KR950004469A - 프로우브 장치 - Google Patents

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Abstract

피검사대상에 여러 개의 프로우브를 전기적으로 접촉시켜서 그 전기적 특성을 측정하기 위한 프로우브 장치는, 장치본체와, 여러 개의 프로우브를 가지는 프로우브 카드 수단과, 상기 장치본체내에 있어서의 상기 피검사대상에 대향하는 측정위치에 프로우브 카드 수단을 유지하기 위한 프로우브 카드 유지구를 가지고 있다.
프로우브 카드 유지구는 프로우브 카드를 사용하여 피검사대상을 측정하기 위한 정보를 기억하기 위한 기억수단이 설치되어 있다.

Description

프로우브 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제 1 도는 본 발명의 일형태에 관한 프로우브 장치의 전체구성을 나타내는 개략도, 제 2 도는 제 1 도 장치에 사용되는 프로우브 카드의 구성을 나타내는 종단면도, 제3A도는 제 2 도 장치에 사용되는 프로우브 카드의 프로우브침의 끝이 피검사대상에 접촉한 상태를 나타내는 확대단면도, 제3B도는 제3A도의 상태로부터 피검사대상을 상승시킨 때의 상태를 나타내는 확대단면도, 제 4 도는 제 2 도의 프로우브 카드의 평면도.

Claims (25)

  1. 피검사대상에 여러 개의 프로우브를 전기적으로 접촉시켜서 그 전기적 특성을 측정하기 위한 프로우브 장치로서, 장치본체 ; 여러 개의 프로우브를 가지는 프로우브 카드 수단 ; 상기 장치본체내에 있어서의 상기 피검사대상에 대향하는 측정위치에 프로우브 카드 수단을 유지하기 위한 프로우브 카드 유지구(30) ; 상기 프로우브 카드 유지구(30)에 설치되고, 상기 포로우브 카드 수단을 사용하여 상기 피검사대상을 측정하기 위한 정보를 기억하기 위한 기억수단(31)으로 구성되는 프로우브 장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 기억수단(31)은, 거기에 기억된 정보의 읽어 내기 경로와 접속하기 위한 접속수단을 가지는 프로우브 장치.
  3. 제 1 항에 있어서, 상기 기억수단(31)은, 정보를 읽고 쓰기가 자유로운 ELECRICTALLY ERASBLE PROGRAMMABLE REA ONLY MEMORY(31)를 가지는 프로우브 장치.
  4. 제 1 항에 있어서, 상기 프로우브 카드 유지구(30)는, 금속부재로 구성되며, 그 프로우브 카드 유지구(30)와 상기 기억소자(31) 사이에 절연수단이 설치되는 프로우브 장치.
  5. 제 2 항에 있어서, 상기 접속수단은, 접속핀과, 이 접속핀을 접속부에 대하여 탄발하는 스프링 부재를 가지는 프로우브 장치.
  6. 제 1 항에 있어서 상기 기억수단(31)은, 기억하는 정보로서 이하에 나타내는 적어도 하나를 포함하는 프로우브 장치.
    (1)프로우브 카드의 프로우브 침의 높이
    (2)콘택 회수
    (3)오버 드라이브를 하는 z방향의 이동량
    (4)프로우브 카드의 종류, 형식
    (5)피검사대상의 소자의 종류, 형식, 수량
    (6)피검사대상의 소자의 피검사대상에서의 위치
    (7)침연(針硏)실행 타이밍 및 그 실시횟수
    (8)프로우브 카드의 프로우브 장치에의 유지고정시의 θ방향의 각도 조정량
    (9)프로우브 카드의 사용횟수에 관한 이력(교환시기)
  7. 피검사대상에 여러 개의 프로우브를 전기적으로 접촉시켜서 그 전기적 특성을 측정하기 위한 프로우브 장치로서, 장치본체 ; 여러 개의 프로우브와 ; 이 프로우브를 지지하는 기판과, 프로우브를 가이드하기 위한 가이드 부재를 가지는 프로우브 카드 수단 ; 상기 장치본체내에 있어서의 상기 피검사대상에 대향하는 측정위치에 프로우브 카드 수단을 유지하기 위한 프로우브 카드 유지구 ; 상기 프로우브 카드 유지구는 상기 프로우브 카드 수단의 기판하면 외주부를 지지하기 위한 제 1 부분과, 상기 프로우브 수단의 가이드 부재에 걸어맞춤하는 제 2 부분을 가지는 것을 포함하는 프로우브 장치.
  8. 제 7 항에 있어서, 상기 가이드 부재는, 상기 기판의 중앙부에 설치되고 상기 프로우브를 상기 피검사제에 대하여 수직이 되도록 가이드하는 프로우브 장치.
  9. 제 8 항에 있어서, 상기 프로우브 카드 유지구의 제 2 부분은, 프로우브 선단 근방에서 상기 가이드 부재에 걸어맞춤하고 있는 프로우브 장치.
  10. 제 7 항에 있어서, 상기 프로우브 카드 유지구는, 상기 제 1 부분의 외측에 제 3 부분을 가지며, 그 제 3 부분의 표면부분에 기억소자가 설치되는 프로우브 장치.
  11. 제10항에 있어서, 상기 기억수단은, 정보의 읽고 쓰기가 자유로운 ELECRICTALLY ERASBLE PROGRAMMABLE READ ONLY MEMORY(31)를 가지는 프로우브 장치.
  12. 제10항에 있어서, 상기 프로우브 카드 유지구는, 금속부재로 구성되며, 그 프로우브 카드 유지구의 상기 제 3 부분과 상기 기억소자 사이에 절연수단이 설치되는 프로우브 장치.
  13. 제 7 항에 있어서, 상기 프로우브 카드 유지구는, 측정시에 가해지는 열응력을 완화하도록 그 둘레방향을 따르는 구멍부 또는 홈부가 형성되어 있는 프로우브 장치.
  14. 제 7 항에 있어서, 프로우브 카드 유지구는, 측정시의 열변형을 보상하도록, 열팽창율이 다른 재질를 조합시키고 있는 프로우브 장치.
  15. 제 7 항에 있어서, 상기 프로우브 카드 수단에 의하여 측정된 검사 데이터를 보내기 위한 제 1 콘택수단을 가지며, 측정시에 상기 제 1 콘택수단과 상기 프로우브 카드 유지구와의 사이에 상기 프로우브 카드 수단을 보유하는 프로우브 장치.
  16. 제15항에 있어서, 상기 제 1 콘택수단은, 접속핀과, 이 접속핀을 접속부에 대하여 단발하는 스프링 부재를 가지는 프로우브 장치.
  17. 피검사대상에 여러 개의 프로우브를 전기적으로 접촉시켜서 그 전기적 특성을 측정하기 위한 프로우브 장치로서, 장치본체 ; 여러 개의 프로우브를 가지는 프로우브 카드 수단 ; 상기 장치본체내에 있어서의 상기 피검사대상에 대향하는 측정위치에 프로우브 카드 수단을 유지하기 위한 프로우브 카드 유지구 ; 상기 프로우브 카드 유지구는, 측정시의 가해지는 열응력을 완화하도록 그 둘레방향을 따르는 구멍부 또는 홈부가 조성되어 있는 프로우브 장치.
  18. 피검사대상에 여러 개의 프로우브를 전기적으로 접촉시켜서 그 전기적 특성을 측정하기 위한 프로우브 장치로서, 장치본체 ; 여러 개의 프로우브를 가지는 프로우브 카드 수단 ; 상기 장치본체내에 있어서의 상기 피검사대상에 대향하는 측정위치에 프로우브 카드 수단을 유지하기 위한 프로우브 카드 유지구 ; 상기 프로우브 카드 유지구는, 측정시의 열변형을 보상하도록, 열팽창율이 다른 재질을 조합시키고 있는 프로우브 장치.
  19. 피검사대상에 여러 개의 프로우브를 전기적으로 접촉시켜서 그 전기적 특성을 측정하기 위한 프로우브 장치로서, 장치본체 ; 여러 개의 프로우브를 가지는 프로우브 카드 수단 ; 상기 장치본체내에 있어서의 상기 피검사대상에 대향하는 측정위치에 프로우브 카드 수단을 유지하기 위한 프로우브 카드 유지구 ; 상기 프로우브 카드 수단에 의하여 측정된 검사데이터를 테스터에 보내기 위한 제 1 콘택수단 ; 상기 프로우브 카드 유지구의 표면부분에 설치되고, 상기 프로우브 카드를 사용하여 상기 피검사대상을 측정하기 위한 정보를 기억하기 위한 기억수단 ; 상기 기억소자에 대하여 데이터를 읽고 쓰기 위한 제 2 콘택수단, 측정시에 상기 제 1 콘택수단과 상기 프로우브 카드 유지구 사이에 상기 프로우브 카드 수단이 유지되며, 상기 제 2 콘택수단과 상기 프로우브 카드 유지구 사이에 상기 기억소자가 유지되는 프로우브 장치.
  20. 제19항에 있어서, 상기 제 1 콘택수단에 대한 상기 프로우브 카드 수단의 접촉면과, 상기 제 2 콘택수단에 대한 상기 기억소자의 접촉면이 대략 동일면상에 배치되어 있는 프로우브 장치.
  21. 제19항에 있어서, 상기 프로우브 카드 수단은, 여러 개의 프로우브와, 이 프로우브를 지지하는 기판과, 프로우브를 가이드하기 위한 가이드 부재를 가지며, 상기 프로우브 카드 유지구는, 상기 프로우브 카드 수단의 접촉면 및 상기 기억소자의 접촉면에 대응하는 상기 프로우브카드 수단의 뒷면영역에서 상기 프로우브 카드 수단을 지지하기 위한 제 1 부분과, 상기 프로우브 수단의 가이드 부재에 걸어맞춤되는 제 2 부분을 가지는 프로우브 장치.
  22. 제19항에 있어서, 제 1 콘택수단 및 제 2 콘택수단은, 각각 접속핀과, 이 접촉핀을 접속부에 대하여 탄발하는 스프링부재를 가지는 프로우브 장치.
  23. 제19항에 있어서, 상기 프로우브 카드 유지구와 상기 기억소자 사이에 절연수단이 설치되는 프로우브 장치.
  24. 피검사대상에 여러 개의 프로우브를 전기적으로 접촉시켜서 그 전기적 특성을 측정하기 위한 프로우브 장치로서, 지지부를 가지는 장치본체 ; 여러 개의 프로우브와, 이 프로우브를 지지하는 기판과, 프로우브를 가이드하기 위한 가이드 부재를 가지는 프로우브 카드 수단 ; 상기 장치본체내의 지지부에 지지되고, 상기 피검사대상에 대향하는 측정위치에 상기 프로우브 카드 수단을 유지하기 위한 프로우브 카드 유지구, 상기 프로우브 카드 유지구는, 프로우브 카드 수단의 기판 하면 외부를 지지하기 위한 제 1 부분과, 상기 프로우브 수단의 가이드 부재에 걸어맞춤하는 제 2 부분을 가지며, 상기 장치본체의 지지부와 상기 제 1 부분과의 사이의 제 1 걸어맞춤면의 평행도, 및 상기 가이드 부재와 상기 제 2 부분과의 사이의 제 2 걸어맞춤면의 평행도가 조정되어 있는 프로우브 장치.
  25. 제24항에 있어서, 상기 가이드 부재는, 상기 기판의 중앙부에 설치되고, 상기 프로우브를 상기 피검사체에 대하여 수직이 되도록 가이드하는 프로우브 장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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