TWI496091B - 薄膜檢測方法及檢測裝置 - Google Patents
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Description
本發明是有關於一種檢測方法,特別是指一種薄膜檢測方法。
參閱圖1,為現有貼附於一顯示面板(圖未示)的相位延遲膜900,主要功能為產生3D影像。該相位延遲膜900包含複數個第一相位顯示區域910及複數個第二相位顯示區域920,該些第一相位顯示區域910及該些第二相位顯示區域920相互平行且交錯排列。在實務上,由於相位延遲膜900會受其高分子膜本身脹縮的特性,導致第一相位顯示區域910及第二相位顯示區域920的寬度Dpixel產生改變,而無法準確對應面板上的畫素,進而影響影像的3D效果。
然而,現今常見的檢測方法是測量相位延遲膜900的總長度Dtotal,接著計算相位延遲膜900所具有第一相位顯示區域910及第二相位顯示區域920的數量,最後將相位延遲膜的總長度Dtotal除以總相位顯示區域的數量,即可得到各相位顯示區域的平均寬度Dpixel(average)。並以Dpixel(average)是否介於一預定範圍內,進而預估相位延遲膜900於面板的表現,但此檢測方法並無法得知該相位延遲膜900中各個相位顯示區域的Dpixel數據,因此無法準確預估該相位延遲膜900上各相位顯示區域於顯示面板上的3D效果。
因此,本發明之目的,即在提供一種可更精確檢測待測薄膜的均勻度的薄膜檢測方法。
於是,本發明薄膜檢測方法,針對一用以貼附於一顯示面板的待測薄膜進行檢測,該薄膜檢測方法包含以下步驟:
(A)讀取一與待測薄膜有關的參考位置;
(B)於待測薄膜對應該顯示面板的畫素排列方向上間隔擷取多數檢測影像;
(C)計算該等檢測影像中對應該參考位置的一校準位置與參考位置的距離差,並對應產生多數個偏移值;及
(D)輸出該等偏移值,以藉由將該等偏移值而判斷待測薄膜的均勻度。詳細地說,步驟(D)是將所有處理單元所產生的偏移值以圖形化的方式輸出。
此外,待測薄膜包括複數個相互平行且交錯排列的第一相位顯示區域及第二相位顯示區域,且參考位置係定位於其中一第一相位顯示區域及其鄰近的第二相位顯示區域之交界位置。進一步來說,參考位置係定位於各該檢測影像的理想中心位置,而校準位置則為位於各該檢測影像中間的第一相位顯示區域與第二相位顯示區域的交界位置。
此外,本發明之另一目的,即在提供一種可執行上述薄膜檢測方法的檢測裝置。
本發明檢測裝置,針對一用以貼附於一顯示面板的待測薄膜進行檢測,其中包含一儲存單元、一攝像單元、一耦接於儲存單元及攝像單元的處理單元,及一耦接於處理單元的輸出單元。儲存單元儲存一與待測薄膜有關的參考位置;攝像單元用以於待測薄膜對應顯示面板的畫素排列方向上間隔擷取多數張檢測影像;處理單元從儲存單元中讀取參考位置,並計算該等檢測影像中對應該參考位置的一校準位置與參考位置的距離差而對應產生多數個偏移值;輸出單元用以輸出該些偏移值,以藉由將該等偏移值而判斷待測薄膜的均勻度。
其中,輸出單元是將所有處理單元所產生的偏移值以圖形化的方式輸出,或是輸出該些偏移值至一檢測電路,該檢測電路將該等偏移值分別與一標準差值進行比較,以檢測待測薄膜。
然而,本發明薄膜檢測方法也可包含以下步驟:
(A)讀取一與待測薄膜有關的參考影像;
(B)於待測薄膜對應該顯示面板的畫素排列方向上間隔擷取多數檢測影像;
(C)將該等檢測影像分別與該參考影像相減,以產生多數個差值影像;
(D)根據該等差值影像,產生一對應待測薄膜之均勻度的偏移量;及
(E)輸出該偏移量,以藉由將該偏移量而判斷待測薄膜的均勻度。
在此檢測方法中,步驟(D)可包括以下子步驟:
(D-1)計算該等差值影像的灰階值高於一預設值的數量,若差值影像的灰階值高於預設值,則視該差值影像為一全白畫面,若差值影像的灰階值低於預設值,則視該差值影像為一全黑畫面;
(D-2)將所計算差值影像中的全白畫面數量與該等檢測影像的解析度相除,以求得該等檢測影像中灰階值高於預設值的比例;及
