TWI356163B - - Google Patents

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〜υιό] 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明關於不均勾檢查方法、顯示面板之製造方法及不 均勻檢查裝置，尤其係關於檢查面板材有無不均勾之不均 勻檢查方法、使用該不均勾檢查方法之顯示面板之製造方 法、及檢查面板材有無不均勻之不均勻檢查裝置。 【先前技術】 々、衣这狀晶顯示面板時 曰无珂以來

，•外1 巧組衣佤您面扳 仃有無不均勻之檢查。因該不均勻檢查係藉由檢查員之 目視之感官檢查而進行，故存在檢查成本較高之問題。 因此’近年來，提出有如下技術：利用攝影機對作為檢 =象之面板材進行攝影，使用空間微分濾、波器等自動地 所取得之影料行不W之㈣（❹，參 :檢:：，：上述先前之自動檢查方法中，存在檢查結: 興檢查貝之感官檢杳之鉍罢 揿-之、，，。果不一致之問題，因此，上述方 法無法得以實用化。 [專利文獻1]日本專利特開2〇〇3-〇66398號公報 【發明内容】 [發明所欲解決之問題] ^發明之目的在於提供—種可取得與檢查員之感官檢查 、，-。果接近之結果的不均勻檢查方法、 一 方法之顯示面;fe之掣造方& S “不均勻檢查 &方法、及不均勻檢查裝置。 I·解決問題之技術手段] 本發明之—態樣係提供-種不均“查方法，其特徵在 】23829.doc 丄356163

於·其係檢查面板材有無不均勻者，且包括如下步驟：於 複數個級別之條件下’對成為檢查對象之上述面板材進行 攝影，取得複數張一次影像；對上述複數張一次影像實施 強調影像變化之處理，製成複數張二次影像；以特定之加 權合成上述複數張二次影像，製成合成影像；及根據上述 合成影像判定有無不均勻；且上述特定之加權以如下方式 決疋.針對產生不均勻之對照用之上述面板材製成上述複 數張二次影像’並合成該m彡像而製成合成影像時， 可區別產生上述不均勻之區域與除此以外之區域。 ^本發明另一態樣係提供一種顯示面板之製造方法，其特 徵，於包括：組裝顯示面板之步驟；及檢查上述顯示面板 上疋否產生不均勻之步驟；且於上述檢查步驟中，將上述 顯示面板作為上述檢查對象之面板材，並實施上述不均勾 檢查方法。 本發明之進而其他一態樣係提供一種不均

’、待徵在於.其係檢查面板材有無不均勻者，且包括： 影部，其於複數個級別之條件下，對成為檢查對象之上 板材進彳了絲，及運算部，其對藉由上述攝影所取得 ::張-次影像實施強調影像變化之處理，製成複數張 :衫像’以特定之加權合成上述複數張二次 ㈣像，並根據上述合成影像判定有無不均勾，·且上心 如下方式決定：針對產生不均勻之對照用之」 製成上述複數張二次影像，並合成該等二_ 成影像時，可區別產生上述不均句之區域與“ 123829.doc 1356163 以外之區域。 [發明之效果] 根據本發明，可實現可取得與檢查員之感官檢查之結果 接近之結果的不均勻檢查方法、利用該不均勻檢查方法之 顯示面板之製造方法、及不均勻檢查裝置。 【實施方式】 以下，一面參照圖式，一面就本發明之實施形態加以說 明。 首先’就本發明之第1實施形態加以說明。 圖1係例示本實施形態之不均勻檢查裝置的方塊圖β 如圖1所示，本實施形態中之不均勻檢查裝置1係檢查面 板材100有無「不均勻」之裝置。所謂「不均勻」係指， 於板狀之構件（面板材）之表面具有一定程度之面積且色調 或亮度等外觀與其他區域不同的區域，且可被識別為缺陷 者。面板材100係例如FPD(Flat Panel Display :平面面板 顯示裝置）等之週期地排列有複數個像素的顯示面板，例 如’係LCD(Liquid Crystal Display :液晶顯示裝置）。不均 勻檢查裝置1中，設置有攝影部2、運算部3、記憶部4及輸 入輸出部5。而且，運算部3分別與攝影部2、記憶部4及輸 入輸出部5連接。 攝影部2係於複數個級別之條件下對作為檢查對象之面 板材100進行攝影之裝置，例如，具備週期地排列有複數 個攝影元件之攝影裝置。所謂條件係指，例如，選自由攝 影角度、照明之亮度、變焦倍率、焦點位置、曝光量光 123829.doc 1356163 圈量及快門速度所組成之群中的丨種或2種以上之條件，當 面板材100係顯示影像之顯示面板之情形時，進而，顯示 於面板材之測試圖案之色調及灰階亦包含於上述條件中。 運算部3係如下部分：根據藉由攝影部2之攝影所得之攝 影影像取得複數張一次影像，對該等複數張一次影像實施 強調影像變化之處理，製成複數張二次影像，對該等複數 張二次影像進行合成，製成合成影像，並根據該合成影像 判定有無不均勻。當對二次影像進行合成而製成合成影像 時’使用預先輸入至記憶部4中之加權。再者，所謂「加 權」係二次影像之畫素值所乘以之1組係數，且係由與二 次影像之個數相同之數值所組成之組。該加權係以如下方 式而決定者，即，於針對產生不均勻之對照用之面板材製 成複數張二次影像，並對該等二次影像進行合成而製成合 成影像時，可區別產生不均勻之區域與除此以外之區域。 又，當面板材100係FPD之情形時，因FPD之像素之排列週 期與攝影部2之攝影元件之排列週期之差之原因，會使攝 影影像中產生疊紋（moire卜此時，運算部3將疊紋自攝影 影像去除後取得一次影像。運算部3例如藉由個人電腦之 CPU(Central processing Unit:中央處理單元）而構成，亦 例如兼作攝影部2及記憶部4之控制裝置。 記憶部4係如下裝置：記憶有藉由攝影部2之攝影動作所 取仔之次影像、藉由運算部3所使用之加權、以及藉由 運算部3所得之運算結果，亦即，二次影像、合成影像、 判定結果等。記憶部4藉由例如HDD(Hard Disk Drive :硬 123829.doc 磁碟驅動機）等記憶裝置所構成。 1輸出5係與使用者之間之介面，且係對運算部3給 入指令並顯示由運算部3輸出之資訊者。X，輸入輸出部; 亦係對4憶部4輸入上述加權時之介面。輸入輸出部5例如 藉由鍵盤及顯示器等所構成。再者，運算部3、記憶部4及 輸入輸出部5亦可藉由1台個人電腦而構成。 /、人就以如上所述之方式而構成之本實施形態之不均 勻檢查裝置的動作，亦即，本實施形態之不均勻檢 加以說明。 —^ 圖2係例示本實施形態之不均勻檢查方法的流程圖。 圖3係例示本實施形態之不均勻檢查方法中之影像資訊 的流程圖。 首先，預先於記憶部4中輸入對二次影像進行合成時之 加權。該加權係以如下方式而決定者，即，於準備已藉由 檢查員而判定為產生不均句之面板材，將該面板材作為對 照用之面板#，並針對該對照用之面板材製成複數張二次 影像，藉由上述加權對該等二次影像進行合成時，可區別 合成影像中產生不均勻之區域與除此以外之區域。例如， 上述加權以如下方式而決定，即，於與對照用之面板材相 關之合成影像中，以使產生不均勻之區域之亮度之熵與除 此以外之區域之亮度之熵的比值為最大值。該加權係針對 不均勻之種類所決定。 以此方式，將加權輸入至記憶部4後，對作為檢查對象 之面板材100進行檢查。以下，參照圖2及圖3加以說明。 123829.doc •10· 百先，如圖2之步驟S1所示，攝影部2於複數個級別之條 件下對面板材100進行複數次攝影。所謂條件係例如攝影 角度、照明之受度、變焦倍率、焦點位置、曝光量、光圈 置或快門速度，當面板材100係顯示面板之情形時，上述 條件亦可係顯示於該顯示面板之測試圖案之色調或灰階。 例如，使面板材100之攝影角度以3個級別進行變化並相 應進行3次攝影。藉此，自攝影部2對運算部3輸出例如3張 攝影影像201a、201b及201c(以下，總稱為「攝影影像 201」）。 其次，如步驟S2所示，運算部3根據各攝影影像2〇1取得 一次影像202a〜202c(以下，總稱為「一次影像2〇2」）。亦 即，根據攝影影像20la取得一次影像2〇2a，根據攝影影像 201 b取仔一次影像2〇2b，根據攝影影像2〇 1 c取得一次影像 202c。此時，若攝影影像產生疊紋，則進行去除疊紋之處 理。又，根據需要，進行提高對比度之晝質補正、及將影 像之形狀加以標準化之形狀補正等補正。再者，若沒有對 攝衫影像2 01進行處理及補正之必要，則直接將攝影影像 201作為一次影像202。 其次，如步驟S3所示，對複數張一次影像2〇2實施強調 影像變化之處理，並製成複數張二次影像2〇3。 例如’藉由將一次影像202a〜202c分別對空間進行微 分’製成空間微分影像204a〜204c(以下，總稱為「空間微 分影像204」）。 又’攀·成空間微分影像2 0 4之差影像2 0 5，上述空間微分 123829.doc 1356163 影像204係根據在彼此不同級別之條件下所攝影的2張一次 影像202所製成者。例如，根據空間微分影像204a及204b 製成該等之差影像205a，並根據空間微分影像204b及204c 製成該等之差影像205b。 進而，根據在彼此不同級別之條件下所攝影之3張一次 影像202a〜202c，製成1張和影像206。亦即，針對和影像 206之各區域（以下，稱作「特定區域」），按照特定比例， 將一次影像202a之相當於特定區域之區域的畫素值、一次 影像202b之相當於特定區域之相鄰區域之區域的晝素值、 一次影像202c之相當於特定區域之相鄰區域之相鄰區域之 區域的畫素值相加，作為和影像206之特定區域之晝素 值。將和影像206之整個區域依次作為特定區域並重複進 行上述加法運算，藉此製成和影像206。 空間微分影像204a〜204c、差影像205a及205b、以及和 影像206係二次影像203。 其次，如步驟S4所示，按照記憶於記憶部4中之特定之 加權對所有二次影像203進行合成，製成合成影像207。合 成影像207係針對加權，亦即，針對不均勻之種類而製 成。例如，當眾所周知之不均勻之種類為4種之情形時， 預先將加權設為4種並記憶於記憶部4中，並針對上述加權 製成4張合成影像207a〜207d。 其次，如步驟S5所示，根據合成影像207a〜207d來判定 有無不均勻。例如，當於所有合成影像207a〜207d中均未 發現不均勻之情形時，判定該面板材100為「無不均勻」， 123829.doc •12- 1356163 之 當於合成影像2〇7a〜207d中之至少]張影像中發現 清形時，判定該面板材1〇〇為「有不均勻」。 =二 根據本實施形態’以如下方式決定適用於圖2之步㈣ 所示之步驟"艮據二次影像製成合成影像時的加權，即， 可藉由本檢查方法，將已預先由檢查員判定為有 之 區域判定為有不均勾，且藉由本檢查方法，將已預先由檢 查貝判定為無不均句之區_定為無

