JPH0679152U - 半導体ウエーハ運搬用容器の構造 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ウエーハ運搬用容器内におけるウエーハの破
損事故をなくすることを目的としたものである。 【構成】 半導体ウエーハを整列装填したウエーハキャ
リヤを装入、保管するウエーハ運搬用容器１の底部に、
逆凹形でその天板が中くぼみ状でその上面にＶ型溝列５
ｂ、５ｂでウエーハＷを支え、そのウエーハの上方周縁
部を蓋３の下面に装着した弾性を有する支持杆４ｃ、４
ｃで押さえることによって、そのウエーハを緩衝的に保
持するウエーハ運搬用容器の構造。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、半導体ウエーハを破損ないし汚染することなく安全に保管、輸送す るための半導体ウエーハ運搬用容器に関する。

【０００２】

【従来の技術】

半導体ウエーハを保管、運搬輸送するための容器は、ウエーハを整列装填する ウエーハキャリヤ、これを装入する容器、輸送中に生ずる振動、衝撃によるウエ ーハの破損を防止ないし減少を目的とした緩衝支持杆および蓋の組み合わせで構 成されるのが通例である（平成４年実用新案登録願第５６０６０号等）。

【０００３】 ここにいうウエーハキャリヤは、多数の半導体ウエーハを一定間隔に整列装填 する容器で、ウエーハ運搬用容器（外箱）に装入される、いわゆる二重構造にな る容器の内部側容器である。半導体ウエーハの整列ピッチは半導体メーカの作業 上の便宜さ等から、ふっ素樹脂からなるウエーハ処理用の作業キャリヤ（図示し ていない）のピッチと合致させることが要求され、そのピッチは国際的にウエー ハの直径が３〜６インチ用の容器は４．７６ｍｍ、８インチのウエーハ用には６ ．３５ｍｍに統一されており、この考案に関するウエーハキャリア、緩衝支持杆 等のピッチもこれに従ったものである。このようなウエーハキャリヤおよび容器 において、運搬中や作業中の振動、衝撃によってウエーハが破損し、あるいはウ エーハキャリヤがウエーハの振動による摺動によってそのエッジ部で接触面を削 られ、その削りくずがウエーハに付着して汚染を来すということもしばしばあり 、このために、容器の蓋に各種のウエーハ緩衝支持具をもうけ、その防止対策と しているのが、いまだ完全なものがないのが現状である。

【０００４】

【考案が解決しようとする課題】

ウエーハ運搬用容器は主としてプラスチックで成形されたものであるが、外箱 とウエーハキャリヤとの二重の構造になっており、しかも十分な強度を持たせる ために肉厚も可能な限り厚く形成されているために重量が重く、さらに、収納す る半導体ウエーハの重量も加わり、容器の全重量は相当に大きなものとなる。こ のように大きな質量を有する運搬用容器が何らかの事由で他物に衝突し、あるい は落下したような場合には非常に大きなエネルギーが生じ、したがって容器に大 きな歪みを生じ、内部のウエーハを破損することになる。そのような大きな事故 ではなく、通常の作業において運搬用容器を作業台などにごく軽く衝突させると いった軽度のミスはしばしば行われるが、そのような軽度の衝撃といえども全体 的なエネルギーは大きく、その結果、脆性材料である半導体ウエーハの破損に至 ることはしばしば発生する。本考案は、このようなウエーハ運搬用容器内におけ るウエーハの破損事故をなくすることを目的としたものである。

【０００５】

【課題を解決するための手段】

半導体ウエーハを整列装填したウエーハキャリヤを装入するウエーハ運搬用容 器本体内底面に、逆凹形でその天板が中くぼみ状に湾曲したアーチ状断面を有し 、その天板上面にＶ型溝列二条を並列に形成した緩衝載置台を装着し、この二条 のＶ型溝列でウエーハキャリアに収納されたウエーハの下部を支承して該ウエー ハをキャリア底部より若干持ち上げることにより、ウエーハとウエーハキャリア との接触を断つと共に、運搬用容器の蓋内面に装着してウエーハの上方周縁部を 押圧する作用を有する弾性支持杆との間で該ウエーハを挟持して、容器に加わる 振動、衝撃が直接ウエーハに影響を及ぼさないよう緩衝的な保持を図ったもので ある。

