KR20130054246A - 얇은 웨이퍼 운송장치 - Google Patents

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KR20130054246A
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wafer
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wafers
cushion
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KR1020127026369A
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베리 그레거슨
제이슨 스테펀스
루스 래쉬크
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인티그리스, 인코포레이티드
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Abstract

웨이퍼 컨테이너 내의 개선된 웨이퍼 지지 메커니즘은 다수의 축방향으로 정렬된 얇은 거의 원형인 웨이퍼 기판들을 운송하기 위해 유용하다. 컨테이너는 기판들을 수용하기 위해 다수의 인접하게 배치된 치형들을 구비하는 카세트, 각각의 리브 부재는 카세트 개방된 상부로부터 카세트 개방된 바닥으로 연속적이고, 제거 가능한 상부 덮개 부분, 제거 가능한 바닥 덮개 부분, 컨테이너 상부 덮개에 제거 가능하게 부착된 쿠션 어셈블리 및 웨이퍼 카세트의 중량에 의해 제 위치에 유지되고 컨테이너 바닥 덮개 안에 제거 가능하게 위치되는 다른 쿠션 어셈블리를 포함한다. 상부 쿠션들은 각각의 구역의 단부, 각각의 구역 내의 스프링 구획들에서 연장된 인입(lead-in) 특징을 구비하는 개별적인 구역들로 형성되며, 각각의 구역은 웨이퍼 가장자리를 수용하기 위한 V-형상의 단면을 구비한다. 상부 및 바닥 쿠션들은 상부 및 바닥 컨테이너 덮개들 내에 개별적으로 장착되며, 각각의 웨이퍼의 대체로 전체 원주방향으로 웨이퍼 지지부를 연장한다.

Description

얇은 웨이퍼 운송장치{THIN WAFER SHIPPER}
본 출원은 미국 가특허출원 제 61/312,718호의 이익을 주장하며, 여기에 참조로써 전체 내용이 포함된다.
본 발명은 일반적으로 기판들 및 반도체 웨이퍼들 등을 운송하기 위한 컨테이너들에 관련된다. 특히, 본 발명은 다수의 축방향으로 정렬된 얇은 거의 원형인 웨이퍼 기판들을 운송하기 위해 유용한 웨이퍼 컨테이너 내의 개선된 웨이퍼 지지 메커니즘(wafer support mechanism)에 관련된다. 컨테이너는 기판들을 수용하기 위한 다수의 인접하게 배치된 리브(rib) 부재들을 구비하는 카세트를 포함하며, 각각의 리브 부재는 카세트 개방된 상부로부터 카세트 개방된 바닥으로 연속적이며, 제거 가능한 상부 덮개 부분, 제거 가능한 바닥 덮개 부분, 컨테이너 상부 덮개에 제거 가능하게 부착된 쿠션 어셈블리 및 컨테이너 바닥 덮개 내에 제거 가능하게 위치되고 웨이퍼 카세트의 중량에 의해 제 위치에 유지되는 다른 쿠션 어셈블리를 포함한다.
수년간, 제조업자들은 기판들 및 반도체 웨이퍼들 등을 운송 및 저장하기 위한 특별한 컨테이너들을 생산해왔다. 웨이퍼들의 약한 특성 및 그것들의 지나친 가치 때문에, 그것들이 운송 공정 내내 적절하게 보호되는 것은 중요하다. 웨이퍼들의 핸들링(handling)이 일반적으로 자동화된 이후, 웨이퍼들을 위해 로봇으로 제거 및 삽입을 위해 핸들링 장비에 관하여 정확히 위치되는 것이 필요하다.
파손에 의한 손상으로부터의 보호와 더불어, 반도체 웨이퍼들을 운송, 저장 또는 처리 중에 항상, 청결 및 오염 제어가 중요하다. 이용되는 구성요소들 및 물질들은, 웨이퍼들 위에 필름 층들을 형성할 수 있는 가스들 같이, 오염물질들을 발산하지 않고 입자들의 발산을 최소화하거나 발산하지 않도록 하여 매우 청결해야 한다. 오염물질들 및 구성요소들은 일반적으로 재사용되며 세정에 잘 따라야 하고 반복된 세탁 및 건조 사이클들을 견뎌야 한다. 게다가, 웨이퍼 컨테이너들의 물품 특성 때문에, 특히 100㎜ 및 150㎜ 웨이퍼들을 위한 운송장치들에서, 구성요소 부품들의 대체와 같이, 컨테이너들이 저렴하게 제조되고 저렴하게 유지되는 것 또한 중요하다.
특히 100㎜ 및 150㎜ 웨이퍼들을 위한, 종래의 웨이퍼 운송장치들은 웨이퍼 카세트 컨테이너 내에 포함된 다수의 반도체 웨이퍼들을 유지하는 웨이퍼 카세트를 포함한다. 그러한 결합은 저장 및 운송 동안 기계적인 손상 및 오염으로부터 웨이퍼들을 보호한다. 종래 웨이퍼 운송장치들의 예시로써, 미국 특허 제4,949,848호, 제4,966,284호, 제4,793,488호, 및 제5,273,159호를 예를 들어 보시오. 이 특허들은 본 발명의 소유자에 의해 소유되고 여기에 참조로써 포함된다.
종래의 웨이퍼 카세트는 참조로써 여기에 전부 포함된 미국 특허 제 5,782,362호에 나타내진 장치같이, 개방된 상부 및 개방된 바닥을 가지고, 웨이퍼들의 굴곡을 따라 더 낮게 구부러지거나 수렴하는 부분들을 포함하는 슬롯들을 가지는 측벽들, 패널을 가지는 후단부, H-바 기계 인터페이스 부분(H-bar machine interface portion)을 가지는 전단부를 포함하는 단일의 주형품이다.
상기 참조의 도 12에서 요소 1번을 보시오. 또한 본 발명자에 의해 소유된 미국 특허 제 4,949,848호를 보시오. 카세트들의 개방된 바닥은 평행 및 수직 배열로 수렴하는 부분들로부터 아래로 연장하는 측벽들에 의해, 및 측벽들로부터 아래로 연장하는 발들에 의해 정의된다. 발들은 일반적으로 평면이고 평행하며, 그것이 위로 개방된 상부와 장착될 때 운반체(carrier)가 놓여지는 평행한 가장자리 표면들을 가진다. 가장자리 표면들은 대개 적절한 위치 및 전후방 고정을 위해 장착 표면 위에 상조하는 리브와 결합하기 위한 산업 표준의 로케이팅 노치(locating notch)를 구비할 것이다.
종래의 카세트들은 일반적으로 다양한 제조업자들이 로봇 처리 장비(robotic processing equipment)를 가지고 비교적 교체 가능하고 사용하기 적합하도록 표준 치수들, 특징들, 및 구성들을 구비한다. 이것은 H-바 및 노치들을 가지는 평행하고 길쭉한 발들을 포함한다. 게다가, 예를 들어, 인접한 슬롯들 내에 저장된 웨이퍼들의 같은 표면 사이에 거리, 또는 "피치(pitch)"는 보통 0.1875 인치인 반면, 각각의 측벽에서 슬롯의 깊이는 보통 0.440 인치이다.
웨이퍼 카세트 컨테이너 또는 운송장치의 컨테이너 부분은 운송 동안 웨이퍼들을 보호하기 위해 완충 특징들을 가지는 분리된 상부 덮개 및 하부 베이스 부분을 포함한다. 200㎜ 웨이퍼들 또는 더 크게 설계된, 일부 운송장치들은, 베이스 부분에 고정된 바닥 쿠션을 포함하며, 예를 들어, 미국 특허 제5,273,159호를 보시오. 카세트는 H-바 측이 카세트의 바닥에 위치되도록 향해진 카세트를 이용하여 로봇으로 적재될 수 있다. H-바는 그런 다음 웨이퍼들이 카세트의 개방된 전방으로 웨이퍼들을 수평 평면으로 하여 로봇으로 삽입될 수 있도록 장비 표면 위에 카세트를 적절하게 착석시키기 위한 기계 인터페이스로써 기능한다. 적재된 카세트는 그런 다음 웨이퍼들이 수직 평면이 되도록 90도로 회전되고 적재된 카세트는 웨이퍼 운반체 컨테이너의 하부 베이스 부분 안으로 위치된다. 이러한 종래의 웨이퍼 운반체 컨테이너들은 적절하게 카세트를 향해지고 착석되도록 하나의 또는 모든 발들 위에서 로케이팅 노치들과 상조하기 위한 착석 표면에서 바닥 내에 로케이션 리브들(location ribs)을 구비할 수 있다.
