 来乙烯）〔M w = 1 8,5 0 0 : M w/Μ η 一 1: 8 8〕 4.5 S 聚（對-乙氧羰基氧苯乙烯/對一羥 苯乙烯）〔Mw=9,000;Mw/Mn =1.60 :製備例18之聚合物〕 tf 一甲酚/間一甲酚/甲醛縮聚物〔 Mw = l,580 ; Mw/Mn = 2·49 : 1.5 g 製備例24之縮聚物〕 0.6 Z 贰（環己基磺醯基）重氮甲烷 0.3 g 贰（對一甲苯磺醞基）重氮甲烷 0.1 S 鄰一乙趣基苯甲酸 0.1 S 含氟非離子界面活性劑[商品] 0.1 S 丙二醇一甲醚乙酸釀 23.0 Z 實例20 聚（葑一 1一乙氧乙氧苯乙烯/對一羥 苯乙嫌）〔Mw = 18,500:Mw/Mn = 1.88] 聚（對一異丙氧羰基氧苯乙烯/對一 羥苯乙烯）〔Mw = 9,0 00:Mw/ 4.5 S Μη =1.64 :製備例19之聚合物〕 1.5 g 贰（1,1 一二甲基乙基磺醯:基）重氮 甲烷 贰一（2,4 一二甲基苯磺醯基）重氮甲 0.3 g 0.1 s 丙二醇一甲醚乙酸酯 24.6 s 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） •89- 1285660 A7 ___B7 五、發明說明（87 ) " 表10 5T 例2 1 聚（對一 I 一乙氣乙氣苯2：烯/對一羥 本乙烯/對-第三丁氧芣乙烯）〔Mw -1 8,000 ; M w/M π - 1.90 J 聚（對-乙氧羰基氣苯乙烯/對一羥 苯乙烧）〔Mw = 9,000:Mw/Mn 4.5 S = 1.60] 對一甲酚/間一甲酚/甲醛縮聚物〔 Mw = 880 : Mw/Mn = 2·07 ;製備 1.5 ε 例23之縮聚物〕 0.6 ε 贰（環己基磺醯基）重氮甲烷 0.3 ε 贰（對一甲苯磺醮基）重氮甲烷 2，2’，4,4’一四（鄰一萘醍一二疊氮磺 0.1 s 醯基氣）二苯甲酮 0.2 g 丙二醇一甲醚乙酸黷 24.2 g 實例22聚（對一 1-乙氧乙氧苯乙烯/對一 羥苯乙烯/對-第三丁氧羰基氣苯乙 烯）〔Mw=20,000:Mw/Mn = <請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1·9 0〕 4.5 g 聚（對-異丙氧羰基氣苯乙烯/對一 羥苯乙烯）〔M w = 9,0 0¾ : M w / Μη =1.64] 1.5 g 贰（環己基磺鼴基）重氮甲烷 0.3 2 贰（對一甲苯磺醯基）重氮甲烷 0.1 2 9 一;S 氮芴 0.4g 丙二醇一甲醚乙酸醒 24.2 2 ** -1 111 ---I ^ « — — — 111 — — . 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 2%公釐） -90· 1285660 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 *鲕 A7 _B7 五、發明說明（88 ) 表11 货洌23、 聚（對一丨一乙氧乙氣苯乙烯/對一羥 苯乙烯）〔M w = 1 8,0 ϋ ϋ ; M w / Μ η -1.89] 5.0 g 對-甲酚/間一甲酚/甲醛縮聚物〔 Mw~6,600 » Mw/Mn = 6.28 * 製備例25之縮聚物〕 K0 g 贰（1,1 一二甲基乙基磺醯基）重氮甲 烷 〇·3 g 贰（2,4 一二甲基苯磺醢基）重氮甲烷 0·1 g 含氟非離子界面活性劑[商品] 〇·1 g 丙二醇一甲醚乙酸醒 24·6 g 實例2 4 聚（對一1一乙氧乙氧苯乙烯/對一羥 