TW552566B - Multi-layer film cut filter and production method of the same, UV cut filter, dustproof glass, display panel and projection type display device - Google Patents

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552566 A7 _B7 五、發明説明（2) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 在U V吸收玻璃，爲使用吸收紫外線之玻璃基板者， 利用材料之組成與厚度可調整吸收（截止）之波長與變化 成吸收一透過的上昇特性（急峻性）。 然而，U V吸收玻璃係有藉材料使吸收波長之選擇被 限制之問題，及因所吸收之光之能量變成熱，因此投入強 光時，會有溫度上昇而損壞玻璃基板的缺點問題。因近年 來之光的能量密度之上昇，因而增加了其危險性。又，即 使很注意地經選擇，調整之材料，世無法過度提高接近截 止之波長的較短波長的透過率，而在透過之光產生衰減。 u V反射玻璃係不但可任意地選擇在調整構成紫外線 反射膜之多層膜介質所截止（反射）之波長，而且上昇特 性急峻，也可提高接近截止之波長的較短波長的透過率。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 u V反射玻璃係稱爲邊緣濾波器的多層膜截止濾波器 之一種。該多層膜截止濾波器係使用真空蒸鍍法等在光透 過性基板上形成有以所定之光學膜厚（二折射率X幾何學 上膜厚d )父互地豐層局折射率層與低折射率層的多層膜 /介質者’截止比特定波長較短波長之光，而可透過較長波 長之光。 然而’眾知以多層膜介質所構成的紫外線反射膜，係 製造很困難。亦即，欲將上昇特性成爲急峻，則必須增加 交5地成膜高折射率層與低折射率層之次數，成爲例如3 0層以上之極多數之成膜次數。又，各層之膜厚變薄，特 別是在紫外線領域上膜厚變薄。而且爲了將上昇之波長作 成高精度而必須高精度地進行控制各層之膜厚。例如若各 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS )八4規格（21〇><297公釐） -5- 552566 A7 B7 五、發明説明（3) (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) 層之膜厚偏離1 %，則上昇之波長會偏離5 n m，而在現 在之成膜技術上，很難高精度地進行控制膜厚，成膜具有 如設計之特性的紫外線反射膜。 因此’期望著可高精度地控制膜厚，具有如設計之特 性的多層膜截止濾波器及其製法。 又，液晶投影機之U V截止濾波器之功能，係大致完 全地遮蔽4 0 0 n m以下波長的紫外線與接近於紫外線的 可視光之一部分，防止依此些光線所產生的有機零件之劣 化，並能增加製品之壽命。這些之外，也要求截止藍色過 剩之超高壓水銀燈之藍色一部分，改善顏色之平衡。 因此，被使用於液晶投影機的U V截止濾波器，係必 須具備符合於超高壓水銀燈之亮度特定的透過率特性，但 是，習知之U V截止濾波器，係很難具備符合於超高壓水 銀燈之亮度特性的透過率特性。在第1 7圖表示超高壓水 銀燈之亮度特性。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 作爲以細虛線所表示的超高壓水銀燈之亮度特性，係 藍色光有過剩之樣子，僅大致截止在藍波長範圍的4 0 5 n m附近之峰値光，藍色光仍強之故，因而還必需截止 4 4 0 n m附近之峰値光約1 〇〜3 0 %左右。 在第1 7圖，以虛線表示U V吸收玻璃之分光透過率 的一例，又以實線表示以介質多層膜所構成的紫外線反射 膜之分光透過率之一例。 U V吸收玻璃之分光透過率係可大致完全地截止 4〇5 n m附之峰値，惟在4 4 0 n m附近係緩慢，而很 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -6 - 552566 A7 B7 五、發明説明（5) 膜截止濾波器。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 第二目的係在於提供一種可容易地控制高精度之膜厚 的多層膜截止濾波器之製法。 第三目的係在於提供一種確實地具備符合於超高壓水 銀燈之亮度特性的透過率特性的U V截止濾波器。 第四目的係在於提供一種使用具備符合於超高壓水銀 燈之高度特性之透過率特性的u V截止濾波器的投影型顯 示裝置。 第五目的係在於提供一種可刪減在投影型顯示裝置中 作爲零件之U V截止濾波器的防塵玻璃。 第六目的係在於提供一種可刪減在投影型顯示裝置中 作爲零件之U V截止濾波器的顯示面板。 第七目的係在於提供一種可刪減作爲零件之U V截止 濾波器的投影型顯示裝置。 (發明之槪要） 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本發明人，爲了達成第一目的，重複專心檢討之結果 ’發現了構成紫外線反射膜的介質多層膜之高折射率層與 低折射率層分別以相同之光學膜厚交互地重複疊層的重複 交互層’係功能作爲用以急峻地截止比特定之波長較短之 光所需之層’而將該重複交互層之高折射率層與低折射率 層之厚度的平衡與習知變更上有效。 亦即’將重複交互層的高折射率層之光學膜厚作爲Η ’而將低折射率層之光學膜厚作爲L時，習知在重複交互 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（21〇χ；297公釐） -8 - 552566 A7 B7 i、發明説明（6) 層的H/L之比爲1 . Ο，而在本發明，將H/L或 L/H之比作成1 · 2〜2 . 0之範圍內者。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 如此地，發現了藉由將高折射率層與低折射率層之光 學膜厚之一方偏差較厚，而將另一方偏差較薄，使用成膜 裝置之膜厚之監控基板的光學式膜厚計之膜厚測定成爲高 精度，而可高精度地控制膜厚，同時所得到之濾波器之上 昇特性也意外地成爲良好者。 爲了達成第二目的，發現了將修正板介於成膜裝置之 蒸鍍源與光透過性基板之間，使用比習知之寬度較寬之修 正板可增加以修正板所遮蔽之飛來粒子之比率上有效。具 體而言，將堆積於光透過性基板之層的膜厚/堆積於監控 基板之層的膜厚之比作爲工具因數時，藉由將工具因數作 成0 · 6〜0 · 8 5，監控基板之厚度比光透過性基板之 厚度較厚地成膜之故，因而可高精度地進行光學式膜厚計 之膜厚測定，又可容易地進行膜厚控制。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 又，爲了達成第三目的，第一項發現了可設置紫外線 反射膜之透過率特性上以4 3 0〜4 5 0 n m之波長範圍 的平均透過率爲7 0〜9 0 %段差部。藉設置此種段差部 ’半値波長係成爲可截止4 0 5 n m附近之峰値的4 1 5 〜4 3 Ο n m就可以，故並不要求較高精度，可容易地製 造此種紫外線反射膜，而且在段差部可使用優異控制性來 調整4 4 0 n m附近之峰値的透過率。由此，可作成具備 符合於超高壓水銀燈之亮度特性之透過率特性的U V截止 濾波器。 本紙張尺度適用中國國家榡準（CNS ) A4規格（210X29?公釐） -9- 552566 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（7) 第二項發現了組合半値波長4 1 5〜4 3 0 n m之紫 外線反射膜，及在4 3 0 n m〜4 5 0 n m之波長範圍具 有7 ◦〜9〇％之平均透過率，在4 3 0 nm〜5 2 0 n m之波長範圍具有9 0 %以上之透過率的藍色調整膜較 有效。藉著該組合，一直到4 0 5 n m附近之峰値的紫外 線與可視光領域之反射係成爲紫外線反射膜所負擔，而 4 4 〇 n m附近之峰値之反射係成爲藍色調整膜所負擔。 由此，紫外線反射膜之半値波長並不要求較高精度之故， 因而製造成爲容易，4 4 0 nm附近之峰値的透過率係在 藍色調整膜可控制性優異地加以調整。由此，可作成具備 符合於超高壓水銀燈之亮度特性之透過率特性的U V截止 濾波器。 第三項發現了組合半値波長具有4 1 5〜4 3 0 n m 之吸收特性的紫外線吸收玻璃，及組合上述藍色調整膜較 有效。藉著該組合，在藍色調整膜補充紫外線吸收玻璃之 吸收特性，而一直到4 0 5 n m附近之峰値的紫外線與可 視光領域之吸收係成爲紫外線吸收玻璃所負擔，4 4 0 n m附近之峰値的透過率係在藍色調整膜可控制性優異地 加以調整。由此，可作成具備符合於超高壓水銀燈之亮度 特性之透過率特性的U V截止濾波器。 爲了達成第四項目的，發現了藉著作爲光源使用超高 壓水銀燈，同時使用具備符合於超高壓水銀燈之亮度特性 的透過率特性之上述U V截止濾波器的投影型顯示裝置。 爲了達成第五項目的，發現了在調整來自投影型顯示 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21〇χ297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