최근, 반도체 산업은 매우 얇은 단면 치수를 가지는 웨이퍼들을 이용하기 시작했다. 얇은 실리콘 웨이퍼들의 두께는, 종래의 일반적인 SEMI 표준 웨이퍼 두께와 대조적으로, 200um만큼 얇을 수 있다. 또한, 얇은 게르마늄 웨이퍼 두께는 125um일 수 있다. 얇은 웨이퍼들은 특유의 설계 고려사항들이 존재하며, 카세트 유형의 운송장치들은 더 얇은 웨이퍼들과 이용하기에 몇몇 관점들에서 불충분하다. 얇은 웨이퍼들은 다음의 표 내에 나타내진 웨이퍼들을 위한 SEMI 표준 공칭 두께보다 작은 웨이퍼 두께가 고려될 수 있다.
웨이퍼 표준 직경 웨이퍼 표준 두께
100mm 525um
125mm 625um
150mm 675um
200mm 725um
300mm 775um
450mm 925um
얇은 웨이퍼들의 다른 특징은 표준 웨이퍼보다 실질적으로 더 약하고 물리적 손상을 받기 쉽다는 것이다. 웨이퍼의 외주 맨 끝 주위에 웨이퍼를 위한 한정된 지지부를 가지는 종래의 웨이퍼 운반체는, 충격 발생 동안 증가된 응력을 유발한다. 생성된 응력은 웨이퍼가 충격 또는 진동으로부터의 물리적 손상을 더 받기 쉽게 한다.
얇은 웨이퍼들의 가장자리들은 매우 날카로울 수 있으며, 실리콘 및 게르마늄 같이 매우 단단한 물질들로 형성될 수 있다. 이러한 날카로운 가장자리들은 덮개가 장착될 때 쿠션 위에 잡힐 수 있어 교차-슬로팅(cross-slotting) 및 잠재적으로 웨이퍼에 대한 손상을 유발할 수 있다. 게다가, 얇은 웨이퍼들은 웨이퍼 운반체 플라스틱 물질 같은, 웨이퍼의 외주 가장자리와 접촉하는 더 약한 물질들을 관통하여 절단할 수 있다.
현존하는 컨테이너들이 얇고 깨지기 쉬운 웨이퍼들을 손상시킬 수 있는 물리적 충격의 영향들을 감소시키도록 설계됨에도 불구하고, 웨이퍼 컨테이너들은 개선된 충격 감소 특성들을 가지도록 요구된다. 이것은 매우 얇은 웨이퍼들의 이용을 위해 적절하도록, 특히 적은 제조 비용을 유지하면서 증가된 취성을 수용하도록 특별히 설계된 웨이퍼 운반체를 위해 요구된다.
설명된 본 발명은 얇은 데이터 반도체 웨이퍼들 또는 다른 얇은 기판들을 운송, 저장 또는 처리 중에 사용을 위한 개선된 웨이퍼 컨테이너의 실시예이다. 본 발명은 일반적으로 카세트 부분 및 컨테이너 부분을 포함한다. 카세트 부분 웨이퍼 카세트는 일반적으로 H-바 기계 인터페이스 부분을 구비하는 전단부, 패널을 구비하는 후단부, 및 웨이퍼들의 굴곡을 따라 아래로 구부러지거나 수렴하는 부분들을 포함하는 슬롯들을 구비하는 측벽들, 및 개방된 상부 및 개방을 가지고 포함하는 단일의 주형품이다. 평행 발들 부분들은 수렴하는 부분들의 바닥들로부터 아래로 연장하며 발 가장자리 표면들이 존재한다.
이 카세트는 운송을 위해 두-부분(two-peice)의 컨테이너 부분으로 위치된다. 이 컨테이너 부분은 바닥 덮개에 부착되는 상부 덮개를 포함한다. 상부 및 바닥 덮개들은 또한 웨이퍼들이 교차-슬롯(cross-slot)하지 않는 것을 보증하도록 설계된 쿠션 어셈블리를 포함하고 그것들은 손상을 피하기 위해 운송 동안 제 위치에 충분히 유지된다. 상부 덮개 웨이퍼 유지 쿠션 어셈블리는 제거 가능하고 그것이 카세트의 일 측 위에 측벽 리브들의 상부에서 카세트의 타 측 위에 측벽 리브들의 상부로 웨이퍼의 가장자리 외주와 접촉하도록 형성된다. 상부 쿠션은 운반 및 운송 동안 웨이퍼 회전을 방지하기 위해 웨이퍼들에 대한 제어된 압축력을 제공하는 쿠션 어셈블리의 각각의 측 가까이에 각각의 리브 구획 위에, U-형상의 구획들로 구성된 스프링 형상들을 포함한다. 상부 쿠션은 또한 쿠션 어셈블리의 측들에서 각각의 리브 구획의 단부 위에, 갈래로 구성된, 연장된 치형 가이드-인(guide-in) 부분 구역을 포함한다. 베이스 부분 위에 상부 덮개의 배치하게 되면 웨이퍼 가장자리들은 웨이퍼들이 교차-슬로팅을 방지하기 위해 웨이퍼 안내부들과 결합하며 처음 맞닥뜨린다. 웨이퍼 교차-슬로팅은 웨이퍼들이 쿠션 구역들 사이의 인접한 하부 쿠션 안에 및 상부 쿠션 안에 위치되는 상태로 정의된다. 바닥 덮개 또한 제거 가능한 웨이퍼 유지 쿠션 어셈블리를 포함한다. 쿠션 어셈블리는 그것이 카세트의 일 측 위에 측벽 리브들의 바닥으로부터 카세트의 타 측 위에 측벽 리브들의 바닥으로 웨이퍼의 가장자리 외주와 접촉하도록 형성된다. 바닥 쿠션은 중력 이외에 그 안에 고정되는 것 없이 카세트의 바닥 내의 일치하는 영역 안에 간단하게 착석될 수 있다. 바닥 쿠션은 아치형 웨이퍼 쿠션 구역들이 매달리는 축방향으로 연장하는 레일들을 구비한다. 바닥 쿠션 레일들은 측면으로 연장하는 패드들을 구비하며 그것은 베이스 부분의 위에 착석되는 표면과 접촉한다. 카세트 부분의 발들은 패드들이 베이스 부분 및 카세트 부분 사이에 끼워지도록 패드들 위에 착석될 수 있다.
상부 및 바닥 덮개 쿠션 어셈블리들을 함께 가지는 측벽 리브들의 성과는 웨이퍼의 원주의 더 큰 부분 위에 컨테이너 내의 각각의 웨이퍼를 지지하여 이전 웨이퍼 쿠션들이 웨이퍼 가장자리에 접촉하여 생성된 응력점들을 감소시킨다. 웨이퍼는 컨테이너 부분 안에 둘러싸일 때 측벽들 내에 슬롯들로부터 멀리 매달린다. 그러나, 간격은 .005-.015인치일 수 있으며 충격 상태 하일 때 홈들에서 측벽들과 접촉을 허용할 수 있다.
