JP6212399B2 - フィルムシート切り抜き装置及び切り抜き方法 - Google Patents

Description

本発明は、半導体チップ等の電子部品を樹脂封止する際、特に圧縮成形のために顆粒状、粉末状、ペースト状、液状等の樹脂材料（以下、これらを総称して単に「樹脂材料」と呼ぶ。）を成形型のキャビティに供給する際に用いる離型フィルムシートを長尺のフィルムから切り抜くための装置及びその方法に関する。

電子部品の薄型化に伴い、圧縮成形が用いられるようになってきている。圧縮成形では、離型フィルムシートで被覆した下型のキャビティに樹脂材料を供給し、該樹脂材料を加熱溶融して、上型に取り付けた、電子部品を装着した基板を該溶融樹脂に浸漬させた後、下型と上型を型締めすることで該樹脂を圧縮して成形が行われる。このような圧縮成形では、大型の基板の全体に亘って欠陥のない成形を行うためには、キャビティに所定量の樹脂材料を均一に過不足無く供給することが重要となる。

特許文献１には、キャビティに顆粒状樹脂Ｒを均一の厚さで過不足無く供給する方法が次のように記載されている（図１参照）。まず、下型１８のキャビティ１８ａの開口に対応した形状の開口を上下に有するフレーム枠１１の下部の開口を離型フィルムシート１２で被覆し、フレーム枠１１の下面で吸着して凹状収容部１３を作製する(a)。この凹状収容部１３を載置台１４に載せ、フィーダ１５から顆粒状樹脂Ｒを離型フィルムシート１２上で均一の厚さとなるように供給する(b)。その後、顆粒状樹脂Ｒを収容した凹状収容部１３を、フレーム枠１１で囲まれた離型フィルムシート１２の部分がキャビティ１８ａの真上にくるようにして下型１８の型面に載置し(c)、フレーム枠１１の下面での離型フィルムシート１２の吸着を解除した後、離型フィルムシート１２を、その上にある顆粒状樹脂Ｒと共にキャビティ１８ａ内に吸引して引き込む(d)。これによって、均一の厚さの顆粒状樹脂Ｒがキャビティ１８ａ内に供給される。その後、顆粒状樹脂Ｒを加熱溶融し(e)、この溶融樹脂Ｒｍをキャビティ１８ａ内に含む下型１８と、電子部品２０を装着した基板２１を、その装着面を下方に向けた状態で取り付けた上型１９とを型締めすることにより、電子部品２０を溶融樹脂Ｒｍに浸漬すると共に溶融樹脂Ｒｍを、樹脂加圧用のキャビティ底面部材１８ｂにより押圧する(f)。溶融樹脂Ｒｍが固化した後に上型１９と下型１８を型開きすることにより、電子部品２０の樹脂封止成形品が得られる(g)。

樹脂成形しようとする基板がウェーハなど円盤状である場合、上記方法で用いるための円形の離型フィルムシートは、供給ロールから引き出された長尺の離型フィルムから順次円形に切り抜かれ、作製される。具体的には、図２に示すように、供給ロール２７から巻き出された離型フィルムＦは搬送機構２２により切り抜き用基台２３まで搬送され、切り抜き用基台２３上に来た時点で搬送機構２２が停止し、回転切断刃２５により離型フィルムが円形に切り抜かれる。切り抜かれた離型フィルムシートは、切り抜き用基台２３に設けられたシート降下台２４によりそのまま下方に降ろされ、切り抜き用基台２３から取り除かれる。そして、搬送機構２２が作動し、切り抜かれた残部の離型フィルムＦが切り抜き用基台２３から巻取ロール２６の方に搬送され、次の切断部位が切り抜き用基台２３上に配置される。巻取ロール２６にはこうして、円形に切り抜かれた後の離型フィルムＦ（残部フィルム）がロール状に巻き取られる。