(D-3)根據該等檢測影像中灰階值高於預設值的比例,產生對應該比例的偏移量。
且步驟(A)係於待測薄膜上擷取參考影像,或是從一儲存單元中讀取該參考影像。
此外,本發明之另一目的,即在提供一種可執行上述薄膜檢測方法的檢測裝置。
本發明檢測裝置,針對一用以貼附於一顯示面板的待測薄膜進行檢測,其中包含一攝像單元、一儲存單元、一耦接於儲存單元及攝像單元的處理單元,及一耦接於處理單元的輸出單元。
攝像單元用以於待測薄膜對應該顯示面板的畫素排列方向上間隔擷取多數張檢測影像;儲存單元儲存攝像單元所擷取之影像;處理單元讀取一與待測薄膜有關的參考影像,且將該等檢測影像分別與參考影像相減,以產生多數個差值影像,並根據該等差值影像,產生一對應待測薄膜之均勻度的偏移量;輸出單元輸出該偏移量,以藉由將該偏移量而判斷待測薄膜的均勻度。
進一步地,檢測裝置還包含一耦接於處理單元的計數單元,處理單元是判斷該等差值影像的灰階值高於一預設值時,控制計數單元計數,並將計數單元所計數的差值影像中全白畫面的數量與該等檢測影像的解析度相除,以求得該等檢測影像中灰階值高於預設值的比例,再將根據該比例產生偏移量。
另外,參考影像可由該攝像單元待測薄膜上擷取,並儲存於儲存單元,處理單元再從儲存單元中讀取參考影像,或是參考影像可預先儲存於儲存單元,處理單元係從儲存單元中讀取參考影像。
本發明之功效在於,可圖形化待測薄膜貼於顯示面板上的表現,更精準地檢測待測薄膜。
有關本發明之前述及其他技術內容、特點與功效,在以下配合參考圖式之二個實施例的詳細說明中,將可清楚的呈現。
參閱圖2至圖4,為本發明薄膜檢測方法之第一實施例,該檢測方法係應用於一檢測裝置100,針對一用以貼附於一顯示面板(圖未示)的待測薄膜200進行檢測,在本實施例中,檢測裝置100為一自動光學檢測設備(Automated Optical Inspection,AOI),待測薄膜200為一相位延遲膜,其中包含複數個相互平行且交錯排列的第一相位顯示區域210及第二相位顯示區域220。
檢測裝置100包含一儲存單元10、一攝像單元20、一處理單元30及一輸出單元40。儲存單元10為一記憶體,用以儲存一與待測薄膜200有關的參考位置Pref
。攝像單元20可為電荷耦合元件(Charge Coupled Device,CCD)或互補式金氧半導體感測器(CMOS sensor)等攝像元件,用以擷取待測薄膜200之影像。處理單元30耦接於儲存單元10及攝像單元20,用以處理攝像單元20所擷取之影像,並產生對應的偏移值。輸出單元40耦接於處理單元30,用以輸出該些偏移值。
參閱圖2、圖3及圖5,本第一實施例之薄膜檢測方法的細部流程如下:
步驟S11,處理單元30從儲存單元10中讀取一與待測薄膜200有關且定位於其中一第一相位顯示區域210及其鄰近的第二相位顯示區域220之交界位置的參考位置Pref
。在本實施例中,該參考位置Pref
係定位於攝像單元20所擷取之影像的理想中心位置,但並不以此為限。
步驟S12,攝像單元20於待測薄膜200對應顯示面板的畫素排列方向上間隔擷取多數張檢測影像50。配合參閱圖6,本實施例之攝像單元20是每隔40個畫素距離(pixel distance)擷取一張檢測影像50,每張檢測影像50皆包括至少二第一相位顯示區域210,及至少二分別與該二第一相位顯示區域210交錯排列的第二相位顯示區域220,為了便於說明,圖6中只繪示四張檢測影像50,且分別標號為51~54,但間隔距離、擷取的影像張數及每張檢測影像中所包含的第一相位顯示區域210與第二相位顯示區域220的數量皆不以本實施例為限。
步驟S13,處理單元30計算該等檢測影像51~54的中心位置(即位於中間的第一相位顯示區域210與第二相位顯示區域220交界位置)與參考位置Pref
的距離差,並對應產生多數個偏移值。以圖6為例,四張檢測影像51~54的中心位置分別與參考位置Pref
的距離差為D1~D4。特別說明的是,由於本實施例之參考位置Pref