본 발명의 실시예들의 이점은 카세트, 상부 덮개, 바닥 덮개, 두 개의 웨이퍼 쿠션들이 폴리프로필렌 같은, 폴리머 재질로 형성될 수 있다는 것이다. 이것은 컨테이너 내에 운송된 웨이퍼들과 연관된 오염 문제들을 더 쉽게 인식할 수 있게 하며, 운송장치에 대한 가능한 오염원 같이 조사하기 위해 하나의 물질로만 되어 있기 때문이다.
본 발명의 실시예의 이점은 다수의 축방향으로 정렬된 얇은 반도체 웨이퍼들을 운송하기 위한 웨이퍼 컨테이너이다. 컨테이너는 단기의 저장 및 운송 동안 얇은 웨이퍼들을 지지하기 위해 상부 및 하부 덮개 안에 쿠션 어셈블리들과 상조하는 측면 웨이퍼 지지부들을 가지는 카세트 부분을 구비한다.
실시예의 다른 이점은 운반/운송 동안 회전을 방지하기 위해 웨이퍼들에 압축력을 제공하는 스프링 메커니즘을 포함하는 쿠션 설계이다.
실시예의 다른 이점은 웨이퍼 교차-슬로팅을 방지하기 위해 상부 쿠션의 가장자리들에 정렬 특징을 포함하는 쿠션 설계이다.
본 발명의 실시예들의 다른 이점은 하부 쿠션이 일치하는 리세스 안에 쿠션을 간단히 배치시킴에 의해 바닥 내에 착석된다는 것이다. 추가적으로 실시예들에서, 쿠션은 웨이퍼들에 대해, 그것들 사이에 연장하는 다수의 웨이퍼 쿠션 구역들을 가지고, 축방향으로 연장하는 한 쌍의 수평 레일들을 구비한다. 레일들은 웨이퍼 카세트 부분 발들과 베이스 부분 사이에 끼워지는 그것으로부터 연장하는 패드들을 구비할 수 있다. 따라서, 특정 실시예들에서, 하부 웨이퍼 쿠션은 카세트 부분에 완충을 제공할 뿐만 아니라 웨이퍼들에 대해 직접적인 결합 및 완충을 제공한다.
본 발명의 추가적인 목적들, 이점들, 및 새로운 특징들은 다음의 상세 설명 내에 일부 설명될 것이며 일부는 본 발명의 실시에 의해 터득될 수 있거나 다음의 실시 시 당업자들에게 명백해질 것이다. 본 발명의 목적들 및 이점들은 청구항들에 특히 지적된 결합들 및 기기들에 의해 달성되고 실현될 수 있다.
본 명세서 내에 포함되어 있음.
도 1은 본 발명에 따른 웨이퍼 운송장치의 사시도이다.
도 2는 본 발명에 따른 웨이퍼 운송장치의 분해도이다.
도 3은 본 발명에 따른 도 1의 웨이퍼 운송장치의 단면도이다.
도 4는 도 3의 운송장치의 베이스 부분의 상부 사시도이다.
도 5는 베이스 부분 내에 착석될 상부 웨이퍼 쿠션의 상부 사시도이다.
도 6은 도 5의 웨이퍼 쿠션의 바닥 측의 사시도이다.
도 7은 도 5 및 6의 웨이퍼 쿠션의 단면도이다.
도 8은 도 7의 선 8-8에 의해 취해진 단면도이다.
도 9는 착석된 웨이퍼 쿠션과 베이스 부분의 상부 사시도이다.
도 10은 베이스 부분 및 웨이퍼 카세트 발 사이에 끼워진 웨이퍼 쿠션의 패드를 나타내기 위해 절단된 부분들과 조립된 운송장치의 정면도이다.
도 11은 본 발명에 따르고 상부 덮개를 위해 적합한 웨이퍼 쿠션의 상부 사시도이다.
도 12는 도 11의 웨이퍼 쿠션의 바닥 사시도이다.
도 13은 도 11 및 12의 웨이퍼 쿠션을 통과하는 단면도이다.
도 14는 도 13의 선 14-14에 의해 취해진 단면도이다.
도 15는 쿠션과 함께 컨테이너 부분의 상부 부분의 내부의 사시도이다.
도 16은 도 15의 상부 덮개 부분 및 웨이퍼 쿠션의 부착 구조를 도시하는 단면 상세도이다.
도 17은 본 발명들에 의해 제약받는 웨이퍼의 개략도이다.
도 1 및 2를 참조하여, 본 발명의 실시예들에 따른 웨이퍼 운송장치(wafer shipper; 20)가 도시되며, 일반적으로 베이스 부분(base portion; 24), 상부 덮개 부분(top cover portion; 28), 카세트(cassette; 30), 하부 쿠션(lower cushion; 34), 및 상부 쿠션(upper cushion; 38)을 포함하는 컨테이너 부분(container portion; 22)이 포함된다.
본 발명은 웨이퍼 컨테이너 부분(22)의 베이스 부분(24) 및 덮개 부분(28) 내에 장착될 기판 쿠션 어셈블리들(substrate cushion assemblies)을 제공한다. 쿠션 어셈블리들은 운송 동안 추가의 이차적인 패키징(packaging)을 추가하는 것 없이 회전 및 진동 및 충격으로부터의 웨이퍼 손상을 최소화하기 위해 웨이퍼(W)에 대해 추가적인 지지를 제공한다. 컨테이너 상부 덮개가 장착될 때, 추가적인 웨이퍼 쿠션 어셈블리들은 또한 로딩 작업 및 운송 동안 웨이퍼들 교차-슬로팅(cross-slotting)에 대한 위험을 감소시키기 위해 카세트 내부에 최적의 착석 위치(seating position)로 웨이퍼들을 안내될 수 있다. 웨이퍼들의 상부 및 하부 외주들은 상부 쿠션 구역들(upper cushion segments; 50) 안에 개별적인 V 형상의 홈들(V shaped grooves; 49) 및 하부 쿠션 구역 안에 V 형상의 홈(40)의 중심선들과 접촉하여 각각의 웨이퍼들이 그것의 이웃하는 웨이퍼로부터 떨어져 유지되고, 웨이퍼들의 접촉을 감소시켜, 웨이퍼 표면의 오염을 최소화한다. 게다가, 쿠션 어셈블리의 탄성 복원력(elastic resilience)은 웨이퍼들의 상부 외주가 쿠션에 접촉할 때 웨이퍼들의 정확한 위치를 보증하는 데 도움이 되며, 탄성 쿠션은 V-형상의 홈들(49, 40)의 중심선으로 웨이퍼의 외주의 이동을 달성하기 위해 아치형으로 구부러진다. 쿠션 어셈블리의 탄성 복원력은 웨이퍼 컨테이너의 운송 동안 웨이퍼들에 대한 기계적인 충격들 및 진동들에 대하여 감쇠 영향을 나타내서, 그 안에 포함된 웨이퍼는 손상으로부터 보호될 수 있다. 현존하는 쿠션 기술은 25g의 힘에서, 38인치 자유낙하 거리(free-fall drop)로 웨이퍼 손상을 설명하며, 본 발명의 쿠션 어셈블리들의 실험은 46g 및 56g 사이의 힘에서 38인치 자유낙하 거리로 웨이퍼 손상을 나타낸다.