現可取得與檢查員之感官檢查之結果接近之結：：： 檢查方法及不均勻檢查裝置。 其次，就本發明之第2實施形態加以說明。 本實施形態係顯示面板之製造方法之實施形態。 圖4係例示本實施形態之顯示面板之製造；法的流程 圖0 首先，如圖4之步驟S11所示，組裝顯示面板。其次，如 步驟S12所示’對經組裝之顯示面板進行不均勻檢查。此

時’於步驟S12所示之不均勻檢查步驟中，實施上述第嘈 施形態中之不均勻檢查方法（參照圖2)。藉此製造顯示面 板0 根據本實施形態，因可使不均勻檢查步驟自動化，故能 以高生產性製造顯示面板。 其次，就用以使上述各實施形態具體化之具體例加以說 明。 首先’說明第1具體例。 本具體例係上述第1實施形態之具體例。本具體例中之 123829.doc 13 1356163 不均勻檢查裝置係對作為面板材者，例如，構成行動電話 之顯示畫面之LCD進行不均句檢查。 ° ' 圖5係例示本具體例之檢查裝置的方塊圖。 • ® 6係例示投影至攝影面之顯#面板之像素與攝影機之 攝影元件之關係的圖。 ^ 如圖5所示，於本具體例中之不均勻檢查褒置以，設 置有攝影部2、運算部3、記憶部4及輸入輸出部$。而且， # 於攝影部2中設置有用以支持顯示面板HH之可動平臺6、 及對顯示面板101進行攝影之攝影機7。可動平臺6例如藉 由2軸測向台所構成，可沿著2軸獨立控制顯示面板之 姿勢。 又，攝影機7藉由CCD(Charge_c〇upled Device:電荷耦 合裝置）等週期地排列有複數個攝影元件之攝影裝置（未圖 示）、及使光聚集於該攝影裝置之光學系統（未圖示）所構 成。攝影機7之攝影裝置中之攝影元件之排列密度，大於 • 投影至攝影機7之攝影面之顯示面板101之像之顯示面板 像素之排列达、度。因此，攝影機7藉由複數個攝影元 ㈣顯示面板HH之各像素進行攝影而取得攝影影像。例

