TW200831886A - Method for inspecting unevenness, manufacturing method for display panel and apparatus for inspecting unevenness - Google Patents

Description

200831886 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明關於不均勻檢查方法、顯示面板之製造方法及不 句勻“查衣置，尤其係關於檢查面板材有無不均勻之不均 勻檢查方法、使用該不均勾檢查方法之顯示面板之製造方 法、及檢查面板材有無不均勻之不均勻檢查裝置。 【先前技術】

t 先刖以來，於製造液晶顯示面板時，對組裝後之面板 進行有無不㈣之檢查。因該不均勾檢 目視之感官檢查而進行，故存在於杏> 貝 故存在核查成本較高之問題。 因此，近年來’提出有如下技術：利用攝影機對作為檢 查對象之面板材進行攝影，使用空間微分濾波器等自動地 ll斤Γ传之#像進仃不均勾之檢測（例如，參照專利文獻 心… 江光則之自動檢查方法中，存在檢查結果 法無法得以實用化。 ’因此’上述方 [專利文獻1]曰本專利特開2003_〇66398號公報 【發明内容】 [發明所欲解決之問題] 本發明之目的在於提供—種可取得與檢 之結果接近之結果的不均勻 4 A查 +丄 宜万法、利用該不泊匀认尤 方法之顯示面板之製造方法、 勺勻4双查 「初、1 、万法及不均勻檢查裝置。 [解決問題之技術手段] 本發明之-態樣係提供一種不 一万，套’其特徵在 123829.doc 200831886 於·其係檢查面板枯 ^ . 有“、、不均勻者，且包括如下步驟··於 稷數個級別之條件下， 、 爲W 于成為私查對象之上述面板材進行 攝衫，取得複數張一 強喟旦人办像，對上述複數張一次影像實施 強凋〜像麩化之處理， I成禝數張二次影像；以特定之加 榷a成上述複數張二次旦 人 〜像，製成合成影像；及根據上述

合成影像判定有Iπ Μ A …、句勻，且上述特定之加權以如下方式 決定：針對產生不均句之斟 .^ ^ 1勾之對恥用之上述面板材製成上述複 Γ Ο 數張二次影像，並合ώ兮笙_ A 瓦 _ ^ Μ專一-人影像而製成合成影像時， °產生上述不均勻之區域與除此以外之區域。 Μ本毛明另1樣係提供-種顯示面板之製造方法，其特 徵在於包括：租梦顧+ 八、 卜曰…，，裝』不面板之步驟；及檢查上述顯示面板 疋 不均勻之步驟；且於上述檢查步驟中’將上述 顯示面板作為上述檢杳斟务 I桡置對象之面板材，並實施上述 檢查方法。 ^ 本么月之進而其他樣係提供—種不均勾檢查穿置， 其特徵在於··其係檢查面板材有無不均勾者，且:括·攝 影部’其於複數個級別之條件下，對成為檢查對象之上述 面板材進行攝影；及運算部，其對藉由上述攝影所取得之 複數張-次影像實施強調影像變化之處理，製 次影像’以特定之加權合成上述複數張二次影像，製成A 成影像，並根據上述合成影像判定有無不均勾，·且上料 定之加權以如下方式決定：針對產生不均勾之對，昭用：上 述面板材製成上述複數張二次影像，並合成該等二次与像 而製成合成影像時，可區別產生上述不均勾之區域愈:此 123829.doc 200831886 以外之區域。 [發明之效果] 根據本發明’可實現可取得與檢查員之感官檢查之結果 接近之結果的不均勻檢查方法、利用該不均勻檢查方法之 顯不面板之製造方法、及不均勻檢查裝置。 【實施方式】 以下’ 一面翏照圖式，一面就本發明之實施形態加以說 明。

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L 首先’就本發明之第1實施形態加以說明。 圖1係例示本實施形態之不均勻檢查裝置的方塊圖。 如圖1所不’本實施形態中之不均勻檢查裝置1係檢查面 板材100有無「不均勻」之裝置。所謂「不均勻」係指， 於板狀之構件（面板材）之表面具有一定程度之面積且色調 或壳度等外觀與其他區域不同的區域，且可被識別為缺陷 者。面板材100係例如FPD(Flat Panel Display :平面面板 顯示裝置）等之週期地排列有複數個像素的顯示面板，例 如，係LCD(Liquid Crystal Display :液晶顯示裝置）。不均 勻檢查裝置1中’言交置有攝影部2、運算部3、記憶部4及輸 入輸出部5。而且，運算部3分別與攝影部2、記憶部々及輸 入輸出部5連接。 攝影部2係於複數個級別之條件下對作為檢查對象之面 板材1〇〇進行攝影之裝置，例如，具備週期地排列有複數 個攝影元件之攝影裝置。所謂條件係指，例如，選自由攝 影角度、照明之亮度、變焦倍率、焦點位置 曝光量、光 123829.doc 200831886 Γ c 圈量及快門速度所組成之群中的丨種或2種以上之條件，當 面板材100係顯示影像之顯示面板之情形時，進而，顯= 於面板材之測試圖案之色調及灰階亦包含於上述條件= 運算部3係如下部分：根據藉由攝影部2之攝影所得之攝 影影像取得複數張-次影像，#該等複數張一二欠影像實施 強調影像變化之處理，製成複數張二次影像，對該等^數 張二次影像進行合成，製成合成影像，並根據該合成影像 判定有無不均句。當對二次影像進行合成而製成合成影像 時，使用預先輸入至記憶部4中之加權。再者，所謂「加 權」係二次影像之畫素值所乘以之1組係數，且係由與二 次影像之個數相同之數值所組成之組。該加權係以如下方 式而蚊者，#，於針對產生不均句之對照用之面板材製 成複數張二次影像，並對該等二次影像進行合成而製成: 成影像時，可區別產生不均勻之區域與除此以外之區域: 又，當面板材100係FPD之情形時’因FPD之像素之排列週 期與攝影部2之攝影元件之排列週期之差之原因，會使攝 影影像中產生疊紋（moire)。此時，運算部3將疊紋自攝影 影像去除後取得一次影像。運算部3例如藉由個人電腦2 cpu(Central Processing Unit:中央處理單元）而構成，亦 例如兼作攝影部2及記憶部4之控制裝置。 記憶部4係如下裝置：記憶有藉由攝影部2之攝影動作所 取得之一次影像、藉由運算部3所使用之加權、以及藉由 運算部3所得之運算結|，亦即，二欠料、合成影像、 判定結果等。記憶部4藉由例如HDD(Hard Disk DrWe :硬 123829.doc 200831886 磁碟驅動機）等記憶裝置所構成。 輸入輸出部5係與使用者 x ^ K間之"面，且係對運算部3輸 入#日々亚顯示由運算部3輸出 铷出之貝汛者。又，輸入輸出部5 亦係對記憶部4輸入上述加權 % f之；丨面。輸入輸出部5例如 猎由鍵盤及顯示器等所構成 ^ ^ ^ 再成再者，運异部3、記憶部4及 輸輸出部5亦可藉由1台個人電腦而構成。 其次，就以如上所诚夕古斗、t以， aw 方式而構成之本實施形態之不均 勻^双查裝置的動作，亦即，太垂 & 加以說明。 形怨之不均勾檢查方法 圖2係例示本實施形態之不均句檢查方法的流程圖。 的=例，本實施形態之不均勻檢查方”之影像資訊 首先’預先於記憶部4中輸入對二次影像進行合成時之 加杻。該加權係以如下方式 T方式而決疋者，即，於準備已藉由 Μ貝而判定為產生不均勻之面板材，將該面板材作為對 ^用之面板材’並針對該對照用之面板材製成複數張二次 4 ’精由上述加權對該等二次影像進行合成時，可 合成影像中產生不均句之區域與除此以外之區域。例如，