苯乙烧）〔Mw = 17,500;Mw/Mn = 1.15] 5.5 g 對一甲酚/間一甲酚/甲醛縮聚物〔 Mw = l,580 · Mw/Mn=2.49] 0.5 g 贰（環己基磺醯基）重氮甲烷 〇·3 g 柳酸 〇·1 S 聚氣伸乙基月桂基醚[商品] 0.1 g 丙二醇一甲醚乙酸蘸 23.5 ε ------------I I ^--------I-------^ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） •91- 五、發明說明（89 ) 表12 踅例2 5 聚（對一 1 一乙氧乙玆尨乙烯/對一羥 界乙烧）〔M w = 1 7，5 () ϋ : M w / Μ η 一 1 · 1 5〕 5.5 S 對-甲酚/1,4 一二羥甲基苯縮聚物〔 Mw* = 0?700 » Mw/Mn = 3.50 * 製備例27之縮聚物〕 0.5 S 贰（環己基磺醯基）.重氮甲烷 0.3 g 抗壞血酸 0.1 % 含氟非離子界面活性劑[商品] 0·1 S 丙二醇一甲醚乙酸蘸 23.5 S 實，例2 6 聚（對一 1 一乙氣乙氧苯乙烯/對一羥 苯乙烯/對-第三丁氧苯乙烯）〔Mw = 18,000 * Mw/Mn =1.90] 聚（對一1一乙氧乙氧苯乙烯/對一羥 苯乙烯/對一第三丁氧苯乙烯）〔Mw 4.5 S = 9,200 ; Mw/Mn =1.30 ;製備 例22之聚合物〕 1.5 S 贰（環己基磺醢基）重氮甲烷 0.3 S 三苯錡三氟甲烷磺酸鹽 0.1 S 丙二醇一甲醚乙酸簾 24,6 s 1285660 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明（9G ) 表13 货例2 7 X 聚（對-1一乙氣乙氧苯乙烯/對一羥 母乙烯/苯乙烯）〔M w = 1 8，0 00 : Mw/Mn - 1.85 :製備例2之聚合 物〕 4 · 8 g 聚（對一 i 一乙氧乙氧苯乙烯/對一 羥苯乙烯/對一異丙氧羰基氧苯乙烯） C M w = 8,3 0 0 » M w / Μ η = 1 . 6 0 ： 製備例23之聚合物ίΐ 1·5 g 贰（環己基磺醯基）重氮甲烷 0.3 g 三苯鋳三氟甲烷磺酸鹽 0.1 g 柳酸 〇·1 S 含氟非離子界面活性劑[商品] 0.1 g 丙二醇一甲醚乙酸酯 24.4 g K例28 聚（對一 1一甲氧乙氧苯乙烯/對一羥 苯乙烯）〔M w = 1 8,0 0 0 ; M w / M n =1.89 :製備例9之聚合物〕 4·5 g 聚（對一 1一乙氧乙氧苯乙烯/對一 羥苯乙烯/對一第三丁氧苯乙烯）〔 Mw = 9,200 * Mw/Mn =1.30 » 製ίέ例22之聚合物〕 1·5 g 贰（環己基磺醯基）重氮申烷 0.3 g 1C (對一甲苯磺醯基）重氮甲烷 〇·1 g Ν,Ν—二甲基乙S胺 0.3 g 丙二醇一甲醚乙酸蘸 24.3 g ------------裝.-------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -93- 1285660 五、發明說明（91 表14 剪例2 9 丨實例30 聚（對一 1一乙氧乙氣苯乙烯/¾一羥 苯乙烯/對一第三丁氣羰基氣苯乙烯） C^Mw — 20,000 » Mw/Mn -1.90 » 製備例6之聚合物〕 4·8 g 聚（對一i一乙氧乙氧苯乙烯/對一 羥苯乙烯/對一異丙氣羰基氧苯乙烯） CMw-8,300 » Mw/Mn -1.60 ： 製備例23之聚合物〕 1.5 g 對一甲酚/間一甲酚/甲醛縮聚物〔