【０００６】

【実施例】

本考案に係るウエーハ容器の構造を図面に従って説明する。図１に示すように ウエーハを運搬する容器１において、ウエーハＷはウエーハキャリヤ２に装填さ れ、さらに該ウエーハキャリア２は容器本体１に装入され、次いでウエーハＷが 運搬中の振動などによってキャリヤ中を摺動し、あるいは破損しないように蓋３ の内面に装着された緩衝支持杆４でウエーハ上部より押圧することは従来のウエ ーハ容器と同様の構造であるが、本考案は逆凹形でその天板が中くぼみ状に湾曲 したアーチ状断面を有し、その天板上面にＶ型溝列二条を並列に形成した緩衝載 置台５を容器本体１の底部に裝着したことに特徴を有するものである。

【０００７】 図２に本考案に係るウエーハ容器の断面図を示した。ウエーハの緩衝載置台５ はポリエチレンなどの軟質ないし半硬質の材料で比較的薄い平板で作られた逆凹 形断面のアーチ型方形状のもので、その天板５ａはウエーハの円弧とほぼ同様の 円弧状面を形成し、その両端を垂下して脚５ｃ、５ｃとし、しかも、その天板５ ａ上には、複数の整列されたウエーハＷが安定した状態で整列載置できるように 二条のＶ形溝列５ｂ、５ｂが設けられている。また、緩衝載置台５の幅は後述の ウエーハキャリア２底部の開口２ａの幅よりも狭い寸法とする。この脚５ｃ、５ ｃは容器本体１の底部に設けた位置決め用係合溝１ａ、１ａに係合して装着せら れる。載置台５を、このように脚５ｃ、５ｃの二側面にのみ立設するアーチ型と したことによって、容器に加わる衝撃、変形に対してその脚５ｃ、５ｃが開き、 あるいは湾曲状天板５ａが歪むなどして容易に弾性変形をし、その衝撃を吸収、 緩和する効果を得ようとするものである。なお、図示したＶ型溝は左右の傾斜角 度を異にしているのは所定間隔にウエーハを整列させる効果を狙ったものである が、左右を同角度としてもよい。

【０００８】 ウエーハキャリア２は、ウエーハを整列、収納する箱体である。その一の対向 側壁２ａ、２ａは下方が半導体ウエーハの円周に沿うよう内側に湾曲しており、 その下端は収納されるウエーハが落下しない程度に接近させ、その末端はは開口 ２ｂとし、容器１内に装着する緩衝載置台３と接触しないようにされている。そ して、その両側壁２ａ、２ａの内面に前記の国際的規格に従った間隔を保って対 向した凸条２ｃ、２ｃを立設することによって、その凸条間に半導体ウエーハを 整列装填する溝２ｄ、２ｄ形成している。他の側面の一方２ｅは全面が壁面であ り、その対向面はその中間に一部の側壁２ｆを残した程度に開放されている。こ のように開放的構造としたのは、収納されたウエーハＷをその下部端面から押し 上げキャリアの上方にまで突出させて上方よりウエーハを容易に取り出せること ができるなど、収納されたウエーハの表面に手指を触れずに取り扱うことができ る清浄性、作業性の向上を図ったものであり、その形状は特に限定するものでは ない。

【０００９】 容器本体に装入された半導体ウエーハの上部を押圧保持する支持具４は、その 枠杆４ａの対向面から壁面４ｂ、４ｂを垂下させ、その下端より曲折して再び上 方に伸びる支持杆４ｃ、４ｃと、さらに上方に向かって延伸し、その先端部分が 該支持具４を蓋３の内面の装着したときその蓋３の内面に近接する押圧腕４ｄ、 ４ｄを連続形成したものである。この支持杆４ｃ、４ｃ、押圧腕４ｄ、４ｄはス リット４ｆ、４ｆによってウエーハの収納可能枚数と同数に部分的に分割し、よ って支持杆４ｃ、４ｃおよび押圧腕４ｄ、４ｄに可撓性を与えている。しかも、 各々の支持杆４ｃは山型に刻設された溝状下面４ｅを有し、収納されたウエーハ の斜め上方周縁部に当接して左右の揺れを防ぐと共に、押圧して安定した保持を なすものである。このような支持具４は、適当な方法によって、例えば図示の嵌 合穴４ｇ、４ｇと蓋３に突設した嵌合ボス３ａ、３ａとの係合によって蓋３の裏 面に装着される。なお、４ｈ、４ｈは尖頭状突起である。

