KR20110036514A

KR20110036514A - 점착 테이프 부착 장치

Info

Publication number: KR20110036514A
Application number: KR1020100095270A
Authority: KR
Inventors: 나오끼 이시이; 마사유끼 야마모또
Original assignee: 닛토덴코 가부시키가이샤
Priority date: 2009-10-01
Filing date: 2010-09-30
Publication date: 2011-04-07
Also published as: US8678062B2; US20110079357A1; TW201130024A; CN102034729B; CN102034729A; JP5412226B2; JP2011077443A

Abstract

본 발명은, 공급 보빈의 축심을 지나는 연직선 상에 회수 보빈을 배치하고, 테이프 수용실의 전방측 양단에 한 쌍의 연결 기구를 구비한다. 다이 프레임 선단에 연결부를 갖는 점착 테이프 반송 대차를 장치 본체의 연결 기구와 연결하고, 점착 테이프의 원재료 롤을 공급 보빈에 반입함과 함께, 동일한 위치에서 절단 후의 잔사 테이프의 롤을 회수 보빈으로부터 반출한다.

Description

점착 테이프 부착 장치{ADHESIVE TAPE JOINING APPARATUS}

본 발명은, 반도체 웨이퍼와 링 프레임 또는 반도체 웨이퍼에 점착 테이프를 부착하는 점착 테이프 부착 장치에 관한 것으로, 특히 이 장치로의 점착 테이프의 반입 및 반출 기술에 관한 것이다.

종래의 점착 테이프 부착 장치는, 보유 지지 테이블에 보유 지지된 반도체 웨이퍼와 링 프레임을 향해, 또는 보유 지지 테이블에 보유 지지된 반도체 웨이퍼만을 향해 점착 테이프를 공급하기 위해, 보유 지지 테이블의 상방 또는 하방 중 어느 한쪽에 테이프 공급 기구와 테이프 회수부를 병렬로 배치하고 있다. 예를 들어, 점착 테이프의 원재료 롤과 웨이퍼 형상으로 절단한 후의 잔사 테이프를 권취하는 권취부를 보유 지지 테이블을 끼워 병렬 배치하고 있다. 또한 다른 장치로서, 반도체 웨이퍼 형상으로 미리 절단한 프리컷 점착 테이프가 소정 피치로 부착하여 보유 지지된 캐리어 테이프의 원재료 롤과 프리컷 점착 테이프를 박리한 후의 캐리어 테이프를 회수하는 롤이 보유 지지 테이블을 끼워 병렬 배치되어 있다(일본 특허 제3888754호를 참조).

그러나, 종래의 점착 테이프 부착 장치에서는, 다음과 같은 문제가 있다.

즉, 최근의 고밀도 실장의 요구에 수반하여 반도체 웨이퍼의 직경이 커짐과 함께, 박형화되는 경향이 있다. 이 요구를 만족시키기 위해, 표면 보호용의 점착 테이프나 다이싱 테이프의 폭이 커짐과 함께, 웨이퍼에 강성을 갖게 하기 위해 점착 테이프 등의 두께가 증대되는 경향이 있다. 또한, 장치 본체에의 롤의 교환 빈도를 저감시켜 작업 효율의 향상을 도모하기 위해, 점착 테이프 등을 충분한 테이프 길이로 확보할 필요가 있다.

따라서, 점착 테이프를 권회한 원재료 롤의 형상이 대형화됨과 함께, 그 중량이 증대된다. 이들 원재료 롤, 잔사 롤, 및 캐리어 롤 등을 수작업으로 장치에 반입 혹은 반출하는 것이 곤란한 상황으로 되어 있다.

본 발명은, 대형화되는 점착 테이프 등의 원재료 롤의 장치로의 반입, 혹은 불필요하게 된 잔사 테이프나 캐리어 테이프의 롤의 장치로부터의 반출을 용이하게 하는 점착 테이프 부착 장치를 제공하는 것을 목적으로 하고 있다.

본 발명은, 이러한 목적을 달성하기 위해, 다음과 같은 구성을 채용한다.

반도체 웨이퍼에 점착 테이프를 부착하는 점착 테이프 부착 장치이며,

상기 반도체 웨이퍼를 보유 지지하는 보유 지지 테이블과,

원재료 롤에 권회된 띠 형상의 상기 점착 테이프를 반도체 웨이퍼를 향해 공급하는 테이프 공급 기구와,

상기 점착 테이프를 반도체 웨이퍼에 부착하는 테이프 부착 기구와,

상기 점착 테이프를 반도체 웨이퍼의 외형을 따라 절단하는 테이프 절단 기구와,

상기 테이프 공급 기구에 세트된 원재료 롤 중심을 지나는 연직선 상에 권취축을 구비하고, 절단 후의 잔사 테이프를 롤 형상으로 권취하여 회수하는 테이프 회수부와,

상기 테이프 공급 기구로의 원재료 롤의 반입 및 테이프 회수부로부터 잔사 테이프의 롤을 반출하는 점착 테이프 반송 대차를 테이프 세트 위치로 안내함과 함께 위치 결정하여 연결하는 연결 기구를 포함한다.

또한, 본 발명은 이러한 목적을 달성하기 위해, 다음과 같은 구성을 채용한다.

상기 반도체 웨이퍼를 보유 지지하는 보유 지지 테이블과,

상기 반도체 웨이퍼 형상으로 미리 절단한 프리컷 점착 테이프가 소정 피치로 부착하여 보유 지지된 띠 형상의 캐리어 테이프를 원재료 롤로부터 반도체 웨이퍼를 향해 공급하는 테이프 공급 기구와,

상기 캐리어 테이프를 에지 부재에 의해 되접어 점착 테이프를 박리하면서 반도체 웨이퍼에 부착하는 테이프 부착 기구와,

상기 테이프 공급 기구에 세트된 원재료 롤 중심을 지나는 연직선 상에 권취축을 구비하고, 박리 부재에 의해 박리된 캐리어 테이프를 롤 형상으로 권취하여 회수하는 테이프 회수부와,

상기 테이프 공급 기구로의 원재료 롤의 반입 및 테이프 회수부로부터 캐리어 테이프의 롤을 반출하는 점착 테이프 반송 대차를 테이프 세트 위치로 안내함과 함께 위치 결정하여 연결하는 연결 기구를 더 포함한다.

지지용의 점착 테이프를 부착하여 링 프레임과 반도체 웨이퍼를 일체화하는 점착 테이프 부착 장치이며,

상기 링 프레임 및 반도체 웨이퍼의 각각을 소정 자세로 보유 지지하는 워크 보유 지지 기구와,

상기 링 프레임 형상으로 미리 절단한 프리컷 점착 테이프가 부착하여 보유 지지된 띠 형상의 캐리어 테이프 혹은 띠 형상의 점착 테이프를 워크 보유 지지 기구에 보유 지지된 링 프레임의 이면을 향해 공급하는 테이프 공급 기구와,

박리 부재에 의해 되접혀 상기 캐리어 테이프로부터 풀어내어지는 프리컷 점착 테이프 혹은 띠 형상의 점착 테이프를 가압하면서 구름 이동하는 부착 롤러에 의해, 워크 보유 지지 기구에 보유 지지된 링 프레임 및 반도체 웨이퍼에 점착 테이프를 부착하는 부착 유닛과,

띠 형상의 상기 점착 테이프를 링 프레임을 따라 절단하는 테이프 절단 기구와,

상기 테이프 공급 기구에 세트된 테이프의 원재료 롤 중심을 지나는 연직선 상에 권취축을 구비하고, 절단 처리 후의 잔사 테이프 혹은 캐리어 테이프를 권취하여 회수하는 테이프 회수부와,

상기 테이프 공급 기구로의 원재료 롤의 반입 및 테이프 회수부로부터 잔사 테이프 혹은 캐리어 테이프의 롤을 반출하는 점착 테이프 반송 대차를 테이프 세트 위치로 안내함과 함께 위치 결정하여 연결하는 연결 기구를 더 포함한다.

상기 각 실시예의 점착 테이프 부착 장치에 따르면, 테이프 공급 기구에 반입시키는 점착 테이프의 원재료 롤과 테이프 회수부에 회수되는 잔사 테이프나 캐리어 테이프의 롤이 원재료 롤의 중심을 지나는 연직선 상에 배열되어 배치된다. 따라서, 점착 테이프 반송 대차를 장치 본체의 연결한 동일한 위치에서 양 롤의 교환을 가능하게 한다.