上述加權以如下方或品、i + R 卜万式而決疋，即，於與對照用之面板材相 關之合成影像中，以祐客* 使產生不均勻之區域之亮度之熵盘 此以外之區域之；^α " 、之冗度之熵的比值為最大值。該加權係針 不均勻之種類所決定。 以此方式’將加權輸入至記憶部4後，對作為檢查對 之面板材100進行檢查。以下，參照圖2及圖3加以說明。 123829.doc -10 - 200831886 百先，如圖2之步驟S1所示，攝影部2於複數個級別之條 件下對面板材100進行複數次攝影。所謂條件係例如攝影 Ή之免度、變焦倍率、焦點位置、曝光量、光圈 里或决門速度，當面板材1GG係顯示面板之情形時，上述 條件亦可係顯示於該顯示面板之測試圖案之色調或灰階。 列如’使面板材100之攝影角度以3個級別進行變化，並相 ^進行3人攝衫。藉此，自攝影部2對運算部3輸出例如3張 f

攝影影像2〇la、201b&2〇lc(以下，總稱為「攝影影像 201 | ) 〇 2次，如步驟S2所示，運算部3根據各攝影影像2〇1取得 一次影像202a〜2〇2c(以下，總稱為「一次影像2〇2」）。亦 即，根據攝影影像201a取得一次影像2〇2a，根據攝影影像 b取得一次影像202b，根據攝影影像201c取得一次影像 此時，若攝影影像產生疊紋，則進行去除疊紋之處 理又，根據需要，進行提高對比度之畫質補正、及將影 像之形狀加以標準化之形狀補正等補正。再者，若沒有對 攝影影像201進行處理及補正之必要，則直接將攝影影像 201作為一次影像202。 人，如步驟S3所示，對複數張一次影像2〇2實施強調 衫像變化之處理，並製成複數張二次影像2〇3。 例如，藉由將一次影像202a〜202c分別對空間進行微 刀’製成空間微分影像204a〜204c(以下，總稱為r空間微 分影像204」）。 又’製成空間微分影像204之差影像205，上述空間微分 123829.doc -11 - 200831886 影像204係根據在彼此不同級別之條件下所攝影的2張一次 影像202所製成者。例如，根據空間微分影像204a及204b 製成該等之差影像205a，並根據空間微分影像204b及204c 製成該等之差影像205b。 進而，根據在彼此不同級別之條件下所攝影之3張一次 影像202a〜202c，製成1張和影像206。亦即，針對和影像 206之各區域（以下，稱作「特定區域」），按照特定比例， 將一次影像202a之相當於特定區域之區域的晝素值、一次 '' 影像202b之相當於特定區域之相鄰區域之區域的畫素值、 一次影像202c之相當於特定區域之相鄰區域之相鄰區域之 區域的畫素值相加，作為和影像206之特定區域之晝素 值。將和影像206之整個區域依次作為特定區域並重複進 行上述加法運算，藉此製成和影像206。 空間微分影像204a〜204c、差影像205a及205b、以及和 影像206係二次影像203。 其次，如步驟S4所示，按照記憶於記憶部4中之特定之 ，， 加權對所有二次影像203進行合成，製成合成影像207。合 成影像207係針對加權，亦即，針對不均勻之種類而製 成。例如，當眾所周知之不均勻之種類為4種之情形時， 預先將加權設為4種並記憶於記憶部4中，並針對上述加權 製成4張合成影像207a〜207d。 其次，如步驟S5所示，根據合成影像207a〜207d來判定 有無不均勻。例如，當於所有合成影像207a〜207d中均未 發現不均勻之情形時，判定該面板材100為「無不均勻」， 123829.doc -12- 200831886 當於合成影像207a〜207d中之至少！祖…友 τ心主少1張影像中發現不均勻之 情形時，判定該面板材1〇〇為「有不均句。 根據本實施形態’以如下方式決定適：於圖2之步驟S4 所不之步驟中根據二次影像製成合成影像時的加權，即， 可藉由本檢查方法，將已預先由檢查員判定為有不均句之 區域判定為有不均勻，且葬由太认 口 J糟由本檢查方法，將已預先由檢 查員判定為無不均勾之區域判定為無不均句。藉此，可實 現可取得與檢查員之感官檢查之結果接近之結果的不均句 檢查方法及不均勻檢查裝置。 其次，就本發明之第2實施形態加以說明。 本實施形態係顯示面板之製造方法之實施形態。 圖4係例示本實施形態之顯示面板之製造方法的流程 圖。 百先’如圖4之步驟S11所示，組裝顯示面板。其次，如 ' 斤示對經組裝之顯示面板進行不均勻檢查。此 時’於步驟Sl2所示之不均特查步驟中，實施上述第斤 施形態中之不均句檢查方法（參照圖2)。藉此製造顯示面 板。 ，據本只；^形悲，因可使不均勻檢查步驟自動化，故能 以高生產性製造顯示面板。 八人就用以使上述各實施形態具體化之具體例加以說 明。 首先，說明第1具體例。 本’、體例係上述第1實施形態之具體例。I具體例中之 123829.doc •13· 200831886 不均勻檢查裝置係對作為面板材者，例如，構成行動電話 之顯示畫面之LCD進行不均勻檢查。 圖5係例示本具體例之檢查裝置的方塊圖。 圖6係例示投衫至攝影面之顯示面板之像素與攝影機之 攝影元件之關係的圖。 如圖5所示，於本具體例中之不均勻檢查裝置丨丨中，設 置有攝影部2、運算部3、記憶部4及輸入輸出部5。而且， 於攝影部2中設置有用以支持顯示面板101之可動平臺6、 及對顯示面板101進行攝影之攝影機7。可動平臺6例如藉 由2軸測向台所構成，可沿著2軸獨立控制顯示面板101之 姿勢。 又，攝影機7藉由CCD(Charge-C〇Upled Device:電荷搞 合裝置）等週期地排列有複數個攝影元件之攝影裝置（未圖 示）、及使光聚集於該攝影裝置之光學系統（未圖示）所構 成。攝影機7之攝影裝置中之攝影元件之排列密度，大於 。 ㈣至攝影機7之攝影面之顯示面板101之像之顯示面板 1〇1之像素之排列密《。因&，攝影機7藉由《個攝影元 件對，貝不面板1 〇 1之各像素進行攝影而取得攝影影像。例 - 如，如圖6所示，於攝影機7之攝影面，針對顯示面板1〇1 、之1個像素101 a之像，以9行9列之矩陣狀，配置著總計8 i 個攝影機7之攝影元件7a。再者，所謂顯示面板之「像 素」係指由WRGB(Red Green Blue，紅綠藍）之晝素所組 成之顯不之基本單位。 進而’運算部3以於特定之範圍内使各區域之位置及面 123829.doc -14 - 200831886 積為卩通機之方式，呀含媒 ' °又疋攝影影像中之包含連續排列之複數 個晝素之區域，廿挪々、 -並對各個區域中所包含之複數個畫素進行 合成而形成1個晝素，藉此製成-次影像。 不句勻才欢查裴置11之除上述以外之構成與圖1所示之不 均勻檢查裝置1之構成相同。 其次’就本具體例中之不均勻檢查裝置之動作，亦即， 本具體例中之不均勻檢查方法加以說明。 圖7係例示本具體例之檢查方法的流程圖。 圖8係例示顯示面板之像素與合成單位區域之關係的 圖。 *圖9及圖10係例示本具體例之檢查方法中之影像資訊的 流程圖。再者，為了簡化圖示，圖9及圖1〇中僅表示部分 級別。 又，圖11(a)及圖11(b)係將橫軸為影像上之位置、將縱 軸設為係數而例示空間微分濾波器的圖表，圖u(a)表示組 丨合正與負2個高斯函數之濾波器，圖u⑻表示與圖丨丨⑷相 同之由1個函數所表示之濾波器。 圖12係將橫軸設為影像上之位置、將縱軸設為係數而例 示製成和影像之方法的圖。 圖13(a)至圖13(d)係例示合成影像及二值影像的圖，圖 13(a)表示合成影像，圖13(b)表示對圖n(a)所示之合成影 像進行二值化所得之二值影像，圖13(c)表示其他合成影 像，圖13(d)表示對圖13(〇所示之合成影像進行二值化所 得之二值影像。 123829.doc •15- 200831886 圖14(a)係例示對照用面板之圖，圖14(b)係例示與圖 14(a)所示之對照用面板相對應之遮罩的圖。 以下，參照圖5至圖14加以說明。 首先，預先於記憶部4(參照圖5)中輸入表示對二次影像 進行合成時之加權的「權重參數設定」。且於以下對該權 重參數没疋之具體決定方法加以敍述。於已將權重參數設 定輸入至記憶部4之狀態下，對作為檢查對象之顯示面板 101進行檢查。 首先，如圖7之步驟S21所示般，藉由於保持顯示面板 1〇1之狀態下驅動可動平臺6，攝影機7對顯示面板1〇1進行 攝影。藉此，一面使攝影角度變化，一面對顯示面板ι〇ι 進行攝影。例如，一面使攝影角度於-3〇度至+3〇度之範圍 内變化，一面以-30度、_20度、_1〇度、_5度、〇度、+5 度、+10度、+20度、+30度之9個級別之攝影角度進行攝 影，從而取得攝影影像3〇1。而且，將所取得之攝影影像 3〇1輸出至運算部3。再者，所謂「攝影角度」係指，連接 顯示面板ιοί之中心及攝影機7之直線與顯示面板ι〇ι表面 之法線所成之角度。 如圖9所示，當攝影角度較大而無法一次於顯示面板1〇1 :整個區域聚焦之情形時，每次以】個級別之攝影角度取 得焦點位置彼此不同之複數張攝影影像。藉此，利用任一 攝心〜像中之聚焦之區域3〇la，覆蓋顯示面板之整 個區域。再者，圖9中表示以攝影角度為+30度而取得3張 攝影影像之情形。 123829.doc -16- 200831886 此時，如圖6所示’藉由例如以9行9列而排列之8ι個攝 景^件7a’對顯示面板⑻之各像素心進行攝影。藉 此，攝影條件滿足取樣定理，攝影影像3〇1中未產生㈣ 素l〇la之排列週期與攝影元件7&之排列週期之干擾所造 之疊紋。 其次，如步驟S22所示，運算部3對攝影影像3〇1進行幾 何學補正以進行整形。亦即，因攝影機7與顯示面板101之 各部分之間之距離之不同，攝影影像3〇1會產生畸變，故 藉由將攝影影像3〇1整形為固定之形狀，例如，成為與顯 不面板101之形狀相似之長方形，可使影像標準化。此 時乂，於步驟S21所示之攝影步驟中，幻個級別取得焦點位 置彼此不同之複數張攝影影像之情形時，僅組合各攝影影 像之聚焦之區域3〇la(參照圖9)並作為丨張影像之後，進行 整形。藉此，取得整形影像3〇2。 因與顯示面板之像素相比，整形影像之析像度較高，甚 至可對各像素進行攝影，故不適合抽出宏觀缺陷之不均 勻。又，攝影影像之資料之尺寸較大，處理起來較不方 便。因此，如步驟S23所示，縮小整形影像3〇2。具體而 °對平均以9行9列之矩陣狀連續排列之平均8丨個撮影書 素7a進仃合成而製成丨個畫素，藉此降低影像之析像度。 此τ縮小後之影像之1個畫素與顯示面板1 〇 1之大致j個 像素101a相對應。 然而，若均勻地縮小整形影像3〇2，則縮小後之影像會 產生疊紋。因此，如圖8所示，於縮小前之影像中，於特 123829.doc -17- 200831886 疋之範圍内’隨機地設定縮小後成為1個畫素之區域（以 下，稱作「合成單位區域302a」）之面積及中心C之位置。 例如於自9行9列之畫素區域至丨丨行丨丨列之畫素區域程度 之範圍内，隨機地設定合成單位區域之面積，並於自基準 位置在上下左右1個晝素程度之範圍内，隨機地設定中心C 之位置。又，整形影像之縮小係藉由附加由高斯函數所表 示之權重而進行，該高斯函數之係數亦隨機地設定。 具體而言，將影像之縮小率設為N，將縮小後之影像之 位於座標（X，y)之畫素的畫素值設為ρ(χ，y)，將縮小前之 原影像之位於座標（X，Y)之晝素的畫素值設為ρ(χ，γ)， 將原影像之各影像單位區域内位於座標之晝素之權 重函數設為w(i，j)，將取（-:^至^丨）之範圍内隨機值之隨 機數設為rndl、rnd2、rnd3時，根據下述數式i及數式2算 出縮小後之影像之晝素值P(X，y)。 [數1] 3N-1 3N -1