Mw = 880:Mw/Mn=2,07:製 備例19之縮聚物〕 0·5 贰（環己基磺醯基）重氮甲烷 〇·3 三苯鏟三氟甲烷磺酸鹽 0.1 糖糈 0.1 含氟非離子界面活性劑[商品] 0.1 丙二醇一甲醚乙酸菌 24.0 聚（對一1一乙氧乙氣苯3烯/對-薄 苯乙烯）〔Mw = 18,500;Mw/Mn 1.88 ] 4. 聚（對一異丙氧羰基氧苯乙烯/對一 羥苯乙烯）〔Mw = 9,000:Mw/ Μ η = Ι·64 :製備例19έ聚合物〕 Ι.ί 贰（1,1 一二甲基乙基磺醯基）重氮 甲烷 0. (2,4 一二甲基苯磺醯基）重氮甲 0· 1 柳酸 0. 聚氧伸乙基乙基醚[商品] 0·: 丙二醇一甲醚乙酸黯 24.1 |_ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 2%公釐） l28566〇 A7 B7 五、 發明說明（92 ) 表15 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 實例3 1 聚（對一1一乙氧乙氧苯乙烯/對一羥 苯乙烯/對-第三丁氧羰基氧.苯乙烯） [Mw，20,000 ·· Mw/Mn =1·90】4·5 £ 聚（對-異丙氧羰基氧苯乙烯/對一 羥苯乙烯）〔Mw = 9,000;Mw/ Μη =1.64] 1.5 g 贰（環己基磺醯基）重氮甲烷 0·3 g 2,6—二正丁烷磺醯氧苯乙酮 0.1 g 9 一重氮芴 0.4 2 聚丙二醇 0.2S 丙二醇一甲醚乙酸釀 24.0 s 頁例3 2 聚（對一1-乙氧乙氧苯乙烯/對一羥 苯乙烯/對一第三丁氧苯乙烯）〔Mw = 18,000 : Mw/Mn =1.90 ;製備 例3之聚合物〕 4.8 g 聚（對一 1 一乙氧乙氧苯乙烯/對一羥 苯乙烯/對一第三丁氧苯乙烯）〔Mw = 9,200 ; Mw/Mn=1.30 :製備例 22之聚合物〕 1·2 2 贰（環己基磺醯基）重氮甲烷 0.3 s 1,2,3-# 一全氟辛烷磺醯芦苯 0.1 g 柳酸 0.2 2 2,2’，4,4· 一四羥二苯甲酮 〇·2 g 聚乙二醇 0.2 g Ν,Ν —二甲基乙醞胺 3.5 2 丙二醇一甲醚乙酸醱 20.0 g --------------裝--- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 線. 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱） 128566〇 A7 B7 五、 發明說明（93 ) 表16 聚（對一1一乙氣乙氣苯乙烯/對一羥 苯乙烯）〔Mw = 18,500:Mw/Mn 一1 .8 8〕 4.6 s 聚（對一1 一乙氣乙氣苯乙烯/對一羥 苯乙烯/對一異丙氣羰基氣苯乙烯）〔 Mw = 8,300 : Mw/Mn =1·60 ;製 備例26之聚合物〕 1.4 Ζ 江，(2,^-会-(4-羥苯基）一1一 * 乙基一4一異丙基苯〔商品〕 0.2 £ 贰（1,1 一二甲基乙基磺醢基）重氮 甲烷 0.3 Ζ 2，6 -二一三氣甲焼礙酿襄苯乙爾 0.1 S 聚氧伸乙基月桂基醚 0.2 S Ν,Ν-二甲基乙醯胺 • 3·5 Ζ 丙二醇一甲醚乙酸醱 20.0 Ζ — — —— —________·____ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂---------參 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 使用前述組成物之阻體材料根據實例1之程序形成圖 樣。此等阻體材料於氮化鈦基質上的評估結果示於表17及 18，而於二氧化石夕基質上的評估結果示私表19及2〇。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -96- 1285660 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明（94 ) 表17 實 例 曝光 劑量 (mJ/ cm2) ^ 由曝光至加熱處理時間及解析度 光罩 直線 性 曝光後即刻 30分鐘 4小時 2 38 0.24 β m L/S 0.24 m m L/S 0 · 24 # m L/S 良好 3 28 0.2 4 /zmL/S 0.24^m L/S 0.24 /z m L/S 良好 4 28 0.24 μ. m L/S 0 :· 2 4 从 m L / S 0.24 /z m L/S 良好 5 25 0.24 MmL/S 0.24 jcz m L/S 0.24^m L/S 良好 6 26 0.24 β m LIS 0.24/zm L/S 0.24 ^ m L/S 良好 7 33 0.24 m m L/S 0·24 ^ m L/S 0.24 以 m L/S 良好 8 35 0.24 β m L/S 0.24ahi L/S 0.24μιη L/S 良好 h9 28 0.24 Mm L/S 0.24 ju m L/S 0.24Mm L/S 良好 10 25 0.24 /zm L/S 0.24^m L/S 0.24 ^ m L/S 良好 11 33 0.24 /zm L/S 0·24 从 m L/S 0.24/zm L/S 良好 12 3 0 0.24 m m L/S 0.24 ^ m L/S 0.24/zm L/S 良好 13 28 0.24 /zmL/S 0.24从 m L/S 0‘24 从 m L/S 良好 14 25 0.24 muiL/S 0.24 Mm L/S 0.24 ^ m L/S 良好 15 25 0.24 从 m L/S ·， 0.24 um L/S 0·24从 m L/S 良好 裝--- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) · •線· 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -97- 1285660