-10- 552566 A7 B7 五、發明説明（8) 裝置的光源之光而構成形成所定畫像之顯示面板的顯示裝 置附著塵埃，而爲了防止所附著之塵埃有投射之情形，將 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 紫外線反射膜設在配置於顯示裝置之入射側的防塵玻璃前 面較有效。 亦即，習知之防塵玻璃係具有用以提高光透過率之反 射防止膜設在較厚之透明玻璃基板之前面的構造。紫外線 反射膜係調整膜厚就可任意地選擇所截止的波長之選擇， 也可提高所截止之波長附近的短波長之透過率。因此，紫 外線反射膜係除了截止紫外線之功能之外還兼備反射防止 膜之功能。而且反射了大部分紫外線而吸收較少之故，因 而不會使防塵玻璃之溫度上昇，而在構成顯示面板之防塵 玻璃賦予紫外線截止功能也不會產生不方便。所以，發現 了可將防塵玻璃之反射防止膜置換成紫外線反射膜。如此 ’使用組裝此等防塵玻璃之顯示面板的投影型顯示型顯示 裝置，係成爲不需要作爲零件之U V截止濾波器，又可刪 減零件數。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 所以發現了，藉著將設置紫外線反射膜之防塵玻璃組 裝於顯示面板，就可達成第六項目的，又藉著將該顯示面 板使用於投影型顯示裝置，就可達成第七項目的。 (用以實施發明之最佳形態） 以下，說明本發明之實施形態，惟本發明係並不被限 定於以下之實施形態者。 首先，說明爲了達成第一項目的之多層膜截止濾波器 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -11 - 552566 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（9) 及爲了達成第二項目的的多層膜截止濾波器之製法。 本發明之多層膜截止濾波器係被稱爲截止比特定波長 較短之波長之光並透過較長波長之光，或是截止比特定波 長較長之波長之光並透過較短波長之光的邊緣濾波器者， 藉由功能，有u V截止濾波器，I R截止濾波器，選色鏡 ，冷鏡等符合使用目的之名稱。在各種光學測定或投影裝 置，攝影裝置.雷射加工裝置中，被使用於用以截止或分 離不要或有害之高階頻率（短波長）之光。 本發明之多層膜截止濾波器之主要用途係配置於曝露 於包含液晶投影機，背面投射，電視，投影型顯示器等之 投影型顯示裝置之高輸出的水銀燈等之強紫外線之光源的 光學零件與光源之間，截止光源之紫外線與短波長的可視 光之一部分以保護光學零件的U V截止濾波器。投影型顯 示裝置係在顯示面板調變來自光源之光並形成所定之畫像 ，而將從顯示面板所出射之光使用擴大投射光學部放大投 影在屏蔽上者。欲進行彩色顯示時，則將來自光源之光分 光成紅，綠，藍之波長頻帶，並將各該光輸入在顯示面板 後進行調變，合成經調變後之各色成分，顯示作爲彩色之 影像。 在第1圖表示液晶投影機之槪略構成。該液晶投影機 1〇0係將光源1 0 1之光藉由藍線反射分光鏡1 1 1 ， 線反射分光鏡1 1 2被分光成紅R，綠G，藍B之三原色 ’紅色係通到弟一*液晶顯不:面板1 2 1 ，緣色係通到第二 液晶顯示面板1 2 2，而藍色係經由偏光板單元1 3 1通 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

-12- 552566 Α7 ______ Β7 五、發明説明（β 到第三液晶顯示面板1 2 3。此等液晶顯示面板1 2 1 ， 1 2 2 ’ 1 2 3係稱爲光閥，分別顯示相同之畫像。將經 (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) 液晶顯示面板1 2 1 ，1 2 2 ，1 2 3而被調變之各該光 在分光棱鏡1 4 0被合成彩色晝像，以作爲放大投射光學 邰之投射透鏡1 5 0進行投射者。 近年來’作爲光源1 〇 1大都使用極高亮度之超高壓 水銀燈。如第1 7圖所示，超高壓水銀燈係使用作爲紫外 線源’包含極多紫外線成分C波長爲4 0 0 n m以下）。 在第一液晶顯示面板1 2 1與第二顯示面板1 2 2， 入射有透過分光鏡1 1 1 ，1 1 2之光，而紫外線成分係 包含於藍色B而不存在之故，因而對於紫外線之對策係並 不特別需要。從光源1 〇 1所出射之紫外線係主要入射在 第三液晶顯示面板1 2 3。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 在通常之液晶投影機中，在配置於調變藍色的第三液 晶顯示面板1 2 3之前方的偏光板單元1 3 1之前的光路 ’爲了從紫外線防止此些，配置有u V截止濾波器1〇。 ϋ V截止濾波器1 〇所配置之位置係並不被限定於表示於 第1圖者’從光源1 〇 1 —直到第三液晶顯示面板1 2 3 的光路之任意位置也可以。 又’並不是作爲獨之零件’而是例如在配置於光路 之透鏡賦加U V截止濾波器之功能也可以。 使用作爲U V截止濾波器1 0之多層截止濾波器，係 在光透過性基板上作爲紫外線反射膜形成有交互地疊層高 折射率層與低折射率層的介質多層膜。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） -13- 552566 A7 B7 1、發明説明（1) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 作爲光透過性基板’透過光線之材質者就可以’通常 係使用無機玻璃，例如使用鈉鈣玻璃，硼矽酸玻璃’鉛玻 璃，無鹼玻璃，石英玻璃，尼我施拉姆，可尼公司之 7 9 7 1鈦矽酸玻璃，藍寶石玻璃等。 通常光透過性基板之形狀係薄板狀’例如將使用於投 影型顯示裝置的光學透鏡可使用作爲本發明之u v截止濾 波益之基板。 作爲構成紫外線反射膜的介質多層膜之高折射率層之 材料，使用丁 1 〇 2 ( n = 2 · 4 ) ，丁 a 2 〇 5 ( η 二 2.1) ，Nb2〇5 ( η = 2 . 2)等，而作爲低折射率 層之材料，使用S i〇2 (η=1 · 46)或MgF2 (η -1.38)。折射率係藉由波長而不相同’上述折射率 η係5 0 0 n m之値。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 一般，膜厚之基本上設計，係作爲高折射率層與低折 射率層交互地以分別相同之光學膜厚重複被疊層之重複交 互層，表示如（0 · 5H，1L，〇 . 5H) 5。這時候， 將擬截止之波長之中心附近的波長作爲設計波長λ，並將 光學膜厚n d = 1 / 4 λ作爲一單位，而將高折射率層（ Η )之膜厚表示爲1 Η，又同樣地將低折射率層（L )作 爲1 L。S係表示稱爲堆積數之重複次數，表示阓期地重 複括弧內之構成。實際上被疊層之層數係成爲2 S + 1層 ，若增加S値，則可將變化成反射一透過的上昇特性（急 峻程度）成爲急峻。作爲S値係從大約3至2 0之範圍內 被選定。藉由該重複交互層，來決定被截止的特定波長。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X 297公釐） -14 - 552566 A7 B7 i、發明説明（1全 提高透過頻帶之透過率。爲了將稱爲漣波的光透過率 之凹凸作爲平坦特性，而變化重複交互層之基板附近，及 媒質附近之數層每一層之膜厚，俾進行最適當設計。所以 ’表示如基板 1 0 · 5LH ...... HL (HL) SHL ...... Η

、〇.5 L。又，在高折射率層使用τ i〇2等時，大都將 耐環境特性優異之S : ◦ 2追加於最外層比以高折射率層作 爲最外層來進行設計。與基板接觸之層也因T i 0 2與基板 反應而使特性劣化之情形，因此也有將化學上穩定之S 1 〇2追加在第一層之情形。此種多層膜截止濾波器之設計係 使用市售之軟體而在理論上可進行（參考文獻：〇PTR〇NIC s 雜誌，1999，No. 5p. 175 — 190)。 欲將高折射率層與低折射率層交互地成膜於光透過性 基板上，一般爲物理成膜法，在通常之真空蒸鍍法也可以 ’惟可進行膜之折射率安定之控制，惟膜之折射率之安定 之控制，而以可製作依保管，規格環境變化的分光特性之 經時變化較少之膜的離子輔助蒸鑛或離子電鍍法，濺鍍法 較理想，真空蒸鑛法係在高真空中未加熱蒸發，俾將該蒸 發粒子堆積在基板上而可形成蒸膜的方法。離子電鍍法係 離？化蒸鍍粒子，利用電場使之加速，俾將該蒸發粒子堆 積於基板上，俾形成薄膜之方法。離子電鍍法係離子化蒸 鍍粒子，利用電場使之加速而附著於基板的方法，有APS( Advanced Plasma Source)，EBEP(Elect ron Beam Excited Plasma)法，RF(Radio Frequency)直接基板施加法（在成 膜室內發生高頻氣體電漿之狀態下進行反應性之真空蒸鍍 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

