JP4882529B2 - 欠陥検出方法および欠陥検出装置 - Google Patents
欠陥検出方法および欠陥検出装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4882529B2 JP4882529B2 JP2006161412A JP2006161412A JP4882529B2 JP 4882529 B2 JP4882529 B2 JP 4882529B2 JP 2006161412 A JP2006161412 A JP 2006161412A JP 2006161412 A JP2006161412 A JP 2006161412A JP 4882529 B2 JP4882529 B2 JP 4882529B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- defect
- value
- target point
- inspection target
- emphasis
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 230000007547 defect Effects 0.000 title claims description 708
- 238000001514 detection method Methods 0.000 title claims description 55
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 293
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 47
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 22
- 238000000605 extraction Methods 0.000 claims description 17
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 13
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 claims description 13
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 26
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 19
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 6
- 230000003252 repetitive effect Effects 0.000 description 5
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000000284 extract Substances 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 206010027146 Melanoderma Diseases 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 230000002708 enhancing effect Effects 0.000 description 1
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000003672 processing method Methods 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
- 230000002194 synthesizing effect Effects 0.000 description 1
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 1
- 238000011179 visual inspection Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
- G01N21/956—Inspecting patterns on the surface of objects
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
- G06T7/00—Image analysis
- G06T7/0002—Inspection of images, e.g. flaw detection
- G06T7/0004—Industrial image inspection
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
-
- G—PHYSICS
- G09—EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
- G09G—ARRANGEMENTS OR CIRCUITS FOR CONTROL OF INDICATING DEVICES USING STATIC MEANS TO PRESENT VARIABLE INFORMATION
- G09G3/00—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes
- G09G3/006—Electronic inspection or testing of displays and display drivers, e.g. of LED or LCD displays
-
- G—PHYSICS
- G09—EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
- G09G—ARRANGEMENTS OR CIRCUITS FOR CONTROL OF INDICATING DEVICES USING STATIC MEANS TO PRESENT VARIABLE INFORMATION
- G09G3/00—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes
- G09G3/20—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters
- G09G3/34—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters by control of light from an independent source
- G09G3/36—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters by control of light from an independent source using liquid crystals