、發明說明（95 ) 表18 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

(請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 χ 297公釐） 實 例 曝光 劑置 (mJ/ cm2) x 由曝光至加熱處理時間及解析度 光罩 .直線 曝^後即刻 30分鐘 4小時 性 16 26 0.2 4 β m L/S 0.24/zm L/S 0.24^m L/S 良好 17 35 0·24 “mL/S 0.24^m L/S 0 · 2 4 # m L/S 良好 18 26 0.24 β m L/S 0.24/zm L/S 0.24 ^ m L/S 良好 19 •28 0.24 M m L/S 0.24 /z m L/S 0·24从 m L/S 良好 20 28 0.24 βία L/S 0.24/zm L/S 0.2 4 ^ m L/S 良好 21 34 0.24 β m L/S 0.24mhi L/S 0.24^m L/S 良好 22 34 0.2 4 /zm L/S 0.24 fi m L/S 0.24/^m L/S 良好 23 *28 0.24 a m L/S 0.24 m L/S 0.24^m L/S 良好 24 34 0.2 4 β m L/S 0.24 /z m L/S 0.24 Mm L/S 良好 25 30 0.24 从 m L/S 0.24/zm L/S 0.24 ^ m L/S 良好 26 28 0 · 24 μ m L/S 0.24/zm L/S 0.24^m L/S 良好^ 2 7 28 0.24 β m L/S 0.24mhi L/S 0.24 β m L/S 良好 28 26 0.24 Am L/S 0.24 /z m L/S 0.24^m L/S 良好 29 28 0.24 m m L / S 0*24^in t/S 0 · 24 从 m L/S 良好 30 28 0.24 μ m L/S 0.24/ziii L/S 0.24 /z m L/S 良好 3 1 34 0·24 从 mL/S 0.24 /z m L/S 0.24^m L/S 良好 32 30 0.24 β m L/S 0.2 4 m m L/S 0.24 m m L/S. 良好 33 30 0.24 n m L/ S 0.2 4 ^ m L/S 0.24 /z m L/S 良好 --------訂---------線1 -98- 1285660 五 、發明說明（96 ) 表19 實例 曝光劑f (m J /cm2) 解析度（氧化矽： 1 M m厚度） 阻體薄膜 熱® 儲存 安定 性 2 20 0·22μχπ L/S 良好 良好 3 18 / 0.22/zm L/S 良好 良好 • 4 18 0.22mhi L/S 良好 良好 5 16 0.2 2 μ m L/S 良好 良好 6 16 0.22 # m L/S 良好 良好 7 20 0.22/zm L/S 良好 良好 8 22 0.22 a m L/S 良好 良好 9 18 0·22 m m L/S 良好 良好 10 16 0.22 ^ m L/S 良好 良好 11 20 0.22 n m L/S 良好 良好 12 20 0.22从 m L/S 良好 良好 13 18 0·22烊 m L/S 良好 良好 14 16 0.22/zm L/S 良好 良好 15 16 0.22 ^ m L/S 良好 良好 I_ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -99- A7 1285660 五、發明說明（97 表20 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 實例 曝为劑最 (m J/cm2) 解析度（二氧化 矽：1从m厚度） 阻體薄膜 熱阻 儲存 安定 性 16 16 0.20 ^ m L/S 良好 良好 17 22 0·20 μ m L/S 良好 良好 • 18 16 0.2〇Mm L/S 良好 良好 19 18 0.18^m L/S 良好 良好 20 18 0.18^m L/S 良好 良好 21 22 0.18^m L/S 良好 良好 22 22 0.22 ju m L/S 良好 良好 23 18 0·18从 m L/S 良好 良好 .24 22 0*2〇Mm L/S 良好. 良好 25 22 0.20/zm L/S 良好 良好 26 18 0.20 M m L/S 良好 良好 27 26 0.20 以 m L/S 良好 良好 28 25 0.18Mm L/S 良好 良好 29 26 0.20 n m L/S 良好 良好 30 18 0.18 M m L/S 良好 良好 3 1 22 0.22/zm L/S 良好 良好 32 22 0.18μιπ L/S 良好 良好 33 22 0.18jUm L/S 良好 良好 i i n n n I I ϋ ft— ϋ 1 ·ϋ I · n ϋ n n (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ϋ .I —i 訂---------蜂 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公爱） -100· 1285660 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 6.0 g 0.2 g 0.1 g 22.7 g 五、發明說明（98 ) 由表17-20所示結果顯然易知，於實例2至33形成如同 實例1之正型圖樣，即使於氮化鈦基質上由曝光至加熱處 理（後烘烤）4小時後，仍如同實例1解析0.2445 L/S毫 無問題。又獲得焦點邊際± 0.713或以上對0.3045 L/S。又 實例2 -23中任一種阻體材料於二氧化矽及其它基質上顯 示良好解析度且無基質相關性。此外，全部實例2-33之阻 體材料皆顯示好儲存安定性。 比較實例10及實例19-21發現於式p]聚合物之例，經 由使用含乙氧羰基或異丙氧羰基氧基之聚合物（難以去除） 比較使用含第二丁氧$厌基氧基之聚合物（考慮容易藉酸之 作用去除）可於二氧化石夕基質上獲得概略更佳解析产。如 此符合式[2]聚合物大體未參與化學放大反應。 比較例1 製備具有如下組成之阻體材料： 聚（對-第三丁氧羰基氧苯乙烯/對_經苯 乙稀）[Mw=l0,000 ; Mw/Mn= 1.65 ;製備例 11聚合物] 貳環己基磺醯基重氮甲烷 貳（對-曱苯磺醯基）重氮甲烷 丙二醇一甲醚乙酸酯 使用如上組成之阻體材料，以實例1 圖樣。即使於80 mJ/cm2之曝光劑量也無 ^ L/S圖樣。 杆( 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 χ 297公釐）