또한, 상기 실시예의 구성에 있어서, 예를 들어, 점착 테이프 반송 대차는, 다이 프레임의 저면에 장비한 캐스터와, 상기 다이 프레임에 세워 설치된 지지축을 따라 승강하는 승강 가동대와, 상기 롤을 적재 보유 지지함과 함께, 다이 프레임에 대해 평행 이동하는 보유 지지 테이블을 구비하는 것이 바람직하다.

이 구성에 따르면, 가동대를 승강시킴으로써, 원재료 롤의 반입 위치와 캐리어 테이프 또는 잔사 테이프의 반출 위치에 보유 지지 테이블을 위치 정렬할 수 있다. 또한, 보유 지지 테이블을 다이 프레임에 대해 평행 이동시킴으로써, 테이프 공급 기구로의 원재료 롤의 반입 및 테이프 회수부로부터의 캐리어 테이프 또는 잔사 테이프의 롤의 반출을 용이하게 한다.

또한, 상기 구성에 있어서, 점착 테이프 반송 대차의 연결 상태를 검출하는 센서를 구비하는 것이 바람직하다.

이 구성에 따르면, 원재료 롤의 반출 및 캐리어 테이프 또는 잔사 테이프의 반출을 위한 위치 정렬을 정확하게 할 수 있다.

※ 발명을 설명하기 위해 현재의 적합하다고 생각되는 몇 개의 형태가 도시되어 있지만, 발명이 도시된 바와 같은 구성 및 방책에 한정되는 것은 아닌 것을 이해해야 할 것이다.

도 1은, 실시예 1에 관한 점착 테이프 부착 장치의 평면도.
도 2는, 점착 테이프 부착 장치의 정면도.
도 3은, 도 1의 A-A 화살표 단면도.
도 4는, 점착 테이프 반송 대차의 측면도.
도 5는, 점착 테이프 반송 대차에 구비된 보유 지지 테이블의 정면도.
도 6 내지 도 9는, 실시예 1의 장치의 점착 테이프 부착 동작을 도시하는 도면.
도 10은, 점착 테이프 반송 대차와 장치 본체의 연결 부분을 도시하는 평면도.
도 11은, 점착 테이프 반송 대차와 장치 본체의 연결 부분을 도시하는 측면도.
도 12는, 점착 테이프 반송 대차와 장치 본체의 연결 부분을 도시하는 평면도.
도 13은, 점착 테이프 반송 대차와 장치 본체의 연결 부분을 도시하는 측면도.
도 14는, 실시예 1의 보유 지지 테이블의 정면도.
도 15는, 실시예 1의 보유 지지 테이블의 동작 설명도.
도 16 내지 도 19는, 실시예 2의 보유 지지 테이블의 정면도.
도 20은, 마운트 프레임의 사시도.
도 21 내지 도 24는, 프리컷 다이싱 테이프의 부착 동작을 도시하는 도면.
도 25는, 프리컷 다이싱 테이프의 부착 동작을 도시하는 주요부 확대도.
도 26은, 프리컷 다이싱 테이프의 부착 동작을 도시하는 측면도.
도 27은, 점착 테이프 반송 대차의 다른 실시예를 도시하는 측면도.
도 28은, 점착 테이프 반송 대차의 다른 실시예를 동작 설명도.

이하, 도면을 참조하여 본 발명에 관한 점착 테이프 부착 장치의 실시예를 설명한다. 또한, 본 실시예 장치에서는, 반도체 웨이퍼의 표면에 보호용의 점착 테이프를 부착하는 경우를 예로 들어 설명한다.

<실시예 1>

도 1 및 도 2에 도시한 바와 같이, 점착 테이프 부착 장치(1)는, 백그라인드 처리를 실시한 반도체 웨이퍼 W(이하, 간단히「웨이퍼 W」라 함)를 다단으로 수납하는 카세트 C가 장전되는 웨이퍼 공급/회수부(2)와, 로봇 아암(3)을 구비한 웨이퍼 반송 기구(4)와, 웨이퍼 W의 위치 정렬을 하는 얼라인먼트 스테이지(5)와, 얼라인먼트 후의 웨이퍼 W를 흡착 보유 지지하는 척 테이블(6)과, 이 척 테이블(6)에 흡착 보유 지지된 웨이퍼 W를 향해 표면 보호용의 점착 테이프 T를 공급하는 테이프 공급 기구(7)와, 테이프 공급 기구(7)로부터 공급된 세퍼레이터 S가 부착된 점착 테이프 T로부터 박리한 세퍼레이터 S를 회수하는 세퍼레이터 회수부(8)와, 점착 테이프 T를 웨이퍼 W에 부착하는 부착 유닛(9)과, 웨이퍼 형상을 따라 점착 테이프 T를 절단하는 테이프 절단 기구(10)와, 절단 후의 잔사 테이프 T'를 박리하는 박리 유닛(11)과, 잔사 테이프 T'를 권취하여 회수하는 테이프 회수부(12)를 구비하고 있다. 이하, 각 구성에 대해 구체적으로 설명한다.

웨이퍼 공급/회수부(2)에는 카세트대가 구비되어 있다. 이 카세트대에 점착 테이프 T가 패턴면(이하, 적절하게「표면」이라 함)에 부착된 웨이퍼 W를 다단으로 수납한 카세트 C가 적재된다. 이때, 웨이퍼 W는, 패턴면을 상향으로 한 수평 자세를 유지하고 있다.

웨이퍼 반송 기구(4)는, 도 1 및 도 3에 도시한 바와 같이, 구동 기구에 의해 선회 및 승강 이동하도록 구성되어 있다. 이 웨이퍼 반송 기구(4)에 구비된 로봇 아암(3)은, 그 선단에 말굽형을 한 진공 흡착식의 웨이퍼 보유 지지부(3a)를 구비하고 있다. 웨이퍼 보유 지지부(3a)에는 흡착 구멍이 형성되어 있고, 웨이퍼 W를 이면으로부터 진공 흡착하여 보유 지지한다.

따라서, 로봇 아암(3)은, 카세트 C에 다단으로 수납된 웨이퍼 W끼리의 간극에 웨이퍼 보유 지지부(3a)를 삽입하여 웨이퍼 W를 이면(하면)으로부터 흡착 보유 지지한다. 또한, 흡착 보유 지지한 웨이퍼 W를 카세트 C로부터 인출하여, 얼라인먼트 스테이지(5), 척 테이블(6), 및 원래의 카세트 C의 순서대로 반송한다.

얼라인먼트 스테이지(5)는, 도 1 및 도 3에 도시한 바와 같이, 보유 지지 테이블(13)의 중앙에서 출퇴하여 웨이퍼 W의 수취 및 전달을 하는 흡착 보유 지지부(14)를 구비하고 있다. 또한, 얼라인먼트 스테이지(5)는, 보유 지지 테이블(13)에 적재된 웨이퍼 W를 그 주연부에 구비된 오리엔테이션 플랫이나 노치 등에 기초하여 위치 정렬을 행함과 함께, 웨이퍼 W의 이면 전체를 덮어 보유 지지 테이블(13)에 진공 흡착한다.

척 테이블(6)은, 로봇 아암(3)으로부터 이동 탑재되어 소정의 위치 정렬 자세로 적재된 웨이퍼 W를 진공 흡착한다. 또한, 척 테이블(6)의 상면에는, 도 2에 도시한 바와 같이, 테이프 절단 기구(10)에 구비한 커터날(15)을 웨이퍼 W의 외형을 따라 선회 이동시켜 점착 테이프 T를 절단하기 위해 커터 주행 홈(16)이 형성되어 있다. 또한, 테이블 중심에는 웨이퍼 반입 반출시에 출퇴 승강하는 흡착 보유 지지부(17)가 설치되어 있다.

테이프 공급 기구(7)는, 공급 보빈(18)에 세트된 원재료 롤(19)로부터 풀어내어진 세퍼레이터 S가 부착된 점착 테이프 T를 이송 롤러(20)와 가이드 롤러(21)로 권회 안내하여 나이프 에지로서의 박리 부재(22)로 유도한다. 박리 부재(22)의 선단에서의 되접힘에 의해 점착 테이프 T로부터 세퍼레이터 S를 박리한다. 세퍼레이터 S가 박리된 점착 테이프 T를 부착 유닛(9)으로 유도하도록 구성되어 있다. 이송 롤러(20)는, 핀치 롤러(23)와의 사이에 보호 테이프 T를 끼움 지지 안내함과 함께 모터에 의해 회전 구동된다.

