KR0133035B1 - 프로우브장치 - Google Patents

프로우브장치

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KR0133035B1
KR0133035B1 KR1019930013466A KR930013466A KR0133035B1 KR 0133035 B1 KR0133035 B1 KR 0133035B1 KR 1019930013466 A KR1019930013466 A KR 1019930013466A KR 930013466 A KR930013466 A KR 930013466A KR 0133035 B1 KR0133035 B1 KR 0133035B1
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야마구치마사오
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이노우에 아키라
도오쿄오에레구토론가부시끼가이샤
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    • G01R1/02—General constructional details
    • G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
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    • G01R1/073—Multiple probes
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Abstract

피검사대상에 여러 개의 프로우브를 전기적으로 접촉시켜서 그 전기적 특성을 측정하기 우한 프로우브 장치는, 장치본체와, 여러 개의 프로우브를 가지는 프로우브 카드 수단과, 상기 장치본체내에 있어서의 상기 피검사대상에 대향하는 측정위치에 프로우브 카드 수단을 유지하기 위한 프로우브 카드 유지구를 가지고 있다.
프로우브 카드 유지구는 프로우브 카드를 사용하여 피검사대상을 측정하기 위한 정보를 기억하기 위한 기억수단이 설치되어 있다.

Description

프로우브장치
제 1 도는 본 발명의 일형태에 관한 프로우브 장치의 장치의 전체구성을 나타내는 개략도.
제 2 도는 제 1 도 장치에 사용되는 프로우브 카드의 구성을 나타내는 종단면도.
제 3A 도는 제 2 도 장치에 사용되는 프로우브 카드의 프로우브침의 끝이 피검사대상에 접촉한 상태를 나타내는 확대단면도.
제 3B 도는 제 3A 도의 상태로부터 피검사대사을 상승시킨 때의 상태를 나타내는 확대단면도.
제 4 도는 제 2 도의 프로우브 카드의 평면도.
제 5 도는 본 발명에 관한 프로우브 장치에 사용되는 프로우브 카드 유지구의 일형태를 나타내는 종단면도.
제 6 도는 제 5 도에 나타낸 프로우브 카드 유지구의 평면도.
제 7 도는 본 발명에 사용되는 프로우브 카드 유지구에 탑재된 기억소자(EEPROM)와 프로우브 장치 사이의 접속상태 및 신호의 주고 받음을 나타내는 회로도.
제 8 도는 본 발명의 일형태에 관한 프로우브 카드 유지구, 프로우브 카드 및 포고핀 링의 분해도.
제 9 도는 본 발명의 일형태에 관한 것에 기초하여 구성된 프로우브 카드 기구를 프로우브 장치에 상태의 것을 나타내는 개략도.
제 10 도는 포고핀을 설명하기 위한 단면도.
제 11 도는 프로우브 카드 유지구의 다른 예를 나타내는 종단면도.
제 12 도는 프로우브 카드 유지구의 또 다른 예를 나타내는 종단면도.
제 13 도는 본 발명의 프로우브 장치에 다른 예의 프로우브 카드를 나타내는 단면도.
＊도면의 주요부분에 대한 부호의 설명.
10,10' : 프로우브 카드 11 : 프린트 기판
11 : 프로우브 카드(제 4 도) 12 : 프로우브 침
12' : 텅스텐 프로우브 12B : 침의 선단부(부분)
13 : 가이드부 13A : 상부 블록
13B : 중간 블록 13C : 하부 블록
14 : 침 고정용 수지 15 : 침 고정판
16A,16B : 공동부분 17 : 상부안내판
18 : 하부안내판 19 : 포고콘택용의 랜드
20,30,30' : 프로우브 카드 유지구 31,31A,31B : 기억소자(EEPROM)
32,32' : 외측부분(프로우브 카드 유지구의 영역)
34 : 영역(절연체) 35,35' : 지지부
36,40 : 주발형상부 37 : 주발형상부의 저부
38 : 숄더부 39,41,45 : 고정부재
39A : 홈부 43 : 숄더
44 : 프로우브 카드 유지구의 걸어맞춤구 50 : 포로핀 링
51A : 삽입구멍 52,71 : 포고핀
60 : 테스터 70 : 터미널
72 : 케이블 80 : 천장판
81 : 숄더부의 걸어맞춤편 82 : 천장판의 걸어맞춤편
83 : 주발형상부의 저부의 걸어맞춤편 84 : 돌출부의 걸어맞춤편
90 : 제어기 91 : CPU
92 : 전원라인 93 : 릴레이 기구
100 : 프로우브 장치 101 : 메인 스테이지
102 : 피검사대상(반도체 웨이퍼) 103 : 재치대
103A : Z 방향 및 θ 방향 스테이지 103B : X 방향 스테이지
103C : θ 방향 스테이지 104 : 프로우브 어셈블리
105 : 오토로더 106 : 교환기
107 : 웨이퍼 세트 108 : 카세트 재치대
109 : 로더 스테이지 110 : 웨이퍼 핸들링 아암
112 : 감시장치 A : 수직영역
B : 배선영역 C : 패트영역
본 발명은, 여러 개의 반도체 디바이스를 형성한 반도체 웨이퍼, 및 액정표시장치를 구성하는 화소구동회로를 형성한 유리기판과 같은 피검사대상의 전기적 특성을 측정하는 프로우브 장치에 관한 것으로, 특히 프로우브 카드를 유지하기 위한 프로우브 카드 유지구에 특징이 있는 프로우브 장치에 관한 것이다.
잘 알려진 바와 같이, 반도체 디바이스는, 반도체 웨이퍼상에 정밀사진 전사기술 등을 사용하여 다수 형성되고, 이후, 각 반도체 디바이스마다 웨이퍼는 절단된다. 이와같은 반도체 디바이스의 제조공정에서는, 종래부터 프로우브 장치를 사용하여, 반완성품의 반도체 디바이스의 전기적인 특성의 시험 및 판정을 반도체 웨이퍼의 상태로 하고, 이 시험 판정 결과 양품으로 판정된 것만을 패케이징 등의 후공정으로 보내는 것에 의하여 생산성 향상을 도모하고 있다.
상기 프로우브 장치는, X-Y-Z-θ 방향으로 이동가능하게 구성된 웨이퍼 재치대를 구비하여 놓고, 이 웨이퍼 재치대상에는, 반도체 디바이스의 전극 패드에 대응한 다수 개의 프로우브 침을 구비한 프로우브 카드가 적당한 프로우브 유지구로 고정되어 있다. 측정시에는 상기 웨이퍼 재치 대상에 반도체 웨이퍼 등의 피검사대상을 재치고정하고 상기 웨이퍼 재치대를 구동하여 반도체 디바이스의 전극에 프로우브 침을 접촉시키고 이 프로우브 침을 통하여 테스터에 의하여 시험측정을 하도록 구성되어 있다. 프로우브 검사를 함에 있어서는, 품종번호, 사용회수 등 각 프로우브 카드에 고유의 정보를 각 프로우브 카드마다 관리하는 것이 바람직하다. 이 때문에 이와 같은 정보를 기억하기 위한 기억소자를 프로우브 카드상에 설치한 것이 제안되고 있다.(일본국 실개소 59-3537호)
그러나, 상기와 같이 반도체 웨이퍼의 고집적 고밀도화가 진행되고 있기 때문에, 이것에 대응하여 프린트 기판으로 구성되는 프로우브 카드 상에 프로우브 침을 1000 개에서 3000 개 정도로 배열하고, 이들 프로우브 침에 대응하는 배선 영역 및 테이스와의 콘택용 랜드 영역을 확보할 필요가 있다. 이와같이 1000개에서 3000개 정도의 프로우브 침이 세워지고 또 이들의 프로우브 침의 전기적 리드선을 확보하는 전극을 배치한 각 프로우브 카드에 상기와 같은 기억소자를 배치할 여지를 보는 것은 곤란하다. 또 예를 들면 프로우브 카드에 기억소자를 설치하는 것이 가능하더라도 프로우브 카드로 부터의 노이즈나 크로스토크의 영향을 받기 쉽고 기억소자를 정확하게 동작시키는 것은 곤란하다.