10K -------------裝--------訂---------線 <請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) '60 6 5 8 2 A7 B7 發明說明("） 比較例2·21 供比較用，製備下表21-27顯示之組成物之光阻材料 表21 比餃例 2 聚（對一四氫哌喃基氧苯乙烯/對一羥苯 乙嫌）〔Mw^lO^OOOzMw/Mn3» 1.60 ;製備例10之聚合物〕 6.0 2 贰（1一甲基乙基磺醞基）重氮甲烷 0.2 g 贰苯磺醯基重氮甲烷 0.1 2 丙二醇一甲醚乙酸蘑 22.7 g 比較例 聚（對-第三丁氧苯乙烯/對-羥苯 乙烯）〔Mw = 8,500:Mw/Mn = 1.65 :裂備例12之聚合物〕 6.0 g 贰（1,1 一二甲基乙基磺醢基）重氮甲烷 0.2 S 苯甲醯基環己基磺醢基重氮甲烷 〇·1 S 丙二醇一甲醚乙酸磨___22,7 g 比較例 k 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 聚（對一1一乙氧乙氣苯乙烯/對一羥 苯乙烯/對一第三丁氣羰基氣苯乙烯） [Mw = 20,000 : Mw/Mn =1·90 : 製備例6之聚合物〕 6.0 s 贰環己基磺醯基重氮甲庚： 〇.2 g 贰苯磺ffi基重氮甲烷 〇.1 2 丙二醇一甲醚乙酸蘸 22.6 g 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） •102- 11 — —！1 I — II ! I t ·!1 *^ _ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 1285660 A7 B7 五、發明說明（100 ) 表22 比較例 琴（對一 1 一乙氧乙氧苯乙烯/對一羥苯 乙 $ ) 〔 M w = 1 8，5 0 0 : M w / M n = 1.88 ;製備例8之聚合物〕 6.0 貳環己基磺醯基重氮甲烷 〇·2 贰（2,4—二甲基苯磺醢基）重氮甲烷 0·1 丙二醇一甲醚乙酸醒 22.7 比較例 比較例 比較例 8 聚C對一 1 一乙氧乙氧苯乙烯/對一羥苯 乙烯/苯乙烯）〔M w = 1 8,000 ; M w /Μη=1·85:製備例2之聚合物〕 6 · 0 2 二苯錤六氟磷酸鹽[商品] 〇.3 g 二乙二醇二甲醚 22.7 g 聚（對一 1一乙氧乙氧苯乙烯/對一羥 苯乙烯/對一甲基苯乙烯）[Mw = 18,000 ; M w/Mn =1.86 ;製備例 1之聚合物〕 6·0 s 三苯鋳三氟甲烷磺酸鹽 〇.3s 丙二醇一甲醚乙酸醋 22.7 g ;裝 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 聚（對一 1 一乙氧乙氧苯乙烯/對一羥 苯乙烯/苯乙烯）[Mw = 18,000 : Mw/Mn=1.85 ;製備例2之聚合 物〕 6.0 2 1 -重氮一 1 一環己基磺醞:基一 3,3 —二 甲基一 2— 丁醑 〇.2 g 戴（對一氯苯磺醞基）重氮甲烷 〇.1 S 丙二醇一甲醚乙酸蘸 22.7 g 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 2S7公釐） >60 6 5 8 2 五

發明說明（皿 表23 比較例 9 聚（對一1一乙氧乙氧苯乙烯/對一羥苯 乙烧）〔Mw = 18,500;Mw/Mn 1.88 ;製備例8之聚合物〕 会（三氯甲基）一均一三畊 三乙醇胺 丙二醇一甲醚乙酸酯 22.

)S i Z S 比較例 10 聚（對一第三丁基乙烯基苯氣乙酸酯/ 對一羥苯乙烯）：〔Mw = ll，000 ; Mw /Μ η = 1·65 :製備例14之聚合物〕 6·0 S 贰環己基磺醞基重氮甲烷 〇-2 S 贰（對一甲苯磺鼴基）重氮甲烷 〇.1 2 甲基3—甲氣丙酸酯 24.7_g