特開2010-036542号公報

前記従来技術のように、離型フィルムシートが切り抜かれた後の長尺の残部フィルムをロール状に巻き取った場合、巻き取られたロールの両側端の部分は離型フィルムがしっかり巻き取られるものの、切り抜かれた部分がばらばらに重なり合う中央の部分では離型フィルムが徐々に嵩張るようになり、正常に巻き取ることができなくなる。そして、その影響が、引き出されて切り抜き用基台上に載置される離型フィルムにも及び、該離型フィルムに歪が生じたりしわが寄るようになる。その結果、切り抜かれる離型フィルムシートに歪が生じたり、正確な形状に切り抜くことができなくなるという問題が生じる。このような問題は樹脂封止圧縮成形装置用の離型フィルムに限ったものではなく、長尺のフィルムからフィルムシートを切り抜く場合に共通のものである。

そこで本発明が解決しようとする課題は、長尺のフィルムからフィルムシートを切り抜いた後の残部フィルムを適切に処理することにより、フィルムを常に適切な状態で切り抜き、歪のない、正しい形状のフィルムシートを得ることができるフィルムシート切り抜き装置及び切り抜き方法を提供することである。

上記課題を解決するために成された本発明に係るフィルムシート切り抜き装置は、長尺フィルムからフィルムシートを切り抜く装置であって、
a) 切り抜き用基台と、
b) 長尺フィルムを搬送してその一端の所定長さの部分を前記切り抜き用基台上に載置する第１搬送手段と、
c) 長尺フィルムの前記部分からフィルムシートを切り抜く切り抜き手段と、
d) 前記フィルムシートが切り抜かれた後の長尺フィルムを、前記部分の境界で切断する切断手段と、
e) 切り抜かれ切断された長尺フィルムである残部フィルムを、第１搬送手段とは逆の方向に搬送して前記切り抜き用基台から取り出す第２搬送手段と、
f) 前記切り抜き用基台から取り出された残部フィルムを受け入れる、該残部フィルムの幅に対応する横幅と狭い縦幅を有する受入れ口と、吸引装置とを備えた吸引収容部と
を備えることを特徴とする。

本発明に係るフィルムシート切り抜き装置は、次のように動作する。まず、第１搬送手段により、長尺フィルムの一端の所定長さの部分（もちろん、この部分は、切り抜こうとするフィルムシートよりも大きい）が切り抜き用基台上に載置される。そして、この切り抜き用基台上で、切り抜き手段によりフィルムシートが切り抜かれる。ここにおける切り抜きはその手段・方法を問わず、カッターによる切り抜きでもよいし、打ち抜きによる切り抜きでもよい。切り抜かれたフィルムシートは、別途設けられた手段により切り抜き用基台から取り出される。

次に切断手段は、目的のフィルムシートが切り抜かれた長尺フィルムを、前記部分と次の部分の境界で切断する。前記部分は切り抜き用基台上に載置されている部分であるので、この境界は、切り抜き用基台の端又は少し外側となる。第２搬送手段は、こうして切り抜かれ、切断されて短くなった長尺フィルム（残部フィルム）を、前記第１搬送手段の搬送方向とは逆方向（すなわち、戻る方向）に搬送して切り抜き用基台から取り出す。取り出された残部フィルムは、先頭が、切断手段により切断された端部となっている。残部フィルムは、この切断端部から吸引収容部の受入れ口に入るが、ここでこの吸引収容部は吸引装置を備えているため、残部フィルムは縦幅の狭い受入れ口において吸引により形成される空気の層流によりその受入れ口の壁面等に接触することなく、スムーズに吸引収容部内に入る。薄いフィルムは、材質によっては搬送時の摩擦により静電気を生じ、狭い口から入れようとすると口の周囲の壁面に付着してジャミングを起こすことが多いが、本発明に係るフィルムシート切り抜き装置では、吸引収容部が受け入れ口から空気を吸引しつつ残部フィルムを受け入れるため、前記のように空気の層流によりそのような壁面への付着が防止され、スムーズな受け入れが可能となっている。