p(^y) Σ TjV{i，j)xP{Nx + i,Ny + j) j=0 /=0 3AM 3ΛΜ / Σ ΣΗυ) >=0 ζ=0 [數2] • Ν ^ ι + — xrnd\ 2 Ν ^ / + ——xmdl J 2 2x(3iV + rnd3) 根據需要，對以此方式縮小之影像實施提高對比度等之 123829.doc -18- 200831886 處理。藉此’取得一次影像3〇3。 其次，如圖1〇及圖7之步驟S24所示，進行一次影像3〇3 之空間微分，製成空間微分影像3〇4。具體而言，對各一 次影像303，使用如⑷所示之組合正與負2個高斯函數 之濾波器。亦即，對-次影像303 ’進行多工核心尺寸之 彡維濾波。該濾波H中，負高斯函數較正高斯函數更寬， 峰高之絕對值變小。藉此，空間微分影像3〇4成為對一次 料3G3中之空間影像之變化進行強調後所得之影像。例 C 如，根據1張一次影像303，製成高斯函數之形狀不同之2 種空間微分影像304a及304b，接著，製成自空間微分影像 304a減去空間微分影像304b所得之差影像（空間微分影像 304c)及自空間微分影像3〇4b減去空間微分影像3〇乜所得 之差影像（空間微分影像3 〇4d)。 又，圖11(b)所示，準備2種包含丨個函數之濾波器，該濾 波器與包含圖11 (a)所示之2個高斯函數之濾波器大致相 ， 同，藉由將上述2個濾波器用於一次影像303，而製成空間 微分影像304e及304f。以此方式，根據丨張一次影像3〇3製 成6張空間微分影像3〇4。 其次’如步驟S25所示，根據空間微分影像304中由同種 濾波器所製成且攝影角度之級別差丨個級別之2張影像，形 成1張差景> 像305。例如，如圖丨〇所示，自攝影角度為+3〇 度之空間微分影像304a，減去攝影角度為+20度之空間微 分影像304a，製成差影像3〇5a。又，自攝影角度為+3〇度 之空間微分影像304b，減去攝影角度為+20度之空間微分 123829.doc -19· 200831886 影像304b，製成差影像305b。同樣，自攝影角度為+3〇度 之空間微分影像304c〜304f，減去攝影角度為+2〇度之空間 微分影像304c〜3(Mf，製成差影像3〇5c〜3〇5f。進而，關於 其他攝影角度，亦以相同方式製成差影像3〇5。差影像3〇5 成為對由攝影角度之變化而引起的影像變化進行強調後所 得之影像。 另一方面，如步驟S26所示，與步驟S24及S25所示之步 驟不同，根據以連續級別之攝影角度所攝影之3張一次影 像303，製成1張和影像306。具體而言，例如，如圖以斤 示，對3張一次影像，使用具有丨個最大值與夾著該最大值 之2個最小值的函數F(x)。亦即，將和影像3〇6之1個晝素 (以下，稱作「特定畫素」）之晝素值設為下述（1)〜(3)之值 之和。 (1) 將攝影角度為+30度之一次影像3〇3中之包含與上述 特定畫素相對應之畫素的區域汉丨（特定區域）之晝素值乘以 函數F(x)所得的值。 (2) 將攝影角度為+20度之一次影像3〇3中之夾著區域ri 之區域R2的畫素值乘以函數F(x)所得的值。 (3) 將攝影角度為+10度之-次影像3〇3中《夹著區域ri 及R2之區域R3的畫素值乘以函數ρ(χ)所得的值。 再者’各區域R1〜R3中所包含的晝素數為任意。