- G09G3/3611—Control of matrices with row and column drivers
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Theoretical Computer Science (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Quality & Reliability (AREA)
- Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
- Image Analysis (AREA)
- Image Processing (AREA)
Description
なお、シミやムラ欠陥とは、表示画面のある領域が他の領域と輝度の差がある状態であり、ある程度の範囲で、周りに比べて明るい部分や暗い部分がある状態をいう。なお、通常、欠陥面積が比較的狭い場合をシミ欠陥、比較的大きい場合をムラ欠陥と呼ぶことが多い。さらに、面積が小さく点状の欠陥は輝点欠陥、黒点欠陥と呼ばれる。
この特許文献1では、検査対象点を挟んで配置される左右、上下、斜め方向の隣接する8点のうち、検査対象点との比較に用いるのに最適な2点(左右の2点、もしくは上下の2点、もしくは各斜め方向の2点のうちのいずれか)を選択し、その平均値と検査対象点の輝度データを比較して欠陥の有無を判断していた。そして、比較に最適な2点の選択は、2点の輝度データを比較し、その2点の輝度データが等しい場合は比較に最適な2点であると判断していた。
本発明では、欠陥強調処理工程において、選定された検査対象点の輝度値から、その周囲に複数配置された比較対象点の輝度値を引いてそれぞれの差を求め、各輝度差データのうち、値が最小となるものを選択して前記検査対象点の明欠陥用の欠陥強調値としているので、隅部であっても明欠陥を検出できる。
例えば、TFTパネルのように、TFT画素部分とブラックマトリクス部分とが交互に同一パターンで形成されている被検査物において、複数の比較対象点のうち、少なくとも1つが検査対象点と同じ領域、つまり検査対象点がTFT画素部分にあれば、いずれか1つの比較対象点もTFT画素部分にあり、検査対象点がブラックマトリクス部分にあれば、いずれか1つの比較対象点もブラックマトリクス部分にあればよいため、TFTパネルの隅部などの従来では欠陥検査を行うことができない部分でも確実にかつ精度よく検査することができる。
つまり、検査対象点に欠陥がなければ、比較対象点と略同じ輝度値となり、検査対象点の輝度値から比較対象点の輝度値を引いた差のデータである欠陥強調値の値も小さな値になるため、欠陥が無いことが判別できる。
一方、検査対象点に明欠陥がある場合には、値が最小の差分データであっても、明欠陥が無い場合に比べて値が大きな欠陥強調値となるため、明欠陥が存在することを判別できる。
従って、TFTパネルの隅部などの従来では欠陥検査を行うことができない部分でも確実にかつ精度よく検査することができる。つまり、検査対象点に欠陥がなければ、比較対象点と略同じ輝度値となり、比較対象点の輝度値から検査対象点の輝度値を引いた差のデータである欠陥強調値の値も小さな値になるため、欠陥が無いことが判別できる。
一方、検査対象点に暗欠陥がある場合には、値が最小の差分データであっても、暗欠陥が無い場合に比べて値が大きな欠陥強調値となるため、暗欠陥が存在することを判別できる。
また、本発明では、検査対象点と1つの比較対象点とが同じ領域に配置されていればよいため、調整作業も容易にでき、欠陥検出作業を簡易化することができる。
本発明では、欠陥強調処理工程において、検査対象点の輝度値と、その周囲の複数の比較対象点との輝度値の差をそれぞれ求め、絶対値が最小となる差分データを、その検査対象点の欠陥強調値としているので、隅部であっても欠陥を検出できる。
例えば、TFTパネルのように、TFT画素部分とブラックマトリクス部分とが交互に同一パターンで形成されている被検査物において、複数の比較対象点のうち、少なくとも1つが検査対象点と同じ領域、つまり検査対象点がTFT画素部分にあれば、いずれか1つの比較対象点もTFT画素部分にあり、検査対象点がブラックマトリクス部分にあれば、いずれか1つの比較対象点もブラックマトリクス部分にあればよいため、TFTパネルの隅部などの従来では欠陥検査を行うことができない部分でも確実にかつ精度よく検査することができる。
つまり、検査対象点に欠陥がなければ、比較対象点と略同じ輝度値となり、その差分データである欠陥強調値の絶対値も小さな値になるため、欠陥が無いことが判別できる。
一方、検査対象点に欠陥(明欠陥や暗欠陥)がある場合には、絶対値が最小の差分データであっても、欠陥が無い場合に比べて絶対値が大きな欠陥強調値となるため、欠陥が存在することを判別できる。
このようなメディアンフィルタを用いることで、欠陥以外のノイズを除去することができ、欠陥をより高精度に検出することができる。
そして、欠陥抽出工程において、ノイズが除去された欠陥強調結果の欠陥強調値を所定の閾値と比較して欠陥部分を抽出する。
例えば、検査対象点の輝度値から比較対象点の輝度値を引いて差分を求めている場合、検査対象点が他の部分よりも明るい明欠陥であれば欠陥強調値は正の値となり、暗い暗欠陥であれば負の値となる。この場合、予め設定された明欠陥閾値以上の領域で明欠陥部分が抽出され、暗欠陥閾値以下の領域で暗欠陥部分が抽出され、閾値を適宜設定することで欠陥部分を精度よく検出することができる。なお、暗欠陥部分を検出する際に、比較対象点の輝度値から検査対象点の輝度値を引いて差分を求めた場合には、暗欠陥の強調値も正の値となるため、予め設定した暗欠陥用閾値以上の領域を暗欠陥部分として抽出すればよい。
さらに、欠陥判別工程では、欠陥部分の面積や位置などの欠陥情報を取得し、その情報に基づいて欠陥内容を評価判別しているので、欠陥を客観的に評価でき、ランク付けも行うことができるので、不良品を容易に判定できる。
従って、検査対象点および全比較対象点間の距離を変更して欠陥強調処理を順次行えば、その距離に応じた欠陥をそれぞれ強調することができる。従って、各欠陥強調結果を合成処理すれば、その合成処理結果によってサイズの異なる欠陥の発生位置やその大きさを容易に検出することができる。
比較対象点は、通常、検査対象点の周囲に4個以上設ければよいが、検査対象点の左右、上下、斜め方向に計8個設けられていれば、高精度でかつ効率的に欠陥を検出できる。すなわち、検査対象点は多いほうが欠陥検出精度は向上するが、差分処理数が増えて処理効率が低下する。これに対し、本発明のように、8個の比較対象点を設ければ、検出精度および処理効率を両立できる。
図1は本発明の第1実施形態に係る欠陥検出装置の構成を示すブロック図である。
図1において、1は検査対象である液晶パネル(TFTパネル)、2は光源である。3は液晶パネル1に各種パターンを出力するパターン生成装置であるパターンジェネレータ、5は液晶パネル1を撮影する撮像手段であるCCDカメラであり、液晶パネル1の解像度以上の解像度を有するCCDを搭載している。6はパターンジェネレータ3及びCCDカメラ5を制御し、液晶パネル1の欠陥を検出する画像処理手段であるコンピュータ装置、7はコンピュータ装置6に接続された表示装置である。