또 프로우브 침을 통하여 고속처리시키는 측정신호에 악영향을 미칠 우려가 있다. 따라서 이와 같은 악영향을 미치지 않고 더구나 프로우브 카드와 함께 이동가능한 위치로 이와같은 기억소자를 설치하는 것이 요청되고 있다.
한편, 이와같은 프로우브 장치에서, 최근에는 상기 프로우브 카드에 배치된 프로우브 침과 테스터와의 접촉은 전기적 리드선으로 연결된 전극랜드에 스프링에 의하여 탄성력을 부여한 접촉핀(포고핀)을 누르는 포고콘택에 의하여 행하고 있다. 이와같은 방식으로 검사시에 예를들면 100개의 프로우브 침과 테스터와의 콘택을 취하는 경우, 프로우브 침 1개당 약 10g의 누름력이 가해지면 프로우브 카드 전체에 대하여 1㎏의 누름력이 가해진다.
특히, 슈퍼컴퓨터의 CPU 등의 반도체 디바이스의 고집적화에 따라서 1 칩의 검사에 필요로 하는 프로우브 침의 갯수도 증가하는 경향에 있고, 최근에는 반도체 제조업계에서 상술한 바와 같이, 1000개 내지 3000개의 프로우브 침이 세워진 프로우브 카드가 요구되기에 이르렀고 그들이 2㎝×2㎝라고 하는 매우 좁은 영역에 세워지는 경우가 있다. 이러한 때에는 프로우브 카드 전체에 대하여 10㎏내지 20㎏의 누름력이 부가되는 것으로 된다. 프로우브 카드에 누름력이 부가된 경우에는, 그 누름력이 어느 수치 이상으로 되면 누름력에 따라서 프로우브 카드가 Z 방향으로 휘어지는 것으로 되지만, 이와 같이 큰 누름력이 부여된 경우에는 휨량이 너무 커서 프로우브 침이 균일한 압력으로 또 균일한 평행도로 피검사대상에 접촉될 수 없게 되며, 정밀한 검사를 실시할 수 없게 된다. 이 때문에 프로우브 카드 자체의 내왜곡 특성을 높이는 연구가 이루어지고 있으나, 거기까지도 한계가 있고, 무엇인가 대책이 요구되고 있다. 또 최근에는 반도체 웨이퍼를 놓은 재치대에 의하여 상온에서 약 150℃까지 적당한 가열수단으로 가열하고, 고온상태로 반도체 웨이퍼의 전기적 특성을 하는 방법도 실시되고 있다. 이와같은 고온측정의 경우에는 프로우브 카드에 비하여 열변형하기 쉬운 금속부재, 예를들면 스테인레스 알루미늄으로 구성된 프로우브 카드 유지구가 크게 찌그러들고 프로우브 침이 균일한 압력으로 또 균일한 평행도로 피검사대상에 접촉할 수 없게 되고, 프로우브 카드유지구의 내왜곡 특성을 높이는 것이 요구되고 있다.
본 발명은 이와같은 사정을 감안하여 이루어진 것이며, 그 목적은 각 프로우브 카드에 그 카드 고유의 정보를 기억하는 기억소자를 격납하는 물리적 스페이스가 존재하지 않는 경우라도 이와 같은 기억소자를 유지하는 것이 가능하며 또 이 기억소자와 프로우브 카드의 신호선과의 사이에서 악영향을 미지치 않는 프로우브 장치를 제공함에 있다. 본 발명의 다른 목적은, 측정시에 프로우브 카드에 대하여 누름력을 부가한 경우라도 프로우브 카드의 강도를 보강하고, 그 Z 방향의 찌그러짐을 회피할 수가 가능한 신규하고 개량된 프로우브 카드 유지구를 가지는 프로우브 장치를 제공함에 있다.
특 발명의 또 다른 목적은, 피검사대상은 고온상태로 검사하는 고온측정을 실시하는 경우라도 프로우브 카드 유지구 자체의 찌그러짐을 교정할 수 있고, 따라서 정밀한 측정을 실시할 수가 있는 프로우브 장치를 제공함에 있다.
본 발명의 또 다른 목적은, 측정시에 테이스와 프로우브 카드를 전기적으로 접촉시키는 경우에, 정밀하고 양호한 콘택을 얻는 것이 가능한 프로우브 장치를 제공함에 있다.
본 발명의 제 1 관점에서는, 피검사대상에 여러 개의 프로우브를 전기적으로 접촉시켜서 그 전기적 특성을 측정하기 위한 프로우브 장치는, 장치 본체; 여러 개의 프로우블 가지는 프로우브 카드 수단; 상기 장치 본체내에 있어서의 상기 피검사대상에 대향하는 측정위치에 프로우브 카드 수단을 유지하게 위한 프로우브 카드 유지구; 상기 프로우브 카드 유지구에 설치되고, 상기 프로우브 카드 수단을 사용하여 상기 피검사 대상을 측정하기 위한 정보를 기억하기 위한 기억수단;으로 구성되는 장치가 제공된다.
본 발명의 제 2 관점에서는, 피검사대상에 여러 개의 프로우브를 전기적으로 접촉시켜서 그 전기적 특성을 측정하기 위한 프로우브 장치는, 장치본체; 여러 개의 프로우브와; 이 프로우브를 지지하는 기판과, 프로우브를 가이드하기 위한 가이드 부재를 가지는 프로우브 카드 수단; 상기 장치 본체내에 있어서의 상기 피검사대상에 대향하는 측정위치에 프로우브 카드 수단을 유지하기 위한 프로우브 카드 유지구; 상기 프로우브 카드 유지구는 상기 프로우브 카드 수단의 기판하면 외주부를 지지하기 위한 제 1 부분과, 상기 프로우브 카드 수단의 가이드 부재에 걸어맞춤하는 제 2 부분을 가지는 것을 포함하는 장치가 제공된다.
본 발명의 제 3 관점에서는, 피검사대상에 여러 개의 프로우브를 전기적으로 접촉시켜서 그 전기적 특성을 측정하기 위한 프로우브 장치는, 장치본체; 여러 개의 프로우브를 가지는 프로우브 카드 수단; 상기 장치 본체내에 있어서의 상기 피검사대상에 대향하는 측정위치에 프로우브 카드 수단을 유지하기 위한 프로우브 카드 유지구; 상기 프로우브 카드 유지구는, 바깥 둘레방향을 따른 구멍부 또는 홈부가 형성되어 있는 것을 포함하는 장치가 제공된다.
본 발명의 제 4 관점에서는, 피검사대상에 여러 개의 프로우브를 전기적으로 접촉시켜서 그 전기적 특성을 측정하기 위한 프로우브 장치는, 장치본체; 여러 개의 프로우브를 가지는 프로우브 카드 수단; 상기 장치 본체내에 있어서의 상기 피검사대상에 대향하는 측정위치에 프로우브 카드 수단을 유지하기 위한 프로우브 카드 유지구; 상기 프로우브 카드 유지구는, 측정시의 열변형을 보상하도록 열팽창율이 다른 재질을 조합시키고 있는 것을 포함하는 장치가 제공된다.