是被設定在每張影像的正中間,且理想上,每個第一相位顯示區域210及第二相位顯示區域220的寬度皆為顯示面板中一個畫素的寬度,因此,在攝像單元20的定位精確度足夠的情況下,每張檢測影像51~54中與參考位置Pref
對應的一校準位置(即中心位置)理應與參考位置Pref
完全重疊,若兩者之間出現偏差,即表示第一相位顯示區域210或第二相位顯示區域220可能因製程誤差或本身膨脹特性而導致其寬度不為一個畫素的寬度,因此透過各個偏移值即可檢測得知第一相位顯示區域210或第二相位顯示區域220的實際偏移寬度。當然,用於判斷第一相位顯示區域210或第二相位顯示區域220的寬度的校準位置也可以設定在不同位置,例如:檢測影像51~54中位於最右邊的第一相位顯示區域210與第二相位顯示區域220交界位置,或是位於最左邊的第一相位顯示區域210與第二相位顯示區域220交界位置,並不以中間位置為限。
步驟S14,輸出單元40輸出該等偏移值。在本實施例中,輸出單元40是將所有處理單元30所產生的偏移值繪製成一特性曲線圖輸出,如圖7所示。圖7的橫軸為相位顯示區域的間距數,縱軸為對應該相位顯示區域的實際偏移值(μm),圖7可顯示整張待測薄膜200的偏移值特性分布,透過曲線的變化得以判斷待測薄膜200的均勻度。
參閱圖5至圖7,在本實施例中,攝像單元20是從待測薄膜200的其中一側(如左側)往其中另一側(如右側)的方向間隔擷取檢測影像50,然而每次擷取的檢測影像50,其對應產生的偏移值會為該間距中每個第一相位顯示區域210及第二相位顯示區域220的寬度誤差和,因此,鄰近待測薄膜200左側的檢測影像50所對應產生的偏差值會低於鄰近待測薄膜200右側的檢測影像50所對應產生的偏差值。當然,參考位置Pref
也可以定位於待測薄膜200最中間的第一相位顯示區域210及第二相位顯示區域220的交界位置,攝像單元20可以該交界位置為中心,一左一右的分別往待測薄膜200的兩相反側擷取檢測影像50,如此,鄰近待測薄膜200中間的檢測影像50所對應產生的偏差值則會低於鄰近待測薄膜200兩相反側的檢測影像50所對應產生的偏差值,其輸出單元40所輸出的特性曲線圖會如圖8所示,故並不以本實施例為限。
在實際應用上,本實施例之檢測裝置100可與一測試機台(圖未示)配合使用,如圖9所示,整捲的薄膜透過測試機台的輸送及裁切而形成適合不同規格的顯示面板的待測薄膜200,檢測裝置100再利用上述之檢測方法,分別針對各該待測薄膜200的兩相反側(如T點位置)間隔擷取多數檢測影像,並分別將所產生的多數個偏移值繪製成兩特性曲線圖,以供測試人員得以藉由該二特性曲線圖檢測該待測薄膜200的均勻度。若該等偏移值皆小於一對應顯示面板之規格的標準曲線L1,如圖10所示,則視為檢測通過,測試機台將該待測薄膜200輸送至良品區;反之,若該等偏移值有部分大於該標準曲線L1,如圖11中虛線部分所示,則視為檢測不通過,測試機台將該待測薄膜200輸送至修補或報廢區。如此將能更精確且更快速地檢測各該待測薄膜200而達成本案之功效。
特別說明的是,為了達到全自動化檢測,輸出單元40也可將所有偏移值輸出至一檢測電路(圖未示,其可內建或外置於處理單元30),該檢測電路用以將該等偏移值分別與一對應該標準曲線L1的標準差值(如圖10及圖11所示,其值為150)進行比較,若全部偏移值皆小於標準差值,即表示檢測通過;若有至少一偏移值大於標準差值,即表示檢測不通過,之後測試機台再配合檢測電路的比較結果將該待測薄膜200輸送至對應區域,如此將可更節省測試的人力,降低測試成本。此外,檢測裝置100擷取影像的位置也不限於待測薄膜200的兩相反側,可以是待測薄膜200的兩相反側及中間位置,或是任意多數個位置,以更精確地檢測各該待測薄膜200。