而且，藉由將和影像306之各畫素作為特定晝素重複進 打上述計算，製成和影像306。和影像3〇6成為對由空間影 像之變化及攝影角度之變化而引起的影像之變化之雙方S 123829.doc -20- 200831886 行強調後所得之影像。 其次’如步驟S27W ’對所有二㈣像進行合成，亦 即，對空間微分影像304、差影像3〇5及和影像3〇6進行人 成，形成合成影像307。當攝影角度為9個級別之情形時， 因空間微分影像3G4之張數為54張（9個級別㈣），差參像 3〇5之張數為48張（8個級別％張），和影像3〇6之張數為ζ張 (7個級別）’故對總計為1G9張之：次影像進行合成，形成1 張合成影像307。X，當亦使攝影角度以外之條件改變而 進行攝影之情料H對根據料攝影料所獲得之 二次影像進行合成。此時，對二次影像進行合成時之「權 重參數設^」’係使用記憶於記憶部4(參照圖5)中之權重參 數設定’巾即，針對欲檢測之不均句之種類而設定的權重 參數設定。以此方式，針對不均勻之種類形成合成影像。 其次，如圖13及步驟S28所示，以特定之閾值對合成影 像307進行二值化，形成二值影像⑽，並識別有無不^ 勻。亦即，以特定之閾值對圖13⑷及圖13(c)所示般之合 成影像307進行二值化，形成分別如圖⑻及圖⑷所示般之 一值影像3 0 8 ’並識別有無不均勻3 1 〇。 其次，如步驟S29所示，根據該識別結果來判定有無不 均勻。亦即，當眾所周知之不均勻之種類僅為丨種時，步 驟S28中之識別結果則直接為判定結果。另一方面，當眾 所周知有複數種不均勻，製成複數張合成影像3〇7之情形 時，製成複數張二值影像308並進行或（〇R)運算，當識別 出至少1張合成影像307中產生不均勻之情形時，判定為 123829.doc -21 - 200831886 句勻」，畐所有合成景，像307中均未識別出產生不 勻之情形時，判定4「無不均句」。再者，此時，可藉由 不均勻之面積按等級劃分產生不均勻之程度，或者，^可 關於各合成影像307使用彼此不同之閾值形成複數張二值 影像，並藉由不均勾與其周圍之灰階差，㈣級劃分 不均勻之程度。 Γ

以下，就權重參數設定之決定方法加以說明。首先，如 圖14⑷所示，準備已藉由檢查員判定為產生不均句之顯示 面板，將該顯示面板作為對照用面板1〇lb。而且，對照用 面板101b中，對產生不均勻310b之區域311進行特別規 定。又，將對照用面板101b中除區域311以外之區域作為 區域3 12。 . 其次，如圖14(b)所示，製成與對照用面板1〇lb相對應 且可區別區域311與區域312之遮罩320。再者，當針對相 同種類之不均勻準備有複數張對照用面板1〇lb之情形時， 製成與各對照用面板101b相對應之複數張遮罩32〇。 其次，對對照用面板10 lb實施如圖7之步驟S21至S26所 不之步驟，製成複數張二次影像。接著，任意設定權重參 數設定之初始值，製成合成影像。繼而，對上述合成影像 使用遮罩320，分別求出區域311之亮度之熵與區域312之 亮度之熵。此時，當對照用面板1〇 lb為複數張之情形時， 累加與所有對照用面板101b相關之資料，並分別求出區域 311之熵及區域312之熵。 一般而^ ’影像中之某區域中若影像之變化較激烈，則 123829.doc -22- 200831886 忒區域之壳度之變化增大，製成表示每亮度之出現概率之 圖夺上述壳度之出現概率之分布不均勻。如此一 \只不均勻之區域之亮度之熵增大。將亮度設為f，將 某亮度f之出現概率設為P⑴，將亮以之灰階數設為L時， 熵Hf藉由下述數式3而表示。 [數3]