本発明に係るフィルムシート切り抜き装置において、第１搬送手段は、長尺フィルムの先端を把持して切り抜き用基台上に引き込むグリップとすることができ、第２搬送手段は、残部フィルムを２本のローラで挟んで前記グリップ（第１搬送手段）とは逆方向に搬送する搬送ローラ対とすることができる。ここで、第２搬送手段の搬送ローラ対のうち、上方のローラは、第１搬送手段のグリップが長尺フィルムを搬送する際に邪魔にならないように、上方に移動可能としておく。

そして、第２搬送手段の搬送ローラ対のうちの上方のローラには、残部フィルムを搬送するために下方に下がってきたときに残部フィルムの先端（すなわち、前記の切断端部）がうまく前記受入れ口に入るように、フィルムガイド（上フィルムガイド）が設けられていることが望ましい。

同様に、第２搬送手段の搬送ローラ対のうちの下方のローラにも、残部フィルムの先端（前記切断端部）が前記受入れ口に入る際に下方ローラに巻き付いて回りすぎないようにするためのフィルムガイド（下フィルムガイド）が設けられていることが望ましい。

前記吸引収容部の内部においては、受入れ口の下方に残部フィルムを多数収容するための収容部を設け、前記吸引装置はその収容部よりも上方の、該受入れ口から落下してくる残部フィルムの落下通路に干渉しない位置に設けておくことが望ましい。

上記課題を解決するために成された本発明に係るフィルムシート切り抜き方法は、長尺フィルムからフィルムシートを切り抜く方法であって、
a) 長尺フィルムを搬送してその一端の所定長さの部分を切り抜き用基台上に載置する第１搬送ステップと、
b) 長尺フィルムの前記部分からフィルムシートを切り抜く切り抜きステップと、
c) 前記フィルムシートが切り抜かれた後の長尺フィルムを、前記部分の境界で切断する切断ステップと、
d) 切り抜かれ切断された長尺フィルムである残部フィルムを、第１搬送ステップとは逆の方向に搬送して前記切り抜き用基台から取り出す第２搬送ステップと、
e) 前記切り抜き用基台から取り出された残部フィルムを、該残部フィルムの幅に対応する横幅と狭い縦幅を有する受入れ口と、吸引装置とを備えた吸引収容部で受け入れる廃材収容ステップと
を有することを特徴とする。

この本発明に係るフィルムシート切り抜き方法においては、切り抜きステップの後に切断ステップを行う方が、フィルムシートの切り抜きの際に長尺フィルムにテンションがかかるために正確な切り抜きを行うことができるが、切り抜きステップにおいて別途の措置を講ずる（例えば、切り抜く際は長尺フィルムを切り抜き用基台に吸着する）等すれば、これらの工程は逆であっても構わない。

本発明に係るフィルムシート切り抜き装置及びフィルムシート切り抜き方法では、残部フィルムをそのまま巻き取っていた従来の方法において生じていた切り抜き時のフィルムの歪み等の問題が発生せず、正しい形状のフィルムシートの切り抜きが可能となる。

また、残部フィルムを長尺フィルムから切断してしまい、短い状態で処理しようとした場合、フィルムに発生する静電気により残部フィルムがそれに接触する部分に付着して取り扱いが難しいという問題が生じるが、本発明に係る装置及び方法では、新規な構造を有する吸引収容部を用いることによりそのような問題も解決し、残部フィルムを適切に処理し、フィルムシート切り抜き装置全体の稼働に影響を与えないようにしている。

従来の圧縮成形の手順を説明する概略図。 従来のフィルムシート切り抜き装置の概略構成図(a)、及び概略断面図(b)。 本発明の一実施例に係るフィルムシート切り抜き装置の概略構成図。 同実施例の吸収収容部へ残部フィルムが取り出される状態を説明する概略図。 同実施例のフィルムシート切り抜き装置におけるフィルムの切り抜き方法を説明するフローチャート。