，1T 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -15- 552566 A7 B7 五、發明説明（ 的方法）寺之方式。灑鑛法係將利用電場加速之離子相撞 於薄膜材料而利用超出薄膜材料施以濺鍍使薄膜材料蒸發 ，而將蒸發粒子堆積於基板上的薄膜形成方法。被成膜之 層的折射率等之光學常數係依成膜方法，成膜條件等而不 同之故，因而須正確地測定成膜於製造前之層的光學常數 〇 在第2圖，表示使用廣泛地使用於膜厚控制之光學式 膜厚計的物理式成膜裝置之一例。該物理式成膜裝置 2 〇 〇係具備成膜裝置2 1 0與光學式膜厚計2 2 0。在 構成成膜裝置2 1 0之真空腔211內之下部配置有高折射 率兀件與低折射率元件之薄膜材料分別塡充於石英增渦的 兩個蒸鍍源2 1 2、2 1 3。蒸鍍源2 1 2、2 1 3係以 各種方法可加以加熱或濺鍍。在真空腔2 1 1內之上方可 旋轉地支持有裝載光透過性基板之圓頂形狀的蒸鍍圓頂 2 1 4。在蒸鍍圓頂2 1 4之上方設有用以加熱蒸鍍圓頂 2 1 4之基板加熱器2 1 5。在蒸鍍圓頂2 1 4之中央部 穿設有監控用孔’而在該孔設有構成光學式膜厚g十2 2 0 之膜厚監控用的監控基板2 2 1。監控基板2 2 1係以監 控玻璃所構成。從投光器2 2 2所出射之光入射於監控基 板2 2 1之成膜面，而受光器2 2 3受光在成膜面反射之 反射光而變換成電信號後發送至測定器2 2 4，以測定器 2 2 4測定反射光量，該反射光量被輸出至記錄器2 2 5 。又，在蒸鍍源2 1 2、2 1 3與蒸鍍圓頂2 1 4之間， 固定設有修正膜厚分布的修正板2 1 6。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 、τ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -16 - 552566 Α7 Β7 五、發明説明（ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 化係每當光學膜厚成爲測定波長λ之1 / 4的整數倍，即 同期性重複增加減少而表示峰値，以峰値爲基準來決定成 膜量，可正確地控制實際之光學膜厚之故，因而光學式膜 厚計2 2 0係被廣泛地使用在光學薄膜之成膜。 然而，紫外線截止（U V截止）時，必須將短波長選 擇在設計波長，而各層膜厚成爲極薄薄之故，因而成爲很 難控制膜厚。又，在紫外線領域，如表示依T i 0 2之折射 率之波長變化的第5圖，基板或膜之折射率等的光學常數 之變動較大之故，因而有測定精度成爲不穩定之問題。又 ，在使用光學式膜厚計之成膜裝置中，光量變化峰値附近 係光量變化成爲平坦之故，因而很難判定光量變化峰値， 而發生顯著地劣化控制精度之問題。而且若使用T 1〇2時 ，則藉著該T i〇2之吸收，使得光量變化之測定本身成爲 困難而顯著地惡化成膜之精度。又爲了實現急峻之上昇特 性而增加重複數S，則使成膜更困難。所以，習知堆積數 S成爲如1 〇以上時，則很難大量地生產。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 在本發明中，藉由重複交互層之膜厚之平衡與修正板 之大小加以設計來克服此種U V截止濾波器的成膜時之膜 厚控制之困難性，可成爲高精度之膜厚控制，並可成爲大 量生產者。 亦即，在習知設計中，重複交互層的光學膜厚之比率 H / L作爲1 · 〇。爲了將H / L作成1 · 0，則在監控 基板之反射率成爲λ / 4之整數倍之峰値時必須正確地停 止成膜。此時，光學式膜厚計之光量變化峰値附近係光量 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Μ規格（210Χ297公釐） -18- 552566 Α7 Β7 五、發明説明（1在 變化成爲平坦之故，因而很難判定光量變化峰値。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 對此，在本發明中，將重複交互層之H / L或是 L / Η之比率作爲1 . 2〜2 · 0，較理想爲作成1 . 3 〜1 . 5之範圍者，將高折射率層與低折射率層之一方形 成較厚，而將另一方形成較薄地將厚度成爲偏差。此時， 偏差過大時，則作爲濾波器之特性有不良影響之虞。 由此，在成膜一方之較厚之膜時，則在超過光學式膜厚 計之光量變化峰値之時刻成爲停止成膜之故，因而成膜之 停止時期成爲明確，而使得膜厚控制成爲容易。又，較薄 之另一方的膜厚控制係成膜於較厚之膜上之故，因而在如 通常之峰値時成爲停止成膜，形成較薄並不產生不方便。 尤其是，藉著將高折射率層之一方成爲較厚，幾何學上膜 厚形成較薄，成爲可將較難控制膜厚之高折射率層以優異 膜厚精度地成膜。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 又，在本發明中，比一般增加修正板2 1 6之寬度， 增加以修正板2 1 6所遮蔽的飛來粒子之比率。亦即，將 堆積於光透過性基板的膜之膜厚/堆積於監控基板的膜之 膜厚的比率作爲工具因數，則將工具因數作成0 . 6〜 〇· 8 5之範圍者。若工具因數過低，則附著於光透過性 基板之粒子量過少之故，因而在生產性上較不理想。習知 之成膜裝置的一般工具因數係大約0 . 9〜1 · 1之範圍 〇 由此，在監控基板2 2 1堆積有比光透過性基板較厚 之膜，成爲可正確地測定膜厚，可解決在紫外線領域使折 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） -19" 552566 A7 B7 五、發明説明（ 射率等之光學常數成爲不穩定之問題。又，監控基板 2 2 1之光量變化之峰値先行於光透過性基板之成膜之峰 値，而在過了光量變化之峰値之時刻成爲可停止成膜之故 ’因而成膜之停止時刻成爲明確，而膜厚控制成爲容易。 結果，可提高膜厚精度。 藉由組合此些重複交互層的膜厚平衡之改良與增加修 正板之寬度而降低工具因數之改良，也增加超過低折射率 層之成膜時的光學式膜厚計之光量變化峰値之時刻成爲可 停止成膜的效果，使得膜厚控制成爲更容易。 將本發明之重複交互層之H/L或L/H之比作爲 1 _ 2〜2 . 0的多層膜截止濾波器使用作爲U V截止濾 波器時，作爲上昇之半値波長，能截止紫外線及短波長之 可視光般地，從4 0 0 n m〜4 5 0 n m之範圍選擇較理 想。特別是，作爲光源使用超高壓水銀燈時，爲了收善光 源之色平衡，能將超高壓水銀燈之4 4 0 n m附近之峰値 能反射1 0〜3 0 %，較理想爲能反射大約1 〇〜2 0 % 般地，半値波長係4 2 5〜4 4 0 n m，特別是作成 4 3 0〜4 3 5 n m附近較理想。 在與設有U V截止濾波器之光透過性基板之紫外線反 射膜之面相反側之面，可形成提高光透過率之一般反射防 止膜。 本發明的多層膜截止濾波器係可適用於具有重複交互 層之介質多層膜形成於光透過性基板上的所有濾波器，並 不被限定於U V截止濾波器，當然也可適用於I R截止濾 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -20- 552566 A7 B7

五、發明説明（A 波器，選色鏡，冷鏡等。 (實施例1 ) 將重複交互層的膜厚之比率作成大約H / L = 1 · 3 3 ’而將Η層之膜厚作成厚度之平衡。最外層與接 觸於基板的第一層係作成S i 〇 2。 光透過性基板材料係使用B K 7 ( η = 1 5 2之白板 玻璃）。使用的膜之材料係高折射率層（Η )爲T i 0 2， 低折射率層（L )爲S i〇2，成膜方法係使用R F離子電 鍍裝置（日本昭和真空股份有限公司製造。單色式光學監 控方式的光學式膜厚計。使用比通常較寬的修正板，將工 具因數作成0 . 8。 膜厚構成係λ二3 6 0 n m，層數3 3，從基板側作 成 1 .08L，〇.44H，1 .〇4L，0.88H， 〇，8〇L，1.16H，〇.76L， （1·12Η， 〇-84L)"，1.〇〇h，〇.92L，1.16H ，0.6〇L，l.〇4H，l.8〇L。 將所得到的多層膜截止濾波器之波長4 1 〇 n m附近 經放大的分光透過率表示於第6圖。又，將波長3 5 Ο n m〜7 Ο Ο n m之範圍的分光透過率表示於第7圖。 又’將重複交互層的光學式膜厚計之反射率變化表示 於第8圖。實線係表示高折射率層之成膜，一點鏈線係表 示低折射率層之成膜。在各線之右端係表示在該時刻停企 成膜。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -21 - 552566 A7 ____B7 五、發明説明（2么 又，將重複交互層的光學式膜厚計之反射率變化表示 於第9圖。實線係表示高折射率層之成膜，〜點鏈線係表 示低折射率層之成膜。在各線之右端係表示在該時刻停止 成膜。 (比較例2 ) 在與實施例1同樣之成膜條件，膜厚構成係λ二 36011111，層數19，作成11^，0.3«：，0.94 L，l.lH，〇.58L，1.3H，〇.79L，（ 1H，1L)3，1_〇2H，〇.71L，i.74H， 〇.32L，1.35H，1.68L。 將所得到的多層膜截止濾波器之波長4 1 〇 n m附近 經放大的分光透過率表示於第6圖。又，將波長3 5 Ο n m〜7 Ο Ο n m之範圍的分光透過率表示於第7圖。 層數較少分量成爲製作較容易，惟分光特性係急峻度 較少而較差。 實施例1與比較例1係相同層數，但重複交互層之膜 厚平衡不同。實施例1之分光特性較具急峻。同樣地，實 施例2與比較例2係相同層數，但是重複交互層之膜厚平 衡不同，而實施例2之分光特性較具急峻。 又，表示於第9圖的光學監控光量之變化，係在作成 H / L二1 · 〇 〇的習知之重複交互層之成膜的高折射率 層之成膜時，在峰値頂點必須停止成膜之故，因而判斷停 止成膜之時刻較難，而表示膜厚控制較難。另一方面，在 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ：Ζ97公釐） (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁)

訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -23- 552566 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 Α7 Β7 五、發明説明（2) 低折射率層之成膜時，將工具因數作成〇 · 8之效果’而 在超過峰値之時刻可停止成膜之故，因而表示膜厚控制較 容易。 對此，將表示於第8圖之重複交互層之層厚平衡作成 H / L二1 . 3 3的本發明之光學監控光量之變化，係在