圖6所示，於攝影機7之攝影面，針對顯示面板"I 之丨個像素101a之像’以9行9列之矩陣狀，配置著總計Η 個攝衫機7之攝影元件7a。再者，所謂顯示面板之「像 素」係指由WRGB(Red Green Blue，紅綠藍）之畫素所組 成之顯示之基本單位。 進而，運算部3以於特定之範圍内使各區域之位置及面 123829.doc •14- 1356163 積為隨機之方式’設定攝影影像中之包含連續排列之複數 個晝素之區域，並對各個區域中所包含之複數個畫素進行 合成而形成1個畫素，藉此製成一次影像。 不均，勻檢查裝置11之除上述以外之構成與圖"斤示之不 均勻檢查裝置1之構成相同。 其次，就本具體例中之不均勻檢查裝i之動作，亦即， 本具體例中之不均勻檢查方法加以說明。 圖7係例示本具體例之檢查方法的流程圖。 圖8係例示顯示面板之像素與合成單位區域之關係的 圖。 圖9及圖10係例示本具體例之檢查方法中之影像資訊的 流程圖。再者，為了簡化圖示，圖9及圖1〇中僅表示部分 級另。 又’圖11(a)及圖11(b)係將橫軸為影像上之位置、將縱 軸設為係數而例示空間微分濾波器的圖表，圖u(a)表示組 合正與負2個高斯函數之濾波器，圖11(b)表示與圖u(a)相 同之由1個函數所表示之濾波器。 圖12係將橫軸設為影像上之位置、將縱軸設為係數而例 示製成和影像之方法的圖。 圖13(a)至圖13(d)係例示合成影像及二值影像的圖，圖 13(a)表示合成影像，圖13(b)表示對圖13(a)所示之合成影 像進行二值化所得之二值影像，圖13(c)表示其他合成影 像’圖13(d)表示對圖13(c)所示之合成影像進行二值化所 得之二值影像。 123829.doc •15· 1356163 圖14(a)係例示對照用面板之圖，圖14(b)係例示與圖 14(a)所示之對照用面板相對應之遮罩的圖。 以下，參照圖5至圖14加以說明。 首先，預先於記憶部4(參照圖5)中輸入表示對二次影像 進行合成時之加權的「權重參數設定」。且於以下對該權 重參數设定之具體決定方法加以敍述。於已將權重參數設 定輸入至記憶部4之狀態下，對作為檢查對象之顯示面板 101進行檢查。 首先，A如圖7之步驟S21所示般，藉由於保持顯示面板 101之狀態下驅動可動平臺6，攝影機7對顯示面板1〇1進行 攝影。藉此，一面使攝影角度變化，一面對顯示面板101 進行攝影。例如，一面使攝影角度於-30度至+30度之範圍 内變化’-面以-30度、，度、，度、_5度、。度、+5 度+10度、+2〇度、+30度之9個級別之攝影角度進行攝 從而取得攝影影像3 01。而且，將所取得之攝影影像 3〇1輸出至運算部3。再者，所謂「攝影角度」係指，連接 ”’、員不面板101之中心及攝影機7之直線與顯示面板表面 之法線所成之角度。 如圖所7F，當攝影角度較大而無法一次於顯示面板101 11 $聚焦之情形時’每次以1個級別之攝影角度取 得焦點位置彼I m · 罝伋此不冋之複數張攝影影像。藉此，利用任一 個攝影影像中 之&焦之區域301a，覆蓋顯示面板1〇ι之整 個區域。再去，！ 圓9中表示以攝影角度為+30度而取得3張 攝影影像之情形。 123829.doc 1356163 此時，如圖6所$，藉由例如以9行9列而排列之8ι個攝 影凡件7a’對顯示面板1〇1之各像㈣⑽行攝影。藉