공급 보빈(18)은, 도 4에 도시한 바와 같이, 길이 방향의 선단측과 기단측의 주위측면을 따라, 그 표면으로부터 출퇴하는 복수개의 푸셔 PS가 등간격으로 구비되어 있다. 또한, 공급 보빈(18)에는 적당한 회전 저항이 부여되어 있어, 과잉의 테이프 풀어내기가 행해지지 않도록 구성되어 있다.

또한, 테이프 공급 기구(7)는, 공급 보빈(18)에 점착 테이프 T를 반입하는 테이프 수용실(24)(도 2 참조)의 전방 좌우 하부에 있어서, 점착 테이프 반송 대차(50)(이하, 적절하게「대차(50)」라 함)의 위치 결정을 하여 안내하는 가이드 G와, 대차(50)의 선단의 폭 방향에 구비된 한 쌍의 연결부(51)와 각각 결합하는 한 쌍의 연결 기구(25) 및 위치 결정용 센서(26)를 구비하고 있다.

연결 기구(25)는, 도 10 내지 도 12에 도시한 바와 같이, 장치 본체의 안쪽에서 수평축 X 주위로 피봇 가능한 에어 실린더(27)의 로드 선단에 결합부를 구비하고 있다. 결합부는, 두 갈래 프레임(28)과 그 선단에서 축지지되어 공회전하는 결합 롤러(29)로 구성되어 있다.

에어 실린더(27)는, 장치 본체 혹은 조작 패널에 구비된 스위치를 온으로 함으로써, 결합하는 점착 테이프 반송 대차(50)를 장치 본체측으로 인입하도록 구성되어 있다.

센서(26)는, 본 실시예의 경우, 후술하는 점착 테이프 반송 대차(50)의 다이 프레임(52)의 선단에 구비된 위치 결정부(53)와의 접촉에 의해 위치 확인을 행하는 접촉식의 것이다. 또한, 센서(26)는, 접촉식에 한정되지 않고 점착 테이프 반송 대차(50)와의 위치 결정을 확인할 수 있는 것이면 되고, 비접촉의 광학 카메라나 광학 센서이어도 된다.

점착 테이프 반송 대차(50)는, 도 4에 도시한 바와 같이, 다이 프레임(52)의 저부 전방측에 좌우 한 쌍의 회전륜(54)이, 또한 다이 프레임 후방측에는 좌우 한 쌍의 캐스터(55)가 각각 장비되어 있다.

다이 프레임(52)의 선단의 폭 방향에는, 한 쌍의 연결부(51) 및 위치 결정부(53)를 구비하고 있다. 연결부(51)는, 도 11에 도시한 바와 같이, 다이 프레임(52)의 선단에 장착한 브래킷(56) 상에, 다이 프레임(52)의 선단으로부터 소정 거리를 두고 장착한 상향으로 끝이 가는 테이퍼 형상의 결합 블록(57)에 의해 구성되어 있다. 결합 블록(57)의 후방 내측면에 오목하게 들어간 만곡한 홈이 형성되어 있다. 이 홈에 결합 롤러(29)가 결합하도록 구성되어 있다. 즉, 장치 본체의 결합 롤러(29)가, 결합 블록(57) 상을 구름 이동함으로써, 에어 실린더(27)를 요동 승강시킨다. 결합 롤러(29)가, 결합 블록(57)을 타고 넘으면 낙하한다. 또한, 에어 실린더(27)를 작동시켜 결합 롤러(29)를 인입함으로써, 결합 블록(57)의 홈에 결합 롤러(29)가 확실하게 결합한다. 이 구성에 의해, 대차(50)와 장치 본체가 위치 결정 연결된다.

위치 결정부(53)는, 테이프 수용실(24)에 대차(50)를 세트했을 때에 장치 본체의 센서(26)와 접촉함으로써, 위치 정렬 확인되도록 구성되어 있다.

대차 후방에는, 도 4에 도시한 바와 같이, 핸들(58)이 구비되어 있다. 이 핸들(58)을 갖고 대차(50)를 손으로 가압 이동한다.

또한, 대차 후방에는, 세워 설치된 가이드축(59)을 따라 승강 가능한 승강 가동대(60)를 구비하고 있다. 즉, 조작 핸들(61)을 회전시킴으로써, 가이드축(59)에 형성된 랙과 연동하는 승강 가동대 내에 구비된 피니언과의 협동에 의해 승강 가동대(60)가 승강한다. 승강 가동대(60)는, 임의의 높이에서 정지하도록 스토퍼를 구비하고 있다.

또한, 승강 가동대(60)에는, 다이 프레임(52)의 전후 길이보다도 긴 보유 지지 테이블(62)이 장착되어 있다. 대차(50)가 장치 본체에 연결되었을 때, 보유 지지 테이블(62)의 선단 부분을 테이프 수용실(24)에 밀어올리도록 구성되어 있다. 보유 지지 테이블(62) 상에는, 승강 가동대(60)에 구비된 조작 핸들(63)을 회전시킴으로써, 볼축(64)을 따라 나사 이송 구동하는 수평 가동대(65)가 구비되어 있다. 보유 지지 테이블(62)의 선단측에는, 공급 보빈(18)으로의 원재료 롤 세팅 완료 위치를 나타냄과 함께, 보유 지지 테이블(62)의 낙하를 방지하는 스토퍼(66)가 배치되어 있다.

보유 지지 테이블(62)의 폭 방향의 양측에는, 도 5에 도시한 바와 같이, 원재료 롤(19)을 보유 지지하는 한 쌍의 보유 지지 블록(67)이 구비되어 있다. 양 보유 지지 블록(67)은, 대향하는 내향으로 비스듬하게 내려간 테이퍼 형상으로 구성되어 있다. 또한, 보유 지지 테이블(62)의 후방에는, 원재료 롤(19)을 공급 보빈(18)을 향해 압입하는 가압 부재(68)를 구비하고 있다.

도 2로 복귀하여, 세퍼레이터 회수부(8)는, 점착 테이프 T로부터 박리된 세퍼레이터 S를 권취하는 회수 보빈(30)이 구비되어 있다. 이 회수 보빈(30)은, 적시에 세퍼레이터 S를 권취하거나, 혹은 반전 구동시켜 세퍼레이터 S를 풀어낸다.

부착 유닛(9)에는, 도 6에 도시한 바와 같이, 에어 실린더(31)에 의해 상하로 위치 변경 가능한 부착 롤러(32)가 구비되어 있다. 또한, 도 2에 도시한 바와 같이, 부착 유닛 전체가 안내 레일(33)을 따라 수평 이동 가능하게 지지됨과 함께, 모터(34)에 의해 정역회전 구동되는 나사축(35)에 의해 왕복 나사 이송 구동된다.

테이프 절단 기구(10)는, 도 2 및 도 3에 도시한 바와 같이, 척 테이블(6)의 안쪽 상방의 대기 위치와, 척 테이블(6) 상의 절단 작용 위치에 걸친 승강 및 수평 이동 가능한 가동대(36)를 구비하고 있다. 이 가동대(36)의 하부에, 척 테이블(6)의 중심에 위치하는 종축심 Z 주위에 선회 구동 가능하게 지지 아암(37)이 장비되어 있다. 또한, 이 지지 아암(37)의 자유 단부측에 구비한 커터 유닛(38)에 선단을 하향으로 한 커터날(15)이 장착되어 있다. 이 지지 아암(37)이 종축심 Z 주위로 선회함으로써 커터날(15)이 웨이퍼 W의 외형을 따라 주행하고, 점착 테이프 T를 웨이퍼 형상으로 오려내도록 구성되어 있다.

박리 유닛(11)은, 도 2 및 도 6에 도시한 바와 같이, 박리 롤러(39), 모터(40)에 의해 구동되는 송출 롤러(41), 및 테이프 끼움 지지용의 핀치 롤러(42)가 구비되어 있다. 또한, 박리 유닛 전체가 안내 레일(33)을 따라 수평 이동 가능하게 지지됨과 함께, 모터(34)에 의해 정역회전 구동되는 나사축(35)에 의해 왕복 나사 이송 구동되도록 되어 있다.

테이프 회수부(12)는, 모터 구동되는 회수 보빈(43)이 구비되어 있다. 이 회수 보빈(43)은, 절단 후의 잔사 테이프 T'를 권취하는 방향으로 회전 구동된다. 회수 보빈(43)은, 도 4에 도시한 바와 같이, 길이 방향의 선단측과 기단측의 주위측면을 따라 표면으로부터 출퇴하는 복수개의 푸셔 PS가 등간격으로 구비되어 있다. 또한, 본 실시예에서는, 회수 보빈(43)의 축심이, 도 2에 도시한 바와 같이, 공급 보빈(18)의 축심의 연직 상방에 위치하도록 배치되어 있다. 또한, 회수 보빈(43)의 축심은, 척 테이블(6)의 표면 높이와 동일하게 세트되어 있다. 즉, 장치 본체의 절반 이하에서 높이의 범위에서 회수 보빈(43)과 공급 보빈(18)이, 수직선 상에 세로로 배치되어 있다.