円形のキャビティを有する下型を備える樹脂封止圧縮成形装置において使用される円形の離型フィルムシートを作製するための、本発明に係るフィルムシート切り抜き装置（以下、単に「切り抜き装置」とも言う）３０の一実施例を、図３及び図４を参照しながら説明する。
本実施例の切り抜き装置３０は、ロール状に巻かれた離型フィルムＦを保持し、その先端を前方に（すなわち、フィルム切り抜き部５０の方に）供給するフィルム供給部４０と、離型フィルムＦから円形の離型フィルムシートを切り抜くフィルム切り抜き部５０と、離型フィルムシートが切り抜かれた後の離型フィルムＦをその全幅で切断し、残部フィルムＦｒとして後方に搬送する残部搬送部６０と、後方に搬送された残部フィルムＦｒを吸引して収容する吸引収容部７０と、それら各部を制御する制御部８０とを備える。

フィルム供給部４０は、ロール状に巻かれた長尺の離型フィルムＦを保持するロール保持部４１と、該ロールから引き出された離型フィルムＦの先端（前方端）を把持するグリップ４２と、該グリップ４２を、フィルム切り抜き部５０の切り抜き用基台５１の表面から少し持ち上げた位置で前後に移動させるグリップ移動機構４３とを備える。

フィルム切り抜き部５０は、切り抜き用基台５１と、該切り抜き用基台５１の上方に設けられた切り抜き機構５５と、該切り抜き用基台５１の表面とその上方との間で上下移動可能となっている切り抜きガイド５４とを備える。切り抜き機構５５は、上方から切り抜き用基台５１に垂直に垂下する、昇降可能となっている回転軸５６と、該回転軸５６から垂直に（すなわち、切り抜き用基台５１に平行に）延びるアーム５７と、該アーム５７に垂直に、下方に向けて取り付けられた回転カッター５８とを備える。切り抜き用基台５１の上面には、作製する離型フィルムＦと同じ直径を有する、両側に僅かの幅を有する円形の溝５２が設けられており、前記回転軸５６はこの円形の溝５２の中心の垂線上に設けられている。また、前記アーム５７の長さは、この円の半径と等しくなっている。切り抜き用基台５１の前記溝５２の中心線よりも内側の部分は、切り抜かれた離型フィルムシートを取り出すためのシート降下台５３となっている。切り抜きガイド５４は、切り抜き用基台５１の円形の溝５２を挟んで、その内側と外側の二重同心円の押さえ具から成る。

残部搬送部６０は、残部フィルムＦｒを後方に搬送する上下2本の搬送ローラ対６１の他、その搬送ローラ対６１のすぐ後方（すなわち、ロール保持部４１側）に設けられた裁断刃６２と、該裁断刃６２を駆動する裁断駆動機構６３とを含む。搬送ローラ対６１のうち下ローラ６１ｂは、その上部が前記切り抜き用基台５１の上面とほぼ同一の高さとなるように設けられ、モータ６４により駆動されるようになっている。上ローラ６１ａはローラ昇降機構６５により昇降可能となっており、下降して下ローラ６１ｂ上の残部フィルムＦｒと接触した時に従動回転するようになっている。上ローラ６１ａには、残部フィルムＦｒの端部を下に押さえ、収容部の受入れ口７５にガイドするための、下方に屈曲するＬ字形の上フィルムガイド６６が設けられている。また、下ローラ６１ｂには、その残部フィルムＦｒの端部が下ローラ６１ｂの回転に伴って下ローラ６１ｂに巻き付いて行かず、正しく前記受入れ口７５に入るようにガイドするための下フィルムガイド６７が設けられている。