高折射率層之成膜時，在超過峰値之時刻可停止成膜之故 ，因而表示膜厚控制較容易，又在低折射率層之成膜時’ 將工具因數作成0 . 8之效果，而在超過峰値之時刻可停 止成膜之故，因而表示膜厚控制較容易。〕I (實施例3 ) 在光透過性基板之一面設置紫外線反射膜，而在光透 過性基板之另一面製作設置反射防止膜的U V截止濾波器 。將重複交互層之膜厚比率作成大約H / L二1 · 3 1 ， 而將Η層之膜厚作成較厚之平衡。最外層與接觸於基板之 第一層係作成S i〇2。 光透過性基板材料係使用B K 7 ( η = 1 . 5 2之白 板玻璃）。使用之膜材料係高折射率層（Η )爲T i〇2， 低折射率層（L )爲S 1〇2，而成膜方法係使用R F離子 電鍍裝置（日本昭和真空股份有限公司製造）。使用單色 式光學監控方式的光學式膜厚計。使用比通常較寬的修正 板，而將工具因數作成0 · 8。 膜厚構成係設g十波長二3 7 1 n m，層數3 3 ，從基 板側作成 1 L，0 · 3 6 Η，1 . 2 1 L，0 . 7 4 Η， 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

-24- 552566 A7 -- B7 五、發明説明（2) 〇.97L，l.〇8H，〇.87L，l.〇8H( ◦•88L，l.i5H)8，〇.88L，l.i2H， (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) 0·9Ι^’1·〇ιη，1·〇2Ι^，1,〇3Η， 〇· 7 1 L ，1 · 〇 9 η，1 · 7 5 L。半値波長係 4 3 3 n m。 又’作爲反射防止膜，成膜通常之4層構成者。膜構 成係從基板側爲〇.2 3 Η，〇.4 L ，2 · 1 7 Η， 1 L ( g受 g 十波長· 5 5 0 n rn )。 將所得到的多層膜截止瀘波器之分光透過率表示於第 1 0圖’ 一點鏈線係表示所得到的多層膜濾波器之分光透 過率’而虛線係表示紫外線吸收玻璃之一例子的分光透過 率。又，細虛線係表示超高壓水銀燈之亮度分布。 表示於第1 0圖之實施例3 ，係成爲符合於超高壓水 銀燈之亮度特性的分光透過率。亦即，作爲表示於第1〇 圖的超高壓水銀燈之亮度特性係藍色光有過剩傾向，而僅 截止在藍之波長範圍的4 0 5 n m附近之峰値光，則藍色 光仍強之故，因而4 4 Ο n m附近，較理想爲4 3 〇〜 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 4 5 〇 n m之波長範,之光仍須要截止大約1 〇〜3 0 % 〇 紫外線吸收玻璃之透過率特性係可大約完全截止 4 0 5 n m附近之峰値，惟在4 4 Ο n m附近呈平緩，而 很難提高截止之波長附近之短波長的透過率。所以發生透 過之光之衰減。又很難截止大約1 0〜3 0%之4 3 0〜 4 5 0 n m之波長範圍之光。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -25- 552566 A7 一 ___B7___ 五、發明説明（2$ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 在表示於第1 0圖的實施例3之多層膜截止濾波器中 ’半値波長爲4 3 3 n m。所以，4 0 5 n m附近之峰値 係可完全地截止，同時可截止大約1 〇〜3 0%之4 3〇 〜4 5 0 nm之波長範圍之光。由此截止藍色過剩之超尚 壓水銀燈之藍色之一部分，而可改善色平衡。而且，上昇 爲急峻之故，因而可提高截止之波長附近之短波長的透過 〇 以下，說明用以達成第三目的之U V截止濾波器及用 以達成第四目的投影型顯示裝置。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 使用於投影型顯示裝置1 〇 〇的U V截止濾波器1 0 之目的，係大約完全地遮蔽4 0 0 n m以下之波長的紫外 線及接近於紫外線的可視光之一部分，防止依此些光線的 有機零件之劣化，增加製品之壽命，除了此以外，若光源 1 0 1爲超高壓水銀燈時，則截止藍色過剩的超高壓水銀 燈之藍色一部分，具有改善色平衡。本發明之U V截止濾 波器係具備符合於超高壓水銀燈之亮度特性的透過率特性 ’爲其特徵者。具體上，僅大致截止在表示於第1 7圖的 超高壓水銀燈之藍波長範圍的4 0 5 n m附近之峰値光， 藍光仍強之故，因而也截止4 4 0 nm附近之大約1 〇〜 3 0 %之峰値光，較理想爲截止大約1 〇〜2 0 %之峰値 光者。 一面參照第1 1圖一面說明本發明的U V截止濾波器 之第一實施形態。 表示於第1 1 ( a )圖之第一實施形態的U V截止濾 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2!0X297公釐） -26- 552566 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7五、發明説明（ 波器1 0 a ，係具有在光透過性基板1 1之一面側設有具 段差部之紫外線反射膜1 2，而在光透過性基板1 1之另 一面側設有反射防止膜1 3之構造。又’表不於弟1 1 ( b )圖的第一實施形態之U V截止濾波器1 〇 b ，係具有 在光透過性基板1 1之一面側設有具段差部之紫外線反射 膜1 2，而在光透過性基板1 1之另一面側未設有膜之構 造。 作爲光透過性基板1 1 ，可透過可視光線之材質者就 可以，通常使用無機玻璃，例如使用鈉鈣玻璃，硼矽酸玻 璃，鉛玻璃，無鹼玻璃，石英玻璃，尼我施拉姆，可尼公 司之7 9 7 1鈦矽酸玻璃，藍寶石玻璃等。 通常光透過性基板1 1之形狀係薄板狀，例如將使用 於投影型顯示裝置的光學透鏡可使用作爲本發明之U V截 止濾波器之基板。 具段差部之紫外線反射膜1 2之透過率特性係爲了符 合於超高壓水銀燈之亮度特性，被要求半値波長爲4 1 5 〜4 3 0 n m，而作爲段差部之波長範圍在4 3 0〜 4 5 0 n m爲7 0〜9 0 %之平均透過率，較理想爲8 0 〜9 0%之平均透過率，而在4 6 〇〜5 2 0 nm之波長 範圍爲9 0 %以上，較理想爲9 5 %以上之透過率。 具有此種透過率特性的具段差部之紫外線反射膜1 2 ，係上述之多層膜截止濾波器之一種，故藉由使用進行多 層膜構造之設計的市售之軟體，即可加以設計。 又，具段差部之紫外線反射膜1 2係爲了精度優異地 (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -27- 552566 A7 B7 五、發明説明（2春 調整超高壓水銀燈之4 4 0 n m附近的峰値之透過率，俾 抑制藍色，用以調整色平衡。將段差部之平均透過率作爲 7 0〜9 0 %，較理想爲作爲8 0〜9 0 %，乃爲了保護 色平衡必須將透過率作爲該範圍。 又，在4 6 0 - 5 2 0 nm之波長範圍須具有9 0% 以上之透過率，較理想爲須具有9 5 %以上之透過率，乃 爲了不降低光源之亮度須將投射光作成明亮。 設在表示於第1 1 ( a )圖之UV截止濾波器1 0 a 的反射防止膜1 3 ，係抑制光透過性基板1 1之表面的反 射，具有提高可視光線之透過率之功能。 反射防止膜1 3係由無機被膜，有機被膜之單層或多 層所構成。作爲無機被膜之材質，例如s i 0 2，S i〇， Zr〇2，Ti〇2，Ti〇，Ti2〇5，Al2〇3， T a 2 Ο 5 j Ce〇2，Mg〇，Y2〇3， Sn〇2， M g F 2，W〇3等之無機物，可將此些單獨或倂用兩種以 上加以使用。又，作爲多層膜構成時，成爲交互地疊層高 折射率層與低折射率層之構成。作成多層膜構成時，最外 層係作成耐環境特性上優異之S i〇2較理想。 無機被膜之成膜方法，可採用例如真空蒸鍍法，離子 電鍍法，濺鍍法，C V D法，依飽和溶液中的化學反應所 析出之方法等。有機被膜係除了真空蒸鍍法之外，還可用 旋塗法，浸漬塗布法等之塗裝方法加以成膜。 反射防止膜也可使用與上述之多層膜截止濾波器之設 計同樣之市售之軟體進行理論上設計。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 、?τ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -29- 552566 A7 B7 五、發明説明（2备 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 半値波長比4 3 0 n m高，則在製造上之半値波長之參差 會影響到4 4 0 n m附近之峰値的透過率，設置藍色調整 膜就沒有意思。§亥紫外線反射膜1 4係半値波長爲4 1 5 〜4 3 0 n m之範圍具較廣容許範圍之故，因而製造較容 易。 又’藍色調整膜1 5係具有調整超高壓水銀燈之 4 4 0 n m附近之峰値的透過率之功能，在4 3 0 n m〜 4 5 〇 nm之波長範圍具有7 〇〜9 0%之平均透過率， 較理想爲具有8 0〜9 0%之平均透過率。而在4 6 0〜 5 2 0 nm之波長範圍需具有9 〇%以上之透過率。較理 想爲需具有9 5 %以上之透過率。將4 3 0 nm〜4 5 0 n m之波長範圍的平均透過率作成7 〇〜9 0 %，較理想 爲作成8 0〜9 0 %，乃必需從色平衡上將超高壓水銀燈 之4 4 0 n m附近之峰値的透過率作成該範圍。又，在 4 6 0〜5 2 0 nm之波長範圍需具有9 5%以上之透過 率，乃不降低光源之亮度而需將投射光作成明亮。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 藍色調整膜1 5係在光透過性基板1 1上交互地疊層 高折射率層與低折射率層的介質多層膜所構成。但是，疊 層數係比紫外線反射膜更少，也沒有重複交互層。藍色調 整膜1 5也可使用進行上述之多層膜截止濾波器之設計的 市售之軟體加以設計。 將下述之實施例5中實際上成膜於B K 7上的紫外線 反射膜14之分光透過率以第12 (b)圖之虛線②表示 ，又將藍色調整膜1 5之分光透過率以第1 2 ( b )圖之 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2丨〇><297公釐） -31 - 552566 A7