도 3-10을 참조하여, 컨테이너 부분(22)의 바닥 베이스 부분(24) 및 웨이퍼 쿠션이 상세히 도시된다. 컨테이너는 컨테이너 내에 위치된 카세트 내에 위치하는 웨이퍼들의 축과 일치하는 축 방향을 가진다. 실시예에서, 웨이퍼 쿠션은 패널(panel)로 구성되며, 즉, 개개의 웨이퍼 결합 부분들 또는 구역들(56) 사이에 분리되지 않는다. 쿠션은 아치형 웨이퍼 결합 부분들(56)을 위해 구조적인 지지를 제공하는 한 쌍의 레일들(58)을 구비한다. 레일들의 하부 가장자리 부분(58)으로부터 연장은 다리 부분들(63)을 가지는 패드들(pads) 또는 탭들(tabs; 62)이다. 패드들은 베이스 부분(24)의 최하층(bottom floor; 68)의 착석 표면(66)에 접촉하는 바닥 표면(64)을 구비한다. 베이스 부분의 최하층은 쿠션 및 특히 쿠션의 레일들과 일치하는, 축방향으로 연장하는 거터(gutter; 71)로 구성되는, 쿠션 수용 영역(cushion receiving area; 70)을 구비한다. 즉, 리세스 영역들(recessed areas; 72)은 쿠션이 제 위치로 낙하되고 적절하게 착석되는 것을 허용한다. 레일들은 또한 베이스 부분의 리세스 영역에 로케이팅 리브들(locating ribs; 76)과 추가로 상조하는 노치들(notches; 74)을 구비한다. 레일들은 쿠션의 매우 쉬운 배치를 더 수월하게 한다. 명백히 바닥 쿠션을 설치하는 작업에서 그것을 제 위치에 낙하시키는 것 이외의 다른 추가적인 작업은 없다.
또한, 바닥 부분은 인클로져(enclosure)를 정의하는 두 개의 측벽들 및 두 개의 단부벽들(end walls; 84)을 가지는 네 개의 벽들(82)을 구비한다. 경사진 표면들(88)을 가지는 두 개의 각이 진 또는 경사진 벽 부분들(86)은 적절한 착석 위치로 바닥 쿠션을 안내하는 데 추가적으로 도움이 된다.
베이스 부분은 또한 카세트(30)에 일치하여 형상되고 수용한다. 카세트는 단부벽들(93 및 94)과 연결된 한 쌍의 측벽들(92)을 구비한다. 측벽들은 수직 상부 부분들(95) 및 수렴하는 하부 부분들(96) 및 슬롯들(100)을 정의하는 리브들 또는 치형들(98)을 구비한다. 수렴하는 벽 부분들의 바닥 가장자리(102)로부터 아래로 연장하는 것은 가장자리 표면들(110) 및 가장자리 부분(108)을 가지는 한 쌍의 발들(feet; 106)이다. 발들은 로케이팅 노치들(locating notches; 112)을 구비한다. 카세트는 개방된 상부가 위로 향해질 때 발들 위에 착석된다. 카세트는 개방된 상부(113) 및 개방된 바닥(114)을 구비한다. 카세트들을 로봇으로 로딩(loading) 및 언로딩(unloading)하기 위해 종종, 카세트는 전방으로 90도 회전되고 종래의 H-바(H-bar; 116) 위에 놓여질 수 있어서 웨이퍼들이 수평으로 로드 및 언로드될 수 있다.
리세스 영역(70) 및 경사진 표면들(88)은 베이스 부분으로 낮아질 때 카세트(30)의 발들을 위한 안내를 더 제공한다. 카세트는 하부 쿠션(34)이 그 안에 위치된 후에 베이스 부분 안에 위치된다. 발은 쿠션의 레일들에서 측면으로 거터(71) 내에 있는 카세트 수용 영역(116)으로 안내된다. 특정 실시예들에서, 하부 가장자리들은 층(floor)의 표면 위에 착석되는 것보다, 도 10에 가장 잘 도시된 하부 쿠션의 패드들(62) 위에 착석된다. 패드들은 카세트 및 베이스 표면 사이에 끼워져서 안정성을 제공하고, 또한 폴리머(polymer)의 추가적인 층 및 두께에 의해 향상된 충격 흡수를 가지는 카세트를 제공한다.
더욱이, 전술한 쿠션뿐만 아니라 카세트는, 전방/후방 또는 축방향으로 카세트의 고정을 위해 및 적절한 배치를 위해 베이스 부분의 바닥 위에서 로케이팅 리브(76)를 이용한다. 리브들은 쿠션들의 위치를 위해서가 아닌, 컨테이너들 안에 또는 장비 위에 웨이퍼 카세트들의 위치를 안정시키고 위치시키기 위해 이용된다. 쿠션 및 카세트를 위치시키기 위해 리브를 이용하는 것은, 특히 하부 쿠션이 베이스 부분에 부착되지 않거나 고정되지 않는 특정 실시예들에서, 웨이퍼들의 교차-슬로팅 또는 어긋남(misalignment) 및 연관된 손상을 방지하기 위해 적절한 상조 및 정렬을 보증한다.
도 3 및 11-16을 참조하여, 상부 쿠션(38) 및 상부 덮개 부분(28)이 상세히 도시된다. 상부 쿠션은 웨이퍼의 외주를 따라 아치형 형상으로 되고 구역 단부 부분들(130)에 레일들(140)을 지지하기 위해 연결되는 U-형상의 폴리머 스프링들로 구성되는 스프링들(134)을 구비하는 다수의 길쭉한 웨이퍼 결합 구역들(50)을 구비한다. 레일들은 탭들(148)에 부착되는 내부로 연장하는 리세스들(144)을 구비한다. 상부 쿠션은, 특정 실시예들에서, 상부 덮개 부분 위에 쿠션을 장착시키기 위해 화살표들(160)에 의해 가리켜지는 방향들로 압축되어야 한다. 측면 레일들(164)은 사출 성형 공정 동안 주형으로부터 부품을 추출하도록 추출 핀들(ejection pins)을 위한 추출 패드(ejector pad)로써 기능할 뿐만 아니라 손잡이로써 기능한다. 지지 레일들(140)로부터 아래로 연장하는 것은 갈래들(170)로 구성되는 웨이퍼 안내부들(wafer guides)이다. 갈래들은 길쭉하고 테이퍼졌으며(tapered) 상부 덮개 부분이 베이스 부분 안에 착석된 카세트 위로 낮춰질 때 웨이퍼들에 의해 맞닥뜨리는 상부 덮개의 첫 부분이다. 갈래는 방사상 방향으로 측정된, 연관된 웨이퍼 구역들(50)의 V-형상의 홈들(49)의 깊이보다 적어도 두 배인, 길이(l1)를 가진다. 갈래는 웨이퍼 구역들의 길쭉한 방향에 횡단하는 수직 방향에서 갈래의 폭보다 적어도 2배인, 즉, 적어도 2배수인, 웨이퍼 구역들의 길쭉한 방향에 평행한 방향으로 폭 치수를 가진다. 다른 실시예들에서 배수는 적어도 1.5; 다른 실시예들에서 배수는 적어도 2.5이다. 갈래들은 쿠션들의 V-형상의 홈들에 의해 정의되고 웨이퍼 카세트의 치형들에 의해 정의되는 각각의 슬롯들 중간에 있도록 위치된다.
사용 중에, 카세트는 일반적으로 개방된 상부를 전방으로 회전시켜 적재된다. 카세트는 그런 다음 다시 상부 위에 개방된 상부를 넣도록 후방으로 회전된다. 카세트는 베이스 부분 내에 이미 제 위치인 하부 쿠션을 가지는 베이스 부분 안으로 낮춰진다. 베이스 부분은 적재된 카세트를 수용하는 동안, 웨이퍼들의 하부 외주 가장자리(174)는 하부 쿠션 위에 아치형 웨이퍼 결합 부분들(56)에 결합한다. 쿠션은 카세트가 베이스 부분 내에 착석될 때 웨이퍼(W) 및 하부 가장자리 부분(176) 사이에 간격(179)을 제공하기 위해 약간 하부 가장자리 부분(176)으로부터 웨이퍼들을 조금 들어올리도록 구성된다. 특정 실시예들에서 간격은 수 천분의 일 인치일 수 있다. 예를 들어, .005 인치 내지 .020 인치이다. 또는 .002 인치 내지 .050 인치이다. 간격은 하부 가장자리 부분보다 위에 슬롯 내에서 실질적으로 더 크며 하부 가장자리 부분으로부터의 거리가 증가함에 따라 간격이 증가한다. 그런 다음 상부 부분(28)은 상부 부분이 낮춰지는 동안 웨이퍼들 중간에 엇갈리는 안내부들(170)과 카세트 위로 낮춰진다. 상부 덮개가 바닥 덮개와 완전히 결합될 때, 상부 쿠션은 아치형 웨이퍼 결합 구역들에서 웨이퍼들의 상부 외주 가장자리(183)에 결합한다. 아치형 웨이퍼 결합 부분들은 안내부들로부터 이격되게 웨이퍼들을 위치시키며 쿠션의 외부의 스프링으로 고정되지 않은 부분 또는 구역(outer non spring loaded portion or segment; 185)에 슬롯들의 하부 가장자리 부분들 및 웨이퍼들 사이에 간격과 대체로 같은 간격을 더 제공한다. 특정 실시예들에서 간격은 수 천분의 일 인치일 수 있다. 예를 들어, .005 인치 내지 .020 인치이다. 또는 .002 인치 내지 .050 인치이다. 스프링으로 고정되지 않은 부분(185)은 상부 쿠션의 일부에서 상부 덮개의 내부의 부착 특징들에 결합하는 것이다.