Hf) I^(/)l〇g2 /=〇 區域311(產生不均勻之 不均勻之區域）之亮度 「熵比」。若利用數式 利用以此方式所求出之熵，求出 區域）之亮度之熵與區域312(未產生 之熵的比值。以下，將該比值稱作 來表示熵比，則為如下所示。 熵比=(有不均勻區域之熵）/(無不均勻區域之熵） 其次’進行收敏運#，以使熵比為最大之方<，調整構 成權重參數設定之各參數值。具體而言，自權重參數設定 中選擇1個參數’於使該參數以外之參數值固定之狀態 下’將該1個參數值自當前值變為固定量較大之值及固定 量較小之值。而且，將上述3個值中熵比最大之值設為上 述參數之新纟。重複進行上述操_，即錢比達到最大 值’亦暫時固定上述參數值。 其次，選擇另一個參數，進行相同之操作，將上述另一 個參數值調整為熵比為最大之值。對所有參數進行上述調 正而且’重纟進打冑所有參數之調I，直至摘比收敛為 固定值為止。藉此，可決定熵比取最大值之權重參數設 123829.doc -23 - 200831886 定 0 之播 將该經決定之權重參數設定記憶於記憶部4 中。円者"，火 ’ §不均勻之種類為複數種之情形時，針對不均 勻之種類，決定權重參數設定。 以此方式，l τ 乂如下方式決定權重參數設定，即，針對產 生不土勺勺 7王 ^ 之對照用之面板材製成複數張二次影像，並對該 、像進行合成而製成合成影像時，可區別產生不均 勻之區域與除此以外之區域。 以下，就本具體例之效果加以說明。 本”體例中，於如圖7之步驟S24〜S26所示之步驟中，根 據人〜像製成二次影像時，製成強調空間影像變化之空 間欲刀衫像、強調由攝影角度之變化而引起之影像變化的 差景:像、強調由空間影像變化及攝影角度變化而引起的影 像支化之雙方的和影像。該等處理與藉由人的視覺所進行 之處理類似。以下，就該點加以詳細地說明。 人的視網膜中具有輸入有來自視覺細胞之信號的「無長 大：胞」’可知該r無長突細胞」中，具有強調視覺之空 間變化之細胞、強調時間變化之細胞、及強調時空變化之 細胞。因Λ ’人可容易地識別空間上、時間上及時空上發 生變化之對象。HUb，可推斷，對顯示面板進行目視檢查 之檢查員H則到藉由先前之不肖勻檢查裝i難以檢測 的缺陷，係基於如此之無長突細胞之功能而實現。例如， 可推斷，檢查員受到可強調空間變化之細胞的支持，而識 別出顯不面板之某區域之色調與所鄰接之區域之色調之間 的微小差異而可將存在該差異之區域判定為不均勾。 123829.doc -24- 200831886 又’可推斷，當檢查員一面傲 該顯t ® . 文頌不面板之角度一面觀察 …貝不面板k，受到強調時 支持，而可檢測出僅自竿角=:時變化之細胞的 ⑻皇目㈣度硯察時識別之不均勻。 u此’本具體例中，藉 能自拉擬如此之人的視覺之支持功 了獲侍接近人的感官檢查之鲈 中，如步驟S24所示，藉由才「據_ A ，、卩於本具體例 像並強^ χ據—:人w像製成空間微分影 化的作用。 j用…長犬細胞之強調空間變 (' 又’當檢查員一面改+ 日卑，支颂不面板之角度一面進行觀察 j具體例中，如步驟S25及S26所示，根據藉由彼此 ^攝影角度所攝影之—次影像求出差影像及和影像， :人^見覺之時間軸之變化替換為攝影角度轴之變化，以 2精由無長突細胞之強調視覺時間上及時空間上的變化 用。亦即’當檢查員一面改變顯示面板之角度一面進 :觀察時’使時間軸與角度軸(條件軸)朝向相同方向，檢 -貝之視覺係強調時間軸之變化。與此相對，本具體例之 不均句檢查裝置中’藉由進行如強調角度軸之變化般之影 像處理，可獲得與檢查員之視覺相同之效果。 再者，本具體例中，已就改變作為攝影條件之攝影角度 之例加以說明，但本實施形態不限於此。例如，顯示二 之不均句中亦存在如下不均句’即’該不均勻僅於使顯示 板冬出綠色光時出現，而於發出其他顏色之光時、及未 么光日守則不出現。當檢查員檢查如此之不均勻之情形時， 即使使顯示面板僅持續發出綠色之光，亦難以檢測不均 123829.doc -25- 200831886 勻而右使顯示面板之發光色丨® & h 為峥多拉 緩k地變化，則當發光色㈣ 馮、、、彔色時，可容易檢測到該 X尤色鳋 坰鉬與> 士 9 〇可推測’此係藉ώ故 凋視見之時間變化之細胞的 错由強 熊，以、—垂 斤實現。根據本實施开； 也以複數個級別來設定使作為檢 μ形 之測試圖案的色調，並於各 ： ，.，、員不面板顯示 — 下對顯不面板進杆据_sy 猎此可模擬如上述般之感官檢查。 〜， 又，本具體例中，以如下方# 成人此A飧* 式來決定根據二次影像而擎 成口成衫像時所使用的權重泉拿 a 、 古、、又疋，即，可藉由本檢杳 方法，將已由檢查員判定為有 ^查 勻，且稭由本檢查方法，將 句

α上丨^上 子双宜貝判定為無不均勻之F 域判定為無不均勻。亦即 。之& rf ^ ^ ^ 决疋柘重參數設定時，進行盥 感官檢查之相當之檢查。 藉此，例如，對於若非特 A . 疋之攝衫角度則無法識別之不 均勻而言，藉由對出現該不 , J 9之攝影角度附加較高之加 權，能可靠地進行檢測。又 财如顯不面板之發光不均或 &一用U光之反射般’由檢查員可明確判斷為非不均 句之影像内之異常區域，自合成影像中去除。進而，以此 方式，藉由決定權重表數马々 数叹疋’可使檢查之結果更接近感 官檢查之結果。一般而言，聞 、 開始進仃不均勻之檢查的人， 無法檢測到不均勻。铁而，姑丄 '、、、而’精由積累不均勻檢查之經驗， 可逐漸檢測到不均勻。拖；目,| + A m 推/則此係因為藉由人腦之學習，可 使視覺資訊最佳化，從而交旦 而谷易k測到不均勻。本具體例 中，藉由以如上所述之大士 a a w 方式決疋權重參數設定，可模擬人 腦之可塑性，從而可獲取舍 又取田有經驗之檢查員之學習成果。 123829.doc -26- 200831886 進而，本具體例中，當對顯示面板進行攝影時，藉由複 數個攝影元件對顯示面板之各像素進行攝影。X，針對以 此方式所取得之攝影影像，根據屬於合成單位區域之複數 個畫素而合成1個畫素，藉此製成析像度較攝影影像之析 像度更低之—次影像。而^•，此時，#由上述數式1及數 式2，於特定之範圍内，隨機地設定各合成單位區域之位 置及面積以及各畫素之加權。以此方式，當根據攝影影像 製成一次影像時，藉由進行隨機取樣，破壞影像之週期 性，從而可抑制疊紋。又，藉由降低一次影像之析像度， 可減少以後處理中之計算量，從而可提高處理速度。 再者，本具體例中，表示有為了控制攝影角度而於攝影 部2上設置可動平臺6之例，亦可固定顯示面板ι〇ι，而使 攝影機7移動。又，攝影角度之級別並不限於上述之例， 例如，可沿著2軸變化。進而，上述權重參數設定之決定 方法中，使各參數自某初始值開始，藉由收斂運算以使熵 比增加的方式重複進行修正，並使該熵比收斂為固定值， 因此可進行熵比為最大值之權重參數設定’但該最大值並 不一定為最大值。因此，若初始值不同，則可能收斂為不 同之、，、α果。與此相對，藉由採用如下方法，可規避將權重 參數設定為不適當之值的危險性，上述方法為：隨機地設 定複數個初始值並進行收斂運算，於收斂之結果中，採用 嫡比為最大之結果，或者，使用基因演算法或退火演算法 等不易限於極值之演算法。 其次’就第2具體例加以說明。 123829.doc -27- 200831886 本具體例之不均勻檢查裝置中，於圖5所示之攝影機7上 安裝有遠心透鏡（未圖示）。藉此，自斜向對顯示面板1〇1進 行攝影時’可於整個顯示面板聚焦。又，可抑制攝影影像 中，因攝影機7與顯示面板1〇〇之各部分之間之距離之不均 而引起之影像之畸變。其結果，於如圖7之步驟S21所示之 攝影步驟中，當以較大之攝影角度進行攝影之情形時，可 僅取得1張攝影影像，又，於如步驟S22所示之整形步驟 中，可容易進行整形處理或無須進行整形處理。本具體例 中之除上述以外之構成、動作及效果與上述第丨具體例相 同。 其次，就第3具體例加以說明。 圖15係例示本具體例中之不均勻檢查裝置之攝影部的光 學模型圖。 圖16係例示本具體例中所取得之攝影影像的圖。 如圖15所不’本具體例中之不均勻檢查裝置之攝影部12 中以；丨於自攝影機7直至作為檢查對象物之顯示面板1 〇 i 為止之光路之間的方式，設置有多面稜鏡18。多面稜鏡18 係例如甘φ _ ，、τ 一個面被劃分為3行3列之矩陣狀、且以彼此不 同之角度切割各區域所得之板狀透明構件。 又’攝影部12中，並未設有可變平臺6(參照圖5)，取而 代之，设置有固定平臺16。 如圖1 5所； ， T不’本具體例中，自顯示面板101向彼此不同 之9個方向所直+ t 斤射出之光，藉由通過多面稜鏡18後折射，從 而4亍方、 乃句變為同一方向，從而到達攝影機7。藉此， 123829.doc • 28 - 200831886 如圖16所示，摄影她 …機7可自彼此不同之9個 面板HH進行攝影。且 方⑽時對顯不 圮钎右白％ l 八、、，°果，所取得之攝影影像3〇lb中， δ己錄有自彼此不间 方向所觀察之顯示面板1 〇 1。 根據本具體例，無 示面板ΗΗ之姿勢—面…具體例般，一面改變顯 勢面重複進行攝影，而藉由1次攝影，即 可利用複數個級別之摄与攝〜即 4 攝〜角度對顯示面板101進行攝影。 猎此，可減少攝影角度變