〜點鏈線③表示。將合倂此些的ϋ V截止濾波器i 〇 c之 分光透過率以實線之④表示。虛線⑦係表示超高壓水銀燈 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 之亮度特性。 具備表不於弟1 2圖之透過率特性的紫外線反射膜1 4，係T 1〇2 — s i〇2交互之3 3層膜，半値波長係 4 2 5 n m。又，藍色調整膜1 5係τ i〇2 — S i〇2之 9層膜，在4 3 Ο n m〜4 5 Ο n m之波長範圍的平均透 過率係具有約8 5%，而在4 6 0〜5 2 0 nm之波長範 圍係具有9 6%以上之透過率。 紫外線反射膜1 4之半値波長爲4 2 5 n m之故，因 間在4 3 0 nm〜4 5 0 nm之波長範圍內，藍色調整膜 1 5之透過率成爲支配性，而在u V截止濾波器1 〇 c之 4 3 0〜4 5 Ο n m之波長範圍的透過率係成爲大致接近 於藍色調整膜1 5之透過率。 組合此種紫外線反射膜1 4與藍色調整膜1 5的U V ® ± ®波器1 〇 c，係在紫外線反射膜1 4反射比超高壓 ，水I艮纟登之4 〇 5 n m附近之峰値更短波長的紫外線或可視 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 光線’而4 4 Ο n m附近之峰値係在藍色調整膜1 4之大 糸勺反射而可調節透過率。所以，可防止依紫外線之零件之 劣'化’同時，可確實地調節超高壓水銀燈之過剩藍色而可 調整色平衡。 又’第二實施形態之U V截止濾波器1 0 c ，也幾乎 不吸收紫外線，又，不發熱之故，因而如下述地，作爲使 用於液晶顯示面板之防塵玻璃也可加以使用。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -32 - 552566 A7 B7 五、發明説明（ 以下’一面參照第1 3圖一面說明本發明的u V截止 濾波器之第三實施形態。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 如第1 3 ( a )圖所示地，該第三實施形態之u v截 止濾波器1 0 d，係具有在紫外線吸收性光透過性基板1 1 b之一面側設有上述之藍色調整膜1 5，而在另一面側 設有反射防止膜1 3之構造。 紫外線吸收性光透過性基板1 1 b係由紫外線吸收玻 璃所構成’調整超高壓水銀燈之4 4 0 n m附近之峰値的 透過度上具有不充分之性能。所以，藍色調整膜1 5係具 有補足紫外線吸收性光透過性基板1 1 b之性能，並調節 超高壓水銀燈之4 4 0 n m附近之峰値的透過量之功能。 紫外線吸收性光透過性基板1 1 b係具有吸收比超高 壓水銀燈之4 0 5 n m附近之峰値較短波長的紫外線或可 視光線之功能之故，因而半値波長必須在4 1 5〜4 3 〇 n m之範圍。藍色調整膜之透過率特性係如上所述者。 在下述之實施例6製作在厚度1 . 1 m m之紫外線吸 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 收玻璃1 1 b之一面側設置T i〇2 — S i〇2之9層膜的 藍色調整膜1 5，而在另一面側設置反射防止膜1 3的 u V截止濾波器1 〇 d。將該紫外線吸收玻璃1 1 b之吸 收特性以第1 3 ( b )圖之虛線⑧表示，而將藍色調整膜 1 5之透過率特性以第1 3 ( b )圖之一點鏈線③表示。 將合倂紫外線吸收玻璃與藍色調整膜的U V截止濾波器 1 〇 cl之分光透過率以實線之⑤表示。細虛線⑦係表示超 高壓水銀燈之亮度特性。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X29?公釐） -33- 552566 Α7 Β7 五、發明説明（3) 紫外線吸收玻璃之透過率特性⑧，係大約完全地可截 止4 〇 5 n m附近之峰値，惟在4 4 0 n m附近呈平緩而 透過率超過9 0%，而很難將4 4 0 nm附近之峰値之光 截止約1 0〜3 0 %。 在第13 (b)圖之UV截止濾波器10d之44〇 n m附近受到藍色調整膜之透過率之影響較大，產生段差 。44〇nm之透過率係約75%。 如此地組合紫外線吸收玻璃1 1 b與藍色調整膜1 5 的U V截止濾波器1 0 d，係在紫外線吸收玻璃1 1 b吸 收比超高壓水銀燈之4 0 5 n m附近之峰値較短波長之紫 外線或可視光線，而4 4 0 n m附近之峰値係在藍色調整 膜1 5可大致調節透過率。所以，可防止零件之劣化，同 時確實地調節超高壓水銀燈之過剩藍色而可調整色平衡。 (實施例4 ) 製作在如第1 1 ( a )圖所示的光透過性基板1 1之 一面側設置具段差部之紫外線反射膜1 2，而在光透過性 基板1 1之另一面側設置反射防止膜1 3的U V截止濾波 器 1 0 a。 成膜方法係使用R F離子電鍍裝置（日本昭和真空股 份有限公司製造）。使用單色式光學監控方式之光學式膜 厚計。使用比通常較寬之修正板，而將工具因數作爲 〇.8。作爲光透過性基板1 1 ，使用B K 7 ( η二 1 _ 5 2之白板玻璃）。作爲具段差部之紫外線反射膜 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（21〇Χ297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -34- 552566 A7 B7 五、發明説明（3$ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁} 厚計。使用比通常較寬之修正板，而將工具因數作爲 〇· 8。作爲光透過性基板1 ]_ ，使用B K 7。作爲紫外 線反射膜1 4成膜T i〇2 一 s i〇2交互之3 3層膜U V 截止濾波器。將該膜構成表示如下。 從基板側作成1 L，〇 · 3 6 Η，1 · 2 1 L， 0. 74H，〇.97L，l.〇8H，〇.87L， 1·08Η，（0.88L，1.15H)8，〇.88L ，1.12H，〇_9L，l.〇!H，l.〇2L， 1. 〇3H，〇.71L，l.〇9H，1.75L(設 計波長：3 6 5 n m )。半値波長係4 2 5 n m。將該紫 外線反射膜之分光透過率表示於第1 2圖（b )之實線② 〇 又，作爲藍色調整膜1 5，成膜T 1〇2 ( Η ) -S i〇2 ( L )之9層膜者。將膜構成表示如下。

從基板側作成1 · 2 2 L，〇 . 2 5 Η ’ 0 · 5 7 L ，2.68H，0.31L，2.42H，2.〇5L， 2 . 1 9 Η，1 · 2 L (設計波長：5 Ο 〇 n m )。將該 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 藍色調整膜之分光透過率表示於第1 2圖（b )之③。 該藍色調整膜之430nm之透過率係87·3%， 440nm之透過率係84·3%，而450nm之透過 率係89 ·3%，而430〜45〇nm之平均透過率係 8 5.8%。 又，以第1 2 ( b )圖之實線④表示合倂紫外線反射 膜與藍色調整膜的U V截止濾波器1 0 c之分光透過率。 本紙張尺度適用中國國家標隼（CNS ) A4規格（210X 297公釐） -36 - 552566 A7 B7 五、發明説明（ (實施例6 ) 作爲表示於第1 3 ( a )圖的光透過性基板，使用厚 度1 · 1 m m之紫外線吸收玻璃1 1 b，製作在該一面側 成膜與實施例5相同之藍色調整膜1 5 ，而在另一面側成 膜與實施例4相同之反射防止膜1 3的U V截止濾波器 1〇d 〇 將紫外線吸收玻璃之分光透過率表不於第1 3 ( b ) 圖之虛線⑧。又，將藍色調整膜之分光透過率表示於第 1 3 ( b )圖之一點鏈線③。將合倂此些之紫外線吸收玻 璃與藍色調整膜的U V截止濾波器1 〇 d之分光透過率表 示於第1 3 ( b )圖之實線⑤。 以下，說明爲了達成第五目的之防塵玻璃’及爲了達 成第六目的之顯示面板，以及爲了達成第7目的之投影型 顯不裝置。 在第1 4圖表示作爲本發明的投影型顯示裝置之一實 施形態的液晶投影機之槪略構成。 該液晶投影機3 0 0與表示於第1圖之液晶投影機 1 0 0不相同處，爲本發明之顯示面板2 0使用於調變藍 色的第三液晶顯示面板，乃隨著此而省略了 U V截止濾波 器1 0之處。對於其他零件爲同樣之故’因而對於相同零 件賦予相同記號而省略其說明。 在習知之液晶投影機中，在配置於調變藍色的第三液 晶顯示面板2 0之前方的偏光板單兀1 3 1則之光路’配 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