도 17을 참조하여, 완전히 적재되고 폐쇄된 상태에서, 웨이퍼들은 웨이퍼들의 상사점(top dead center)에 위치된 상부 쿠션의 아치형 부분들 및 웨이퍼들의 하사점(bottom dead center)에 의치된 바닥 쿠션의 아치형 부분들 사이에 매달리고 외주에 지지된다. 아치형 결합 부분들은 화살표들(221)에 의해 가리켜지는 압축력을 제공하고, 각각은 주위로 연장하며 일 실시예에서 대략 55도의 호(arc; 210) 위에서 웨이퍼들에 결합한다. 일 실시예에서 아치형 결합 부분들은 각각 주위로 연장하며 50도에서 60도까지의 호(210) 위에서 웨이퍼들에 결합한다. 또는 약 49도 내지 대략 61도. 충격 상태에서 외주에 추가하여, 더 단단한 외주 지지부(216)가 아치형 부분들로부터 이격된 위치들에 제공된다. 웨이퍼의 하부 외주에서, 더 단단한 지지부는 쿠션의 단부들로부터 대략 5도의 공간(spacing; 220)을 가지며 홈들의 하부 가장자리 부분들에 의해 제공된다. 웨이퍼들의 상부 외주들에서, 더 단단한 지지부는 쿠션들의 단부들로부터 대략 5도의 공간(222)을 가지며 쿠션의 지지 레일 가까이에 상부 쿠션의 스프링으로 고정되지 않은 부분에 의해 제공된다. 더 단단한 지지부들은 웨이퍼들 호(226)의 상부 외주들 모두에서 4도에서 10도까지 또는 그 이상의 웨이퍼를 따른다. "외주 지지부(Peripheral support)"는 여기에서 사용될 때 웨이퍼의 외부 외주 표면 위에 및/또는 웨이퍼의 반대되는 평면 표면들 사이에 모서리들의 외주 부분 위에 지지부를 의미하며, 예를 들어 지지부는 V-형상의 홈들에 의해 제공된다. 축방향 충격 상태에 이로울 수 있는 웨이퍼들 중간에 직접적으로 및 웨이퍼들의 표면들 위로 연장하는 지지부가 종래에는 파선들로 윤곽이 그려진 부분들에 의해 가리켜지는 웨이퍼 치형들(230)에 의해 제공되었으나, 이제는 쇄선들에 의해 도시되고 실질적으로 수직 정렬되는 안내부들 또는 갈래들(232)에 의해 제공된다.
충격 상태에서, 웨이퍼들은 아치형의 매달리는 웨이퍼 결합 부분들에 의해 제공되는 서스펜션(suspension) 내에서 이동할 수 있다. 그러한 이동 동안, 웨이퍼 슬롯들의 하부 가장자리 부분들(176)은 상부 쿠션들의 외부의 스프링으로 고정되지 않은 부분(185)에 결합할 수 있다. 더욱이, 추가적인 지지부가 웨이퍼들 중간에서, 일반적으로 엄밀히 웨이퍼들 사이에서 연장하는 안내부들(170)에 의해 제공된다. 안내부들은 카세트의 치형들에 의해 제공되는 충격에 대한 표면 지지부와 유사한 또는 실질적으로 좌우대칭인(mirror image) 충격에 대한 표면 지지부를 제공한다. 충격 상태들 동안 웨이퍼들의 추가적인 결합은 부서지기 쉬운 웨이퍼들의 굽힘의 양을 제한한다. 이러한 좌우대칭 표면 지지부들이 제공되고 종래의 운송장치들에서 제공되는 것보다 더 큰 로딩 하에서 얇은 웨이퍼들을 위해 향상된 보호를 제공한다. "표면(surface)" 지지부는 여기에서 35도보다 크지 않은 웨이퍼의 표면과 각도를 형성하는 표면에 의해 웨이퍼의 외주에 제공되는 지지부를 의미한다.
비충격 상태들 동안 웨이퍼들은 웨이퍼들의 바닥들 및 상부에서 대략 55도로 연장하는 호들에서 지지된다. 추가로, 더 단단한 지지부가 충격 상태 하에서 외주에 제공된다.
도 3을 특히 참조하여, 새로운 서스펜션은 비 충격 상태에서, 웨이퍼가 아치형 웨이퍼 결합 부분들(56)에서 하부 쿠션(34)에 의해 지지되도록 제공된다.
여기에서 구성요소들은 관례적으로 사출성형에 의해 제조된다. 적합한 재질은 폴리프로필렌이다. 다른 폴리머들 또한 적합할 것이다.
도면들 및 특히 도 3을 참조하여, 베이스 부분의 수평으로 연장하고 연속적인 상부 가장자리 부분(190)은 바람직하게 웨이퍼 카세트의 높이의 적어도 25%의 거리인 높이로 위로 연장한다. 유사하게, 상부 덮개 부분의 하부의 연속적인 수평 가장자리 부분(192)은 카세트 높이의 적어도 25%인 거리로 카세트의 상부 아래 높이로 아래로 연장한다. 상부 가장자리 부분은 상부 덮개의 상조하는 하부의 수평 가장자리 부분(192)에 결합하고 래치한다(latch). 가장자리 부분들은 래치들을 작동하기 위해 리세스들(195)과 컨테이너 부분의 외주 주위에 연속적인 표면을 형성하도록 맞물린다. 바닥 베이스 부분에 대한 상부 덮개의 접합부(juncture; 196)는 웨이퍼 카세트의 중앙부(197) 주위에서 완전히 연장한다. 유사한 컨테이너들의 구조들 및 특징들은 미국 특허 제4,949,848호; 제4,966,284호; 제4,793,488호; 및 제5,273,159호에 설명되며 그러한 구조들 및 특징들은 여기에 설명된 본 발명들과 함께 이용에 적합하다. 이 특허들은 발명자에 의해 소유되고 여기에 참조로써 전부 포함된다. 명백히 여기에 설명된 컨테이너 부분들은 수평 표면 위에 착석하기에 적합한 일 측만을 구비한다. 즉, 그것들은 구체적으로 300 이상인, 더 큰 직경의 웨이퍼들을 위해 이용되는 FOSB들(front opening shipping boxes; 전방 개방 운송 상자들)로 알려진 특정 컨테이너들 및 H-바 카세트들 같이 인접한 측들 상에 착석 특징들을 구비하지 않는다. 본 발명의 실시예들에서, 각각의 상부 덮개 부분 및 베이스 부분은 높이를 구비하며, 각각의 높이는 다른 것의 높이의 25% 이내이다.
여기에서 치수 또는 거리를 참조하여 "실질적으로"가 이용될 때, 그것은 치수와 비교해서 15%이내를 의미한다.
위에 실시예들은 설명적으로 의도되며 한정되지 않는다. 추가적인 실시예들은 청구항들 내에 있다. 본 발명이 특정 실시예들을 참조하여 설명됨에도 불구하고, 당업자들은 변형들이 본 발명의 범위 및 사상으로부터 벗어남 없이 상세사항 및 형태들 내에서 만들어질 수 있다는 것을 인정할 것이다.