다음에, 상기 실시예 장치를 사용하여 표면 보호용의 점착 테이프 T를 웨이퍼 W의 표면에 부착하기 위한 일련 동작을 도 6 내지 도 9에 기초하여 설명한다.

부착 지령이 내려지면, 우선, 웨이퍼 반송 기구(4)의 로봇 아암(3)이 카세트대에 적재 장전된 카세트 C를 향해 이동된다. 웨이퍼 보유 지지부(3a)가 카세트 C에 수용되어 있는 웨이퍼 W끼리의 간극에 삽입된다. 웨이퍼 보유 지지부(3a)는, 웨이퍼 W를 이면으로부터 흡착 보유 지지하여 반출한다. 로봇 아암(3)은, 취출한 웨이퍼 W를 얼라인먼트 스테이지(5)에 이동 탑재한다.

얼라인먼트 스테이지(5)는, 흡착 보유 지지부(14)를 상승시켜 웨이퍼 W의 이면을 흡착 보유 지지하고, 웨이퍼 W의 외주에 형성되어 있는 노치나 오리엔테이션 플랫에 기초하여 웨이퍼 W의 위치 정렬을 한다. 위치 정렬이 완료된 웨이퍼 W는, 다시 로봇 아암(3)에 의해 반출되어 척 테이블(6)의 상방을 향해 반송된다. 이때, 도 6에 도시한 바와 같이, 부착 유닛(9)과 박리 유닛(11)은 우측의 초기 위치에, 또한 테이프 절단 기구(10)의 커터날(15)은 상방 안쪽의 초기 위치에서 각각 대기하고 있다.

웨이퍼 W가 척 테이블(6)과 상방으로 반송되어 오면, 척 테이블(6)의 중앙에 있어서 흡착 보유 지지부(17)가 돌출 상승하여 웨이퍼 W를 이면으로부터 수취 흡착한다. 동시에, 로봇 아암(3)의 웨이퍼 보유 지지부(3a)가 흡착을 해제하여 퇴피한다. 그 후, 흡착 보유 지지부(17)가 퇴입 하강함으로써, 웨이퍼 W가 척 테이블(6)에 적재되고, 웨이퍼 W의 반입이 종료된다.

웨이퍼 W의 반입이 종료되면, 도 7에 도시한 바와 같이, 박리 유닛(11)을 좌측 단부로 이동시켜 점착 테이프 T를 원재료 롤(19)로부터 풀어냄과 함께, 회수 보빈(43)을 역회전시켜 잔사 테이프 T'를 인출한다. 이때, 모터의 구동을 정지한 상태로 하고, 이송 롤러(20)의 위치에서 점착 테이프 T를 핀치 롤러(23)에 끼움 지지한 채 이송 롤러(20)가 구동된다. 즉, 점착 테이프 T가 테이프 공급 방향으로 보내진다. 그 결과, 웨이퍼 W의 상방에서 점착 테이프 T에 적당한 텐션이 부여되어 있다.

다음에, 테이프 부착 공정으로 이행한다. 즉, 도 8에 도시한 바와 같이, 부착 롤러(32)가 하강됨과 함께, 부착 유닛(9)이 전진 이동하여 부착 롤러(32)로 점착 테이프 T를 웨이퍼 W에 가압하면서 전방(도면에서는 좌측 방향)으로 구름 이동해 간다. 이에 의해, 점착 테이프 T가 웨이퍼 W의 표면에 부착되어 간다.

도 9에 도시한 바와 같이, 부착 유닛(9)이 척 테이블(6)을 넘어 부착 종단 위치에 도달하면, 상방 안쪽에 대기하고 있었던 테이프 절단 기구(10)가 작동된다. 즉, 커터날(15)이 절단 작용 위치까지 이동한다. 커터날(15)은, 척 테이블(6)의 커터 주행 홈의 위치에서 하강되어 점착 테이프 T에 찔러진다.

다음에, 지지 아암(37)이 소정의 방향으로 회전됨으로써, 커터날(15)이 종축심 Z 주위로 선회하여 점착 시트 T를 웨이퍼 외형을 따라 절단한다.

시트 절단 후에 커터날(15)이 상승하여 장치 안쪽 상방의 대기 위치로 복귀된다. 그 후, 부착 유닛(9)과 박리 유닛(11)이 초기 위치를 향해 이동하면서 웨이퍼 형상으로 오려내어진 잔사 테이프 T'를 감아 올려 박리하여 회수 보빈(43)에 권취한다. 즉, 부착 유닛(9)과 박리 유닛(11)은, 도 6에 도시한 초기 위치로 복귀된다.

테이프 부착 작동이 종료되면, 척 테이블(6)의 흡착이 해제된다. 그 후, 웨이퍼 W는, 흡착 보유 지지부(3a)에 보유 지지되어 테이블 상방으로 들어올려진다. 이 상태에서 로봇 아암(3)의 웨이퍼 보유 지지부(3a)에 이동 탑재되어 반출된다. 그 웨이퍼 W는, 웨이퍼 공급/회수부(2)의 카세트 C에 삽입 회수된다.

이상에서 1회의 점착 테이프 부착 처리가 완료되고, 이후, 상기 작동을 순차 반복해 간다.

다음에, 장치 본체로의 점착 테이프 T의 원재료 롤(19)의 반입과 잔사 테이프 T'의 롤의 반출 동작에 대해 설명한다.

점착 테이프 반송 대차(50)의 조작 핸들(61)을 조작하여 승강 가동대(60)를 회수 보빈(43)의 상단보다도 높아지도록 조정하고, 보유 지지 테이블(62)에 원재료 롤(19)을 적재한다.

도 10 및 도 11에 도시한 바와 같이, 대차(50)를 장치 본체의 테이프 수용실(24)의 연결 기구(25)를 향해 이동시킨다. 테이프 수용실(24)의 전단에 대차(50)가 도달한 시점에서, 가이드 G에 의해 대차(50)의 폭 방향의 위치 결정이 된다. 그 상태에서 대차(50)를 압입함으로써, 연결 기구(25)의 에어 실린더(27)를 신장한 상태에서 결합 롤러(29)가 다이 프레임(52)의 결합 블록(57)을 타고 넘어 간다. 이때, 센서(26)가 작동하여 대차(50)의 위치가 검출된다. 검출 결과, 연결 위치가 정렬되어 있으면 장치 본체로부터 통지음 또는 램프를 점등시켜 오퍼레이터에게 알린다. 통지음 등이 확인되면, 오퍼레이터는 장치 본체의 스위치를 조작하여 에어 실린더(27)를 작동(온)시킨다. 에어 실린더(27)는, 도 12 및 도 13에 도시한 바와 같이, 결합 롤러(29)를 장치 본체측에 인입하여 대차(50)를 장치 본체에 결합 연결시킨다. 센서(26)는, 연결의 완료를 검출하면, 장치 본체로부터 통지음 또는 램프를 점등시켜 오퍼레이터에게 알린다.

연결의 완료가 확인되면, 오퍼레이터는 조작 핸들(61)을 조작하여 공급 보빈(18)의 축심과 원재료 롤(19)의 축심이 대략 일치하도록 보유 지지 테이블(62)의 높이 조정을 행한다. 이때, 공급 보빈(18)의 푸셔 PS는, 보빈 내에 퇴피하고 있다.

높이 조정이 완료되면, 조작 핸들(63)을 조작하여 보유 지지 테이블(62)을 전진 이동시킨다. 이때, 보유 지지 테이블(62)의 후방의 가압 부재(68)에 의해 원재료 롤(19)이 공급 보빈(18)에 압입되어 간다.

수평 가동대(65)가 스토퍼(66)에 접촉한 시점에서 푸셔 PS를 돌출 작동시켜, 원재료 롤(19)을 공급 보빈(18)에 보유 지지시킨다.

조작 핸들(61)을 조작하여 보유 지지 테이블(62)을 약간 하강시켜 보유 지지 블록(67)과 원재료 롤(19)과의 접촉을 해제한 후에, 조작 핸들(63)을 역회전시킨다. 즉, 보유 지지 테이블(62)을 후퇴시킨다. 이에 의해 공급 보빈(18)에의 원재료 롤(19)의 세트가 완료된다.