、言 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -37- 552566 A7 ___B7 五、發明説明（3表 置有U V截止濾波器1 〇，俾從紫外線防止此些。 在表示於第1 4圖的液晶投影機3 0 0中，將設有紫 外線反射膜的本發明之顯示面板使用於第三液晶顯示面板 2 0之故，因而U V截止瀘波器1 〇成爲不需要，成爲可 刪減零件數，而可得到精緻化，低成本化。 在第1 5圖表示第三液晶顯示面板2 0之一實施形態 的剖視圖。該顯示面板2 0係在四方筒狀之器殼2 1內， 隔著間隔配置有構成液晶顯示裝置3 0之對向基板3 1與 液晶基板3 2。對向基板3 1係配置於入射側，而與液晶 基板3 2相對向之內面形成有未圖示之對向電極，配向膜 。液晶基板3 2係配置於出射側，而與對向基板3 1相對 向之內面形成有未圖示之T F T等之主動元件，配向膜。 在對向基板3 1與液晶基板3 2之間封裝有未圖示之液晶 層。可撓性配線3 3連接器殼外與液晶顯示裝置3 0。遮 光膜3 4圖框狀地設於對向基板3 1之外面，在對向基板 3 1之入射側表面黏接有入射側防塵玻璃4 1 ，而在液晶 基板3 2之出射側之面也黏接有出射側防塵玻璃4 2。 防塵玻璃4 1 ，4 2 ，係灰塵附著於對向基板3 1與 液晶基板3 2之外面能防止所附著之灰塵被放大投影顯示 之情形，藉由從液晶顯示面板隔離灰塵成爲聚焦外’具有 使附著灰塵不會顯眼之功能。所以，防塵玻璃4 1 ，4 2 係厚度大約1 . 1 m m之較厚者。使用與使用於液晶基板 3 2或對向基板3 1的玻璃相同材質的石英玻璃或如「尼 我施拉姆」之玻璃。防塵玻璃4 1 ，4 2係使用與使用著 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 、1Τ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -38- 552566 A7 B7 五、發明説明（分 折射率之石英玻璃或「尼我施拉姆」同樣地被調整的矽酮 系黏接劑或丙烯系黏接劑等之透明黏接劑分別黏接於液晶 基板3 2與對向基板3 1成爲不會發生氣泡。 在入射側防塵玻璃4 1之外表面，習知設有反射防止 膜’惟在本發明，代替反射防止膜而設有紫外線反射膜 5 0。紫外線反射膜5 0係由介質多層膜所構成。藉著膜 设計截止比特定波長較短波長之光，賦予急峻之特性而能 透過較長波長之光，並反射紫外線，視需要反射短波長之 可視光，而對於所需之可視光可提高透過率。 如第1 7圖所示地，紫外線反射膜之透過率特性係與 紫外線吸收玻璃比較時，則上昇（約4 2 5 n m )較急峻 ’幾乎反射所有紫外線（不足4 0 0 n m )，而且上昇後 之可視光領域（4 0 0 n m〜7 5 0 n m )的透過率較高 。未設置紫外線反射膜的透明玻璃基板之可視光的透過率 ’係大約9 6 %。因此，紫外線反射膜係在可視光領域功 能作爲反射防止膜，而在透過之光不會產生衰減之故，因 而即使將防塵玻璃的習知之反射防止膜置換成爲紫外線反 射膜也不會降低光量。 又，在出射側防塵玻璃4 2之外面，設有反射防止膜 5 1。 使用於上述液晶投影機3 0 0第一液晶顯示面板 1 2 1及第二液晶顯示面板1 2 2係具有將本發明之顯示 面板1 0之紫外線反射膜5 0置換成反射防止膜之構造， 而在其他之構造上並沒有特別不相同。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

