JP2000302037A - 無人搬送車 - Google Patents
無人搬送車Info
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Landscapes
- Platform Screen Doors And Railroad Systems (AREA)
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Control Of Position, Course, Altitude, Or Attitude Of Moving Bodies (AREA)
Abstract
スカラーアーム6を搭載する。スカラーアーム6の先端
のハンド12に、パンタグラフ式の昇降テーブル14を
設け、パンタグラフの可動アームの間に回動板44を回
動させる機構を設けて、回動板44を昇降テーブル14
に対して、昇降自在にする。 【効果】 移載機構を軽量化すると共に、ハンドを大型
化せずに物品の向きを変えることができる。
Description
る無人搬送車や有軌道で走行する無人搬送車等に関す
る。
移載機構を備えた無人搬送車が、用いられている。この
ような例を図7に示すと、無人搬送車3に旋回テーブル
4を介して昇降台71を搭載し、その昇降部73にスカ
ラーアーム7を取り付け、先端のハンド13で物品を支
持して移載する。そして昇降部73の上昇で物品をすく
い上げ、昇降部73の下降で物品を荷下ろしする。
リコンウェハー等の搬送が要求されるに伴って、図7の
無人搬送車3には問題が生じている。例えば液晶基板の
場合、搬送対象のワークの重量が数十Kg程度に達して
おり、これを移載するためのスカラーアーム7も同程度
の重量となる。これだけの重量を昇降台71で昇降させ
ると、昇降部73に図の矢印で示す例えば時計回りのト
ルクが働き、これに耐えるために昇降部73の取り付け
部にかなりの剛性が必要になる。これらのため、昇降台
71も大型化し、結局は移載機構全体が大型化する。
移載機構を小型化することにある(請求項1〜3)。請
求項2の発明での追加の課題は、コンパクトな機構で、
物品を回動し得るようにすることにある。請求項3の発
明での追加の課題は、ハンドでの発塵を吸引し得るよう
にすることにある。
物品を移載するための移載機構を備えた無人搬送車にお
いて、前記移載機構の先端のハンドに、パンタグラフ機
構で昇降する昇降テーブルを設けたことを特徴とする。
パンタグラフは、好ましくは少なくとも4本の可動アー
ムを備えたものとするが、これに限るものではなく、例
えば側面から見てX字状にクロスする2本の可動アーム
を用いたものでも良い。
昇降テーブルの少なくとも4カ所を支持する、少なくと
も4本の可動アームにより昇降テーブルを昇降させ、か
つ昇降テーブルに設けた回動板を回動させるための回動
手段を、前記少なくとも4本のアームの間の位置で、昇
降テーブルの下面側に設ける。可動アームは最も好まし
くは4本とし、昇降テーブルの4角付近を支持する。ま
た回動板は、好ましくは昇降テーブルの上面に露出し
て、物品を支持するものとする。さらに好ましくは、ハ
ンド内の空気を吸引して処理するためのフィルターファ
ンユニットをハンドに設ける。なお請求項1〜3の無人
搬送車はクリーン用に特に適しているが、これに限るも
のではない。
端のハンドを昇降させるだけでよく、移載機構全体を昇
降させる必要がない。また昇降に用いるパンタグラフ機
構は軽量で、ハンドを大型化しない。これらのため、移
載機構を軽量小型化でき、かつ物品の重量等によるトル
クで、昇降部の剛性が不足するとの問題も生じない。移
載機構の種類はスライドフォーク等でも良いが、好まし
くは発塵の少ないスカラーアームとする。
少なくとも4本のアームの間に、回動手段を設けて、回
動板を回動させる。このためアーム間の空きスペースを
用いて、回動手段を収容できる。なお前記のアームは、
昇降テーブルの4角付近を支持する4本のアームとする
ことが好ましい。また回動手段は、例えば回動板から昇
降テーブルの下面側へ突き出したリング状のギアと、こ
れに噛み合うギアと、このギアを回転させるモータとで
構成する。
と、発塵が生じ、これらはハンドと上昇位置にある昇降
テーブルとの間の隙間等から、周囲に漏れる。そこで請
求項3の発明では、ハンド内にフィルターファンユニッ
トを設けて、ハンド内の空気を吸引して処理する。
車2の全体構造を示すと、4は車体上に搭載した旋回テ
ーブル、6はスカラーアームで、下側の第1アーム8と
上側の第2アーム10及び先端のハンド12とからなっ
ている。ハンド12の上面にはパンタグラフ機構で昇降