吸引収容部７０は、下ローラ６１ｂよりも後方であって、切り抜き用基台５１の上面よりも下方に設けられており、切断された残部フィルムＦｒを収容する収容箱７１と、該収容箱７１内の空気を吸引する真空ポンプ７３と、該収容箱７１の上部から上方に向かって延びる導入路７４を備える。導入路７４は、下ローラ６１ｂの後方直下に開口する、残部フィルムＦｒの幅（すなわち、離型フィルムＦの幅）よりもやや大きい横幅と、狭い縦幅を有する受入れ口７５を有する。収容箱７１の下方は、溜まった残部フィルムＦｒを取り出すことができるように、取り外し可能となっている。収容箱７１の側面上方には吸引口７２が設けられており、前記真空ポンプ７３はこの吸引口７２に接続されている。吸引口７２は収容箱７１内において、多数の貫通孔７７を有する隔離板７６により取り囲まれ、残部フィルムＦｒが収容される部分である収容部７８（図４、点線部分）から隔離されている。なお、前記取り外し可能な部分、又はその上部に、残部フィルムＦｒの収容状況を確認するための確認窓を設けておいてもよい。

制御部８０は、長尺離型フィルムＦから円形の離型フィルムシートを切り抜き、残部フィルムＦｒを適切に回収処理することによりそのような切り抜きを連続して安定して行うために、上記各部を図５のフローチャートに示すような手順で制御する。
まず、グリップ移動機構４３がグリップ４２をロール保持部４１の方に移動させ、グリップ４２が長尺離型フィルムＦの端部（前方端）を把持する。そして、グリップ移動機構４３がグリップ４２を切り抜き用基台５１側に移動させることにより、離型フィルムＦをロールから引き出す。離型フィルムＦの前方端が切り抜き用基台５１の後端（ロール保持部４１とは反対側の端）に達した時点で、グリップ４２を停止し、切り抜き用基台５１上に離型フィルムＦを配置する（ステップＳ１１）。

次に制御部８０は、切り抜き用基台５１上に切り抜きガイド５４を下ろし、離型フィルムＦを押さえる。そして、回転カッター５８の先端が離型フィルムＦを突き刺すまで回転軸５６を降下させ、回転軸５６を一回転させる。それにより切り抜き用基台５１上の離型フィルムＦは円形に切り抜かれ、円形の離型フィルムシートが作製される（ステップＳ１２）。

その後、切り抜き用基台５１中央のシート降下台５３を下方に下ろす。離型フィルムシートは、図示せぬ装置により、又は作業者により、切り抜き用基台５１から取り出される（ステップＳ１３）。

制御部８０は次に、裁断駆動機構６３により長尺離型フィルムＦを裁断する（ステップＳ１４）。この時、離型フィルムＦは切り抜きガイド５４により切り抜き基台上に固定されているため、裁断刃６２によって確実に裁断される。その後、制御部８０は切り抜きガイド５４を上方に上げる。これにより、離型フィルムシートが切り抜かれ、短い長さに裁断された廃材である離型フィルムＦ（残部フィルムＦｒ）は、切り抜き基台上で固定が解除され、フリーな状態となる（ステップＳ１５）。

その後、制御部８０は、まず吸引収容部７０の真空ポンプ７３を起動する（ステップＳ１６）。なお、真空ポンプ７３の起動は以下のモータ６４の駆動と同時であってもよい。或いは、真空ポンプ７３は起動・停止を繰り返すのではなく、ずっと稼働したままとしておいてもよい。