なお、欠陥には、他の画素部分に対して輝度値が高い明欠陥と、輝度値が低い暗欠陥とがある。このため、本実施形態の欠陥強調値算出部612は、明欠陥用の欠陥強調値と、暗欠陥用の欠陥強調値とをそれぞれ別々に算出するように構成されている。
ノイズ除去手段62は、欠陥強調処理手段61で得られた結果(明欠陥用の欠陥強調結果と、暗欠陥用の欠陥強調結果)に対し、それぞれメディアンフィルタを適用してノイズを除去するノイズ除去工程を実施する。
図2はこの実施の形態の欠陥検出装置の動作を説明するためのフローチャートである。図2に示す動作はコンピュータ装置6上で実行されるプログラムにより実現されている。
なお、パターンジェネレータ3によって表示される画像パターンとしては、例えば、暗欠陥を検出しやすいように全画面を白表示する全白画面パターン、明欠陥を検出しやすいように全画面を黒表示する全黒画面パターン、中間調の画面パターン等があり、検出したい欠陥種類に応じて適宜設定される。
本実施形態では、図4に示すように、液晶パネル1のTFT画素11に比べて解像度の高い(サイズが小さい)CCDカメラ5の各撮像画素単位で対象点を選定するようにされている。なお、図4においては、矩形状に囲まれた部分が液晶パネル1のTFT画素11部分であり、その間はブラックマトリクス12部分である。
そして、各比較対象点S1およびS5、比較対象点S2およびS6、比較対象点S3およびS7、比較対象点S4およびS8は、検査対象点Oを中心とした点対称位置に設定されている。
同様に、各比較対象点S2,S1,S8と、比較対象点S3、検査対象点O、比較対象点S7と、比較対象点S4,S5,S6とは、それぞれ横方向に揃って配置されている。
すなわち、比較対象点S1と比較対象点S2,S8との間の寸法や、比較対象点S5と比較対象点S4,S6との間の寸法は、検査対象点Oと比較対象点S3,S7との間の寸法(横ピッチ寸法)L1と同じ寸法に設定されている。
また、比較対象点S3と比較対象点S2,S4との間の寸法や、比較対象点S7と比較対象点S6,S8との間の寸法は、検査対象点Oと比較対象点S1,S5との間の寸法(縦ピッチ寸法)L2と同じ寸法に設定されている。
同様に、前記縦ピッチ寸法L2も、液晶パネル1の画素11の縦ピッチ寸法、つまり画素11の中心点とその上下に隣接する画素11の中心点とのピッチ寸法(ブラックマトリクス12の中心点と画素11を挟んだブラックマトリクス12の中心点のピッチ寸法も同じ)と相違した寸法に設定されている。本実施形態では、縦ピッチ寸法L2も、画素11のピッチ寸法に比べて大きく設定されている。
また、同様の理由から、横ピッチ寸法L1と縦ピッチ寸法L2は、同一寸法でもよいし、異なる寸法でもよい。
F2=O−S2 (式2)
F3=O−S3 (式3)
F4=O−S4 (式4)
F5=O−S5 (式5)
F6=O−S6 (式6)
F7=O−S7 (式7)
F8=O−S8 (式8)
例えば、比較対象点S1〜S8で囲まれたエリア内に欠陥が存在しない場合、検査対象点Oの輝度値と各比較対象点S1〜S8の輝度値は殆ど差が無い状態になる。従って、上記F1からF8は、いずれも小さな値になる。
一方、図5に示すように、比較対象点S1〜S8で囲まれたエリア内に他の部分に比べて明るい欠陥70が存在し、検査対象点Oがその一部である場合、検査対象点Oに比べて各比較対象点S1〜S8の輝度値は低くなる。従って、上記F1からF8は、欠陥70が無い場合に比べて、大きな値になる。
F10=S2−O (式10)
F11=S3−O (式11)
F12=S4−O (式12)
F13=S5−O (式13)
F14=S6−O (式14)
F15=S7−O (式15)
F16=S8−O (式16)
すなわち、前記明欠陥の場合と同様に、比較対象点S1〜S8で囲まれたエリア内に暗い欠陥が存在する場合には、上記F9からF16はいずれも比較的大きな値になる。一方、暗欠陥が存在しない場合や、比較対象点S1〜S8で囲まれたエリア内に暗欠陥が納まっていない場合には、上記F9からF16の少なくとも1つは小さな値になる。このため、上記F9からF16の最小値を選択すれば、検査対象点Oを含み、かつ、比較対象点S1〜S8で囲まれたエリア内に納まる暗欠陥が存在するか否かを検出できるので、この最小値を各検査対象点Oの欠陥強調値として記憶すればよい。
欠陥強調処理手段61による欠陥強調処理は、比較対象点S1〜S8で囲まれた面積よりも一回り小さい面積の欠陥の抽出に適している。すなわち、図6に示すように、比較対象点S1〜S8で囲まれた面積よりも大きな面積の欠陥は検出できず、一方、比較対象点S1〜S8で囲まれた面積よりも大幅に小さな面積の欠陥では、比較対象点S1〜S8のいずれかに他の欠陥が配置される可能性が高まり、検出精度が低下する。
従って、強調したい欠陥のサイズが、複数ある場合には、そのサイズに合わせて検査対象点Oと比較対象点S1〜S8との距離を設定し、上述した検査対象点選定工程ST31、欠陥強調値算出工程ST32を行えばよい。
本実施形態では、図7および図8に示すように、検査対象点Oから比較対象点S1〜S8までの距離を異ならせて欠陥強調値算出工程ST32を検査対象画像全体に対して行い、図5の欠陥70よりも一回り小さな欠陥を図7の設定で検出し、さらに小さな欠陥を図8の設定で検出している。
例えば、検査対象点Oと比較対象点S1〜S8間の距離を、図4,7,8に示す3種類に変更して欠陥強調値算出工程ST32を行った場合、明欠陥用および暗欠陥用としてそれぞれ3つの欠陥強調結果を得ることができるので、最後にそれぞれの欠陥強調結果を合成する。各欠陥強調結果は、検査対象点Oの配列つまりCCDカメラ5の撮像画素に合わせた配列に記憶されているため、各欠陥強調結果の同じ点(撮像画素)の欠陥強調値同士を比較し、最大値をその検査対象点Oの欠陥強調値とすることで、欠陥強調結果を合成できる。
ここで、各閾値は、画像の状況に合わせて最適な値を設定すればよい。例えば、欠陥強調値(輝度値)の平均値と、その標準偏差を求め、以下の式で閾値を設定してもよい。
暗欠陥閾値 bslevel=avr+α2・σ+β2
ここで、avrは各欠陥強調値の平均値、σは各欠陥強調値の標準偏差、α1,α2,β1,β2は任意の数で検査対象となる画像の状況で適宜決定される。
欠陥判別手段64で求められた欠陥ランクは、表示装置7に表示され、検査員は検査対象の液晶パネル1の欠陥ランクを容易に把握することができる。
(1)欠陥強調処理手段61は、撮像された画像に対して設定された検査対象点Oの輝度値と、その周囲に設定された8個の比較対象点S1〜S8の輝度値との差を求め、その値が最も小さい値を検査対象点Oの欠陥強調値としているので、8個の比較対象点S1〜S8のうちの少なくとも1つが、検査対象点Oと同じ領域(被検査物の同一パターン)にあれば欠陥を強調して検出することができる。このため、液晶パネル1の隅部の欠陥であっても精度よく検出でき、低コントラストの欠陥が同一繰り返しパターン内に存在していても、精度よく検出することができる。