본 발명의 제 5 관점에서는, 피검사대상에 여러 개의 프로우브를 전기적으로 접촉시켜서 그 전기적 특성을 측정하기 위한 프로우브 장치는, 장치본체; 여러 개의 프로우브를 가지는 프로우브 카드 수단; 상기 장치 본체내에 있어서의 상기 피검사대상에 대향하는 측정위치에 프로우브 가드 수단을 유지하기 위한 프로우브 카드 유지구; 상기 프로우브 카드 수단에 의하여 측정된 검사데이터를 테스터에 보내기 위한 제 1 콘택수단; 상기 프로우브 카드 유지구의 표면부분에 설치되고, 상기 프로우브 카드를 사용하여 상기 피검사대상을 측정하기 위한 정보를 기억하기 위한 기억수단; 상기 기억소자에 대하여 데이터를 읽고 쓰기 위한 제 2 콘택수단, 측정시에 상기 제 1 콘택수단과 상기 프로우브 카드 유지구 사이에 상기 프로우브 카드 수단이 유지되며, 상기 제 2 콘택수단과 상기 프로우브 카드 유지구 사이에 상기 기억소자가 유지되는 것을 포함하는 장치가 제공된다.
본 발명의 제 6 관점에서는, 피검사대상에 여러 개의 프로우브를 전기적으로 접촉시켜서 그 전기적 특성을 측정하기 위한 프로우브 장치는, 지지부를 가지는 장치본체; 여러 개의 프로우브와, 이 프로우브를 지지하는 기판과, 프로우브를 가이드하기 위한 가이드 부재를 가지는 프로우브 카드 수단; 상기 장치본체내의 지지부에 지지되고, 상기 피검사대상에 대향하는 측정위치에 상기 프로우브 카드 수단을 유지하기 위한 프로우브 카드 유지구, 상기 프로우브 카드 유지구는 프로우브 카드 수닫의 기판 하면 외주부를 지지하기 위한 제 1 부분과, 상기 프로우브 수단의 가이드 부재에 걸어맞춤하는 제 2 부분을 가지며, 상기 장치본체의 지지부와 상기 제 1 부분과의 사이의 제 1 걸어맞춤면의 평행도, 및 상기 가이드 부재와 상기 제 2 부분과의 사이의 제 2 걸어맞춤면의 평행도가 조정되어 있는 것을 포함하는 장치가 제공된다.
[실시예]
이하, 첨부도면을 참조하면서, 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명한다.
우선, 이해를 돕기 위하여, 프로우브 장치 전체의 구성 및 동작을 제 1 도를 참조하여 개략적으로 설명한다. 제 1 도에서, 프로우브 장치(100)의 대략 중앙에는 메인 스테이지(101)가 설치되어 있다. 이 메인 스테이지(101)에는, 반도체 웨이퍼(102)를 위치시키고 또 고정하기 위한 재치대(103)가 부착되어 있다. 이 재치대(103)는 Z 방향 및 θ 방향 스테이지(103A), X 방향 스테이지(103B) 및 θ 방향 스테이지(103C)로 구성되고, 상기 메인 스테이지(101)상에서 원하는 방향으로 이동가능하게 구성되어 있다.
이 재치대(103)의 윗쪽에는, 후술하는 프로우브 어셈블리(104)가 상기 반도체 웨이퍼(102)에 대향하도록 설치되어 있다. 도시하지 않았으나, 프로우브 장치(100) 중앙 바로 앞 쪽에는 얼리인먼트 유니트가 설치되어 있다.
이 얼라인먼트 유니트에는, 얼라인먼트용 화상인식장치로서 카메라 등이 설치되어 있으며, 얼라인먼트를 취하는 경우에는, 상기 재치대(103)가 카메라 하방위치까지 이동된다.
또, 상기 프로우브 장치(100)의 도면 우측에는 반도체 웨이퍼(102) 반입반출용의 오토로더(105)가 배치되며, 도면 좌측에는 프로우브 어셈블리(104)를 교환하기 위한 교환기(106)가 각각 설치되어 있다.
상기 오토로더(105)에는 다수 개의 반도체 웨이퍼(102)를 서로 수직각 방향으로 소정간격을 가지고 수용한 웨이퍼 세트(107)가 카세트 재치대(108) 상에 교환가능하게 배치되어 있다. 이 웨이퍼 카세트(107)와 상기 재치대(103) 사이에는 수평면 내에서 이동가능한 로더 스테이지(109)와, 도시하지 않은 Y 방향 구동기구와 Z 방향승강기구에 의하여 구동가능한 웨이퍼 핸들링 아암(110)이 설치되어 있다.
반도체 웨이퍼(102)를 상기 프로우브 어셈블리(104)에 의하여 프로우브 검사하는 때에는, 이 반도체 웨이퍼(102)가 상기 로더 스테이지(109)에 의하여 상기 재치대(103) 가까이까지 반송되며, 상기 웨이퍼 핸들링 아암(110)에 의하여 상기 재치대(103) 상에 재치고정된다. 그 후, 소정 위치에 위치결정된 프로우브 어셈블리(104)의 후술하는 프로우브 침이 반도체 웨이퍼 상의 소정콘택포인트에 접촉되며, 후술하는 포고핀 링(50)을 통하여 테스터(60)에 대하여 검사결과가 송신되며, 그 테스터(60)에서 피검사대상의 좋고 나쁨이 판정된다. 검사종료후는, 상기 반도체 웨이퍼(102)는 상기 웨이퍼 핸들링 아암(110)에 의하여 상기 로더 스테이지(109)상에 다시 이동되며, 그 로더 스테이지(109)에 의하여 상기 웨이퍼 카세트(107)까지 반송된다.
상기 교환기(106)에는 프로우브 카드(10)를 프로우브 카드 유지구(30)에 장착하는 프로우브 카드 에셈블리(104)가 수납실(110) 내의 수납대(111)에 수직방향으로 지정간격을 두고 여러 개 수용되어 있으며, 필요에 따라서 프로우브 장치(100)의 본체내에 설치된 프로우브 어셈블리(104)와 교환가능하게 구성되어 있다.
또, 상기 프로우브 장치(100)의 상부에 배치된 상기 테스터(60)의 상부에는, 필요에 따라서 현미경이나 텔레비젼 카메라와 같은 감시장치(112)를 설치할 수 있고, 상기 프로우브 카드(10) 및 상기 프로우브 카드 유지구(20)의 중앙부에 형성된 개구를 통하여 하방에 위치하는 반도체 웨이퍼 및 프로우브 카드(10)의 프로우브 침이 앞끝단을 감시하도록 구성할 수도 있다. 또 이 프로우브 침의 감시외의 실시방법으로서, 피검사대상을 재치한 재치대상에 상향 카메라를 위치맞춤하는 것도 가능하다.
이어서, 제 2 도, 제 3 도 및 제 4 도를 참조하면서 피검사대상을 프로우브 검사하기 위한 프로우브 카드(10)의 구성에 대하여 설명한다.
프로우브 카드(10)는 대략 원판형상의 프린트 기판(11)과, 프로우브 침(12)과, 프로우브 침(12)을 피검사대상으로 안내하기 위한 가이드부(13)로 구성되어 있다.
이 프로우브 침(12)은, 예를 들면 금(Au), 텅스텐(W), 등의 도전체로 구성되며, 제 2 도에 나타낸 바와 같이, 부분(12A)이 피검사대상에 대하여 수직방향으로 배치되며, 검사시에는 후술하는 바와 같이 침의 선단부(12B)가 피검사대상의 기판을 재치한 재치대가 수평방향으로 미소이동하는 것으로, 반도체 웨이퍼 표면의 산화피막을 들쑤시는 소정의 콘택 포인트(P)에 접촉하도록 구성되어 있다.