此，攝影條件滿足取樣定理，攝影影像3〇1中未產生W 素H)U之排列週期與攝影元件乃之排列週期之干擾 之疊紋。 其次，如步驟S22所示，運算部3對攝影影像3〇1進行幾 何學補正以進行整形。亦即’因攝影機7與顯示面板⑻之 各部分之間之距離之不同，攝影影像3〇1會產生崎變故 藉由將攝影影像3〇1整形為固定之形狀，例如，成為與顯 不面板1G1之形狀相似之長方形，可使影像標準化。此 步驟S21所示之攝影步财’以1個級別取得焦點位 置彼此不同之複數張攝影影像之情形時，僅組合各 像之聚焦之區域3Gla(參照圖9)並作為旧影像之後’料 整形。藉此，取得整形影像3〇2。 因與顯示面板之傻音_ λ 之像素相比，整形影像之析像度較高，甚 至可對各像素進行攝 V故不適合抽出宏觀缺陷之不均 ^ °又，攝影影像之資料之尺寸較大，處理起來較不方 二^如步驟S23所示’縮小整形影像3〇2。具體而 “ΠΓ”列之矩陣狀連續排列之平均81個撮影書 =進：合成而製成1個晝素，藉此降低影像之析像度： 時，縮小後之影像之1個畫辛盥顯干面妬+ 像素心相對應。 畫素一面板ΗΠ之大致丨個 然而，若均勻地縮小 產生疊紋。$【像302 ’則縮小後之影像會 ' ，如圖8所示，於縮小前之影像中，於特 123829.doc 17 定之範圍内，隨機地設定縮小後成為1個晝素之區域（以 下’稱作「合成單位區域302a」）之面積及中心C之位置。 例如’於自9行9列之晝素區域至11行11列之畫素區域程度 之範圍内’隨機地設定合成單位區域之面積，並於自基準 位置在上下左右丨個晝素程度之範圍内，隨機地設定中心c 之位置°又’整形影像之縮小係藉由附加由高斯函數所表 不之權重而進行，該高斯函數之係數亦隨機地設定。 具體而言，將影像之縮小率設為N，將縮小後之影像之 位於座標（X，y)之晝素的畫素值設為ρ(χ，y)，將縮小前之 原影像之位於座標（X ’ γ)之畫素的畫素值設為ρ(χ，Y)， 將原影像之各影像單位區域内位於座標（i，j)之晝素之權 重函數設為W(i，j)，將取（-1)至（+1)之範圍内隨機值之隨 機數設為rndl、rnd2、rnd3時，根據下述數式丨及數式2算 出~小後之景> 像之畫素值Ρ(χ，y)。 [數1] 3N~\ 「S茗吟，·^尸⑽+ ζ·，外”·） y) ~~3W-1 3N-\ ΣΣΗυ) j=0 i=0 • N ι + — xrnal 2 • N ^ 1H——x rnd2 2 [數2] = βχΡ" ~ 2x(3N + rnd3) 根據需要，對以此方式縮小之影像實施提高對比度等之 123829.doc •18· 1356163 處理。藉此，取得一次影像303。 其次，如圖10及圖7之步驟S24所示，進行一次影像303 之空間微分，製成空間微分影像304。具體而言，對各一 次影像303，使用如圖11(a)所示之組合正與負2個高斯函數 之濾波器。亦即，對一次影像303，進行多工核心尺寸之 多維濾波。該濾波器中，負高斯函數較正高斯函數更寬， 峰高之絕對值變小。藉此，空間微分影像304成為對一次 影像303中之空間影像之變化進行強調後所得之影像。例 如，根據1張一次影像303，製成高斯函數之形狀不同之2 種空間微分影像304a及304b，接著，製成自空間微分影像 304a減去空間微分影像304b所得之差影像（空間微分影像 304c)及自空間微分影像304b減去空間微分影像304a所得 之差影像（空間微分影像304d)。 又，圖11(b)所示，準備2種包含1個函數之濾波器，該濾 波器與包含圖11(a)所示之2個高斯函數之濾波器大致相 同，藉由將上述2個濾波器用於一次影像303，而製成空間 微分影像304e及304f。以此方式，根據1張一次影像303製 成6張空間微分影像304。 其次，如步驟S25所示，根據空間微分影像304中由同種 濾波器所製成且攝影角度之級別差1個級別之2張影像，形 成1張差影像305。例如，如圖10所示，自攝影角度為+30 度之空間微分影像304a，減去攝影角度為+20度之空間微 分影像304a，製成差影像305a。又，自攝影角度為+30度 之空間微分影像304b，減去攝影角度為+20度之空間微分 123829.doc 19 影像304b’製成差影像305b。同#，自攝影角度為以度 之空間微分影像304c〜304f ’減去攝影角度為+2〇度之空間 微分影像304c〜304f’製成差影像3〇5c〜3〇5卜進而，關於 其他攝影角度，亦以相同方式製成差影像305。差影像305 成為對由攝影角度之變化而引起的影像變化進行強調後所 得之影像。 另一方面，如步驟S26所示，與步驟S24及S25所示之步 驟不同，根據以連續級別之攝影角度所攝影之3張一次影 像303，製成！張和影像306。具體而言，例如，如圖^所 示，對3張一次影像，使用具有丨個最大值與夾著該最大值 之2個最小值的函數F(x)e亦即，將和影像個畫素 (以下’稱作「特定畫素」）之畫素值設為下述（丨）〜（3)之值 之和。 (1) 將攝影角度為+30度之一次影像303中之包含與上述 特定晝素相對應之畫素的區域R1(特定區域）之晝素值乘以 函數F(x)所得的值。 (2) 將攝影角度為+20度之一次影像303中之夾著區域R1 之區域R2的畫素值乘以函數F(x)所得的值。 (3) 將攝影角度為+10度之一次影像303中之失著區域R1 及R2之區域R3的畫素值乘以函數F(x)所得的值。 再者，各區域R1~R3中所包含的畫素數為任意。 而且，藉由將和影像306之各畫素作為特定晝素重複進 行上述計算，製成和影像306。和影像306成為對由空間影 像之變化及攝影角度之變化而引起的影像之變化之雙方進 123829.doc -20· 1356163 行強調後所得之影像。 其次，如步驟S27所示，對所有二次影像進行合成，亦 即，對空間微分影像304、差影像305及和影像3〇6進行合 成，形成合成影像3 0 7。當攝影角度為9個級別之情形時， 因空間微分影像304之張數為54張（9個級別x6張），差影像 305之張數為48張（8個級別χ6張）’和影像3〇6之張數為7張 (7個級別），故對總計為109張之二次影像進行合成，形成J 張合成影像307。又，當亦使攝影角度以外之條件改變而 進行攝影之情形時，亦一併對根據該等攝影影像所獲得之 二次影像進行合成。此時，對二次影像進行合成時之「權 重參數設定」，係使用記憶於記憶部4(參照圖5)中之權重參 數設定，亦即，針對欲檢測之不均勻之種類而設定的權重 參數设定。以此方式，針對不均勻之種類形成合成影像。 其次，如圖13及步驟S28所示，以特定之閾值對合成影 像307進行二值化，形成二值影像3〇8，並識別有無不均 勻。亦即，以特定之閾值對圖13(a)及圖13(c)所示般之合 成影像307進行二值化，形成分別如圖（b)及圖（d)所示般之 二值影像308，並識別有無不均勻31〇。 其次，如步驟S29所示，根據該識別結果來判定有無不 均句。亦即，當眾所周知之不均勻之種類僅為1種時，步 驟S28中之識別結果則直接為判定結果。另一方面，當眾 所周知有複數種不均勻，製成複數張合成影像3〇7之情形 時，製成複數張二值影像3〇8並進行或（〇R)運算，當識別 出至；1張合成影像307中產生不均勻之情形時，判定為 123829.doc -21 - =有^均勻」’當所有合成影像3G7中均未識別出產生不均 二 '月开y時’判定為「無不均勻」。再者，此時，可藉由 不均勻之面積按等級劃分產生不均句之程度，或者，亦可 =於各合成影像3G7使用彼此不同之閾值形成複數張二值 並藉由不均勻與其周圍之灰階差，按等級劃分產生 不均勻之程度。 、下就權重參數設定之決定方法加以說明。首先，如 圖14(a)所不，準備已藉由檢查員判定為產生不均勻之顯示 面板’將該顯示面板作為對照用面板1〇lb。而且，對照用 面板ioib中，對產生不均勻31〇b之區域3ιι進行特別規 疋又將對照用面板1 〇 1 b中除區域3 11以外之區域作為 區域3 12。 其次，如圖14(b)所示，製成與對照用面板1〇lb相對應 且可區別區域311與區域312之遮罩32〇。再者，當針對相 同種類之不均勻準備有複數張對照用面板101b之情形時， 製成與各對照用面板101b相對應之複數張遮罩32〇。 其次，對對照用面板1011)實施如圖7之步驟S21至S26所 示之步驟，製成複數張二次影像。接著，任意設定權重參 數设定之初始值，製成合成影像。繼而，對上述合成影像 使用遮罩320，分別求出區域311之亮度之熵與區域312之 亮度之熵。此時，當對照用面板1〇lb為複數張之情形時， 累加與所有對照用面板10比相關之資料，並分別求出區域 3 11之痛及區域3 12之網。 般而5 ,影像_之某區域中若影像之變化較激烈，則 123829.doc •22- 該區域之亮度之變化增大，製成表示每亮度之出現概率之 直方圖時’上述亮度之出現概率之分布不均勻。如此一 來i該不均勻之區域之亮度之熵增大。將亮度設為厂將 某儿度f之出現概率設為p(f)，將亮度f之灰階數設為l時， 熵仏藉由下述數式3而表示。 [數3]

^=|/(/)l〇g2^ 利用以此方式所求出之熵，求出區域311(產生不均勻之 區域）之焭度之熵與區域312(未產生不均勻之區域）之亮度 之熵的比值。以下，將該比值稱作「熵比」。若利用數式 來表示熵比’則為如下所示。 熵比==(有不均勻區域之熵）/(無不均勻區域之熵）

其次，進行收斂運算，以使熵比為最大之方式，調整構 成權重參數設定之各參數值。具體而言，自權重參數設定 中選擇1個參數，於使該參數以外之參數值固定之狀熊 下，將該1個參數值自當前值變為固定量較大之值及固定 量較小之值。而且’將上述3個值中熵比最大之值設為上 述參數之新值。重複進行上述操作，即使熵比達到最大 值，亦暫時固定上述參數值。 其次’選擇另一個參數’進行相同之操作，將上述另一 個參數值調整為熵比為最大之值。對所有參數進行上述調 整。而且’重複進行對所有參數之調整，直至熵比收傲為 固定值為止。藉此，可決定熵比取最大值之權重參數設 123829.doc •23 · 疋°之後’將該經決定之權重參數設定記憶於記憶部4 S不均勻之種類為複數種之情形時，針對不均 勻之種類，決定權重參數設定。