20: 웨이퍼 운송장치
22: 컨테이너 부분
24: 베이스 부분
28: 상부 덮개 부분
30: 카세트
34: 하부 쿠션
38: 상부 쿠션
40, 49: V-형상의 홈
50: 상부 쿠션 구역
56; 웨이퍼 결합 부분
58: 한 쌍의 레일
62: 패드
63: 다리 부분
64: 바닥 표면
66: 착석 표면
68: 바닥 층
71: 거터
72: 리세스 영역
74: 노치
76: 로케이팅 리브
82: 벽
84: 단부벽
92: 측벽
93, 94: 단부벽
95: 수직 상부 부분
96: 수렴하는 하부 부분
98: 치형
100: 슬롯
102: 바닥 가장자리
106: 발
108: 가장자리 부분
110: 가장자리 표면
112: 로케이팅 노치
113: 개방된 상부
114: 개방된 바닥
116: H-바
W: 웨이퍼

Claims (25)

  1. 카세트 및 카세트 컨테이너를 포함하고 얇은 웨이퍼들을 유지하도록 구성되며,
    상기 카세트는 웨이퍼들을 유지하기 위한 슬롯들을 정의하는 한 쌍의 측벽들, 상기 측벽들 사이에 연장하는 한 쌍의 단부벽들, 및 상기 각각의 측벽들로부터 아래로 연장하는 쌍의 길쭉한 발들(feet)을 포함하고, 상기 단부벽들 중의 하나는 H-바 기계 인터페이스로 구성되며,
    상기 카세트 컨테이너는 상기 카세트를 수용하기 위한 바닥 베이스 부분 및 상기 바닥 베이스 부분에 부착 가능한 상부 덮개를 포함하고, 각각의 상기 상부 덮개 및 베이스 부분은 네 개의 벽들 및 상기 네 개의 벽들 사이에 걸쳐지는 공통 벽을 구비하며, 각각의 상기 상부 덮개 및 베이스 부분은 상기 베이스 부분에 상기 상부 덮개를 덮기 위한 접합부를 구비하고, 상기 카세트 컨테이너는 상기 바닥 베이스 부분 내의 수용 영역 안에 착석되는 하부 쿠션 및 상기 상부 덮개에 부착 가능한 상부 쿠션을 더 포함하는, 웨이퍼 운송장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 베이스 부분은 상기 베이스 부분의 바닥으로부터 연장하는 로케이터 리브(locator rib)를 구비하고, 상기 카세트는 하부 가장자리 부분을 가지는 발을 구비하며, 상기 하부 가장자리 부분은 상기 로케이터 리브 위에 착석시키기 위해 로케이팅 노치(locating notch)를 구비하고, 상기 하부 쿠션은 한 쌍의 레일들을 구비하여 상기 레일들 사이에 연장하는 웨이퍼 결합 부분들을 가지며, 상기 레일들은 하부 가장자리 부분을 구비하고 상기 하부 가장자리 부분들 중 적어도 하나는 상기 로케이팅 리브 위에 또한 착석시키기 위해 위치되는 중심에 위치된 노치를 구비하는 웨이퍼 운송장치.
  3. 제1항에 있어서,
    하부 웨이퍼 쿠션은 다수의 웨이퍼 결합 부분들을 지지하는 한 쌍의 레일들을 포함하고, 하부 쿠션은 한 쌍의 레일들로부터 측면으로 연장하는 다수의 패드들(pads)을 더 포함하며, 상기 웨이퍼 쿠션은 상기 다수의 패드들을 통해 상기 베이스 부분의 층 위에 착석되는 웨이퍼 운송장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 각각의 패드들은 상부 표면을 구비하며, 상기 카세트가 상기 베이스 부분 안에 위치될 때 상기 카세트의 다리가 상기 패드들의 상부 위에 착석되어 상기 패드들이 상기 베이스 부분 바닥 및 상기 카세트 사이에 끼워지는 웨이퍼 운송장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 상부 쿠션은 상기 상부 덮개의 내부에 고정되며 상기 상부 쿠션은 상기 카세트 안에 착석되는 100㎜ 웨이퍼의 외주 가장자리로부터 적어도 5㎜ 내부로 방사상으로 연장하는 갈래들(prongs)을 구비하는 웨이퍼 운송장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 상부 쿠션은 상기 상부 덮개의 내부에 고정되며 상기 상부 쿠션은 상기 상부 덮개에 부착되고, 다수의 웨이퍼 결합 구역들을 지지하는 한 쌍의 레일들을 구비하며, 상기 웨이퍼 결합 구역들은 상기 웨이퍼 결합 구역들과 같은 재질로 형성되는 개별적인 쌍의 U-형상의 스프링들을 통해 한 쌍의 레일들에 연결되는 웨이퍼 운송장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 상부 쿠션은 상기 상부 덮개의 내부에 고정되며 상기 상부 쿠션은 상기 웨이퍼들의 외주를 수용하기 위한 V-형상의 홈들을 구비하며, 상기 V-형상의 홈들은 웨이퍼 슬롯들을 정의하고, 상기 상부 쿠션은 상기 V-형상의 홈들에 의해 정의되는 상기 슬롯들 중간에 각각 위치되는 다수의 갈래들을 구비하는 웨이퍼 운송장치.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 상부 쿠션은 상기 상부 덮개의 내부에 고정되며 상기 상부 쿠션은 다수의 웨이퍼 결합 구역들을 구비하고, 각각은 최대 깊이를 가지는 V-형상의 홈들 구비하며, 상기 V-형상의 홈들은 상기 웨이퍼들의 외주를 수용하기 위한 것이며, 상기 상부 쿠션은, 상기 상부 덮개가 웨이퍼들로 적재된 카세트와 베이스 부분 위에 장착될 때 상기 웨이퍼들과 맞닥뜨리는 상기 웨이퍼 쿠션의 첫 부분이 되도록 위치되고 상기 V-형상의 홈들에 의해 정의되는 상기 슬롯들 중간에 각각 위치되는 다수의 갈래들을 구비하는 웨이퍼 운송장치.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 각각의 갈래들은 상기 상부 덮개가 상기 바닥 베이스 부분 위에 완전히 착석될 때, 상기 V-형상의 홈들의 최대 깊이보다 적어도 두 배의 거리로, 상기 웨이퍼의 외주로부터 내부로 방사상으로 연장하는 웨이퍼 운송장치.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 하부 쿠션은 상기 바닥 베이스 부분 안에 착석되며, 상기 카세트가 착석되지 않을 때에는 중력에 의해서만 상기 바닥 베이스 부분 안에 고정되는 웨이퍼 운송장치.
  11. 카세트 및 카세트 컨테이너를 포함하고,
    상기 카세트는 웨이퍼들을 유지하기 위한 슬롯들을 정의하는 한 쌍의 측벽들, 상기 측벽들 사이에서 연장하는 한 쌍의 단부벽들, 및 상기 각각의 측벽들로부터 아래로 연장하는 쌍의 길쭉한 발들을 포함하고, 상기 단부벽들 중의 하나는 H-바 기계 인터페이스로 구성되며,
    상기 카세트 컨테이너는 상기 카세트를 수용하기 위한 바닥 베이스 부분 및 상기 바닥 베이스 부분에 부착 가능한 상부 덮개를 포함하고, 각각의 상기 상부 덮개 및 베이스 부분은 네 개의 벽들 및 상기 네 개의 벽들 사이에 걸쳐지는 공통 벽을 구비하며, 각각의 상기 상부 덮개 및 베이스 부분은 상기 베이스 부분에 상기 상부 덮개를 덮기 위한 접합부를 구비하고, 상기 카세트 컨테이너는 상기 바닥 베이스 부분 내에 수용되는 하부 쿠션 및 상기 상부 덮개에 부착 가능한 상부 쿠션을 더 포함하고, 상기 상부 쿠션은 상기 상부 덮개의 내부에 고정되며, 상기 상부 쿠션은 다수의 웨이퍼 결합 구역들을 지지하고 상기 상부 덮개에 부착되는 한 쌍의 레일들을 구비하며, 상기 웨이퍼 결합 구역들은 상기 웨이퍼 결합 구역들과 같은 재질로 형성되는 개별적인 쌍의 U-형상의 스프링들을 통해 한 쌍의 레일들에 연결되는, 웨이퍼 운송장치.
  12. 카세트 및 카세트 컨테이너를 포함하고,
    상기 카세트는 웨이퍼들을 유지하기 위한 슬롯들을 정의하는 한 쌍의 측벽들, 상기 측벽들 사이에서 연장하는 한 쌍의 단부벽들, 및 상기 각각의 측벽들로부터 아래로 연장하는 쌍의 길쭉한 발들을 포함하고, 상기 단부벽들 중의 하나는 H-바 기계 인터페이스로 구성되며,
    상기 카세트 컨테이너는 상기 카세트를 수용하기 위한 바닥 베이스 부분 및 상기 바닥 베이스 부분에 부착 가능한 상부 덮개를 포함하고, 각각의 상기 상부 덮개 및 베이스 부분은 네 개의 벽들 및 상기 네 개의 벽들 사이에 걸쳐지는 공통 벽을 구비하며, 각각의 상기 상부 덮개 및 베이스 부분은 상기 베이스 부분에 상기 상부 덮개를 덮기 위한 접합부를 구비하고, 상기 카세트 컨테이너는 상기 바닥 베이스 부분 내에 수용되는 하부 쿠션 및 상기 상부 덮개에 부착 가능한 상부 쿠션을 더 포함하고, 상기 상부 쿠션은 상기 상부 덮개의 내부에 고정되며, 상기 상부 쿠션은 다수의 웨이퍼 결합 구역들을 지지하고 상기 상부 덮개에 부착되는 한 쌍의 레일들을 구비하고, 상기 웨이퍼 결합 구역들은 상기 웨이퍼 결합 구역들과 같은 재질로 형성되는 개별적인 쌍의 U-형상의 스프링들을 통해 한 쌍의 레일들에 연결되는, 웨이퍼 운송장치.
  13. 카세트 및 카세트 컨테이너를 포함하고,
    상기 카세트는 웨이퍼들을 유지하기 위한 슬롯들을 정의하는 한 쌍의 측벽들, 상기 측벽들 사이에서 연장하는 한 쌍의 단부벽들, 및 각각의 측벽들로부터 아래로 연장하는 쌍의 길쭉한 발들을 포함하고, 상기 단부벽들 중의 하나는 H-바 기계 인터페이스로 구성되며,
    상기 카세트 컨테이너는 상기 카세트를 수용하기 위한 바닥 베이스 부분 및 상기 바닥 베이스 부분에 부착 가능한 상부 덮개를 포함하고, 각각의 상기 상부 덮개 및 베이스 부분은 네 개의 벽들 및 상기 네 개의 벽들 사이에 걸쳐지는 공통 벽을 구비하며, 각각의 상기 상부 덮개 및 베이스 부분은 상기 베이스 부분에 상기 상부 덮개를 덮기 위한 접합부를 구비하고, 상기 카세트 컨테이너는 상기 바닥 베이스 부분 내에 수용되는 하부 쿠션 및 상기 상부 덮개에 부착 가능한 상부 쿠션을 더 포함하고, 상기 상부 쿠션은 상기 상부 덮개의 내부에 고정되며, 상기 상부 쿠션은 다수의 웨이퍼 결합 구역들을 지지하고 상기 상부 덮개에 부착되는 한 쌍의 레일들을 구비하고, 상기 웨이퍼 결합 구역들은 각각 V-형상의 홈을 구비하며, 상기 상부 쿠션은 각각이 말단(tip)을 가지고 상기 레일들로부터 아래로 연장하는 다수의 테이퍼진 안내부들을 더 포함하고, 상기 웨이퍼 외주들이 상기 V-형상의 홈들에 들어가기 전에 상기 안내부들의 말단들이 상기 웨이퍼들의 외주들을 지나 이동하도록 상기 테이퍼진 안내부들이 각각 위치되는 웨이퍼 운송장치.
  14. 카세트 및 카세트 컨테이너를 포함하고,
    상기 카세트는 웨이퍼들을 유지하기 위한 슬롯들을 정의하는 한 쌍의 측벽들, 상기 측벽들 사이에서 연장하는 한 쌍의 단부벽들, 및 각각의 측벽들로부터 아래로 연장하는 쌍의 길쭉한 발들을 포함하고, 상기 단부벽들 중의 하나는 H-바 기계 인터페이스로 구성되며,
    상기 카세트 컨테이너는 상기 카세트를 수용하기 위한 바닥 베이스 부분 및 상기 바닥 베이스 부분에 부착 가능한 상부 덮개를 포함하고, 각각의 상기 상부 덮개 및 베이스 부분은 네 개의 벽들 및 상기 네 개의 벽들 사이에 걸쳐지는 공통 벽을 구비하며, 각각의 상기 상부 덮개 및 베이스 부분은 상기 베이스 부분에 상기 상부 덮개를 덮기 위한 접합부를 구비하고, 상기 카세트 컨테이너는 상기 바닥 베이스 부분 내에 수용되는 하부 쿠션 및 상기 상부 덮개에 부착 가능한 상부 쿠션을 더 포함하고, 상기 하부 웨이퍼 쿠션은 다수의 웨이퍼 결합 부분들을 지지하는 한 쌍의 레일들을 포함하며, 상기 하부 쿠션은 한 쌍의 레일들로부터 측면으로 연장하는 다수의 패드들을 더 포함하고, 상기 웨이퍼 쿠션은 상기 다수의 패드들을 통해 상기 베이스 부분의 바닥 위에 착석되고, 각각의 패드들은 상부 표면을 가지며, 상기 카세트가 상기 베이스 부분 내에 위치될 때, 상기 카세트의 상기 발이 상기 패드들의 상부 위에 착석되어 상기 패드들이 상기 베이스 부분 바닥 및 상기 카세트 사이에 끼워지는, 웨이퍼 운송장치.
  15. 웨이퍼들의 상사점에 대해 중앙에 위치된 아치형의 가장자리 부분에 결합하는 상부 아치형의 웨이퍼 결합 부분들이 매달리는 일렬의 단부 및 상기 웨이퍼들의 하사점에 대해 중앙에 위치된 아치형의 가장자리 부분에 결합하는 하부 아치형의 웨이퍼 결합 부분들이 매달리는 일렬의 단부 사이에 상기 웨이퍼들을 매다는 것에 의해 상기 카세트와의 접촉에서 벗어나 상기 웨이퍼들을 들어올리는 단계;
    각각의 웨이퍼들 및 각각의 개별적인 단단한 가장자리 부분 사이에 미리 정해진 방사상 간격이 되도록 상기 카세트로부터 상기 웨이퍼들을 이격시키는 단계 및 각각의 하부 아치형 웨이퍼 결합 부분의 단부 및 상기 딱딱한 가장자리 부분 사이에 미리 정해진 원주 방향 간격이 되도록 하부 쿠션을 위치시키는 단계; 및
    다음의 단계들 중 하나 또는 모두를 제공하는 단계;
    한 쌍의 열들의 단단한 상부 아치형 지지 부분들을 더 제공하는 단계, 상기 아치형 지지 부분은 상부 아치형 웨이퍼 결합 부분들에 매달린 상기 단부의 단부로부터 이격되며, 상기 한 쌍의 열들의 단단한 상부 아치형 지지 부분들의 위치는 상기 단단한 가장자리 부분들과 실질적으로 수직 정렬됨; 및
    인접한 웨이퍼들 중간에 연장하기 위해 위치된 한 쌍의 열들의 갈래들을 제공하는 단계, 갈래들의 각각의 열은 단단한 가장자리 부분들의 각각의 열들 중의 하나와 수직 정렬됨;
    를 포함하고, H-바 웨이퍼 카세트는 각각의 슬롯이 슬롯의 바닥에 단단한 가장자리 부분을 가지는 다수의 슬롯들을 가지는, 운송 동안 상기 H-바 카세트 내에 얇은 웨이퍼들을 보호하는 방법.
  16. 제15항에 있어서,
    상기 웨이퍼들이 운송 동안 상기 단단한 상부 아치형 지지 부분들에 비접촉하고 충격 상태를 제외하고 상기 단단한 가장자리 부분들에 비접촉하도록 상기 웨이퍼들 및 단단한 상부 아치형 지지 부분들의 열들 사이에 간격을 제공하는 단계를 더 포함하는 방법.
  17. 웨이퍼들의 상사점에 대해 중앙에 위치된 아치형의 가장자리 부분에 결합하는 상부 아치형의 웨이퍼 결합 부분들이 매달리는 일렬의 단부 및 상기 웨이퍼들의 하사점에 대해 중앙에 위치된 아치형의 가장자리 부분에 결합하는 하부 아치형의 웨이퍼 결합 부분들이 매달리는 일렬의 단부 사이에 상기 웨이퍼들을 매다는 것에 의해 상기 카세트와의 접촉에서 벗어나 상기 웨이퍼들을 들어올리는 단계;
    각각의 웨이퍼들 및 각각의 개별적인 단단한 가장자리 부분 사이에 미리 정해진 방사상 간격이 되도록 상기 카세트로부터 상기 웨이퍼들을 이격시키는 단계 및 각각의 하부 아치형 웨이퍼 결합 부분의 단부 및 상기 딱딱한 가장자리 부분 사이에 미리 정해진 원주 방향 간격이 되도록 하부 쿠션을 위치시키는 단계; 및
    한 쌍의 열들의 단단한 상부 아치형 지지 부분들을 더 제공하는 단계, 각각의 아치형 지지 부분은 상부 아치형 웨이퍼 결합 부분들에 매달리는 상기 단부의 단부로부터 이격되고, 상기 한 쌍의 열들의 단단한 상부 아치형 지지 부분들의 위치는 상기 단단한 가장자리 부분들과 실질적으로 수직 정렬되며, 각각의 웨이퍼들 및 각각의 개별적인 단단한 가장자리 부분 사이에 미리 정해진 방사상 간격에 대응하는 방사상 간격이 되도록 각각의 단단한 상부 아치형 지지 부분을 이격시킴;
    를 포함하고, H-바 웨이퍼 카세트는 각각의 슬롯이 상기 슬롯의 바닥에 단단한 가장자리 부분을 가지는 다수의 슬롯들을 가지는, 운송 동안에 상기 H-바 카세트 내에 얇은 웨이퍼들을 보호하는 방법.
  18. 제17항에 있어서,
    인접한 웨이퍼들 중간에 연장하기 위해 위치된 한 쌍의 열의 갈래들이 제공하는 단계를 더 포함하여, 각각의 갈래의 열은 단단한 가장자리 부분들의 각각의 열 중의 하나와 수직 정렬되고, 각각의 갈래는 치형이 내부로 연장하는 최대 방사상 거리에 실질적으로 대응하는 최대 방사상 거리로 내부를 향해 연장하는 방법.
  19. 상부 아치형 웨이퍼 결합 부분들 및 하부 아치형 웨이퍼 결합 부분들의 열 사이에 웨이퍼들을 매다는 단계, 상기 상부 아치형 웨이퍼 결합 부분들 및 하부 아치형 웨이퍼 결합 부분들은 각각 개별적인 웨이퍼들의 상사점에서 걸치는 호들 및 개별적인 웨이퍼들의 하사점에서 하부 아치형 웨이퍼 결합 부분들의 열들에 걸치는 호들에 의해 지지되고, 상기 상부 및 하부 아치형 웨이퍼 결합 부분들은 각각 한 쌍의 단부들을 구비함; 및
    상기 아치형 웨이퍼 쿠션들의 각각의 단부에서 하부 아치형 웨이퍼 결합 부분들에서 각각의 단부로부터 이격되고 상기 상부 아치형 웨이퍼 결합 부분들의 각각의 단부들로부터 이격된 쌍들의 단단한 지지부들에 더 단단한 아치형 지지부를 더 제공하는 단계, 상기 더 단단한 지지부들은 충격 상황일 때를 제외하고 운송 동안 웨이퍼들과 비결합함;
    를 포함하는 운송 동안 얇은 웨이퍼들을 보호하는 방법.
  20. 제1항 내지 제19항 중 어느 한 항에 있어서,
    각각의 구성요소들은 폴리프로필렌으로 형성되는 웨이퍼 운송장치.
  21. 각각이 V-형상의 홈을 구비하는 다수의 분리되고 단부가 지지되는 아치형웨이퍼 결합 구역들을 구비하고, U-형상의 스프링은 각각의 웨이퍼 결합 구역의 각각의 단부로부터 연장되고, 각각의 U-형상의 스프링은 레일 부분에 연결되며, 상기 레일 부분에는 각각의 아치형 결합 구역들로부터 밖으로 방사상으로 이격되는 단단한 아치형 웨이퍼 결합 표면이 제공되고, 각각의 레일은 상기 웨이퍼 결합 구역들에 의해 고정되는 웨이퍼들 중간에 배치를 위해 방사상으로 연장하는 다수의 갈래들을 더 구비하는, H-바 웨이퍼 카세트의 개방된 상부에 배치를 위한 웨이퍼 쿠션.
  22. 반대되는 측벽들을 가지는 카세트를 구비하고, 상기 측벽들은 반대되는 단부벽들에 의해 연결되며, 각각의 측벽은 수직 상부 부분 및 수렴하는 하부 부분을 구비하며, 상기 측벽들의 내부 표면들은 축방향으로 정렬된 웨이퍼들을 유지하기 위해 사이에 슬롯들을 가지는 다수의 치형을 정의하며,
    H-바 웨이퍼 카세트의 개방된 상부에 배치를 위한 쿠션을 구비하고, 상기 쿠션은 V-형상의 홈들을 각각 구비하는 다수의 아치형 웨이퍼 결합 구역들을 구비하며, 각각의 V-형상의 홈은 방사상 방향으로 측정된 높이를 가지며, 상기 쿠션은 상기 웨이퍼 결합 구역들의 단부들 가까이에 위치된 다수의 안내부들을 더 구비하며, 상기 안내부들은 상기 카세트의 상기 치형과 수직 정렬로 위치를 위해 내부로 방사상으로 연장하는 웨이퍼 운송장치.
  23. 제22항에 있어서,
    상기 안내부들은 안에 유지된 웨이퍼들의 가장자리들로부터 최대 방사상 거리로 내부로 연장하며 상기 치형은 안에 유지된 상기 웨이퍼들의 상기 가장자리들로부터 최대 방사상 거리로 내부로 연장하며, 상기 최대 방사상 거리는 상기 안내부들이 상기 웨이퍼들의 상기 가장자리들로부터 내부로 연장하는 최대 방사상 거리와 실질적으로 같은 웨이퍼 운송 장치.
  24. 제23항에 있어서,
    상기 안내부들이 안에 유지되는 웨이퍼들의 가장자리들로부터 내부로 연장하는 상기 최대 방사상 거리는 상기 치형이 내부로 연장하는 상기 웨이퍼들의 상기 가장자리들로부터 상기 최대 방사상 거리의 20% 이내인 웨이퍼 운송장치.
  25. 상기 각각의 치형은 가장 하부 부분을 구비하며, 상기 안내부들은 상기 치형의 가장 하부 부분과 수직 정렬되는 웨이퍼 운송장치.
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