프로우브 침(12)은 상기 프린트 기판(11)의 상면에 돌출한 부분(12C)에서 기판의 외주부를 향하여 기판의 상면에 대략 평행하게 구부러지고, 포인트(19)에서 상기 프린트 기판 (11)내에 심어지며, 후술하는 포코콘택트용의 랜드(20)에 접속하도록 배선된다. 또 도시의 예에서는 프로우브 침은 12D에서 상기 프로우브 카드(10) 내에 매설되어 있으나, 상기 프로우브 카드(10)의 뒷면에 배선을 설치하는 작업을 용이하게 할 수도 있다.
상기 프로우브 카드(10)의 프린트 기판(11)의 뒷면에 배치된 프로우브 침(12)을 안내하기 위한 가이드부(13)는, 상부 블록(13A), 중간 블록(13B) 및 하부 블록(13C)으로 구성되어 있다.
상부 블록(13A)의 중앙에는 침 고정용 수지(14)가 배치되어 있으며, 그 침 고정용 수지(14)의 하면에는 침 고정판(15)이 부착되어 있다. 이 침 고정판에는 프로우브 침에 대응하는 구멍이 뚫려 있고, 이 구멍에 침이 위치결정 고정된다.
중간 블록(13B)의 중앙에는 공동부분(16A)이 설치되어 있고, 이 공동부분(16A)의 하단에 상부 안내판(17)이 부착되어 있다. 이 상부 안내판(17)에도 프로우브 침에 대응하는 구멍이 뚫려 있고, 이 구멍에 침이 위치결정 고정된다.
프로우브 침(12)은, 상기 침 고정판(15)과 상기 상부안내판(17)과의 사이에 설치된 상기 공동부분(16A) 사이에, 제 3B 도에 나타내는 바와 같이, 반도체 웨이퍼 등의 피검사대상(102)에 프로우브 침의 선단부(12B)가 눌려지는 것에 따라서 선단부(12B)는 수직으로 상승하고, 침 고정판(15)과 상부 안내판(17) 사이의 프로우브 침(12)의 몸체가 탄성적으로 구부러지도록 구성되어 있다.
하부 블록(13C)의 중앙부에도 공동부분(16B)이 설치되어 있으며, 이 공동부분(16B)의 하단에 하부 안내판(18)이 부착되어 있다. 이 하부 안내판(18)에도 프로우브 침에 대응하는 구멍이 뚫려 있으며, 이 구멍에 침이 위치결정 고정된다.
프로우브 침(12)은, 안내판(17) 및 안내판(18)에 안내되어 그 선단부(12B)가 상하로 이동가능하게 구성되어 있고, 반도체 웨이퍼 등의 피검사대상(102)에 프로우브 침의 선단부(12B)가 눌리기 전은 제 3A 도의 상태이지만, 선단부(12B)가 눌린 경우에는 제 3B 도에 나타내는 바와 같이 그 선단부(12B)느 상하의 안내판(17) 및 안내판(18)에 안내되어 그 윗쪽으로 이동한다.
상기와 같이 구성된 프로우브 카드(11)의 평면도를 제 4 도에 나타낸다. 로직이나 고집적화 ASIC 칩이나 슈펴 컴퓨터의 CPU 침과 같이, 반도체가 고집적화된 경우나, 16RAM 칩과 같이 여러 개가 동시에 접촉하는 것이 요구되는 경우에 있어서, 프로우브 카드(11)에는 다수 개의, 예를 들면 수천 개의 프로우브 칩(12)이 배치되어 있다. 이 때문에, 프로우브 카드(11)의 표면영역은 개구영역(21)을 중심으로 하여 동심원상으로, 프로우브 침(12)이 반도체 웨이퍼에 대하여 대략 수직으로 세워지는 침의 수직영역(A), 그 프로우브 침(12)의 부분(12C)이 배선되는 배선영역(B) 및 포고콘택용의 랜드(20)이 배설되는 패트영역(C)이 입추의 여지가 없을 만큼 퍼져 있다.
따라서 현재 사용되고 있는 프로우브 카드(11)에는, 카드고유의 정보를 격납하는 기억소자를 상기 프로우브 카드(11) 상에 배치하기 위한 물리적 공간을 설치하는 것이 곤란하다.
또, 상기 고집적화된 프로우브 침을 통하여 전달되는 측정용 신호는 신호성분 이외의 노이즈를 극단적으로 기피하며, 기억소자를 프로우브 장치 사이의 통신에 사용하는 신호라인을 될 수 있는 한 떨어지게 하고 싶다고 하는 요구가 있다.
특히, 논리회로나 16MDRAM 이후의 메모리에서, 작동전압이 종래의 5V에서, 예를 들면 2.4V 이하로 저하되고, 문턱전압 레벨이 저하하여 가는 경향에 있고, 이들의 회로나 소자를 여러 개를 나란하게 한 피검사체의 검사에는 노이즈 대책이 강하게 요청되고 있다.
본 발명에서는, 제 5 도 및 제 6 도에 나타낸 바와 같이, 프로우브 카드 유지구(30)의 영역(32)에 프로우브 카드 고유의 정보를 기억하는 기억소자(31)를 설치하는 것에 의하여, 이와 같이 기억소자(31)를 프로우브 카드(10) 이외의 영역에 설치하는 것에 의하여, 상기와 같은 물리적 제약의 문제를 해결함과 동시에, 프로우브 카드(10)로부터 발생하는 노이즈에 대하여 기억소자(31)를 보호하고 또 반대로 피검사대상의 측정신호를 보호하는 것도 가능하게 된다. 또 프로우브 카드(10)가 고장난 경우라도 종래와 같이 아직 사용가능한 기억소자(31)도 함께 폐기할 필요가 없기 때문에, 결과적으로 상기 기억소자(31)의 재사용을 도모할 수 가 있게 된다.
또, 프로우브 카드 유지구는 프로우브 카드와 일체적으로 이동되는 것이며, 프로우브 카드 고유의 정보를 격납하는 기억소자를 설치하는 위치로서 적합하다.
기억소자(31)는 상기 영역(32)상에 적당한 절연체(34)를 통하여 재치 고정되어 있다. 이와같이 절연체(34)를 통하는 것에 의하여 통상 금속재로, 예를 들면 알루미늄이나 SUS로 구성되는 프로우브 카드 유지구(30)로부터 상기 기억소자(31)를 전기적으로 절연하고 보호할 수가 있다. 또 프로우브 카드 유지구(30)를 상술한 바와 같이 알루미늄이나 SUS와 같은 강성을 가지는 금속재료로 형성하는 것에 의하여, 프로우브 카드의 침끝이 피측정기판과 접하는 것에 따라 발생하는 응력으로, 프로우브 카드의 변형을 작게할 수 있다.
기억소자(31)는, 제 6 도에 나타낸 바와 같이, 예를 들면 소자(31A) 및 소자(31B)의 2개의 소자를 가지고 있다. 바람직하게는, 수납하는 데이터량에 따른 여러 개의 EEPROM (ELECTRICALLY ERASABLE PROGRAMMABLE READ ONLY MEMORY)이, 기억데이터의 쓰기 및 읽기가 가능한 소자로서 사용된다.
예를 들면 한 쪽의 소자(ROM)(31A)에는 검사전에 설정한 그 프로우브 유지구(30)에 고정된 프로우브 카드(10)에 관한 각종 정보가, 또 다른 쪽의 소자(ROM)(31B)에는 검사 때마다 쓰기변환되는 그 프로우브 카드(10)에 관한 각종 정보가 프로우브 침(12)전에 설정한 그 프로우브 카드 유지구(30)에 고정된 프로우브 카드(10)에 관한 각종 정보가, 각각 격납된다.
이들의 정보로서는,
(1) 프로우브 카드의 프로우브 침의 높이
(2) 콘택 회수
(3) 오버 드라이브를 하는 Z 방향의 이동량
(4) 프로우브 카드의 종류, 형식
(5) 피검사대상의 소자의 종류, 형식, 수량
(6) 피검사대상의 소자의 피검사대상에서의 위치
(7) 침연실행 타이밍 및 그 실시횟수
(8) 프로우브 카드의 프로우브 장치에의 유지고정시의 θ 방향의 각도 조정량
(9) 프로우브 카드의 사용횟수에 관한 이력(교환시기)
등이 있다. 구체적으로는, 재치대(103)의 Z 방향의 이동을 제어하기 위한 Z 방향 이동데이터외에, 예를 들면 콘택횟수(토탈 및 트립), 침의 상대위치, 프로우브 카드의 시리얼 번호, 프로우브 카드의 종류, 핀수, 멀티수, 멀티로케이션, 침연실행 타이밍 및 그 콘택횟수, 오버 드라이브 허용치, 콘택수의 슬라이드 실시, 침연실시, 프로우브 카드의 불량품의 경우의 알람 및 리젝트의 실시 등이다.
또 상기 기억소자(31)의 상면에는 후술하는 포고 콘택용의 랜드(33)가 적당 개수로 배치되어 있으며, 후술하는 바와 같은 각 랜드(33)에 대응하는 포고핀을 구비한 터미널을 눌러서 포코콘택트를 얻는 것에 의하여, 이들이 전기적으로 접촉한다.
이 때의 데이터 송수신의 블록도를 제 7 도에 나타낸다. 상기 기억소자(31), 예를 들면 EEPROM (ELECTRICALLY ERASABLE PROGRAMMABLE READ ONLY MEMORY)는 제어기(90)에 접속되고, 이들 사이에서 데이터의 송수신이 이루어진다. 제어기(90)는 CPU(91)에 접속되어 있으며, CPU(91)의 지령에 의거하여 검사동작의 제어를 한다. 또 기억소자(31)와 제어기(90) 사이는, 신호 및 +5V의 전원라인(92)(도면에서는 1개이지만, 실제로는 여러 개임)에 의하여 접속되어 있다. 그리고, 라인(92)에는 신호를 온/오프하기 위한 릴레이 기구(93)가 설치되어 있다. 이 릴레이 기구(93)를 설치하는 것에 의하여 EEPROM(31)에 억세스가 없는 경우에는, 상기 릴레이 기구(93)를 오프로 설정하고, 프로우브 카드의 신호가 노이즈를 습득하지 않도록 할 수 있다.
또 릴레이 기구(93)로서는, 기계적인 릴레이 이외에, 트랜지스터 등으로 구성되는 릴레이 회로를 채택하는 것도 가능하다. 릴레이 기구(93)는 이와같은 효과를 가지는 것이지만, 필수적인 것은 아니다.
이어서, 제 5 도, 제 6 도를 참조하여 프로우브 카드 유지구(30)의 구조에 대하여 설명한다. 본 발명의 일실시형태에서, 프로우브 카드 유지구(30)는, 전체가 원형상을 이루고 있으며, 프로우브 카드(10)의 주위 영역, 바람직하게는 제 2 도에 나타내는 패드영역(C)(포고 콘택용의 랜드(20)이 배치되고, 검사시에 후술하는 포고핀 링에 의한 부하가 가해지는 영역)을 뒷면에서 윗 쪽으로 지지하는 지지부(35)와, 프로우브 카드(10)의 외주에 대응하는 위치에서부터 중앙부에 걸쳐서 하방으로 주발형상으로 구부러지고, 프로우브 카드(10)의 가이드부(31)를 재치하는 영역(34)을 구비한 외측부분(32)을 가지고 있다.
지지부(35)에는, 프로우브 카드(10)의 프린트 기판(11)이 적당한 고정 부재(도시하지 않음), 예를 들면 나사 등을 사용하여 고정된다.
외측부분의 영역(34)에는 기억소자(31)(소자(31A), (31B)로 구성됨)가 설치된다. 지지부(35)의 상면과 외측부분(32)의 상면과의 사이의 평면성은 프로우브 카드(10)와 기억소자(31)를 각각 재치고정한 경우에, 프로우브 카드(10)의 포고콘택용 랜드(20)의 상면의 수준선과, 기억소자(31)의 포고콘택용 랜드(33)의 상면의 수준선이 대략 동일 평면상에 오도록 조정된다. 이와같이 구성하는 것에 의하여 후술하는 바와 같이, 포고핀링(50) 및 터미널(70)(제 10 도 참조)을 하방으로 눌러서 구동한 경우에는, 단일동작에 따라 프로우브 카드(10)와 포고핀 링(50) 및 터미널(70)과 기억소자(31)의 2개의 전기적 접촉을 동시에 달성할 수 있다.
또 이때에 포고핀 링(50)에 의하여 프로우브 카드(10)에 가해지는 응력을 프로우브 카드 유지구(30)의 영역(35)에 의하여 흡수할 수 있기 때문에, 프로우브 카드(10)의 응력왜곡을 감소할 수 있다. 이 결과, 침의 선단부(12B)에서 예를 들면 ±10㎛ 정도의 평행도가 요구되는 경우라도 프로우브 침(12)의 선단부(13B)를 반도체 웨이퍼(102)에 대하여 충분한 평행도로 또 균일한 압력으로 맞닿게 할 수 있게 때문에, 정도 높은 프로우브 검사를 실시할 수 있다.
주발형상부(36)의 저부(37)의 저면은, 가이드부(13)의 하부 블록(13C)의 저면과 동일평면으로 되어 있다. 가이드부(13)의 중간 블록(13B)의 주위에는 외측을 향하여 돌출부(13D)가 형성되어 있으며, 이 돌출부(13D)와 프로우브 카드 유지구930)의 주발형상부(36)의 저부(37)를 걸어 맞춤시키고, 나사 등의 고정부재(39)에 의하여 고정하도록 구성되어 있다. 이와같이 구성하는 것에 따라, 주발형상부(36)의 저부(37)가, 검사시에 포고핀 링(50)을 아래로 눌러서 구동한 때에 프로우브 카드(10)의 중앙부에 걸리는 응력을 받을 수가 있다. 이와 같이, 프로우브 카드 유지구(30)는 지지부(35) 및 주발형상부(36)의 양쪽에서 프로우브 카드(10)를 지지하기 때문에, 포고핀 링(50)에 의한 응력에 의하여 프로우브 카드(10)에 왜곡이 발생하는 것을 방지할 수 있다.
외측부분(32)의 외주영역에는, 여러 개의 숄더부(38)가 설치되어 있다. 작동시에는, 이 숄더부(38)를 프로우브 장치(100)의 함체상부에 설치된 천장판(80)에 걸어맞춤시키는 것에 의하여, 프로우브 카드 유지구(30)가 위치 결정됨과 동시에, 천장판(80)에 지지고정되며, 이 때의 지지부분에 의해서도 포고핀 링(50)으로부터의 응력을 받을 수가 있다.
측정시에서, 프로우브 카드 유지구(30)가 프로우브 장치(100)의 합체 상부에 설치된 면의 천장판(80)의 위에 재치된 때에는, 프로우브 카드 유지구(30)의 숄더부(38)의 걸어맞춤면(81)과 천장판(80)의 걸어맞추면(82)이 높은 정도로 평활면에 처리되고, 이들이 높은 평행도로 유지됨과 동시에 프로우브 카드 유지구(30)의 주발형상부 (36)의 저부(37)의 걸어맞춤면(83)과 상기 돌출부(13B)의 걸어맞춤면(84)도 높은 정도로 평활면에 처리되고, 이들이 높은 평행도로 유지된다.
이와 같이 상기 걸어맞춤면(81) 및 걸어맞춤면(82) 사이, 및 상기 걸어맞춤면(83) 및 걸어맞춤면(84)의 사이에서, 각각 높은 고정도로 평행도를 달성할 뿐만 아니라, 프로우브 침(12)의 선단(12B)을 피처리체에 대하여 균일한 압력으로 또 높은 평행도로 위치결정하는 것이 가능하다.
따라서, 기타 부위의 평활표면 처리를 생략할 수 있기 때문에, 장치제조의 공수를 작게할 수 있다. 또, 이와 같이 평행도를 조절하는 것에 의하여, 프로우브 카드(10)의 프린트 기판(11)이 오차가 있어도 프로우브 침(12)의 선단(12B)이 높은 평행도로 유지된다.
재치대(103)에는, 히터가 내장되어 있는 경우가 있으며, 이 히터에 의하여 반도체 웨이퍼(102)를, 예를 들면 60℃∼150℃ 전후의 온도로 가열하고, 고온상태에서 반도체 웨이퍼(102) 상의 IC 칩의 전기적 특성 측정을 하는 경우가 있다. 또, 재치대(103)에 냉각수를 순환시켜서 -10℃까지 반도체 웨이퍼를 냉각하여 특성 측정을 하는 경우도 있다.
이들의 경우, 웨이퍼로부터의 복사열이나 침 끝으로부터의 열전도에 의하여 프로우브 카드(10)나 프로우브 카드 유지구(30)가 열팽창 또는 열수축하고, 특히 열전도성이 높은 알루미늄이나 SUS 등의 재료로 구성되는 프로우브 카드 유지구(30)에 열팽창 또는 열수축에 의한 응력집중이 생기고, 프로우브 카드 유지구(30) 자체가 열변형해버리고 만다. 이와같은 열변형이 생긴 경우에는, 프로우브 침의 끝(선단부)(12B)의 평행 밸런스가 깨지고, 미리 상온에서 설정한 오버 드라이브량을 가할 수 없게 되며, 정확한 측정을 할 우려가 없게 된다.
이것에 대하여 제 6 도에 나타낸 바와 같이, 프로우브 카드 유지구(30)의 주발형상부(36)에 원주방향을 따라서 구멍부 또는 홈부(39A0에 설치하는 것에 의하여, 열팽창 또는 열수축에 의하여 생기는 응력집중을 구멍부 또는 홈부(39A)에 있어서의 탄성변형으로서 흡수할 수 가 있다. 그 결과, 프로우브 카드 유지구(30)의 열변위가 감소하고, 프로우브 카드(10)의 프로우브 침(12)이 Z 방향으로 열변위하는 양을 낮게 억제할 수 있기 때문에, 미리 정한 오버 드라이브량을 유지하여 피검사대상에 접촉시킬 수 있게 되며, 정확한 프로우브 검사를 실시할 수 있다.
제 6 도에 나타내는 예에서는, 프로우브 카드 유지구(30)에 구멍부 또는 홈부를 설치하는 것에 의하여 응력집중의 완화를 도모할 수 있으나, 이 외에도 상기 프로우브 카드 유지구(30)에 가하는 열변위를 보상하도록, 상기 프로우브 카드 유지구(30)를 열팽창율이 다른 재질을 조합하여 구성하고, 응력집중의 완화를 도모하는 것도 가능하다. 예를 들면 프로우브 카드 유지구(30)를 다층구조로서, 그 상층의 둘레방향으로 열팽창율이 높은 재질을 채용하는 것에 의하여 바이메탈 효과에 따라, 열전도에 의한 응력집중을 보상하도록 프로우브 카드 유지구(30)를 변위시키는 것도 가능하다.
이어서 제 8 도 및 제 9 도를 참조하면서, 프로우브 장치를 작동하는 때의 상태에 대하여 설명한다. 우선 제 10 동의 분해도에 나타내는 바와 같이, 프로우브 카드 유지구(30)의 상면의 지지부(35)상에 프로우브 카드(10)가 재치고정된다. 또 동시에 외측부분(32)에 기억소자(31)가 재치고정된다. 그리고 검사시에는 상기 프로우브 카드(10)에 대하여 포고핀 링(50)이 눌리워진다.
제 8 도 및 제 9 도에 나타낸 바와 같이, 이 포고핀 링(50)은 도시한 바와 같이 중앙에 원통형상의 공간이 설치된 대략 원주형상의 부재이고, 그 하면에는 프로우브 카드(10)의 패트영역(C)에 적당하게 배치된 랜드(20)에 대응하도록 포고핀링(50)이 배치되어 있다. 포고핀 링(51)은, 제 10 도에 나타낸 바와 같이 핀 삽입구멍(51A)에 설치된 스프링 코일(53)에 의하여 아래 쪽으로 탄발되어 있다.
검사시에는 이 포고핀 링(50)이 적당한 누름구동수단에 의하여 구동되어 상기 포고핀 링(51)이 프로우브 카드(10)의 랜드(20)에 대하여 눌리우고 전기적으로 접촉하며, 프로우브 침(12)으로부터의 검사데이터가 전달된다.
또 포고핀 링(50)의 상면에도 포고핀(52)이 배치되어 있고, 검사시에는 이들의 상면의 포고핀(52)도 대응하는 테스터(60)의 랜드에 눌리워 전기적으로 접촉하고, 프로우브 침(12)으로부터의 검사데이터가 다시 테스터에 대하여 전송되며, 그 테스터(60)에서 피검사대상의 좋고 나쁨이 판정된다.
기억소자(31)에는, 터미널(70)이 접속된다. 터밀널(70)의 하면에는 여러 개의 포고핀(71)이 설치되어 있으며, 이들 포고핀(71)은 기억소자(31)의 상면에 설치된 랜드(33)에 눌리워 접촉하며, 케이블(72)을 통하여 소정의 데이터가 제어기(90)에 전송된다.
제어기(90)은 CPU(91)에 접속되어 있고, CPU(91)는 제어기로부터의 신호에 의거하여 필요한 구동신호를 재치대(103)에 보내는 것에 의하여, 각 스테이지(103A) 및 스테이지(103C)를 가장 좋게 구동제어할 수가 있다.
또 제 9 도에 나타낸 바와 같이, 포고핀 링(50)과 터미널(70)는 면(73) 타에서 서로 걸어맞추고 있고, 도 프로우브 카드(10)의 랜드(20) 및 기억소자(31)의 랜드(33)가 대략 동일면에 오도록 조정되어 있기 때문에, 단일의 동작으로 프로우브 카드(10)의 랜드(20) 및 기억소자(31)의 랜드(33)의 쌍방에 대하여 각각의 포고핀 링(50) 및 포고핀 링(70)을 눌러서 접촉할 수 있게 한다.
이어서, 프로우브 카드 유지구의 다른 형태에 대하여 설명한다.
제 11 도에 나타내는 형태에서는, 제 5 도에 나타내는 형태와는 달리, 프로우브 카드(10)의 주위부분으로부터 하방으로 뻗어나는 주발형상부(36) 대신에 지지부(35)의 최종부분에서, 즉 배선 영역(B)과 패트영역(C)과의 경계영역 부근에서 하방으로 구부러져 뻗어나는 주발형상부(40)을 구비하고 있다.
이 주발형상부(40)는, 가이드부(13)의 상부 블록(13A) 하면에 걸어맞추며, 나사 등의 고정부재(41)에 의하여 고정된다.
이 결과, 포고핀 링(50)을 하방으로 누름구동한 때에 프로우브 카드(10)의 중앙부에 걸리는 응력이 주발형상부(40)에 의하여 받아지고, 프로우브 카드(10)의 응력 찌그러짐 발생을 회피할 수 있다.
제 12 도에 나타낸 형태에서는, 더욱 구성이 단순화되며, 제 5 도에 나타내는 프로우브 카드 유지구(30)의 지지부(35)는 패트영역(C)을 넘어서 영역(42)으로 거의 직선적으로 연속하여 프로우브 카드(10)의 배선영역(B) 부분도 지지하고 있다. 또, 상기 프로우브 카드(10)의 가이드부(13)의 상부블록(13A)의 외주에 숄더부(43)가 설치되어 있으며, 이 숄더부(43)에 프로우브 카드 유지구(30)의 걸어맞춤부(44)가 아래로부터 걸어맞추어지며, 나사 등의 고정부재(45)에 의하여 고정하도록 구성된다.
이와 같이, 프로우브 카드(10)의 거의 전면이 프로우브 카드 유지구(30)에 의하여 지지되는 것으로 되기 때문에, 응력집중을 초래하는 일이 없이 프로우브 카드(10)의 응력 찌그러짐의 발생을 회피할 수 있다.
또 이상이 설명에서는, 피검사체에 대하여 수직으로 프로우브 침이 세워진, 이른바 수직침형 프로우브 카드의 예를 내타내고 있으나, 본 발명은 이것에 한정되는 것이 아니며 다른 프로우브 카드를 사용하는 경우에도 적용가능하다. 예를 들면 종래의 장치와 같이, 텅스텐 침을 카드 표면 또는 뒷면으로부터 피검사대상에 대하여 경사 방향으로 배치한 프로우브 침을 사용하는 프로우브 장치에도 적용 가능하다.
그 예를 제 13 도에 나타낸다. 가로 침형 프로우브 카드(10')은 랜드(20)으로부터 텅스턴 프로우브(12')가 뻗어나며, 그 끝이 카드(10')의 중앙에 설치된 구멍부(10)의 아래부분에 위치하고 있다. 또 프로우브 카드 유지구(30')는, 프로우브 카드를 지지하는 지지부(35')와 그 외측에 설치되고, 기억소자(31)가 재치된 외측부분(32')을 가지고 있다.
또 본 발명은 도전성 고무 등을 접촉하여 사용한 콘택을 이용한 고무형 프로우브 카드, 또는 범프 필름을 이용한 맴브렌 형 프로우브카드와 이들의 유지구에도 같이 적용할 수 있다.
이상과 같이 본 발명에 기초하는 프로우브 장치에 의하면, 프로우브 침의 개수가 증가하고, 각 프로우브 카드의 표면에 물리적 스페이스가 존재하지 않은 경우라도 그 카드의 측정에 필요한 고유정보를 프로우브 카드 유지구상에 설치된 기억소자에 격납하고 관리하는 것이 가능하다. 또 프로우브 카드의 신호라인으로부터 떨어진 유지구에 기억소자를 배치하기 때문에, 프로우브 카드의 고속신호라인과 메모리의 데이터 제어라인과의 상호 악영향(크로소토크)이나 노이즈 발생으로부터, 측정신호를 보호할 수가 있다. 또 프로우브 카드의 침끝 마모나 침끝 고장이 발생한 때에는, 프로우브 카드만을 교환하여 프로우브 카드 유지구를 계속 사용할 수가 있게 된다.
또, 본 발명에 기초하는 프로우브 장치에 의하면, 측정시에 포고링에 의하여 프로우브 카드에 대하여 누름력을 부가한 경우라도 프로우브 카드에 가해진 부하를 프로우브 카드 유지구의 두 부분으로 받을 수 있기 때문에, 프로우브 카드에 균일한 응력이 미치는 것이 방지되며, 프로우브 카드의 찌그러짐을 회피할 수 있다. 프로우브 침 선단부의 평행도 및 압력을 균일하게 유지할 수가 있기 때문에, 정도 높은 프로우브 검사를 할 수 있다.
또 본발명에 의하면, 피검사대상을 고온 또는 저온상태에서 검사하는 고온 또는 저온 측정을 실시하는 경우라도, 프로우브 카드 유지구 자체의 열변형을 작게하는 구조를 갖게 했기 때문에, 프로우브 침 끝과의 접촉을 최적한 누름력으로 유지하여 정밀한 측정을 실시할 수 있다.
또, 프로우브 침 선단부의 평행도 및 압력을 균일하게 유지할 수 있기 때문에, 정도 높은 프로우브 검사를 할 수 있다.

Claims (25)

  1. 피검사대상에 여러 개의 프로우브를 전기적으로 접촉시켜서 그 전기적 특성을 측정하기 위한 프로우브 장치로서,
    장치본체와;
    여러 개의 프로우브를 가지는 프로우브 카드 수단과;
    상기 장치본체내에 있어서의 상기 피검사대상에 대향하는 측정위치에 프로우브 카드 수단을 유지하기 위한 프로우브 카드 유지구(30)와;
    상기 프로우브 카드 유지구(30)에 설치되고, 상기 프로우브 카드 수단을 사용하여 상기 피검사대상을 측정하기 위한 정보를 기억하며, 그 기억된 정보의 읽어내기 경로와 접속하기 위한 접속수단을 가지는 기억수단(31)으로 구성되는 프로우브 장치.
  2. .
  3. 제 1 항에 있어서, 상기 기억수단(31)은, 정보의 읽고 쓰기가 자유로운EEPROM (31)인 프로우브 장치.
  4. 제 1 항에 있어서, 상기 프로우브 카드 유지구(30)는, 금속부재로 구성되며, 그 프로우브 카드 유지구(30)와 상기 기억소자(31) 사이에 절연수단이 설치되는 프로우브 장치.
  5. 제 2 항에 있어서, 상기 접속수단은, 접속핀과 이 접속핀을 접속부에 대하여 탄발하는 스프링 부재를 가지는 프로우브 장치.
  6. 제 1 항에 있어서, 상기 기억수단(31)은, 기억하는 정보로서 이하에 나타내는 적어도 하나를 포함하는 프로우브 장치.
    (1) 프로우브 카드의 프로우브 침의 높이
    (2) 콘택 회수
    (3) 오버 드라이브를 하는 Z 방향의 이동량
    (4) 프로우브 카드의 종류, 형식
    (5) 피검사대상의 소자의 종류, 형식, 수량
    (6) 피검사대상의 소자의 피검사대상에서의 위치
    (7) 침연 실행 타이밍 및 그 실시횟수
    (8) 프로우브 카드의 프로우브 장치에의 유지고정시의 θ 방향의 각도 조정량.
    (9) 프로우브 카드의 사용횟수에 관한 이력(교환시기)
  7. 피검사대상에 여러 개의 프로우브를 전기적으로 접촉시켜서 그 전기적 특성을 측정하기 위한 프로우브 장치로서, 장치 본체와; 장치 본체와;
    여러 개의 프로우브와, 이 프로우브를 지지하는 기판과, 프로우브를 가이드하기 위한 가이드 부재를 가지는 프로우브 카드 수단과;
    상기 장치본체내에 있어서의 상기 피검사대상에 대향하는 측정위치에 프로우브 카드 수단을 유지하기 위한 프로우브 카드 유지구를 포함하여 구성되며,
    상기 프로우브 카드 유지구는 상기 프로우브 카드 수단의 기판 하면 외주부를 지지하기 위한 제 1 부분과, 상기 프로우브 수단의 가이드 부재에 걸어맞춤하는 제 2 부분 및 상기 프로우브 카드 수단을 사용하여 상기 피검사대상을 측정하기 위한 정보를 기억하며, 그 기억된 정보의 읽어내기 경로와 접속하기 위한 접속 수단을 가지는 기억수단(31)을 가지는 프로우브 장치.
  8. 제 7 항에 있어서, 상기 가이드 부재는, 상기 기판의 중앙부에 설치되고 상기 프로우브를 상기 피검사체에 대하여 수직이 되도록 가이드하는 프로우브 장치.
  9. 제 8 항에 있어서, 상기 프로우브 카드 유지구의 제 2 부분은, 프로우브 선단 근방에서 상기 가이드 부재에 걸어맞춤하고 있는 프로우브 장치.
  10. 제 7 항에 있어서, 상기 프로우브 카드 유지구는, 상기 제 1 부분의 외측에 제 3 부분을 가지며, 그 제 3 부분의 표면부분에 기억수단이 설치되는 프로우브 장치.
  11. 제 10 항에 있어서, 상기 기억수단은, 정보의 읽고 쓰기가 자유로운 EEPROM (31)인 프로우브 장치.
  12. 제 10 항에 있어서, 상기 프로우브 카드 유지구는, 금속부재로 구성되며, 그 프로우브 카드 유지구의 상기 제 3 부분과 상기 기억수단 사이에 절연수단이 설치되는 프로우브 장치.
  13. 제 7 항에 있어서, 상기 프로우브 카드 유지구는, 측정시에 가해지는 열응력을 완화하도록 그 둘레방향을 따르는 구멍부 또는 홈부가 형성되어 있는 프로우브 장치.
  14. 제 7 항에 있어서, 상기 프로우브 카드 유지구는, 측정시의 열변형을 보상하도록, 열팽창율이 다른 재질을 조합시키고 있는 프로우브 장치.
  15. 제 7 항에 있어서, 상기 프로우브 카드 수단에 의하여 측정된 검사 데이터를 보내기 위한 제 1 콘택수단을 가지며, 측정시에 상기 제 1 콘택수단과 상기 프로우브 카드 유지구와의 사이에 상기 프로우브 카드 수단을 보유하는 프로우브 장치.
  16. 제 15 항에 있어서, 상기 제 1 콘택수단은, 접속핀과, 이 접속핀을 접속부에 대하여 탄발하는 스프링 부재를 가지는 프로우브 장치.
  17. 피검사대상에 여러 개의 프로우브를 전기적으로 접촉시켜서 그 전기적 특성을 측정하기 위한 프로우브 장치로서,
    장치본체와;
    여러 개의 프로우브를 가지는 프로우브 카드 수단과;
    상기 장치본체내에 있어서의 상기 피검사대상에 대향하는 측정위치에 프로우브 카드 수단을 유지하기 위한 프로우브 카드 유지구를 포함하여 구성되며,
    상기 프로우브 카드 유지구는, 측정시의 가해지는 열응력을 완화하도록 그 둘레방향을 따르는 구멍부 또는 홈부가 형성되어 있으며, 상기 프로우브 카드 수단을 사용하여 상기 피검사대상을 측정하기 위한 정보를 기억하며, 그 기억된 정보의 읽어내기 경로와 접속하기 위한 접속수단을 가지는 기억수단(31)을 가지는 프로우브 장치.
  18. 피검사대상에 여러 개의 프로우브를 전기적으로 접촉시켜서 그 전기적 특성을 측정하기 위한 프로우브 장치로서,
    장치본체와;
    여러 개의 프로우브를 가지는 프로우브 카드 수단과;
    상기 장치본체내에 있어서의 상기 피검사대상에 대향하는 측정위치에 프로우브 카드 수단을 유지하기 위한 프로우브 카드 유지구를 포함하여 구성되며,
    상기 프로우브 카드 유지구는, 측정시의 열변형을 보상하도록, 열팽창율이 다른 재질을 조합시키고 있으며, 상기 프로우브 카드 수단을 사용하여 상기 피검사대상을 측정하기 위한 정보를 기억하며, 그 기억된 정보의 읽어내기 경로와 접속하기 위한 접속수단을 가지는 기억수단(31)을 가지는 프로우브 장치.
  19. 피검사대상에 여러 개의 프로우브를 전기적으로 접촉시켜서 그 전기적 특성을 측정하기 위한 프로우브 장치로서,
    장치본체와;
    여러 개의 프로우브를 가지는 프로우브 카드 수단과;
    상기 장치본체내에 있어서의 상기 피검사대상에 대향하는 측정위치에 프로우브 카드 수단을 유지하기 위한 프로우브 카드 유지구와;
    상기 프로우브 카드 수단에 의하여 측정된 검사데이터를 테스터에 보내기 위한 제 1 콘택수단과;
    상기 프로우브 카드 유지구의 표면부분에 설치되고, 상기 프로우브 카드를 사용하여 상기 피검사대상을 측정하기 위한 정보를 기억하며, 그 기억된 정보의 읽어내기 경로와 접속하기 위한 접속수단을 가지는 기억수단과;
    상기 기억수단에 대하여 데이터를 읽고 쓰기 위한 제 2 콘택수단과,
    측정시에 상기 제 1 콘택수단과 상기 프로우브 카드 유지구 사이에 상기 프로우브 카드 수단이 유지되며, 상기 제 2 콘택수단과 상기 프로우브 카드 유지구 사이에 상기 기억수단이 유지되는 프로우브 장치.
  20. 제 19 항에 있어서, 상기 제 1 콘택수단에 대한 상기 프로우브 수단의 접촉면과, 상기 제 2 콘택수단에 대한 상기 기억수단의 접촉면이 대략 동일면상에 배치되어 있는 프로우브 장치.
  21. 제 19 항에 있어서, 상기 프로우브 카드 수단은, 여러 개의 프로우브와, 이 프로우브를 지지하는 기판과, 프로우브를 가이드하기 위한 가이드 부재를 가지며, 상기 프로우브 카드 유지구는, 상기 프로우브 카드 수단의 접촉면 및 상기 기억소자의 접촉면에 대응하는 상기 프로우브 카드 수단이 뒷면 영역에서 상기 프로우브 카드 수단을 지지하기 위한 제 1 부분과, 상기 프로우브 수단의 가이드 부재에 걸어맞춤되는 제 2 부분을 가지는 프로우브 장치.
  22. 제 19 항에 있어서, 제 1 콘택수단 및 제 2 콘택수단은, 각각 접속핀과, 이 접속핀을 접속부에 대하여 탄발하는 스프링부재를 가지는 프로우브 장치.
  23. 제 19 항에 있어서, 상기 프로우브 카드 유지구와 상기 기억수단의 사이에 절연수단이 설치되는 프로우브 장치.
  24. 피검사대상에 여러 개의 프로우브를 전기적으로 접촉시켜서 그 전기적 특성을 측정하기 위한 프로우브 장치로서,
    지지부를 가지는 장치본체와;
    여러 개의 프로우브와, 이 프로우브를 지지하는 기판과 프로우브를 가이드하기 위한 가이드 부재를 가지는 프로우브 카드 수단과;
    상기 장치본체내의 지지부에 지지되고, 상기 피검사대상에 대향하는 측정 위치에 상기 프로우브 카드 수단을 유지하기 위한 프로우브 카드 유지구를 포함하여 구성되며,
    상기 프로우브 카드 유지구는, 프로우브 카드 수단의 기판 하면 외주부를 지지하기 위한 제 1 부분과, 상기 프로우브 수단의 가이드 부재에 걸어맞춤하는 제 2 부분을 가지며, 상기 장치본체의 지지부와 상기 제 1 부분과의 사이의 제 2 걸어맞춤면의 평행도가 조정되어있으며, 상기 프로우브 카드 수단을 사용하여 상기 피검사대상을 측정하기 위한 정보를 기억하며, 그 기억된 정보의 읽어내기 경로와 접속하기 위한 접속수단을 가지는 기억수단(31)을 가지는 프로우브 장치.
  25. 제 24 항에 있어서, 상기 가이드 부재는, 상기 기판의 중앙부에 설치되고, 상기 프로우브를 상기 피검사
    체에 대하여 수직이 되도록 가이드하는 프로우브 장치.
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