CN103474383A - 一种硅片盒 - Google Patents

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CN103474383A CN201310401776XA CN201310401776A CN103474383A CN 103474383 A CN103474383 A CN 103474383A CN 201310401776X A CN201310401776X A CN 201310401776XA CN 201310401776 A CN201310401776 A CN 201310401776A CN 103474383 A CN103474383 A CN 103474383A
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郭城
吕明
徐明星
郭英云
纪大鹏
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Abstract

本发明属于半导体制造装备技术领域，本发明公开了一种硅片盒，包括有载片弯板、与之两端连接在一起的支撑挡板组成，其特征在于：在所述硅片盒内设置减震层、防滑层。本发明的有益效果是：硅片数量不受刻槽数量的限制，增加硅片的存放量，而且易于清洗、具有减震功能，且结构简单、使用方便、操作安全，提高转运效率。

Description

一种硅片盒
技术领域
本发明属于半导体制造装备技术领域，尤其涉及在半导体生产中用于存放硅片的硅片盒改进。
背景技术
半导体硅片在生产过程中因其特性需要特殊的承载治具进行存放及转运，而目前使用的硅片盒的存放及转运效率成为提高生产效率的制约因素。目前，普遍使用的刻槽硅片盒缺点如下：其一，刻槽硅片盒存放硅片的数量少，受制于刻槽的数量，所以影响生产效率；其二，硅片在转运、放入及取出过程中特别容易造成碎片；其三，不易清洗，容易污染硅片。这是现有技术的不足之处。
发明内容
本发明的目的在于，克服现有技术的不足，提供了一种结构简单、增加硅片的存放量、具有减震功能、易清洗及提高转运效率的一种硅片盒。
为解决上述技术问题，本发明的技术方案为：一种硅片盒，包括有载片弯板、与之两端连接在一起的支撑挡板组成，其特征在于：在所述硅片盒内设置减震层、防滑层。载片弯板的承载曲面是光滑的，减震层、防滑层与载片弯板的连接设置成可拆卸的，硅片数量不受刻槽数量的限制，而且易于清洗、搬运。
本发明的进一步改进有，所述防滑层设置有齿状条纹、铺设在所述减震层的上面。目的是对硅片起到阻尼的作用，防止硅片滑落摔碎。
本发明的进一步改进还有，在所述支撑挡板的外端设置把手。利用把手转运方便。
说明书中没有描述的结构属于现有技术。
本方案的有益效果可根据对上述方案的叙述得知，一种硅片盒，包括有载片弯板、与之两端连接在一起的支撑挡板组成，其特征在于：在所述硅片盒内设置减震层、防滑层。本发明的有益效果是：硅片数量不受刻槽数量的限制，增加硅片的存放量，而且易于清洗、具有减震功能，且结构简单、使用方便、操作安全，提高转运效率。
附图说明
图1为本发明的结构示意主视图,图2本发明的结构示意俯视图，图3本发明的结构示意左视图。图中：1是支撑挡板，2是载片弯板，3是硅片,4是把手，5是减震层，6是防滑层。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细说明。
下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细说明，通过附图可以看出，本方案的一种硅片盒，包括有载片弯板2、与之两端连接在一起的支撑挡板1组成，其特征在于：在硅片盒内设置减震层5、防滑层6。防滑层6设置有齿状条纹、铺设在减震层5的上面。支撑挡板1的外端设置把手4。
当然，上述说明并非对本发明的限制，本发明也不仅限于上述举例，本技术领域的普通技术人员在本发明的实质范围内所做出的变化、改型、添加或替换，也属于本发明的保护范围。

Claims (3)

1.一种硅片盒，包括有载片弯板、与之两端连接在一起的支撑挡板组成，其特征在于：在所述硅片盒内设置减震层、防滑层。
2.根据权利要求1所述的一种硅片盒，其特征在于：所述防滑层设置有齿状条纹、铺设在所述减震层的上面。
3.根据权利要求1或2所述的一种硅片盒，其特征在于：在所述支撑挡板的外端设置把手。
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PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C02 Deemed withdrawal of patent application after publication (patent law 2001)
WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication

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