その上、欠陥強調処理工程ST3において、検査対象点Oと比較対象点S1〜S8の距離を異ならせて欠陥強調値算出工程ST32を行って様々なサイズの欠陥を強調処理した後、欠陥強調結果合成工程ST36で欠陥強調結果を合成しているので、その合成結果のみを評価することで各サイズの欠陥をまとめてかつ容易に検出することができる。
次に、本発明の第2実施形態について説明する。
本実施形態では、欠陥強調値算出部612における欠陥強調値の算出工程ST32の具体的処理方法のみが異なり、他の処理は前記第1実施形態と同一のため、その相違点部分を説明する。
F18=O−S2 (式18)
F19=O−S3 (式19)
F20=O−S4 (式20)
F21=O−S5 (式21)
F22=O−S6 (式22)
F23=O−S7 (式23)
F24=O−S8 (式24)
例えば、比較対象点S1〜S8で囲まれたエリア内に欠陥が存在しない場合、検査対象点Oの輝度値と各比較対象点S1〜S8の輝度値は殆ど差が無い状態になる。従って、上記F17からF24は、いずれも小さな値になる。
一方、比較対象点S1〜S8で囲まれたエリア内に他の部分に比べて明るい欠陥70や暗い欠陥が存在し、検査対象点Oがその一部である場合、検査対象点Oの輝度値に比べて各比較対象点S1〜S8の輝度値の差が大きくなる。従って、上記F17からF24の絶対値は、欠陥70が無い場合に比べて、大きな値になる。
また、強調したい欠陥のサイズが、複数ある場合には、前記第1実施形態と同じく、そのサイズに合わせて検査対象点Oと比較対象点S1〜S8との距離を設定し、上述した検査対象点選定工程ST31、欠陥強調値算出工程ST32を行えばよい。
ここで、各閾値は、前記第1実施形態と同様に、画像の状況に合わせて最適な値を設定すればよい。
欠陥判別手段64で求められた欠陥ランクは、表示装置7に表示され、検査員は検査対象の液晶パネル1の欠陥ランクを容易に把握することができる。
さらに、第2実施形態では、検査対象点の輝度値と比較対象点の輝度値との差分の絶対値の最小点を欠陥強調値としているので、明欠陥および暗欠陥を検出する際に式17〜式24のみで求めることができる。このため、明欠陥用に式1〜式8により欠陥強調値を算出し、暗欠陥用に式9〜式16により欠陥強調値を算出している第1実施形態に比べて処理時間を短縮することができる。
例えば、前記実施形態では、様々な欠陥サイズに対応するために、欠陥強調処理工程ST3では、検査対象点Oおよび比較対象点S1〜S8の距離を異ならせて欠陥強調値算出工程ST32を行っていたが、検出対象とする欠陥のサイズによっては、検査対象点Oおよび比較対象点S1〜S8の距離の変更を行わず、1種類のサイズのみで処理を行ってもよい。
さらに、前記実施形態では、検査対象点Oと左右の比較対象点S3,S7間の各寸法L1は同一であったが、異ならせてもよい。同様に、検査対象点Oと上下の比較対象点S1,S5間の各寸法L2も異ならせてもよい。
また、各比較対象点S1〜S8は、格子状に配置されていたが、例えば、比較対象点S2,S4,S6,S8を検査対象点Oからの距離が、比較対象点S1,S3,S5,S7と同じ位置、つまり、各比較対象点S1〜S8は検査対象点Oを中心とした円周上に配置してもよい。
要するに、本発明では、比較対象点で囲まれたエリア内の欠陥を検出する処理であるため、比較対象点は、エリアを区画できるように、検査対象点Oを囲んで4個以上設ければよく、6個や8個、さらには9個以上設けてもよい。
また、前記第2実施形態でも、明欠陥用および暗欠陥用の各閾値を設定し、明欠陥および暗欠陥の両方を検出できるようにしていたが、一方の欠陥のみを検出してもよい。例えば、明欠陥のみを検出すればよい場合には、暗欠陥用閾値との比較処理を行わずに処理してもよい。
また、ノイズ除去手段62によるノイズ除去工程ST4は、3×3のメディアンフィルタを用いたものに限らず、公知のノイズ除去処理を利用してもよい。
さらに、本発明は、各種表示装置の検査に限らず、例えば、配線パターンや印刷パターンなどに欠陥がある場合、これらを撮像して欠陥がある画像が得られればその欠陥を検出できるので、各種製品の表面塗装や印刷物、配線などの欠陥検査に応用することもできる。
要するに、本発明は、被測定物の撮像画像が、明るい部分と暗い部分、つまり輝度が異なる部分が同一パターンで繰り返されている場合に、周囲と輝度差がある欠陥があれば検出できるため、輝度シミ欠陥や色シミ欠陥の検出等に広く利用できる。
Claims (11)
- 同一繰り返しパターンを有する被検査物を撮像して画像を取得する画像取得工程と、
取得した画像に対して欠陥強調処理を行う欠陥強調処理工程とを有し、
前記欠陥強調処理工程は、
撮像画像において検査対象点を順次選定する検査対象点選定工程と、
選定された検査対象点の輝度値から、その周囲に複数配置された比較対象点の輝度値を引いてそれぞれの差を求め、各輝度差データのうち、値が最小となるものを選択して前記検査対象点の明欠陥用の欠陥強調値とする欠陥強調値算出工程とを備え、
前記欠陥強調処理工程は、検査対象点から全比較対象点までの距離を変更して欠陥強調処理を行い、得られた欠陥強調値が最大のものをその検査対象点の明欠陥用の欠陥強調値とする合成処理を行って1つの欠陥強調結果を出力することを特徴とする欠陥検出方法。 - 同一繰り返しパターンを有する被検査物を撮像して画像を取得する画像取得工程と、
取得した画像に対して欠陥強調処理を行う欠陥強調処理工程とを有し、
前記欠陥強調処理工程は、
撮像画像において検査対象点を順次選定する検査対象点選定工程と、
選定された検査対象点の周囲に複数配置された比較対象点の輝度値から、前記選定された検査対象点の輝度値を引いてそれぞれの差を求め、各輝度差データのうち、値が最小となるものを選択して前記検査対象点の暗欠陥用の欠陥強調値とする欠陥強調値算出工程とを備え、
前記欠陥強調処理工程は、検査対象点から全比較対象点までの距離を変更して欠陥強調処理を行い、得られた欠陥強調値が最大のものをその検査対象点の暗欠陥用の欠陥強調値とする合成処理を行って1つの欠陥強調結果を出力することを特徴とする欠陥検出方法。 - 同一繰り返しパターンを有する被検査物を撮像して画像を取得する画像取得工程と、
取得した画像に対して欠陥強調処理を行う欠陥強調処理工程とを有し、
前記欠陥強調処理工程は、
撮像画像において検査対象点を順次選定する検査対象点選定工程と、
選定された検査対象点の輝度値から、その周囲に複数配置された比較対象点の輝度値を引いてそれぞれの差を求め、各輝度差データのうち、値が最小となるものを選択して前記検査対象点の明欠陥用の欠陥強調値とするとともに、
選定された検査対象点の周囲に複数配置された比較対象点の輝度値から、前記選定された検査対象点の輝度値を引いてそれぞれの差を求め、各輝度差データのうち、値が最小となるものを選択して前記検査対象点の暗欠陥用の欠陥強調値とする欠陥強調値算出工程とを備え、