比較例 II 聚（對一1一乙氧乙氧苯乙烯/對一羥 苯乙烯/對一笫三丁氧苯乙烯） 18,000 : M w/Mn =1.90 ;製備例 3之聚合物〕 6·0 2 贰（1,1-二甲基乙基磺醢基）重氮甲烷 〇-2 Ζ 贰（對一甲苯磺醢基）重氮甲烷 〇·1 S 丙二醇一甲醚乙酸驩 22·7』 比餃例 12 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 聚（澍一1一乙氣乙氧苯乙烯/對一羥 苯乙烯/對一甲基苯乙烯）[Mw = 18,000 : Mw/Mn=1.86 :製備例 1之聚合物〕 6.0 g 贰（1_甲基乙基磺醢基）重氮甲烷 〇·2 2 贰苯磺醞基重氮甲垸 o·1 s 丙二醇一甲醚乙酸窿 2 2.7』 f . r -------------·--------訂---------線·----- <請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -104- 1285660 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明（102 ) 表24 比較例^ 13 聚（對一 1 一乙氧乙氧苯乙烯/對一羥 苯乙烯/反丁烯二腈）[Mw = 20,000: Mw/Mn，1.85 ;製備例15之聚合 物〕 6·0 £ 贰（1,1 一二甲基乙基镣醯基）重氮甲烷 0.2 g 1 一重氮一 1 一甲基磺趣基一4 一苯基丁 焼一 2 —萌 0.1 ε 丙二醇一甲醚乙酸醒 22.7 g 比較例 14 聚（對一 1 一乙氧乙氧苯乙烯/對一羥 苯乙烯/對一四氫哌喃基氧苯乙烯） [M w = 1 6，000 ; Mw/Mn =1·78 ; 製備例5之聚合物〕 6.0 g 贰環己基磺醯基重氮甲烷. 〇·2 g 贰（1 一甲基乙基磺醯基）重氮甲烷 〇·1 g 丙二醇一甲醚乙酸醋 14.7 g 比較例 15 聚（對一1-甲氣乙氧苯乙烯/對一羥 苯乙烯）[Mw = 18,000 : Mw/Mn = 1.89 :製備例9之聚合物〕 6·0 g 贰環己基磺酿基重氮甲烷 . 〇·2 g 贰（對一甲苯磺醯基）重氮申烷 〇.1 S 丙二醇一甲醚乙酸黷 22.7 g I ^--------^0--------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 2S7公釐） -105- 1285660 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 __B7 、 心- 五、發明說明（1G3 ) 表25 比較例 16 ιέ (對一 1 一甲氣乙氧苯乙烯/對一羥 苯乙烯/對-第三丁基乙烯基苯氣乙酸 醣烯M) [Mw = 19,500 : Mw/Mn =1·88 :製備例7之聚合物〕 6·0 2 1 一乙醢基一 1—(1 一甲基乙基礙醯基）一 重氮甲烷 0.2 S 贰（對一甲苯磺醯基）重氮甲烷 0·1 ε 乳酸乙黷 24.7 g 比較例 17 聚（對一釋三丁氧羰基氣苯乙烯/對一羥 苯乙烯）[Mw=4,000 : Mw/Mn = 1.60 ;製備例13之聚合物〕 6.0 s 贰環己基磺醯基重氮甲烷 〇·2 g 贰（2,4—二甲基苯磺醌基）重氮甲烷 0.12 丙二醇一甲醚乙酸醱 22·7 g 比較例 18 聚（對一1 —乙氧乙氧苯乙烯/對一羥 苯乙嫌）[Mw = 18,500 : Mw/Mn = 1.88 :製備例8之聚合物〕 4.5g 聚（對一第三丁氧羰基氣^乙烯/對一羥 苯乙嫌）[Mw = 19,000 : = 1.85 :製備例20之聚合物〕 1.5 s 家環己基磺贐基重氮甲烷 〇·3 g 试（2,4—二甲苯磺醢基）重氮甲烷 0.1 S 丙二醇一甲醚乙酸酯 24·6 ε <請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 2S7公釐） • 106 - 1285660 A7 B7 五、發明說明（104 ) 表26 比較例 19 聚（對一1 一乙氧乙氧苯乙烯/對一羥 苯乙烯）[M w = 9,5 0 0 ; M w / Μ η = 1.65 ;製備例21之聚合物〕 4·5 g 聚（對-第三丁氧羰基氧苯乙烯/對一羥 苯乙烯）[Mw = 19,000 ; Mw/Mn = 1.85 :製備例20之聚合物〕 1.5 g 贰環己基磺醯基重氮甲烷 〇·3 g 贰（2,4-二甲苯磺醢基）重氮甲烷 〇·ΐ ε 丙二醇一甲醚乙酸釀 24.6 g 比較例 20. 聚（對一1一乙氧乙氧苯乙烯/對一羥 苯乙烯）[Mw = 9,500 ; = 1.65 :製備例21之聚合物〕 4.5g 聚（對一第三丁氧羰基氧苯乙烯/對-羥 苯乙烯）[Mw = 10,000 ; Mw/Mn = 1.65 :製備例11之聚合物〕 1·5 g 贰環己基磺菔基重氮甲烷 〇·3 g 贰（2,4—二甲苯磺醯基）重氮甲烷 〇·1 g 丙二醇一甲醚乙酸釀 24.6 g 經 濟 部 智 慧 -財 產 -局 員 工 消 費 合 作 社 印 製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐）