參閱圖12及圖13,為本發明薄膜檢測方法之第二實施例,在本實施例中,該檢測方法係應用於一檢測裝置100,檢測裝置100包含一儲存單元10、一攝像單元20、一處理單元30、一輸出單元40及一計數單元60。儲存單元10為一記憶體,用以儲存攝像單元20所擷取之影像。攝像單元20可為電荷耦合元件(CCD)或互補式金氧半導體感測器(CMOS sensor)等攝像元件,用以擷取待測薄膜200之影像。處理單元30耦接於儲存單元10及攝像單元20,用以處理攝像單元20所擷取之影像,並產生對應的偏移值。輸出單元40耦接於處理單元30,用以輸出該偏移量。計數單元60耦接於處理單元30,其功能於後段說明。
參閱圖12至圖14,本第二實施例之薄膜檢測方法的細部流程如下:
步驟S21,攝像單元20於待測薄膜200上擷取一張參考影像Image(ref),並將其儲存於儲存單元10中,以供處理單元30讀取。
步驟S22,攝像單元20於待測薄膜200對應顯示面板的畫素排列方向上間隔擷取多數張檢測影像Image(N),其中N為正整數。本實施例之攝像單元20也是每隔40個畫素距離擷取一張檢測影像,且每張檢測影像的影像範圍大小皆相同。
步驟S23,處理單元30將該等檢測影像Image(N)分別與儲存於儲存單元10中的參考影像Image(ref)相減,以產生多數個差值影像Image_delta,如圖15至圖17所示。
參閱圖15至圖17,若檢測影像Image(N)中每個第一相位顯示區域210及第二相位顯示區域220的寬度與參考影像Image(ref)中每個第一相位顯示區域210及第二相位顯示區域220的寬度相同,則兩者相減後,差值影像Image_delta會成全黑畫面,如圖15所示,若兩者之間出現偏差,即表示第一相位顯示區域210或第二相位顯示區域220可能因製程誤差而導致其寬度不為一個畫素的寬度,則差值影像Image_delta中會出現白色條紋畫面,如圖16所示,若檢測影像Image(N)中第一相位顯示區域210及第二相位顯示區域220與參考影像Image(ref)中第一相位顯示區域210及第二相位顯示區域220位置完全交錯,即偏差達一個畫素距離,則差值影像Image_delta會成全白畫面,如圖17所示。由圖15至圖17可知,透過差值影像Image_delta中白色條紋畫面的比例即可判斷檢測影像Image(N)中第一相位顯示區域210或第二相位顯示區域220的實際寬度。
因此參閱圖12及圖13,步驟S24,處理單元30根據該等差值影像Image_delta,產生一對應該待測薄膜200之均勻度的偏移量。詳細地來說,配合參閱圖18,步驟S24包括以下子步驟:
步驟S241,處理單元30分別判斷該等差值影像Image_delta的灰階是否高於一預設值,若是,則執行步驟S242,處理單元30視該差值影像Image_delta為全白畫面,且控制計數單元60計數,之後執行步驟S244;若否,則執行步驟S243,處理單元30視該差值影像Image_delta為全黑畫面,之後執行步驟S244。
步驟S244,處理單元30將計數單元60所計數的差值影像中全白畫面的數量與檢測影像Image(N)的解析度(如640*480)相除,以求得該等檢測影像Image(N)中為全白畫面的比例。
步驟S245,處理單元30根據該等檢測影像Image(N)為全白畫面的比例,產生對應該比例的偏移量。在本實施例中,處理單元30是根據如圖19之全白畫面比例與偏移量之對照表而產生對應的偏移量,如圖19所示,其橫軸為全白畫面的比例,縱軸為偏移量(μm),處理單元30透過圖19中的曲線,即可得知多少為全白畫面的檢測影像Image(N)的數量會造成多少偏移量,其偏移量為該等檢測影像Image(N)為全白畫面的比例乘上間隔擷取影像的間隔距離。
於步驟S245產生該偏移量後,會執行步驟S25。
步驟S25,輸出單元40輸出該偏移量,以根據該偏移量判斷待測薄膜200的均勻度。
特別說明的是,本第二實施例之薄膜檢測方法相較於第一實施例不同的是,本實施例之薄膜檢測方法是先於待測薄膜200上擷取一張影像當作參考影像,並將其儲存於儲存單元10中,接著再從待測薄膜200對應顯示面板的畫素排列方向上間隔擷取多數張檢測影像Image(N),並以該參考影像為基準,與所有檢測影像Image(N)相比對,其對應產生的偏移量同樣能反應待測薄膜200的均勻度。