前記欠陥強調処理工程は、検査対象点から全比較対象点までの距離を変更して欠陥強調処理を行い、得られた欠陥強調値が最大のものをその検査対象点の暗欠陥用および暗欠陥用の欠陥強調値とする合成処理を行って明欠陥用の1つの欠陥強調結果および暗欠陥用の1つの欠陥強調結果を出力することを特徴とする欠陥検出方法。 - 同一繰り返しパターンを有する被検査物を撮像して画像を取得する画像取得工程と、
取得した画像に対して欠陥強調処理を行う欠陥強調処理工程とを有し、
前記欠陥強調処理工程は、
撮像画像において検査対象点を順次選定する検査対象点選定工程と、
選定された検査対象点の輝度値と、その周囲に複数配置された比較対象点の輝度値との差をそれぞれ求め、各輝度差データのうち、その絶対値が最小となるものを選択して前記検査対象点の欠陥強調値とする欠陥強調値算出工程とを備え、
前記欠陥強調処理工程は、検査対象点から全比較対象点までの距離を変更して欠陥強調処理を行い、得られた欠陥強調値が最大のものをその検査対象点の欠陥強調値とする合成処理を行って1つの欠陥強調結果を出力することを特徴とする欠陥検出方法。 - 請求項1から請求項4までのいずれかに記載の欠陥検出方法において、
前記欠陥強調値算出工程で得られた欠陥強調結果に対してメディアンフィルタを適用してノイズ成分の除去処理を行うノイズ除去工程と、
ノイズ除去工程でノイズ成分が除去された欠陥強調結果の各欠陥強調値を所定の閾値と比較して欠陥部分を抽出する欠陥抽出工程と、
欠陥抽出工程で抽出された欠陥部分の面積および位置を含む欠陥情報を取得して欠陥内容を判別する欠陥判別工程とを備えることを特徴とする欠陥検出方法。 - 請求項1から請求項5までのいずれかに記載の欠陥検出方法において、
前記比較対象点は、検査対象点を挟んで左右、上下、斜め方向にそれぞれ配置されて計8個設けられていることを特徴とする欠陥検出方法。 - 同一繰り返しパターンを有する被検査物を撮像して画像を取得する画像取得手段と、
取得した画像に対して欠陥強調処理を行う欠陥強調処理手段とを有し、
前記欠陥強調処理手段は、
撮像画像において検査対象点を順次選定する検査対象点選定部と、
選定された検査対象点の輝度値から、その周囲に複数配置された比較対象点の輝度値を引いてそれぞれの差を求め、各輝度差データのうち、値が最小となるものを選択して前記検査対象点の明欠陥用の欠陥強調値とする欠陥強調値算出部とを備え、
前記欠陥強調値算出部は、検査対象点から全比較対象点までの距離を変更して欠陥強調処理を行い、得られた欠陥強調値が最大のものをその検査対象点の明欠陥用の欠陥強調値とする合成処理を行って1つの欠陥強調結果を出力することを特徴とする欠陥検出装置。 - 同一繰り返しパターンを有する被検査物を撮像して画像を取得する画像取得手段と、
取得した画像に対して欠陥強調処理を行う欠陥強調処理手段とを有し、
前記欠陥強調処理手段は、
撮像画像において検査対象点を順次選定する検査対象点選定部と、
選定された検査対象点の周囲に複数配置された比較対象点の輝度値から、前記選定された検査対象点の輝度値を引いてそれぞれの差を求め、各輝度差データのうち、値が最小となるものを選択して前記検査対象点の暗欠陥用の欠陥強調値とする欠陥強調値算出部とを備え、
前記欠陥強調値算出部は、検査対象点から全比較対象点までの距離を変更して欠陥強調処理を行い、得られた欠陥強調値が最大のものをその検査対象点の暗欠陥用の欠陥強調値とする合成処理を行って1つの欠陥強調結果を出力することを特徴とする欠陥検出装置。 - 同一繰り返しパターンを有する被検査物を撮像して画像を取得する画像取得手段と、
取得した画像に対して欠陥強調処理を行う欠陥強調処理手段とを有し、
前記欠陥強調処理手段は、
撮像画像において検査対象点を順次選定する検査対象点選定部と、
選定された検査対象点の輝度値から、その周囲に複数配置された比較対象点の輝度値を引いてそれぞれの差を求め、各輝度差データのうち、値が最小となるものを選択して前記検査対象点の明欠陥用の欠陥強調値とするとともに、
選定された検査対象点の周囲に複数配置された比較対象点の輝度値から、前記選定された検査対象点の輝度値を引いてそれぞれの差を求め、各輝度差データのうち、値が最小となるものを選択して前記検査対象点の暗欠陥用の欠陥強調値とする欠陥強調値算出部とを備え、
前記欠陥強調値算出部は、検査対象点から全比較対象点までの距離を変更して欠陥強調処理を行い、得られた欠陥強調値が最大のものをその検査対象点の明欠陥用および暗欠陥用の欠陥強調値とする合成処理を行って明欠陥用の1つの欠陥強調結果および暗欠陥用の1つの欠陥強調結果を出力することを特徴とする欠陥検出装置。 - 同一繰り返しパターンを有する被検査物を撮像して画像を取得する画像取得手段と、
取得した画像に対して欠陥強調処理を行う欠陥強調処理手段とを有し、
前記欠陥強調処理手段は、
撮像画像において検査対象点を順次選定する検査対象点選定部と、
選定された検査対象点の輝度値と、その周囲に複数配置された比較対象点の輝度値との差をそれぞれ求め、各輝度差データのうち、その絶対値が最小となるものを選択して前記検査対象点の欠陥強調値とする欠陥強調値算出部とを備え、
前記欠陥強調値算出部は、検査対象点から全比較対象点までの距離を変更して欠陥強調処理を行い、得られた欠陥強調値が最大のものをその検査対象点の欠陥強調値とする合成処理を行って1つの欠陥強調結果を出力することを特徴とする欠陥検出装置。 - 請求項7から請求項10のいずれかに記載の欠陥検出装置において、
前記欠陥強調値算出部で得られた欠陥強調結果に対してメディアンフィルタを適用してノイズ成分の除去処理を行うノイズ除去手段と、
ノイズ除去手段でノイズ成分が除去された欠陥強調結果の各欠陥強調値を所定の閾値と比較して欠陥部分を抽出する欠陥抽出手段と、
欠陥抽出手段で抽出された欠陥部分の面積および位置を含む欠陥情報を取得して欠陥内容を判別する欠陥判別手段とを備えることを特徴とする欠陥検出装置。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006161412A JP4882529B2 (ja) | 2005-08-26 | 2006-06-09 | 欠陥検出方法および欠陥検出装置 |
KR1020060079445A KR100819412B1 (ko) | 2005-08-26 | 2006-08-22 | 결함 검출 방법 및 결함 검출 장치 |
TW095131418A TW200716969A (en) | 2005-08-26 | 2006-08-25 | Defect detecting method and defect detecting device |
CNA2006101218447A CN1920539A (zh) | 2005-08-26 | 2006-08-25 | 缺陷检测方法与缺陷检测装置 |
US11/510,789 US7978903B2 (en) | 2005-08-26 | 2006-08-25 | Defect detecting method and defect detecting device |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005245429 | 2005-08-26 | ||