다음에, 에어 실린더(27)를 오프로 하여 결합 롤러(29)의 인입을 해제한다. 이 상태에서 대차(50)를 후퇴시켜 장치 본체와의 연결을 해제한다.

후퇴한 위치에서, 회수 보빈(43)에 권취 회수된 잔사 테이프 T'의 롤 하단보다 보유 지지 블록(67)의 보유 지지면이 아래로 위치하도록 조작 핸들(61)을 조작하여 보유 지지 테이블(62)의 높이를 조정한다. 이 조정이 완료되면, 다시 대차(50)를 장치 본체의 테이프 수용실(24)을 향해 이동시켜, 원재료 롤(19)의 반입시와 동일한 연결 동작이 반복하여 행해진다.

대차(50)와 장치 본체와의 연결이 완료되면, 조작 핸들(63)을 조작하여 보유 지지 테이블(62)을 전진 이동시킨다. 수평 가동대(65)가 스토퍼(66)에 접촉하면, 조작 핸들(61)을 조작하여 승강 가동대(60)를 상승시킴으로써, 보유 지지 블록(67)을 잔사 테이프 T'의 하단에 가압 접촉시킨다.

이 상태에서, 회수 보빈(43)의 푸셔 PS를 퇴피시켜 롤의 보유 지지를 해제한다. 조작 핸들(63)을 역회전시켜, 보유 지지 블록(67) 상에 적재된 잔사 테이프 T'의 롤을 장치 본체로부터 반출한다.

수평 가동대(65)가 후단 위치에 도달하면, 에어 실린더(27)를 오프로 하여 대차(50)를 후퇴시켜 장치 본체로부터의 연결을 해제한다. 이상에서, 원재료 롤(19)의 반입 및 잔사 테이프 T'의 장치 본체로부터의 반출이 완료된다.

본 실시예 장치에 따르면, 공급 보빈(18)의 축심을 지나는 연직선 상에 회수 보빈(43)이 배치되어 있으므로, 원재료 롤(19)을 반입 및 잔사 테이프 T'의 롤을 반출하기 위한 점착 테이프 반송 대차(50)를 동일한 위치에 연결하고, 양 롤의 교환 작업을 행할 수 있다. 따라서, 척 테이블을 끼워 공급 보빈 및 회수 보빈이 병렬 배치된 종래 장치와 같이, 점착 테이프의 원재료 롤 및 잔사 테이프의 롤을 서로 다른 위치에서 교환하는 것에 비해, 작업 효율의 향상을 도모할 수 있다.

<실시예 2>

본 실시예에서는, 지지용의 점착 테이프(다이싱 테이프)를 개재하여 링 프레임에 반도체 웨이퍼를 접착 보유 지지하는 점착 테이프 부착 장치에 대해 설명한다.

이 장치는, 띠 형상의 캐리어 테이프에 링 프레임 형상으로 미리 절단된 프리컷 다이싱 테이프를 구비한 원재료 롤 및 띠 형상의 다이싱 테이프의 원재료 롤의 양쪽을 보빈에 반입 가능하게 구성되어 있다. 또한, 상기 실시예 1의 장치와 동일 구성에 대해서는, 동일 번호를 부여하는 것에 그친다.

본 실시예의 점착 테이프 부착 장치(71)는, 도 14에 도시한 바와 같이, 얼라인먼트 완료된 웨이퍼 W와 링 프레임 f를 흡착 보유 지지하면서 반송 가능한 워크 보유 지지 기구(74)와, 띠 형상의 다이싱 테이프 DT 또는 프리컷 다이싱 테이프 dt의 원재료 롤(19)과 잔사 테이프의 롤 또는 캐리어 테이프 CT를 세트하는 한 쌍의 보빈(18, 43)과 세퍼레이터 S가 부착된 다이싱 테이프 DT로부터 박리한 세퍼레이터 S를 회수하는 세퍼레이터 회수부(93)와, 다이싱 테이프 DT 또는 프리컷 다이싱 테이프 dt를 웨이퍼 W와 링 프레임 f에 부착하는 부착 유닛(94)과, 링 프레임 형상을 따라 다이싱 테이프 DT를 절단하는 테이프 절단 기구(98)와, 절단 후의 잔사 테이프 DT'를 박리하는 박리 유닛(95)을 구비하고 있다.

또한, 장치 다이 프레임(73)의 내부에는, 종판 형상의 지지 프레임(91)이 고정 배치되어 있다. 이 지지 프레임(91)에 보빈(18, 43)을 포함하는 주변 기구, 부착 유닛(94), 박리 유닛(95), 및 테이프 회수부(96)가 장비된다. 또한, 다이 프레임(73)의 안쪽의 대기 위치로부터 중앙 부위의 절단 작용 위치를 향해 테이프 절단 기구(98)가 이동 가능하게 장비되어 있다.

워크 보유 지지 기구(74)는, 다이 프레임(73)으로부터 세워 설치한 지지 기둥 프레임(75)을 통해 수평 및 승강 가능하게 장착된 가동대(76)에 장비되어 있다.

도 14에 도시한 바와 같이, 가동대(76)는, 모터의 정역회전에 의해 지지 기둥 프레임(75)에 설치된 한 쌍의 수평 레일(77)을 따라 왕복 이동된다.

가동대(76)의 하단부에는, 도 15에 도시한 바와 같이, 한쪽의 워크인 링 프레임 f를 상면으로부터 흡착하여 수평 자세로 보유 지지하는 중공 형상의 보유 지지 프레임(81)이 장비되어 있다. 이 보유 지지 프레임(81)의 중앙에, 백그라인드 처리 후의 웨이퍼 W를 상면으로부터 흡착하여 수평 자세로 보유 지지하는 척 테이블(82)이 배치되어 있다.

가동대(76)에는, 3개의 가이드축(83)을 개재하여 상하 이동 가능하게 지지됨과 함께, 에어 실린더(84)에 의해 구동되는 승강 브래킷(85)이 장비되어 있다. 또한, 이 승강 브래킷(85)에 척 테이블(82)이 고무제의 완충 부재(86)를 개재하여 지지되어 있다. 승강 브래킷(85)을 상하 이동시킴으로써, 웨이퍼 W와 링 프레임 f를 승강시킬 수 있도록 되어 있다.

다음에, 도 16을 참조하여 테이프 공급 기구(92) 및 테이프 회수부(96)에 대해 설명한다.

구체적으로 본 실시예의, 띠 형상의 다이싱 테이프 DT를 테이프 공급 기구(92)에 반입하는 경우를 먼저 설명한다. 후술하는 프리컷 다이싱 테이프 DT를 이용하는 경우, 띠 형상의 다이싱 테이프 DT를 이용하는 경우의 원재료 롤을 세트하는 보빈의 위치가, 띠 형상의 다이싱 테이프 DT를 세트하는 위치와 반대가 된다.

보빈(18, 43)은, 실시예 1과 동일한 구성이며, 도 4에 도시한 바와 같이, 길이 방향의 선단 근방과 기단 근방 주위측면을 따라 표면으로부터 출퇴하는 복수개의 푸셔 PS가 등간격으로 구비되어 있다. 또한, 양 보빈(18, 43)에는 적당한 회전 저항이 부여되어 있다. 즉, 과잉의 테이프 풀어내기가 행해지지 않도록 구성되어 있다. 또한, 본 실시예에서는, 보빈(43)의 축심이, 보빈(18)의 축심의 연직 하방에 위치하도록 배치되어 있다. 또한, 보빈(18)에 원재료 롤(19)을 세트했을 때, 당해 원재료 롤(19)은, 다이 프레임(73)의 내부에 들어가 있다. 즉, 장치 본체 하부에 양 보빈(18, 43)이, 수직선 상에 세로로 배치되어 있다.

여기서 띠 형상의 다이싱 테이프 DT를 이용하는 경우, 보빈(18)을 공급 보빈(18)으로서 이용한다.

공급 보빈(18)에 다이싱 테이프 DT가 세트된 경우, 도 16에 도시한 바와 같이, 테이프 공급 기구(92)로부터 풀어내어진 세퍼레이터 S가 부착된 다이싱 테이프 DT는, 핀치 롤러(100)로 유도된다. 여기서 다이싱 테이프 DT로부터 세퍼레이터 S가 박리되어 하방으로 반전 안내된다. 동시에, 세퍼레이터 S가 박리되어 점착면이 상향으로 노출된 다이싱 테이프 DT가 수평으로 인출되어 박리 유닛(95)으로 유도된다. 따라서, 보빈(18) 및 핀치 롤러(100)가, 본 발명의 테이프 공급 기구로서 기능한다.