以 方 "V 巧’以如下方式決定權重參數設定，即，針對產 生不均勻之對照用之面板材製成複數張二次影像，並對該 等一夂衫像進行合成而製成合成影像時，可區別產生不均 勻之區域與除此以外之區域。 以下’就本具體例之效果加以說明。 本具體例中’於如圖7之步驟S24〜S26所示之步驟中，根 據_人影像製成二次影像時，製成強調空間影像變化之空 間微刀〜像、強調由攝影角度之變化而引起之影像變化的 差〜像、強調由空間影像變化及攝影角度變化而引起的影 像良化之雙方的和影像。該等處理與藉由人的視覺所進行 之處理類似。以下’就該點加以詳細地說明。 办人的視網膜中具有輸入有來自視覺細胞之信號的「無長 大、田胞」可知§亥「無長突細胞」中，具有強調視覺之空 1變匕之細胞、強調時間變化之細胞、及強調時空變化之 、胞因此’人可容易地識別空間上、時間上及時空上發 生變化之對象因&，可推斷’對顯示面板進行目視檢查 之檢查貝’可檢_藉由先前之不均句檢查裝置難以檢^ 的缺’係基於如此之無長突細胞之功能而實現。例如， 可推斷，檢查員受到可強調空間變化之細胞的支持，而識 別出顯示面板之某區域之色調與所鄰接之區域之色調之間 的微小差異，可將存在該差異之區域判定為不均勾。 123829.doc -24. 1356163 又，可推斷，當檢查員—而许 _ _ — 變顯示面板之角度一面觀察 該顯示面板時，受到強瑞性pq趟1 J強調時間變化或時空間變化之細胞的 支持，而可檢測出僅自箪&庠 9杲角度硯察時識別之不均勻。 因此’本具體例中，藉由模擬如此之人的視覺之支持功 月:’可獲得接近人的感官檢查之結果。亦即，於本具體例 如/驟S24所不’藉由根據_次影像製成空間微分影 強調空間變化，以模擬利用無長突細胞之強調空間變 化的作用。 又’當檢查員—面改變顯示面板之角度一面進 時’於本具體例中，如步 ’、 π…4 如肩25及S26所示，根據藉由彼此 ==攝㈣度所攝影之-次影像求出差影像及和影像， 模擬覺之時間轴之變化替換為攝影角度轴之變化，以 的二繼細胞之強調視覺時間上及時空間上的變化 的：用。亦即，當檢查員一面改變顯示面板 :觀察時’使時間輛與角度罐件轴)朝向相同方向： 強調時間轴之變化。與此相對，本具體例之 像處理—裝置中’藉由進行如強調角度軸之變化般之影 像處理’可獲得與檢查員之視覺相同之效果。 再者，本具體例中，已就改變作為攝 之例加以說明，但本實施形態不限於此。例如，== 之不均匀Φ f左+, 顯不面板 面板發出"“下不均勻，即，該不均勻僅於使顯示 即使係辟- 胃檢-員檢查如此之不均勻之情形時， 使顯不面板僅持續發出綠色之光，亦難以檢測不均 123829.doc •25· 勺 而右使顯示面板之發井多适 ^ Μ㈣地變化，則當發光色變 為、·表色時，可容易檢測到該不均 色變 調現覺之時間變化之細胞的作強 離，以递奴加Ζ ^ 根據本實施形 -、以複數個級別來設定使作為檢杳斜象夕翁 之測铽®安ΑΑ Α —對象之顯示面板顯示 之I式圖案的色調，並於各 蘚此们m …下對顯不面板進行攝影， 糟此了杈擬如上述般之感宫檢查。 又，本具體例中，以如下方式 ,,.L 、水决疋根據二次影像而智 成δ成影像時所使用的權 古汰 ^ 致°又疋，即，可藉由本檢查 方法’將已由檢查員判定為右 q m‘ 疋為有不均勻之區域判定為有不均 勻且藉由本檢查方法，將由拾击。±, 田檢查員判定為I不均勺之ρ 域判定為無不均句。亦即 m勾之£ „ ^ ^ 夹疋權重參數設定時，進行與 感B檢查之相當之檢查。 ’ 藉此，例如，對於若非特少 攝衫角度則無法識別之不 均勻而言，藉由對出現該不均 _ A. ^ ^之攝衫角度附加較高之加 權，旎可靠地進行檢測。又， 將如顯不面板之發光不均或 仏一用之照明光之反射般，由拾志吕 田檢查員可明確判斷為非不均 勻之影像内之異常區域，自人 .^ S 〇成衫像中去除。進而，以此 方式’藉由決定權重參數設定 默°又又，可使檢查之結果更接近感 官檢查之結果。一般而*i·，， S 開始進行不均勻之檢查的人， 無法檢測到不均句。缺而 —， 然而’糟由積累不均勻檢查之經驗， 可逐漸檢測到不均勻。拖丨 、 推測此係因為藉由人腦之學習，可 使視覺資訊最佳化，從而交 ^谷易檢測到不均勻。本具體例 中’藉由以如上所述之方★ 方式決疋權重參數設定，可模擬人 腦之可塑性，從而可择取6 取_有經驗之檢查員之學習成果。 123829.doc •26- 1356163 進而’本具體例中，當對顯示面板進行攝影時，藉由複 數個攝影元件對顯示面板之各像素進行攝影。又，針對以 此方式所取得之攝影影像，根據屬於合成單位區域之複數 個晝素而合成1個晝素，藉此製成析像度較攝影影像之析 像度更低之一次影像。而且，此時，藉由上述數式丨及數 式2’於特定之範圍内，隨機地設定各合成單位區域之位 置及面積以及各畫素之加權。以此方式，當根據攝影影像 製成一次影像時，藉由進行隨機取樣，破壞影像之週期 性，從而可抑制疊紋。又，藉由降低一次影像之析像度， 可減少以後處理中之計算量，從而可提高處理速度。 再者，本具體例中，表示有為了控制攝影角度而於攝影 部2上設置可動平臺6之例，亦可固定顯示面板ι〇ι，而使 攝影機7移動。又，攝影角度之級別並不限於上述之例， 例如，可沿著2轴變化。進而，上述權重參數設定之決定 方法中使各參數自某初始值開始，藉由收傲運算以使熵 比增加的方式重複進行修正，並使該熵比收斂為固定值， 因此可進行熵比為最大值之權重參數設定，但該最大值並 不-定為最大值。因此，若初始值不同，則可能收斂為不 同之結果。與此相對，藉由採用如下方法，可規避將權重 參數設定為不適當之值的危險性，上述方法為：隨機地設 定複數個初始值並進行收斂Μ，於收斂之結$中，採用 熵比為最大之結果，或者，使用基因演算法或退火演算法 等不易限於極值之演算法。 其次’就第2具體例加以說明。 123829.doc •27· 本具體例之不均勻檢查裝置中，於圖5所示之攝影機7上 2裝有遠心透鏡（未圖示）。藉此，自斜向對顯示面板ι〇ι進 仃攝〜時可於整個顯示面板聚焦。又，可抑制攝影影像 中，因攝影機7與顯示面板1〇〇之各部分之間之距離之不均 引起之4V像之畸變。其結果，於如圖7之步驟以1所示之 攝影步騾中，當以較大之攝影角度進行攝影之情形時，可 僅取仔1張攝影影像’ χ，於如步驟奶所示之整形步驟 中，可谷易進行整形處理或無須進行整形處理。本具體例 中之除上述以外之構成、動竹Λ 再风動作及效果與上述第1具體例相 同。 其次’就第3具體例加以說明。 圖1 5係例示本且體你丨φ夕τ ^ 學模型圖。不均句檢查裝置之攝影部的光 圖16係例示本具體例中所取得之攝影影像的圖。 如圖15所示，本具體例中 例中之不均勻檢查裝置之攝影部12 ’以介於自攝影機7直至作為檢查對象物之顯示面板ι〇ι 之光路之間的方式，設置右& & # & 係彻又罝有多面稜鏡18。多面稜鏡18 糸例如其中一個面被劃 ^ ^ 劍刀為3仃3列之矩陣狀、且以彼此不 度切割各區域所得之板狀透明構件。 又攝影部12中，並未兮§右-Γ44* 杆夕 禾。又有可變平臺6(參照圖5)，取而 代之’設置有固定平臺16。 如圖1 5所示，本具體例 之9钿+ 自顯不面板101向彼此不同 個方向所射出之光，藉由 而直/ a 田通過多面稜鏡18後折射，從 八仃進方向變為同一方向， 從而到逹攝影機7。藉此， 123829.doc •28· 1356163 如圖16所示，攝影機7可自彼此不同之9個方向同時對顯示 面板ιοί進行攝影。其結果，所取得之攝影影像3〇ib中不 記錄有自彼此不同之9個方向所觀察之顯示面板1〇1。 根據本具體例，無須如上述第丨具體例般，一面改變顯 示面板101之姿勢一面重複進行攝影，而藉由丨次攝影即 可利用複數個級別之攝影角度對顯示面板1〇1進行攝影。 藉此，可減少攝影角度之變更所需要之時間，從而可提高 檢查效率。又，因無須可變平臺，故可降低檢查裝置之2 本。本具體例中除上述以外之構成、動作及效果與上述第 1具體例相同。 再者，本具體例_，已表示將多面稜鏡18配置於攝影機 7與顯示面板101之間之例，但本實施形態不限於此，例 如，可將多面稜鏡裝入攝影機之内部，或者，可將構成攝 影機之透鏡中之1張以上之透鏡加工為多面稜鏡狀。或 者，亦可將複數張反射鏡以實現與多面稜鏡相同之光學作 用的方式而配置。 其次，就第4具體例加以說明。 圖17(a)至圖17(f)以及圖18(a)及圖18(b)係將橫軸設為影 像上之位置或頻率、將縱軸設為信號之強度，例示本具體 例中之信號處理方法的圖表。 本具體例中，與上述第1具體例不同，於如圖7之步驟 S21所不之攝影步驟中，將攝影機7之攝影面中之攝影機7 之攝影兀件的密度設為顯示面板1〇1之像素密度程度。亦 即，藉由攝影機7之約1個攝影元件對顯示面板i 〇丨之i個像 123829.doc -29- 丄356163 素進行攝影，但不進行如步驟S23所示般之整形影像之縮 小。代替此，對步驟S22中所製成之整形影像進行以下所 示之信號處理。