C 而要之時間，從而可提高 :效率。又，因無須可變平臺，故可降低檢查裝置之成 =具體例中除上述以外之構成、動作及效果與上 1具體例相同。 再者，本具體例中’已表示將多面稜鏡18配置於攝影機 7與顯示面板HH之間之例，但本實施形態不限於此，例 如，可將多面稜鏡裝入攝影機之内部，或者，可將構成攝 機之透鏡中之i張以上之透鏡加工為多面稜鏡狀。或 者’亦可將複數張反射鏡以實現與多面稜鏡相同之光學作 用的方式而配置。 其次’就第4具體例加以說明。 圖p⑷至圖17(f)以及圖18⑷及圖18(叫系將橫轴設為影 像上之位置或頻率、將縱軸設為信號之強度，例示本具體 例中之信號處理方法的圖表。 本具體例中，與上述第1具體例不同，於如圖7之步驟 S21所示之攝影步驟中，將攝影機7之攝影面中之攝影機7 之攝影元件的密度設為顯示面板1〇1之像素密度程度。亦 即，藉由攝影機7之約丨個攝影元件對顯示面板⑺丨之丨個像 123829.doc -29- 200831886 但不進行如步驟S23所示般之整形影像之縮 對步驟S22中所製成之整形影像進行以下所 Ο 圖_及圖i列示作為檢查對象之顯示面板ι〇ι所輸 出之影像之信號。亦即’圖17⑷及圖17⑻之橫軸表示影 像上之位置，縱軸表示信號之強度，圖口⑷表示自正面、 亦即攝影角度為0度之方向觀察上述顯示面板之情形，圖 17(b)表不自正面傾斜45度之方向，亦即，攝影角度為^度 之方向觀察上述顯示面板之情形。 若精由攝影機對如此之顯示面板進行攝影（步驟S21)、 正形（步驟S22)，則該整形影像之信號成為分別如圖 及圖17⑷所示之信號。上述整形影像中出現有因顯示面板 之像素之排列週期與攝影機之攝影元件之排列週期之干擾 所產生之疊紋’從而難以進行不均勻檢查。

素進行攝影， 小。代替此， 示之信號處理 因此，如圖17(e)及圖17⑴所示，對該信號進行卯八以以 Fouder Transform :快速傅立葉轉換），將該信號自空間軸 之信號轉換為頻率軸之信號。若將攝影機中之攝影元件 (例如，CCD)之排列頻率設為fc，將攝影機之投影面中之 顯示面板（例如，LCD)之像素排列頻率設為fD，將產生於 顯示面板之不均勻之空間頻率設為fs，則疊紋及不均勻之 空間上之頻率於攝影角度為〇度時與為45度時，按照下述 表1所述般進行變化。 123829.doc -30- 200831886 [表1]