보빈(43)에 캐리어 테이프 CT가 세트된 경우, 도 21에 도시한 바와 같이, 원재료 롤(19)로부터 풀어내어진 캐리어 테이프 CT는, 댄서 롤러(108)를 통해 부착 유닛(94)을 거쳐 핀치 롤러(100)로 유도된다.

댄서 롤러(108)는, 프리컷 다이싱 테이프 dt가 척 테이블(82) 상의 링 프레임 f의 부착 위치에 공급되도록, 소정 피치로 캐리어 테이프 CT를 인출하도록 구성되어 있다.

도 16으로 복귀하여, 세퍼레이터 회수부(93)에는 회수 보빈(101)이 구비되어 있다. 이 회수 보빈(101)은, 다이싱 테이프 DT로부터 박리되어 핀치 롤러(100)에 의해 하방으로 되접기 안내된 세퍼레이터 S를 권취 회수한다.

부착 유닛(94)은, 도시되어 있지 않은 나사 이송식 혹은 벨트식의 구동 수단에 의해 수평으로 왕복 이동 가능하게 구성되어 있다. 예를 들어, 도 21에 도시한 바와 같이, 캐리어 테이프 CT를 받아들이는 도입용 핀치 롤러(102), 안내 롤러(103), 에지 형상 박판으로 이루어지는 박리 부재(104), 및 부착 롤러(105) 등이 구비되어 있다.

다이싱 테이프 DT가 사용되는 경우에는, 핀치 롤러(100)에 의해 세퍼레이터 S가 박리되어 수평 방향으로 되접기 안내된 다이싱 테이프 DT가 부착 롤러(105)에 접하는 상태에서 박리 유닛(95)으로 유도된다.

프리컷 다이싱 테이프 dt가 사용되는 경우에는, 도 21에 도시한 바와 같이, 부착 유닛(94)에 공급된 캐리어 테이프 CT는, 도입용 핀치 롤러(102), 안내 롤러(103)를 거쳐 박리 부재(104)에 의해 되접기 안내된 후, 핀치 롤러(100)로 유도된다. 박리 부재(104)의 선단 에지에서의 되접기 안내에 의해, 프리컷 다이싱 테이프 dt의 선단이 캐리어 테이프 CT로부터 박리된다. 이 박리된 선단 부분이 링 프레임 f의 부착 위치에 근접하면 대략 동시에, 이 테이프 dt의 비점착면을 부착 롤러(105)가 가압한다.

박리 유닛(95)은, 도시되어 있지 않은 나사 이송식의 구동 수단에 의해 수평으로 왕복 이동 가능하게 구성되어 있다. 또한, 도 16에 도시한 바와 같이, 부착 유닛(94)으로부터 수평으로 도출되어 온 다이싱 테이프 DT를 안내하는 박리 롤러(111)와 안내 롤러(112)가 구비되어 있다.

테이프 절단 기구(98)는, 장치 안쪽의 대기 위치와 워크 보유 지지 기구(74)의 중심선 Z 상의 작용 위치에 걸쳐 전후 이동하도록 구성되어 있다. 또한, 테이프 절단 기구(98)는, 도 14에 도시한 바와 같이, 에어 실린더(114)에 의해 승강됨과 함께, 중심선 Z를 중심으로 하여 선회 구동되는 지지 아암(116)이 연장되어 있다. 이 지지 아암(116)의 단부에는, 원판형의 커터날(117)이 구비되어 있다. 또한, 커터날(117)의 대각 위치에는, 워크 하면을 따라 구름 이동하는 공회전 롤러(118)가 배치되어 있다.

보빈(18, 43)에 다이싱 테이프 DT를 반입하는 테이프 수용실(24)의 전방 좌우 하부에 있어서, 실시예 1의 장치와 마찬가지로, 도 14에 도시한 바와 같이, 점착 테이프 반송 대차(50)의 선단의 폭 방향에 구비된 한 쌍의 연결부(51)와 각각 결합하는 한 쌍의 연결 기구(25)와 1개의 위치 결정용 센서(26)를 구비하고 있다.

즉, 연결 기구(25)는, 도 10 및 도 11에 도시한 바와 같이, 장치 안쪽에서 수평축 X 주위로 피봇 가능한 에어 실린더(27)의 로드 선단에 결합부를 구비하고 있다. 결합부는, 두 갈래 프레임(28)과 그 선단에서 축지지되어 공회전하는 결합 롤러(29)로 구성되어 있다.

본 실시예의 점착 테이프 부착 장치(71)는 이상과 같이 구성되어 있고, 띠 형상의 다이싱 테이프 DT, 혹은 프리컷 다이싱 테이프 dt를 링 프레임 f와 웨이퍼 W에 부착하는 처리를 이하에 설명한다.

도 16 내지 도 19를 따라, 띠 형상의 다이싱 테이프 DT를 부착 처리하는 경우의 공정에 대해 설명한다.

부착 개시 상태에 있어서는, 워크 보유 지지 기구(74)는 상방의 대기 위치에 있다. 링 프레임 f 및 웨이퍼 W가, 로봇 아암 등을 사용하여 워크 보유 지지 기구(74)에 공급되고, 링 프레임 f 및 웨이퍼 W는, 각각이 소정의 위치에서 흡착 보유 지지된다. 이 경우, 웨이퍼 W의 하면이 링 프레임 f의 하면보다 약간 아래로 돌출된 상태로 세트한다.

부착 유닛(94) 및 박리 유닛(95)은, 도 16에 도시한 바와 같이, 좌측 단부의 대기 위치에 있다. 테이프 공급 기구(92)로부터 풀어내어진 세퍼레이터 S가 부착된 다이싱 테이프 DT는, 세퍼레이터 S가 박리된 상태에서 핀치 롤러(100)와 박리 롤러(111)에 걸쳐 걸쳐져 있다.

그 밖의 초기 설정이 완료되면 장치를 작동시킨다. 우선, 도 17에 도시한 바와 같이, 박리 유닛(95)이 우측 방향으로 전진 이동한다. 박리 유닛(95)이 종단 위치에 도달하면, 테이프 고정용 실린더(113)가 전진 이동하여, 다이싱 테이프 DT를 닙한다.

워크 보유 지지 기구(74)가 부착 위치까지 하강되어, 링 프레임 f 및 웨이퍼 W의 하면이 다이싱 테이프 DT의 상향 점착면에 접근 대향된다.

부착 유닛(94)이, 도 18에 도시한 바와 같이, 우측 방향으로 전진한다. 이때, 부착 롤러(105)에 의해 다이싱 테이프 DT를 밀어올리면서 링 프레임 f 및 웨이퍼 W의 하면에 부착해 간다. 이 경우, 웨이퍼 W를 보유 지지한 척 테이블(82)은 완충 부재(86)를 개재하여 탄성 지지되어 있으므로, 링 프레임 f보다 하방으로 돌출되어 있는 웨이퍼 W가 부착 롤러(105)에 의한 가압력을 받으면, 완충 부재(86)의 탄성 변형에 의해 웨이퍼 W의 하면이 링 프레임 f의 하면과 동일 높이의 면이 되도록 후퇴 상승한다. 따라서, 다이싱 테이프 DT는, 웨이퍼 W의 하면 전체에 확실하게 가압된다.

도 19에 도시한 바와 같이, 부착 유닛(94)이 전진하여 종단 위치에 도달하여 부착이 완료되면, 테이프 절단 기구(98)가 작용 위치로 이동해 온다. 그 후, 테이프 절단 기구(98)는, 상승 및 회전 작동하고, 커터날(117)이 선회 주행하여 링 프레임 f의 하면에 부착된 다이싱 테이프 DT를 소정의 직경으로 절단한다. 이때, 다이싱 테이프 DT의 절단 부위 상을 공회전 롤러(118)가 구름 이동하여, 테이프의 들뜸 등을 수정한다.

다이싱 테이프 DT의 절단이 완료되면, 테이프 절단 기구(98)가 하강 작동한다. 또한, 박리 유닛(95)의 테이프 고정용 실린더(113)가 후퇴하여 다이싱 테이프 DT의 고정을 해제한다. 그 후, 도 16에 도시한 바와 같이, 부착 유닛(94)과 박리 유닛(95)이 좌측 방향으로 전진 주행하여, 다이싱 테이프 DT의 원형으로 오려내어진 잔사 테이프 DT'를 링 프레임 f로부터 박리해 간다. 이것과 동조하여 테이프 회수부(96)의 보빈(43)이 권취 작동하여 잔사 테이프 DT'를 권취해 간다.