JP2005245429 | 2005-08-26 | ||
JP2006161412A JP4882529B2 (ja) | 2005-08-26 | 2006-06-09 | 欠陥検出方法および欠陥検出装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007086056A JP2007086056A (ja) | 2007-04-05 |
JP4882529B2 true JP4882529B2 (ja) | 2012-02-22 |
Family
ID=37804146
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006161412A Expired - Fee Related JP4882529B2 (ja) | 2005-08-26 | 2006-06-09 | 欠陥検出方法および欠陥検出装置 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7978903B2 (ja) |
JP (1) | JP4882529B2 (ja) |
KR (1) | KR100819412B1 (ja) |
CN (1) | CN1920539A (ja) |
TW (1) | TW200716969A (ja) |
Families Citing this family (45)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4799329B2 (ja) * | 2006-09-07 | 2011-10-26 | 株式会社東芝 | ムラ検査方法、表示パネルの製造方法及びムラ検査装置 |
CN101382502B (zh) * | 2007-09-07 | 2011-07-27 | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 | 表面污点检测***及其检测方法 |
JP5239275B2 (ja) * | 2007-09-19 | 2013-07-17 | セイコーエプソン株式会社 | 欠陥検出方法および欠陥検出装置 |
JP4528850B2 (ja) * | 2008-08-26 | 2010-08-25 | シャープ株式会社 | 欠陥検出装置、欠陥検出方法、欠陥検出プログラム、及び該プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体 |
CN101719352B (zh) * | 2008-10-09 | 2012-07-25 | 北京京东方光电科技有限公司 | 液晶盒成盒后检测装置和方法 |
JP5257063B2 (ja) * | 2008-12-26 | 2013-08-07 | セイコーエプソン株式会社 | 欠陥検出方法および欠陥検出装置 |
JP4664417B2 (ja) * | 2009-03-26 | 2011-04-06 | シャープ株式会社 | 表示パネル点灯検査装置、及び表示パネル点灯検査方法。 |
JP5557482B2 (ja) * | 2009-06-23 | 2014-07-23 | 株式会社日立製作所 | 検査性評価方法 |
JP5716278B2 (ja) * | 2010-02-05 | 2015-05-13 | セイコーエプソン株式会社 | 異物検出装置および異物検出方法 |
CN102467863B (zh) * | 2010-11-17 | 2014-09-03 | 北京京东方光电科技有限公司 | Tft-lcd电学不良测试电路和测试方法 |
WO2012134451A1 (en) | 2011-03-29 | 2012-10-04 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Detection of scratches on an image |
JP5815878B2 (ja) * | 2011-09-27 | 2015-11-17 | ヒューレット−パッカード デベロップメント カンパニー エル.ピー.Hewlett‐Packard Development Company, L.P. | 印刷欠陥の検出 |
JP2014048206A (ja) * | 2012-08-31 | 2014-03-17 | Sharp Corp | 欠陥分類装置、欠陥分類方法、制御プログラム、および記録媒体 |
CN102841102B (zh) * | 2012-09-05 | 2015-01-14 | 同济大学 | 一种损伤阈值测量中微小尺度损伤点的识别方法及装置 |
JP6241120B2 (ja) * | 2012-09-14 | 2017-12-06 | 株式会社リコー | 画像検査装置、画像検査方法及び画像検査装置の制御プログラム |
CN103033343B (zh) * | 2012-12-13 | 2015-07-01 | 京东方科技集团股份有限公司 | 检测彩色滤光片中亚像素偏移的方法及装置 |
TWI477766B (zh) | 2012-12-18 | 2015-03-21 | Ind Tech Res Inst | 檢測裝置以及檢測方法 |
CN103913461A (zh) * | 2013-01-07 | 2014-07-09 | 北京兆维电子(集团)有限责任公司 | 一种tft-lcd点灯自动光学检测的图像处理方法 |
KR101828536B1 (ko) * | 2013-04-11 | 2018-02-12 | 한화테크윈 주식회사 | 패널 검사 방법 및 장치 |
CN104166250A (zh) * | 2013-05-20 | 2014-11-26 | 冠捷投资有限公司 | 一种平面显示器面板均匀度检测方法及其*** |
CN103760170A (zh) * | 2013-12-26 | 2014-04-30 | 中国电子科技集团公司第四十一研究所 | 一种基于机器视觉技术的烟包内衬缺损检测方法 |
KR101702841B1 (ko) * | 2014-09-01 | 2017-02-06 | 동우 화인켐 주식회사 | 편광 필름의 결함 모니터링 방법 |
CN104516609B (zh) * | 2014-12-19 | 2018-06-12 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 内嵌式触摸面板的检测方法及制造方法 |
CN104528061B (zh) * | 2014-12-31 | 2016-09-28 | 中国电子科技集团公司第四十一研究所 | 一种基于机器视觉技术的条盒香烟缺包检测装置 |
WO2016207703A1 (en) * | 2015-06-23 | 2016-12-29 | Bosch Car Multimedia Portugal, S.A. | Apparatus and method for detection of pixel or sub-pixel functional defects of an image display |