士表1所不，若改變攝影角度，則疊紋之頻率與不均句 之頻率彼此按照不同之方式而變化。尤其當攝影元件之排 列頻率fe與由像素之排列所決定之頻率fD，取充分接近於

一 頻率fs之值日守，伴隨攝影角度之變化，頻率之變 、、-、尤為顯著。因此，如圖17(e)及圖17⑴所示，可 1頻率軸之^就中之疊紋頻率成分加以特別規定。 ^ @ t ’ 1圖17(e)及圖17⑴所*之信號中去除疊紋之頻 率成分。藉此，可取得圖18(a)所示之信號。接著，對圖 18⑷所示之信號進行逆附，將該信號自頻率軸之信號轉 換為空間軸之信號。藉此，可取得如圖18(b)所示之空間軸 之乜唬藉由以上處理，可自攝影影像中去除疊紋。將該 〜像作為一次影像。以後，實施圖7之步驟s24以後所示之 步驟。 本具體例與上述第1具體例相比，可降低攝影機之析像 度，並可抑制不均勻檢查裝置之成本。又，因可減少整形 步驟（步驟S22)中所需處理之資料量，故可提高處理速 度。本具體例中之除上述以外之構成、動作及效果與上述 弟1具體例相同。 其次’就弟5具體例加以說明。 123829.doc -31 - 200831886 ==所取得之㈣影像巾，有時除了作為檢查對象 之 外’亦會出現亮度分布不均-之區域(以下， 稱作疑似不均句」）。如此之疑似不均句中，有時因顯 关不面=之光學設計而引起，有時因攝影部之光學特性而引 顯不面板之光學設計而引起之疑似不均句而 言，：如，有時因擴散板之不均一性、自導光板向液晶面 反的射出方向之偏移、及液晶面板之視野角等所引 Ο c 起。當出現如此之疑似不均勻之愔 時，為了對作為檢查 對象之不均句進行高精度地檢測，必須對疑似不均句與作 為檢查對象之不均勻加以識別。 因此’本具體财，減製成包含疑似不均句但不包含 不均勻之基準影像。具體而言，對於因顯示面板之光學# 計而引起之疑似不均句’根據該顯示面板之設計資料進： :線軌跡模擬(ray_trace simulation) ’並計算自顯示面板之 月光所射出之光線之軌跡。而且，根據該計算結果，考虞 顯示面板與攝影機之位置關係，推（攝影影像之亮度： 布。又’對於因攝影部之光學特性而引起之疑似不均勻， 利用積分球進行檢測。藉此，算出攝影影像中所出現之疑 似不均勻，並製成基準影像。 而且，於圖7之步驟S22所示之取得整形影像之步驟中， 自根據作為檢查對象之顯示面板所得之整形影像減去美準 影像。亦即，求出整形影像與基準影像之差影像。之^ > 利用該差影像，實施步驟S23以後所示之步驟。 先珂，於產生如上述般之疑似不均勻之情形 可’難以自 123829.doc -32- 200831886 動地識別疑似不均勻與檢杳對象之x a 杳員Π 不"-對象之不均勾’而必須依賴檢 -仃判別。從而成為妨礙不均勻檢查之自動化之主 原因。然而，根據本具體例，即使於產生疑似不均勾之产 :時，亦可高精度地自動地進行不均句之檢測。本具體二 中之除上述以外之構成、動作 同。 動作及效果與上述第1具體例相 其二人’就第6具體例加以說明。 本=例中，預先取得複數張良品之顯示面板之攝㈣ ’i成該等之平均影像。其次，對該平均影像進行整 形，並作為基準影像。以後之步驟與上述第5具體例相 同。亦即，於如圖7之步驟奶所示之步驟中，自根據作為 檢查對象之顯示面板所得之整形影像減去基準影像，求出 差影像，並利用該差影像，實施步驟S23以後所示之步 驟。本具體例中亦可取得與第5具體例相同之效果。v 其次’就第7具體例加以說明。 圖19係例示本具體例中之不均勾檢查方法的流程圖。 圖20⑷至圖2〇(c)係例示本具體例之預備檢查中所取得 之一次影像的模式圖。 寸 如圖19所示，本具體例中，首先，如步驟s3i所示，對 作為檢查對象之所有顯示面板進行預備檢查。而且，該預 備檢查之結果為，僅對被判定為產生不均勻之可能性較言 之顯示面板進行如步驟S32所示之正式檢查。 门 於如步驟S31所示之預備檢查中，設定複數組由攝影角 度、放大率率（變焦倍率）等條件所組成之組，針對該等條 123829.doc -33- 200831886 件’將判定基準設為過度拾丨 并與 實施上述第1具體例中 Γ ί 句勾、查。而J•，以檢測不均句之條件之組為中心， =使各條件之級別改變，並再次將上述衫基準設為過度 ♦欢測而貫施不均句檢查。例如，設定3個條件，即，奸 :不均句之條件作為基本條件，使放大率、亦即攝影元： 被度與顯不面板之像素密度之比不同於該基本條件的條件 (放大率變更條件），使攝影角度不同於基本條件的條件（攝 影角度變更條件）。又，本具體例中，至少於基本條件 中，藉由大致-個攝影元件對顯示面板之各像素進行攝 影0 以此方式進行預備檢查時，取得如圖20⑷至圖2叫）所 示般之一次影像。圖20(a)係藉由基本條件所取得之影像， 圖20⑻係藉由放大率變更條件所取得之影像，圖2〇⑷係 藉由攝影角度冑更條件所取得之影像。該預備檢查中，因 將判定基準設為過度檢測，故除了整個影像之亮度差處於 固定之範圍内的部分、亦即攝影影像之亮度分布平坦^部 分之外的部分，被判定有可能產生不均勻。例如，攝影影 像中出現疊紋及照明之反射等情形時，無論有無不均句 均被判定為有可能產生不均勻。 因此，藉由對攝影條件彼此不同之攝影影像之間進行比 較，識別疊紋及照明之反射，並將其排除於檢查對象之 外。亦即，將圖20(a)與圖20(b)加以比較，兩者放大率不 同，疊紋332之出現形態變化。與此相對，不均勻331之出 現形態未變化。利用該出現形態之差異識別出疊紋，並將 123829.doc -34- 200831886 該疊紋排除於檢查對象之外。又，將圖2〇⑷與圖2〇⑷加 以比車父’兩者攝影角声又 月度不冋，因此照明之反射333之出現 形態變化。與此相對，不均句331之出現形態未變化。藉 此識別出知、明之反射，並將其排除於檢查對象之外。以此 方式’抽出產生不均勾之可能性較大之顯示面板。 而且，僅對以此方式所抽出之顯示面板實施如步驟奶 所示之正視檢查。此時，預備檢查中，大致於判定為產生 Z句勻之可此性較大之條件下，使攝影條件細微地變化進 行攝影。步驟S32所示之實際檢查與上述第i具體例中之不 均勻檢查相同。 根據本具體例’藉由進行預備檢查，可限制實際檢查中 作為檢查對象之顯示面板之數量及條件之級別數，因此， 可縮短實際檢查中所需要之時間。另一方面，於預備檢杳 中，以較少之級別數，使用析像度較低之影像進行檢查了 因此所需要之時間較短。藉此，可縮短整個檢查所需要之

C 時間以此方式’根據本具體例，可於確保檢測精度之 時縮短檢查時間。 其\ ’就弟8具體例加以說明。 本具體例係上述第2實施形態之具體例，更詳細而& 係圖4之步驟S11所示之顯示面板之組裝步驟之具體例:本 具體例中，就組裝LCD作為顯示面板之例加以說明。 首先，製作陣列基板。具體而言，例如，使多晶石夕層 長於玻璃基板上，並於該多晶石夕層上形成閘極絕緣膜，曰於 .该閘極絕緣膜上形成閘極電極，將該間極電極作為遮罩、 123829.doc -35 - 200831886 將離子換雜於多晶石夕層中。藉此，製作TFT(Thin Fum Transistor ·薄膜電晶體）。而且，以覆蓋閘極電極之方式 7成層㈣_ ’並於層間絕緣膜上形成接觸孔，於層間 絕緣膜上形成配線。藉此，於玻璃基板上形成包含TFT之 畫素電路。之後，形成平坦化之膜，並形成由ιτ〇(— tin Oxide :氧化矽錮）等所構成之畫素電極，針對單元陣 列形成彩色渡光片（C0A : CQlor仙er 〇n Army，彩色滤光 片陣列）。 另一方面，於其他玻璃基板上形成由ΙΤ〇等所構成之對 向電極，製作對向基板。而且，使液晶 上，並貼合對向基板以密封兩基板之間。藉各 LCD。之後，如圖4之步驟S12所示，進行不均勻之檢查。 該檢查可適用於上述第丨至第7中任一項之具體例。一 以上，麥照實施形態及具體例對本發明之内容加以說 明，但本發明不限於該等實施形態及具體例❶例如，上述 各具體例中，表示了對LCD等顯示面板進行檢查之例，但 本發明不限於此，例如，亦可適用於對 Display panei :電漿顯示面板）之不均勻檢查。又本發明 中’只要出現不均勻狀之缺陷’則可將任_者作為檢查對 象’例如，可適用於塗裝之外觀檢查等。 又，上述各具體例中，表示了主要使攝影角度變化來作 為攝影條件之例，但本發明不限於此，例如，亦可使照明 之亮度、變焦倍率、焦點位置、曝光量、光圈量及快門速 度中1種以上之條件變化，當檢查對象為顯示面板之情形 123829.doc -36- 200831886 時’除了該等條件之外，亦可使顯示於顯示面板之剛 案之色調及/或灰階變化。 ° 進而，上述各具體例只要於技術性可行之範圍内，可進 :各種組合。X，業者對上述各實施形態、各具體例：組 合該等各具體例之例，進行適當設計變更以及構成要素之 追加及刪除，只要包含本發明之要旨，則包含於本發明之 範圍内。 【圖式簡單說明】 圖1係例示本發明之第1實施形態之不均勻檢查裝置的方 塊圖。 圖2係例示第1實施形態之不均勻檢查方法的流程圖。 圖3係例示第1實施形態之不均勻檢查方法中之影像資訊 的流程圖。 圖4係例示第2實施形態之顯示面板之製造方法的流程 圖。 圖5係例示第1具體例中之檢查裝置的方塊圖。 圖6係例示第1具體例中，投影至攝影面之顯示面板之像 素與攝影機之攝影元件之關係的圖。 圖7係例示第1具體例中之檢查方法的流程圖。 圖8係例示顯示面板之像素與合成單位區域之關係的 圖。 圖9係例示第1具體例之檢查方法中之影像資訊的流程 圖。 圖10係例示第1具體例之檢查方法中之影像資訊的流程 123829.doc -37· 200831886 圖。 圖11係（a)及圖ii(b)係將橫軸設為影像上之位置、將縱 軸設為係數而例示空間微分濾波器的圖表，圖表示組 合正與負2個高斯函數之濾波器，圖u(b)表示與圖丨丨^)相 同之由1個函數所表示之濾波器。 • 圖12係將橫軸設為影像上之位置、將縱軸設為係數而例 示製成和影像之方法的圖。 圖13係（a)至圖13(d)係例示合成影像及二值影像的圖， ( 圖13(a)表示合成影像，圖13(b)表示對圖13(a)所示之合成 影像進行二值化所得之二值影像，圖13(c)表示其他合成影 像，圖13(d)表示對圖13(勾所示之合成影像進行二值化所 得之二值影像。 圖14(a)係例示對照用面板的圖，圖14(b)係例示與圖 14(a)所示之對照用面板相對應之遮罩的圖。 圖15係例示第3具體例中之不均勻檢查裝置之攝影部的 光學模型圖。 0 圖16係例示第3具體例中所取得之攝影影像的圖。 圖17(a)至圖l7(f)係將橫軸設為影像上之位置或頻率、 冑縱轴設為信號之強度，而例示本具體例中之信號處理方 法的圖表。 圖18係（a)及圖18(b)係將橫軸設為位置或頻率、將縱軸 設為信號之強度，而例示本具體例中之信號處理方法的圖 表。 圖19係例示第7具體例中之不均句檢查方法的流程圖。 123829.doc -38- 200831886 圖20(a)至圖20(c)係例示本具體例之預備檢查中所取得 之一次影像的模式圖。 【主要元件符號說明】 卜11 不均勻檢查裝置 2、12 攝影部 3 運算部 4 記憶部 5 輸入輸出部 6 可變平臺 7 攝影機 7a 攝影元件 16 固定平臺 18 多面稜鏡 100 面板材 101 顯示面板 101a 像素 101b 對照用面板 201 、 201a ' 攝影影像 201b 、 201c 202 > 202a > 一次影像 202b > 202c 203 二次影像 204 、 204a 、 空間微分影像 204b 、 204c 123829.doc -39· 200831886 205、205a、 差影像 205b 206 和影像 207、207a、207b、 合成影像 207c、207d 301 、 301b 攝影影像 301a 聚焦區域 302 整形影像 302a 合成單位區域 303 一次影像 304a〜304f 空間微分影像 305a〜305f 差影像 306 和影像 307 合成影像 308 二值影像 310 、 310b 不均勻 311 、 312 區域 320 遮罩 331 不均勻 332 疊紋 333 照明之反射 C 中心 123829.doc -40·