、tT 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -39- 552566 A7 B7 五、發明説明（3> 又，防塵玻璃4 1 ，4 2係也有未黏接而從對向基板 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 3 1與液晶基板3 2分別隔離地配置之情形。隔離地配置 之情形，係空氣層介於防塵玻璃4 1，4 2與對向基板 3 1 ，液晶基板3 2之間，產生光之反射之故，因而在防 麈玻璃4 1，4 2之內面側與對向基板3 1與液晶基板 3 2之各該外面側設有反射防止膜。 本發明之顯示面板2 0，係配置於入射側設置紫外線 反射膜5 0之防塵玻璃4 1之故，因而在紫外線反射膜5 〇反射紫外線，視需要反射短波長之可視光線，而可將所 需之可視光線僅入射於液晶顯示裝置3 0。所以，可從紫 外線來防護液晶顯示裝置3 0，防止以紫外線來劣化配向 膜其他有機物，而可提高可靠性。又，可防止液晶顯示裝 置3 0或防塵玻璃4 1吸收紫外線而成爲高溫之情形，而 在投射畫面上不會產生不均勻等之發生。 在第1 6圖表示本發明的防塵玻璃之一實施形態的斷 面構造。第1 6 ( a )圖係表示黏接於液晶顯示裝置之型 式的防塵玻璃，第1 6 ( b )圖係表示與液晶顯示裝置隔 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 離地配置之型式的防塵玻璃。 表示於第1 6 ( a )圖之防塵玻璃4 1係在透明玻璃 基板4 0之一面側設有紫外線反射膜5 0，在另一方之面 未形成有膜。透明玻璃基板4 0，係使用與對向基板3 1 相同材質之玻璃，例如使用石英玻璃，尼我施拉姆，可尼 公司之7 9 7 1鈦矽酸玻璃，藍寶石玻璃等。厚度係可從 對向基板3 1之入射面充分地遠離灰塵而使之不對焦的大 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） -40- 552566 Α7 Β7 五、發明説明（3备 約0 · 7〜3 m m厚度。若過厚，則降低散熱性或產生增 加重量之問題。 如第1 5圖所示地，該防塵玻璃4 1係未設有膜之一 方的面以黏接劑黏貼於從光源入射包含紫外線之光的液晶 顯示裝置3 0之入射側之基板面，使用作爲顯示面板2〇 之一咅P分。 表示於第1 6 ( b )圖之防塵玻璃4 3係紫外線反射 膜5 0設於透明玻璃基板4 0之一面側，而反射防止膜 5 1設於另一方之面。該防塵玻璃4 3係與從光源入射包 含紫外線之光的液晶顯示裝置3 0之入射側的基板面隔離 而將紫外線反射膜5 0配置於外方側，又將反射防止膜 5 1配置於內方側，使用作爲液晶顯示靣板之一部分。該 防塵玻璃4 3之透明玻璃基板4 0係與對向基板3 1不相 同之材質也可以。通常使用無機玻璃，例如使用鈉鈣玻璃 ，硼矽酸玻璃，鉛玻璃，無鹼玻璃，石英玻璃，尼我施拉 姆，可尼公司之7 9 7 1鈦矽酸玻璃，藍寶石玻璃等。 作爲紫外線反射膜5 0，可使用在可反射比4 0 0 n m短波長之紫外線之U V截止濾、波器所使用的紫外線反 射膜。在光源使用超高壓水銀燈的投影型顯示裝置中，能 邰分地反射超尚壓水銀燈之4 4 0 n m附近之峰値大約 1〇一 3 0 %，較理想爲大約1 〇 一 2 0 %般地，半値波 長係作成4 2 5〜4 4 0 n m，特別是作成4 3 0〜 4 3 5 n m附近較理想。作爲此種紫外線反射膜，可使用 將重複交互層的高折射率層Η與低折射率層L的光學膜厚 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公楚） (請先聞讀背面之注意事項再填寫本育) 、1Τ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -41 - 552566 A7 B7 五、發明説明（分 之平衡H / L或L / Η之比作成1 · 2〜2 . 0之範圍的 本發明之多層膜截止濾波器。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 又，光源1 0 1 ,爲超高壓水銀燈時作爲特別較理想之 紫外線反射膜，可較適合地使用上述之具段差部之紫外線 反射膜1 4。所以，作爲黏接於液晶顯示裝置3 0之型式 的本發明之防塵玻璃4 1 ，可適當地採用在表示於第1 1 (b )圖的光透過性基板1 1之一面側設有具段差部之紫 外線反射膜1 2 ，而在光透過性基板1 1之另一方之面具 有未設置膜之構造的u V截止濾波器1 〇 b。又，作爲與 液晶顯示裝置3 0隔離所配置之型式的防塵玻璃4 3，可 適當地採用在表示於第1 1 ( a )圖的光透過性基板1 1 之一面側設有具段差部之紫外線反射膜1 2，而在光透過 性基板1 1之另一面側具有設置反射防止膜1 3之構造的 U V截止濾波器1 〇 a。 又，作爲與液晶顯示裝置3 0隔離地配置之型式的防 塵玻璃，可適當地採用在表示於第1 2 ( a )圖之光透過 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 性基板1 1之一面側設置紫外線反射膜1 4，而在光透過 性基板1 1之另一面側作爲藍色反射膜具有設置藍色調整 膜1 5之構造的U V截止濾波器1 〇 c。 如上所述地，本發明之多層膜截止濾波器，係藉著將 重複交互層之膜厚平衡與習知者加以變更，使得膜厚控制 成爲容易，以高精度可成膜多層膜之故，因而具備如設計 之特性者。 依照本發明的多層膜截止濾波器之製法，藉著減低工 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -42- 552566 A7 五、 發明説明（4》 具因數，並較厚地成膜於監控基板之一方，膜厚控制成爲 容易，可製造具備如設計之特性的多層膜截止濾波器。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本發明之U V截止濾波器，係藉著使用具段差部之紫 外線反射膜，具備符合於超高壓水銀燈之高度特性的透過 率特性，可防止依紫外線的零件之劣化，同時確實地減色 超高壓水銀燈之過剩藍色而可調整色平衡。 又，本發明之U V截止濾波器，係藉著組合紫外線反 射膜與藍色調整膜，具備符合於超高壓水銀燈之高度特性 的透過率特性，可防止依紫外線的零件之劣化，同時確實 地減色超高壓水銀燈之過剩藍色而可調整色平衡。 又，本發明之U V截止濾波器，係藉著組合紫外線吸 收坡璃與藍色調整膜，具備符合於超高壓水銀燈之高度特 性的透過率特性，可防止依紫外線的零件之劣化，同時確 實地減色超高壓水銀燈之過剩藍色而可調整色平衡。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本發明之投影型顯示裝置，係藉著使用具備符合於超 高壓水銀燈之亮度特性的透過率特性的u V截止濾波器。 可防止依紫外線的零件之劣化，同時確實地減色超高壓水 銀燈之過剩藍色而可調整色平衡。 本發明之防塵玻璃係藉著代替反射防止膜設置紫外線 反射膜，不會降低有用之可視光之透過率而具備反射有害 之紫外線等之特性。 本發明之顯示面板係藉著組裝設置紫外線反射膜之防 塵玻璃，未使用作爲零件之U V截止濾波器，而從紫外，線 可保護顯示裝置。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -43- 552566 A7 B7 五、發明説明（4) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本發明之投影型顯示裝置係藉著使用組裝設置紫外線 反射膜之防塵玻璃的顯不面板，不需要作爲零件之u V截 止濾波器，而成爲可刪減零件數。 (產業上之利用可能性） 本發明之濾波器，係使用於例如投影型顯示裝置，截 止來自包含紫外線之光源之光中之有害紫外線與短波長之 可視光線，可使用於防止依紫外線等之零件之劣化的用途 〇 本發明的多層膜截止濾波器之製造方法，係截止來自 包含紫外線之光源之光中之有害紫外線與短波長之可視光 線’可製造使用於防止依紫外線等之零件之劣化之用途的 濾波器。 本發明之防塵玻璃，係組裝於例如投影型顯示裝置之 液晶顯示面板，截止來自包含紫外線之光源之光中之有害 紫外線與短波長之可視光線，可使用於防止依紫外線等之 零件之劣化的用途。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本發明之投影型顯不裝置係可使用於將畫像放大投影 於屏蔽上。 (圖式之簡單說明） 第1圖係表示使用本發明的U V截止濾波器之液晶投 影機之槪略構成的構成圖。 第2圖係表示製造本發明的多層膜截止濾波器之物理 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -44- 552566 A7 B7 五、發明説明（4全 式成膜裝置之槪要的構成圖。 (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) 第3圖係表示第2圖之裝置的修正板，蒸鍍圓頂，監 控基板及蒸鍍源之垂直方向之位置關係的配置圖。 第4圖係表示監控基板之成膜之光學膜厚與反射率之 關係的圖表。 第5圖係表示T 1〇2之成膜的波長與折射率之關係的 圖表。 第6圖係表示在實施例1 、2，比較例1 、2所得到 的多層膜截止濾波器之4 1 0 nm附近之分光透過率的圖 表。 第7圖係表示在實施例1 、2 ，比較例1 、2所得到 的多層膜截止濾波器之3 5 0〜7 0 0 n m附近之分光透 過率的圖表。 第8圖係表示實施例1之光學監控器之光量變化的圖 表。 第9圖係表示比較例1之光學監控器之光量變化的圖 表。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 第1 0圖係表示在實施例3所得到的多層膜截止濾波 器之3 5 0〜8 0 0 nm之分光透過率的圖表。 第11(a)圖及第11(b)圖係分別表示具有具 段差部之紫外線反射膜之本發明的U V截止濾波器之斷面 構造的剖視圖，第1 1 ( c )圖係表示其分光透過率的圖 表。 第1 2 ( a )圖係表示組裝紫外線反射膜與藍色調整 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -45- 552566 A7 B7 五、發明説明（4》 膜之本發明的u V截止濾波器之斷面構造的剖視圖；第1 2 ( b )圖係表示其分光透過率的圖表。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 第1 3 ( a )圖係表示組裝紫外線吸收玻璃與藍色調 整膜之本發明的U V截止濾波器之斷面構造的剖視圖；第 1 3 ( b )圖係表示其分光透過率的圖表。 第1 4圖係表示本發明的投影型顯示裝置之一實施形 態之液晶投影機之槪略構成的構成圖。 第1 5圖係表示本發明的顯示面板之一實施形態之斷 面構造的剖視圖。 第1 6 ( a ) ( b )圖係分別表示本發明的防塵玻璃 之實施形態的剖視圖。 第1 7圖係表示紫外線反射膜與紫外線吸收玻璃之分 光透過率的圖表。 主要元件對照 1 〇a〜1 Od 1 1 12 13 > 51 14、50 15 20 、 123 2 1 30 u V截止濾波器 · 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 光透過性基板 具段差部之紫外線反射膜 反射防止膜 紫外線反射膜 著色調整膜 第二液晶顯示面板 器殼 液晶顯不裝置 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公餐） - 46- 552566 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明（4 3 1 32 33 34 40 41 、 42 、 43 1 00 111 112 12 1 122 13 1 140 150 101 200 2 10 2 11 212 、 213 214 2 15 2 16 220 221 對向基板 液晶基板 可撓性配線 遮光膜 透明玻璃基板 防塵玻璃 液晶投影機 藍綠反射分光鏡 綠反射分光鏡 第一液晶顯示面板 第二液晶顯示面板 偏光板單元 分光稜鏡 投射透鏡 光源 物理式成膜裝置 成膜裝置 真空腔 蒸鍍源 蒸鍍圓頂 基板加熱器 修正板 光學式膜厚計 監控基板 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） -47- 552566 A7 B7 五、發明説明（扁 2 2 2 投 光 器 223 受 光 224 測 定 器 22 5 記 錄 器 300 液 晶 投影機 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） - 48-

Claims (1)

1. 552566 A8 B8 C8 D8 年 霉 六、申請專利範圍 第91 1 03467號專利申請案 中文申請專利範圍修正本 IJ ^-- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 民國92年2月1 7日修正 1 . 一種多層膜截止濾波器，屬於具有高折射率層與 低折射率層交互地分別以相同光學膜厚重複疊層於光透過 性基板上之重複交互層的介質多層膜所形成的多層膜截止 濾波器，其特徵爲： 將上述高折射率層之光學膜厚作爲Η，而將上述低折 射率層之光學膜厚作爲L時，上述重複交互層之H/L或 L/H之比爲1.2〜2·0之範圍者。 2 . —種多層膜截止濾波器之製法，屬於將形成從蒸 鍍源飛來之高折射率層之粒子與形成低折射率層之粒子交 互地重複成膜於光透過性基板上，同時也成膜於監控基板 上，一面測定被成膜於該監控基板上之層的光學膜厚，一 面進行膜厚控制的多層截止濾波器之製法，其特徵爲； 線 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 將修正板介於上述蒸鍍源與上述光透過性基板之間， 而將堆積於上述光透過性基板之層的膜厚/堆積於上述監 控基板之層的膜厚之比作爲工具因數時，將上述工具因數 作爲〇.6〜0·85之範圍者。 3 ·如申請專利範圍第2項所述的多層截止濾波器之 製法，其中， 形成交互地分別以相同光學膜厚重複疊層上述高折射 率層與上述低折射率層的重複交互層； 而且，將上述高折射率層之光學膜厚作爲Η，而將上 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） 552566 8 8 8 8 ABCD 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 六、申請專利範圍 述低折射率層之光學膜厚作爲L時’將上述重複交互層之 H / L或L / Η之比以1 · 2〜2 · 0之範圍形成者。 4 · 一種紫外線（ultraviolet : UV)截止濾波器，其特徵 爲：在光透過性基板之一面側設有半値波長在4 1 5 n m 〜4 3 0 n m，4 3 0 n m〜4 5 0 n m之波長範圍具有 7 0〜9 0%之平均透過率，而在4 6〇nm〜5 2〇 n m之波長範圍具有9 0 %以上之透過率的具段差部之紫 外線反射膜者。 5 ·如申請專利範圍第4項所述之U V截止濾波器’ 其中， 上述具段差部之紫外線反射膜以介質多層膜所構成’ 上述介質多層膜具有高折射率層與低折射率層交互地分別 以相同光學膜厚重複疊層的重複交互層， 而且，將上述高折射率層之光學膜厚作爲Η ’而將上 述低折射率層之光學膜厚作爲L時，上述重複交互層之 Η/L或L/Η之比爲1.2〜2·0之範圍者。 6 · —種U V截止濾波器，其特徵爲：在光透過性碁 板之一面側設有半値波長爲4 1 5 n m〜4 3 0 n m之紫 外線反射膜，在上述光透過性基板之另一面側設有在 4 3 0 nm〜4 5 0 nm之波長範圍具有7〇〜9〇％之 平均透過率，而在4 6 0 n m〜5 2 0 n m之波長範圍具 有9 0%以上之透過率的藍色調整膜者。 7 ·如申請專利範圍第6項所述之U V截止濾波器’ 其中， 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Μ規格（21〇χ297公釐） I:--------i------、玎------ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -2- 552566 8 8 8 8 ABCD 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 六、申請專利範圍 上述紫外線反射膜以介質多層膜所構成，上述介質多 層膜具有高折射率層與低折射率層交互地分別以相同光學 膜厚重複疊層的重複交互層， 而且，將上述高折射率層之光學膜厚作爲Η，而將上 述低折射率層之光學膜厚作爲L時，上述重複交互層之 H/L或L/H之比爲1 . 2〜2 . 0之範圍者。 8 · —種U V截止濾波器，其特徵爲：在半値波長具 有4 1 5 n m〜4 3 0 n m之吸收特性之紫外線吸收性光 透過性基板之一面側，設有在4 3 0 n m〜4 5 0 n m之 波長範圍具有7 0〜9 0%之平均透過率，而在4 6 Ο n m〜5 2 0 n m之波長範圍具有9 0 %以上之透過率的 藍色調整膜。 9 . 一種投影型顯示裝置，屬於具備：超高壓水銀燈 之光源，及調變來自上述光源之光並用以形成所定之晝像 的顯示面板，及配置於上述光源與上述顯示面板之間的光 路的U V截止濾波器，及放大投影從上述顯示面板所出射 之光的放大投射光學部的投影型顯示裝置，其特徵爲： . 上述U V截止濾波器，在光透過性基板之一面側設有 半値波長在4 1 5 n m〜4 3 0 n m，4 3 0 n m〜 4 5 0 nm之波長範圍具有7 0〜9 0%之平均透過率， 而在4 6 0 n m〜5 2 0 n m之波長範圍具有9 0 %以上 之透過率的具段差部之紫外線反射膜者。 1〇· 一種投影型顯示裝置，屬於具備：超高壓水銀 燈之光源，及調變來自上述光源之光並用以形成所定之畫 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