CN104992657B (zh) * | 2015-07-27 | 2017-09-22 | 京东方科技集团股份有限公司 | mura补偿模块和方法、显示装置和方法 |
CN105301810A (zh) * | 2015-11-24 | 2016-02-03 | 上海斐讯数据通信技术有限公司 | 一种屏幕缺陷检测方法及装置 |
CN106290391B (zh) * | 2016-08-01 | 2019-07-05 | 凌云光技术集团有限责任公司 | 一种对液晶屏进行表面氧化检测的***及方法 |
CN106646939B (zh) * | 2016-11-17 | 2019-11-19 | 南京华东电子信息科技股份有限公司 | 一种Mura缺陷检出方法 |
CN108107611B (zh) * | 2016-11-24 | 2021-01-12 | 研祥智能科技股份有限公司 | 一种自适应缺陷检测方法、装置及电子设备 |
KR102596206B1 (ko) * | 2016-12-13 | 2023-10-30 | 강원대학교산학협력단 | 영상 분석을 이용한 건해삼 등급 분류 시스템 |
US10249033B1 (en) | 2016-12-20 | 2019-04-02 | Palantir Technologies Inc. | User interface for managing defects |
US10620618B2 (en) * | 2016-12-20 | 2020-04-14 | Palantir Technologies Inc. | Systems and methods for determining relationships between defects |
CN106959381A (zh) * | 2017-03-22 | 2017-07-18 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种面板测试装置 |
US11314721B1 (en) * | 2017-12-07 | 2022-04-26 | Palantir Technologies Inc. | User-interactive defect analysis for root cause |
KR101982347B1 (ko) * | 2018-06-11 | 2019-05-24 | 주식회사 에이치비테크놀러지 | 오토 리페어 시스템의 불량 검출장치 및 방법 |
CN108962109B (zh) * | 2018-07-24 | 2021-05-11 | 南京中电熊猫平板显示科技有限公司 | 一种显示面板的检测方法及其检测装置 |
CN108986099A (zh) * | 2018-09-13 | 2018-12-11 | 格力电器(武汉)有限公司 | 手操器检测装置 |
WO2020061736A1 (zh) * | 2018-09-25 | 2020-04-02 | 西安诺瓦电子科技有限公司 | 显示设备故障检测方法、设备、***及计算机可读介质 |
US11538149B2 (en) * | 2019-07-31 | 2022-12-27 | Samsung Display Co., Ltd. | Spot detection device, spot detection method, and display device |
NL2023747B1 (en) * | 2019-09-02 | 2021-05-12 | Suss Microtec Lithography Gmbh | Method and test system for assessing the quality of a multi-channel micro- and/or subwavelength-optical projection unit |
CN110987992A (zh) * | 2020-01-02 | 2020-04-10 | 上海市建筑科学研究院有限公司 | 基于背散射成像的外墙外保温***内部缺陷定量识别方法 |
CN114383815B (zh) * | 2021-12-13 | 2023-11-14 | 长春希达电子技术有限公司 | 一种显示屏像素失控点快速检测方法 |
US12013602B2 (en) | 2021-12-22 | 2024-06-18 | Communications Test Design, Inc. | Method of detecting defective pixels in electronic displays |
DE102022116099B3 (de) * | 2022-06-28 | 2023-12-28 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Oberflächeninspektionssystem und Verfahren zur Erfassung von Oberflächendefekten |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1166311A (ja) | 1997-08-08 | 1999-03-09 | Hitachi Tobu Semiconductor Ltd | むら検査方法および装置 |
JP4165932B2 (ja) | 1998-07-21 | 2008-10-15 | 東芝ソリューション株式会社 | 明暗検査装置および明暗検査方法 |
JP4560969B2 (ja) * | 2001-02-27 | 2010-10-13 | パナソニック株式会社 | 欠陥検査方法 |
US6712535B2 (en) * | 2001-04-30 | 2004-03-30 | Microsoft Corporation | Keyboard with improved lateral region |
TW594148B (en) * | 2001-06-01 | 2004-06-21 | Univ Kent State Ohio | A color liquid crystal display of passive matrix design |
JP3904419B2 (ja) * | 2001-09-13 | 2007-04-11 | 株式会社日立製作所 | 検査装置および検査システム |
JP3973024B2 (ja) | 2002-06-26 | 2007-09-05 | 株式会社ブイ・テクノロジー | 撮像検査装置における8近傍点隣接比較方式による欠陥検出方法、欠陥検出システム |
JP3747909B2 (ja) * | 2002-12-24 | 2006-02-22 | ソニー株式会社 | 画素欠陥検出補正装置及び画素欠陥検出補正方法 |