此外,參閱圖12、圖13及圖15,本實施例之參考影像Image(ref)也可以如同第一實施例事先儲存於儲存單元10中,且於步驟S21中,處理單元30可從儲存單元10中讀取該參考影像Image(ref)而與檢測影像Image(N)進行比較,並不以本實施例為限。
綜上所述,本發明薄膜檢測方法,藉由將多張檢測影像50中的校準位置與一參考位置相比較,以產生多數個可反應待測薄膜200的均勻度的偏移值,或是將多張檢測影像Image(N)與一參考影像Image(ref)相比較,以產生一可反應待測薄膜200的均勻度的偏移量,如此差值檢測方法,可圖形化待測薄膜200貼於顯示面板上的表現,更精準地檢測待測薄膜200,故確實能達成本發明之目的。
惟以上所述者,僅為本發明之較佳實施例而已,當不能以此限定本發明實施之範圍,即大凡依本發明申請專利範圍及發明說明內容所作之簡單的等效變化與修飾,皆仍屬本發明專利涵蓋之範圍內。
S11~S14...步驟
S21~S25...步驟
S241~S245...步驟
100...檢測裝置
200...待測薄膜
210...第一相位顯示區域
220...第二相位顯示區域
10...儲存單元
20...攝像單元
30...處理單元
40...輸出單元
50...檢測影像
51~54...檢測影像
60...計數單元
900...相位延遲膜
910...第一相位顯示區域
920...第二相位顯示區域
Dpixel...顯示區域的寬度
Dpixel(average)...顯示區域的平均寬度
D1~D4...距離差
圖1是說明;
圖2是說明第一實施例之薄膜檢測方法的流程圖;
圖3是說明第一實施例之檢測裝置的電路方塊圖;
圖4是說明本發明待測薄膜的示意圖,其中包含複數個相互平行且交錯排列的第一相位顯示區域及第二相位顯示區域;
圖5是說明攝像單元於待測薄膜對應顯示面板的畫素排列方向上間隔擷取多數張檢測影像;
圖6是說明攝像單元所擷取的其中四張檢測影像;
圖7是說明待測薄膜均勻度的特性曲線圖,其中,攝像單元是從待測薄膜的其中一側往其中另一側的方向間隔擷取檢測影像而產生偏移值;
圖8是說明待測薄膜均勻度的特性曲線圖,其中,攝像單元是從待測薄膜的中間往兩相反側間隔擷取檢測影像而產生偏移值;
圖9是說明本發明檢測裝置可與測試機台配合使用的示意圖;
圖10是說明檢測通過的待測薄膜所對應的特性曲線圖;
圖11是說明檢測未通過的待測薄膜所對應的特性曲線圖;
圖12是說明第二實施例之薄膜檢測方法的流程圖;
圖13是說明第二實施例之檢測裝置的電路方塊圖;
圖14是說明攝像單元於待測薄膜對應顯示面板的畫素排列方向上間隔擷取多數張檢測影像;
圖15是說明檢測影像與參考影像完全重疊,使差值影像為全黑畫面之示意圖;
圖16是說明檢測影像與參考影像出現偏差,使差值影像出現白色條紋畫面之示意圖;
圖17是說明檢測影像與參考影像偏差達一個畫素距離,使差值影像為全白畫面之示意圖;
圖18是說明第二實施例之處理單元根據該等差值影像而產生偏移量的流程圖;及
圖19是說明全白畫面比例與偏移量之對照表。
S11~S14...步驟
Claims (16)
- 一種薄膜檢測方法,針對一用以貼附於一顯示面板的待測薄膜進行檢測,該薄膜檢測方法包含以下步驟:(A)讀取一與該待測薄膜有關的參考位置;(B)於該待測薄膜對應該顯示面板的畫素排列方向上間隔擷取多數檢測影像;(C)計算該等檢測影像中對應該參考位置的一校準位置與該參考位置的距離差,並對應產生多數個偏移值;及(D)輸出該等偏移值,其中,該待測薄膜包括複數個相互平行且交錯排列的第一相位顯示區域及第二相位顯示區域,該參考位置係定位於其中一第一相位顯示區域及其鄰近的第二相位顯示區域之交界位置。
- 依據申請專利範圍第1項所述之薄膜檢測方法,其中,該步驟(D)是將所有處理單元所產生的偏移值以圖形化的方式輸出。
- 依據申請專利範圍第1項所述之薄膜檢測方法,其中,該參考位置係定位於各該檢測影像的理想中心位置。