する昇降テーブル14があり、図1の20,21はその
可動アームである。無人搬送車2では、旋回テーブル4
を用いてスカラーアーム6の向きを整え、第1アーム8
と第2アーム10及びハンド12の運動により、ハンド
12を車体に対して横方向に突き出させて、昇降テーブ
ル14の上昇で、図示しない液晶ガラス基板等の物品を
クリーンルームの加工装置等からすくい上げる。次いで
スライドアーム6を後退させると共に、昇降テーブル1
4の上面に配置した回動板44を回動させて物品の向き
を整える。この後、昇降テーブル14の下降で物品を荷
台16に荷下ろしする。なお荷台16上で物品を回動さ
せないのは、液晶ガラス基板等のように大きな物品の場
合、無人搬送車の車体から物品がはみ出し、作業者に接
触するおそれがあるからである。また荷台16から物品
を荷下ろしする際には、これと逆の動作を行う。18は
無人搬送車2の車輪である。
20,21は合計4本のアームで、昇降テーブル14の
4角を支持し、24,26は昇降テーブル14の下面に
取り付けられた支持部である。そして支持部26には長
孔を設けて、可動アーム20の上端がスライドできるよ
うにする。可動アーム20の下端は、支持部24と同様
に、スライド不能の支持部で、ハンドの底面に取り付け
る。可動アーム21の下端は、支持部26と同様の支持
部で、スライド自在にハンド12の底部に取り付ける。
28は可動アーム20,21間のピンで、ピン28に関
して可動アーム20,21は回動自在である。30は昇
降モータで、32は減速機、34はカップリングで、3
6はボールねじ、38は雌ねじで、40はこれらの部分
から汚染した空気が外部に漏れることを防止するための
じゃばらである。減速機32やカップリング34、じゃ
ばら40は設けなくても良い。また22は可動アーム2
0,20をリンクするためのレバーである。42はハン
ド12のハウジングで、昇降テーブル14の上面には回
動板44が設けられ、46は回動板44と昇降テーブル
14間のベアリング、48は回動板44の下面に設けた
リング状のギアで、昇降テーブル14の下面側に突き出
しており、50は回動モータで、52はギア48と噛み
合って回動させるためのギアである。
過した後、ハンド12の外部へ放出するためのフィルタ
ーファンユニットである。56は第2アーム10との連
結部で、ハンド12はこの部分を中心として、第2アー
ム10に対して回動する。
り、第1のものは可動アーム20,21をレバー22と
ピン28でリンクして構成したパンタグラフで、これら
は軽量である。第2のものはレバー22を水平面内でス
ライドさせるための機構で、昇降モータ30や減速機3
2,カップリング34,ボールねじ36と雌ねじ38及
びこれらからの発塵を防止するためのじゃばらで構成さ
れている。昇降モータ30は昇降テーブル14を昇降で
きればよいので、図7の従来例のものよりも小さなモー
タでよい。第3のものは昇降テーブル14に対して回動
板44を回動させるための機構(回動手段)で、リング
状のギア48とこれに噛み合うギア52並びに回動モー
タ50で構成されている。なお回動手段の構成は、4本
の可動アーム20,21が、昇降テーブル14の中心部
に作る隙間に収容できるものであれば良い。第4のもの
はフィルターファンユニット54である。昇降板14を
上昇させると、ハウジング42と昇降テーブル14との
間に隙間が空き、また昇降テーブル14の昇降や回動板
44の回動に伴い、ハンド12内では発塵が生じる。こ
れらにより汚染した空気が周囲のクリーンルーム内に放
出されることを防止するため、フィルターファンユニッ
ト54を設ける。
動作を示すと、58は支持部24と同様の支持部で、6
0は支持部26と同様アームをスライド自在に保持した
支持部である。図5の実線は、昇降テーブル14を最も
下降させた状態を示し、ここから昇降モータ30を回転
させて、雌ねじ38を昇降モータ30側に引き寄せる
と、可動アーム21が支持部60内を図5の左側にスラ
イドし、可動アーム20はピン28で可動アーム21に
連結されているため、同様に上端が支持部26内を図の
左側にスライドする。この結果可動アーム20,21は
図5の鎖線の状態に立ち上がり、昇降テーブル14が上
昇する。
人搬送車2はクリーンルーム用の無人搬送車で、液晶ガ
ラス基板等の重量物の搬送を行うものとする。そしてガ
ラス基板等の受け取り位置に達すると、旋回テーブル4
を旋回させてスカラーアーム6の向きをガラス基板の直
下へと揃え、アーム8,10を延ばして、ハンド12を
ガラス基板の下へと移動させる。この状態から昇降モー
タ30を駆動して、昇降テーブル14を上昇させる。
パターンを示す。荷すくいの場合、昇降テーブル14は