절단 처리 후에, 부착 유닛(94)과 박리 유닛(95)이 전진하여 초기 위치로 복귀되면, 도 16에 도시한 바와 같이, 워크 보유 지지 기구(74)가 상승 작동하여, 원형으로 절단된 다이싱 테이프 DT를 개재하여 링 프레임 f와 웨이퍼 W를 일체화한 도 20에 도시한 마운트 프레임 MF가, 도 14에 도시한 표면 보호용의 보호 테이프 PT의 박리 유닛(120)을 향해 반출된다.

이상에서 띠 형상의 다이싱 테이프 DT를 사용한 경우의 일순의 부착하는 처리가 종료된다.

다음에, 도 21 내지 도 26을 따라, 프리컷 다이싱 테이프 dt를 부착 처리하는 공정을 설명한다.

부착 개시 상태에 있어서는, 도 21에 도시한 바와 같이 워크 보유 지지 기구(74)는 상방 대기 위치에 있고, 이 워크 보유 지지 기구(74)에 링 프레임 f 및 웨이퍼 W가 각각 소정의 위치에서 흡착 보유 지지된다.

사용되지 않는 박리 유닛(95)은, 우측 단부의 대기 위치에 고정된다. 부착 유닛(94)은 좌측의 설정된 초기 위치에 대기됨과 함께, 사용되지 않는 테이프 절단 기구(98)는 장치 안쪽의 대기 위치에 고정된다.

댄서 롤러(108)에 의해 보빈(43)으로부터 풀어내어진 캐리어 테이프 CT는, 부착 유닛(94)에 공급된다. 즉. 소정의 경로에 감아 걸어 안내되어 후방으로 송출되고, 핀치 롤러(100)를 거쳐 테이프 회수부(96)로 유도되어 권취된다.

그 밖의 초기 설정이 완료되면, 워크 보유 지지 기구(74)가 하강되어 링 프레임 f의 하면이 부착 롤러(105)에 접근 대향되는 작용 위치에 위치 정렬된다.

도 22에 도시한 바와 같이, 댄서 롤러(108)에 의해 소정 피치로 캐리어 테이프 CT가 원재료 롤(19)로부터 풀어내어진다.

도 23에 도시한 바와 같이, 부착 유닛(94)이 전진하여 우측 단부로 이동한다. 이때, 핀치 롤러(100)의 역회전 구동에 의해, 사용 완료된 캐리어 테이프 CT가 보빈(18)으로부터 인출된다. 동시에, 핀치 롤러(100)의 구동에 의해 댄서 롤러(108)를 고정한 채 캐리어 테이프 CT를 보빈(43)으로부터 부착 유닛(94)을 향해, 더 풀어내어 주행시킨다. 소정의 종단 위치에 도달하는 부착 유닛(94)을 초기 위치를 향해 전진 이동시킨다.

부착 유닛(94)의 이동에 수반하여, 핀치 롤러(100) 및 보빈(43)이 구동한다. 즉, 주행하는 캐리어 테이프 CT가 보빈(43)에 권취 회수되어 간다. 이때, 도 25에 도시한 바와 같이, 캐리어 테이프 CT에 부착 보유 지지된 프리컷 다이싱 테이프 dt가 박리 부재(104)에 의해 캐리어 테이프 CT로부터 박리되어 풀어내어져 간다. 이 과정에서 프리컷 다이싱 테이프 dt의 선단이 광센서 등에 의해 검지되어 테이프 주행이 정지된다.

테이프 주행이 정지된 상태에 있어서는, 프리컷 다이싱 테이프 dt의 선단부가 박리 부재(104)에 의해 캐리어 테이프 CT로부터 박리되어, 그 점착면을 상향으로 한 자세로 링 프레임 f의 부착 위치에 근접 대향한다. 이때, 부착 롤러(105)의 바로 위에 링 프레임의 부착 개시 부위가 위치한다.

부착 개시 위치에 도달한 부착 롤러(105)가 밀어올림 이동되어, 프리컷 다이싱 테이프 dt의 선단부가 링 프레임 f의 하면에 가압된다. 그 후, 부착 유닛(94)이 도면 중 좌측 방향으로 전진 주행된다. 이때, 핀치 롤러(100)가 부착 유닛(94)의 이동 속도와 동조한 속도로 권취 구동됨과 함께, 댄서 롤러(108)도 동조 구동시켜 축적되어 있는 캐리어 테이프 CT를 부착 유닛(94)에 풀어낸다. 박리 부재(104)의 선단 에지부에서 캐리어 테이프 CT로부터 박리되는 프리컷 다이싱 테이프 dt가, 도 24 및 도 26에 도시한 바와 같이, 부착 롤러(105)에 의해 링 프레임 f 및 웨이퍼 W의 하면에 연속해서 부착되어 간다. 또한, 부착 유닛(94)이 부착 주행할 때, 양 보빈(18, 43)에서는 약한 백 텐션이 발생하도록 구동된다.

부착 유닛(94)이 전진 이동하여 초기 위치로 복귀되면, 워크 보유 지지 기구(74)가 상승 작동하여, 프리컷 다이싱 테이프 dt를 개재하여 링 프레임 f와 웨이퍼 W를 일체화한 마운트 프레임 MF가 박리 유닛(120)에 반출됨과 함께, 새로운 워크의 반입에 구비한다. 이상에서 프리컷 다이싱 테이프 dt를 사용한 경우의 일순의 부착하는 처리가 종료된다.

상술한 점착 테이프 부착 장치(71)에 따르면, 1대의 장치로 띠 형상의 다이싱 테이프 DT 및 프리컷 다이싱 테이프 dt를 링 프레임 f와 웨이퍼 W에 걸쳐 부착할 수 있다. 따라서, 테이프의 형태에 따른 장치를 개별로 설치할 필요가 없으므로, 설비 비용 및 설치 공간을 절감할 수 있다.

또한, 점착 테이프 형태에 관계없이, 보빈(18, 43)이 세로로 배열되어 있으므로, 원재료 롤(19)을 반입 및 잔사 테이프 T' 및 캐리어 테이프 CT의 롤을 반출하기 위한 점착 테이프 반송 대차(50)를 동일한 위치에 연결하여, 롤의 교환 작업을 행할 수 있다. 따라서, 척 테이블을 끼워 공급 보빈 및 회수 보빈을 병렬 배치한 종래 장치와 같이, 점착 테이프의 원재료 롤 및 잔사 테이프의 롤을 서로 다른 위치에서 교환하는 것에 비해 작업 효율의 향상을 도모할 수 있다.

본 발명은, 이하와 같은 형태로 변형하여 실시할 수도 있다.

(1) 상기 실시예의 점착 테이프 반송 대차(50)는, 승강 가동대(60) 및 수평 가동대(65)를 수동에 의한 핸들 조작으로 행하고 있었지만, 모터 등의 구동 장치에 의해 자동으로 수평 및 승강하도록 구성해도 된다.

(2) 상기 실시예의 점착 테이프 반송 대차(50)는, 보유 지지 테이블(62)이 다이 프레임(52)보다도 길고, 테이프 수용실(24)로부터 밀어올리는 구성이었지만, 보유 지지 테이블(62)의 길이를 다이 프레임(52)의 길이 이하로 설정해도 된다.

이 구성의 경우, 예를 들어, 도 27 및 도 28에 도시한 바와 같이, 2층 구조의 보유 지지 테이블(62a, 62b)을 설치한다. 즉, 보유 지지 테이블(62a) 상에서 레일을 따라 보유 지지 테이블(62b)을 슬라이드 이동 가능하게 구성한다. 즉, 보유 지지 테이블(62)을 신축 가능하게 구성한다.

이 구성에 따르면, 점착 테이프 반송 대차(50)를 장치 본체에 연결한 채, 공급 보빈(18)으로의 원재료 롤(19)의 반입과, 회수 보빈(43)으로부터의 잔사 테이프 T'의 롤의 반출을 행할 수 있다.