【００１０】 以上の構成になる本考案半導体ウエーハの運搬用容器本体１は、その底部にあ らかじめ緩衝載置台５が装着されており、その上方からウエーハを整列装填した ウエーハキャリア２が装入される。そして、ウエーハキャリア２が容器１の底に 達する直前にウエーハＷの下方周縁が前記の緩衝載置台５上のＶ型溝５ｂ、５ｂ に当接して１枚ずつが収まり、その後ウエーハキャリアは底面にまで下降する。 したがってウエーハＷはウエーハキャリア２の溝２ｄ下方との接触が断たれ浮き 上がった状態で安定し、また、Ｖ型溝５ｂ、５ｂに収まることによって凸条２ｃ 、２ｃとの接触も断たれる。なお、ウエーハキャリア２の側壁２ａ、２ａに刻設 されたそれぞれ対向する溝３ｄ、３ｄの底間距離はウエーハ直径よりも大きくさ れているので、その間のウエーハのウエーハキャリアとの接触は皆無となるよう に構成されている。

【００１１】 このようにウエーハが収納された容器１に蓋３を被覆嵌合すると、蓋３の裏面 に装着された緩衝支持具４の支持杆４ｃ、４ｃに突設した尖頭状突起４ｈが先ず 各々のウエーハの斜傾を修正して直立させ、次いで支持杆４ｃ、４ｃ下面の溝部 ４ｅ、４ｅが各々一枚ずつのウエーハに当接する。この当接によって上方に伸び た押圧腕４ｄ、４ｄが押し上げられその先端が蓋３の裏面に接する。さらに蓋３ を完全に嵌合させると該押圧腕４ｄ、４ｄの先端が押し下げられ、したがってそ れに連続する支持杆４ｃ、４ｃのウエーハを押圧し支持する力が増加し、より確 実な保持を可能にすることになる。蓋３に連設した係合突起３ｂ、３ｂは本体１ の係合凹部１ｂ、１ｂに嵌合される止具である。なお、図示していないが他の側 面にも止具が設けられることもある。

【００１２】

【発明の効果】

以上に説明したように本考案の半導体ウエーハ運搬用容器は、逆凹形でその天 板が中くぼみ状に湾曲したアーチ状断面を有し、その天板上面にＶ型溝列二条を 並列に形成した緩衝載置台５を底面に備え、また、緩衝性を有する支持杆４ｃ、 ４ｃを蓋３の裏面に装着して、その間にウエーハを挟み保持する構造としたもの で、これによって、容器内に収まったウエーハは容器本体１、蓋３およびウエー ハキャリア２とは直接的接触が断たれている。したがって、容器に何らかの衝撃 が加り変形が生じた様な場合においても、常に弾性を有する支持杆４ｃ、４ｃお よび緩衝載置台５がその衝撃、変形を吸収するため、ウエーハはその影響を受け ることがなく、破損することはなくなった。また、ウエーハが支持杆４ｃ、４ｃ および載置台５により緩衝的に保持されるので、容器に振動が生じてもウエーハ と支持杆および載置台との接触面に摺動がなく、したがって摩耗くずも発生せず 、ウエーハを汚染することもなくなった。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案のウエーハ運搬用容器の中央断面図であ
る。

【図２】本考案のウエーハ運搬用容器の分解図である。

【図３】ウエーハ支持具平面図である。

【図４】図３のＡ−Ａ断面図である。

【図５】図４のＢ−Ｂ断面図である。

【図６】緩衝載置台の斜視図である。

【図７】図６のＣ−Ｃ断面図である。

【符号の説明】

１ 容器 １ａ 係合溝 １ｂ 係合凹部 ２ ウエーハキャリア ２ｄ ウエーハ収納溝 ３ 蓋 ３ａ 嵌合ボス ４ 支持具 ４ａ 枠杆 ４ｃ 支持杆 ４ｄ 押圧腕 ４ｆ スリット ４ｇ 嵌合穴 ４ｈ 尖頭状突起 ５ 緩衝載置台 ５ａ 天板 ５ｂ Ｖ型溝列 ５ｃ 脚

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 半導体ウエーハを整列装填したウエーハ
   キャリヤを装入、保管するウエーハ運搬用容器におい
   て、逆凹形でその天板が中くぼみ状に湾曲したアーチ状
   断面を有し、その天板上面にＶ型溝列二条を並列に形成
   した緩衝載置台を該運搬用容器本体内底部に装着し、こ
   の二条のＶ型溝列でウエーハキャリアに装填されたウエ
   ーハの下部を支承して該ウエーハをウエーハキャリアか
   ら若干浮かせウエーハキャリアとの接触を断つと共に、
   そのウエーハ上方周縁部を押圧する運搬用容器の蓋内面
   に装着した弾性支持杆との間で該ウエーハを整列保持す
   ることを特徴とするウエーハ運搬用容器の構造。