圖17(a)及圖17(b)例示作為檢查對象之顯示面板1〇1所輸 出之影像之信號。亦即，圖17⑷及圖17(b)之橫軸表示影 像上之位置，縱軸表示信號之強度，圖17(a)表示自正面、 亦即攝影角度為0度之方向觀察上述顯示面板之情形，圖 17(b)表示自正面傾斜45度之方向，亦即，攝影角度為^度 之方向觀察上述顯示面板之情形。 若藉由攝影機對如此之顯示面板進行攝影（步驟s2i)、 形（y驟S22) ’則該整形影像之信號成為分別如圖p(c) 及圖17⑷所示之信號。上述整形影像中出現有因顯示面板 之像素之排列週期與攝影機之攝影元件之排列週期之干擾 所產生之疊紋，從而難以進行不均勻檢查。 因此，如圖Ϊ7⑷及圖17⑴所*，對該信號進行所❿“

Transf〇rm :快速傅立葉轉換），將該信號自空間軸 之信號轉換為頻率軸之信號。若將攝影機中之攝影元件 (例如，CCD)之排列頻率設為&，將攝影機之投影面中之 顯示面板⑼如’ LCD)之像素排列頻率設為&，將產生於 不均勾之空間頻率設為fs，則疊纹及不均勻之 空間上之頻率於攝影角度為0度時與為45度時，按昭下述 表1所述般進行變化。 、 123829.doc -30· [表1] 頻率 攝影角度 疊紋 不均勻 0度 1 f〇 —fr 1 fs 45度 1 2fD —fc 1 2fs 如表1所示’若改變攝影角度，則疊紋之頻率與不均勻 之頻率彼此按照不同之方式而變化。尤其當攝影元件之排 列頻率fc與由像素之排列所決定之頻率fD，取充分接近於 不均勻之頻率fs之值時，伴隨攝影角度之變化，頻率之變 化的差異尤為顯著。因此，如圖17(e)及圖17(f)所示，可 對頻率轴之信號中之疊紋頻率成分加以特別規定。 而且’自圖17(e)及圖17(f)所示之信號中去除疊紋之頻 率成刀。藉此’可取得圖18(a)所示之信號。接著，對圖 1 8(a)所示之信號進行逆FFT，將該信號自頻率軸之信號轉 換為空間軸之信號。藉此’可取得如圖18(b)所示之空間軸 之乜號。藉由以上處理，可自攝影影像中去除疊紋。將該 影像作為一次影像。以後，實施圖7之步驟S24以後所示之 步驟。 本具體例與上述第1具體例相比’可降低攝影機之析像 並"T抑制不均勻檢查裝置之成本。又，因可減少整形 步驟（步驟S22)中所需處理之資料量，故可提高處理速 度。本具體例中之除上述以外之構成、動作及效果與上述 第1具體例相同。 其次，就第5具體例加以說明。 123829.doc -31 - 1356163

藉由攝影所取得之攝影影像t 之不均句之外，亦會出現亮度分布 稱作「疑似不均勻」）。如此之疑似 示面板之光學設計而引起 起。對於因顯示面板之光學設計 有時除了作為檢查對象 不均一之區域（以下， 不均勻中，有時因顯 有時因攝影部之光學特性而引 而引起之疑似不均勻而 言’例如’有時因擴散板之不均一性、自導光板向液晶面 板之光的射出方向之偏移、及液晶面板之視野角等所引 起。當出現如此之疑似不均勻之情形時，4了對作為檢查 對象之不均勻進行高精度地檢測，必須對疑似不均勻與作 為檢查對象之不均勻加以識別。

因此，本具體例中，預先製成包含疑似不均自但不包含 不均勻之基準影像。具體而言，對於因顯示面板之光學設 計而引起之疑似不均勻，根據該顯示面板之設計資料進行 光線軌跡模擬（ray_trace simulation)，並計算自顯示面板之 身光所射出之光線之軌跡。而且，根據該計算結果，考慮 顯示面板與攝影機之位置關係，推定攝影影像之亮度分 布。又’對於因攝影部之光學特性而引起之疑似不均句， 利用積分球進行檢測。藉此，算出攝影影像中所出現之疑 似不均勻，並製成基準影像。 而且’於圖7之步驟S22所示之取得整形影像之步驟中， 自根據作為檢查對象之顯示面板所得之整形影像減去基準 影像°亦即’求出整形影像與基準影像之差影像。之後， 利用該差影像，實施步驟S23以後所示之步驟。 先前’於產生如上述般之疑似不均勻之情形時，難以 ^23829.d〇i •32- 1356163 ㈣識別疑似不均㈣檢查對象之不均句，而必須依賴檢 查員進行判別。從而成為妨礙不均勻檢查之自動化之主要 原因。然而，根據本具體例’即使於產生疑似不均句之情 形時，亦可高精度地自動地進行不均勾之檢測。本具體例 中之除上述以外之構成、動作及效果與上述約具體例相 同。 其次，就第6具體例加以說明。