Claims (1)

1. 200831886 十、申請專利範圍·· 1.種不均勻檢查方法，其特徵在於：其係檢查面板 無不均勾者，且包括如下步驟： 有 於複數個級別之條件下，對成為檢查對象之上述面板 材進行攝影，取得複數張一次影像； 對上述複數張-次影像實施強調影像變化之處理 成複數張二次影像； < 、 =定之加權合成上述複數張二次影像，製成合成影 像，及 根據上述合成影像來判定有無不均勻；且 用 11、疋之加權以如下方式決定··針對產生不均勻之 二：一之上述面板材製成上述複數張二次影像，並合成 二^人〜像而製成合成影像時，可區別產生上述不均 勻之區域與除此以外之區域。 2·如請求項1之不均勾檢查方法，其中 上述面板材係顯示影像之顯示面板； 於取付上述一今旦{乂备 昭 _〜像之步驟中，將選自由攝影角度、 …、月之冗度、變焦倍率、 通丄田 快門速度及辱貝干於卜+ 曝光置、光圈量、 、上述顯示面板之測試圖案之色調及灰 Ρ白所組成之群中的； 3 , ^ , s 種^上之條件，作為上述條件。 月求項1之不均勻檢查方法，其中 於製成上述二次影像之步驟中， 將上述二次影像作為選自由 將各上述一次影德#4· 子二間進行微分所得之空間微分影 123829.doc 200831886 像、 由在彼此不同級別之上述條件 微分影像所算出之差影像、及 & 、述空間 基於在彼此不同級別之上+ 一次影像之和影像 μ條件下攝影之複數張上述 所組成之群中的丨張以上之影像，· 上述和影像之各特定區域按 數带特疋之比例，將上述複 數張一次影像中之第1 一今 Γ -人〜像的相當於上述特定區域 之區域之晝素值與第2一次旦彡德 人〜像的相當於上述特定區域 之相鄰區域的區域之書辛俏 ^ 一京值相加，糟此製成上述和影 像。 4·如請求項1之不均勻檢查方法，其中 上述特定之加權以如下方式決定：於關於上述對昭用 =面板材之上述合成影像中，產生上述不均勾之區域之 亮度之熵對除產生上述不均勻以外之區域之亮度之熵的 比值為極大。 5·如請求項1之不均勻檢查方法，其中 上述面板材係週期地排列有複數個像素之顯示面板，· 取得上述一次影像之步騾包括如下步驟·· 對上述顯示面板進行攝影，取得攝影影像；及 對上述攝影影像中之連續排列的複數個畫素進行合 成’形成1個晝素，藉此製成上述一次影像；且 於取彳于上述攝影影像之步驟中，分別藉由複數個攝影 兀件對上述顯示面板之各像素進行攝影； 123829.doc 200831886 於藉由形成上述1個晝素而製成一次影像之步驟中， 於特定範圍内，隨機地設定上述攝影影像中排列有上述 複數個晝素之區域之各位置及面積。 6·如請求項1之不均勻檢查方法，其中 上述面板材係顯示影像之顯示面板； 取得上述一次影像之步驟包括如下步驟：

   對上述顯示面板進行攝影，取得攝影影像 將表示上述攝影影像之信號 頻率軸之信號； 空間軸之信號轉換為 當於疊紋（m〇ire)之頻率 自上述頻率軸之信號去除相 成分；及 號轉換為空間軸之信號。 7. -種顯示面板之製造方法，其特徵在於包括： 組裝顯示面板之步驟；及 檢查上述顯示面板上是否產生不均勻之步驟且 於上述檢查步驟中，將上述 ， 象夕而w 面板作為上述檢查對 象之面板材，並實施如請求 8. 一级 貝1之不均勻檢查方法。 一種不均勻檢查裝置，其特徵 無不均勾者，且包括： 、·其係檢查面板材有 攝影部，其於複數個級別 ，μ、+、二> t, 丁卜’對成為檢查對象 之上述面板材進行攝影；及 豕 運算部，其對藉由上述攝 、 實施強調麥俊样各 ♦ 传之複數張一次影像 黑列m周衫像變化之處理， 〜 个 、成设數張二次影像，以特 123829.doc 200831886 定之加權合成上述複數張二次影像，製成合成影像，並 根據上述合成影像判定有無不均勻；且 上述特定之加權以如下方式決定：針對產生不均勻之 對照用之上述面板材萝 裏成上述稷數張二次影像，並合成 孩荨一次影像而製成八 i ^ 广丄 σ成衫像時，可區別產生上述不均 勻之區域與除此以外之區域 Γ 123829.doc