(3) 실시예 2의 장치에서는, 부착 유닛(94)이나 박리 유닛(95) 등의 상방에 워크 보유 지지 기구(74)를 배치하고, 웨이퍼 W의 하면에 부착 처리를 행하는 형태를 나타내고 있지만, 그 반대의 구성이어도 된다. 즉, 부착 유닛(94) 등과 워크 보유 지지 기구(74)의 배치하는 위치를 상하로 교체한다. 또한, 웨이퍼 W의 이면을 상향으로 보유 지지하여 워크 보유 지지 기구(74)를 승강시켜 다이싱 테이프 DT를 부착하는 구성이어도 된다. 또한, 이 구성에 있어서도 양 보빈(18, 43)은, 세로로 배치한다.

※ 본 발명은, 그 사상 또는 본질로부터 일탈하지 않고 다른 구체적인 형태로 실시할 수 있고, 따라서, 발명의 범위를 나타내는 것으로서, 이상의 설명이 아니라, 부가된 클레임을 참조해야 한다.

1: 점착 테이프 부착 장치
2: 웨이퍼 공급/회수부
3: 로봇 아암
4: 웨이퍼 반송 기구
5: 얼라인먼트 스테이지
6: 척 테이블
9: 부착 유닛
10: 테이프 절단 기구
11: 박리 유닛
13: 보유 지지 테이블
26: 위치 결정용 센서

Claims

반도체 웨이퍼에 점착 테이프를 부착하는 점착 테이프 부착 장치이며,
상기 반도체 웨이퍼를 보유 지지하는 보유 지지 테이블과,
원재료 롤에 권회된 띠 형상의 상기 점착 테이프를 반도체 웨이퍼를 향해 공급하는 테이프 공급 기구와,
상기 점착 테이프를 반도체 웨이퍼에 부착하는 테이프 부착 기구와,
상기 점착 테이프를 반도체 웨이퍼의 외형을 따라 절단하는 테이프 절단 기구와,
상기 테이프 공급 기구에 세트된 원재료 롤 중심을 지나는 연직선 상에 권취축을 구비하고, 절단 후의 잔사 테이프를 롤 형상으로 권취하여 회수하는 테이프 회수부와,
상기 테이프 공급 기구로의 원재료 롤의 반입 및 테이프 회수부로부터 잔사 테이프의 롤을 반출하는 점착 테이프 반송 대차를 테이프 세트 위치로 안내함과 함께 위치 결정하여 연결하는 연결 기구를 포함하는 점착 테이프 부착 장치.
제1항에 있어서, 상기 점착 테이프 반송 대차는, 다이 프레임의 저면에 장비한 캐스터와,
상기 다이 프레임에 세워 설치된 지지축을 따라 승강하는 승강 가동대와,
상기 롤을 적재 보유 지지함과 함께, 다이 프레임에 대해 전후로 평행 이동하는 보유 지지 테이블을 구비하는 점착 테이프 부착 장치.
제2항에 있어서, 상기 점착 테이프 반송 대차의 보유 지지 테이블을 신축 가능하게 구성하고, 당해 점착 테이프 반송 대차를 점착 테이프 부착 장치에 연결한 채 원재료 롤의 반입과 잔사 테이프의 회수를 행하는 점착 테이프 부착 장치.
제1항에 있어서, 상기 연결 기구는, 상기 점착 테이프 반송 대차의 전방면에 장착된 결합부에 결합하고, 점착 테이프 반송 대차를 인입하도록 구성되어 있는 점착 테이프 부착 장치.
제1항에 있어서,
상기 점착 테이프 반송 대차의 연결 상태를 검출하는 센서를 더 포함하는 점착 테이프 부착 장치.
반도체 웨이퍼에 점착 테이프를 부착하는 점착 테이프 부착 장치이며,
상기 반도체 웨이퍼를 보유 지지하는 보유 지지 테이블과,
상기 반도체 웨이퍼 형상으로 미리 절단한 프리컷 점착 테이프가 소정 피치로 부착하여 보유 지지된 띠 형상의 캐리어 테이프를 원재료 롤로부터 반도체 웨이퍼를 향해 공급하는 테이프 공급 기구와,
상기 캐리어 테이프를 에지 부재에 의해 되접어 점착 테이프를 박리하면서 반도체 웨이퍼에 부착하는 테이프 부착 기구와,
상기 테이프 공급 기구에 세트된 원재료 롤 중심을 지나는 연직선 상에 권취축을 구비하고, 에지 부재에 의해 박리된 캐리어 테이프를 롤 형상으로 권취하여 회수하는 테이프 회수부와,
상기 테이프 공급 기구로의 원재료 롤의 반입 및 테이프 회수부로부터 캐리어 테이프의 롤을 반출하는 점착 테이프 반송 대차를 테이프 세트 위치로 안내함과 함께 위치 결정하여 연결하는 연결 기구를 포함하는 점착 테이프 부착 장치.
제6항에 있어서, 상기 점착 테이프 반송 대차는, 다이 프레임의 저면에 장비한 캐스터와,
상기 다이 프레임에 세워 설치된 지지축을 따라 승강하는 승강 가동대와,
상기 롤을 적재 보유 지지함과 함께, 다이 프레임에 대해 전후로 평행 이동하는 보유 지지 테이블을 구비하는 점착 테이프 부착 장치.
제7항에 있어서, 상기 점착 테이프 반송 대차의 보유 지지 테이블을 신축 가능하게 구성하고, 당해 점착 테이프 반송 대차를 점착 테이프 부착 장치에 연결한 채 원재료 롤의 반입과 잔사 테이프의 회수를 행하는 점착 테이프 부착 장치.
제6항에 있어서, 상기 연결 기구는, 상기 점착 테이프 반송 대차의 전방면에 장착된 결합부에 결합하고, 점착 테이프 반송 대차를 인입하도록 구성되어 있는 점착 테이프 부착 장치.
제6항에 있어서,
상기 점착 테이프 반송 대차의 연결 상태를 검출하는 센서를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 점착 테이프 부착 장치.
지지용의 점착 테이프를 부착하여 링 프레임과 반도체 웨이퍼를 일체화하는 점착 테이프 부착 장치이며,
상기 링 프레임 및 반도체 웨이퍼의 각각을 소정 자세로 보유 지지하는 워크 보유 지지 기구와,
상기 링 프레임 형상으로 미리 절단한 프리컷 점착 테이프가 부착하여 보유 지지된 띠 형상의 캐리어 테이프 혹은 띠 형상의 점착 테이프를 워크 보유 지지 기구에 보유 지지된 링 프레임의 이면을 향해 공급하는 테이프 공급 기구와,
박리 부재에 의해 되접혀 상기 캐리어 테이프로부터 풀어내어지는 프리컷 점착 테이프 혹은 띠 형상의 점착 테이프를 가압하면서 구름 이동하는 부착 롤러에 의해, 워크 보유 지지 기구에 보유 지지된 링 프레임 및 반도체 웨이퍼에 점착 테이프를 부착하는 부착 유닛과,
띠 형상의 상기 점착 테이프를 링 프레임을 따라 절단하는 테이프 절단 기구와,
상기 테이프 공급 기구에 세트된 테이프의 원재료 롤 중심을 지나는 연직선 상에 권취축을 구비하고, 절단 처리 후의 잔사 테이프 혹은 캐리어 테이프를 권취하여 회수하는 테이프 회수부와,
상기 테이프 공급 기구로의 원재료 롤의 반입 및 테이프 회수부로부터 잔사 테이프 혹은 캐리어 테이프의 롤을 반출하는 점착 테이프 반송 대차를 테이프 세트 위치로 안내함과 함께 위치 결정하여 연결하는 연결 기구를 포함하는 점착 테이프 부착 장치.
제11항에 있어서, 상기 점착 테이프 반송 대차는, 다이 프레임의 저면에 장비한 캐스터와,
상기 다이 프레임에 세워 설치된 지지축을 따라 승강하는 승강 가동대와,
상기 롤을 적재 보유 지지함과 함께, 다이 프레임에 대해 전후로 평행 이동하는 보유 지지 테이블을 구비하는 점착 테이프 부착 장치.
제12항에 있어서, 상기 점착 테이프 반송 대차의 보유 지지 테이블을 신축 가능하게 구성하고, 당해 점착 테이프 반송 대차를 점착 테이프 부착 장치에 연결한 채 원재료 롤의 반입과 잔사 테이프의 회수를 행하는 점착 테이프 부착 장치.
제11항에 있어서, 상기 연결 기구는, 상기 점착 테이프 반송 대차의 전방면에 장착된 결합부에 결합하고, 점착 테이프 반송 대차를 인입하도록 구성되어 있는 점착 테이프 부착 장치.
제11항 있어서,
상기 점착 테이프 반송 대차의 연결 상태를 검출하는 센서를 더 포함하는 점착 테이프 부착 장치.