本具體财，預先取得複數張良品之顯示面板之攝㈣ 像’製成該等之平均影像。其次，對該平均影像進行整 形’並作為基準影像。以後之步驟與上述第5具體例相 同。亦即，於如圖7之步驟S22所示之步驟中，自根據作為 檢查對象之_示面板所得之整形影像減去基準影像，求出 差影像，並利用該差影像，實施步驟⑵以後所示之步 驟。本具體例中亦可取得與第5具體例相$之效果。 其次，就第7具體例加以說明。 圖！9係例禾本具體例中之不均句檢查方法的流程圖。 圖2〇⑷至圖2〇(c)係例示本具體例之預備檢查中所取得 之一次影像的模式圖。 于 如圖所示，本具體例中，首先，如步驟S3i所示，對 作為檢查對象之所有顯示面板進行預備檢查。而且，該預 備檢查之結果為，僅對被判定為產生不均句之可能性^高 之顯示面板進行如步驟S32所示之正式檢查。 门 於如步驟S31所示之預備檢查中，設定複數組由攝影角 度放大率率(變焦倍率)等條件所組成之組，針對該等條 123829.doc •33· 1356163 件將判疋基準设為過度檢測，並實施 之不均勻檢查。而且，以檢測 “第1具體例中 僅使各條件之級別改變，並再次將中心， 檢測而實施不均勻檢查。例如，設定3個條；，：= 測不均勻之條件料基本條件，使放大率 將檢 密度與顯示面板之像素密度之 W 70件 s、 、°玄基本條件的條件 —更條件）’使攝影角度不同於基本 影角度變更條件）。又，本且心由 的條件（攝

本具體例中，至少於基本條件 中，藉由大致-個攝影元件對顯示面板之各像素進行攝 影0 以此方式進行預傷檢查時，取得如圖2〇⑷至圖2〇⑷所 不般之-次影像。圖20⑷係藉由基本條件所取得之影像， 圖20⑻係藉由放大率變更條件所取得之影像，圖2〇⑷係 藉由攝影角度變更條件所取得之影像。該預備檢查中，因 將判定基準設為過度檢測，故除了整個影像之亮度差處於 固定之範@内的部分、亦即攝影影像之亮度分布平坦之部 分之外的部分’被判定有可能產生不均勾。例如，攝影影 像中出現疊紋及照明之反射等情形時，無論有無不均勻， 均被判定為有可能產生不均勻。 因此，藉由對攝影條件彼此不同之攝影影像之間進行比 較，識別疊紋及照明之反射’並將其排除於檢查對象之 外。亦即，將圖20(a)與圖20(b)加以比較，兩者放大率不 同，疊紋332之出現形態變化。與此相對，不均勻331之出 現形態未變化。利用該出現形態之差異識別出疊紋，並將 123829.doc • 34 - 該疊紋排除於檢查對象之外。又，將圖20⑷與圖20⑷加 以比較，兩者攝影n声尤 又不问’因此照明之反射333之出現 4變化。與此㈣，不均勾331之出現形態未變化。藉 此識別出照明之反射，並將其排除於檢查對象之夕卜以此 方式，抽出產生不均勾之可能性較大之顯示面板。 而且’僅對以此方式所抽出之顯示面板實施如步驟S32 所7F之正視檢查。此時，預備檢查中，大致於判定為產生 :均句之可能性較大之條件下，使攝影條件細微地變化進 订攝影。步驟S32所示之實際檢查與上述第1具體例中之不 均勻檢查相同。 根據本具體例’藉由進行預備檢查，可限制實際檢查中 作為檢查對象之顯示面板之數量及條件之級別數，因此， 可縮短實際檢查中所需要之時間。另一方面，於預備檢查 中，以較少之級別數，使用析像度較低之影像進行檢查， 因此所需要之時間較短。藉此，可縮短整個檢查所需要之 時間。以此方式，根據本具體例，可於確保檢測精度之同 時縮短檢查時間。 其次’就第8具體例加以說明。 本具體例係上述第2實施形態之具體例，更詳細而言， 係圖4之步驟S11所示之顯示面板之組裝步驟之具體例。本 具體例中’就組裝LCD作為顯示面板之例加以說明。 首先’製作陣列基板。具體而言，例如，使多晶矽層成 長於玻璃基板上，並於該多晶矽層上形成閘極絕緣膜，於 該閘極絕緣膜上形成閘極電極，將該閘極電極作為遮罩而 123829.doc -35- 1356163 將？離子摻雜於多晶碎層中。藉此，製作TFT(Thin Film —:薄膜電晶體)。而且，以覆蓋閘極電極之方式 ^成層間絕緣膜，並於層間絕緣膜上形成接觸孔，於層間 、-巴緣膜上形成配線。藉此，於玻璃基板上 畫素電路:之後，形成平坦化之膜，並形成由： tin Oxuie ·氧化矽銦）等所構成之畫素電極，針對單元陣 歹J形成衫色濾光片（C0A : c〇1〇r fUter 〇n Amy，彩色濾光 片陣列）。 乂 4Kt

另一方面，於其他玻璃基板上形成由IT〇等所構成之對 向電極，製作對向基板H，使液晶訂至各陣列基板 上’並貼合對向基板以密封兩基板之間。藉此，製造 LCD。之後，如圖4之步驟S12所示’進行不均勻之檢查。 該檢查可適用於上述第丨至第7中任一項之具體例。

以上，參肖實施形態及具體例對本發明^容加以說 明，但本發明不限於該等實施形態及具體例。例如，上述 各具體例中，表示了對LCD等顯示面板進行檢查之例，但 本發明不限於此，例如，亦可適用於對pDp(piasma Display Panei :電漿顯示面板）之不均勻檢查。又，本發明 中’只要出現不均句狀之缺陷，則可將任_者作為檢查對 象，例如，可適用於塗裝之外觀檢查等。 又，上述各具體例中，表示了主要使攝影角度變化來作 為攝影條件之例’但本發明不限於此，例如，亦可使照明 之亮度、變焦倍率、焦點位置、曝光量、光圈f及快門速 度中1種以上之條件變化，當檢查對象為顯示面板之情形 123829.doc •36· 時’除了該等條件之外，亦可使顯示於顯示面板之測試圖 案之色調及/或灰階變化。 進而，上述各具體例只要於技術性可行之範圍内，可進 仃各種組合。又，業者對上述各實施形態、各具體例及組 合该等各具體例之例，進行適當設計變更以及構成要素之 追加及刪除，只要包含本發明之要旨，則包含於本發明之 範圍内。 【圖式簡單說明】 圖1係例示本發明之第1實施形態之不均勻檢查裝置的方 塊圖。 圖2係例示第1實施形態之不均勻檢查方法的流程圖。 圖3係例示第1實施形態之不均勻檢查方法中之影像資訊 的流程圖。 圖4係例示第2實施形態之顯示面板之製造方法的流程 圖。 圖5係例示第1具體例中之檢查裝置的方塊圖。 圖6係例示第1具體例中，投影至攝影面之顯示面板之像 素與攝影機之攝影元件之關係的圖。 圖7係例示第1具體例中之檢查方法的流程圖。 圖8係例示顯示面板之像素與合成單位區域之關係的 圖。 圖9係例示第1具體例之檢查方法中之影像資訊的流程 圖。 圖10係例示第1具體例之檢查方法中之影像資訊的流程 123829.doc -37· 1356163 圖。 圖U係（a)及圖11(1))係將橫軸設為影 之位置、將縱 軸。又為係數而例示空間微分濾波 ^ J圃衣，圖11(a)表示組 口正/、負2個向斯函數之濾波器， n ^ , wm 固U(b)表不與圖11(a)相 冋之由1個函數所表示之濾波器。 圖12係將橫轴設為影像上之位置 示製成和料之方㈣^ ㈣軸^絲而例 參 圖13(a)表不合成影像， 马()表不對圖13(a)所示之合成 办像進仃一值化所得之二值影像， 櫝，圃1J(C)表不其他合成影 圖（)表示對圖13⑷所示之合成影像進行二值化所 得之二值影像。 』值化所 圖14(a)係例示對昭用而虹 …用面板的圖，圖14(b)係例示與圖 14⑷所不之對照用面板相對應之遮罩的圖。 圖15係例示第3且體存丨| φ夕尤％ 光學模型圖。 不均勻檢查裝置之攝影部的 圖16係例示第3具體例中所取得之攝影影像的圖。 圖17⑷至圖17(f)係、將橫轴設為影像上之位置或頻率、 將縱轴設為信號之強度，而例 向例不本具體例中之信號處理方 法的圖表。 圖18係(a)及圖18(b)係將橫軸設為位置或頻率將縱軸 設為信號之強度’而例示本具體例中之信號處理方法的圖 表。 圖19係例示第7具體例中之不均句檢查方法的流程圖。 I23829.doc -38- 1356163 圖20(a)至圖20(c)係例示本具體例之預備檢查中所取得 之一次影像的模式圖。 【主要元件符號說明】