- 依據申請專利範圍第3項所述之薄膜檢測方法,其中,該校準位置為位於各該檢測影像中間的第一相位顯示區域與第二相位顯示區域的交界位置。
- 一種薄膜檢測方法,針對一用以貼附於一顯示面板的待測薄膜進行檢測,該薄膜檢測方法包含以下步驟: (A)讀取一與該待測薄膜有關的參考影像;(B)於該待測薄膜對應該顯示面板的畫素排列方向上間隔擷取多數檢測影像;(C)將該等檢測影像分別與該參考影像相減,以產生多數個差值影像;(D)根據該等差值影像,產生一對應該待測薄膜之均勻度的偏移量;及(E)輸出該偏移量,其中,該步驟(D)包括以下子步驟:(D-1)計算該等差值影像的灰階值高於一預設值的數量;(D-2)將所計算的差值影像中全白畫面的數量與該等檢測影像的解析度相除,以求得該等檢測影像中灰階值高於該預設值的比例;及(D-3)根據該等檢測影像中灰階值高於該預設值的比例,產生對應該比例的偏移量。
- 依據申請專利範圍第5項所述之薄膜檢測方法,其中,該步驟(A)係於該待測薄膜上擷取該參考影像。
- 依據申請專利範圍第5項所述之薄膜檢測方法,其中,該參考影像係預先儲存於該儲存單元,且該步驟(A)係從一儲存單元中讀取該參考影像。
- 依據申請專利範圍第5項所述之薄膜檢測方法,其中,若該差值影像的灰階值高於該預設值,則視該差值影像為一全白畫面,若該差值影像的灰階值低於該預設值, 則視該差值影像為一全黑畫面。
- 一種檢測裝置,針對一用以貼附於一顯示面板的待測薄膜進行檢測,該檢測裝置包含:一儲存單元,儲存一與該待測薄膜有關的參考位置;一攝像單元,用以於該待測薄膜對應該顯示面板的畫素排列方向上間隔擷取多數張檢測影像;一處理單元,耦接於該儲存單元及該攝像單元,該處理單元從該儲存單元中讀取該參考位置,並計算該等檢測影像中對應該參考位置的一校準位置與該參考位置的距離差而對應產生多數個偏移值;及一輸出單元,耦接於該處理單元,用以輸出該些偏移值,其中,該待測薄膜包括複數個相互平行且交錯排列的第一相位顯示區域及第二相位顯示區域,該參考位置係定位於其中一第一相位顯示區域及其鄰近的第二相位顯示區域之交界位置。
- 依據申請專利範圍第9項所述之檢測裝置,其中,該輸出單元是將所有處理單元所產生的偏移值以圖形化的方式輸出。
- 依據申請專利範圍第9項所述之檢測裝置,其中,該輸出單元輸出該些偏移值至一檢測電路,該檢測電路將該等偏移值分別與一標準差值進行比較,以檢測該待測薄膜。
- 依據申請專利範圍第9項所述之檢測裝置,其中,該參考位置係定位於各該檢測影像的理想中心位置。
- 依據申請專利範圍第12項所述之檢測裝置,其中,該校準位置為位於各該檢測影像中間的第一相位顯示區域與第二相位顯示區域的交界位置。
- 一種檢測裝置,針對一用以貼附於一顯示面板的待測薄膜進行檢測,該檢測裝置包含:一攝像單元,用以於該待測薄膜對應該顯示面板的畫素排列方向上間隔擷取多數張檢測影像;一儲存單元,儲存該攝像單元所擷取之影像;一處理單元,耦接於該儲存單元及該攝像單元,該處理單元讀取一與該待測薄膜有關的參考影像,且將該等檢測影像分別與該參考影像相減,以產生多數個差值影像,並根據該等差值影像,產生一對應該待測薄膜之均勻度的偏移量;一計數單元,耦接於該處理單元,該處理單元是判斷該等差值影像的灰階值高於一預設值時,控制該計數單元計數,並將該計數單元所計數的差值影像中全白畫面的數量與該等檢測影像的解析度相除,以求得該等檢測影像中灰階值高於該預設值的比例,再將根據該比例產生該偏移量;及一輸出單元,耦接於該處理單元,用以輸出該偏移量。
- 依據申請專利範圍第14項所述之檢測裝置,其中,該參 考影像係由該攝像單元該待測薄膜上擷取,並儲存於該儲存單元,該處理單元再從該儲存單元中讀取該參考影像。
- 依據申請專利範圍第14項所述之檢測裝置,其中,該參考影像係預先儲存於該儲存單元,該處理單元係從該儲存單元中讀取該參考影像。
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