次に制御部８０は、ローラ昇降機構６５により、上ローラ６１ａを下ローラ６１ｂに接するまで下降させる。これにより残部フィルムＦｒは、その裁断端側が搬送ローラ対６１の間に挟まれる。それから、下ローラ６１ｂがモータ６４により回転駆動され、上ローラ６１ａも下ローラ６１ｂに従動して回転する。これにより、残部フィルムＦｒは切り抜き用基台５１から引き出され、後方へ搬送される（ステップＳ１７、図４）。この時、グリップ移動機構４３は、グリップ４２で残部フィルムＦｒの先方端を把持したまま少し持ち上げつつ、搬送ローラ対６１の回転と同期して後方へ移動する。これにより、残部フィルムＦｒの後方への搬送がスムーズに行われる。このようなグリップ４２による搬送補助を行わない場合、搬送時に残部フィルムＦｒが切り抜き用基台５１上を滑ることにより静電気を生じ、切り抜き用基台５１やその他の部分に付着してスムーズな搬送が行われなくなる可能性がある。グリップ移動機構４３は、グリップ４２が搬送ローラ対６１の手前まで来た時点で、残部フィルムＦｒの前方端を把持するグリップ４２を解除する。

搬送ローラ対６１によって残部フィルムＦｒが後方へ搬送される際、残部フィルムＦｒの裁断端は、上ローラ６１ａに設けられている上フィルムガイド６６及び下ローラ６１ｂに設けられている下フィルムガイド６７により、吸引収容部７０の導入路７４の受入れ口７５に向かってスムーズに導かれる。

吸引収容部７０では、真空ポンプ７３により、導入路７４の受入れ口７５から導入路７４を介して収容箱７１内に空気が吸引されている。受入れ口７５は縦幅が狭いためそこで空気の層流が生じ、残部フィルムＦｒはその空気の層流に乗って、受入れ口７５の上下の壁面に付着することなくスムーズに導入路７４に導入される。
真空ポンプ７３に繋がる吸引口７２は収容箱７１の側面上方に設けられており、かつ、隔離板７６の上方には大きな貫通孔７７が設けられているため、導入路７４から出たところの収容箱７１上方では空気は比較的強く吸引されている。その結果、導入路７４を抜けた残部フィルムＦｒは強い力で収容箱７１内に引き込まれる。一方、隔離板７６の下方に設けられている貫通孔７７は小さいため、吸引口７２から遠い収容箱７１下方では空気の吸引は穏やかとなり、収容箱７１内に引き込まれた残部フィルムＦｒは、その自重で収容箱７１の下方（収容部７８）に落ちる（図４）。

収容箱７１の下方に落下した残部フィルムＦｒは、吸引口７２からの吸引により多少浮き上がることがあっても、収容箱７１の底と吸引口７２の間には隔離板７６があるため、残部フィルムＦｒが吸引口７２に引き込まれて吸引が停止してしまうことはない。

制御部８０は、下ローラ６１ｂを所定数だけ回転させた後、モータ６４を停止する。これにより、残部フィルムＦｒの全体が搬送ローラ対６１を通過し、吸引収容部７０の収容箱７１に収容される。また、真空ポンプ７３を停止すると共に、ローラ昇降機構６５により上ローラ６１ａを上昇させる（ステップＳ１８）。以上のようにして、廃材である残部フィルムＦｒが切り抜き用基台５１から取り除かれる。

その後、ステップＳ１１に戻り、ステップＳ１１〜Ｓ１８が繰り返される。
以上のようにして円形の離型フィルムシートが連続的に安定して作製される。

このように、本実施例に係るフィルムシート切り抜き装置３０によると、1枚の離型フィルムシートを作製する度に生じる残部フィルムＦｒ（廃材）を、長尺離型フィルムＦから裁断して切り抜き用基台５１から取り除き、長尺離型フィルムＦをグリップ４２により新たに配置し直すため、従来のようにそのまま巻き取っていた場合に生じていた歪やしわが生じない。また、残部フィルムＦｒの回収においても、空気の吸引による層流を利用することにより、静電気による残部フィルムＦｒの導入路７４への付着等のトラブルを防止することができる。