-107 - 1285660 A7 B7 五、發明說明（105) 表27

比較例 聚（對一1一乙氣乙氧苯乙烯/對一羥 2 1 苯乙烯）[Mw = l,850 ;Mw/Mn = 1·88 ;製備例8之聚合物〕 2.0 S 聚（對一第三丁氧羰基氣苯乙烯/對一 羥 . 苯乙烯）[Mw = 10,000 ; Mw/Mn = i.65 ;製備例11之聚合物〕 4.0 2 贰環己基磺醯基重氮甲烷 0.3 Z 贰（2,4-二甲苯磺醢基）重氮甲烷 0.1 S % 丙二醇一甲醚乙酸酯 24.6 S (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 使用如上組成物之阻體材料’以實例1之相同方式形 成圖樣。結果示於表28。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） •108- 1285660 A7 B7 五、發明說明（106 ) 表28 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 比較例 曝光劑最 解析度 阻骽薄 (ml/cm2) 0.30 ^mL/S 0.24 β m L/S 膜熱阻 2 65 無法解析 一 .一 3 65 無法解析 一 一 4 50 未臻滿意的圖 樣形式 —— — • 5 40 瑕疵形式 無法解析 不良 6 50 瑕疵形式 無法解析 不良 7 50 瑕疵形式7 無法解析 不良 8 50 瑕疵形式 無法解析 不良 •9 50 瑕砥形式 無法解析 不良 10 65 無法解析 一 一 1 1 50 未臻滿意的画 樣形式 一 12 40 瑕疵形式 無法解析 不良 13 50 未臻滿意的圖 樣形式 mmim 14 50 未臻滿意的圖 樣形式 — 15 40 瑕疵形式 無法解析 不良 16 50 未臻滿意的圖 樣形式 —— 17 65 無法解析 一 一 18 34 瑕疵形式 未臻滿意的囫樣 形式 良好 19 44 瑕疵形式 ..無法解析 不良 20 32 瑕疵形式 無法解析 不良 2 1 50 未臻滿意的圖 樣形式 I 良好 — — — — — — — — — — — — — — — — — — — — ^» — — — — — 1 — (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 χ 297公釐） 1285660 五、發明說明（1G7) 17;^無法解析 比較例l，2’3，1(^l7:iM30“mL/s 圖樣形式不於第2圖，比較例14, 16及21之圖樣形 疵0·3〇/ζιη圖樣形式）示於第3圖，比較例6，7 ，（瑕 圖樣形式（瑕疵〇·30"ιη圖樣形式）示於第4圖，^之 =二广15 ’ 18 ’ 19及2G之圖樣形式（《^0= 圖樣形式）示於第5圖，及比較例5，8，12及15且 臻滿意的熱阻之圖樣形式示於第6圖。 15具有未 本發二第2 - 5圖顯然易知，比較例之阻體材料比 :料 重均刀子置（Mw)需小於式⑴聚合物 合物τ':叫1]聚合物之例中，=:= 需低於式[1]聚合物數量乃必要條件。 比較例22 製備具有如下組成之阻體材料： 聚（對-1-甲氧乙氧笨乙稀/對_經笨乙、 [Mw=18,000 ; Mw/Mn=1.89 ;製傷你 聚合物] $ 9之 1.5 g 慧 員 工 消 費 聚（對-1-乙氧乙氧苯乙烯/對-羥笨乙、 對-第二丁氧本乙婦）[^fw==9,2〇〇 · '

Mw/Mn=1.30;製備例22之聚合物] 貳環己基磺醯基重氮甲燒 貳（對-甲苯磺醯基）重氮甲燒 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（21〇了^^- -110-

I 1285660 r 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 五、發明說明（1G8) N，N-二甲基乙醜胺 0.3 g 丙二醇一曱醚乙酸酯 22.7 g 使用具有如上組成之阻體材料，以實例1之相同方式 形成圖樣。雖然於32 mJ/cm2之曝光劑量可解析〇·2445 L/S 圖樣，如第4圖所示圖樣形式有瑕疵。距離曝光4小時後 進行加熱處理，出現尺寸變化成〇.3545。 由實例28及比較例22之結果顯然易知使用式[2]聚合 物之量小於式[1]聚合物之量乃達成本發明之目的之條件 之一0 、由刖文說明顯然易知，當使用本發明之聚合物組成物 作為聚合物成分生產的阻體材料作於氮化鈦基質上曝光於 小於300 nm之光源（例如深部紫外光或氟化氪激光雷射光 束）的阻體材料時，可獲得實用精細的四分之一微米大小 圖樣，其具有良好形狀，比較習知阻體材料顯示極高解析 度，具有良好光罩直線性，且由曝光加熱處理（後供烤） 時間可維持穩定的圖樣尺寸，具有焦點深度之大裕度。也 證實本發明之阻體材料用於其它基質上顯示絕佳性能，且 無習知阻體材料所見之基質相關性問題。因此，本發明用 於半導體裝置形成超細圖樣有極大用途。 本發明之阻體材料特別可用於使用深部紫外光或 氣激光雷射光束形成圖樣，但也可用於使用i線光、 束、軟X光等形成圖樣。 本紙張尺度適用中國瞻“ (cns)A4規----一 -------------裝--------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 1285660 A7 _B7 五、發明說明（) 元件標號對照表 1 ....紹底座 2 ....基質 3 ....阻體材料 3a…·正圖樣 4…·光束 5 ....光罩 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -Αν--------訂---------線赢 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -112-

Claims (1)