1 ' 11 不均勻檢查裝置 2、12 攝影部 3 運算部 4 記憶部 5 輸入輸出部 6 可變平臺 7 攝影機 7a 攝影元件 16 固定平臺 18 多面稜鏡 100 面板材 101 顯示面板 101a 像素 101b 對照用面板 201 、 201a 、 攝影影像 201b > 201c 202 、 202a ' 一次影像 202b 、 202c 203 二次影像 204 、 204a 、 空間微分影像 204b 、 204c 123829.doc •39· 1356163

205 、 205a 、 205b 206 207、207a、207b、 207c、207d 301 、 301b 301a 302 302a 303 304a~304f 305a~305f 306 307 308 310 、 310b 311 ' 312 320 331 332

333 C 差影像 和影像 合成影像 攝影影像 聚焦區域 整形影像 合成單位區域 一次影像 空間微分影像 差影像, 和影像 合成影像 二值影像 不均勻 區域 遮罩 不均勻 疊紋 照明之反射 中心 123829.doc

Claims (1)

1356163 第096131718號專利申請案 中文申請專利範圍替換本(100年6月） 十、申請專利範圍： 1. 一種不均勻檢查方法，其特徵在於：其係檢查面板材有 無不均勻者，且包括如下步驟： 於複數個級別之條件下，對成為檢查對象之上述面板 材進行攝影，取得複數張一次影像； 對上述複數張一次影像實施強調影像變化之處理，製 成複數張二次影像； 將上述複數張二次影像以特定之加權予以合成，製成 合成影像；及 根據上述合成影像來判定有無不均勻；且 上述特定之加權以如下方式決定：針對產生不均勻之 對照用之上述面板材製成上述複數張二次影像，並合成 該等二次影像而製成合成影像時，可區別產生上述不均 勻之區域與除此以外之區域； 上述面板材係顯示影像之顯示面板； 於取得上述一次影像之步驟中，將選自由攝影角度、 照明之亮度、變焦倍率、焦點位置、曝光量、光圈量、 快門速度及顯示於上述顯示面板之測試圖案之色調及灰 階所組成之群中的1種以上之條件，作為上述條件。 2. 如請求項1之不均勻檢查方法，其中 於製成上述二次影像之步驟中， 將上述二次影像作為選自由 將各上述一次影像對空間進行微分所得之空間微分影 像、 123829-1000610.doc 1356163 由在彼此不同級別之上述條件下攝影之2張上述空間 微分影像所算出之差影像、及 基於在彼此不同級別之上述條件下攝影之複數張上述 一次影像之和影像 所組成之群中的1張以上之影像； 上述和影像之各特定區域按照特定之_，將上述複 數張一次影像中之第1一次影像的相當於上述特定區域 之區域之畫素值與第2—次影像的相當於上述特定區域 之相鄰區域的區域之畫素值相加，藉此製成上述和影 像。 3. 如請求項1之不均勻檢查方法，其中 上述特定之加權以如下方式決定：於關於上述對照用 之面板材之上述合成影像中；產生上述不均勻之區域之 亮度之熵對除產生上述不均勻以外之區域之亮度之熵的 比值為極大。 4. 如請求項1之不均勻檢查方法，其中 上述面板材係週期地排列有複數個像素之顯示面板； 取得上述一次影像之步驟包括如下步驟： 對上述顯示面板進行攝影，取得攝影影像；及 對上述攝影影像中之連續排列的複數個畫素進行合 成，形成1個畫素，藉此製成上述一次影像；且 _於取得上述攝影影像之步射，分別藉由複數個攝影 元件對上述顯示面板之各像素進行攝影； 於藉由形成上述1個畫素而製成一次影像之步驟中， 123829-1000610.d〇c 1356163 影像中排列有上述 於特定範圍内，隨機地設定上述攝影 複數個畫素之區域之各位置及面積。 5.如請求項丨之不均勻檢查方法其中

上述面板材係顯示影像之顯示面板； 取得上述一次影像之步驟包括如下步驟： 對上述顯示面板進行攝影，取得攝影影像； 將表示上述攝影影像之信號自 頻率軸之信號； 空間軸之信號轉換為 當於疊紋（moire)之頻率 自上述頻率軸之信號去除相 成分；及 將去除上述相當於疊紋之頻率 用午成•刀後的頻率軸之信 號轉換為空間軸之信號。 6. -種顯示面板之製造方法，其特徵在於包括： 組裝顯示面板之步驟；及

檢查上述顯示面板上是否產生 不均勻之步驟 於上述檢查步驟中， 象之面板材，並實施如 一種不均句檢查裝置， 無不均勻者，且包括： 且 將上述顯示面板作為上述檢查對 請求項1之不均勻檢查方法。 其特徵在於：其係檢查面板材有 攝影部，其於複數個級別之條件下，對成為檢查對象 之上述面板材進行攝影；及 運算部，其對藉由上述攝影所取得之複數張一次影像 貫施強調影像變化之處理，製成複數張二次影像，將上 述複數張二次影像以特定之加權予以合成，製成合成影 123829-1000610.doc 1356163 像’並根據上述合成影像判定有無不均勻，·且 上述特定之加權以如下方式決定：針對產生不均勻之 對照用之上述面板材製成上述複數張二次影像，並合成 該等二次影像而製成合成影像時，可區別產生上述不均 勻之區域與除此以外之區域； 上述面板材係顯示影像之顯示面板； 於取得上述一次影像之處理中，將選自由攝影角度、 照明之亮度、變焦倍率、焦點位置、冑光量、光圈量、 快門速度及顯示於上述顯示面板之測試圖案之色調及灰 階所組成之群中的1種以上之條件，作為上述條件。 123829-1000610.doc