最初は最下位置にあり、ここから上昇した後、荷すくい
位置で速度をほぼ0にする。次いで再度昇降テーブル1
4を上昇させて、最高位置の荷下ろし高さまで上昇させ
る。荷すくい位置で一旦昇降テーブル14をほぼ速度0
にするのは、荷すくい時の衝撃を防止するためである。
次いで、スカラーアーム6を縮め、物品を荷台16上に
移動させる。物品の移載では物品の向きを反転させた
り、荷台16に適した向きにシフトさせたりする必要が
ある。このために回動板44を用い、例えばスカラーア
ーム6の後退と同時に、4本の可動アーム20,21の
間にある回動モータ50を駆動して、ギア48の回動に
より回動板44を回動させて、物品の向きを整える。こ
れで物品は、荷台16上の荷下ろし高さに搬送され、昇
降テーブル14を中間の荷すくい高さまで下降させ、こ
の時、荷すくい高さで一旦昇降テーブル14の速度をほ
ぼ0にし、荷台16へ移し替える際の衝撃を防止する。
この後昇降テーブル14を最下位置まで下降させれば、
移載が完了する。荷台16から加工機等への基板の移載
は、上記と逆の手順で行う。
昇降させるので、図7の従来例のようにスカラーアーム
全体を昇降させる場合に比べて、移載機構を軽量化でき
る。またスカラーアーム6は車体から横方向に突き出す
ため、旋回テーブル4にトルクが加わるが、それでも図
7の従来例の場合よりも移載機構は全体として軽量で、
旋回テーブル4に加わるトルクは小さい。回動板44は
4本の可動アーム20,21の間に設けた回動手段で回
動するため、余分のスペースを必要とせず、ハンド12
は大型化しない。また昇降テーブル14の昇降や回動板
44の回動で汚染したハンド12内の空気は、フィルタ
ーファンユニット54で吸引して処理される。
面図
図
ンを示す図
Claims (3)
- 【請求項1】 車体側面方向に突き出して物品を移載す
るための移載機構を備えた無人搬送車において、前記移
載機構の先端のハンドに、パンタグラフ機構で昇降する
昇降テーブルを設けたことを特徴とする無人搬送車。 - 【請求項2】 前記パンタグラフ機構では、前記昇降テ
ーブルの少なくとも4カ所を支持する少なくとも4本の
可動アームにより昇降テーブルを昇降させ、かつ昇降テ
ーブルに設けた回動板を回動させるための回動手段を、
前記少なくとも4本のアームの間の位置で、昇降テーブ
ルの下面側に設けたことを特徴とする、請求項1の無人
搬送車。 - 【請求項3】 前記ハンド内の空気を吸引して処理する
ためのフィルターファンユニットをハンドに設けたこと
を特徴とする、請求項2の無人搬送車。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11115791A JP2000302037A (ja) | 1999-04-23 | 1999-04-23 | 無人搬送車 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11115791A JP2000302037A (ja) | 1999-04-23 | 1999-04-23 | 無人搬送車 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2000302037A true JP2000302037A (ja) | 2000-10-31 |
Family
ID=14671169
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP11115791A Pending JP2000302037A (ja) | 1999-04-23 | 1999-04-23 | 無人搬送車 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2000302037A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011077443A (ja) * | 2009-10-01 | 2011-04-14 | Nitto Denko Corp | 粘着テープ貼付け装置 |
-
1999
- 1999-04-23 JP JP11115791A patent/JP2000302037A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011077443A (ja) * | 2009-10-01 | 2011-04-14 | Nitto Denko Corp | 粘着テープ貼付け装置 |
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