   -3- 552566 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A8 B8 C8 D8六、申請專利範圍 像的顯示面板，及配置於上述光源與上述顯示面板之間的 光路的U V截止濾波器，及放大投影從上述顯示面板所出 射之光的放大投射光學部的投影型顯示裝置，其{(:寺彳数爲： 上述U λ「截止濾波器，在光透過性基板之一面側設有 半値波長爲4 1 5 n m〜4 3 0 n m之紫外線反射膜，在 上述光透過性基板之另一面側設有在4 3 0 n m〜4 5 0 n m之波長範圍具有7 0〜9 0%之平均透過率，而在 4 6 0 nm〜5 2 0 nm之波長範圍具有9 〇%以上之透 過率的藍色調整膜者。 1 1 · 一種投影型顯示裝置，屬於具備：超高壓水銀 燈之光源，及調變來自上述光源之光並用以形成所定之畫 像的顯示面板，及配置於上述光源與上述顯示面板之間的 光路的U V截止濾波器，及放大投影從上述顯示面板所出 射之光的放大投射光學部的投影型顯示裝置，其特徵爲： 上述U V截止濾波器，在半値波長具有4 1 5 n m〜 4 3 0 n m之吸收特性之紫外線吸收性光透過性基板之一 面側，設有在4 3 0 n m〜4 5 0 n m之波長範圍具有 7〇〜90%之平均透過率，而在460nm〜520 n m之波長範圍具有9 0 %以上之透過率的藍色調整膜。 1 2 . —種防塵玻璃，屬於具備：調變來自光源之光 並用以形成所定畫像之顯示裝置，及配置於來自上述顯示 裝置之上述光源之光所入射之前面而用以防止灰塵附著於 上述顯示裝置的防塵玻璃，其特徵爲： 在透明玻璃基板之一面設有紫外線反射膜者。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝- 、1T 線· -4- 552566 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 1 3 ·如申請專利範圍第1 2項所述之防塵玻璃，其 中 上述紫外線反射膜以介質多層膜所構成，上述介質多 層膜具有高折射率層與低折射率層交互地分別以相同光學 膜厚重複疊層的重複交互層， 而且’將上述高折射率層之光學膜厚作爲Η，而將上 述低折射率層之光學膜厚作爲L時，上述重複交互層之 H/L或L/H之比爲1.2〜2.0之範圍者。 1 4 ·如申請專利範圍第1 2項所述之防塵玻璃，其 中 上述紫外線反射膜，爲半値波長在4 1 5 n m〜 4 3 0 n m ’ 4 3〇n m〜4 5〇n m之波長範圍具有 7〇〜9 0%之平均透過率，而在4 6〇nm〜5 2 0 n m之波長範圍具有9 〇 %以上之透過率的具段差部之紫 外線反射膜者。 1 5 ·如申請專利範圍第1 2項所述之防塵玻璃，其 中， 在透明玻璃基板之一面側設有半値波長在4 1 5 n m 〜4 3 0 it m之紫外線反射膜，在上述透明玻璃基板之另 一面側設有在4 3 0 n m〜4 5 0 n m之波長範圍具有 7 0〜9 0%之平均透過率，而在4 6〇nm〜5 2〇 n m之波長範圍具有9 0 %以上之透過率的藍色調整膜者 〇 1 6 _ —種顯示面板，屬於具備：調變來自光源之光 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210x297公釐） ； ^-- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 、1T 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -5- 552566 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A8 B8 C8 D8六、申請專利範圍 並用以形成所定畫像之顯示裝置，及配置於來自上述顯示 裝置之上述光源之光所入射之前面而用以防止灰塵附著於 上述顯示裝置的防塵玻璃的顯示面板，其特徵爲： 上述防塵玻璃係於透明玻璃基板之前面具有紫外線反 射膜者。 1 7 ·如申請專利範圍第1 6項所述之顯示面板，其 l|j ， 上述紫外線反射膜以介質多層膜所構成，上述介質多 層膜具有高折射率層與低折射率層交互地分別以相同光學 膜厚重複疊層的重複交互層， 而且’將上述高折射率層之光學膜厚作爲Η，而將上 述低折射率層之光學膜厚作爲L時，上述重複交互層之 H/L或L/H之比爲1·2〜2·0之範圍者。 1 8 .如申請專利範圍第1 6項所述之顯示面板，其 中， 上述紫外線反射膜，爲半値波長在4 1 5 n m〜4 3 0 n m，4 3 0 n m〜4 5 0 n m之波長範圍具有 . 7〇〜9〇％之平均透過率，而在4 6 0 n m〜5 2〇 n m之波長範圍具有9 〇 %以上之透過率的具段差部之紫 外線反射膜者。 1 9 ·如申請專利範圍第1 6項所述之顯示面板，其 中， 上述防塵玻璃，在透明玻璃基板之一面側設有半値波 長爲4 1 5 n m〜4 3 0 n m之紫外線反射膜，在上述透 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝· 、1T 線· 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Μ規格（21〇 X 297公釐） -6 - 552566 ABCD 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 六、申請專利範圍 明玻璃基板之另一面側設有在4 3 0 n m〜4 5 0 n m之 波長範圍具有7 0〜9 0%之平均透過率’而在4 6〇 n m〜5 2 0 n m之波長範圍具有9 0 %以上之透過率的 藍色調整膜者。 2 0 · —種投影型顯示裝置，屬於具備：光源，及具 備··調變來自光源之光並用以形成所定畫像之顯示裝置’ 及配置於來自上述顯示裝置之上述光源之光所入射之前面 而用以防止灰塵附著於上述顯示裝置的防塵玻璃的顯示面 板，及放大投影從上述顯示面板所出射之光的放大投射光 學部的投影型顯示裝置，其特徵爲： 上述防塵玻璃係於透明玻璃基板之前面具有紫外線反 射膜者。 2 1 ·如申請專利範圍第2 0項所述之投影型顯示裝 置，其中， 上述紫外線反射膜以介質多層膜所構成’上述介質多 層膜具有高折射率層與低折射率層交互地分別以相同光學 膜厚重複疊層的重複交互層， 而且，將上述高折射率層之光學膜厚作爲H ’而將上 述低折射率層之光學膜厚作爲L時，上述重複交互層之 H/L或L/H之比爲1.2〜2·0之範圍者。 2 2 .如申請專利範圍2 0項所述之投影型顯示裝置 ，其中， 上述紫外線反射膜爲半値波長在4 1 5 n m〜4 3 〇 n m，4 3 0 n m〜4 5〇n m之波長範圍具有7〇〜 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） I-^--------^------1T------ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -7- 552566 A8 B8 C8 D8 夂、申請專利範圍 9 Ο %之平均透過率，而在4 6 0 n m〜5 2 0 n m之波 長範圍具有9 Ο %以上之透過率的具段差部之紫外線反射 膜者。 2 3 ·如申請專利範圍第2 0項所述之投影型顯示裝 置， 上述防塵玻璃，在透明玻璃基板之一面側設有半値波 長爲4 1 5 n m〜4 3 Ο n m之紫外線反射膜，在上述透 明玻璃基板之另一面側設有在4 3 0 n m〜4 5 〇 n m之 波長範圍具有7 0〜9 0%之平均透過率，而在4 6〇 n m〜5 2 0 n m之波長範圍具有9 〇 %以上之透過率的 藍色調整膜者。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) .裝_ 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 尺 張 -紙 本 準 標 家 國 國 I中 用 I適 I釐 公 7 9 2