1. 告本 六、申請專利範圍 ，— j ‘‘(Ί 第89115615號專利申請案申請專利範圍修正本 j $6i4.f3^ 1· 一種聚合物組成物，包括： .............- (1) 一種聚合物（a)含有一種單體單位作為其結組 成分，该單體單位含有於酸存在下加熱變成驗可溶之 官能基A ; (ii) 一種聚合物（b)含有一種單體單位作為其結構 組成分，該單體單位具有一種於酸存在下加熱變成驗 可溶但比較官能基A不易溶的官能基B，及其中該聚 合物（b)具有比聚合物（a)更小的重均分子量；以及 (⑴）一種紛系化合物具有重均分子量於3〇〇至 15,000之範圍。 2·如申請專利範圍第1項之聚合物組成物，其中各該聚 合物（a)及聚合物（b)含有可提供耐熱性及基質黏著性 之額外單體單位作為結構成分。 3.如申請專利範圍第2項之聚合物組成物，其中該聚合物 (a)及聚合物（b)中之至少一者含有第三單體單位作為 結構成分。 4·如申請專利範圍第1項之聚合物組成物，其中具有官能 基A之單體單位由下式表示： -113- 1285660

   六、申請專利範圍 [4]

   其中R為氫原子或低碳烧基；R2及R3分別為氫原子， 可以一或多個鹵原子取代之烷基，或烯丙基，或R2及 R3連同中間的碳原子形成一個伸烷基環，但R2及R3不 可同時為氫原子，R4為烧基其可以一或多個齒原子取 代或芳烷基。 5·如申請專利範圍第1項之聚合物組成物，其中具有官能 基B之單體單位由下式表示：

   m 其中R為氫原子或低碳烧基；及R7為低碳烧氧基，醯 氧基’飽和雜環系氧基或R80_C0-(CH2)z_0_ ; R8為烷 基’及z為〇或1或以上之整數。 6·如申請專利範圍第2項之聚合物組成物，其中該額外 單體係以下式表示：

   -114- 1285660

   六、申請專利範圍

   其中R為氫原子或低碳烷基。 7·如申請專利範圍第2項之聚合物組成物，其中該聚合 物（a)具有下式重複單位：

   [1] 其中R為氫原子或低碳烷基；R2及R3分別為氫原子， 可以一或多個鹵原子取代之烧基，或晞丙基，或R2及 R連同中間的碳原子形成一個伸烧基環，但R2及R3不 可同時為氫原子；R4為烷基其可以一或多個鹵原子取 代或芳烧基；R1為氫原子或低碳烷基；R5為氰基，可 被醋化的竣基，或可含一或多個取代基之苯基；m及η 分別為1或以上之整數；及k為0或1或以上之整數，及 m>k,及聚合物具有下式重複單位：

   -115- 1285660 六、申請專利範圍

   [2]

   其中R6為氮原子或低碳烧基，R為低奴烧氧基’酿乳 基，飽和雜環系氧基，或R80-CO-(CH2)z-0- ; R8為烷 基；及z為〇或1或1以上的整數；R21為氫原子或低碳烷 基；R22為氰基，可經酯化之叛基，或含一或多個取代 基之苯基；p及r分別為1或以上之整數；及f為0或1或1 以上之整數，及p>f。 8·如申請專利範圍第7項之聚合物組成物，其中該聚合物 (a)具有重均分子量5,〇〇〇至50,000,及聚合物（b)具有重 均分子量1，000至25,000。 9 ·如申請專利範圍第7項之聚合物組成物，其中m，η，k， P ’ r及f係於下述定義之範圍·· 〇 1 $ (m + k)/(m + n + k)$0.9，0Sk/(m+n+k)S0.25，及m>k，及O.lgp /(P + r+f)$〇.5，o^f/b + r+osojo及p>f。 10·如申請專利範圍第7項之聚合物組成物，其中又包括一 種曝露於光化學照射時可產生酸之物質，及若有所需 包括一種紫外光吸收劑。 11· 一種阻體材料，包括如申請專利範圍第10項之聚合物 組成物。 12. 一種形成圖樣之方法，包括 1285660 六、申請專利範圍 塗覆如申請專利範圍第11項之阻體材料於半導體 基質上， 加熱該阻體材料， 通過光罩曝光阻體材料於光化學照射，若有所需 接著加熱，及 顯影所形成的阻體材料。 13·如申請專利範圍第10項之聚合物組成物，其中該聚合 物（a)具有下式重複單位·· CH2-h CH 广)y· sOH [1， 其中R2及R3分別為氫原子，含丄至4個碳原子之直鏈 或分支炫基’但RW科㈣為氫原子；r4為含玉 至4個I原子之直鏈或分支燒基’· 無取代或取代 苯基；m，似分別為i或以上之整數；及m>k，及 該聚合物（b)具有下式重複單位： Η 七 C - CH2—) f R7 ‘OH [21 其中R7為式r80你(CH2)z_〇基；R8為含丄至4個碳 -117- 1285660

   六、申請專利範圍 原子之直鏈或分支烷基；Z為0或整數1 ; R22為無取代 或取代苯基；p，r及f分別為1或以上之整數，及p>f。 -118- I》8566仔一一、 1公告本

   w M U U

   第1B圖