３０…フィルムシート切り抜き装置
４０…フィルム供給部
４１…ロール保持部
４２…グリップ
４３…グリップ移動機構
５０…フィルム切り抜き部
５１…切り抜き用基台
５２…溝
５３…シート降下台
５４…切り抜きガイド
５５…切り抜き機構
５６…回転軸
５７…アーム
５８…回転カッター
６０…残部搬送部
６１…搬送ローラ対
６１ａ…上ローラ
６１ｂ…下ローラ
６２…裁断刃
６３…裁断駆動機構
６４…モータ
６５…ローラ昇降機構
６６…上フィルムガイド
６７…下フィルムガイド
７０…吸引収容部
７１…収容箱
７２…吸引口
７３…真空ポンプ
７４…導入路
７５…受入れ口
７６…隔離板
７７…貫通孔
８０…制御部
Ｆ…離型フィルム
Ｆｒ…残部フィルム

Claims (7)

1. 長尺フィルムからフィルムシートを切り抜く装置であって、
   a) 切り抜き用基台と、
   b) 長尺フィルムを搬送してその一端の所定長さの部分を前記切り抜き用基台上に載置する第１搬送手段と、
   c) 長尺フィルムの前記部分からフィルムシートを切り抜く切り抜き手段と、
   d) 前記フィルムシートが切り抜かれた後の長尺フィルムを、前記部分の境界で切断する切断手段と、
   e) 切り抜かれ切断された長尺フィルムである残部フィルムを、第１搬送手段とは逆の方向に搬送して前記切り抜き用基台から取り出す第２搬送手段と、
   f) 前記切り抜き用基台から取り出された残部フィルムを受け入れる、該残部フィルムの幅に対応する横幅と狭い縦幅を有する受入れ口と、吸引装置とを備えた吸引収容部と
   を備えることを特徴とするフィルムシート切り抜き装置。
2. 前記第１搬送手段は、前記長尺フィルムの先端を把持して前記切り抜き用基台上に引き込むグリップであることを特徴とする請求項１に記載のフィルムシート切り抜き装置。
3. 前記第２搬送手段は、前記残部フィルムを２本のローラで挟んで前記第１搬送手段とは逆方向に搬送する搬送ローラ対であり、該搬送ローラ対のうち上方のローラは上方に移動可能であることを特徴とする請求項１又は２に記載のフィルムシート切り抜き装置。
4. 前記搬送ローラ対のうちの上方のローラに、前記残部フィルムの先端である切断端部を前記受入れ口に導くフィルムガイドが設けられていることを特徴とする請求項３に記載のフィルムシート切り抜き装置。
5. 前記搬送ローラ対のうちの下方のローラに、前記残部フィルムの先端である切断端部が前記受入れ口に入る際に該下方ローラに巻き付いて回りすぎないようにするためのフィルムガイドが設けられていることを特徴とする請求項３又は４に記載のフィルムシート切り抜き装置。
6. 前記吸引収容部の内部において、前記受入れ口の下方に前記残部フィルムを多数収容するための収容部が設けられており、前記吸引装置は該収容部よりも上方の、前記受入れ口から落下してくる残部フィルムの落下通路に干渉しない位置に設けられていることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載のフィルムシート切り抜き装置。
7. 長尺フィルムからフィルムシートを切り抜く方法であって、
   a) 長尺フィルムを搬送してその一端の所定長さの部分を切り抜き用基台上に載置する第１搬送ステップと、
   b) 長尺フィルムの前記部分からフィルムシートを切り抜く切り抜きステップと、
   c) 前記フィルムシートが切り抜かれた後の長尺フィルムを、前記部分の境界で切断する切断ステップと、
   d) 切り抜かれ切断された長尺フィルムである残部フィルムを、第１搬送ステップとは逆の方向に搬送して前記切り抜き用基台から取り出す第２搬送ステップと、
   e) 前記切り抜き用基台から取り出された残部フィルムを、該残部フィルムの幅に対応する横幅と狭い縦幅を有する受入れ口と、吸引装置とを備えた吸引収容部で受け入れる廃材収容ステップと
   を有することを特徴とするフィルムシート切り抜き方法。

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