JP2004239870A (ja) * | 2003-02-10 | 2004-08-26 | Seiko Epson Corp | 空間フィルタ、空間フィルタの作成方法、空間フィルタ作成プログラム、画面欠陥の検査方法及び装置 |
JP2005140655A (ja) * | 2003-11-07 | 2005-06-02 | Seiko Epson Corp | シミ欠陥の検出方法及びその検出装置 |
JP2005172559A (ja) | 2003-12-10 | 2005-06-30 | Seiko Epson Corp | パネルの線欠陥検出方法及び装置 |
JP2006133055A (ja) | 2004-11-05 | 2006-05-25 | Seiko Epson Corp | ムラ欠陥検出方法及び装置、空間フィルタ、ムラ欠陥検査システム並びにムラ欠陥検出方法のプログラム |
JP2006145228A (ja) | 2004-11-16 | 2006-06-08 | Seiko Epson Corp | ムラ欠陥検出方法及び装置 |
-
2006
- 2006-06-09 JP JP2006161412A patent/JP4882529B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2006-08-22 KR KR1020060079445A patent/KR100819412B1/ko active IP Right Grant
- 2006-08-25 TW TW095131418A patent/TW200716969A/zh unknown
- 2006-08-25 US US11/510,789 patent/US7978903B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2006-08-25 CN CNA2006101218447A patent/CN1920539A/zh active Pending
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US7978903B2 (en) | 2011-07-12 |
KR100819412B1 (ko) | 2008-04-07 |
CN1920539A (zh) | 2007-02-28 |
TW200716969A (en) | 2007-05-01 |
KR20070024377A (ko) | 2007-03-02 |
US20070047801A1 (en) | 2007-03-01 |
JP2007086056A (ja) | 2007-04-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4882529B2 (ja) | 欠陥検出方法および欠陥検出装置 | |
JP2007172397A (ja) | エッジ勾配検出方法、シミ欠陥検出方法、エッジ勾配検出装置、シミ欠陥検出装置 | |
JP2004294202A (ja) | 画面の欠陥検出方法及び装置 | |
JP2008170325A (ja) | シミ欠陥検出方法およびシミ欠陥検出装置 | |
JP2007285754A (ja) | 欠陥検出方法および欠陥検出装置 | |
JP5088165B2 (ja) | 欠陥検出方法および欠陥検出装置 | |
JP2005172559A (ja) | パネルの線欠陥検出方法及び装置 | |
JP2009229197A (ja) | 線状欠陥検出方法および線状欠陥検出装置 | |
JP2009036582A (ja) | 平面表示パネルの検査方法、検査装置及び検査プログラム | |
JP2006258713A (ja) | シミ欠陥検出方法及び装置 | |
JP2004239733A (ja) | 画面の欠陥検出方法及び装置 | |
JP2006170921A (ja) | 外観検査方法およびその装置 | |
JP2008020369A (ja) | 画像解析方法、画像解析装置、検査装置、画像解析プログラムおよびコンピュータ読み取り可能な記録媒体 | |
JP2005165387A (ja) | 画面のスジ欠陥検出方法及び装置並びに表示装置 | |
JP2005249415A (ja) | シミ欠陥の検出方法及び装置 | |
JP2005345290A (ja) | 筋状欠陥検出方法及び装置 | |
US7668344B2 (en) | Stain inspection method and apparatus | |
JP3695120B2 (ja) | 欠陥検査方法 | |
JP5239275B2 (ja) | 欠陥検出方法および欠陥検出装置 | |
JP2005283197A (ja) | 画面のスジ欠陥検出方法及び装置 | |
JP2007285868A (ja) | 輝度勾配検出方法、欠陥検出方法、輝度勾配検出装置および欠陥検出装置 | |
JP2010151762A (ja) | 欠陥検出方法および欠陥検出装置 | |
JP2004219291A (ja) | 画面の線欠陥検出方法及び装置 | |
JP2004219176A (ja) | 画素ムラ欠陥の検出方法及び装置 | |
JP2005140655A (ja) | シミ欠陥の検出方法及びその検出装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20070704 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20070813 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080304 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20101012 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20101109 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110111 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110705 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110902 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20111108 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20111121 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20141216 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 4882529 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |