JPH07302833A - ウェハ用キャリア - Google Patents
ウェハ用キャリアInfo
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- JPH07302833A JPH07302833A JP9504594A JP9504594A JPH07302833A JP H07302833 A JPH07302833 A JP H07302833A JP 9504594 A JP9504594 A JP 9504594A JP 9504594 A JP9504594 A JP 9504594A JP H07302833 A JPH07302833 A JP H07302833A
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- JP
- Japan
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- wafer
- carrier
- vibration
- lid
- vibration absorbers
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
- H01L21/6735—Closed carriers
- H01L21/67369—Closed carriers characterised by shock absorbing elements, e.g. retainers or cushions
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Packaging Frangible Articles (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】輸送中にキャリアが振動を受けても、内部に収
納されたウェハがキャリアと擦れず、擦れによる異物が
発生しないようにする。 【構成】ウェハ１を収納する本体２と、本体の上の開口
を閉じる上蓋１３と、下の開口を閉じる下蓋１４とから
構成される。本体２内には本体２内を仕切る仕切板１５
が設けられる。上蓋３と下蓋４との内側には、ウェハ１
を弾性支持する振動吸収体１６が設けられる。振動吸収
体１６は、ウェハ１を受ける受け部７と、受け部７の両
側に連設され外側を凸に湾曲した２本の脚部８と、脚部
８に上蓋１３または下蓋１４の嵌合溝１１、１２に嵌合
して振動吸収体１６を上蓋１３または下蓋１４に固定す
る足部９とからなる。振動吸収体１６の脚部８はバネ状
となっている。振動吸収体１６には、ウェハ単位に独立
して設けられるように、振動吸収体１６間にスリット１
７が設けられる。
納されたウェハがキャリアと擦れず、擦れによる異物が
発生しないようにする。 【構成】ウェハ１を収納する本体２と、本体の上の開口
を閉じる上蓋１３と、下の開口を閉じる下蓋１４とから
構成される。本体２内には本体２内を仕切る仕切板１５
が設けられる。上蓋３と下蓋４との内側には、ウェハ１
を弾性支持する振動吸収体１６が設けられる。振動吸収
体１６は、ウェハ１を受ける受け部７と、受け部７の両
側に連設され外側を凸に湾曲した２本の脚部８と、脚部
８に上蓋１３または下蓋１４の嵌合溝１１、１２に嵌合
して振動吸収体１６を上蓋１３または下蓋１４に固定す
る足部９とからなる。振動吸収体１６の脚部８はバネ状
となっている。振動吸収体１６には、ウェハ単位に独立
して設けられるように、振動吸収体１６間にスリット１
７が設けられる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は半導体等のウェハの輸送
に用いられるウェハ用キャリアに関するものである。
に用いられるウェハ用キャリアに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、ウェハを輸送する際には、図３お
よび図４に示すようなウェハ用キャリアを用いるのが一
般的である。このウェハ用キャリアは、複数のウェハ１
を収納する上下に開口したキャリア本体２と、キャリア
本体２の上の開口を閉じる上蓋３と、下の開口を閉じる
下蓋４との３つの部分に別れる。キャリア本体２の内側
には各ウェハ１が倒れるのを防止するためにキャリア本
体内を仕切る仕切板５が設けられる。また、上蓋３と下
蓋４との内側には、ウェハ１を挟んで固定するための一
対の支持突起６、６がそれぞれ設けられる。支持突起６
は非弾性体で構成され、それにはウェハ１を係合するＶ
字形の切欠きが形成されている。このようなウェハ用キ
ャリアには、ウェハを２５枚程度収納するのが一般的な
形である。
よび図４に示すようなウェハ用キャリアを用いるのが一
般的である。このウェハ用キャリアは、複数のウェハ１
を収納する上下に開口したキャリア本体２と、キャリア
本体２の上の開口を閉じる上蓋３と、下の開口を閉じる
下蓋４との３つの部分に別れる。キャリア本体２の内側
には各ウェハ１が倒れるのを防止するためにキャリア本
体内を仕切る仕切板５が設けられる。また、上蓋３と下
蓋４との内側には、ウェハ１を挟んで固定するための一
対の支持突起６、６がそれぞれ設けられる。支持突起６
は非弾性体で構成され、それにはウェハ１を係合するＶ
字形の切欠きが形成されている。このようなウェハ用キ
ャリアには、ウェハを２５枚程度収納するのが一般的な
形である。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】半導体ウェハは高い清
浄度を要求されており、ウェハの輸送に際しても、ゴミ
などの異物が付着しないようにしなければならない。こ
のため、キャリアをラミネート袋に入れるなどして、外
部からの異物侵入に対する対策が取られている。
浄度を要求されており、ウェハの輸送に際しても、ゴミ
などの異物が付着しないようにしなければならない。こ
のため、キャリアをラミネート袋に入れるなどして、外
部からの異物侵入に対する対策が取られている。
【０００４】しかし、ウェハとキャリアとの接触によっ
ても異物が発生することがある。それにもかかわらず、
従来は内部で発生する異物に対しては何らの対策も取ら
れていない。
ても異物が発生することがある。それにもかかわらず、
従来は内部で発生する異物に対しては何らの対策も取ら
れていない。
【０００５】キャリアは輸送中にいろいろな振動を受け
るが、その振動によりウェハとキャリアとが相対的に振
動する。この振動は支持突起では吸収できない。このた
め支持突起の切欠き部との間で擦れが生じてウェハおよ
び支持突起が摩耗し、これらの摩耗粉が発生する。実験
によれば、０．５μｍ以上の異物（摩耗粉）が１００個
以上増加した例もある。摩耗粉がウェハに付着すると、
その後の露光処理でのデフォーカス要因となったり他工
程の汚染につながるので、異物の低減は重要な問題であ
る。
るが、その振動によりウェハとキャリアとが相対的に振
動する。この振動は支持突起では吸収できない。このた
め支持突起の切欠き部との間で擦れが生じてウェハおよ
び支持突起が摩耗し、これらの摩耗粉が発生する。実験
によれば、０．５μｍ以上の異物（摩耗粉）が１００個
以上増加した例もある。摩耗粉がウェハに付着すると、
その後の露光処理でのデフォーカス要因となったり他工
程の汚染につながるので、異物の低減は重要な問題であ
る。
【０００６】本発明の目的は、上述した従来技術の問題
点を解消し、異物の発生の少ないウェハ用キャリアを提
供することである。
点を解消し、異物の発生の少ないウェハ用キャリアを提
供することである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、内部にウェハ
を弾性支持するための振動吸収体を設けたものである。
この振動吸収体は、キャリアに与えられる振動を有効に
吸収するために、ウェハの外周部を受けるウェハ受け部
と、ウェハ受け部の両側に連設され外側を凸に湾曲した
２本の脚部とを備えて構成することが好ましい。
を弾性支持するための振動吸収体を設けたものである。
この振動吸収体は、キャリアに与えられる振動を有効に
吸収するために、ウェハの外周部を受けるウェハ受け部
と、ウェハ受け部の両側に連設され外側を凸に湾曲した
２本の脚部とを備えて構成することが好ましい。
【０００８】ウェハ受け部の形状はウェハの外周形状に
合せて決める。ウェハが円形であれば円弧状とし、ウェ
ハが角形であれば直線状とする。ウェハは特に限定され
ないが、例えば半導体ウェハ、特に硬度がＳｉの半分以
下であり傷つきやすいＧａＡｓ等の化合物半導体ウェハ
であると意義が大きい。
合せて決める。ウェハが円形であれば円弧状とし、ウェ
ハが角形であれば直線状とする。ウェハは特に限定され
ないが、例えば半導体ウェハ、特に硬度がＳｉの半分以
下であり傷つきやすいＧａＡｓ等の化合物半導体ウェハ
であると意義が大きい。
【０００９】振動吸収体はキャリアと一体に設けること
が好ましいが、別体でもよい。また、キャリアはフッ素
樹脂等で構成することが好ましい。
が好ましいが、別体でもよい。また、キャリアはフッ素
樹脂等で構成することが好ましい。
【００１０】
【作用】キャリア内にウェハを弾性支持するための振動
吸収体を設けると、キャリアに与えられる振動が振動吸
収体により吸収されるため、ウェハはキャリアの振動に
よって擦れるようなことがなくなる。
吸収体を設けると、キャリアに与えられる振動が振動吸
収体により吸収されるため、ウェハはキャリアの振動に
よって擦れるようなことがなくなる。
【００１１】特に、振動吸収体を、ウェハの外周部を受
けるウェハ受け部と、ウェハ受け部の両側に連設され外
側を凸に湾曲した２本の脚部とを備えて構成すると、キ
ャリアに振動が加えられたとき、両脚部が無理なく撓ん
で、ウェハの外周部を支持するウェハ受け部が、ウェハ
を受け止めたまま、振動方向と平行に移動するので、キ
ャリアとウェハとが接触する部分は振動によって擦れる
ようなことがなくなる。
けるウェハ受け部と、ウェハ受け部の両側に連設され外
側を凸に湾曲した２本の脚部とを備えて構成すると、キ
ャリアに振動が加えられたとき、両脚部が無理なく撓ん
で、ウェハの外周部を支持するウェハ受け部が、ウェハ
を受け止めたまま、振動方向と平行に移動するので、キ
ャリアとウェハとが接触する部分は振動によって擦れる
ようなことがなくなる。
【００１２】
【実施例】本発明のウェハ用キャリアの実施例を図１お
よび図２に示す。なお、これらの図に示されているキャ
リアは横置きにしたときの状態である。
よび図２に示す。なお、これらの図に示されているキャ
リアは横置きにしたときの状態である。
【００１３】本実施例のウェハ用キャリアは、円形のウ
ェハ１を複数枚収納する上下に開口したキャリア本体２
と、キャリア本体の上の開口に嵌合して該開口を閉じる
上蓋１３と、下の開口に嵌合して該開口を閉じる下蓋１
４とから主に構成される。なお、ここでの上蓋、下蓋の
区別は便宜的なものである。キャリアに上下蓋１３、１
４を設けるのは、キャリアを縦にしてウェハ１を水平に
した状態で、キャリア内部に収納した複数のウェハ１を
同時にあるいは一枚一枚取り出す際に、側面に来る上下
蓋１３、１４のどちら側からでも開けられるようにする
ためである。このように使い勝手をよくするために上下
蓋１３、１４は同じ大きさ、形状としてある。なお、横
置きにしたままウェハを取り出す場合であっても何ら事
情は変らない。
ェハ１を複数枚収納する上下に開口したキャリア本体２
と、キャリア本体の上の開口に嵌合して該開口を閉じる
上蓋１３と、下の開口に嵌合して該開口を閉じる下蓋１
４とから主に構成される。なお、ここでの上蓋、下蓋の
区別は便宜的なものである。キャリアに上下蓋１３、１
４を設けるのは、キャリアを縦にしてウェハ１を水平に
した状態で、キャリア内部に収納した複数のウェハ１を
同時にあるいは一枚一枚取り出す際に、側面に来る上下
蓋１３、１４のどちら側からでも開けられるようにする
ためである。このように使い勝手をよくするために上下
蓋１３、１４は同じ大きさ、形状としてある。なお、横
置きにしたままウェハを取り出す場合であっても何ら事
情は変らない。
【００１４】キャリア本体２の内側にはウェハ１が１枚
単位で収納されるようにキャリア本体内を仕切るための
仕切板１５が設けられる。この仕切板１は、内部のウェ
ハ１を引き出すためにキャリアを縦にしてウェハ１を水
平にし、一方の蓋を開いたときウェハ１が落下しないよ
うに下方からウェハ支持する。なお、キャリアを縦置き
にしないで横置きのまま収納したり、取り出したりする
場合もあるが、その場合であっても仕切板１５は、起立
したウェハ１が倒れないようにするために必要となる。
単位で収納されるようにキャリア本体内を仕切るための
仕切板１５が設けられる。この仕切板１は、内部のウェ
ハ１を引き出すためにキャリアを縦にしてウェハ１を水
平にし、一方の蓋を開いたときウェハ１が落下しないよ
うに下方からウェハ支持する。なお、キャリアを縦置き
にしないで横置きのまま収納したり、取り出したりする
場合もあるが、その場合であっても仕切板１５は、起立
したウェハ１が倒れないようにするために必要となる。
【００１５】また、上蓋３と下蓋４との内側には、ウェ
ハ１を弾性支持するための断面略Ｍ字状の振動吸収体１
６がそれぞれ設けられる。振動吸収体１６は、ウェハ１
の外周部と接触してウェハ１を受けるウェハ受け部７
と、ウェハ受け部７の両側に連設され外側を凸に湾曲し
た２本の脚部８、８と、さらに脚部８、８に上蓋１３ま
たは下蓋１４の嵌合溝１１、１２に嵌合して振動吸収体
１６を上蓋１３または下蓋１４に固定する足部９、９と
から構成される。ウェハ受け部７は円形ウェハ１の外周
端に合せて弧状にしてあり、位置決め用に浅い凹溝１８
を切ってあるが、この凹溝１８はあくまでもウェハ外周
端を受け止めるに止まり、擦られるほどの接触面積をも
つものではない。したがって、位置決めさえできれば凹
溝１８はなくてもよい。
ハ１を弾性支持するための断面略Ｍ字状の振動吸収体１
６がそれぞれ設けられる。振動吸収体１６は、ウェハ１
の外周部と接触してウェハ１を受けるウェハ受け部７
と、ウェハ受け部７の両側に連設され外側を凸に湾曲し
た２本の脚部８、８と、さらに脚部８、８に上蓋１３ま
たは下蓋１４の嵌合溝１１、１２に嵌合して振動吸収体
１６を上蓋１３または下蓋１４に固定する足部９、９と
から構成される。ウェハ受け部７は円形ウェハ１の外周
端に合せて弧状にしてあり、位置決め用に浅い凹溝１８
を切ってあるが、この凹溝１８はあくまでもウェハ外周
端を受け止めるに止まり、擦られるほどの接触面積をも
つものではない。したがって、位置決めさえできれば凹
溝１８はなくてもよい。
【００１６】振動吸収体１６の脚部８、８は、バネ状と
なっていてウェハ１を収納したときに撓んだ形となり、
キャリアが外部から振動を受けると、その振動を吸収す
る。
なっていてウェハ１を収納したときに撓んだ形となり、
キャリアが外部から振動を受けると、その振動を吸収す
る。
【００１７】振動吸収体１６は、上蓋１３、１４と別体
になっており、さらにウェハ単位に独立して作用するよ
うに、各々の振動吸収体１６、１６間にスリット１７が
設けられる。このウェハ用キャリアには従来と同様にウ
ェハが２５枚程度収納されるようになっている。
になっており、さらにウェハ単位に独立して作用するよ
うに、各々の振動吸収体１６、１６間にスリット１７が
設けられる。このウェハ用キャリアには従来と同様にウ
ェハが２５枚程度収納されるようになっている。
【００１８】上記のように構成されたウェハ用キャリア
を用いてウェハ１を収納する場合、例えば一方の開口に
上蓋１３または下蓋１４を嵌合して該開口を閉じる。そ
して、キャリア本体２を縦にして多段フォーク状のウェ
ハ保持具（図示せず）で一度に２５枚のウェハを収納す
る。このとき、ウェハ奥部の外周部がウェハ受け部７の
凹溝１８に係合するようにセットする。なお、もちろん
一枚ずつ収納しても、あるいは横置きにしたままセット
してもよい。そして収納後、他方の開口に下蓋１４また
は上蓋１３を嵌合して該開口を閉じる。このときウェハ
１は両蓋１３、１４の振動吸収体１６間に、脚部８の撓
みによって弾性的に支持される。また、各々のウェハ受
け部７、７間にスリット１７を設けてあるため、異なる
外径のウェハ１を入れても、振動吸収体１６が独立して
撓むので、ウェハ固定が緩くなったりウェハ受け部間で
擦れが生じることはない。
を用いてウェハ１を収納する場合、例えば一方の開口に
上蓋１３または下蓋１４を嵌合して該開口を閉じる。そ
して、キャリア本体２を縦にして多段フォーク状のウェ
ハ保持具（図示せず）で一度に２５枚のウェハを収納す
る。このとき、ウェハ奥部の外周部がウェハ受け部７の
凹溝１８に係合するようにセットする。なお、もちろん
一枚ずつ収納しても、あるいは横置きにしたままセット
してもよい。そして収納後、他方の開口に下蓋１４また
は上蓋１３を嵌合して該開口を閉じる。このときウェハ
１は両蓋１３、１４の振動吸収体１６間に、脚部８の撓
みによって弾性的に支持される。また、各々のウェハ受
け部７、７間にスリット１７を設けてあるため、異なる
外径のウェハ１を入れても、振動吸収体１６が独立して
撓むので、ウェハ固定が緩くなったりウェハ受け部間で
擦れが生じることはない。
【００１９】ウェハ用キャリアのキャリア本体２、上蓋
１３、下蓋１４、振動吸収体１６はいずれもフッ素系化
合物、例えば高度の耐薬品性、耐熱性、機械的特性を有
するテフロンＰＦＡ（Du Pont 社の登録商標）で構成す
ることが好ましい。
１３、下蓋１４、振動吸収体１６はいずれもフッ素系化
合物、例えば高度の耐薬品性、耐熱性、機械的特性を有
するテフロンＰＦＡ（Du Pont 社の登録商標）で構成す
ることが好ましい。
【００２０】さて、キャリアが外部から力を加えられて
振動を受けたとき、振動吸収体１６の脚部８が撓んでウ
ェハ１とキャリアの相対的な振動を吸収する。したがっ
て、ウェハ１と接触している振動吸収体１６のウェハ受
け部７はウェハ１と一緒に動き、このときウェハ１と接
触しているウェハ受け部７は、擦れないので異物の発生
はない。
振動を受けたとき、振動吸収体１６の脚部８が撓んでウ
ェハ１とキャリアの相対的な振動を吸収する。したがっ
て、ウェハ１と接触している振動吸収体１６のウェハ受
け部７はウェハ１と一緒に動き、このときウェハ１と接
触しているウェハ受け部７は、擦れないので異物の発生
はない。
【００２１】また、ウェハ１は振動吸収体１６、１６間
で挾持され、キャリア側壁はもちろん、仕切板１５にも
接触しないので、キャリア内の他の部分についても、擦
れるような部分はなく、異物は発生しない。
で挾持され、キャリア側壁はもちろん、仕切板１５にも
接触しないので、キャリア内の他の部分についても、擦
れるような部分はなく、異物は発生しない。
【００２２】なお、本実施例では蓋と振動吸収体は別体
となっているが、一体であってもよい。また、振動吸収
体の形状は断面略Ｍ字状となっているが、弾性体構造を
もつものであれば他の形状をしていてもよい。また、振
動吸収体は、その各々のウェハ受け部の間にスリットを
設けたが、同じ外径のウェハのみを入れる時はスリット
を省略してもよい。
となっているが、一体であってもよい。また、振動吸収
体の形状は断面略Ｍ字状となっているが、弾性体構造を
もつものであれば他の形状をしていてもよい。また、振
動吸収体は、その各々のウェハ受け部の間にスリットを
設けたが、同じ外径のウェハのみを入れる時はスリット
を省略してもよい。
【００２３】以上述べたように上記実施例のウェハ用キ
ャリアにウェハを収納してウェハを輸送しても、キャリ
ア内での輸送中の異物発生が無く、高い清浄度のウェハ
を得ることができる。これにより異物による不良が低減
する。また、輸送後に異物を洗浄する作業が不要とな
り、ウェハ鏡面の品質が保証でき生産能率が上がる。
ャリアにウェハを収納してウェハを輸送しても、キャリ
ア内での輸送中の異物発生が無く、高い清浄度のウェハ
を得ることができる。これにより異物による不良が低減
する。また、輸送後に異物を洗浄する作業が不要とな
り、ウェハ鏡面の品質が保証でき生産能率が上がる。
【００２４】なお、上記実施例ではウェハを円形とした
が、角形ウェハにも本発明は適用できる。また、上蓋ま
たは下蓋の一方をキャリア本体と一体構成としてもよ
い。
が、角形ウェハにも本発明は適用できる。また、上蓋ま
たは下蓋の一方をキャリア本体と一体構成としてもよ
い。
【００２５】
【発明の効果】本発明によれば、キャリア内でウェハを
弾性支持するようにしたので、キャリアに与えられる振
動が有効に吸収されてウェハが擦れるようなことがなく
なるため、キャリア内での異物の発生を大幅に低減する
ことができる。
弾性支持するようにしたので、キャリアに与えられる振
動が有効に吸収されてウェハが擦れるようなことがなく
なるため、キャリア内での異物の発生を大幅に低減する
ことができる。
【図１】本発明のウェハ用キャリアの一実施例を説明す
るためのウェハを収納した状態のキャリアの横断面図で
ある。
るためのウェハを収納した状態のキャリアの横断面図で
ある。
【図２】同じく本実施例の斜視断面図である。
【図３】従来例のウェハを収納した状態のキャリアの横
断面図である。
断面図である。
【図４】同じく従来例の斜視断面図である。
１ ウェハ ２ キャリア本体 ７ ウェハ受け部 ８ 脚部 ９ 足部 １２ 嵌合溝 １３ 上蓋 １４ 下蓋 １５ 仕切板 １６ 振動吸収体 １７ スリット １８ 凹溝
Claims (3)
- 【請求項１】内部にウェハを弾性支持するための振動吸
収体を設けたことを特徴とするウェハ用キャリア。 - 【請求項２】上記振動吸収体が、ウェハの外周部を受け
るウェハ受け部と、ウェハ受け部の両側に連設され外側
を凸に湾曲した２本の脚部とを備えていることを特徴と
するウェハ用キャリア。 - 【請求項３】振動吸収体がウェハ単位で独立して作用す
るように、振動吸収体間にスリットが形成されているこ
とを特徴とする請求項１または２に記載のウェハ用キャ
リア。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9504594A JPH07302833A (ja) | 1994-05-09 | 1994-05-09 | ウェハ用キャリア |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9504594A JPH07302833A (ja) | 1994-05-09 | 1994-05-09 | ウェハ用キャリア |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07302833A true JPH07302833A (ja) | 1995-11-14 |
Family
ID=14127103
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9504594A Pending JPH07302833A (ja) | 1994-05-09 | 1994-05-09 | ウェハ用キャリア |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07302833A (ja) |
Cited By (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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